KR100390119B1 - Ink-jet head and method of manufacturing color filter - Google Patents

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Abstract

컬러 필터를 저비용화할 수 있고, 또한 컬러 필터의 색농도를 균일하게 할 수 있는 컬러 필터의 제조 방법 및 잉크 젯 헤드를 제공한다.Provided are a color filter manufacturing method and an ink jet head capable of reducing the color filter cost and making the color density of the color filter uniform.

잉크 젯 헤드를 이용하여 컬러 필터 기판상의 화소구획에 잉크방울을 토출하여 컬러 필터의 착색층을 형성하는 컬러 필터의 제조 방법에 있어서, 하나의 화소구획에 대하여 복수개의 잉크방울을 동시에, 또한 각 잉크방울의 체적이나 비상 속도 등의 특성을 균일하게 하여 토출하도록 했다.A method of manufacturing a color filter in which ink droplets are ejected to pixel compartments on a color filter substrate using an ink jet head to form a colored layer of the color filter, wherein a plurality of ink droplets are simultaneously applied to one pixel compartment and each ink is used. Characteristics such as volume and emergency velocity of the droplets were uniformly discharged.

Description

잉크 젯 헤드 및 컬러 필터의 제조 방법{INK-JET HEAD AND METHOD OF MANUFACTURING COLOR FILTER}Manufacturing method of ink jet head and color filter {INK-JET HEAD AND METHOD OF MANUFACTURING COLOR FILTER}

최근, 퍼스널 컴퓨터, 특히 휴대용 퍼스널 컴퓨터의 발달에 따라 액정 모니터, 특히 컬러 액정 모니터의 수요가 증가하는 경향이 있다. 그러나, 그것을 더욱 보급시키기 위해서는 액정 모니터의 비용 절감이 필요하고, 특히 비용적으로 비중이 높은 컬러 필터의 비용 절감에 대한 요구가 높아지고 있다.In recent years, with the development of personal computers, especially portable computers, the demand for liquid crystal monitors, especially color liquid crystal monitors, tends to increase. However, in order to spread it further, it is necessary to reduce the cost of the liquid crystal monitor, and in particular, the demand for the cost reduction of the color filter having a high specific gravity is increasing.

컬러 필터의 주된 제조 방법으로는 인쇄법, 전착법(電着法), 염색법, 또는 안료 분산법 등이 있다. 이하, 각각의 방법에 대하여 설명한다.The main manufacturing method of a color filter includes a printing method, an electrodeposition method, a dyeing method, or a pigment dispersion method. Hereinafter, each method is demonstrated.

우선, 인쇄법은 착색층이 되는 경화성 수지에 반복하여 인쇄를 실행함으로써, 빨강(이하 R이라고 칭함), 초록(이하 G라고 칭함), 파랑(이하 B라고 칭함)의 3색을 나누어 칠하고, 열경화성 수지를 가열 경화시켜 착색층을 형성하는 것이다. 그 때, 도료로는 안료를 분산시킨 것을 이용한다.First, the printing method repeatedly prints on the curable resin used as a colored layer, dividing three colors of red (hereinafter referred to as R), green (hereinafter referred to as G) and blue (hereinafter referred to as B), The thermosetting resin is heat cured to form a colored layer. In that case, what disperse | distributed a pigment is used as a coating material.

이 인쇄법은 공정은 간단하지만, 컬러 필터의 해상도나 평탄성이 나쁘다고 하는 결점이 있다.This printing method is simple but has the disadvantage of poor color filter resolution and flatness.

다음에, 전착법은 투명 기판상에 투명 전극을 패터닝하고, 안료, 수지, 전해액 등이 들어간 전착 도장액에 담궈 제 1 색을 전착한다. 이 공정을 3회 반복하여 R, G, B의 착색층을 형성하고, 마지막에 소성하는 것이다.Next, in the electrodeposition method, a transparent electrode is patterned on a transparent substrate, and the first color is electrodeposited by immersing it in an electrodeposition coating liquid containing pigment, resin, electrolyte solution and the like. This process is repeated three times to form colored layers of R, G, and B, and finally baked.

이 전착법은 컬러 필터의 평탄성은 우수하지만, 형성 가능한 컬러 필터의 배색 패턴이 한정된다고 하는 결점이 있다.Although this electrodeposition method is excellent in the flatness of a color filter, there exists a fault that the color pattern of the color filter which can be formed is limited.

다음에, 염색법은 유리 기판상에 염색용 재료인 수용성 고분자 재료에 감광제를 첨가하여 감광하고, 이 감광층을 포토리소그래피 공정으로 소망하는 형상으로 패터닝한 후, 얻어진 패턴을 염색욕에 담궈 착색 패턴을 얻는다. 이 공정을 3회 반복하여 R, G, B의 착색층을 형성하는 것이다.Next, the dyeing method is carried out by adding a photosensitive agent to a water-soluble polymer material, which is a material for dyeing, on a glass substrate, and then photosensitive the patterned photosensitive layer into a desired shape by a photolithography step. Get This process is repeated three times to form colored layers of R, G and B.

이 염색법은 컬러 필터의 색은 선명하지만, 컬러 필터의 내후성, 내광성, 내열성 및 흡습성이 떨어진다고 하는 결점이 있다.This dyeing method has a drawback that the color of the color filter is clear, but the weather resistance, light resistance, heat resistance and hygroscopicity of the color filter are inferior.

마지막으로, 안료분산법은 우선 기판상에 안료를 분산한 감광성 수지층을 형성하고, 이것을 패터닝함으로써 단색의 패턴을 얻는다. 또한 이 공정을 3회 반복함으로써, R, G, B의 3색의 착색층을 형성하는 것이다.Finally, the pigment dispersion method first forms a photosensitive resin layer in which a pigment is dispersed on a substrate, and then patterned this to obtain a monochromatic pattern. In addition, by repeating this process three times, three colored layers of R, G, and B are formed.

이 안료분산법은 도포하는 재료의 70% 이상이 패터닝시에 폐기되기 때문에, 재료 손실이 크다고 하는 결점이 있다.This pigment dispersion method is disadvantageous in that a material loss is large because 70% or more of the material to be applied is discarded at the time of patterning.

이들 4개의 방법 모두, 착색층 위에 보호층을 형성하는 것이 일반적이다.It is common for all these four methods to form a protective layer on a colored layer.

또한, 상기 4개의 방법은 모두 R, G, B 3색의 착색층을 형성하기 때문에, 동일 공정을 3회 반복할 필요가 있어, 필연적으로 제조 비용이 높아짐과 동시에, 양품률이나 생산성이 낮아진다고 하는 결점이 있었다.In addition, since the above four methods form colored layers of three colors R, G, and B, it is necessary to repeat the same process three times, which inevitably increases the manufacturing cost and lowers the yield and productivity. There was a flaw.

이들 결점을 해소할 수 있는 것으로, 잉크 젯법을 이용한 컬러 필터의 제조 방법이 이미 제안되어 있고, 이것은, 예컨대 일본 특허 공개 공보 소화 제 59-75205 호, 일본 특허 공개 공보 소화 제 63-235901 호, 일본 특허 공개 공보 평성 제 1-217302 호, 일본 특허 공개 공보 평성 제 4-123005 호 및 일본 특허 공개 공보 평성 제 7-146406 호 등에 개시되어 있다.In order to solve these drawbacks, the manufacturing method of the color filter using the inkjet method is already proposed, This is for example, Unexamined-Japanese-Patent No. 59-75205, Unexamined-Japanese-Patent No. 63-235901, Japan Japanese Patent Laid-Open Publication No. 1-217302, Japanese Patent Laid-Open Publication No. 4-123005, Japanese Patent Laid-Open Publication No. 7-146406, and the like.

이 잉크 젯법은 R, G, B의 각 색소를 함유하는 착색액(이하 잉크라고 칭함)을 노즐에 의해 컬러 필터 기판에 토출하고, 그 잉크를 컬러 필터가 되는 투명 기판상에서 건조시켜 착색층을 형성하는 것이다.In this ink jet method, a coloring liquid (hereinafter referred to as ink) containing respective pigments of R, G, and B is discharged to a color filter substrate by a nozzle, and the ink is dried on a transparent substrate serving as a color filter to form a colored layer. It is.

이 잉크 젯법에 의하면, R, G, B의 각 착색층의 형성을 한번에 실행할 수 있고, 또한 잉크의 사용량에도 낭비가 발생하지 않기 때문에, 대폭적인 생산성의 향상, 비용 절감 등의 효과를 얻는 것을 기대할 수 있다.According to this ink jet method, since each colored layer of R, G, and B can be formed at once, and waste is not generated even when the amount of ink is used, it is expected to obtain a significant improvement in productivity and cost reduction. Can be.

이 잉크 젯법에는 두가지의 방법, 열에너지를 이용하여 잉크방울을 토출하는 열(thermal) 잉크 젯 헤드(버블 젯 헤드라고도 칭함)나, 압전소자의 디렉트 모드 변형(압전 세라믹이 일그러지는 성질)을 이용하여 잉크방울을 토출하는 피에조(piezo) 헤드를 사용하여 컬러 필터의 착색부를 각 색의 잉크로 직접 착색하는 방법과, 먼저 잉크 수용층을 셀룰로즈, 아크릴계 수지, 젤라틴 등의 액체를 흡수하는 재료로 형성하고, 이것을 토출한 잉크로 염색하는 방법의 두 가지의 방법이 있다.This ink jet method uses two methods, a thermal ink jet head (also called a bubble jet head) for ejecting ink droplets using thermal energy, or a direct mode deformation of a piezoelectric element (a property in which piezoelectric ceramics are distorted). A method of directly coloring the coloring portion of the color filter with ink of each color using a piezo head which discharges ink droplets, and first forming the ink receiving layer from a material which absorbs liquid such as cellulose, acrylic resin, gelatin, There are two methods of dyeing with the ejected ink.

우선, 직접 컬러 필터 기판을 착색하는 방법은, 컬러 필터 기판상의 프레임체(블랙 매트릭스)로 구분된 화소구획에 잉크방울을 토출하여 소정의 잉크량을 화소구획에 충전하고, 그 잉크를 건조 고화하여 착색층을 형성하는 것이다.First, a method of directly coloring a color filter substrate comprises discharging ink droplets into a pixel compartment divided into a frame (black matrix) on the color filter substrate, filling a predetermined amount of ink into the pixel compartment, and drying and solidifying the ink. It forms a colored layer.

그 때, 프레임체와 착색층의 평탄성을 확보하기 위해서, 프레임체의 높이는 잉크가 건조 고화한 때의 높이로 제한된다. 이 때문에, 잉크는 건조에 의한 체적 감소를 계산에 넣어 프레임체의 높이를 넘는 양이 충전되고, 이것이 볼록 형상의 메니스커스(meniscus)가 되어 안정적으로 유지되도록, 감광성 수지재료로 이루어지는 프레임체에 불소계 재료를 함유시킴으로써 발액(撥液)특성이 부가되어 있다.In that case, in order to ensure the flatness of a frame body and a colored layer, the height of a frame body is restrict | limited to the height at the time of ink solidification. For this reason, the ink is filled with the amount exceeding the height of the frame by calculating the volume reduction due to drying, and the ink is filled into the frame made of the photosensitive resin material so that it becomes a convex meniscus and remains stable. By containing a fluorine-type material, the liquid repellent property is added.

이 프레임체에 잉크 젯 헤드로 잉크를 토출하여 충전하는 방법을, 도 8a 내지 도 8e를 이용하여 설명한다.A method of discharging ink by filling the frame body with an ink jet head will be described with reference to Figs. 8A to 8E.

도 8a 내지 도 8e는 직접 컬러 필터 기판을 착색하는 종래의 잉크 젯법에 의한 컬러 필터의 제조 방법을 도시하는 설명도이며, 하나의 화소구획에 4개의 잉크방울을 토출하는 경우를 도시하고 있다.8A to 8E are explanatory views showing a method of manufacturing a color filter by a conventional ink jet method of directly coloring a color filter substrate, and showing the case where four ink droplets are discharged in one pixel compartment.

도 8a는 최초의 잉크방울의 충돌전의 모양을, 도 8b는 2번째 잉크방울의 충돌전의 모양을, 도 8c는 3번째 잉크방울의 충돌전의 모양을, 도 8d는 4번째 잉크방울의 충돌전의 모양을, 도 8e는 4번째 잉크방울의 충돌후의 모양을 각각 도시한 것이다.8A shows the shape of the first ink droplets before the impact, FIG. 8B shows the shape of the second ink droplets before the collision, FIG. 8C shows the shape of the third ink droplets before the collision, and FIG. 8D shows the shape of the first ink droplets before the impact. 8E shows the shape after the collision of the fourth ink droplets, respectively.

이 도 8a 내지 도 8e에 있어서, 참조부호(81)는 하나의 압력실(82)에 하나의 노즐(84)을 설치한 잉크 젯 헤드, 참조부호(82)는 도시하지 않은 잉크 공급원에 의해서 공급된 잉크로 채워진 압력실, 참조부호(84)는 압력실(82)에 충전된 잉크를 토출하는 노즐, 참조부호(85)는 화소구획, 참조부호(86)는 컬러 필터가 될 투명 기판(이하, 컬러 필터 기판라고 칭함), 참조부호(87)는 블랙 매트릭스에 의해서 형성된 프레임체, 참조부호(88a)는 화소구획(85)에 대하여 최초로 토출된 제 1 잉크방울, 참조부호(88b)는 화소구획(85)에 대하여 2번째로 토출된 제 2 잉크방울, 참조부호(88c)는 화소구획(85)에 대하여 3번째로 토출된 제 3 잉크방울, 참조부호(88d)는 화소구획(85)에 대하여 4번째로 토출된 제 4 잉크방울, 참조부호(89a, 89b, 89c, 89d)는 각각 잉크방울(88a, 88b, 88c, 88d)이 화소구획(85)에 충돌한 후의 충전 잉크이다.8A to 8E, reference numeral 81 denotes an ink jet head in which one nozzle 84 is provided in one pressure chamber 82, and reference numeral 82 is supplied by an ink supply source (not shown). Pressure chamber filled with the filled ink, reference numeral 84 denotes a nozzle for discharging ink filled in the pressure chamber 82, reference numeral 85 denotes a pixel compartment, and reference numeral 86 denotes a transparent substrate to be a color filter (hereinafter, Reference numeral 87 denotes a frame formed by a black matrix, reference numeral 88a denotes first ink droplets ejected to the pixel compartment 85, and reference numeral 88b denotes a pixel. Second ink droplets ejected secondly with respect to the compartment 85, reference numeral 88c are third ink droplets ejected third with respect to the pixel compartment 85, and reference numeral 88d is pixel compartments 85 The fourth ink droplets ejected with respect to the fourth ink droplets and the reference numerals 89a, 89b, 89c, and 89d are respectively the ink droplets 88a, 88b, 88c, and 88d. It is the filling ink after colliding with.

도 8a에 있어서, 잉크 젯 헤드(81)는 압력실(82)이 잉크로 채워져 있고, 노즐(84)로부터 컬러 필터 기판(86)의 화소구획(85)을 향하여 잉크방울의 토출이 실행된다.In FIG. 8A, the ink jet head 81 is filled with ink in the pressure chamber 82, and ink droplets are ejected from the nozzle 84 toward the pixel compartment 85 of the color filter substrate 86. As shown in FIG.

잉크방울(88a)이 컬러 필터 기판(86)의 표면에 충돌하면, 도 8b에 도시하는 바와 같이, 프레임체(87) 사이에 충돌하여 퍼진 충전 잉크(89a)가 된다. 이 때, 잉크 젯 헤드(81)와 컬러 필터 기판(86)은 잉크방울이 동일한 지점에 충돌하지 않도록 계속하여 상대 이동하며, 도 8b 내지 도 8d의 순서로 제 2, 제 3, 제 4 잉크방울(88b, 88c, 88d)을 잉크 젯 헤드(81)로부터 토출하여, 프레임체(87)를 충전 잉크(89c)로 채운다. 소정의 잉크량을 프레임체(87)에 충전한 후에는 도 8d에 도시하는 바와 같이, 프레임체(87)의 높이보다 충전 잉크(89d)의 높이가 높아져, 볼록 형상의 메니스커스가 형성된다.When the ink droplets 88a collide with the surface of the color filter substrate 86, as shown in Fig. 8B, the filling ink 89a spread by colliding between the frame bodies 87 is obtained. At this time, the ink jet head 81 and the color filter substrate 86 continue to move relative to each other so that the ink droplets do not collide with the same point, and the second, third, and fourth ink droplets (in the order of FIGS. 8B to 8D) 88b, 88c, and 88d are discharged from the ink jet head 81, and the frame 87 is filled with the filling ink 89c. After the predetermined amount of ink is filled into the frame 87, as shown in FIG. 8D, the height of the filling ink 89d becomes higher than the height of the frame 87, so that a convex meniscus is formed. .

또한, 수용층을 잉크로 착색하는 방법은 컬러 필터 기판상의 블랙 매트릭스막으로 구획된 화소 영역상의 잉크 수용층을 미리 형성해 두고, 이 수용층을 향해서 직접 컬러 필터 기판을 착색하는 경우와 같이 잉크방울을 토출하여, 화소 영역 전면의 수용층에 충돌 잉크를 흡수시킴으로써 컬러 필터를 형성하는 것이다.In the method of coloring the receiving layer with ink, an ink receiving layer on the pixel area partitioned by a black matrix film on the color filter substrate is formed in advance, and ink droplets are discharged as in the case of coloring the color filter substrate directly toward the receiving layer. The color filter is formed by absorbing impingement ink in the receiving layer in front of the pixel region.

종래의 잉크 젯법은 이상과 같이 구성되고, 도료인쇄나 화학적인 프로세스 등으로 컬러 필터를 형성하는 종래 방법과는 달리, 각 색마다 동일한 공정을 되풀이할 필요가 없어, 공정의 반복에 의한 양품률의 저하나 생산비용 증가를 초래하지 않고, 또한 필터 재료에 낭비가 발생하지 않고 컬러 필터를 제조하는 것을 기대할 수 있었다.The conventional ink jet method is constructed as described above, and unlike the conventional method of forming a color filter by paint printing, chemical process or the like, it is not necessary to repeat the same process for each color, resulting in a good yield rate by repeating the process. It was expected to produce a color filter without causing any deterioration or an increase in production cost, and no waste of filter material.

그러나, 종래의 잉크 젯법에 의한 컬러 필터의 제조 방법에는 이하에 서술하는 것과 같은 문제가 있었다.However, the manufacturing method of the color filter by the conventional inkjet method had the problem described below.

이하, 이 종래 기술의 과제에 대하여 도 8a 내지 도 8e 및 도 9a 내지 도 9c를 이용하여 설명한다.Hereinafter, the subject of this prior art is demonstrated using FIGS. 8A-8E and 9A-9C.

도 9a 내지 도 9c는 종래의 잉크 젯법에 의해서 제조된 컬러 필터의 착색층을 도시하는 모식도이며, 도 9a 및 도 9b는 직접 컬러 필터 기판을 착색하는 경우를, 도 9c는 컬러 필터 기판상의 수용층을 착색하는 경우를 각각 도시한다.9A to 9C are schematic diagrams showing a colored layer of a color filter manufactured by a conventional ink jet method, and FIGS. 9A and 9B show a case in which a color filter substrate is directly colored, and FIG. 9C shows an aqueous layer on a color filter substrate. The case of coloring is shown, respectively.

도면에 있어서, 도 8a 내지 도 8e와 동일 부호는 동일 또는 상당한 것을 나타내고, 참조부호(90)는 화소구획내에서 잉크가 채워지지 않은 부분을 도시하는 탈색, 참조부호(91a, 9lb, 91c, 91d)는 각각 제 1 잉크 도트(dot), 제 2 잉크 도트,제 3 잉크 도트, 제 4 잉크 도트, 참조부호(92)는 잉크 도트의 중복 부분, 참조부호(93)는 잉크 도트의 단일 부분, 참조부호(94)는 프레임체(87)를 넘은 월경 잉크, 참조부호(95a, 95b, 95c, 95d, 95e, 95f, 95g, 95h, 95i)는 착색층, 참조부호(99b, 99e)는 각각 착색층(95b, 95e)의 충전 잉크이다.In the drawings, the same reference numerals as those in Figs. 8A to 8E denote the same or equivalent, and reference numeral 90 denotes a color fading and reference numeral 91a, 9lb, 91c, 91d showing a portion where ink is not filled in the pixel compartment. ) Denotes a first ink dot, a second ink dot, a third ink dot, a fourth ink dot, reference numeral 92 denotes an overlapping portion of the ink dot, reference numeral 93 denotes a single portion of the ink dot, Reference numeral 94 denotes menstrual ink over the frame 87, reference numerals 95a, 95b, 95c, 95d, 95e, 95f, 95g, 95h, 95i are colored layers, and reference numerals 99b, 99e are respectively. It is the filling ink of the colored layers 95b and 95e.

이 종래의 잉크 젯법에서는 프레임체(87)에 잉크 젯 헤드로부터 소정의 잉크방울을 충전하여 직접 컬러 필터 기판을 착색하는 경우에는 프레임체(87)에 마지막 잉크방울이 돌입할 때에는 큰 볼록 형상 메니스커스가 프레임체(87)에 형성되어 있으므로, 그 마지막 잉크방울이 충돌하는 충격으로 충전 잉크에 물결이 발생하여, 넘친 잉크가 프레임체를 넘어서 인접한 프레임체 내부로 침입하여 혼색이 발생하는 경우가 있다.In this conventional ink jet method, when the frame 87 is filled with predetermined ink droplets from an ink jet head to directly color the color filter substrate, a large convex meniscus is used when the last ink droplet enters the frame 87. Is formed in the frame body 87, a wave may occur in the filling ink due to the impact of the last ink droplet colliding therewith, and the overflowed ink may penetrate the frame body into the adjacent frame body and cause mixed color.

도 9a는 이러한 잉크 충전 영역의 잉크(99b)가 프레임체(87)를 넘어서, 본래의 착색층(95b)에 인접한 착색층(95a와 95c)에 침입한 상태를 도시하는 것이다. 이 혼색은 특히 프레임체(87)의 형상이나 프레임체(87)에 부가된 발액성(撥液性)의 격차에 의해서, 잉크 유지 능력이 저하되는 부분에서 발생하기 쉽다.FIG. 9A shows a state where the ink 99b of such an ink filled region has penetrated the colored layers 95a and 95c adjacent to the original colored layer 95b beyond the frame 87. This mixed color is particularly likely to occur at a portion where the ink holding ability is lowered due to the shape of the frame 87 and the liquid repellency gap added to the frame 87.

또한, 프레임체로 구획된 착색부의 컬러 필터 기판 표면에 발액재(撥液材)의 찌꺼기 등이 남은 경우, 도 9b에 도시하는 바와 같이, 화소구획내의 모서리 부분까지 충전 잉크(99e)가 균일하게 퍼지지 않고, 탈색(90)이 발생한 화소가 다수의 화소중에 발생하는 경우가 있다. 이것은 마지막 잉크방울의 충돌점 근방, 또는 화소구획내의 모서리 부분에서 발생하기 쉽다.In addition, when the residue of liquid repellent material etc. remains on the color filter substrate surface of the coloring part partitioned by the frame body, as shown in FIG. 9B, the filling ink 99e does not spread uniformly to the edge part in a pixel compartment. Instead, a pixel in which discoloration 90 has occurred may occur in a plurality of pixels. This is likely to occur near the point of impact of the last ink drop, or at the corners within the pixel compartment.

한편, 컬러 필터 기판상의 잉크 수용층에 염색하는 경우에는 도 9c와 같이, 잉크방울이 도시하지 않은 수용층에 일정 시간 간격으로 순차적으로 충돌하여 잉크가 넓어진 후에, 순차적인 잉크 도트(91a, 91b, 91c, 91d)를 형성하여 수용층에 흡수되기 때문에, 잉크 도트에 중복 부분(92)과 단일 부분(93)이 생겨, 이것에 의해서 얼룩이 발생하는 경우가 있다.On the other hand, in the case of dyeing the ink receiving layer on the color filter substrate, as shown in Fig. 9C, after the ink droplets collide with the receiving layer (not shown) at regular time intervals to widen the ink, the ink dots 91a, 91b, 91c, 91d are sequentially formed. ) And absorbed into the receiving layer, the overlap portion 92 and the single portion 93 are formed in the ink dot, whereby unevenness may occur.

이상과 같이, 종래의 잉크 젯법에 의해서 제조되는 컬러 필터는 잉크의 혼색, 탈색, 또는 얼룩 등을 발생시켜, 색농도가 균일하게 되지 않는다고 하는 문제가 있었다.As mentioned above, the color filter manufactured by the conventional inkjet method generate | occur | produces mixed color, discoloration, or a stain of an ink, and there existed a problem that a color density did not become uniform.

본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 문제점에 비추어 이루어진 것으로, 컬러 필터의 색농도를 균일화할 수 있어, 저비용으로 제조할 수 있는 컬러 필터의 제조 방법과, 그 컬러 필터의 제조 방법을 실현하는 잉크 젯 헤드를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-described conventional problems, and the ink jet which realizes the color filter manufacturing method which can make the color density of a color filter uniform, can be manufactured at low cost, and the manufacturing method of the color filter is realized. To provide the head.

본 발명은 액정 표시 패널 등에 이용되는 컬러 필터의 제조 방법 및 잉크 젯 헤드에 관한 것으로, 특히 잉크 젯 헤드에 의해 컬러 잉크를 토출하여 컬러 필터를 제조하는 방법 및 그 컬러 필터의 제조 방법을 실현하는 잉크 젯 헤드의 개량을 도모한 것에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a color filter and an ink jet head for use in a liquid crystal display panel and the like, and in particular, an ink for realizing a method for manufacturing a color filter by discharging color ink by the ink jet head and a method for manufacturing the color filter It relates to the improvement of a jet head.

도 1은 컬러 필터의 착색 패턴을 도시하는 모식도,1 is a schematic diagram showing a coloring pattern of a color filter;

도 2a 및 도 2b는 본 발명의 실시예 1에 관한 컬러 필터의 제조 방법을 도시하는 설명도이며, 도 2a는 잉크 토출 직후의 상태를 도시하는 도면, 도 2b는 잉크 충돌후의 상태를 도시하는 도면,2A and 2B are explanatory views showing the manufacturing method of the color filter concerning Example 1 of this invention, FIG. 2A is a figure which shows the state just after ink ejection, and FIG. 2B is a figure which shows the state after ink collision. ,

도 3은 하나의 압력실에 복수개의 노즐을 설치한 잉크 젯 헤드의 잉크 토출 방향에서 본 모식도,3 is a schematic view seen from the ink discharge direction of an ink jet head provided with a plurality of nozzles in one pressure chamber;

도 4는 압전 세라믹의 전단 모드 변형을 이용하는 복수개의 압력실 및 공기실을 설치한 잉크 젯 헤드의 잉크 토출 방향에서 본 모식도,4 is a schematic view seen from the ink discharge direction of an ink jet head provided with a plurality of pressure chambers and air chambers using shear mode deformation of piezoelectric ceramics;

도 5는 본 발명의 실시예 2에 관한 컬러 필터의 제조 방법을 도시하는 설명도,5 is an explanatory diagram showing a manufacturing method of a color filter according to a second embodiment of the present invention;

도 6은 압전 세라믹의 횡 변형 모드 변형을 이용하는 복수개의 압력실을 설치한 잉크 젯 헤드의 잉크 토출 방향에서 본 모식도,FIG. 6 is a schematic view as seen in the ink ejection direction of an ink jet head provided with a plurality of pressure chambers using transverse strain mode deformation of piezoelectric ceramics; FIG.

도 7은 본 발명의 실시예 3에 관한 컬러 필터의 제조 방법을 도시하는 설명도,7 is an explanatory diagram showing a manufacturing method of a color filter according to a third embodiment of the present invention;

도 8a, 도 8b, 도 8c 및 도 8d는 직접 컬러 필터 기판을 착색하는 경우에 있어서, 종래의 잉크 젯법에 의한 컬러 필터의 제조 방법을 도시하는 설명도이며, 도 8a는 최초의 잉크의 충돌전의 모양을 도시하는 도면, 도 8b는 2번째 잉크방울의 충돌전의 모양을 도시하는 도면, 도 8c는 3번째 잉크방울의 충돌전의 모양을 도시하는 도면, 도 8d는 4번째 잉크방울의 충돌전의 모양을 도시하는 도면, 도 8e는 4번째 잉크방울의 충돌후의 모양을 도시하는 도면,8A, 8B, 8C and 8D are explanatory views showing the manufacturing method of the color filter by the conventional inkjet method in the case of directly coloring a color filter substrate, and FIG. 8A is a view before the collision of the first ink. 8B shows the shape before the collision of the second ink droplet, FIG. 8C shows the shape before the collision of the third ink droplet, and FIG. 8D shows the shape before the collision of the fourth ink droplet. 8E is a view showing the shape after the impact of the fourth ink droplet,

도 9a, 도 9b 및 도 9c는 종래의 잉크 젯법에 의해서 제조된 컬러 필터의 착색층을 도시하는 모식도이며, 도 9a는 직접 컬러 필터 기판을 착색하는 경우를 도시하는 도면, 도 9b는 직접 컬러 필터 기판을 착색하는 경우를 도시하는 도면, 도 9c는 컬러 필터 기판상의 수용층을 착색하는 경우를 도시하는 도면.9A, 9B and 9C are schematic diagrams showing the colored layers of color filters manufactured by the conventional ink jet method, and Fig. 9A is a diagram showing a case of directly coloring a color filter substrate, and Fig. 9B is a direct color filter. The figure which shows the case of coloring a board | substrate, FIG. 9C is a figure which shows the case of coloring the receiving layer on a color filter substrate.

이상과 같이, 청구범위 제 1 항의 발명에 의하면, 잉크 젯 헤드를 이용하여 컬러 필터 기판상의 화소구획에 잉크방울을 토출하여 착색층을 형성하는 컬러 필터의 제조 방법에 있어서, 하나의 화소구획에 대하여 복수개의 잉크방울을 동시에 토출하도록 함으로써, 직접 컬러 필터 기판을 착색하는 경우에는 충돌에너지가 잉크를 방사상으로 퍼지려는 힘으로 소비되어, 프레임체를 넘고자 하는 힘은 억제되고, 잉크의 혼색 및 탈색을 방지할 수 있고, 컬러 필터 기판상의 수용층을 착색하는 경우에는 각각의 잉크 도트가 혼합된 후에 잉크가 수용층에 흡수되어 얼룩을 방지할 수 있으므로, 그 결과 어느 경우라도 색농도가 균일한 컬러 필터를 제조할 수 있다.As described above, according to the invention of claim 1, in the method of manufacturing a color filter in which ink droplets are ejected to pixel sections on a color filter substrate using an ink jet head to form a colored layer, By simultaneously discharging a plurality of ink droplets, in the case of directly coloring the color filter substrate, collision energy is consumed by a force that radially spreads the ink, so that the force to cross the frame is suppressed, and color mixing and discoloration of the ink are suppressed. In the case of coloring the receiving layer on the color filter substrate, ink can be absorbed into the receiving layer after each ink dot is mixed to prevent staining. As a result, in any case, a color filter having a uniform color concentration is produced. can do.

또한, 청구범위 제 2 항의 발명에 의하면, 복수의 노즐로 이루어지는 노즐열이 형성된 노즐판과, 전기 신호에 의해서 변형되는 액추에이터가 설치된 평면평판을 구비하고, 상기 노즐판 및 상기 평면평판으로 둘러싸이는 공간에 의해서 압력실이 형성되고, 잉크 공급원에서 상기 압력실에 공급되는 잉크를 상기 액추에이터로 가압하고, 상기 노즐로부터 잉크방울을 토출하도록 함으로써, 누화(crosstalk)를 발생하지 않고 잉크를 작은 피치로 동시에 토출할 수 있어, 색농도가 균일한 컬러 필터를 제조할 수 있는 잉크 젯 헤드를 얻을 수 있다.In addition, according to the invention of claim 2, there is provided a nozzle plate having a nozzle row formed of a plurality of nozzles, and a flat plate provided with an actuator deformed by an electrical signal, wherein the space is surrounded by the nozzle plate and the flat plate. Pressure chamber is formed, pressurizes the ink supplied from the ink source to the pressure chamber by the actuator, and discharges ink droplets from the nozzle, thereby simultaneously discharging the ink at a small pitch without crosstalk. It is possible to obtain an ink jet head capable of producing a color filter having a uniform color density.

또한, 청구범위 제 3 항의 발명에 의하면, 홈폭의 길이보다 깊은 홈이 서로 평행하게 되도록 복수개 형성된 압전재료 기판과, 복수개의 노즐로 이루어지는 노즐열이 소요 개소에 서로 평행하게 되도록 복수개 형성된 노즐판과, 상기 압전재료 기판의 깊은 홈을 밀봉하는 덮개판과, 상기 압전재료 기판의 깊은 홈의 격벽에 전위차를 부여하여 해당 격벽을 전단 모드로 변형시키는 액추에이터를 구비하고, 상기 압전재료 기판의 깊은 홈, 상기 노즐열이 형성된 개소의 상기 노즐판, 상기 덮개판 및 상기 액추에이터로 둘러싸이는 공간에 의해서 복수개의 압력실이 형성되고, 상기 압전재료 기판의 깊은 홈, 상기 노즐열이 형성되어 있지 않은 개소의 상기 노즐판, 상기 덮개판 및 상기 액추에이터로 둘러싸이는 공간이 상기 액추에이터에 의해서 변형되는 복수개의 공기실을 형성하고, 상기 압력실과 상기 공기실은 교대로 배치하도록 설치되고, 잉크 공급원에서 상기 복수개의 압력실에 충전되는 잉크를 상기 액추에이터로 가압하고, 상기 노즐로부터 잉크방울을 토출하도록 함으로써, 복수개의 압력실이 구동할 때의 간섭을 저감하여 누화를 해소하고, 잉크방울을 동시에, 또한 잉크방울의 부피나 비상 속도 등의 특성이 균일하게 되도록 토출할 수 있으므로 저비용화된 설비로 색농도가 균일한 컬러 필터를 제조할 수 있는 잉크 젯 헤드를 얻을 수 있다.In addition, according to the invention of claim 3, a plurality of piezoelectric material substrates are formed so that grooves deeper than the length of the groove width are parallel to each other, a nozzle plate formed in plural so that nozzle rows composed of a plurality of nozzles are parallel to each other at a required location; A cover plate for sealing a deep groove of the piezoelectric material substrate, and an actuator for imparting a potential difference to a partition of the deep groove of the piezoelectric material substrate to deform the partition into a shear mode, and the deep groove of the piezoelectric material substrate; A plurality of pressure chambers are formed by a space surrounded by the nozzle plate, the cover plate, and the actuator at the position where the nozzle row is formed, and the deep groove of the piezoelectric material substrate and the nozzle where the nozzle row is not formed. The space surrounded by the plate, the cover plate and the actuator is deformed by the actuator Air chambers, the pressure chambers and the air chambers are alternately arranged, and the ink filled in the plurality of pressure chambers from an ink supply source is pressurized by the actuator, and the ink droplets are discharged from the nozzles. It is possible to reduce crosstalk by reducing interference when two pressure chambers are driven, and to discharge ink droplets at the same time and to uniformize the characteristics such as volume and emergency speed of ink droplets. An ink jet head can be obtained which can produce one color filter.

또한, 청구범위 제 4 항의 발명에 의하면, 홈폭의 길이보다 얕은 홈을 서로 평행하게 되도록 복수개 형성된 압전재료 기판과, 복수개의 노즐로 이루어지는 노즐열이 직선상에 복수개 형성된 노즐판과, 압전재료 기판에 전위차를 부여하여 해당 압전재료 기판을 횡 변형 모드로 변형시키는 액추에이터와, 상기 압전재료 기판의 얕은 홈을 밀봉하고, 상기 액추에이터에 의해서 변위하는 진동판을 구비하고, 상기 압전재료 기판의 얕은 홈, 상기 노즐판 및 상기 진동판으로 둘러싸이는 공간에 의해서 복수개의 압력실이 형성되고, 잉크 공급원에 의해서 상기 복수개의 압력실에 충전되는 잉크를 상기 진동판의 변위에 의해서 가압하여 상기 노즐로부터 잉크방울을 토출하도록 함으로써, 잉크방울을 동시에, 또한 잉크방울의 체적이나 비상 속도 등의 특성이 균일하게 되도록 토출할 수 있어, 저비용화된 설비로 색농도가 균일한 컬러 필터를 제조할 수 있는 잉크 젯 헤드를 얻을 수 있다.In addition, according to the invention of claim 4, a plurality of piezoelectric material substrates formed so that the grooves shallower than the groove width are parallel to each other, a nozzle plate formed of a plurality of nozzle rows formed of a plurality of nozzles in a straight line, and a piezoelectric material substrate An actuator for imparting a potential difference to deform the piezoelectric material substrate in a lateral deformation mode, and a diaphragm for sealing a shallow groove of the piezoelectric material substrate and displacing the actuator by the actuator, the shallow groove of the piezoelectric material substrate and the nozzle. A plurality of pressure chambers are formed by the space enclosed by the plate and the diaphragm, and the ink filled in the plurality of pressure chambers by the ink supply source is pressurized by the displacement of the diaphragm to discharge ink droplets from the nozzle, At the same time, the characteristics of the droplets and the speed of Can be discharged so as to be one, it is possible to obtain an ink jet head capable of producing a color filter, the color density uniformly as the cost of equipment.

또한, 청구범위 제 5 항의 발명에 의하면, 청구범위 제 2 항 내지 제 4 항중 어느 한 항에 기재된 잉크 젯 헤드에 있어서, 형상이 대체로 직사각형이고 긴변과 짧은변의 길이의 비가 3 이상인 화소구획에 착색층을 형성할 때에, 상기 노즐열은 상기 화소구획의 형상에 기초를 둔 수의 노즐을 상기 화소구획의 긴변 방향과 평행하게, 또한 동일한 노즐 간격으로 설치하도록 함으로써, 충돌한 잉크방울이 화소구획내에 효율적으로 퍼져 색농도가 균일한 컬러 필터를 제조할 수 있는 잉크 젯 헤드를 얻을 수 있다.Further, according to the invention of claim 5, the ink jet head according to any one of claims 2 to 4, wherein the colored layer is formed in a pixel compartment in which the shape is generally rectangular and the ratio of the length of the long side and the short side is three or more. The nozzle row is arranged so that the number of nozzles based on the shape of the pixel compartment is provided in parallel with the long side direction of the pixel compartment and at the same nozzle spacing, so that the collided ink droplets are efficiently in the pixel compartment. An ink jet head can be obtained which can be spread to produce a color filter having a uniform color density.

또한, 청구범위 제 6 항의 발명에 의하면, 청구범위 제 2 항 내지 제 4 항중 어느 한 항에 기재된 잉크 젯 헤드에 있어서, 상기 노즐열은 양단부에 위치하는 노즐을 상기 압력실의 짧은변 벽에서 해당 짧은변 벽의 길이 이상 떨어뜨려 설치하도록 함으로써, 상기 압력실에 충전된 잉크에 액추에이터가 약간의 변형으로 균일하고 또한 큰 압력을 부여하여, 토출하는 잉크방울의 부피나 비상 속도 등의 특성을 모두 균일하게 할 수 있으므로, 색농도가 균일한 컬러 필터를 제조할 수 있는 잉크 젯 헤드를 얻을 수 있다.Further, according to the invention of claim 6, in the ink jet head according to any one of claims 2 to 4, the nozzle row corresponds to nozzles located at both ends of the nozzle chamber on the short side wall of the pressure chamber. By setting the length of the short side wall more than the length, the actuator gives a uniform and large pressure to the ink filled in the pressure chamber with a slight deformation, and uniforms all the characteristics such as the volume and the emergency speed of the ejected ink droplets. Since it is possible to make it possible, an ink jet head capable of producing a color filter having a uniform color concentration can be obtained.

또한, 청구범위 제 7 항의 발명에 의하면, 청구범위 제 3 항 또는 제 4 항에 기재된 잉크 젯 헤드에 있어서, 상기 액추에이터는 상기 격벽 또는 상기 압전재료 기판, 신호 전극 및 공통 전극을 갖고, 신호 전극 및 공통 전극에 각각 인가된 제 1 및 제 2 신호 및 전위차에 근거하여, 모든 상기 격벽 또는 상기 압전재료 기판을 동시에 변형시키도록 함으로써, 상기 잉크 젯 헤드의 소형화, 단순화 및 저비용화가 가능해져, 저비용화된 설비로 컬러 필터를 제조할 수 있는 잉크 젯 헤드를 얻을 수 있다.Further, according to the invention of claim 7, in the ink jet head according to claim 3 or 4, the actuator has the partition or the piezoelectric material substrate, a signal electrode and a common electrode, and a signal electrode and By simultaneously deforming all the barrier ribs or the piezoelectric material substrates on the basis of the first and second signals and potential differences applied to the common electrode, respectively, the ink jet head can be miniaturized, simplified, and reduced in cost. The facility can obtain an ink jet head capable of producing a color filter.

또한, 청구범위 제 8 항의 발명에 의하면, 청구범위 제 2 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 기재된 잉크 젯 헤드에 의해서, 하나의 화소구획에 대하여 복수개의 잉크방울을 동시에, 또한 각 잉크방울의 토출 특성을 균일하게 하여 토출하도록 함으로써, 잉크 젯법에 의해서 색농도가 균일한 컬러 필터를 저비용으로 제조할 수 있다.Further, according to the invention of claim 8, the ink jet head according to any one of claims 2 to 4 allows a plurality of ink droplets to be simultaneously drawn for one pixel compartment, By uniformly discharging the discharge characteristics, a color filter having a uniform color concentration can be manufactured at low cost by the ink jet method.

(실시예 1)(Example 1)

본 발명의 실시예 1에 관한 컬러 필터의 제조 방법은 하나의 압력실에 복수개의 노즐을 설치한 잉크 젯 헤드를 이용하여, 하나의 화소구획에 복수개의 잉크방울을 동시에, 또한 잉크방울의 체적이나 비상 속도 등의 특성이 균일하게 되도록 토출하여 컬러 필터의 착색층을 형성하는 것이다.In the method for manufacturing a color filter according to the first embodiment of the present invention, a plurality of ink droplets are simultaneously placed in one pixel compartment using an ink jet head provided with a plurality of nozzles in one pressure chamber, It discharges so that characteristics, such as an emergency speed | rate, may be made uniform, and the colored layer of a color filter is formed.

도 1은 본 발명의 실시예 1에 관한 컬러 필터의 제조 방법에 의해서 제조된 컬러 필터의 착색 패턴을 도시하는 모식도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a schematic diagram which shows the coloring pattern of the color filter manufactured by the manufacturing method of the color filter which concerns on Example 1 of this invention.

도면에 있어서, 참조부호(6)는 컬러 필터가 되는 투명 기판(이하, 컬러 필터 기판이라고 칭함), 참조부호(R)는 빨강의 착색층, 참조부호(G)는 초록의 착색층, 참조부호(B)는 파랑의 착색층이며, 이 컬러 필터는 3색이 줄무늬 형상으로 패터닝된 착색 패턴이다. 또한, 참조부호(7)는 블랙 매트릭스로 형성된 프레임체이다.In the drawing, reference numeral 6 denotes a transparent substrate (hereinafter referred to as a color filter substrate) to be a color filter, reference numeral R denotes a red colored layer, reference numeral G denotes a green colored layer, and reference numerals. (B) is a blue colored layer, and this color filter is a colored pattern in which three colors are patterned in stripe shape. Reference numeral 7 denotes a frame formed of a black matrix.

그리고, 잉크 젯 헤드를 이용한 착색층(R, G, B)의 제조 방법으로 다음 두가지의 방법이 있다.And, there are the following two methods as a method for producing the colored layer (R, G, B) using the ink jet head.

우선, 안료 및 염료를 함유하는 자외선 경화형 잉크를 사용하여 직접 착색층을 형성하는 방법은 발액성을 갖는 블랙 매트릭스의 프레임체(7)에 잉크 젯 헤드로 잉크를 충전하고, 건조 고화하여 착색층을 형성하는 것이다.First, a method of directly forming a colored layer using an ultraviolet curable ink containing a pigment and a dye is filled with ink in a frame 7 of a black matrix having liquid repellency with an ink jet head, and solidified to dry the colored layer. To form.

이것에 대하여, 착색염료를 혼입한 잉크와 피염색층을 이용하는 방법은 크롬의 스퍼터링과 포토리소그라피로 격자형상으로 패턴 형성된 블랙 매트릭스 위에 잉크 수용층이 설치되어 있고, 잉크 젯 헤드로 수용층에 잉크를 부착, 흡수시킴으로써 착색층을 형성하는 것이다.On the other hand, the ink mixed with the coloring dye and the method to use the dye layer are provided with an ink receiving layer on a black matrix formed in a lattice pattern by sputtering and photolithography of chromium, and ink is attached to the receiving layer by an ink jet head. By absorbing, a colored layer is formed.

우선, 블랙 매트릭스의 프레임체에 잉크를 충전하여 착색층을 형성하는 제조 방법에 대하여 도 2a 및 도 2b를 이용하여 설명한다.First, the manufacturing method which forms a colored layer by filling ink with the frame of a black matrix is demonstrated using FIG. 2A and FIG. 2B.

도 2a 및 도 2b는 본 발명의 실시예 1에 관한 컬러 필터의 제조 방법을 도시하는 설명도이며, 도 2a는 잉크 토출 직후의 상태를, 도 2b는 잉크 충돌후의 상태를 각각 도시한다.2A and 2B are explanatory views showing the manufacturing method of the color filter concerning Example 1 of this invention, FIG. 2A shows the state just after ink discharge, and FIG. 2B shows the state after ink collision, respectively.

도면에 있어서, 도 1과 동일 부호는 동일 또는 상당한 것을 나타낸다. 참조부호(1)는 하나의 압력실(2)에 복수개의 노즐(4)(이 예에서는 4a 내지 4d)을 설치한 잉크 젯 헤드, 참조부호(2)는 도시하지 않은 잉크 공급원으로부터 잉크가 공급됨과 동시에 컬러 필터 기판에 충전되야 할 잉크를 액추에이터로 가압하는 압력실, 참조부호(3)는 압력실(2)의 전면에 설치되고, 노즐열(5)이 형성됨과 동시에, 압력실(2)을 밀봉하는 노즐판, 참조부호(4)는 압력실(2)에 충전된 잉크를 토출하는 복수개의 노즐, 참조부호(5)는 서로 등간격 또한 일렬로 배열된 복수개의 노즐(4a 내지 4d)로 이루어지는 노즐열, 참조부호(7)는 블랙 매트릭스로 형성된 프레임체, 참조부호(8)는 복수개의 노즐(4a 내지 4d)에서 토출된 잉크방울, 참조부호(9)는 프레임체(7)에 의해서 구분된 화소구획, 참조부호(10)는 잉크 토출 방향, 참조부호(11)는 볼록 형상 메니스커스를 형성하는 충전 잉크이며, 이것은 노즐(4a 내지 4d)로부터 동시에 토출된 잉크방울(8a 내지 8d)로부터 형성된 것이다.In the drawings, the same reference numerals as in FIG. 1 denote the same or equivalent ones. Reference numeral 1 is an ink jet head provided with a plurality of nozzles 4 (4a to 4d in this example) in one pressure chamber 2, and reference numeral 2 is ink supplied from an ink supply source (not shown). At the same time, the pressure chamber for pressurizing the ink to be filled in the color filter substrate with the actuator, the reference numeral 3 is installed on the front of the pressure chamber 2, the nozzle row 5 is formed, the pressure chamber 2 A nozzle plate for sealing the plurality of nozzles, the reference numeral 4 is a plurality of nozzles for discharging the ink filled in the pressure chamber 2, the reference numeral 5 is a plurality of nozzles 4a to 4d arranged at equal intervals and in line with each other Nozzle row, reference numeral 7 denotes a frame formed of a black matrix, reference numeral 8 denotes ink droplets discharged from the plurality of nozzles 4a to 4d, and reference numeral 9 denotes the frame 7. Pixel compartment divided by reference numeral 10 denotes an ink discharge direction, and reference numeral 11 denotes a convex meniscus. The filling is filling ink, which is formed from ink droplets 8a to 8d discharged simultaneously from the nozzles 4a to 4d.

또한, 잉크 젯 헤드(1)의 잉크 토출 위치는 잉크 토출 방향(10)에서 보았을 때, 노즐열(5)의 중심이 화소구획(9)의 중심과 중첩되는 위치이다.In addition, the ink ejection position of the ink jet head 1 is a position where the center of the nozzle row 5 overlaps with the center of the pixel compartment 9 when viewed in the ink ejection direction 10.

또한, 화소구획(9)의 형상이 대체로 직사각형이고 긴변과 짧은변의 길이의 비가 3 이상인 경우에, 하나의 압력실(2)에 설치하는 복수개의 노즐(4)의 수는 화소구획(9)의 긴변과 짧은변의 길이의 비에 가까운 정수로 한다. 이것은 충돌한 잉크방울이 화소구획내에서 효율적으로 퍼지도록 하기 위해서이다.In the case where the shape of the pixel compartment 9 is generally rectangular and the ratio of the lengths of the long side and the short side is three or more, the number of the plurality of nozzles 4 provided in one pressure chamber 2 is equal to the size of the pixel compartment 9. The integer is close to the ratio of the length of the long side and the short side. This is to allow the colliding ink droplets to spread efficiently within the pixel compartment.

다음에, 동작에 대하여 설명한다.Next, the operation will be described.

잉크 젯 헤드(1)는 컬러 필터 기판(6) 상면의 프레임체(7)가 잉크 젯 헤드(1)의 토출 위치로 이동했을 때에, 도시하지 않은 이동 제어 회로로부터 잉크 젯 헤드(1)의 구동 회로에 대하여 잉크 토출 신호가 출력되고, 이 잉크 토출 신호에 근거하여 압력실(2)에 충전된 잉크를 액추에이터 등으로 가압하여, 노즐열(5)의 노즐(4a, 4b, 4c, 4d)에서 잉크방울(8a, 8b, 8c, 8d)을 동시에 토출한다. 이들 잉크방울(8a, 8b, 8c, 8d)의 체적이나 비상 속도 등의 특성은 거의 균일하며, 각각 다른 충돌점에서 화소구획(잉크 충전 영역)(9)의 기판(6) 표면에 거의 동시에 충돌된 후, 다음 순간에 눌러 뭉개져 충돌점을 중심으로 방사상으로 퍼져, 얇은 원주형상의 잉크 도트를 형성한다. 다음에, 그 잉크 도트는 화소구획(9)내에서 흘러 도트의 형상이 흐트러져, 다른 잉크 도트와 함께 볼록 형상의 메니스커스를 형성하는 충전 잉크(11)로 된다.The ink jet head 1 drives the ink jet head 1 from a movement control circuit (not shown) when the frame 7 on the upper surface of the color filter substrate 6 moves to the discharge position of the ink jet head 1. An ink ejection signal is output to the circuit, and the ink filled in the pressure chamber 2 is pressurized with an actuator or the like based on the ink ejection signal, and the nozzles 4a, 4b, 4c and 4d of the nozzle row 5 are pressurized. Ink droplets 8a, 8b, 8c, and 8d are ejected at the same time. These ink droplets 8a, 8b, 8c, and 8d have almost uniform characteristics such as volume and emergency speed, and they collide almost simultaneously with the surface of the substrate 6 of the pixel compartment (ink filling region) 9 at different collision points. Then, it is crushed at the next moment and spread radially about the point of collision, forming a thin columnar ink dot. Next, the ink dot flows in the pixel compartment 9, and the shape of the dot is disturbed to form a filling ink 11 which forms a convex meniscus together with other ink dots.

실험에서는 점도 10 내지 15cp 및 체적 15 내지 30pl의 잉크방울을 4 내지 7m/s의 비상 속도로 컬러 필터 기판(6)의 화소구획(9)에 충돌시킨 경우, 잉크 도트의 직경은 약 60 내지 90㎛였다. 잉크 및 컬러 필터 기판의 종류가 동일하면, 잉크 도트의 직경은 잉크방울의 체적 및 잉크방울의 비상 속도에 의해서 결정되기 때문에, 화소구획(9)의 크기와 충전 잉크(11)의 양으로부터 알맞은 잉크 도트의 직경을 선택할 수 있다.In the experiment, when ink droplets having a viscosity of 10 to 15 cp and a volume of 15 to 30 pl were impinged on the pixel compartment 9 of the color filter substrate 6 at an emergency speed of 4 to 7 m / s, the diameter of the ink dot was about 60 to 90. Μm. If the types of the ink and the color filter substrate are the same, the diameter of the ink dot is determined by the volume of the ink droplets and the emergency speed of the ink droplets, so that the appropriate ink is selected from the size of the pixel compartment 9 and the amount of the filling ink 11. The diameter of the dot can be selected.

이와 같이, 본 실시예 1에서는 복수개의 잉크방울(8)을 투명 기판(6) 표면에 동시에 충돌시키기 때문에, 각각의 잉크 도트가 화소 영역(잉크 충전 영역)(8)으로 균일하게 동시에 형성됨과 동시에, 인접하는 잉크 도트끼리의 간섭력에 의해서 잉크 충전 영역 전체에 잉크가 퍼진다.As described above, in the first embodiment, since the plurality of ink droplets 8 collide simultaneously with the surface of the transparent substrate 6, each ink dot is formed simultaneously in the pixel region (ink filling region) 8 simultaneously and simultaneously. The ink spreads over the entire ink filling region due to the interference force between adjacent ink dots.

이것에 대하여, 종래의 잉크방울을 순서대로 돌입시켜 가는 잉크 충전 방법에서는 잉크방울을 한개씩 토출하기 때문에, 선행하여 토출된 잉크방울(8a, 8b, 8c)에서 형성된 잉크 충전 영역의 볼록 형상의 메니스커스에 최종 잉크방울(8d)이 돌입하면 그 메니스커스에 큰 물결을 발생시켜, 잉크가 프레임체(7)로부터 인접 화소로 넘치는 일이 있었다.On the other hand, in the ink filling method in which the conventional ink droplets are in sequence, the ink droplets are discharged one by one, so that the convex menis of the ink filling regions formed in the previously ejected ink droplets 8a, 8b and 8c. When the last ink droplet 8d enters the curse, a large wave is generated in the meniscus, and the ink may overflow from the frame 7 to the adjacent pixels.

그러나, 본 실시예 1의 잉크 충전 방법에서는 모든 잉크방울(8a, 8b, 8c, 8d)이 컬러 필터 기판(6) 표면에 동시에 충돌하기 때문에, 그 각각의 잉크방울의 잉크를 기판(6) 표면에 퍼뜨리려는 힘으로 에너지가 소비되어, 잉크의 프레임체(7)를 넘고자 하는 힘이 억제된다.However, in the ink filling method of the first embodiment, since all the ink droplets 8a, 8b, 8c, and 8d collide simultaneously with the surface of the color filter substrate 6, the ink of the respective ink droplets is transferred to the substrate 6 surface. Energy is consumed by the force to spread to, and the force to pass the frame 7 of the ink is suppressed.

또한, 종래 방법에서는 마지막 잉크방울(8d)의 충돌 위치에 가까운 잉크 충전 영역의 모서리부에 잉크가 침투하지 않고 탈색이 발생하는 일이 있었다. 이것은 선행하는 잉크방울(8a 내지 8c)에 의해서 충전된 잉크가 잉크 충전 영역의 모서리부를 남기고 채워져 있는 경우에, 최종 잉크방울(8d)이 충전 잉크 위에 돌입하더라도 충전 잉크측에 압력이 흘러, 모서리부에 잉크가 침투하기 어렵기 때문이다.In addition, in the conventional method, discoloration may occur without ink penetrating into the corner portion of the ink filling region near the collision position of the last ink droplet 8d. This is because when the ink filled by the preceding ink droplets 8a to 8c is filled leaving the edges of the ink filling area, even if the final ink droplets 8d rush over the filling ink, pressure flows to the filling ink side, and the corners This is because ink is difficult to penetrate.

이 경우에 있어서도, 본 실시예 1에 의한 방법에서는 종래 방법의 최종 잉크방울(8d)의 충돌 위치에 상당하는 잉크 충전 영역의 모서리부 부근의 투명 기판(6) 표면에 다른 잉크방울(8a, 8b, 8c)과 함께 직접 투명 기판(6) 표면에 충돌하기 때문에, 충돌후에 투명 기판(6) 표면을 방사상으로 잉크가 퍼지는 힘으로, 잉크 충전 영역(8)의 모서리부까지 잉크가 침투하기 쉽다고 하는 효과가 있다.Also in this case, in the method according to the first embodiment, other ink droplets 8a and 8b are placed on the surface of the transparent substrate 6 near the corners of the ink filling region corresponding to the collision position of the final ink droplet 8d of the conventional method. 8c) directly impinges on the surface of the transparent substrate 6, so that ink easily penetrates to the edge of the ink filling region 8 by the force of radially spreading the ink on the surface of the transparent substrate 6 after the collision. It works.

또한, 수용층에 잉크방울을 토출하는 경우에 있어서도, 본 실시예 1에 의하면 복수개의 잉크방울이 수용층으로 균일하게 동시에 충돌함으로써, 수용층상에서의 인접 잉크 도트 간섭부가 액체 상태로 혼합한 후에 흡수된다. 그 때문에, 종래 방법에서 보인 잉크 도트의 중첩부의 농도 얼룩이 해소된다.Also in the case of discharging ink droplets to the accommodating layer, according to the first embodiment, a plurality of ink droplets collide uniformly and simultaneously into the accommodating layer, so that adjacent ink dot interference portions on the accommodating layer are mixed after being mixed in a liquid state. Therefore, the density | concentration unevenness of the overlapping part of the ink dot seen by the conventional method is eliminated.

다음에, 도 3을 이용하여 본 실시예 1에 있어서의 잉크 젯 헤드의 압력실과 노즐의 관계에 대하여 설명한다.Next, the relationship between the pressure chamber and the nozzle of the ink jet head in Example 1 is demonstrated using FIG.

도 3은 하나의 압력실에 복수개의 노즐을 설치한 잉크 젯 헤드를 잉크 토출 방향에서 본 모식도이다.3 is a schematic view of an ink jet head provided with a plurality of nozzles in one pressure chamber as viewed in the ink discharge direction.

여기서는 노즐을 4개 형성한 경우를 도시하고 있다. 이들 노즐은 컬러 필터의 잉크 충전 영역의 형상에 맞추어 일렬로 배치되어 있다.Here, the case where four nozzles are formed is shown. These nozzles are arranged in line with the shape of the ink filled region of the color filter.

도면에 있어서, 도 2a 및 도 2b와 동일 부호는 동일 또는 상당한 것을 나타낸다. 참조부호(12)는 도시하지 않은 액추에이터를 설치한 평면평판(14a, 14b)으로 이루어지는 압력실(2)의 긴변 벽, 참조부호(13)는 평면평판(14c, 14d)으로 이루어지는 압력실(2)의 짧은변 벽, 참조부호(L)는 압력실(2) 긴변 벽(12)의 내측의 길이, 참조부호(W)는 압력실(2) 짧은변 벽(13)의 내측의 길이, 참조부호(S)는 노즐열(5)의 양단부에 위치하고 있는 노즐(4a, 4d)의 중심에서 짧은변 벽(13)까지의 길이이다.In the drawings, the same reference numerals as those in Figs. 2A and 2B denote the same or equivalent ones. Reference numeral 12 is a long side wall of the pressure chamber 2 made of flat plates 14a and 14b provided with an actuator (not shown), and reference numeral 13 is a pressure chamber 2 made of flat plates 14c and 14d. Reference numeral L denotes the length of the inner side of the pressure chamber 2 long side wall 12, and reference numeral W denotes the length of the inner side of the pressure chamber 2 short side wall 13. The symbol S is the length from the center of the nozzles 4a and 4d located at both ends of the nozzle row 5 to the short side wall 13.

이들 4개의 노즐(4a 내지 4d)은 하나의 압력실(2)에 설치되어 있다. 압력실(2)의 단면형상은 노즐열(5)의 축 방향 길이(L)의 긴변 벽(12)과 그것에 수직인 폭(W)의 짧은변 벽(13)을 갖는 직사각형이다. 짧은변 벽(13)으로부터 노즐열(5)의 양단부 노즐의 중심까지의 간격(S)은 짧은변 벽(13)의 폭(W) 이상의 길이로 구성된다. 또한, 압력실(2)내의 잉크를 가압하기 위한 도시하지 않은 액추에이터는 압력실(2)의 단면의 긴변 벽(12)에 설치되고, 긴변 벽(12)에 수직인 방향으로 변위하도록 구성되어 있다.These four nozzles 4a to 4d are provided in one pressure chamber 2. The cross-sectional shape of the pressure chamber 2 is a rectangle having the long side wall 12 of the axial length L of the nozzle row 5 and the short side wall 13 of the width W perpendicular thereto. The space | interval S from the short side wall 13 to the center of the nozzle of the both ends of the nozzle row 5 is comprised by the length more than the width W of the short side wall 13. Moreover, the actuator which is not shown in figure for pressurizing the ink in the pressure chamber 2 is provided in the long side wall 12 of the cross section of the pressure chamber 2, and is comprised so that it may displace in the direction perpendicular to the long side wall 12. As shown in FIG. .

여기서, 복수개의 노즐(4)을 하나의 압력실(2)에 설치한 것은 다음과 같은 경위에 의한다.Here, the installation of the plurality of nozzles 4 in one pressure chamber 2 depends on the following circumstances.

즉, 대표적인 컬러 필터의 화소 피치는 약 300㎛이며, 예컨대 l0.4인치의 VGA(640×480돗트) 액정 패널용의 것으로는 330㎛, 18.1 인치의 SVGA(1024×1024돗트) 액정 패널용의 것으로는 280㎛이다. 이 화소구획에 적절한 노즐 수는 4개이지만, 이 4개의 노즐(4)을 300㎛내에 피치 60㎛로 배치하고 잉크를 동시에 토출하는 것은 보통의(프린터용의) 잉크 젯 헤드(1)로서는 대단히 곤란하다. 왜냐하면, 예컨대 피에조 방식에서의 최소 피치는 약 141㎛, 버블 젯 방식에서의 최소 피치는 약 71㎛로 60㎛을 넘기 때문이다.In other words, the pixel pitch of a representative color filter is about 300 μm, for example, for a 0.4 inch VGA (640 × 480 dot) liquid crystal panel, for a 330 μm, 18.1 inch SVGA (1024 × 1024 dot) liquid crystal panel. It is 280 micrometers. Although the number of nozzles suitable for this pixel compartment is four, it is very important for a normal (for printer) ink jet head 1 to arrange these four nozzles 4 at a pitch of 60 µm within 300 µm and to simultaneously discharge ink. It is difficult. This is because, for example, the minimum pitch in the piezo system is about 141 µm and the minimum pitch in the bubble jet system is about 71 µm, which exceeds 60 µm.

또한, 이러한 좁은 피치의 헤드에서는 인접 채널과의 거리가 짧아지기 때문에 소위 누화, 즉 어떤 채널 내부의 잉크를 토출할 때의 압력 진동이 인접한 채널에 영향을 미치기 때문에, 인접한 노즐로부터 동시에 잉크방울을 토출하는 경우의 토출 성능이 하나의 노즐로부터 잉크방울을 토출하는 경우의 토출 성능에서 변화해 버리는 불량의 발생이 크기 때문에, 프린터용 잉크 젯 헤드에서는 인접한 노즐로부터 동시에 잉크방울을 토출하는 것을 피하여, 하나의 압력실에 하나의 노즐을 설치함과 동시에, 복수개의 압력실의 개개의 노즐의 토출 타이밍을 지연시켜 전 노즐에 걸쳐 잉크방울 토출을 달성하고 있다.Also, in such narrow pitch heads, the distance from adjacent channels is shortened, so that crosstalk, that is, pressure vibration when ejecting ink in a certain channel, affects the adjacent channels, thereby ejecting ink droplets from adjacent nozzles simultaneously. In this case, since the ejection performance in the case of a large amount of defects in the ejection performance in the case of ejecting ink droplets from one nozzle is large, the printer ink jet head avoids ejecting ink droplets from adjacent nozzles simultaneously. At the same time, one nozzle is provided in the pressure chamber, and the ejection timing of the individual nozzles in the plurality of pressure chambers is delayed to achieve ink droplet ejection over all the nozzles.

그러나, 하나의 압력실에 하나의 노즐을 설치한다고 하는 사고방식은 프린터용도로서는 필요 불가결하지만, 컬러 필터의 제조에 대응해서는 불필요하다. 그것은 이미 말한 바와 같이, 잉크방울을 하나씩 토출하면, 얼룩 등이 발생하기 때문이다.However, the idea of providing one nozzle in one pressure chamber is indispensable for printer use, but it is not necessary for the manufacture of color filters. This is because, as already mentioned, when ink droplets are ejected one by one, staining or the like occurs.

그래서, 잉크 젯 헤드(1)를 컬러 필터 제조용으로 특화하여, 구획내에 배열하는 노즐(4)을 동일한 압력실(2)에 설치함으로써 복수개의 잉크방울을 동시에 토출할 수 있음과 동시에, 노즐을 좁은 피치로 배치할 수 있는 컬러 필터 제조용으로 최적화된 잉크 젯 헤드를 얻는 것을 착상했다.Therefore, the ink jet head 1 is specialized for manufacturing color filters, and the nozzles 4 arranged in the compartments are arranged in the same pressure chamber 2 so that a plurality of ink droplets can be discharged simultaneously and the nozzles are narrow. It was conceived to obtain an ink jet head optimized for the production of color filters which can be arranged at pitch.

그러나, 이러한 컬러 필터 제조용으로 최적화된 잉크 젯 헤드에서는 각 노즐의 토출 특성이 갖추어져 있고, 더구나 좁은 피치의 노즐임에도 불구하고 누화가 발생하지 않는 것이 필수적이다.However, in the ink jet head optimized for manufacturing such a color filter, the ejection characteristics of each nozzle are provided, and it is essential that no crosstalk occurs even though the nozzle is a narrow pitch nozzle.

본건 발명자가 예의 연구를 한 결과, 이것은 이하와 같은 구성으로 실현할 수 있는 것을 발견했다.As a result of earnestly research by this inventor, it discovered that this can be implement | achieved with the following structures.

우선, 이러한 컬러 필터 제조용으로 최적화된 잉크 젯 헤드의 압력실(2)의 단면형상에 대하여 설명한다.First, the cross-sectional shape of the pressure chamber 2 of the ink jet head optimized for producing such a color filter will be described.

도 3에 있어서, 노즐열(5)의 어떤 노즐(4)로부터도 동일한 토출 특성을 얻기 위해서는 노즐열(5)을 평행평판으로 끼워 이전 노즐에서 잉크의 평행평판 흐름이 더해지도록 하는 것이 유효하다.In Fig. 3, in order to obtain the same ejection characteristics from any nozzle 4 in the nozzle row 5, it is effective to insert the nozzle row 5 into parallel plates so that the parallel plane flow of ink in the previous nozzle is added.

그리고, 평행평판의 측벽이 되는 짧은변 벽(13)의 위치는 이 짧은변 벽(13)이 노즐열(5)의 양단부의 노즐의 흐름에 영향을 미치지 않도록, 양단부 노즐(4a, 4d)의 중심에서 짧은변 벽(13)까지의 거리(S)를 평행평판간 거리, 즉 짧은변 길이(W) 이상으로 하고 있다. 이 짧은변 길이(W)는 노즐 직경의 배 이상의 크기로 하는 것이 바람직하다.And the position of the short side wall 13 used as the side wall of a parallel plate is so that this short side wall 13 may not influence the flow of the nozzle of the both ends of the nozzle row 5 of the nozzle 4a, 4d of the both ends. The distance S from the center to the short side wall 13 is set to the distance between parallel plates, that is, the short side length W or more. It is preferable to make this short side length W into the magnitude | size more than twice the diameter of a nozzle.

이러한 형상의 압력실(2)내의 잉크에 효과적으로 압력을 가하기 위해서는 양단부 노즐로부터 짧은변 벽까지의 길이(S)는 양단부 노즐(4a, 4d)에서 토출되는 잉크의 흐름이 짧은변 벽(13)의 영향을 받지 않도록 짧은변 벽(13) 내측의 길이(W) 이상으로 설치하고, 노즐 열(5)은 긴변 벽(12)에 평행하고 짧은변 벽(13)의 중심을 지나는 직선상에 설치하고, 또한 짧은변 벽(13) 내측의 길이(W)는 노즐 직경의 2배 이상으로 하는 것이 바람직하다.In order to effectively pressurize the ink in the pressure chamber 2 of this shape, the length S from both end nozzles to the short side wall is equal to the flow of ink discharged from both end nozzles 4a and 4d. It is installed above the length W inside the short side wall 13 so as not to be affected, and the nozzle row 5 is installed on a straight line parallel to the long side wall 12 and passing through the center of the short side wall 13. Moreover, it is preferable to make length W of the inside of the short side wall 13 into 2 times or more of the nozzle diameter.

이와 같이 실행함으로써, 긴변 벽(12)의 약간의 변위로 균일하고 또한 큰 압력을 잉크에 부여할 수 있다.By doing in this way, uniform and large pressure can be given to ink by slight displacement of the long side wall 12. FIG.

이상으로부터, 본 발명의 실시예 1에 의하면, 하나의 화소구획(9)에 복수개의 잉크방울(8a, 8b, 8c, 8d)을 동시에, 또한 잉크방울의 부피나 비상 속도 등의 특성이 균일하게 되도록 토출하는 것이 가능해지고, 이것에 의해서 직접 컬러 필터 기판(6)을 착색하는 경우에는 충돌에너지가 잉크를 방사상으로 넓히는 힘으로 소비되어, 프레임체(7)를 넘고자 하는 힘은 억제되므로 잉크의 혼색 및 탈색을 방지할 수 있고, 컬러 필터 기판(6)상의 수용층을 착색하는 경우에는 각 잉크 도트가 혼합된 후에 잉크는 수용층에 흡수되어, 얼룩을 방지할 수 있으므로, 그 결과 어느쪽의 경우라도 색농도가 균일한 컬러 필터를 제조할 수 있다.As described above, according to the first embodiment of the present invention, a plurality of ink droplets 8a, 8b, 8c, and 8d are simultaneously placed in one pixel compartment 9, and the characteristics such as volume and emergency speed of ink droplets are uniform. In this case, when the color filter substrate 6 is directly colored, the collision energy is consumed by the force of radially widening the ink, and the force to cross the frame 7 is suppressed. Mixing and discoloration can be prevented, and in the case of coloring the receiving layer on the color filter substrate 6, after each ink dot is mixed, the ink can be absorbed into the receiving layer to prevent unevenness. A color filter having a uniform color concentration can be produced.

또한, 본 발명의 실시예 1에 있어서, 하나의 압력실(2)에 복수개의 노즐(4)을 설치한 잉크 젯 헤드(1)를 이용함으로써, 누화를 발생하지 않고 잉크를 작은 피치로 동시에 토출할 수 있으므로, 색농도가 균일한 컬러 필터를 제조할 수 있다.Further, in Example 1 of the present invention, by using the ink jet head 1 in which a plurality of nozzles 4 are provided in one pressure chamber 2, ink is discharged simultaneously at a small pitch without causing crosstalk. Since it is possible, a color filter having a uniform color concentration can be produced.

또한, 본 발명의 실시예 1에 있어서, 액추에이터를 설치한 평면평판으로 이루어지는 압력실(2)의 긴변 벽(12)을 갖고, 양단부 노즐로부터 짧은변 벽(13)까지의 길이(S)를 짧은변 벽(13) 내측의 길이(W) 이상이 되도록 설치한 잉크 젯 헤드(1)를 이용함으로써, 압력실(2)에 충전된 잉크에 액추에이터가 약간의 변형으로 균일하고 또한 큰 압력을 부여하여, 토출하는 잉크방울(8a, 8b, 8c, 8d)의 체적이나 비상 속도 등의 특성을 모두 균일하게 할 수 있어, 색농도가 균일한 컬러 필터를 제조할 수 있다.Furthermore, in Example 1 of this invention, it has the long side wall 12 of the pressure chamber 2 which consists of a flat plate provided with an actuator, and shortens the length S from both end nozzles to the short side wall 13. By using the ink jet head 1 provided to be equal to or greater than the length W inside the side wall 13, the actuator gives a uniform and large pressure to the ink filled in the pressure chamber 2 with slight deformation. All the characteristics such as the volume and the emergency speed of the ink droplets 8a, 8b, 8c, and 8d to be discharged can be made uniform, and a color filter having a uniform color concentration can be produced.

또한, 본 발명의 실시예 1에 있어서는 화소구획(9)의 형상이 대체로 직사각형이고 긴변과 짧은변의 길이의 비가 3 이상인 경우에, 하나의 압력실(2)에 대한 복수개의 노즐(4)의 수는 화소구획(9)의 긴변과 짧은변의 길이의 비에 가까운 정수로 하고, 그들 노즐(4)을 등간격 또한 일렬로 설치한 잉크 젯 헤드를 사용함으로써, 충돌한 잉크방울이 화소구획내에 효율적으로 퍼져, 색농도가 균일한 컬러 필터를 제조할 수 있다.In addition, in Example 1 of this invention, when the shape of the pixel compartment 9 is substantially rectangular, and the ratio of the length of a long side and a short side is three or more, the number of the some nozzle 4 with respect to one pressure chamber 2 is carried out. Is an integer close to the ratio between the long side and the short side of the pixel compartment 9, and by using an ink jet head having the nozzles 4 arranged at equal intervals in a row, the collided ink droplets spread efficiently within the pixel compartment. In addition, a color filter having a uniform color concentration can be produced.

(실시예 2)(Example 2)

본 발명의 실시예 2에 관한 컬러 필터의 제조 방법은 압전 세라믹의 전단 모드 변형을 이용하는 복수개의 압력실 및 공기실을 설치한 잉크 젯 헤드를 이용하여, 화소구획의 짧은변 방향에 있는 다수의 동색 화소구획에 잉크방울을 동시에 또한 잉크방울의 부피나 비상 속도 등의 특성이 균일하게 되도록 토출하여 컬러 필터의 착색층을 형성하는 것이다.The color filter manufacturing method according to the second embodiment of the present invention uses a plurality of pressure chambers using a plurality of pressure chambers and air chambers using shear mode deformation of piezoelectric ceramics, and a plurality of same colors in the short side direction of the pixel compartment. At the same time, the ink droplets are discharged to the pixel compartment so as to make the characteristics such as the volume and the emergency speed of the ink droplets uniform, thereby forming the colored layer of the color filter.

도 4는 복수개의 압력실 및 공기실을 갖고, 압전 세라믹의 전단 모드 변형을 이용하는 잉크 젯 헤드를 잉크 토출 방향에서 본 모식도이다.Fig. 4 is a schematic view of an ink jet head having a plurality of pressure chambers and an air chamber and utilizing the shear mode deformation of the piezoelectric ceramic as viewed in the ink discharge direction.

도면에 있어서, 참조부호(41)는 압력실(42) 및 공기실(48) 사이를 막는 격벽이다. 참조부호(42)는 잉크를 충전하는 복수개의 압력실이며, 노즐판, 액추에이터(100), 압전 세라믹 기판(49) 및 덮개판(50)으로 구성된다. 참조부호(45)는 복수개의 노즐을 서로 평행하게 되도록 복수개 설치하여 이루어지는 노즐열, 참조부호(46)는 압력실 내벽의 상반부에 상당하는 부분에 금속막으로 형성된 신호 전극, 참조부호(47)는 공기실 내벽의 상반부에 상당하는 부분에 금속막으로 형성된 공통 전극, 참조부호(48)는 내부에 공기가 충전되어 있는 복수개의 공기실이며, 노즐판, 액추에이터, 압전 세라믹 기판(49) 및 덮개판(50)으로 구성되고 노즐은 갖고 있지 않다. 참조부호(49)는 압력실(42)과 공기실(48)이 되는 깊은 홈이 서로 평행하게 되도록 형성된 압전 세라믹 기판, 참조부호(50)는 세라믹재료 또는 수지재료 등으로 형성되어 압력실(42) 및 공기실(48)이 되는 깊은 홈의 개구를 밀봉하는 덮개판, 참조부호(52)는 격벽(41)의 분극 방향, 참조부호(V1)는 공통 전극(47)에 인가되는 전위, 참조부호(V2)는 신호 전극(46)에 인가되는 전위이다.In the figure, reference numeral 41 denotes a partition wall that closes between the pressure chamber 42 and the air chamber 48. Reference numeral 42 is a plurality of pressure chambers filled with ink, and is composed of a nozzle plate, an actuator 100, a piezoelectric ceramic substrate 49, and a cover plate 50. Reference numeral 45 is a nozzle array formed by providing a plurality of nozzles in parallel to each other, reference numeral 46 is a signal electrode formed of a metal film in a portion corresponding to the upper half of the pressure chamber inner wall, reference numeral 47 is The common electrode formed by the metal film on the upper half of the inner wall of the chamber, and the reference numeral 48 are a plurality of chambers filled with air therein, and the nozzle plate, the actuator, the piezoelectric ceramic substrate 49, and the cover plate. It consists of 50 and does not have a nozzle. Reference numeral 49 is a piezoelectric ceramic substrate formed so that the deep grooves that become the pressure chamber 42 and the air chamber 48 are parallel to each other, and the reference numeral 50 is formed of a ceramic material or a resin material, and the pressure chamber 42. ) And a cover plate for sealing the opening of the deep groove to be the air chamber 48, the reference numeral 52 denotes the polarization direction of the partition 41, the reference numeral V1 denotes the potential applied to the common electrode 47, and the reference. Reference sign V2 is a potential applied to the signal electrode 46.

또한, 참조부호(l00)는 액추에이터로, 격벽(41), 신호 전극(46) 및 공통 전극(47)으로 구성되고, 압전 세라믹 기판(49)의 깊은 홈은 압력실(42)과 공기실(48)이 소정 간격으로 배치되도록 이것을 형성한다.Reference numeral 100 denotes an actuator, which is composed of a partition wall 41, a signal electrode 46, and a common electrode 47, and the deep grooves of the piezoelectric ceramic substrate 49 are formed in the pressure chamber 42 and the air chamber ( This is formed so that 48) is arranged at predetermined intervals.

도 4에 도시하는 잉크 젯 헤드(1)는 분극 방향(52)과 동일한 방향으로 분극된 압전 세라믹 기판(49)과 덮개판(50)과 도시하지 않은 노즐 플레이트와 도시하지 않은 드라이버 기판으로 구성되어 있다. 그 압전 세라믹 기판(49)에는 복수개의 깊은 홈이 동일한 깊이로 평행하게 형성되어 있다. 깊은 홈과 깊은 홈 사이의 방향(52)으로 분극된 압전 세라믹의 격벽(41)에는 상반부만 금속막이 형성되어 있고, 깊이 방향의 홈 종단부로 연결되어 하나의 신호 전극(46)과 공통 전극(47)으로 되어 있다. 또한, 이들의 깊은 홈에 의해서 잉크의 압력실(42)과 공기실(48)이 교대로 형성된다. 공기실(48)에는 노즐은 형성되지 않고, 홈 종단부에서 덮개판(50)으로 밀봉되며, 압력실(42)은 잉크 공급로와 연통되어 있다. 덮개판(50)은 세라믹재료 또는 수지재료 등으로 형성되어 있고, 압전 세라믹 기판(49)과 에폭시계 접착제로 강고하게 접합되어 있다. 또한, 압전 세라믹 기판(49) 및 덮개판(50)의 전방 단부면에는 압력실(42)에 대응하여 마련된 노즐열(45)을 갖는 도시하지 않은 노즐 플레이트가 접합되어 있다. 노즐열(45)은 그 배열축이 깊은 홈의 깊이 방향으로 평행하게 설치되어 있다. 압력실(42)의 신호 전극(46)과 공기실(48)의 공통 전극(47)은 각각 공통으로 접속되어 도시하지 않은 드라이버 회로에 접속되어 있다.The ink jet head 1 shown in FIG. 4 is composed of a piezoelectric ceramic substrate 49 and a cover plate 50 polarized in the same direction as the polarization direction 52, a nozzle plate (not shown) and a driver substrate (not shown). have. In the piezoelectric ceramic substrate 49, a plurality of deep grooves are formed in parallel with the same depth. In the partition wall 41 of the piezoelectric ceramic polarized in the direction 52 between the deep groove and the deep groove, only the upper half is formed with a metal film, and is connected to the groove end portion in the depth direction to connect one signal electrode 46 and the common electrode 47. ) Further, these deep grooves alternately form the pressure chamber 42 and the air chamber 48 of the ink. The nozzle is not formed in the air chamber 48 and is sealed by the cover plate 50 at the groove end portion, and the pressure chamber 42 communicates with the ink supply passage. The cover plate 50 is made of a ceramic material, a resin material, or the like, and is firmly bonded to the piezoelectric ceramic substrate 49 with an epoxy adhesive. In addition, a nozzle plate (not shown) having a nozzle row 45 provided corresponding to the pressure chamber 42 is joined to the front end surfaces of the piezoelectric ceramic substrate 49 and the cover plate 50. The nozzle row 45 is provided in parallel in the depth direction of the groove in which the arrangement axis is deep. The signal electrode 46 of the pressure chamber 42 and the common electrode 47 of the air chamber 48 are connected in common, respectively, and are connected to the driver circuit which is not shown in figure.

이 드라이버 회로로부터 공기실(48)의 공통 전극(47)으로는 V1의 전압을, 또한 압력실(42)의 신호 전극(46)에는 V2인 전위를 부여하여 격벽(41)의 사이에 전위차를 부여하면, 분극 방향(52)과 전계 방향이 직교하여 격벽 상반부가 전단(剪斷)력을 받아, 압력실(42)의 양측의 격벽이 도면 중의 파선으로 도시하는 바와 같이 동시에 내측으로 변위하여 압력실(42)내의 잉크를 가압하는 구성으로 되어 있다. 가압된 잉크는 노즐열(45)의 각 노즐로부터 잉크방울로 되어 토출된다. 이 경우, 노즐열(45)의 4개의 노즐로부터 동시에 잉크방울이 토출된다.From this driver circuit, a voltage of V1 is applied to the common electrode 47 of the air chamber 48, and a potential of V2 is applied to the signal electrode 46 of the pressure chamber 42, thereby providing a potential difference between the partitions 41. If so, the polarization direction 52 and the electric field direction are orthogonal to each other, the upper half of the partition wall receives a shear force, and the partition walls on both sides of the pressure chamber 42 simultaneously displace inwardly as shown by the broken line in the drawing, and the pressure is applied. The ink in the chamber 42 is pressurized. The pressurized ink is discharged as ink droplets from the nozzles in the nozzle row 45. In this case, ink droplets are discharged simultaneously from four nozzles in the nozzle row 45.

즉, 격벽(41)은 V1과 V2의 전위차에 의해서 분극되어, 그 만큼 극 방향(52)과 전계 방향이 직교함으로써 격벽(41)의 상반부에 전단력을 받는다. 그 전단력에 의해서, 동시에 도 4의 파선으로 도시한 바와 같이, 압력실(42)의 격벽(41)은 내측으로 변형하여 압력실(42)에 충전되는 잉크를 가압하고, 공기실(48)의 격벽(41)은 외측으로 변형한다. 격벽(41)에 의해서 가압된 잉크는 각각 노즐열(45)로부터 동시에 토출하여, 컬러 필터 기판의 이동 방향에 수직인 열에 있는 다수의 동색 화소구획을 착색한다.That is, the partition 41 is polarized by the potential difference between V1 and V2, and the shear force is applied to the upper half of the partition 41 by the perpendicular direction of the polar direction 52 and the electric field. By the shear force, the partition 41 of the pressure chamber 42 deforms inward and pressurizes the ink filled in the pressure chamber 42 at the same time, as indicated by the broken line in FIG. 4. The partition 41 deforms outward. The ink pressurized by the partition wall 41 is simultaneously discharged from the nozzle row 45 to color a plurality of same-color pixel blocks in a column perpendicular to the moving direction of the color filter substrate.

여기서, 공기실(48)을 설치하고 있는 것은 서로 인접하는 압력실(42)이 구동할 때 간섭에 의해 일어나는 누화의 영향을 해소하기 위해서이며, 이것은 화소구획의 프레임체로 잉크방울을 안정적이고 또한 정확한 위치와 양으로 토출하여 충돌시키는 데 유효하다.Here, the air chamber 48 is provided in order to eliminate the influence of crosstalk caused by the interference when the pressure chambers 42 adjacent to each other are driven, which makes the ink droplets stable and accurate in the frame of the pixel compartment. Effective for discharging and colliding with position and quantity.

즉, 피에조방식 전단 모드형의 헤드에서는, 종래의 인접하는 채널의 모든 채널로부터 잉크 토출을 실행하고 있고, 이것은 노즐 피치를 단축하기 위해서는 유효한 방법이며, 고속화를 목표로 하는 프린터 헤드에 있어서는 유효한 것이었지만, 채널 측벽과 인접 채널의 잉크를 통하여 다른 채널에 압력 진동을 부여하기 때문에, 누화를 피할 수 없다라는 결점이 있었다.That is, in the piezoelectric shearing mode type head, ink ejection is performed from all channels of a conventional adjacent channel, which is an effective method for shortening the nozzle pitch, and is effective for a print head aimed at speeding up. In other words, crosstalk cannot be avoided because pressure vibration is applied to other channels through the ink in the channel sidewall and the adjacent channel.

이것에 대하여, 본 실시예 2에서는 해상도가 비교적 낮은 컬러 필터의 제조용으로 최적화시키도록, 고정밀도의 잉크 토출량 제어를 중시하여, 잉크 토출 채널의 인접 채널에는 노즐을 없애고, 그 채널을 공기층으로 했다.On the other hand, in Embodiment 2, high-precision ink discharge amount control is considered to be optimized for the manufacture of color filters having a relatively low resolution, and nozzles are removed from adjacent channels of the ink discharge channels, and the channels are made into air layers.

이것에 의해서, 종래 발생하고 있었던 인접 채널의 잉크를 통하여 일어나는 압력 진동을 막을 수 있으므로 누화가 없는 고정밀도·고안정의 잉크 토출이 가능해진다.This makes it possible to prevent the pressure vibration occurring through the ink of the adjacent channel, which has occurred conventionally, so that high-precision and highly stable ink ejection without crosstalk is possible.

이것은 잉크에 비교하여 공기의 탄성율이 매우 낮기 때문에, 공기층을 거친압력 진동의 전파는 발생하지 않기 때문이다.This is because propagation of pressure vibrations through the air layer does not occur because the elastic modulus of air is very low as compared with ink.

그리고, 이들 공기실(48)을 설치한 경우라도 압력실(42)의 피치를 컬러 필터의 특정색의 화소 피치에 맞추는 것은 충분히 가능하다. 더구나, 이 공기실(48)을 설치함으로써, 2 계통의 신호(V1, V2)만으로 다수의 압력실(42)을 구동하는 것이 가능해지므로, 드라이버 회로가 단순화되어 전체의 비용 절감에 기여한다.And even when these air chambers 48 are provided, it is possible to adjust the pitch of the pressure chamber 42 to the pixel pitch of the specific color of a color filter. Moreover, by providing this air chamber 48, it becomes possible to drive many pressure chambers 42 only by the signals V1 and V2 of two systems, and the driver circuit is simplified and contributes to the overall cost reduction.

즉, 종래의 연속한 채널 모두에 노즐이 설치되고, 또한 각각의 노즐로부터 잉크 토출이 가능한 피에조방식 전단 모드형의 헤드에서는 잉크 토출 채널에 신호(V1)(부압 : 잉크 충전)를 부여하고, 계속해서 인접 채널에 신호(V2)(가압 : 잉크 토출)를 부여함으로써 한방울의 토출이 완료하고, 다음에 지금 신호를 부여한 채널로부터 잉크를 토출하는 경우에는 그 채널에 신호(V1)를, 계속해서 인접하는 채널에 신호(V2)를 부여하는 식으로 토출 패턴에 의해서 채널에 V1과 V2를 부여할 필요가 있어 드라이버 회로가 복잡해진다.That is, in the piezoelectric shearing mode type head in which nozzles are provided in all conventional continuous channels and ink ejection is possible from each nozzle, a signal V1 (negative pressure: ink filling) is applied to the ink ejection channel, and then, it continues. By applying the signal V2 (pressure: ink ejection) to the adjacent channel, the ejection of one drop is completed, and when the ink is ejected from the channel to which the signal is now given, the signal V1 continues to be adjacent to the channel. It is necessary to give V1 and V2 to the channel by the discharge pattern in such a manner that the signal V2 is applied to the channel.

이것에 대하여, 본 실시예 2의 잉크 토출 채널의 양측에 공기층을 가지는 구조로 하면, 잉크 토출 채널에는 신호(V1)를, 그 양측의 공기층의 채널에는 V2만의 신호를 부여하게 된다.On the other hand, if the structure has air layers on both sides of the ink discharge channel of the second embodiment, the signal V1 is applied to the ink discharge channel, and only the signal V2 is applied to the channels of the air layers on both sides.

그리고, 공기층을 갖는 헤드의 노즐피치를 컬러 필터의 화소 피치에 맞춰 만든 경우, 컬러 필터의 화소 배열축과 헤드의 노즐 배열축을 평행하게 할 수 있기 때문에, 헤드가 경사했을 때에 필요한 구동 신호의 지연 처리를 필요로 하지 않고, 또한 모든 노즐을 동시에 토출하는 배선으로 할 수 있으므로 드라이버 회로가 단순화된다.And when the nozzle pitch of the head which has an air layer is made to match the pixel pitch of a color filter, since the pixel arrangement axis of a color filter and the nozzle arrangement axis of a head can be made parallel, the delay process of the drive signal required when a head inclines. The driver circuit is simplified because no wiring is required and wiring can be discharged at the same time.

이 때문에, 신호(V1)를 다수의 토출 채널에, 신호(V2)를 다수의 공기층 채널로 팬 아웃(fan-out)할 수 있게 된다.For this reason, it is possible to fan out the signal V1 to many discharge channels and the signal V2 to many air channel channels.

도 5는 본 발명의 실시예 2에 관한 컬러 필터의 제조 방법을 도시하는 설명도이다.It is explanatory drawing which shows the manufacturing method of the color filter which concerns on Example 2 of this invention.

도면에 있어서, 도 4와 동일 부호는 동일 또는 상당한 것을 나타내고 있다. 참조부호(51)는 복수개의 압력실(42) 및 공기실(48)을 갖고, 압전 세라믹의 전단 모드 변형을 이용하는 잉크 젯 헤드, 참조부호(53)는 컬러 필터 기판의 이동 방향, 참조부호(P1)는 화소구획의 짧은변 방향의 동일한 색의 화소구획끼리의 간격이다. 또한, 압력실(42), 공기실(48) 및 노즐열(45)은 이 간격(P1)을 유지하도록 배열된다.4, the same code | symbol as FIG. 4 has shown the same or equivalent thing. Reference numeral 51 has a plurality of pressure chambers 42 and an air chamber 48, an ink jet head utilizing the shear mode deformation of piezoelectric ceramics, reference numeral 53 denotes the direction of movement of the color filter substrate, reference numeral ( P1) is the interval between the pixel compartments of the same color in the direction of the short side of the pixel compartment. In addition, the pressure chamber 42, the air chamber 48, and the nozzle row 45 are arranged to maintain this gap P1.

다음에, 그 제조 방법에 대하여 설명한다. 컬러 필터 기판(56)에 형성된 화소구획(R, G, B)의 특정색의 피치(P1)와 같은 피치의 압력실과, 그 압력실의 배열 방향과 수직으로 설치된 노즐열을 갖는 잉크 젯 헤드(51)와 컬러 필터 기판(56)을 도 5와 같은 위치관계로 배치하고, 기판(56)을 화살표(53)의 방향으로 이동시켜 헤드의 토출 위치에 온 화소구획에 순차적으로 잉크방울을 충돌시켜 잉크를 충전해 나간다. 이러한 제조 동작을 실행하는 제조 장치에 의해서 컬러 필터가 제조된다.Next, the manufacturing method is demonstrated. An ink jet head having a pressure chamber having a pitch equal to the pitch P1 of a specific color of the pixel compartments R, G, and B formed in the color filter substrate 56, and a nozzle row provided perpendicular to the direction in which the pressure chamber is arranged. 51 and the color filter substrate 56 are arranged in the positional relationship as shown in FIG. 5, and the substrate 56 is moved in the direction of the arrow 53 to sequentially collide ink droplets on the pixel compartments at the discharge position of the head. Recharge the ink. The color filter is manufactured by the manufacturing apparatus which performs this manufacturing operation.

이상으로부터, 본 발명의 실시예 2에 있어서는 압전 세라믹의 전단 모드 변형을 이용하는 복수개의 압력실(42) 및 공기실(48)을 설치한 잉크 젯 헤드(51)를 이용함으로써, 복수개의 압력실(42)이 구동할 때의 간섭을 저감하여 누화를 해소하고, 잉크방울을 동시에, 또한 잉크방울의 체적이나 비상 속도 등의 특성이 균일하게 되도록 토출할 수 있어, 저비용화된 설비로 색농도가 균일한 컬러 필터를 제조할 수 있다.As described above, in the second embodiment of the present invention, a plurality of pressure chambers (using the ink jet head 51 provided with the plurality of pressure chambers 42 and the air chambers 48 using the shear mode deformation of piezoelectric ceramics) 42) It is possible to reduce crosstalk by reducing interference when driving, and to eject ink droplets at the same time and to make the characteristics such as volume and emergency speed of ink droplets uniform. One color filter can be made.

또한, 본 발명의 실시예 2에 있어서는 압력실(42) 및 공기실(48)에 설치한 액추에이터를 신호 전극(46)과 공통 전극(47)으로 이루어지는 2 계통의 전극으로 구동함으로써, 잉크 젯 헤드(51)가 소형화, 단순화 및 저비용화될 수 있어, 저비용화된 설비로 컬러 필터를 제조할 수 있다.In the second embodiment of the present invention, the actuators provided in the pressure chamber 42 and the air chamber 48 are driven by two types of electrodes consisting of the signal electrode 46 and the common electrode 47, thereby providing an ink jet head. The 51 can be downsized, simplified, and low in cost, so that the color filter can be manufactured with a low cost facility.

(실시예 3)(Example 3)

본 발명의 실시예 3에 관한 컬러 필터의 제조 방법은 압전 세라믹의 횡 변형 모드 변형을 이용하는 복수개의 압력실을 설치한 잉크 젯 헤드를 이용하여, 화소구획의 긴변 방향에 있는 다수의 동색 화소구획에 잉크방울을 동시에, 또한 잉크방울의 부피나 비상 속도 등의 특성이 균일하게 되도록 토출하여 컬러 필터의 착색층을 형성하는 것이다.The method for manufacturing a color filter according to the third embodiment of the present invention uses a ink jet head provided with a plurality of pressure chambers using lateral strain mode deformation of piezoelectric ceramics, to a plurality of same color pixel compartments in the long side direction of the pixel compartment. At the same time, the ink droplets are discharged at the same time so as to make the characteristics such as the volume of the ink droplets and the emergency speed uniform, thereby forming a colored layer of the color filter.

도 6은 복수개의 압력실을 갖고, 압전 세라믹의 가로 변형 모드 변형을 이용한 잉크 젯 헤드를 잉크 토출 방향에서 본 모식도이다.6 is a schematic view of an ink jet head having a plurality of pressure chambers and using a transverse strain mode deformation of a piezoelectric ceramic as viewed in the ink discharge direction.

도면에 있어서, 참조부호(62)는 잉크를 충전하는 복수개의 압력실이며, 노즐판, 압전 세라믹 기판(69) 및 진동판(70)으로 구성된다. 참조부호(64)는 가로 변형 모드로 변형하는 압전 세라믹판, 참조부호(65)는 노즐판에 직선형상으로 배열된 복수개의 노즐로 이루어지는 노즐열, 참조부호(66)는 신호 전극, 참조부호(67)는 공통 전극, 참조부호(69)는 홈폭의 길이보다 얕은 홈을 서로 평행하게 되도록 복수개 형성한 압전 세라믹 기판, 참조부호(70)는 압전 세라믹 기판(69)의 얕은 홈의 개구부를 밀봉하는 진동판, 참조부호(V1)는 공통 전극(67)에 인가되는 전위, 참조부호(V2)는 신호 전극(66)에 인가되는 전위이다. 참조부호(110)는 액추에이터이며, 압전 세라믹판(64), 신호 전극(66) 및 공통 전극(67)으로 구성된다.In the figure, reference numeral 62 denotes a plurality of pressure chambers filled with ink, and is composed of a nozzle plate, a piezoelectric ceramic substrate 69, and a vibration plate 70. Reference numeral 64 denotes a piezoelectric ceramic plate that deforms in the transverse deformation mode, reference numeral 65 denotes a nozzle array made up of a plurality of nozzles arranged in a straight line on the nozzle plate, reference numeral 66 denotes a signal electrode, reference numeral ( The reference numeral 67 denotes a common electrode, the reference numeral 69 denotes a piezoelectric ceramic substrate in which a plurality of grooves shallower than the groove width are formed in parallel with each other, and the reference numeral 70 seals the opening of the shallow groove of the piezoelectric ceramic substrate 69. The diaphragm, reference numeral V1 is a potential applied to the common electrode 67, and reference numeral V2 is a potential applied to the signal electrode 66. Reference numeral 110 is an actuator and is composed of a piezoelectric ceramic plate 64, a signal electrode 66, and a common electrode 67.

여기에 도시하는 잉크 젯 헤드는 압력실(62)과 진동판(70)과 압전 세라믹판(64)으로 구성되어 있다. 압력실(62)은 세라믹 기판(69)의 상단면에 성형 또는 절삭가공에 의해서 형성한 얕은 홈의 개구부를 진동판(70)으로 밀봉한 구성으로 되어 있다. 액추에이터(110)는 압력실(62)에 대응하여 진동판(70) 상면에 접합된 압전 세라믹판(64)과, 진동판(70) 상면의 공통 전극(67)과 압전 세라믹판(64) 상면의 신호 전극(66)으로 구성되어 있다. 압전 세라믹판(64)은 공통 전극(67)과 신호 전극(66)에 고 전압을 인가하여 분극 처리된다. 이와 같이 분극 처리된 압전 세라믹판(64)을 사이에 두는 공통 전극(67)과 신호 전극(66) 사이에 구동 레벨의 전위차를 부여하면, 분극 방향과 평행 방향의 전계가 인가되어, 압전 세라믹판(64)의 가로 변형이 발생하여 판면 방향으로 수축한다. 압전 세라믹판(64)의 수축에 의해서 진동판(70)에 휨 응력이 가해져, 진동판(70)은 압력실(62)의 내측 방향으로 변위한다. 압력실(62) 전면에는 도시하지 않은 노즐판이 접합되어 있고, 압력실(62)의 위치에 대응하여 노즐열(65)이 마련되어 있다. 노즐열(65)의 노즐 배열축은 진동판(70)과 압전 세라믹판(64)의 접합부재 즉 액추에이터의 판면과 평행하게 설치되어 있다. 가로 변형 모드의 경우에 있어서도, 이와 같이 세라믹 기판(69)에 얕은 홈을 형성하여, 압력실(62)의 긴변 벽에 닿는 기판 상단벽을 액추에이터로 함으로써 본 발명에 적합한 잉크 젯 헤드를 제작할 수 있다.The ink jet head shown here is comprised from the pressure chamber 62, the diaphragm 70, and the piezoelectric ceramic plate 64. As shown in FIG. The pressure chamber 62 has the structure which sealed the opening part of the shallow groove formed in the upper end surface of the ceramic substrate 69 by shaping | molding or cutting with the diaphragm 70. As shown in FIG. The actuator 110 has a piezoelectric ceramic plate 64 bonded to the upper surface of the diaphragm 70 corresponding to the pressure chamber 62, a signal of the common electrode 67 on the upper surface of the diaphragm 70, and the upper surface of the piezoelectric ceramic plate 64. It consists of an electrode 66. The piezoelectric ceramic plate 64 is polarized by applying a high voltage to the common electrode 67 and the signal electrode 66. When a potential difference in driving level is provided between the common electrode 67 and the signal electrode 66 sandwiching the polarized piezoelectric ceramic plate 64 in this manner, an electric field in a direction parallel to the polarization direction is applied to the piezoelectric ceramic plate. Transverse deformation of 64 occurs and contracts in a plate surface direction. Bending stress is applied to the diaphragm 70 by the contraction of the piezoelectric ceramic plate 64, and the diaphragm 70 displaces inward of the pressure chamber 62. A nozzle plate (not shown) is joined to the entire surface of the pressure chamber 62, and a nozzle row 65 is provided corresponding to the position of the pressure chamber 62. The nozzle arrangement axis of the nozzle array 65 is provided in parallel with the joining member of the diaphragm 70 and the piezoelectric ceramic plate 64, ie, the plate surface of the actuator. Also in the case of the transverse deformation mode, an ink jet head suitable for the present invention can be manufactured by forming a shallow groove in the ceramic substrate 69 in this manner and using the actuator as the substrate upper wall which contacts the long side wall of the pressure chamber 62. .

압전 세라믹판(64)은 V1과 V2의 전위차에 의해서 분극되고, 그 만큼 극 방향과 전계가 평행해짐으로써 가로 변형이 발생한다. 진동판(70)은 압전 세라믹판(64)의 가로 변형에 의해서 휨 응력이 가해져, 도 6의 파선으로 도시한 바와 같이, 압력실(62)의 내측으로 변형한다. 압력실(62)은 진동판(70)의 변형에 의해서 충전되는 잉크를 가압하여 노즐열(65)로부터 잉크방울을 동시에 토출하여, 컬러 필터 기판의 이동 방향에 수직인 방향의 열에 있는 다수의 동색 화소구획을 착색한다.The piezoelectric ceramic plate 64 is polarized by the potential difference between V1 and V2, and transverse strain occurs because the pole direction and the electric field become parallel. The diaphragm 70 is subjected to bending stress by the transverse deformation of the piezoelectric ceramic plate 64, and deforms into the pressure chamber 62 as shown by the broken line in FIG. The pressure chamber 62 pressurizes the ink to be filled by the deformation of the diaphragm 70 and simultaneously ejects ink droplets from the nozzle row 65, so that a plurality of the same color pixels in the column perpendicular to the moving direction of the color filter substrate. Color the compartment.

도 7은 본 발명의 실시예 3에 관한 컬러 필터의 제조 방법을 도시하는 설명도이다.It is explanatory drawing which shows the manufacturing method of the color filter which concerns on Example 3 of this invention.

도면에 있어서, 도 6과 동일 부호는 동일 또는 상당한 것을 나타낸다. 참조부호(71)는 복수개의 압력실(62)을 갖고, 압전 세라믹의 가로 변형 모드 변형을 이용하는 잉크 젯 헤드, 참조부호(73)는 컬러 필터 기판의 이동 방향, 참조부호(P2)는 화소구획의 긴변 방향에 인접한 화소구획끼리의 간격이다. 또한, 압력실(62) 및 노즐열(65)은 이 간격(P2)을 유지하도록 배열한다.In the drawings, the same reference numerals as in FIG. 6 denote the same or equivalent. Reference numeral 71 has a plurality of pressure chambers 62, an ink jet head using a transverse strain mode deformation of piezoelectric ceramics, reference numeral 73 denotes a moving direction of the color filter substrate, and reference numeral P2 denotes a pixel compartment. It is the spacing between pixel compartments adjacent to the long side direction of. In addition, the pressure chamber 62 and the nozzle row 65 are arranged to maintain this interval P2.

다음에, 그 제조 방법에 대하여 설명한다.Next, the manufacturing method is demonstrated.

컬러 필터 기판(76)에 형성된 화소구간(R, G, B)의 특정색의 피치(P2)와 동일한 피치로 형성된 압력실과, 그 압력실의 배열 방향과 평행하게 설치된 노즐열(65)을 갖는 잉크 젯 헤드(71)와 컬러 필터 기판(76)이 도 7과 같은 위치관계로 배치되어, 기판(76)이 화살표(73)의 방향으로 이동하여 헤드의 토출 위치에 오는 화소구획에 순차적으로 잉크방울을 충돌시켜 충전해 나간다. 이러한 제조 동작을 실행하는 제조 장치에 의해서 컬러 필터가 제조된다.A pressure chamber formed at the same pitch as the pitch P2 of the specific color of the pixel sections R, G, and B formed on the color filter substrate 76, and a nozzle row 65 provided in parallel with the arrangement direction of the pressure chamber. The ink jet head 71 and the color filter substrate 76 are arranged in the positional relationship as shown in FIG. 7 so that the substrate 76 moves in the direction of the arrow 73 to sequentially ink the pixel compartments at the discharge position of the head. Charge the droplets by crashing them. The color filter is manufactured by the manufacturing apparatus which performs this manufacturing operation.

이상으로부터, 본 발명의 실시예 3에 있어서는 압전 세라믹의 가로 변형 모드 변형을 이용하는 복수개의 압력실(62)을 설치한 잉크 젯 헤드(71)를 이용함으로써, 잉크방울을 동시에 또한 잉크방울의 부피나 비상 속도 등의 특성이 균일하게 되도록 토출할 수 있어, 저비용화된 설비로 색농도가 균일한 컬러 필터를 제조할 수 있다.As described above, in the third embodiment of the present invention, by using the ink jet head 71 provided with the plurality of pressure chambers 62 using the transverse strain mode deformation of the piezoelectric ceramic, the volume of the ink droplets and Discharge can be performed so that characteristics, such as an emergency speed | rate, can be made uniform, and a color filter with a uniform color density can be manufactured with the installation which reduced cost.

또한, 상기 실시예 1 내지 3에서는 모두 액정 표시 패널 등의 컬러 필터를 제조하는 경우에 대하여 설명했지만, 본 발명은 이것에 한하는 것이 아니라, 오목부나 구획 등의 셀중에 잉크를 충돌시켜 충전하는 것이면 적용할 수 있다.In addition, although the case of manufacturing color filters, such as a liquid crystal display panel, was demonstrated in all the said Examples 1-3, this invention is not limited to this, If the ink is made to collide and fill in cells, such as a recessed part and a division, Applicable

이상과 같이, 본 발명에 관한 컬러 필터의 제조 방법 및 잉크 젯 헤드는 액정 모니터의 컬러 필터 기판에 잉크방울을 토출하여 색농도가 균일한 컬러 필터를 저렴하게 제조하는 데 적합하다.As described above, the method for producing a color filter and the ink jet head according to the present invention are suitable for inexpensively manufacturing a color filter having a uniform color density by discharging ink droplets to a color filter substrate of a liquid crystal monitor.

Claims (8)

잉크 젯 헤드를 이용하여 컬러 필터 기판상의 화소구획에 잉크방울을 토출하여 착색층을 형성하는 컬러 필터의 제조 방법에 있어서,In the manufacturing method of the color filter which forms a colored layer by ejecting ink droplets to the pixel block on a color filter substrate using an inkjet head, 하나의 화소구획에 대하여 복수개의 잉크방울을 동시에 토출하게 한 것을 특징으로 하는Characterized in that a plurality of ink droplets are discharged simultaneously for one pixel compartment 컬러 필터의 제조 방법.Method for producing a color filter. 복수개의 노즐로 이루어지는 노즐 열이 형성된 노즐판과,A nozzle plate having a nozzle row formed of a plurality of nozzles, 전기 신호에 의해서 변형되는 액추에이터가 설치된 평면평판을 구비하고, 상기 노즐판 및 상기 평면평판으로 둘러싸이는 공간으로 압력실이 형성되고,A flat plate provided with an actuator deformed by an electric signal, and a pressure chamber is formed in a space surrounded by the nozzle plate and the flat plate, 잉크 공급원에서 상기 압력실에 공급되는 잉크를 상기 액추에이터로 가압하고, 상기 노즐로부터 잉크방울을 토출하는 것을 특징으로 하는Pressurizing ink supplied from the ink supply source to the pressure chamber with the actuator, and ejecting ink droplets from the nozzle; 잉크 젯 헤드.Inkjet head. 홈폭의 길이보다 깊은 홈이 서로 평행하게 되도록 복수개 형성된 압전재료 기판과,A plurality of piezoelectric material substrates formed such that grooves deeper than the length of the groove width are parallel to each other; 복수개의 노즐로 이루어지는 노즐 열이 소요 개소에 서로 평행하게 되도록 복수개 형성된 노즐판과,A nozzle plate formed in plural so that a nozzle row composed of a plurality of nozzles is parallel to each other at a required location; 상기 압전재료 기판의 깊은 홈을 밀봉하는 덮개판과,A cover plate for sealing a deep groove of the piezoelectric material substrate; 상기 압전재료 기판의 깊은 홈의 격벽에 전위차를 부여하여, 해당 격벽을 전단(剪斷) 모드로 변형시키는 액추에이터를 구비하고,An actuator for imparting a potential difference to the partition walls of the deep grooves of the piezoelectric material substrate and deforming the partition walls in shear mode; 상기 압전재료 기판의 깊은 홈, 상기 노즐열이 형성된 개소의 상기 노즐판, 상기 덮개판 및 상기 액추에이터로 둘러싸이는 공간에 의해서 복수개의 압력실이 형성되고,A plurality of pressure chambers are formed by a deep groove of the piezoelectric material substrate, a space surrounded by the nozzle plate, the cover plate, and the actuator in a position where the nozzle row is formed, 상기 압전재료 기판의 깊은 홈, 상기 노즐열이 형성되어 있지 않은 개소의 상기 노즐판, 상기 덮개판 및 상기 액추에이터로 둘러싸이는 공간이 상기 액추에이터에 의해서 변형되는 복수개의 공기실이 형성되고,A plurality of air chambers are formed in which a deep groove of the piezoelectric material substrate, a space surrounded by the nozzle plate, the cover plate, and the actuator in a place where the nozzle row is not formed, is deformed by the actuator, 상기 압력실과 상기 공기실은 교대로 배치되도록 설치되고,The pressure chamber and the air chamber is installed to be alternately arranged, 잉크 공급원에서 상기 복수개의 압력실에 충전되는 잉크를 상기 액추에이터로 가압하여, 상기 노즐로부터 잉크방울을 토출하는 것을 특징으로 하는Pressurizing ink filled in the plurality of pressure chambers from an ink supply source with the actuator to eject ink droplets from the nozzle; 잉크 젯 헤드.Inkjet head. 홈폭의 길이보다 얕은 홈을 서로 평행하게 되도록 복수개 형성된 압전재료 기판과,A piezoelectric material substrate formed with a plurality of grooves shallower than the groove width in parallel with each other, 복수개의 노즐로 이루어지는 노즐열이 직선상에 복수개 형성된 노즐판과,A nozzle plate having a plurality of nozzle rows formed of a plurality of nozzles on a straight line, 압전재료 기판에 전위차를 부여하여, 해당 압전재료 기판을 가로 변형 모드로 변형시키는 액추에이터와,An actuator for imparting a potential difference to the piezoelectric material substrate to deform the piezoelectric material substrate into a transverse strain mode; 상기 압전재료 기판의 얕은 홈을 밀봉하여, 상기 액추에이터에 의해서 변위하는 진동판을 구비하고,A diaphragm which seals a shallow groove of the piezoelectric material substrate and is displaced by the actuator, 상기 압전재료 기판의 얕은 홈, 상기 노즐판 및 상기 진동판으로 둘러싸이는 공간에 의해서 복수개의 압력실이 형성되고,A plurality of pressure chambers are formed by a space surrounded by a shallow groove of the piezoelectric material substrate, the nozzle plate and the vibration plate, 잉크 공급원보다 상기 복수개의 압력실에 충전되는 잉크를 상기 진동판의 변위에 의해서 가압하여 상기 노즐로부터 잉크방울을 토출하는 것을 특징으로 하는It is characterized by ejecting ink droplets from the nozzle by pressing the ink filled in the plurality of pressure chambers from the ink supply source by the displacement of the diaphragm. 잉크 젯 헤드.Inkjet head. 제 2 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 2 to 4, 형상이 거희 직사각형이고 긴변과 짧은변의 길이의 비가 3 이상인 화소구획에 착색층을 형성할 때에,When the colored layer is formed in a pixel compartment in which the shape is coarse rectangular and the ratio of the length of the long side to the short side is three or more, 상기 노즐 열은,The nozzle row is, 상기 화소구획의 형상에 기초를 둔 수의 노즐을 상기 화소구획의 긴변 방향과 평행하게, 또한 동일한 노즐 간격으로 설치하도록 한 것을 특징으로 하는A number of nozzles based on the shape of the pixel compartment is provided in parallel with the long side direction of the pixel compartment and at the same nozzle interval. 잉크 젯 헤드.Inkjet head. 제 2 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 2 to 4, 형상이 거희 직사각형이고 긴변과 짧은변의 길이의 비가 3 이상인 화소구획에 착색층을 형성할 때에,When the colored layer is formed in a pixel compartment in which the shape is coarse rectangular and the ratio of the length of the long side to the short side is three or more, 상기 노즐열은 양단부에 위치하는 노즐을 상기 압력실의 짧은변 벽에서 상기 짧은변 벽의 길이 이상 떨어뜨려 설치하도록 한 것을 특징으로 하는The nozzle row is installed so that the nozzles located at both ends are separated from the short side wall of the pressure chamber by more than the length of the short side wall. 잉크 젯 헤드.Inkjet head. 제 3 항 또는 제 4 항에 있어서,The method according to claim 3 or 4, 상기 액추에이터는,The actuator is, 상기 격벽 또는 상기 압전재료 기판, 신호 전극 및 공통 전극을 갖고, 신호 전극 및 공통 전극에 각각 인가된 제 1 및 제 2 신호 및 전위차에 근거하여, 모든 상기 격벽 또는 상기 압전재료 기판을 동시에 변형시키도록 한 것을 특징으로 하는The barrier rib or the piezoelectric material substrate, the signal electrode and the common electrode, and simultaneously deform all the barrier ribs or the piezoelectric material substrate based on the first and second signals and potential differences applied to the signal electrode and the common electrode, respectively. Characterized by 잉크 젯 헤드.Inkjet head. 제 2 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 2 to 4, 하나의 화소구획에 대하여 복수개의 잉크방울을 동시에, 또한 각각의 잉크방울의 토출 특성을 균일하게 하여 토출하도록 한 것을 특징으로 하는Characterized in that a plurality of ink droplets are discharged simultaneously with respect to one pixel compartment, and the discharge characteristics of each ink droplet are uniformly discharged. 컬러 필터의 제조 방법.Method for producing a color filter.
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