KR100433238B1 - Optical Disc and Method and Apparatus of Fabricating Master Disc for the Same - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: An optical disc having high recording density, and a method for manufacturing a master disc for a forming disc, and a device thereof are provided to manufacture an optical disc having a high modulation degree and high recording density by forming pits having the width longer than the length. CONSTITUTION: A photoresist film is formed on a substrate. First to fourth upper pits(11A,13A,15A,17A) are formed by scanning an optical spot having a diameter half as large as track pitch in association with an exposure pulse row. First to fourth lower pits(11B,13B,15B,17B) are formed by rescanning the optical spot in association with the exposure pulse row. First to fourth pits(11,13,15,17) are formed by forming the first to fourth upper pits closely by the first to fourth lower pits. A stamper to be installed at a molder is manufactured by inversing and transferring the pre-pit pattern. A melted substrate material is induced to the stamper and the induced substrate material is congealed to obtain a copy of the disc substrate having the pre-pit pattern. Width of each pit is longer than length of the pit.

Description

광디스크 및 마스터 디스크 제조 방법 및 장치{Optical Disc and Method and Apparatus of Fabricating Master Disc for the Same} Optical disk and the master disk manufacturing method and apparatus {Optical Disc and Method and Apparatus of Fabricating Master Disc for the Same}

본 발명은 광학적으로 정보가 기록 및/또는 재생되어지는 광디스크에 관한 것이다. The present invention relates to an optical disk which is optically information is recorded and / or reproduced. 또한, 본 발명은 광디스크 성형용 마스터 디스크(Master Disc) 제조 방법 및 장치에 관한 것이다. The present invention also relates to a manufacturing method and a device master disc for the optical disc molding (Master Disc).

일반적으로, 광디스크는 마스터 디스크로부터 복제된다. In general, optical discs are copied from the master disk. 마스터 디스크는 포토 에칭(Photo Etching)에 의해 제조되게 된다. A master disk is to be manufactured by photo-etching (Photo Etching). 이를 상세히 하면, 기판 상에 포토 레지스트 막이 성막되게 된다. Specifically it is to be a photoresist film is formed on the substrate. 포토 레지스트 막은 노광펄스에 따라 단속되는 레이저 빔에 노출되게 된다. The photoresist film is exposed to the laser beam is interrupted in accordance with the exposure pulse. 이렇게 노광되어진 포토 레지스트 막이 현상액에 의해 현상됨으로써 프리피트들(Prepits)이 형성되어진 마스터 디스크가 마련되게 된다. Thus exposed photoresist film is developed with a developing solution thereby been provided with a pre-pit is to be the master disk been (Prepits) is formed. 이 때, 디스크 원반 상에 형성되어진 프리피트들은 레이저 빔이 조사되는 기간에 따라 다른 길이를 가지게 된다. At this time, the pre-pit been formed on the master disk are has a different length according to the period in which the laser beam is irradiated. 레이저 빔의 조사 기간은 노광펄스의 폭에 따라 변하게 된다. Irradiation period of the laser beam is changed depending on the width of the exposure pulse. 결과적으로, 프리피트들 각각의 길이는 도 1에 도시된 바와 같이, 노광펄스(EP)의 폭에 의해 결정되게 된다. As a result, the pre-pits of different lengths are presented, determined by the width of the exposure pulse (EP), as shown in FIG. 예를 들면, 짧은 길이의 제1 및 제2 프리피트들(1,3)은 레이저 빔이 포토 레지스트 막 상에 3T 및 4T의 노광기간 조사됨에 의해 형성되게 되는 반면에 가장 긴 길이를 가지는 제4 프리피트(7)는 레이저 빔이 포토 레지스트 막 상에 10T의 노광기간 조사됨에 의해 형성되게 된다. For example, the first and second pre-pit of the short-length (1, 3) is 4 having the longest length on the other hand is to be the laser beam is formed on the photoresist film As the exposure irradiation period of 3T and 4T pre-pit 7 is formed by being exposed to be a laser beam irradiation time period of 10T on the photoresist film. 이렇게 형성되어진 프리피트들은 반전·전사됨으로써 성형기에 설치될 스템퍼(Stamper)가 제작되게 한다. This pre-pits have been formed is to be produced by the stamper (Stamper) is installed on a molding machine, and thus inverted transfer. 성형기는 용융된 기판물질을 스템퍼 쪽으로 유입하고 그 유입되어진 기판물질이 응고되게 함으로써 디스크 기판을 복제하게 된다. The molding machine is introduced into the system, the molten substrate material spread and coagulated by allowing the substrate material been introduced that is replicated to the disc substrate. 이렇게 복제되어진 디스크 기판에는 디스크 원반 상의 프리피트들과 동일한 형태를 가지는 프리피트들이 형성되게 된다. This disk substrate has been replicated will be pre-pits having a same shape as the pre-pit on the master disk are formed. 마지막으로, 기록층 및 반사막과 그리고 반사막의 열화를 방지하기 위한 보호층 등이 프리피트들이 형성되어진 디스크 기판 상에 순차적으로 적층됨으로써 광 디스크가 완성되게 된다. Finally, the recording layer and the reflective film and the sequentially stacked on a disk substrate on which a protective layer to form a pre-pit for preventing the deterioration of the reflecting film whereby the optical disc is to be completed. 이러한 광디스크의 제조 공정은 일반화된 CD-ROM을 비롯한 DVD-ROM 등의 재생 전용 디스크는 물론 CD-R(Recordable), DVD-R 등의 WORM(Write Once Read Many) 타입의 한 번 기록 가능한 디스크와 CD-RW(Rewritable), DVD-RAM 등의 재기록 가능한 디스크에도 적용되고 있다. Manufacturing process of the optical disc is a read-only disc such as a DVD-ROM, including a generalized CD-ROM, as well as CD-R (Recordable), DVD-R, such as WORM (Write Once Read Many) once recording type discs and CD-RW (rewritable), is applied to a rewritable disc such as a DVD-RAM.

또한, 통상의 광디스크의 기록영역은 동심원의 트랙들 하나 또는 두 개의 나선형 트랙을 가지게 된다. In addition, the recording area of ​​a conventional optical disk is to have one of the concentric tracks or a spiral of two tracks. 이러한 트랙들은 정확한 추종 제어가 가능하게끔 산(Land)과 골(Groove)의 구조를 가진다. These tracks have the structure of the acid (Land) and bone (Groove) hagekkeum a correct tracking control is possible. 이들 산과 골의 트랙들 역시 프리피트와 동일하게 전술한 제조방법에 의하여 형성되게 된다. These peaks and valleys of the tracks are to be formed also by the manufacturing method in the same manner described above with pre-pits.

나아가, 광디스크는 동영상과 같은 대용량의 정보를 기록할 수 있게끔 점차적으로 높은 기록밀도를 가지는 추세에 있다. Further, the optical disk is in a trend that has a progressively higher recording density with itgekkeum can record a large amount of information such as video. 실제로, CD는 1.6㎛의 트랙피치와 0.69㎛의 최소 피치 길이를 가지는 반면에 CD에 비하여 월등한 기록용량을 가지는 DVD는 0.74㎛의 트랙 피치와 0.45㎛의 최소 피트 길이를 가진다. In fact, the CD DVD having a recording capacity superior compared to the CD having the track while the minimum pitch length of the pitch and the 0.69㎛ 1.6㎛ has a minimum pit length of the track pitch of the 0.74㎛ 0.45㎛. 이를 통하여, DVD가 CD 보다 매우 높은 기록밀도를 가진다는 것을 알 수 있다. Through this, it can be seen that a DVD has a still higher recording density than the CD. 광 디스크의 기록밀도를 더 높이기 위하여, 짧은 파장의 광원 (즉, 블루 레이저 등)을 이용하거나 대물렌즈의 개구수(NA)를 크게 하는 방안이 연구·개발되고 있다. In order to increase the recording density of an optical disc further, using the short light source (that is, blue laser, and so on) a wavelength, or there is a scheme for increasing the numerical aperture (NA) of the objective lens and the research and development. 이렇게 기록 밀도가 높아짐에 따라 광디스크의 트랙피치 및 피트 길이가 점차적으로 작아지게 되므로, 마스터 디스크의 제조는 높은 정밀도를 요구하게 된다. To do this, because the recording density becomes the track pitch and pit length of the optical disk gradually decreases along with an increase in, the production of master discs is required for high accuracy.

그러나, 노광펄스의 폭, 즉 레이저 빔의 조사기간은 프리피트의 길이 뿐만 아니라 프리피트의 폭도 변화시키게 된다. However, the investigation period in the width, i.e., the laser beam of the exposure pulse is thereby as well as the length of the pre-pit change the width of pre-pits. 실제로, 10T의 폭을 가지는 노광펄스에 의해 형성되어진 긴 길이의 프리피트(7)의 폭은 도 1에서와 같이 3T 및 4T의 폭을 가지는 노광펄스들에 의해 형성되어진 짧은 길이의 프리피트들(1,3)의 폭 보다 넓게 된다. In practice, the width of the short-length pre-pit been formed by the exposure pulse having a width of 3T and 4T, as shown in Figure 1 of the longer length of the pre-pits (7) been formed by an exposure pulse having the width of 10T ( is wider than the width of 1, 3). 이는 포토 레지스트 막상에 조사되는 레이저 빔의 파워(또는 세기)가 노광펄스의 폭에 비례하는 것에 기인한다. This is due to the power (or intensity) of the laser beam to be irradiated to the film photoresist which is proportional to the width of the exposure pulse. 실제로, 노광펄스의 폭이 좁아지면 포토 레지스트 막 상에 조사되는 레이저 빔의 파워가 약해지는 반면에 노광펄스의 길이가 길어지면 포토 레지스트 막에 조사되는 레이저 빔의 파워가 강하게 된다. In fact, when the length of the exposure pulse is lengthened, whereas the exposure pulse width becomes smaller when the power of the laser beam is irradiated on the photoresist film about the power of the laser beam irradiated on the photoresist film it is strong. 이러한 레이저 빔에 의하여, 프리피트의 폭(W)은 도 2 에서와 같이 프리피트의 길이가 5T에 도달할 때까지 점차적으로 넓어지고 프리피트가 5T 보다 긴 길이를 가지는 경우에는 일정한 폭을 가지게 된다. With this laser beam, the width (W) of the pre-pit has a length of pre-pits as shown in Figure 2 is widened gradually, until reaching a 5T when the pre-pit having a length greater than 5T there are have a constant width . 이와 같은 길이에 대한 프리피트의 폭의 변화는 기록밀도가 높아질수록 더욱 더 커지게 된다. Changes in the pre-pit width on this length becomes further larger the higher the recording density. 이로 인하여, 노광펄스에 응답하는 레이저 빔은 기록밀도가 높아지게 됨에 따라 원하는 폭과 길이를 가지는 프리피트들을 생성시키기 곤란하게 된다. Due to this, the laser beam responsive to the pulse exposure is difficult to produce the pre-pit having a desired width and length as the higher the recording density. 또한, 기록밀도가 높아질수록 프리피트의 폭이 더욱 더 좁아지므로 좁은 폭의 프리피트로부터는 재생 가능한 레벨의 재생신호가 검출될 수 없게 된다. Also, the higher the recording density of the pre-pit width is not from the pre-pits of narrow width becomes more narrow are to be detected are a reproduced signal of the reproduction levels. 이로 인하여, 기록밀도가 높은 디스크로부터 재생되어진 재생신호에는 에러가 발생될 수밖에 없다. Due to this, there is no choice but to be an error occurs been reproduced signal reproduced from the high recording density disc. 이러한 재생 에러는 프리피트가 일정한 크기 이상의 길이를 가지게 하여 디스크가 높은 기록 밀도를 가질 수 없게 한다. This reproduction error by the pre-pits have a length more than a predetermined size to prevent the disc may have a higher recording density.

따라서, 본 발명의 목적은 높은 기록밀도의 광 디스크를 제공함에 있다. Accordingly, it is an object of the present invention to provide an optical disk of a high recording density.

본 발명의 다른 목적은 높은 기록밀도의 광 디스크를 제조하기에 사용될 디스크 원반과 그 제조 방법 및 장치를 제공하는데 있다. It is another object of the present invention there is provided a mother disc and a manufacturing method and apparatus used to manufacture an optical disk of a high recording density.

도 1은 종래의 마스터 디스크에 형성되어진 프리피트 열을 도시하는 도면. 1 is a diagram showing a pre-pit row been formed with the conventional master disks.

도 2는 레이저 빔에 의해 형성되는 피트 길이와 피트 폭의 관계를 나타내는 특성도. Figure 2 is a characteristic diagram showing the relation between the pit length and a pit width formed by the laser beam.

도 3은 본 발명에 따른 디스크 원반에 형성되는 프리피트열을 도시하는 도면. Figure 3 is a diagram illustrating a pre-pit string formed on the master disk according to the present invention.

도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 광 디스크의 트랙 구조를 도시하는 도면. Figure 4 is a diagram showing the track structure of an optical disc according to an embodiment of the invention.

도 5는 도 4의 광디스크의 제조시 노광면에 조사될 광 스폿의 주사 경로를 도시하는 도면. Figure 5 is a view showing a scanning path of the light spot irradiated on the exposure surface during manufacture of the optical disk of Fig.

도 6은 해더영역을 가지는 광 디스크 제조시 사용되는 노광펄스의 파형도. Figure 6 is a waveform chart of the exposure pulse used in the manufacture of an optical disk having a header region.

도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 광 디스크의 트랙 구조를 도시하는 도면. 7 is a diagram showing the track structure of an optical disc according to another embodiment of the present invention.

도 8은 도 7의 광디스크의 제조시 노광면에 조사될 광 스폿의 주사 경로를 도시하는 도면. Figure 8 is a view showing a scanning path of the light spot irradiated on the exposure surface during manufacture of the optical disk of Fig.

도 9는 본 발명의 실시예에 따른 광 디스크의 트랙 구조를 도시하는 도면. 9 is a diagram showing the track structure of an optical disc according to an embodiment of the invention.

도 10은 도 9의 광디스크의 제조시 노광면에 조사될 광 스폿의 주사 경로를설명하는 도면. 10 is a view for explaining the scanning path of the light spot irradiated on the exposure surface during manufacture of the optical disk of Fig.

도 11은 본 발명의 실시예에 따른 마스터 디스크의 제조장치를 도시하는 블럭도. Figure 11 is a block diagram showing an apparatus for manufacturing a master disk according to an embodiment of the invention.

도 12는 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스터 디스크의 제조장치를 도시하는 블럭도. Figure 12 is a block diagram showing an apparatus for manufacturing a master disk according to another embodiment of the present invention.

도 13은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스터 디스크의 제조장치를 도시하는 블럭도. 13 is a block diagram illustrating an apparatus for manufacturing a master disk according to still another embodiment of the present invention.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 > <Description of the Related Art>

1,3,5,7,11,13,15,17,25 : 프리피트 11A,13A,15A,17A : 상부 피트 1,3,5,7,11,13,15,17,25: prepit 11A, 13A, 15A, 17A: upper foot

11B,12B,13B,15B,17B : 하부 피트 21 : 산의 트랙 11B, 12B, 13B, 15B, 17B: lower pit 21: track of the acid

23 : 골의 트랙 25A : 골의 트랙용 프리피트 23: Track bone 25A: pre-pit track for the goal

25B : 산의 트랙용 프리피트 20 : 기판 25B: 20 ​​for the pre-pit tracks in the acid: substrate

20A : 포토 레지스트막 22 : 스핀들 모터 20A: the photoresist film 22: a spindle motor

24 : 레이저 공진기 26 : 빔 확장기 24: Laser oscillator 26: beam expander

28,32,34,50,54 : 반사미러 30,52 : 광변조기 28,32,34,50,54: reflecting mirrors 30,52: light modulator

36 : 광편향기 38 : 대물렌즈 36: light deflector 38: The objective lens

40 : PLL 42 : 카운터 40: PLL 42: Counter

44 : 래치 46,56 : 기록 처리부 44: latch 46,56: the recording processing unit

48,48A,58 : 제어부 48,48A, 58: control section

상기 목적들을 달성하기 위하여, 본 발명의 광디스크는 폭이 길이보다 큰 피트를 구비한다. In order to achieve the above object, an optical disc of the present invention is provided with a width larger than the pit length.

본 발명의 광디스크는 노광기로부터 발생된 광빔으로 마스터 디스크의 포토 레지스트막을 적어도 2 회 반복 노광하여 마스터 디스크 상에 피트를 형성하고 마스터 디스크를 이용하여 피트가 형성된 스템퍼를 제작한 다음, 스템퍼를 성형기에 설치한 후에 성형기 내에 기판물질을 주입 및 응고시킴으로써 피트가 형성되는 것을 특징으로 한다. The optical disc of the present invention is one in at least the exposure two times by a light beam generated from the exposure device film on the master disk photoresist to form a pit on a master disk to manufacture a stamper pits are formed by using the master disk, and then, molding the stamper after installation by the injection and solidification of the substrate material in the molding machine it is characterized in that the pits are formed.

본 발명의 광디스크는 노광기로부터 동시에 발생되는 적어도 2 개의 광빔으로 마스터 디스크의 포토 레지스트막을 노광하여 마스터 디스크 상에 피트를 형성하고 마스터 디스크를 이용하여 피트가 형성된 스템퍼를 제작한 다음, 스템퍼를 성형기예 설치한 후에 성형기 내에 기판물질을 주입 및 응고시킴으로써 피트가 형성되는 것을 특징으로 한다. The optical disc of the present invention is one at least second exposure of light beams to prevent the photoresist on the master disk is generated at the same time from the exposure device to form a pit on a master disk to manufacture a stamper pits formed by using the master disk, and then, forming a stamper by injection and solidification of the substrate material in a molding machine after arts installation it is characterized in that the pits are formed.

본 발명에 따른 마스터 디스크의 제조 방법은 노광기에서 광빔을 발생하는 단계와, 광빔으로 마스터 디스크의 포토 레지스트막을 적어도 2 회 반복 노광하여 마스터 디스크 상에 피트를 형성하는 단계를 포함한다. The manufacturing method of a master disc according to the invention comprising at least two times the exposure of the master disc with the photoresist film; and the light beam for generating a light beam from the exposure device to form a pit on a master disk.

본 발명에 따른 마스터 디스크의 제조 방법은 마스터 디스크용 기판을 마련하는 단계와, 마스터 디스크용 기판 상에 포토 레지스트막을 성막하는 단계와, 노광기에서 적어도 2 개의 광빔을 동시에 발생하는 단계와, 적어도 2 개의 광빔으로 상기 포토 레지스트막을 동시에 노광하여 상기 마스터 디스크 상에 피트를 형성하는 단계를 포함한다. Method of manufacturing a master disk according to the invention comprising the steps of: providing a substrate for the master disc, the method comprising the steps of forming on for the master disk substrate a photoresist film, generating at least two light beams at the same time in the exposure machine, at least two the exposure light beam to the photo-resist film at the same time, forming a pit on the master disk.

본 발명에 따른 마스터 디스크의 제조 장치는 마스터 디스크용 기판과, 마스터 디스크용 기판 표면에 형성되는 포토 레지스트막과, 포토 레지스트막을 적어도 2 회 반복 노광하여 마스터 디스크 상에 피트를 형성하는 노광수단을 구비한다. Apparatus for manufacturing a master disk according to the present invention comprises an exposure means for the photoresist film and is formed on and for the master disk substrate, the surface of the substrate for the master disc, the photoresist film is at least two times the exposure to form a pit on a master disk, do.

본 발명에 따른 마스터 디스크의 제조 장치는 마스터 디스크용 기판과, 기판 표면에 형성되는 포토 레지스트막과, 적어도 2 개의 광빔을 동시에 발생하고 상기 적어도 2 개의 광빔으로 상기 포토 레지스트막을 노광하여 상기 마스터 디스크 상에 피트를 형성하는 노광수단을 구비한다. Apparatus for manufacturing a master disk according to the present invention on the master disk to generate a photoresist film and formed on and for the master disk substrate, a substrate surface, at least two light beams at the same time, and the photo-resist exposed film into the at least two light beams to be provided with exposure means for forming the pits.

상기 목적들 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부한 도면들을 참조한 실시예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다. Other objects and features of the invention in addition to the above-mentioned object will be revealed clearly through the description of the embodiments with reference to the accompanying drawings.

이하, 도 3 내지 도 13을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하기로 한다. With reference to Figures 3 to 13, the present will be described with respect to preferred embodiments of the invention.

도 3은 본 발명에 따른 마스터 디스크에 형성되어진 프리피트열(PT)을 도시한다. Figure 3 illustrates a pre-pit train (PT) been formed on the master disk according to the present invention. 도 3의 프리피트열(PT)에는, 길이와 무관하게 일정한 폭(W)을 가지는 제1 내지 제4 피트들(11,13,15,17)이 포함되어 있다. Pre-pit sequence (PT) in Figure 3, there are the first to fourth pits having a constant regardless of the width (W) and length (11,13,15,17) it includes a.

이들 제1 내지 제4 피트들(11,13,15,17) 각각은 트랙피치 (W)의 절반에 해당하는 직경을 가지는 광 스폿이 노광펄스열(EP)에 따라 단속되는 형태로 더불 스캔 됨에 의해 형성되게 된다. As by these first to fourth pits (11,13,15,17) each in the form deobul a light spot having a diameter corresponding to half the track pitch (W) to be interrupted in accordance with the exposure pulse (EP) Scan It is to be formed. 이를 상세히 하면, 트럭피치의 절반에 해당하는 광 스폿이 노광펄스열에 따라 단속적으로 스캔 됨으로써 제1 내지 제4 상부 피트들(11A,13A,15A,17A)이 형성된다. Specifically this, the first to fourth upper foot (11A, 13A, 15A, 17A) being a light spot corresponding to half of the track pitch of the intermittent scanning exposure based on the pulse train is formed. 그리고 제1 내지 제4 하부 피트들(11B,13B,15B,17B)은 광 스폿이 노광펄스열(EP)에 따라 단속되는 형태로 재 스캔 됨에 의해 생성되게 된다. And first to fourth lower foot (11B, 13B, 15B, 17B) is to be generated by being re-scanned to form a light spot that is interrupted in accordance with the exposure pulse (EP). 이렇게 제1 내지 제4 상부 피트들(11A,13A,15A,17A)이 제1 내지 제4 상부 피트들(11A,13A,15A,17A) 각각에 인접하게 형성됨으로써 길이와 무관하게 일정한 폭(W)을 가지는 제1 내지 제4 피트들(11,13,15,17)이 마련되게 된다. Thus the first to fourth upper pits (11A, 13A, 15A, 17A) is the first to fourth upper pits (11A, 13A, 15A, 17A) formed adjacent to each being independently of the length of a predetermined width (W ) is the first one to the fourth foot (11,13,15,17) having a is to be provided. 이러한 제1 내지 제4 피트들(11,13,15,17)을 가지는 마스터 디스크를 제조하기 위해서는, 기판 상에 포토 레지스트 막이 성막되게 된다. In order to produce such a master disk having the first to fourth pits (11,13,15,17), it is presented a photoresist film is formed on the substrate. 트랙피치의 절반에 해당하는 직경을 가지는 스폿의 광빔이 노광펄스(EP)에 의해 단속되는 형태로 포토 레지스트 막의 시작점으로부터 트랙의 진행방향을 따라 조사됨으로써, 제1 내지 제4 상부 피트들(11,13,15,17)이 트랙의 상반부에 형성되게 된다. S by being irradiated to form a light beam spot having a diameter corresponding to half the track pitch to be interrupted by an exposure pulse (EP) from the photoresist film, the starting point along a traveling direction of the track, the first to fourth upper foot (11, 13,15,17) is formed at the upper half of the track. 이어서, 트랙피치의 절반에 해당하는 직경을 가지는 스폿의 광빔이 노광펄스(EP)에 의해 단속되는 형태로 포토 레지스트 막의 시작점으로부터 트랙의 진행방향을 따라 재조사됨으로써, 제1 내지 제4 하부 피트들(11B,13B,15B,17B)이 트랙의 하반부에 형성되게 된다. Then, in being re-examination in accordance with the direction of the track from the photoresist film, the starting point to form a light beam spot having a diameter corresponding to half the track pitch to be interrupted by an exposure pulse (EP), the first to fourth lower foot ( 11B, 13B, 15B, 17B) is formed at the lower half of the track. 제1 내지 제4 상부 피트들(11A,13A,15A,17A)과 인접하게 제1 내지 제4 하부 피트들(11B,13B,15B,17)이 형성됨으로 동일한 폭의 피트들을 가지는 피트 열 패턴이 마련되게 된다. The pit string pattern having first through fourth upper pits (11A, 13A, 15A, 17A) and adjacent to the first to fourth bottom pits (11B, 13B, 15B, 17) feet of the same width as the formed is It is to be provided. 이 피트 열 패턴에 포함되어진 제1 내지 제4 피트들(11,13,15,17) 각각은 노광펄스(EP)의 폭에 해당하는 3T, 4T, 5T 또는 10T의 길이를 가지게 된다. A row of pits in the first to four feet that is included in a pattern (11,13,15,17) each of which have a length of 3T, 4T, 5T or 10T corresponding to the width of the exposure pulse (EP).

이러한 공정에 의해 기판 상에 형성되어진 프리피트 패턴이 반전·전사 됨으로써 성형기에 설치될 스탬퍼가 마련되게 된다. By the pre-pit pattern is reverse-transcription been formed on the substrate by this process a stamper is installed on a molding machine is to be provided. 스탬퍼가 설치되어진 성형기는 용융되어진 기판 물질을 스탬퍼쪽으로 유입하고 그 유입되어진 기판물질을 응고시킴으로써 프리피트 패턴을 가지는 디스크 기판이 복제되게 한다. Been molding stamper is installed is to be introduced to the substrate material into the molten been stamper and a disk substrate having a pre-pit pattern replication by solidification of the substrate material that been introduced. 이렇게 복제된 디스크 기판 상에 기록층, 반사막 및 보호층 등이 순차적으로 적층됨으로써 광 디스크가 산출되게 된다. This replicated the recording layer on the disk substrate, a reflective film and a protective layer are sequentially stacked such as by being an optical disk is to be calculated. 이와 같이 제조되어진 광 디스크 상에는 길이 (L)에 비하여 폭(W)이 큰 피트, 즉 제1 피트(11)가 존재할 수 있다. Thus a large width (W) than that formed on the optical disk been produced the length (L) feet, that may be present in the first foot (11). 다시 말하여, 좁은 폭의 노광펄스에 의해 생성되어진 제1 피트(11)는 길이(L) 보다 큰 폭을 가질 수 있다. A first foot (11) been words, produced by the exposure pulse of narrow width can have a width greater than the length (L). 이렇게 길이 보다 큰 폭을 가지는 피트는 길이에 비해 작은 폭과 동일한 길이를 가지는 피트들 보다 반사 광량이 커지게 한다. This length than the feet has a greater width is the amount of reflected light becomes greater than the pit having a length equal to a width smaller than the length. 이에 따라, 길이에 비해 큰 폭을 가지는 피트로부터는 재생되기에 충분한 레벨의 신호가 얻어지게 된다. Accordingly, from the feet having a greater width than the length becomes a sufficient level signal obtained in playing. 이러한 관점에서, 광 디스크 상에 형성되는 피트의 길이가 최소화 될 수 있고 나아가 높은 밀도의 광 디스크가 구현 될 수 있다. In view of this, the length of the pit formed on the optical disc can be minimized, and a further higher density of the optical disk can be implemented. 또한, 산 및 골의 트랙이 기록영역으로 광 디스크에 마련되는 경우에, 산 또는 골의 트랙도 프리피트열과 동일하게 적어도 2회 이상 반복 노광함에 의해 형성되게 된다. Further, it is to be a track of a mountain and a valley formed by the case provided to the optical disk in the recording area, mountain, or bone tracks are pre-pit same at least two or more times repeats of the heat exposure. 이와는 달리, 프리피트열(PT)은 반복 노광에 의해 형성되는 반면에 산 또는 골의 트랙은 종래와 동일하게 한 번의 노광에 의해 형성될 수도 있다. Alternatively, the pre-pit sequence (PT) is a track of an acid or a bone on the other hand are formed by repeated exposure may be formed by a single exposure as in the prior art.

도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 광디스크를 도시한다. Figure 4 shows an optical disc according to an embodiment of the invention. 도 4의 광 디스크는 나란하게 형성되어진 나선형의 산과 골의 트랙들(21,23)을 가진다. A view of the optical disk 4 has the tracks 21 and 23 of the spiral ridge and valley been formed side by side. 이들 산과 골의 트랙들(21,23)중 산의 트랙(21)은 사용자 정보를 기록하기 위한 기록영역(RZ)으로 사용되고 나머지 골의 트랙(23)은 광빔을 안내하게 된다. Track 21 of the acid of which acid and the tracks of the bone 21 and 23 is used as the recording region (RZ) for recording user information track 23 of the other goal is to guide a light beam. 이러한 산의 트랙(21)은트랙방향(즉, 원주방향)에서 프리피트열(25)과 교번되게 된다. Tracks of this acid (21) is to be alternately open and pre-pits 25 in the track direction (i.e., circumferential direction). 이 프리피트열(25)은 산의 트랙(21)의 중심선을 따라 형성된다. The pre-pit arrays 25 is formed along the center line of the track 21 of the mountain. 이러한 프리피트열(25)은 산의 트랙(21), 즉 기록영역의 물리적인 위치에 대한 식별정보를 포함하여 기록영역(RZ)의 물리적인 위치를 지시하는 해더영역(HDZ)으로 사용되게 된다. These pre-pits column 25 is presented, including the identification information on the track 21 of the mountain, that is, the physical position of the recording area using the header area (HDZ) indicating a physical position of the recording region (RZ) . 프리피트열(25)에는 길이 보다 큰 폭을 가지는 도 3의 제1 프리피트(11)와 같은 프리피트들이 포함되게 된다. Pre-pit arrays 25 is to be more than the pre-pit as in the first pre-pits 11 of FIG. 3 having a large width to length included. 다시 말하여, 프리피트의 길이가 짧아짐과 아울러 프리피트의 폭이 넓어지게 된다. In other words, the length of the pre-pits becomes shorter and wider as well as the prepit width. 이에 따라, 도 4의 광 디스크의 산의 트랙(21)은 높은 기록 밀도를 가지게 된다. Accordingly, the track 21 of an acid of the optical disc of Figure 4 is to have a high recording density. 이러한 광 디스크를 제조하기 위하여, 2중 노광법이 디스크 원반의 제작 시에 적용되게 된다. For the production of such an optical disc, the exposure method of the two is to be applied during the production of the master disk. 이중 노광법은 1 트랙 분의 산의 트랙들(21)과 프리피트열들(25)을 형성하기 위하여 기판 상에 도포되어진 포토 레지스트 막 상에 2 회전씩 광 스폿이 스캔 되게 한다. Double exposure method will be a light spot by two rotation scans the photoresist film onto been applied onto the substrate to form the tracks of the one track of the acid 21 and the pre-pit train (25). 이러한 이중 노광법은 도 4에 도시된 바와 같이, 기수 번째 회전 트레이스가 종료될 때마다 5/2 트랙폭만큼 내주 쪽으로 광 스폿을 이동시킴과 아울러 우수 번째 회전 주사가 종료될 때마다 1/2 트랙폭만큼 외주 쪽으로 광 스폿을 이동시킨다. The double exposure method, the odd-numbered rotational traces each time the end each time and Sikkim move the light spot toward the inner periphery by 5/2 the track width as well as excellent shutdown second rotary scan half track, as shown in Figure 4 width to move the light spot toward the outer periphery by. 기수 번째 회전 주사시에 광 스폿은 산의 트랙의 외주변으로부터 내주 쪽으로 폭의 1/4 만큼 떨어진 제1 주사라인(SL1)을 따라 진행하게 되는 한편 우수 번째 회전 주사시에는 광 스폿은 산의 트랙의 외주변으로부터 내주 쪽으로 폭의 3/4 만큼 떨어진 제2 주사라인(SL2)을 따라 진행하게 된다. When odd-numbered scanning rotation when the light spot is scanning the first line (SL1) to the second rotation while excellent injection is to proceed according away 1/4 of the width toward the inner circumference from an outer periphery of the track, the light spot is track acid of the acid from an outer periphery of the to proceed along the second scan line (SL2) is spaced apart by 3/4 of the width toward the inner circumference. 이러한 광 스폿의 이동상태는 도 5와 같이 표시될 수 있다. Moving state of these light spots can be displayed as shown in FIG. 실제로, i번째와 i+1번째 트랙이 형성될 때 광 스폿은 2i-1번째 스타트 지점(ST1i-1)으로부터 제1 스캔라인을 따라 진행하여 2i+1번째 스타트 지점(ST2i+1)에 도달하게 됨으로써 2i-1번째 회전 스캔이 완료되게 한다. In fact, i-th and (i + 1) th track is reached when forming the light spot is 2i-1-th start point (ST1i-1) The traveling along the first scan line and 2i + 1-th start point (ST2i + 1) from it being to be complete, the 2i-1 beonjjae rotational scan. 2i-1번째 회전 스캔이 완료된 때, 광 스폿은 2i+1번째 스타트 지점(ST2i+1)으로부터 2i번째 스타트 지점(ST2i)으로 이동되게 된다. When the 2i-1-th scan rotation is completed, the light spot is to be moved to the 2i-th start point (ST2i) from the 2i + 1-th start point (ST2i + 1). 즉, 2i-1번째 회전 스캔이 완료된 때에 광 스폿은 2/5의 트랙 폭 만큼 내측 트랙 쪽으로 이동되게 된다. That is, when the 2i-1 beonjjae rotation scan is complete light spot is to be moved toward the inner track by 2/5 of the track width. 이어서, 광 스폿은 2i번째 스타트 지점(ST2i)으로부터 제2 스캐닝라인(SL2)을 따라 진행하여 2i+2번째 스타트 지점(ST2i+2)까지 도달함으로써 2i번째 회전 스캔를 완료하게 된다. Then, the light spot is completed 2i-th rotation seukaenreul by reaching the second scanning line proceeds along the (SL2) 2i + 2-th start point (ST2i + 2) from the 2i-th start point (ST2i). 이러한 2회의 회전스캔에 의하여, i번째 산과 골의 트랙(21,23)이 패턴화되게 된다. With this two times of rotation scans the track 21 and 23 of the i-th ridge and valley is to be patterned. 2i번째 회전 스캔 후, 광 스폿은 1/2의 트랙 폭 만큼 외측 트랙 쪽으로 이동하여 2i+1번째 회전 스캔이 시작될 수 있게 한다. After 2i-th rotation scan, the light spot moves toward the outer track by a half track width enables the start of the 2i + 1-th scan rotation. 이렇게 2회전 스캔이 진행되는 동안, 광 스폿은 도 6에서와 같은 노광펄스신호(EPS)에 의해 단속되게 된다. So while the second rotary scanning proceeds, the light spot is to be interrupted by an exposure pulse signal (EPS), as in Fig. 도 6을 참조하면, 노광펄스신호(EPS)는 해더영역(HDZ)에서 하이논리와 로우논리를 반복적으로 가지게 되는 반면에 기록영역(RZ)에서는 하이논리를 가지게 된다. 6, the exposure pulse signal (EPS) will have the high logic in the recording region (RZ) on the other hand it had a high logic and the low logic repeatedly in the header area (HDZ). 이에 따라, 광 스폿도 해더영역(HDZ)에서는 단속적으로 포토 레지스터 막에 조사되게 되는 반면에 기록영역(RZ)에서는 연속적으로 조사되게 된다. Accordingly, the light spot also header area (HDZ) in the photoresist film intermittently recording region (RZ), while being irradiated to be irradiated continuously. 이와 같이, 포토 레지스터 막에 조사되는 광 스폿이 스위칭 됨으로써 산과 골의 트랙과 프리피트들이 형성되게 된다. Thus, the light spot irradiated on the photoresist film is to be switched by being tracks and pre-pits of the peaks and valleys are formed.

도 7은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 광 디스크를 도시한다. Figure 7 shows the optical disk according to another embodiment of the present invention. 도 7의 광디스크는 DVD-RAM으로 사용되게 된다. The optical disc of Figure 7 is to be used as a DVD-RAM. 도 7의 광 디스크는 나란하게 형성되어진 나선형의 산과 골의 트랙들(21,23)을 가진다. A view of the optical disc 7 has a spiral ridge and valley of the track of been formed side by side (21 and 23). 이들 산과 골의 트랙들(21,23) 모두는 사용자 정보를 기록하기 위한 기록영역(RZ)으로 사용되게 된다. These peaks and valleys of the tracks 21 and 23 all of which are to be used as the recording region (RZ) for recording user information. 이러한 산과 골의 트랙들(21,23) 각각은 트랙방향(즉, 원주방향)에서 프리피트열(25)과 교번되게 된다.프리피트열(25)은 골의 트랙용 제1 프리피트열(25A)과 산의 트랙(23)용 제2 프리피트열(25B)로 구성된다. The acid and the tracks of the bone 21 and 23 each of which is to be pre-pit arrays 25 and alternating in the track direction (i.e., circumferential direction). Prepit column 25 is first pre-pit string for the track of a bone ( 25A) and comprises a second pre-pit row (25B) for the track (23) of the mountain. 제1 프리피트열(25A)은 산의 트랙(21)의 외주쪽 경계변을 따라 형성되는 반면에 제2 프리피트열(25B)은 산의 트랙(21)의 내주쪽 경계변을 따라 형성된다. A first pre-pit column (25A) is a second free, while being formed along the outer circumference side border side of the track 21 of the acid pit row (25B) are formed along the inner circumference side border side of the track 21 of the acid . 이러한 제1 및 제2 프리피트열(25A,25B)은 산과 골의 트랙들(21,23), 즉 기록영역의 물리적인 위치에 대한 식별정보를 포함하여 기록영역(RZ)의 물리적인 위치를 지시하는 해더영역(HDZ)으로 사용되게 된다. The first physical locations of the first and second pre-pit columns (25A, 25B) are the tracks of the peaks and valleys 21 and 23, that is, the recording area (RZ), including the identification information about the physical location of the record area It is to be used as a header area (HDZ) indicative. 또한, 제1 프리피트열(25A)이 형성되어진 영역은 골의 해더영역(GHD)이라 불리며 제2 프리피트열(25B)이 형성되어진 영역은 산의 해더영역(LHD)이라 불린다. Further, the first referred to as a pre-pit column (25A) a zone been formed is called a header area (GHD) of bone second pre-pit string (25B) This area header area (LHD) of the mountain been formed. 프리피트열(25)에는 길이 보다 큰 폭을 가지는 도 3의 제1 프리피트(11)와 같은 프리피트들이 포함되게 된다. Pre-pit arrays 25 is to be more than the pre-pit as in the first pre-pits 11 of FIG. 3 having a large width to length included. 다시 말하여, 프리피트의 길이가 짧아짐과 아울러 프리피트의 폭이 넓어지게 된다. In other words, the length of the pre-pits becomes shorter and wider as well as the prepit width. 이에 따라, 도 7의 광 디스크의 산과 골의 트랙들(21,23) 모두는 높은 기록 밀도를 가지게 된다. In this way, the tracks of the peaks and valleys of the optical disk of Fig 21 and 23 all of which are have a high recording density. 이러한 광 디스크를 제조하기 위하여, 2중 노광법이 마스터 디스크 제작 시에 적용되게 된다. For the production of such an optical disc, the exposure method of the two is to be applied at the time of manufacturing the master disk. 이중 노광법은 1트랙 분의 산의 트랙들과 프리피트열들(25)을 형성하기 위하여 기판 상에 도포되어진 포토 레지스트 막 상에 2회전씩 광 스폿이 스캔 되게 한다. Double exposure method will be a light spot by two rotation scans the photoresist film onto been applied onto the substrate to form the acid of the track and the pre-pit string in the one track (25). 이러한 이중 노광법은 도 7에 도시된 바와 같이, 기수 번째 회전 스캔이 종료될 때마다 5/2 트랙만큼 내주쪽으로 광 스폿을 이동시킴과 아울러 우수 번째 회전 스캔이 종료될 때마다 1/2 트랙폭만큼 외주쪽으로 광 스폿을 이동시킨다. This double exposure method is a described above, one-half track width each time the rotation odd-numbered scan is 5/2 track by moving the light spot toward the inner periphery as well as superior Sikkim and second rotating scanning each time the end is finished shown in Fig. 7 as the light spot moves toward the outer circumference. 광 스폿이 산의 트랙(21)에서 골의 해더영역(GHD)으로 진입할 경우와 산의 해더영역(LHD)으로부터 산의 트랙(21)으로 진입할 경우, 광 스폿은 1/2의 트랙 폭 만큼 외주쪽으로 이동되게 된다. If the light spot has entered the case enters the header area (GHD) of bone on the track 21 of the acid and from the header area (LHD) of the acid in the track 21 of the acid, the light spot is track width of 1/2 as is to be moved toward the outer periphery. 이와는 달리, 골의 해더영역(GHD)으로부터 산의 해더영역(LHD) 쪽으로 진입할 경우에 광 스폿은 1/2의 트랙 폭 만큼 내주쪽으로 이동되게 된다. Alternatively, the light spot when it enters into the header region (LHD) of the acid from the header area (GHD) of bone is to be moved toward the inner periphery by the track width of one-half. 골의 해더영역(HDZ) 기록영역(RZ)이 먼저 시작된다고 할 경우, 이중 노광법은 기수 번째 회전 스캔이 종료될 때마다 2 트랙 폭 만큼 내주쪽으로 광 스폿을 이동시킴과 아울러 우수 번째 회전 스캔이 종료될 때마다 1 트랙 폭 만큼 외주쪽으로 광 스폿을 이동시킨다. If that goal header area (HDZ) recording area of ​​the (RZ) is started, first, the double exposure method is odd rotation scan each time the end Sikkim move the light spot toward the inner periphery by 2 track width as well as superior the second rotational scan is whenever a shutdown by one track width to move the light spot toward the outer periphery. 또한, 이중 노광법은 하나의 트랙을 형성하기 위하여 광 스폿이 제1 내지 제4 스캐닝라인(SL1 내지 SL4)을 선택적으로 따라 가게 한다. Further, the double exposure method will be optional in accordance with the store the light spot first to fourth scanning lines (SL1 to SL4) so ​​as to form a single track. 여기서, 제1 스캐닝라인(SL1)은 산의 트랙(21)의 외주변으로부터 내주쪽으로 1/4 트랙 폭 만큼 떨어지게 위치하고, 제2 스캐닝라인(SL2)은 산의 트랙(21)의 내주변으로부터 외주쪽으로 1/4 트랙 폭 만큼 떨어지게 위치한다. Here, the first scanning lines (SL1) is located outer circumferential apart by 1/4 track width toward the inner circumference from an outer periphery of the track 21 of the acid, the second scanning line (SL2) is from the inner periphery of the track 21 of the acid toward positioned apart by 1/4 the track width. 또한, 제3 스캐닝라인(SL3)은 산의 트랙(21)의 외주변으로부터 외주쪽으로 1/4 트랙 폭 만큼 떨어지게 위치하고, 제4 스캐닝라인(SL4)은 산의 트랙(21)의 내주변으로부터 외주쪽으로 5/4 트랙 폭 만큼 떨어지게 위치한다. Furthermore, the third scanning line (SL3) is positioned apart by the outer peripheral from an outer periphery of the track 21 of the acid 1/4 track width toward the outer circumference, the fourth scanning lines (SL4) is from the inner periphery of the track 21 of the acid toward positioned apart by 5/4 the track width. 이에 따라, 기수 번째 회전 스캔 시에 광 스폿의 스캐닝 경로는 제3 스캐닝라인(SL3), 제2 스캐닝라인(SL2) 및 제1 스캔닝라인(SL1)의 순서로 교번적으로 변경되게 된다. Thus, the scanning path of the light spot at the time of rotation odd-numbered scan is a third scanning line (SL3), a second scanning line are presented (SL2), and changes the first scanning line alternately in the order of (SL1) enemy. 우수 번째 회전 스캔 시에 광 스폿은 제1 스캐닝라인(SL1), 제4 스캐닝라인(SL4) 및 제3 스캐닝라인(SL3)을 순차적이고 교번적으로 스캔 하게 된다. The light spot at the time of solid-th rotation scan is the first scanning line (SL1), the fourth scanning lines (SL4) and a third scanning line (SL3) for sequentially and alternately scan. 실제로, i번째 산과 골의 트랙(21,23)을 형성하기 위하여 광 스폿은 도 8에서와 같이 이동 경로를 따라가게 된다. In practice, to form the track 21 and 23 of the i-th ridge and valley light spot will go along the movement path, as shown in Fig. 이를 상세히 하면, 2i-1번째 스타트 지점(ST1i-1)으로부터 1/2의 트랙 폭 만큼 외주쪽으로 이동하여 제3 스캐닝라인(SL3)을 스캔 함으로써 골의 해더영역(GHD)의 상반부를 형성하게 된다. Specifically this, by scanning a third scanning line (SL3) by moving toward the outer circumference by the track width of one-half from the 2i-1 beonjjae start point (ST1i-1) to form the upper half of the header area (GHD) of the bone . 골의 해더영역(GHD)의 끝지점에 도달했을 때, 광 스폿은 하나의 트랙폭 만큼 내주쪽으로 이동하여 제2 스캐닝라인(SL2)을 스캔 함으로써 산의 해더영역(LHD)의 상반부를 형성하게 된다. Once it has reached the end of the header region (GHD) of the bone, the light spot is by scanning the second scanning line (SL2) to move toward the inner circumference by one track width to form an upper half portion of the header region (LHD) of the acid . 이 산의 해더영역의 상반부가 형성된 때에 광 스폿은 1/2의 트랙 폭 만큼 외주쪽으로 이동하여 제1 스캐닝라인(SL1)을 스캔 함으로써 산의 트랙(21)의 상반부를 형성하게 된다. When the upper half portion of the header region of the acid formed in the light spot is formed the upper half of the track 21 of the acid by scanning the first scanning line (SL1) to move toward the outer periphery by the track width of one-half. 이렇게 광 스폿은 2i+1번째 스타트 지점이 도달될 때까지 제3, 제2 및 제1 스캐닝라인(SL3,SL2,SL1)을 순환적으로 스캔 함으로써 해더영역(HDZ)과 산의 트랙(21)의 상반부를 형성한다. Thus the light spot is the third, second and first scanning line tracks 21 of the (SL3, SL2, SL1), the header area (HDZ) and acid by scanning recursively until the 2i + 1 beonjjae start point is reached to form the upper half. i번째 산의 트랙(21)의 상반부가 형성된 때, 광 스폿은 2 트랙의 폭 만큼 내주쪽으로 이동하여 제1 스캐닝라인(SL1)을 스캔 함으로써 골의 해더영역(GHD)의 하반부를 형성하게 된다. When the i upper half portion of the track 21 of the second acid is formed, a light spot is formed a first lower half of the scanning line by scanning the (SL1) bone header area (GHD) of the movement toward the inner circumference as the width of the second track. 골의 해더영역(GHD)의 끝지점에 도달했을 때, 광 스폿은 하나의 트랙 폭 만큼 내주쪽으로 이동하여 제4 스캐닝라인(SL4)을 스캔 함으로써 산의 해더영역(LHD)의 하반부를 형성하게 된다. Once it has reached the end of the header region (GHD) of the bone, the light spot is by scanning the fourth scanning lines (SL4) to move toward the inner circumference by one track width to form the lower half of the header area (LHD) of the acid . 이 산의 해더영역의 하반부가 형성된 때에 광 스폿은 1/2의 트랙 폭 만큼 외주쪽으로 이동하여 제2 스캐닝라인(SL2)을 스캔 함으로써 산의 트랙(21)의 하반부를 형성하게 된다. When the lower half of the header area of ​​the acid formed in the light spot is formed the lower half of the track 21 of the acid by the migration of the outer circumference by the track width of 1/2 by scanning the second scanning line (SL2). 또한, 광 스폿은 산의 트랙(21)의 종료지점에 1/2 트랙 폭 만큼 외주쪽으로 이동하게 된다. In addition, the light spot is moved toward the outer circumference by one half the track width of the track to the end 21 of the mountain. 이렇게 광 스폿은 2i+2번째 스타트 지점이 도달될 때까지 제1, 제4 및 제2 스캐닝라인(SL1,SL4,SL2)을 순환적으로 스캔 함으로써 해더영역(HDZ)과 산의 트랙(21)의 하반부를 형성하게 된다. Thus the light spot is the first, the fourth and the second scanning line tracks 21 of the (SL1, SL4, SL2), the header area (HDZ) and acid by scanning recursively until the 2i + 2 beonjjae start point is reached for thereby forming a lower half. 이러한 2회의 회전스캔에 의하여, i번째 산과 골의 트랙(21,23)이 패턴화 되게 된다. With this two times of rotation scans the track 21 and 23 of the i-th ridge and valley is to be patterned. 2i번째 회전 스캔 후, 광 스폿은 하나의 트랙 폭 만큼 외주쪽으로 이동하여 2i+1번째 회전 스캔이 시작될 수 있게 한다. After 2i-th rotation scan, the light spot moves toward the outer circumference by one track width to allow the start of the 2i + 1-th scan rotation. 이렇게 2회전 스캔이 진행되는 동안, 광 스폿은 도 6 에서와 같은 노광펄스신호(EPS)에의해 단속되게 된다. So while the second rotary scanning proceeds, the light spot is presented by intermittent exposure to the pulse signal (EPS), as in Fig. 다시 말하여, 광 스폿은 해더영역(HDZ)에서 단속적으로 포토 레지스터 막에 조사되게 되는 반면에 기록영역(RZ)에서는 연속적으로 조사되게 된다. In other words, the light spot is in the header region (HDZ) intermittently picture recording region (RZ), while being irradiated to the resistor film is irradiated in a row. 이와 같이, 포토 레지스터 막에 조사되는 광 스폿이 스위칭 됨으로써 산과 골의 트랙과 프리피트들이 형성되게 된다. Thus, the light spot irradiated on the photoresist film is to be switched by being tracks and pre-pits of the peaks and valleys are formed.

도 9는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 광 디스크를 도시한다. 9 shows an optical disk according to another embodiment of the present invention. 도 9의 광디스크도 DVD-RAM으로 사용되게 된다. The optical disc of Figure 9 is also to be used as a DVD-RAM. 도 9의 광 디스크는 하나의 나선형 트랙을 이루게끔 1회전씩 교번되어진 산과 골의 트랙들(21,23)을 가진다. Figure 9 of the optical disk has the one of the acid and the track of the bone been alternating gekkeum by one rotation achieved a helical track 21 and 23. 이들 산과 골의 트랙들(21,23) 모두는 사용자 정보를 기록하기 위한 기록영역(RZ)으로 사용되게 된다. These peaks and valleys of the tracks 21 and 23 all of which are to be used as the recording region (RZ) for recording user information. 이러한 산과 골의 트랙들(21,23) 각각은 트랙방향(즉, 원주방향)에서 프리피트열(25)과 교번되게 된다. These peaks and valleys of the tracks 21 and 23 each of which is to be pre-pit arrays 25 and alternating in the track direction (i.e., circumferential direction). 프리피트열(25)은 골의 트랙용 제1 프리피트열(25A)과 산의 트랙(23)용 제2 프리피트열(25B)로 구성된다. Pre-pit string is 25 is composed of a track for the bone first pre-pit row (25A), a second pre-pit row (25B) for the track (23) with acid. 제1 프리피트열(25A)은 산의 트랙(21)의 외주쪽 경계변을 따라 형성되는 반면에 제2 프리피트열(25B)은 산의 트랙(21)의 내주쪽 경계변을 따라 형성된다. A first pre-pit column (25A) is a second free, while being formed along the outer circumference side border side of the track 21 of the acid pit row (25B) are formed along the inner circumference side border side of the track 21 of the acid . 이러한 산과 골의 트랙들(21,23), 즉 기록영역의 물리적인 위치에 대한 식별정보를 포함하여 기록영역(RZ)의 물리적인 위치를 지시하는 해더영역(HDZ)으로 사용되게 된다. These peaks and valleys of the tracks 21 and 23, that is, including the identification information about the physical location of the recording area is to be used as a header area (HDZ) indicating a physical position of the recording region (RZ). 또한, 제1 프리피트열(25A)이 형성되어진 영역은 골의 해더영역(GHD)이라 불리며 제2 프리피트열(25B)이 형성되어진 영역은 산의 해더영역(LHD)이라 불린다. Further, the first referred to as a pre-pit column (25A) a zone been formed is called a header area (GHD) of bone second pre-pit string (25B) This area header area (LHD) of the mountain been formed. 프리피트열(25)에는 길이 보다 큰 폭을 가지는 도3의 제1 프리피트(11)와 같은 프리피트들이 포함되게 된다. Pre-pit arrays 25 is to be more than the pre-pit as in the first pre-pits 11 of FIG. 3 having a large width to length included. 다시 말하여, 프리피트의 길이가 짧아짐과 아울러 프리피트의 폭이 넓어지게 된다. In other words, the length of the pre-pits becomes shorter and wider as well as the prepit width. 이에 따라, 도 9의 광 디스크의 산과 골의 트랙들(21,23) 모두는 높은 기록 밀도를 가지게 된다. In this way, the tracks of the peaks and valleys of the optical disk of Fig 21 and 23 all of which are have a high recording density. 이러한 광 디스크를 제조하기 위하여, 2중 노광법이 디스크 원반의 제작 시에 적용되게 된다. For the production of such an optical disc, the exposure method of the two is to be applied during the production of the master disk. 이중 노광법은 1트랙 분의 산의 트랙들과 프리피트열들(25)을 형성하기 위하여 기판상에 도포되어진 포토 레지스트 막 상에 2회전씩 광 스폿이 스캔 되게 한다. Double exposure method will be a light spot by two rotation scans the photoresist film onto been applied onto the substrate to form the acid of the track and the pre-pit string in the one track (25). 이러한 이중 노광법은 도 9에 도시된 바와 같이, 기수 번째 회전 스캔이 종료될 때마다 3/2 트랙 폭 만큼 내주쪽으로 광 스폿을 이동시킴과 아울러 우수 번째 회전 스캔이 종료될 때마다 3/2 트랙 폭 만큼 외주쪽으로 광 스폿을 이동시킨다. The double exposure method, the odd-numbered scan is rotated each time the end each time a 3/2 track inner moving the light spot as well as excellent Sikkim second scan toward the rotation as long as a width of 3/2 the track end as shown in FIG. 9 width to move the light spot toward the outer periphery by. 광 스폿이 산의 트랙(21)에서 골의 해더영역(GHD)으로 진입할 경우와 산의 해더영역(LHD)으로부터 산의 트랙(21)으로 진입할 경우, 광 스폿은 1/2의 트랙 폭 만큼 외주쪽으로 이동되게 된다. If the light spot has entered the case enters the header area (GHD) of bone on the track 21 of the acid and from the header area (LHD) of the acid in the track 21 of the acid, the light spot is track width of 1/2 as is to be moved toward the outer periphery. 이와는 달리, 골의 해더영역(GHD)으로부터 산의 해더영역(LHD) 쪽으로 진입할 경우에 광 스폿은 1 트랙 폭 만큼 내주쪽으로 이동되게 된다. Alternatively, the light spot when it enters into the header region (LHD) of the acid from the header area (GHD) of bone is to be moved toward the inner circumference by one track width. 골의 해더영역이 먼저 시작된다고 할 경우, 이중 노광법은 기수 번째 회전 스캔이 종료될 때마다 1 트랙 폭 만큼 내주쪽으로 광 스폿을 이동시킴과 아울러 우수 번째 회전 스캔이 종료될 때마다 2 트랙 폭 만큼 외주쪽으로 광 스폿을 이동시킨다. If that the header area of ​​the bone starts, first, the double exposure method is by 2 track width each time the odd rotation scan each time the end one track width Sikkim moving the light spot towards the by inner and well as superior the second rotary scan end to move the light spot toward the outer periphery. 또한, 이중 노광법은 하나의 트랙을 형성하기 위하여 광 스폿이 제1 내지 제4 스캐닝라인(SL1 내지 SL4)을 선택적으로 따라 가게 한다. Further, the double exposure method will be optional in accordance with the store the light spot first to fourth scanning lines (SL1 to SL4) so ​​as to form a single track. 여기서, 제1 스캐닝라인(SL1)은 산의 트랙(21)의 외주변으로부터 내주쪽으로 1/4 트랙 폭 만큼 떨어지게 위치하고, 제2 스캐닝라인(SL2)은 산의 트랙(21)의 내주변으로부터 외주쪽으로 1/4 트랙 폭 만큼 떨어지게 위치한다. Here, the first scanning lines (SL1) is located outer circumferential apart by 1/4 track width toward the inner circumference from an outer periphery of the track 21 of the acid, the second scanning line (SL2) is from the inner periphery of the track 21 of the acid toward positioned apart by 1/4 the track width. 또한, 제3 스캐닝라인(SL3)은 산의 트랙(21)의 외주변으로부터 외주쪽으로 1/4 트랙 폭 만큼 떨어지게 위치하고, 제4 스캐닝라인(SL4)은 산의 트랙(21)의 내주변으로부터 내주쪽으로 1/4 트랙 폭 만큼 떨어지게위치한다. Furthermore, the third scanning line (SL3) is located apart from an outer periphery as the track 21 of the acid 1/4 track width toward the outer circumference, the fourth scanning lines (SL4) is inner circumference from the inner periphery of the track 21 of the acid toward positioned apart by 1/4 the track width. 이에 따라, 기수 번째 회전 스캔 시에 광 스폿은 제3 스캐닝라인(SL3), 제2 스캐닝라인(SL2) 및 제1 스캐닝라인(SL1)의 순서로 교번적으로 변경되게 된다. Accordingly, the light spot at the time of odd-numbered scan rotation is the third scanning line (SL3), a second scanning line are presented (SL2), and changes the first scanning line alternately in the order of (SL1) enemy. 우수 번째 회전 스캔 시에 광 스폿은 제1 스캐닝라인(SL1), 제4 스캐닝라인(SL4) 및 제2 스캐닝라인(SL3)을 순차적이고 교번적으로 스캔 하게 된다. The light spot at the time of solid-th rotation scan is the first scanning line (SL1), the fourth scanning lines (SL4) and the second scanning line (SL3) for sequentially and alternately scan. 실제로, i번째 산과 골의 트랙(21,23)을 형성하기 위하여 광 스폿은 도 10에서와 같이 경로를 따라가게 된다. In practice, the optical spot is followed the route as shown in Figure 10 to form the tracks 21 and 23 of the i-th ridge and valley. 이를 상세히 하면, i-1번째 산의 트랙(21)이 형성될 때 광 스폿은 2i-1번째 스타트 지점(ST1i-1)으로부터 2의 트랙 폭 만큼 외주쪽으로 이동하여 제3 스캐닝라인(SL3)을 스캔 함으로써 골의 해더영역(GHD)의 상반부를 형성하게 된다. Specifically this, the i-1 for the second acid track 21 is the third scanning line (SL3) by a light spot is moved 2i-1 toward the outer periphery by the track width of the second from the second starting point (ST1i-1) when formed by scanning to form the upper half of the header area (GHD) of the bone. 골의 해더영역(GHD)의 끝지점에 도달했을 때, 광 스폿은 하나의 트랙 폭 만큼 내주쪽으로 이동하여 제2 스캐닝라인(SL2)을 스캔 함으로써 산의 해더영역(LHD)의 상반부를 형성하게 된다. Once it has reached the end of the header region (GHD) of the bone, the light spot is by scanning the second scanning line (SL2) to move toward the inner circumference by one track width to form an upper half portion of the header region (LHD) of the acid . 이 산의 해더영역의 상반부가 형성된 때에 광 스폿은 1/2의 트랙 폭 만큼 외주쪽으로 이동하여 제1 스캐닝라인(SL1)을 스캔함으로써 산의 트랙(21)의 상반부를 형성하게 된다. When the upper half portion of the header region of the acid formed in the light spot is formed the upper half of the track 21 of the acid by scanning the first scanning line (SL1) to move toward the outer periphery by the track width of one-half. 이렇게 광 스폿은 2i+1번째 스타트 지점이 도달될 때까지 제3, 제2 및 제1 스캐닝라인(SL3,SL2,SL1)을 순환적으로 스캔 함으로써 해더영역(HDZ)과 산의 트랙(21)의 상반부를 형성한다. Thus the light spot is the third, second and first scanning line tracks 21 of the (SL3, SL2, SL1), the header area (HDZ) and acid by scanning recursively until the 2i + 1 beonjjae start point is reached to form the upper half. i번째 산의 트랙(21)의 상반부가 형성된 때, 광 스폿은 1 트랙 폭 만큼 내주쪽으로 이동하여 제1 스캐닝라인(SL1)을 스캔 함으로써 골의 해더영역(GHD)의 하반부를 형성하게 된다. When the upper half portion i of the track 21 of the second acid is formed, a light spot is formed the lower half of the header area (GHD) of the bone by scanning the first scanning line (SL1) to move toward the inner circumference by one track width. 골의 해더영역(GHD)의 끝지점에 도달했을 때, 광 스폿은 하나의 트랙 폭 만큼 내주쪽으로 이동하여 제4 스캐닝라인(SL4)을 스캔닝 함으로써 산의 해더영역(LHD)의 하반부를 형성하게 된다. Once it has reached the end of the header region (GHD) of the bone, by the light spot is turning scan fourth scanning lines (SL4) to move toward the inner circumference by one track width to form the lower half of the header area (LHD) of the acid do. 이 산의 해더영역의 하반부가 형성된 때에 광 스폿은 1/2의 트랙폭 만큼 외주쪽으로 이동하여 제2 스캐닝라인(SL2)을 스캔 함으로써 산의 트랙(21)의 하반부를 형성하게 된다. When the lower half of the header area of ​​the acid formed in the light spot is formed the lower half of the track 21 of the acid by the migration of the outer circumference by the track width of 1/2 by scanning the second scanning line (SL2). 또한, 광 스폿은 산의 트랙(21)의 종료지점에 1/2 트랙 폭 만큼 외주쪽으로 이동하게 된다. In addition, the light spot is moved toward the outer circumference by one half the track width of the track to the end 21 of the mountain. 이렇게 광 스폿은 2i+2번째 스타트 지점이 도달될 때까지 제1, 제4 및 제2 스캐닝라인(SL1,SL4,SL2)을 순환적으로 스캔 함으로써 해더영역(HDZ)과 산의 트랙(21)의 하반부를 형성하게 된다. Thus the light spot is the first, the fourth and the second scanning line tracks 21 of the (SL1, SL4, SL2), the header area (HDZ) and acid by scanning recursively until the 2i + 2 beonjjae start point is reached for thereby forming a lower half. 이러한 2회의 회전스캔에 의하여, i번째 산과 골의 트랙(21,23)이 패턴화 되게 된다. With this two times of rotation scans the track 21 and 23 of the i-th ridge and valley is to be patterned. 2i번째 회전스캔 후, 광 스폿은 2 트랙 폭 만큼 외주쪽으로 이동하여 2i+1번째 회전 스캔이 시작될 수 있게 한다. After 2i-th rotation scan, the light spot is able to move toward the outer periphery by two track widths starts the 2i + 1-th scan rotation. 이렇게 2회전 스캔이 진행되는 동안, 광 스폿은 도 6에서와 같은 노광펄스신호(EPS)에 의해 단속되게 된다. So while the second rotary scanning proceeds, the light spot is to be interrupted by an exposure pulse signal (EPS), as in Fig. 다시 말하여, 광 스폿은 해더영역(HDZ)에서 단속적으로 포토 레지스터 막에 조사되게 되는 반면에 기록영역(RZ)에서는 연속적으로 조사되게 된다. In other words, the light spot is in the header region (HDZ) intermittently picture recording region (RZ), while being irradiated to the resistor film is irradiated in a row. 이와 같이, 포토 레지스터 막에 조사되는 광 스폿이 스위칭 됨으로써 산과 골의 트랙과 프리피트들이 형성되게 된다. Thus, the light spot irradiated on the photoresist film is to be switched by being tracks and pre-pits of the peaks and valleys are formed.

도 11은 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스터 디스크의 제조장치를 개략적으로 나타내는 블록도이다. Figure 11 is a block diagram schematically showing an apparatus for manufacturing a master disk according to the first embodiment of the present invention. 도 11의 마스터 디스크의 제조장치는 기판(20)을 회전시키는 스핀들 모터(22)와, 기판(20)과 레이저 공진기(24) 사이에 순차적으로 배열되어진 빔 확장기(26), 제1 반사 미러(28), 광 변조기(30), 제2 반사 미러(32), 제3 반사 미러(34), 광 편향기(36) 및 대물렌즈(38)를 구비한다. Fig apparatus for manufacturing a master disc 11 is a spindle motor 22, a substrate 20 and the laser cavity 24. The beam expander 26 been arranged in sequence between that rotates the substrate 20, the first reflecting mirror ( 28), and a light modulator 30, the second reflecting mirror 32, third reflecting mirror 34, the optical deflector 36 and the objective lens 38. 기판(20) 상에는 포토 레지스트 막(20A)이 형성되게 된다. The photoresist film (20A) formed on the substrate 20 is to be formed. 스핀들 모터(22)는 기판(20)이 회전 될 때 회 전속도에 따라 다른 주기를 가지는 회전클럭을 발생하게 된다. The spindle motor 22 is rotated to generate a clock having a different period depending on the rotation speed when the rotation of the substrate 20. 이를 위하여, 스핀들 모터(22)는 회전각도에 따른 위치를 지시하기 위하여 회전축에 기록되어진 자기적인 신호를 가지게 된다. For this purpose, the spindle motor 22 will have the magnetic signals recorded on the axis of rotation been to indicate a position corresponding to the rotational angle. 자기적인 신호는 스핀들 모터(22)에 포함되어진 센서(도시하지 않음)에 의해 전기적인 신호로 변환됨으로써 회전클럭이 마련되게 한다. Magnetic signal causes the rotation clock provided by being converted into an electrical signal by a sensor (not shown) that is included in the spindle motor 22. 레이저 공진기(24)는 기판(20) 상의 포토 레지스트 막에 조사될 레이저 빔을 발생하게 된다. Laser cavity 24 is to generate a laser beam is irradiated on the photoresist film on the substrate 20. 레이저 공진기(24)에서 발생되어진 레이저 빔은 빔 확장기 (26)에 의해 일정한 선속경을 가지게 된다. Been laser beam generated in the laser cavity 24 is to have a constant linear velocity by a light beam expander 26. 제1 반사 미러(28)는 빔 확장기(26)로부터의 레이저 빔을 광 변조기(30) 쪽으로 직각으로 반사시킨다. The first reflecting mirror 28 reflects at a right angle a laser beam from the beam expander 26 toward the optical modulator 30. 광 변조기(30)는 제1 반사 미러(28)로부터 제2 반사 미러(32) 쪽으로 진행하는 레이저 빔을 채널 비트 스트림(CHBS)에 따라 절환하게 된다. The optical modulator 30 is switched according to the first reflecting mirror 28, second reflecting mirror 32 channel bit stream (CHBS) a laser beam traveling toward from. 제2 반사 미러(32)는 광 변조기(30)로부터의 레이저 빔을 제3 반사 미러(34) 쪽으로 직각으로 반사시킨다. The second reflecting mirror 32 reflects the laser beam from the light modulator 30 at a right angle toward the third reflecting mirror 34. The 또한, 제3 반사 미러(34)는 제2 반사 미러(32)로부터의 레이저 빔을 광편향기(36)를 거쳐 대물렌즈(38) 쪽으로 직각으로 반사시킨다. Further, the third reflection mirror 34 and reflects at a right angle toward the objective lens 38 with a laser beam through the optical deflector 36 from the second reflecting mirror 32. 광편향기(36)는 레이저 빔을 기판(20)의 지름방향으로 이동시키게 된다. The light deflector 36, thereby moving the laser beam in the radial direction of the substrate 20. 대물렌즈(38)는 광편향기(36)로부터 레이저 빔이 기판(20)의 포토 레지스트 막(20A) 상에 스폿의 형태로 조사되게 한다. The objective lens 38 is irradiated in the form of a spot on the photoresist layer (20A) of the laser beam of the substrate 20 from the optical deflector (36). 또한, 마스터 디스크 제조장치는 스핀들 모터(22)와 광편향기(36) 사이에 직렬 접속되어진 위상 동기 루우프(Phase Looked Loop, 이하 "PLL"라 함)(40), 카운터(42), 래치(44) 및 제어부(48)와, 광 변조기(30)에 채널 비트 스트림(CHBS)을 공급하는 기록처리부(46)를 추가로 구비한다. Further, the master disk production apparatus has the spindle motor 22 and the optical deflector 36, a phase locked loop been connected in series between (called Phase Looked Loop, hereinafter "PLL") (40), a counter 42, a latch (44 ) and further includes a recording processor 46 for supplying a channel bit stream (CHBS) to the control unit 48 and the optical modulator 30. PLL(40)은 스핀들 모터(22)로부터의 회전클럭을 주파수 체배하여 채널 클럭(CHCL)을 발생한다. PLL (40) is the multiple of the rotation frequency of the clock from the spindle motor 22 generates a channel clock (CHCL). PLL(40)에서 발생되어진 채널 클럭(CHCL)은 카운터(42) 및 기록처리부(46)에 공급되게 된다. Channel clock (CHCL) been generated in the PLL (40) is to be supplied to the counter 42 and the recording processing unit 46. The 카운터(42)는 채널클럭(CH)을 계수하여 기판(20)이 1 회전 될 때마다 오버플로우(Overflow)신호를 발생시킨다. Counter 42 generates an overflow (Overflow) signal each time the substrate 20 by counting the channel clock (CH) is rotated first. 래치(44)는 카운터(42)로부터 오버플로우신호가 입력될 때마다 출력신호를 반전시킴으로써 회전정보신호를 발생하게 된다. The latch 44 is to generate a rotation information signal by reversing the output signal each time an overflow signal is input from the counter 42. 이 회전정보신호는 기판이 기수 번째 또는 우수 번째 회전되고 있는가를 지시한다. The rotation information signal indicates whether the substrate is odd-numbered or solid second rotation. 또한, 회전정보신호는 제어부(48) 및 기록처리부(46)에 공급된다. Further, the rotation information signal is supplied to the control unit 48 and the recording processing unit 46. The 제어부(48)는 래치(44)로부터의 회전정보신호에 따라 광편향기(36)를 제어하여 레이저 빔이 도 5에서와 같이 포토 레지스트 막에서 매 1 회전마다 내주쪽으로 3/2 트랙 폭 만큼 또는 외주 쪽으로 1/2트랙 폭 만큼 이동되게 한다. Control unit 48 is as long as to control the light deflector 36 in accordance with rotation information signal the laser beam do 3/2 track width toward the inner circumference at every one revolution on the photoresist film, as shown in the 5 from the latch 44 or the outer periphery up to be moved by one half the track width. 이를 상세히 하면, 제어부(48)는 회전정보신호의 논리 값이 " 0 " 일 때 (즉, 디스크 기판(20)이 기수 번째 회전을 시작할 때) 레이저 빔이 외주쪽으로 1/2 트랙 폭 만큼 이동되게 한다. Specifically this, the control unit 48 will be when the logical value of the rotation information signal "0" (that is, when the disk substrate 20, the start of the odd-numbered turn) the laser beam moves by one-half track width toward the outer peripheral do. 이 결과, 해더영역(HDZ) 및 산의 트랙(21)의 상반부가 형성되게 된다. As a result, the upper half portion of the header region (HDZ) and the track 21 of the acid is to be formed. 반면에, 회전정보신호의 논리값의 " 1 " 일 때 (즉, 디스크 기판(20)이 우수 번째 회전을 시작할 때) 레이저 빔이 내주쪽으로 3/2 트랙 폭 만큼 이동되게 한다. On the other hand, when the "1" of the logic value of the rotation information signal to be shifted by 3/2 track width toward the laser beam (i.e., the disk substrate 20 at the start of the solid-th turn) the inner circumference. 이에 따라, 해더영역(HDZ) 및 산의 트랙(21)의 하반부가 형성되게 된다. As a result, the lower half of the header areas (HDZ) and the track 21 of the acid is to be formed. 한편, 기록처리부(46)는 노광 데이터를 도 6에서와 같은 채널 비트 스트림(CHBS)으로 변환하고 그 변환되어진 채널 비트 스트림(CHBS)을 PLL(40)로부터의 채널 클럭(CHCL)에 맞추어 광 변조기(30)에 공급한다. On the other hand, the recording processing unit 46 is an optical modulator according to a channel bit stream channels been converted to (CHBS) and the converted bit stream (CHBS) as the exposure data in Figure 6 the channel clock (CHCL) from the PLL (40) and supplies it to 30. 또한, 기록처리부(46)는 래치(44)로부터의 회전정보신호에 응답하여 1회전 분의 채널 비트 스트림(CHBS)을 재출력하여 동일한 노광 데이터가 포토 레지스트 막(20A) 상에 2회 기록되게 한다. Furthermore, the recording processor 46 is presented in response to a rotation information signal from the latch 44 by one revolution minute channel bit stream (CHBS) re-output the same exposure data is written twice in the photoresist layer (20A) to the do. 이를 상세히 하면, 기록처리부(46)는 회전정보신호가 " 0 "의 논리 값을 가지는 경우에는 새로운 채널 비트 스트림(CHBS)을 광 변조기(30)에 공급하는 반면에 회전정보신호가 " 1 "의 논리 값을 가지는 경우에는 이전의 채널 비트 스트림(CHBS)을 광변조기(30)에 재공급하게 된다. Specifically this, the record processing unit 46 is rotation information of the signal is "0" when having a logical value, the rotation information signal, while supplying a new channel bit stream (CHBS) to the optical modulator 30 "1" of the when having a logical value it is urgently republished in the optical modulator 30 to the previous channel bit stream (CHBS). 여기서, 노광 데이터가 기록영역의 물리적인 위치를 나타내는 위치정보를 포함하기 때문에 기록 처리부(46)에서 생성된 채널 비트 스트림 (CHBS)도 역시 섹터의 물리적인 위치 정보를 가지게 된다. Here, the channel bit stream generated due to the exposure data includes position information indicating a physical position of a recording area in a recording processing unit (46) (CHBS) are also have a physical location of the sector. 이렇게 위치정보를 가지는 채널 비트 스트림 (CHBS)이 1회전 분씩 반복됨과 아울러 우수 번째 회전 트레이스 되는 레이저 광빔이 기수 번째 회전 트레이스된 레이저 빔과 인접하게 됨으로써, 폭이 길이 보다 큰 프리피트가 포토 레지스트 막(20A) 상에 마련될 수 있다. This position information has a channel bit stream (CHBS) a first rotary minutes repeated as well as superior the second rotation by being that trace the laser beam adjacent to the laser beam, the odd-numbered rotation trace, a length greater than the pre-pit width of the photoresist film ( It may be provided on the 20A). 이 결과, 마스터 디스크 제조장치는 높은 기록밀도를 가지는 도 4에서와 같은 광 디스크가 제조될 수 있게 한다. As a result, the master disk production apparatus so that the optical disc as in Fig. 4 has a high recording density can be produced.

도 12는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 광 디스크 원반 제조장치를 도시한다. Figure 12 illustrates the optical disk master manufacturing apparatus according to another embodiment of the present invention. 도 12의 제조장치는 광편향기(36), 래치(44) 및 기록처리부(46)에 접속되어진 제어부(48A)를 제외하고는 도 11의 제조장치와 동일한 구성을 가진다. Manufacturing apparatus in Fig. 12 has the same configuration as the light deflector 36, a latch 44 and a recording processing section 46 and the manufacturing apparatus of Figure 11 except for the control section (48A) been connected to. 도 12의 제조장치에 있어서, 제어부(48A)는 제어부(48)는 래치(44)로부터의 회전정보신호에 따라 광편향기(36)를 제어하여 레이저 빔이 포토 레지스트 막에서 매 1 회전마다 내주쪽으로 3/2 트랙 폭 만큼 또는 외주 측으로 1/2 또는 2/3 트랙 폭 만큼 이동되게 한다. In the manufacturing apparatus of Figure 12, the control section (48A) includes a controller (48) toward the inner periphery from the optical deflector 36. The laser beam the photoresist film by controlling the response to the rotation information signal from the latch 44 every one rotation 3/2 should be as long as or shifted by one-half or two-thirds of the track width of the outer track width. 이를 상세히 하면, 제어부(48A)는 회전정보신호의 논리 값이 " 0 " 일 때 (즉, 디스크 기판(20)이 기수 번째 회전을 시작할 때) 레이저 빔이 외주쪽으로 1/2 또는 3/2 트랙 폭 만큼 이동되게 한다. Specifically this, the control section (48A) when the logical value "0" of the rotation information signal (i.e., the disk substrate 20, the odd-numbered rotation time to start), the laser beam is 1/2 or 3/2 the track toward the outer periphery It should be moved as the width. 이 결과, 산의 트랙(21)의 상반부가 형성되게 된다. As a result, the upper half portion of the track 21 of the acid to be formed. 반면에, 회전정보신호의 논리값이 " 1 " 일 때 (즉, 디스크 기판(20)이 우수 번째 회전을 시작할 때) 제어부(48A)는 레이저 빔이 내주쪽으로 5/2 또는 3/2 트랙 폭 만큼 이동되게 한다. On the other hand, when the logic value of the rotation information signal is "1" (that is, when the disk substrate 20 is rotated to start the solid second) control unit (48A) is a 5/2 or 3/2 track width of a laser beam toward the inner periphery It should be shifted by. 이에 따라, 산의 트랙(21)의 하반부가 형성되게 된다. Accordingly, it is the lower half of the track 21 of the acid to be formed. 또한, 제어부(48A)는 기록처리부(46)로부터의 채널 비트 스트림(CHBS)에 따라광편향기(36)를 제어하여 레이저 빔이 외주 측으로 1/2 트랙 폭 만큼 또는 내주 측으로 1 트랙 폭 만큼 이동되게 한다. The control (48A) can be moved by one track width toward the inner circumference, or as to control the light deflector 36 in accordance with the channel bit stream (CHBS) from the recording processing unit 46, the laser beam is one-half the track width of the outer do. 이를 상세히 하면, 제어부(48A)는 골의 해더정보에 대해서는 레이저 빔이 1/2 트랙 폭 만큼 외주 측으로 이동되게 하고, 산의 해더영역(LHD)에 대해서는 레이저 빔이 하낙의 트랙 폭 만큼 내주쪽으로 이동되게 하고, 산의 트랙(21)에 대해서는 레이저 빔이 1/2 트랙 폭 만큼 외주 측으로 이동되게 한다. Specifically this, the control section (48A) moves the laser beam for the information about the header of the bone to be the laser beam is moved toward the outer circumference by one half the track width, and acid header area (LHD) toward the inner periphery by the track width of hanak presented, and for the track 21 of the acid to be a laser beam is moved toward the outer circumference by one half the track width. 다시 말하여, 제어부(48A)는 레이저 빔이 도 8 또는 도 10과 같이 이동되게 한다. In other words, the controller (48A) will be moved as shown in Fig. 8 or 10 with a laser beam. 이 결과, 도 7 또는 도 9에 도시된 바와 같은 광 디스크가 제작될 수 았게 한다. As a result, the cost can be atge optical discs such as that shown in Fig. 7 or Fig.

도 13은 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 마스터 디스크의 제조장치를 도시한다. Figure 13 shows a device for manufacturing a master disk according to still another embodiment of the present invention. 도 13의 제조장치는 기판(20)을 회전시키는 스핀들 모터(22)와, 기판(20)과 레이저 공진기(24) 사이에 순차적으로 배열되어진 빔 확장기(26), 제1 반사 미러(28), 제1광 변조기(30), 제2 반사 미러(32), 제3 반사 미러(34), 광편향기(36) 및 대물렌즈(38)를 구비한다. A spindle motor 22, a beam expander (26) been sequentially arranged between the substrate 20 and the laser resonator 24, a first reflecting mirror 28 to the manufacturing apparatus of Figure 13 to rotate the substrate 20, a first and a light modulator 30, the second reflecting mirror 32, third reflecting mirror 34, the light deflector 36 and the objective lens 38. 기판(20) 상에는 포토 레지스트 막(20A)이 형성되게 된다. The photoresist film (20A) formed on the substrate 20 is to be formed. 레이저 공진기(24)는 기판(20) 상의 포토 레지스트 막(20A)에 조사될 레이저 빔을 발생하게 된다. Laser cavity 24 is to generate a laser beam is irradiated on the photo resist film (20A) on the substrate 20. 레이저 공진기(24)에서 발생되어진 레이저 빔은 빔 화장기(26)에 의해 일정한 선속경을 가지게 된다. Been laser beam generated in the laser cavity 24 is to have a constant linear velocity by a light beam hwajanggi 26. 제1 반사 미러(28)는 빔 확장기(26)로부터의 레이저 빔을 제1 광 변조기(30) 쪽으로 직각으로 반사시킨다. The first reflecting mirror 28 reflects at a right angle a laser beam from the beam expander 26 toward the first optical modulator 30. 제1 광 변조기(30)는 제1 반사 미러(28)로부터 제2 반사 미러(32) 쪽으로 진행하는 레이저 빔을 채널 비트 스트림(CHBS)에 따라 절환하게 된다. A first optical modulator 30 is switched according to the first reflecting mirror 28, second reflecting mirror 32 channel bit stream (CHBS) a laser beam traveling toward from. 제2 반사 미러(32)는광 변조기(30)로부터의 레이저 빔을 제3 반사 미러(34) 쪽으로 직각으로 반사시킨다. The reflects the laser beam from the second reflecting mirror 32 neungwang modulator 30 at a right angle toward the third reflecting mirror 34. The 또한, 제3 반사 미러(34)는 제2 반사 미러(32)로부터의 레이저 빔을 광편향기(36)를 거쳐 대물렌즈(38) 쪽으로 직각으로 반사시킨다. Further, the third reflection mirror 34 and reflects at a right angle toward the objective lens 38 with a laser beam through the optical deflector 36 from the second reflecting mirror 32. 광편향기(36)는 레이저 빔을 기판(20)의 지름방향으로 이동시키게 된다. The light deflector 36, thereby moving the laser beam in the radial direction of the substrate 20. 대물렌즈(38)는 광편향기(36)로부터 레이저 빔이 기판(20)의 포토 레지스트 막(2OA) 상에 스폿의 형태로 조사되게 한다. The objective lens 38 is irradiated in the form of a spot on the photoresist film (2OA) of the laser beam of the substrate 20 from the optical deflector (36). 또한, 마스터 디스크 제조장치는 제1 반사 미러(28)로부터 제2 반사 미러(32)에 이르는 광 경로에 병렬로 연결되는 보조 광 경로를 형성하기 위한 제1 하프 미러(50), 제2 광 변조기(52) 및 제2 하프 미러(54)와, 기록처리부(56)와 광 편향기와(36) 사이에 접속되어진 제어부(58)를 추가로 구비한다. Further, the master disk production apparatus comprises a first half mirror 50, a second light modulator for forming a second optical path connected in parallel to the optical path from the second reflecting mirror 32 from the first reflecting mirror 28 52 and the second includes a second half-mirror 54 and, further a control unit (58) been connected between recording processor 56 and the optical deflector (36). 제1 하프 미러(50)는 빔 확장기(26)로부터의 레이저 빔의 일부를 제1 반사 미러(28) 쪽으로 통과시킴과 아울러 나머지는 제2 광 변조기(52) 쪽으로 직각·반사시킨다. A first half mirror 50 is the beam Sikkim passing a portion of the laser beam toward the first reflecting mirror 28 as well as from the rest of the expander 26 are thus at right angles, the second light reflected toward the modulator 52. 제2 광변조기(52)는 제1 하프 미러(50)로부터 제2 하프 미러(54) 쪽으로 진행하는 레이저 빔 (이하 "보조 레이저 빔" 이라 함)을 채널 비트 스트림(CHBS)에 따라 절환하게 된다. A second light modulator 52 is switched according to the first half mirror 50, a second half mirror 54, a laser beam (hereinafter referred to as "the sub laser beam") channel bit stream (CHBS) traveling toward from . 제2 하프 미러(54)는 제2 광 변조기(52)로부터의 보조 레이저 빔을 제3 반사 미러(34) 쪽으로 직각으로 반사시킨다. The second half mirror 54 and reflects at a right angle to the sub laser beam from the second light modulator (52) toward the third reflecting mirror 34. The 또한, 제2 하프 미러(54)는 제2 반사 미러(32)로부터의 레이저 빔(이하 "메인 레이저 빔" 이라 함)을 제3 반사 미러(34) 쪽으로 통과시킨다. The second half mirror 54 is passed through a (hereinafter referred to as "the main laser beam"), the second laser beam from the reflecting mirror 32 toward the third reflecting mirror 34. The 이에 따라, 제3 반사 미러(34)는 메인 레이저 빔과 보조 레이저 빔 모두를 광 편향기(36) 쪽으로 직각·반사하게 된다. Accordingly, the third reflection mirror 34 is reflected at right angles, both the main laser beam and the auxiliary laser beam toward the optical deflector (36). 이러한 메인 레이저 빔과 보조 레이저 빔은 와(36)에 의해 기판(20)의 지름 방향에서 이동되게 된다. With such a main laser beam and the auxiliary laser beam and 36 are moved in the radial direction of the substrate 20. 또한, 이들 메인 레이저 빔과 보조 레이저 빔 모두가 대물렌즈(38)에 의해집속됨으로써 포토 레지스트 막(20A) 상에는 메인 광 스폿 및 보조 광 스폿이 조사되게 된다. Further, these main laser beam and the auxiliary laser beam is formed on both the focusing being a photoresist film (20A) by the objective lens 38, the main light spot and the auxiliary light spot is irradiated. 메인 광 스폿과 보조 광 스폿은 1/2 트랙폭에 해당하는 직경을 가지게 된다. The main light spot and the auxiliary light spot will have a diameter corresponding to half the track width. 메인 광 스폿은 트랙의 하반부에 그리고 보조 광 스폿은 트랙의 상반부에 위치함으로써 도3 에서와 같은 상부 프리피트들(11A,13A,15A,17A)과 하부 프리피트들(11B,13B,15B,17B)이 동시에 형성되게 한다. The main light spot in the lower half of the track and the auxiliary light spot is the upper free as in Figure 3 with the location in the upper half of the track pits (11A, 13A, 15A, 17A) and the lower pre-pits (11B, 13B, 15B, 17B ) it is to be formed at the same time. 아울러, 산의 트랙(21)의 상반부와 하반부도 동시에 형성되게 된다. In addition, it is to be the upper half and the lower half of the track 21 of the acid is also formed at the same time. 기록처리부(56)는 노광 데이터를 채널 비트 스트림(CHBS)으로 변환하고 그 변환되어진 채널 비트 스트림(CHBS)을 제1 및 제2 광변조기(30,52)와 제어부(58)에 공급한다. Record processing unit 56 converts the channel bit stream (CHBS), the exposure data, and supplies the converted been channel bit stream (CHBS) to the first and second light modulators (30,52) and the control section 58. 제어부(58)는 기록처리부(46)로부터의 채널 비트 스트림(CHBS)에 따라 광편향기(36)를 제어하여 메인 및 보조 광 스폿들이 외주 측으로 1/2 트랙 폭 만큼 또는 내주쪽으로 1 트랙 폭 만큼 이동되게 한다. Control section 58 is shifted by a channel bit stream (CHBS) controls the optical deflector 36 in accordance with the main and auxiliary light spots are one track width toward the inner circumference, or as much as one-half track width from the outer periphery side of the recording processing unit 46 It causes. 이를 상세히 하면, 제어부(58)는 골의 해더정보에 대해서는 메인 및 보조 광 스폿들이 1/2 트랙 폭 만큼 외주 측으로 이동되게 하고, 산의 해더정보에 대해서는 메인 및 보조 광 스폿들이 하나의 트랙 폭 만큼 내주쪽으로 이동되게 하고, 산의 트랙에 대해서는 메인 및 보조 광 스폿들이 1/2 트랙 폭 만큼 외주 측으로 이동되게 한다. Specifically this, the control unit 58 and causes the main and auxiliary light spots are moved to the outer circumference by one half the track width for the header information of the bone, as for the header information of the acid the main and auxiliary light spot have a track width to be moved toward the inner periphery, and allows for the acid track main and auxiliary light spots are moved to the outer circumference by one half the track width. 이 결과, 도 3 에서와 같이 길이에 무관하게 동일한 폭을 가지는 프리피트들이 형성됨과 아울러 길이 보다 폭이 큰 프리피트도 형성되게 된다. As a result, the pre-pits are formed as well as the length is greater than the pre-pit width has the same width, regardless of the length, as shown in Figure 3 may also be formed. 또한, 도 7 또는 도 9에 도시된 바와 같은 광 디스크가 제작될 수 있게 한다. In addition, it allows the optical disc as shown in Fig. 7 or 9 can be manufactured.

이와 같이, 도 13의 제조장치는 트랙의 상반부와 하반부 각각에 광 스폿이 동시에 조사되게 함으로써 싱글 트레이스에 의해 프리피트 및 산의 트랙을 형성할 수 있게 된다. In this way, also the production apparatus 13 is irradiated by the light spot at the same time in the upper half and the lower half respectively of the tracks can be formed to the track of the pre-pit and the acid by a single trace. 다시 말하여, 도 13의 제조장치는 도 11 및 도 12의 제조장치들 보다 마스터 디스크의 제작에 소요되는 시간을 1/2로 줄일 수 있다. In other words, the manufacturing apparatus of Figure 13 can reduce the time required for the production of a master disk than the manufacturing apparatus of FIG. 11 and 12 to 1/2.

상술한 바와 같이, 본 발명의 광디스크는 길이 보다 긴 폭을 가지는 피트들이 형성됨으로써 높은 기록밀도를 가지게 된다. As described above, the optical disc of the present invention is to form pits having a width being greater than the length is, the higher the recording density. 본 발명에 따른 마스터 디스크의 제조 방법 및 장치는 포토 레지스트 막에 레이저 빔을 적어도 2 회 이상 반복 노광하거나 다중 빔을 사용하여 노광 함으로써 폭이 일정한 피트들을 형성 할 수 있음과 아울러 재생시 변조도가 높은 광디스크를 성형할 수 있게 된다. Method of manufacturing a master disk according to the invention and apparatus photoresist film with a laser beam at least twice or more times repeated exposure, or that by the exposure using the multi-beam can form a constant pit width as well as the playback modulation degree is high optical disc to to be able to be molded. 나아가, 본 발명에 따른 마스터 디스크의 제조 방법 및 장치는 길이보다 긴 폭을 가지는 피트들을 형성함으로써 높은 기록밀도를 가지는 광디스크가 성형될 수 있게 한다. Further, the manufacturing method of the master disc and the device according to the invention by forming the pit having a length less than the long width enables the optical disc having a high recording density can be molded.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. Those skilled in the art what is described above will be appreciated that various changes and modifications within the range which does not depart from the spirit of the present invention are possible. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다. Accordingly, the technical scope of the present invention will have to be not limited to the contents described in the description of the specification appointed by the claims.

Claims (16)

  1. 노광기로부터 발생된 광빔으로 마스터 디스크의 포토 레지스트막을 적어도 2회 반복 노광하여 상기 마스터 디스크 상에 피트를 형성하고 상기 마스터 디스크를 이용하여 피트가 형성된 스템퍼를 제작한 다음, 상기 스템퍼를 성형기에 설치한 후에 상기 성형기 내에 기판물질을 주입 및 응고시킴으로써 피트가 형성되어진 것을 특징으로 하는 광디스크. At least the exposure two times by a light beam generated from the exposure device film on the master disk photoresist to form a pit on the master disk and installing the fabrication of the stamper pits formed by using the master disk, and then the stamper to the molding machine after the optical disc, it characterized in that the feet been formed by injection and solidification of the substrate material in the molding machine.
  2. 노광기로부터 동시에 발생되는 적어도 2 개의 광빔으로 마스터 디스크의 포토 레지스트막을 노광하여 상기 마스터 디스크 상에 피트를 형성하고 상기 마스터 디스크를 이용하여 피트가 형성된 스템퍼를 제작한 다음, 상기 스템퍼를 성형기에 설치한 후에 상기 성형기 내에 기판물질을 주입 및 응고시킴으로써 피트가 형성되어진 것을 특징으로 하는 광디스크. Exposed film photoresist of the master disk into at least two beams of light generated at the same time from the exposure device to form a pit on the master disk and installing the fabrication of the stamper pits are formed by using the master disk, and then the stamper to the molding machine after the optical disc, it characterized in that the feet been formed by injection and solidification of the substrate material in the molding machine.
  3. 노광기에서 광빔을 발생하는 단계와, Comprising the steps of: generating a light beam from the exposure device,
    동일한 제어신호에 의해 제어되는 광빔을 마스터 디스크의 포토 레지스트막 상에서 적어도 2회 반복 주행시킴으로써 상기 포토레지스트막을 적어도 2 회 반복 노광하여 상기 마스터 디스크 상에 피트를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스터 디스크의 제조 방법. Master comprising the step of forming a pit on the master disk by at least the exposure repeated twice film the photoresist by at least two times running the light beam is controlled on the photoresist film on the master disk by the same control signal the method of the disc.
  4. 제 3 항에 있어서, 4. The method of claim 3,
    상기 포토 레지스트막에 대한 반복 노광에 의해 상기 마스터 디스크 상에 상기 피트와 골의 트랙이 형성되어지는 것을 특징으로 하는 마스터 디스크의 제조 방법. The method of by repeated exposure to the photoresist film on the master disk master disk, characterized in that that the track of the pit and groove is formed.
  5. 제 3 항에 있어서, 4. The method of claim 3,
    상기 포토 레지스트막을 반복 노광하는 단계는, Repeating exposing the photoresist film is,
    레이저광을 생성하는 단계와, And generating a laser beam,
    노광 데이터를 채널 비트 스트림으로 변환하는 단계와, And converting the data exposed in the channel bit stream,
    상기 레이저광을 상기 채널 비트 스트림에 따라 단속하는 단계와, And a step of contact-breaker in accordance with the laser light in the channel bit stream,
    상기 포토 레지스트막이 형성된 마스터 디스크를 회전시키고 상기 마스터 디스크의 회전 정보를 검출하는 단계와, The method comprising the steps of rotating the master disk, the photoresist film is formed and detecting the rotational information of the master disk,
    상기 회전 정보에 따라 상기 레이저광을 상기 마스터 디스크의 내주측과 외주측 중 어느 한 쪽으로 이동시키는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 마스터 디스크의 제조 방법. Method of manufacturing a master disk which is characterized in that it comprises, depending on the rotation information in addition the step of the laser light moves toward any one of the inner peripheral side and outer peripheral side of the master disk.
  6. 제 5 항에 있어서, 6. The method of claim 5,
    상기 회전 정보를 주파수 체배하여 채널 클럭을 생성하는 단계와, And generating a channel clock by frequency multiplying the rotation information,
    상기 채널 클럭을 계수하여 상기 기판의 1 회전을 나타내는 오버 플로우를 생성하는 단계와, And generating an overflow indicating one rotation of the substrate by counting the channel clock,
    상기 오버 플로우에 따라 상기 레이저광을 제어하는 단계와, And controlling the laser light in response to the overflow,
    상기 노광 데이터를 상기 채널 클럭에 동기시켜 상기 채널 비트 스트림을 생성하는 단계와, And the step of synchronizing the exposure data in the channel clock generated by the channel-bit stream,
    상기 회전정보에 응답하여 1 회전 분의 상기 채널 비트 스트림을 적어도 2 회 출력하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 마스터 디스크의 제조 방법. The method of the master disc, comprising the channel bit stream in response to the rotation information, the first round minutes the further step of outputting at least two times.
  7. 제 5 항에 있어서, 6. The method of claim 5,
    상기 채널 비트 스트림에 따라 상기 레이저광의 광축을 제어하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 마스터 디스크의 제조 방법. The method of the master disc, characterized in that further including the step of controlling the optical axis of the laser beam according to the channel bit stream.
  8. 마스터 디스크용 기판을 마련하는 단계와, Comprising the steps of: providing a substrate for the master disc,
    상기 마스터 디스크용 기판 상에 포토 레지스트막을 성막하는 단계와, And a step of forming a photoresist film on a substrate for the master disc,
    노광기에서 적어도 2 개의 광빔을 동시에 발생하는 단계와, The step of generating at least two light beams from the exposure device at the same time,
    상기 적어도 2개의 광빔으로 상기 포토 레지스트막을 동시에 노광하여 상기 마스터 디스크 상에 피트를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스터 디스크의 제조 방법. Method of manufacturing a master disk, characterized in that the said at least two beams of light to the photo-exposed resist film at the same time forming a pit on the master disk.
  9. 제 8 항에 있어서, The method of claim 8,
    상기 광빔을 발생하는 단계는, The step of generating the light beam is
    레이저광을 발생하는 단계와, Comprising the steps of: generating a laser beam,
    노광 데이터를 채널 비트 스트림으로 변환하는 단계와, And converting the data exposed in the channel bit stream,
    상기 레이저광을 적어도 2 개의 서브광빔들로 분리하는 단계와, And separating the laser beam into at least two sub-beams,
    상기 적어도 2 개의 서브광빔들을 상기 채널 비트 스트림에 따라 단속하는 단계와, And a step of contact-breaker according to the channel bit stream of the at least two sub-beams,
    상기 적어도 2 개의 서브광들의 일측이 서로 중첩되도록 하여 상기 서브광빔들의 광경로를 일치시키는 단계와, And wherein the step of at least 2 to ensure that the overlap one side of the sub-light matches the optical path of the sub-beams of light,
    상기 채널 비트 스트림에 따라 상기 서브광빔들을 상기 마스터 디스크의 내주측과 외주측 중 어느 한 쪽으로 이동시키는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 마스터 디스크의 제조 방법. Method of manufacturing a master disk, characterized in that depending on the channel bit-stream further comprises the step of said sub-light beams move toward any one of the inner circumference side of the master disk and the outer peripheral side.
  10. 마스터 디스크용 기판과, For the master disk substrate,
    상기 마스터 디스크용 기판 표면에 형성되는 포토 레지스트막과, The photoresist film formed on the surface of the substrate for the master disk and,
    동일한 제어신호에 의해 제어되는 광빔을 상기 포토 레지스트막 상에서 적어도 2회 반복 주행시킴으로써 상기 포토레지스트막을 적어도 2회 반복 노광하여 상기 마스터 디스크 상에 피트를 형성하는 노광수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 마스터 디스크의 제조 장치. Master to a light beam which is controlled by the same control signal, characterized in that it comprises exposure means for forming a pit on the master disk by at least the exposure repeated twice film the photoresist by at least two times running on the photoresist film disk of the production apparatus.
  11. 제 10 항에 있어서, 11. The method of claim 10,
    상기 포토 레지스트막에 대한 반복 노광에 의해 상기 마스터 디스크용 기판상에 상기 피트와 골의 트랙이 형성되어지는 것을 특징으로 하는 마스터 디스크의 제조 장치. The picture production device of a master disk by repeated exposure to the resist film on the substrate for the master disc, characterized in that being the track of the pit and bone formation.
  12. 제 10 항에 있어서, 11. The method of claim 10,
    상기 노광수단은, It said exposure means,
    레이저광을 생성하는 레이저 발생수단과, And a laser generation means for generating a laser beam,
    입력라인을 통하여 입력된 노광 데이터를 채널 비트 스트림으로 변환하는 기록 처리수단과, Recording processing means for converting the exposed data input through the input line to the channel bit stream;
    상기 레이저광을 상기 채널 비트 스트림에 의해 단속하는 광변조 수단과, And optical modulation means for enforcement by the laser light to the channel bit stream,
    상기 기판이 회전함에 따라 회전 정보를 검출하는 회전수 검출 수단과, Revolution speed detecting means for detecting rotation information, as the substrate is rotated and,
    상기 회전 정보에 따라 상기 레이저광을 상기 기판에 대하여 내주측과 외주측 중 어느 한 쪽으로 이동시키는 광편향 수단을 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 마스터 디스크의 제조 장치. Apparatus for manufacturing a master disk which is characterized in that it comprises the laser light in accordance with said rotation information in addition to the optical deflecting means for moving towards any one of the inner and outer peripheral side with respect to the substrate.
  13. 제 12 항에 있어서, 13. The method of claim 12,
    상기 노광수단은, It said exposure means,
    상기 회전 정보를 주파수 체배하여 채널 클럭을 생성하는 기준펄스 발생부와, A reference pulse generator for generating a channel clock by frequency multiplying the rotation information,
    상기 채널 클럭을 계수하여 상기 기판의 1 회전을 나타내는 오버 플로우를 생성하는 카운터부와, And a counter for counting the channel clock generating an overflow indicating one rotation of the substrate,
    상기 오버 플로우에 따라 상기 레이저광을 제어하는 제어수단과, And control means for controlling the laser light in response to the overflow,
    상기 회전정보에 응답하여 1 회전 분의 상기 채널 비트 스트림을 적어도 2 회 출력하는 기록 처리부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 마스터 디스크의 제조 장치. Apparatus for manufacturing a master disc, comprising the channel bit stream of the first rotary minutes in response to the rotation information in addition to the recording processing section for outputting at least two times.
  14. 제 13 항에 있어서, 14. The method of claim 13,
    상기 기록 처리부는 상기 노광 데이터를 상기 채널 클럭에 동기시켜 상기 채널 비트 스트림을 생성하는 것을 특징으로 하는 마스터 디스크의 제조 장치. The recording processing unit of the master disk production apparatus characterized in that in synchronism with the channel clock of the exposure data generated by the channel bitstream.
  15. 제 13 항에 있어서, 14. The method of claim 13,
    상기 제어수단은 상기 채널 비트 스트림에 따라 상기 레이저광의 이동을 제어하는 것을 특징으로 하는 마스터 디스크의 제조 장치. The control means of the apparatus for manufacturing the master disk, characterized in that for controlling the laser light moves along the channel bitstream.
  16. 마스터 디스크용 기판과, For the master disk substrate,
    상기 기판 표면에 형성되는 포토 레지스트막과, The photoresist film formed on the substrate surface and,
    적어도 2 개의 광빔을 동시에 발생하고 상기 적어도 2 개의 광빔으로 상기 포토 레지스트막을 노광하여 상기 마스터 디스크 상에 피트를 형성하는 노광수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 마스터 디스크의 제조 장치. Apparatus for manufacturing a master disk which is characterized in that it comprises exposure means for generating at least the two light beams at the same time form pits on the master disc by the photoresist film is exposed to the at least two light beams.
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