본 발명의 구체적 특징 및 이점은 첨부된 도면을 참조한 이하의 설명으로 더욱 명확해 질 것이다.
먼저, 본 발명의 포장 대상인 트래이(401)는 직사각판 형상을 가지고 이에 다수의 수납홈이 형성되어 있으며, 이 수납홈에는 각각 반도체가 적재되어 있다.
이러한 트래이(401)를 포장하기 위한 본 발명 반도체가 적재된 트래이 포장장치는, 도1에 도시한 바와 같이 적재된 트래이(401)를 단계적으로 상승시키고 상측의 트래이(401)를 파지하여 후속 수단에 위치시키는 트래이제1로딩수단(tray 第1 roading 手段; 410)과, 트래이제1로딩수단(410) 사이에 길게 설치되어 트래이제1로딩수단(410)에 의해 이송된 트래이(401)를 홀딩시켜서 적재유니트(積載 unit; 448) 상으로 이송시키고 트래이(401)상의 반도체 적재 상태를 검사 및 그 수량을 계수하는 트래이제1이송수단(tray 第1 移送手段; 440)과; 트래이제1이송수단(440)의 적재유니트(448) 일측에 설치되고, 적재된 다수의 빈트래이(空 tray; 402)를 순차적으로 상승시키며, 적재유니트(448) 상에 이송된 트래이(401) 상부에 하나의 빈트래이(402)를 적재시키는 트래이제2로딩수단(460)과; 트래이제1이송수단(440)의 적재유니트(448) 타측에 설치되고, 적재유니트(448) 상의 트래이(401)들을 홀딩(holding)하여 리시브유니트(receive unit; 500) 상으로 이송시키는 트래이픽업수단(tray pick-up 手段; 490), 트래이픽업수단(490) 일측에 설치되고 리시브유니트(500)상의 트래이(401)들을 포장실(522) 입구로 이송시키는 트래이제2이송수단(510), 트래이제2이송수단(510) 일측에 설치되고 포장실(522) 입구의 트래이(401)들을 필름(532)으로 감싼 후 포장실(522) 내부로 진입시키며 이를 가열하여 수축포장시키는 필름수축포장수단(520), 필름수축포장수단(520) 일측에 설치되어 수축포장된 트래이(401)를 입구가 벌려진 상태의 실드백(111)에 삽입시키는 트래이삽입수단(tray 移送手段; 30), 다수 연결적재된 실리카겔을 하나씩 인출,절단시켜 1차 이송된 트래이 상에 위치시키는 실리카겔공급수단(silicagel 供給手段; 40), 다수 적재된 인디케이터를 하나씩 흡착하여 1차 이송된 트래이 상에 위치시키는 인디케이터공급수단(indicator 供給手段; 80), 실드백매거진에 다수 적재된 실드백 중 상측의 실드백에 인쇄된 바코드를 부착시키는 바코드부착수단(bar code 附着手段; 100), 실드백매거진 상측에 설치되어 바코드가 인쇄된 실드백을 흡착시켜 진공포장수단의 작업대 상으로 이송시키는 실드백픽업수단(shield bag pick up 手段; 110), 작업대 일측에 설치되어 수축포장된 트래이(403)가 삽입된 상태의 실드백 내부를 진공시키고 이에 질소를 투입시키며 실드백 입구를 밀봉시키는 진공포장수단(120), 작업대 상부와 제함기의 박스1차절첩수단 사이를 왕복이송하도록 설치되어 작업대 상의 밀봉된 풀백을 박스로 이송시키는 풀백이송수단(full bag 移送手段; 140), 풀백이송수단에 의해 이송되는 풀백이 수납되도록 박스매거진 상의 전개된 박스를 커버가 열린 상태로 1차 절첩하는 박스1차절첩수단(210), 연속 공정 라인을 따라 길게 설치되어 1차 접철된 박스가 후속공정을 통과하도록 이를 이송시키는 박스이송수단(220), 박스1차절첩수단 일측에 설치되어 박스 커버의 양측 날개를 접고 커버를 닫는 박스2차절첩수단(230), 박스2차절첩수단 일측에 설치되어 이송된 박스 일측에 바코드를 부착하는 바코드부착수단(250), 바코드부착수단 하측에 설치되어 박스에 부착된 바코드의 정보를 판독하는 바코드스캐닝수단(260), 박스이송수단의 후방 상측에 설치되어 이송된 박스 커버의 전단부를 접고 커버를 눌러 지지하는 박스3차접첩수단(270), 박스3차절첩수단 상부에 설치되어 박스의 커버와 몸체에 테이프를 부착하는 테이프부착수단(280)으로 대별된다.
도2 내지 도8은 트래이제1로딩수단(410)을 보이는 도면들로써, 도2,3,4는 트래이제1로딩수단(410)의 로딩유니트(411)를 보인 정면도, 측면도, 평면도이고, 도5는 로딩유니트(411)를 보인 개략적 부분 사시도이며, 도6,7,8은 트래이제1이송수단(440)의 픽업유니트(421)를 보이는 정면도, 측면도, 평면도이며, 이 트래이제1로딩수단(410)은 본 발명 트래이 포장장치의 전면 일측에 설치된다.
이러한 트래이제1로딩수단(410)의 로딩유니트(411)는 도2,3,4 및 도5에 도시한 바와 같이 1차메거진(412)과 1차메거진(412)에서 소정거리 이격 설치된 보조메거진(420)으로 나누어진다.
1차메거진(412)은 베이스(417)의 전방 하측에 메거진(416)이 설치되고, 이 메거진(416) 하측에는 트래이(401)가 안착되는 지지판(416a)이 구비되며, 지지판(416a) 하측에는 스크류(415)가 구비되어 감속기(414)와 연결되어 있다.
그리고 이 감속기(414)에는 모터(413)가 연결되어 있고, 메거진(416) 상부 모서리에는 브라켓(418)이 구비되어 있으며, 이 브라켓(418)에는 지지판(416a) 상의 트래이(401)가 적정위치까지만 상승되도록 모터(413)를 제어하는 센서(419)가 설치되어 있다.
이러한 1차메거진(412)과 소정거리 이격된 베이스(417)에는 1차메거진(412)과 동일한 구성을 가지고 다수의 트래이(401)가 적재된 보조메거진(420)이 설치되는바, 이 보조메거진(420)에 의해 1차메거진(412) 상의 트래이(401)가 모두 소모되어도 트래이(401)를 후속 공정으로 계속 공급할 수 있게 된다.
또한 트래이제1로딩수단(410)의 픽업유니트(421)는 도6,7,8에 도시한 바와 같이 이송부(431)와 트래이피커(tray picker; 422)로 구성된다.
먼저 픽업유니트(421)의 이송부(431)는 1차메거진(412)과 보조메거진(420) 상을 왕복운동하도록 이들 상부의 기부(432)에는 벨트(436)가 설치되어 있고, 이 벨트(436)는 풀리(435)에 의해 모터(434)에 연결되어 있으며, 벨트(436)에는 모터(434)의 구동시 벨트(436)를 따라 1차메거진(412)과 보조메거진(420) 상부를 왕복이송하도록 가이드테이블(437)이 고정되어 있다.
그리고 픽업유니트(421)의 트래이피커(422)에는 가이드테이블(437)에 고정되어 수직왕복운동하는 승강실린더(423)와, 이 승강실린더(423)의 로드에 고정된 서포트판(424)과, 이 서포트판(424)에 설치된 그리퍼실린더(425) 및 이에 연결된 그리퍼(426)가 구비된다.
그리고 서포트판(424)에는 4개의 제1스프링(428)에 의해 플레이트(427)가 지지되어 있고, 플레이트(427) 중앙에는 4개의 제2스프링(429)에 의해 떨림방지판(430)이 지지되어 있어, 그리퍼(426)가 트래이(401)를 파지할시 떨림방지판(430)이 제1,2스프링(428)(429)에 의해 트래이(401) 상부를 눌러지지하게 된다.
이러한 트래이제1로딩수단(410) 1차메거진(412)과 보조메거진(420) 사이의 베이스(417) 상에는 도9 내지 도14에 도시한 트래이제1이송수단(440)이 설치되어 있다.
트래이제1이송수단(440)은 도9,10,11에 도시한 바와 같이 트래이(401)가 위치되어 이송될 방향을 따라 양측에 다수의 가이드(453)가 구비되어 있고, 그 중앙에는 레일(458)이 길게 설치되어 있으며, 레일(458) 중앙 상부에는 고정브라켓(454) 및 지지브라켓(455)에 의해 트래이(401)에 적재된 반도체의 수량, 적재방향 등을 판독하는 3개의 카메라(456)가 설치되어 있다.
그리고 레일(458) 상에는 도9,10,11 또는 도12에 도시한 바와 같이 트래이(401)의 전면 및 배면을 파지하는 두 브라켓(443)과, 이 브라켓(443)에 연결되어 이를 수직방향으로 회동시키는 두 회전실린더(442)로 이루어진 트래이홀더(441)가 설치되어 있다.
또한 레일(458) 일측에는 도9,10,11 또는 도13에 도시한 바와 같이 벨트(447)와 풀리(446), 모터(445)로 이루어진 피딩유니트(444)가 설치되어 있고, 이 벨트(447)에는 결합블록(457)에 의해 트레이홀더(441)가 고정되어 있다.
한편 레일(458) 일단에는 도9,10,11 또는 도14에 도시한 바와 같이 지지판(449)과, 이 지지판(449)을 승강시키는 적재실린더(450), 그리고 적재실린더(450)의 승강시 다수의 트래이(401)가 하나씩 적재되는 회동편(451)과, 이 회동편(451)이 힌지결합되는 블록(452)으로 이루어진 적재유니트(448)가 설치되어 있다.
이러한 트래이제1이송수단(440)의 적재유니트(448) 일측에 설치된 트래이제2로딩수단(460)은 도15,16,17 내지 도18,19,20에 도시한 바와 같이 빈트래이로딩유니트(461)와 빈트래이픽업유니트(469)로 이루어진다.
빈트래이로딩유니트(461)는 도15,16,17에 도시한 바와 같이 베이스(417)의 전방 하측에 빈트래이(402)가 적재되는 메거진(467)이 설치되고, 이 메거진(467) 하측에는 트래이(401)가 안착되는 지지판(466)이 구비되며, 지지판(466) 하측에는 스크류(465)가 구비되어 감속기(464)와 연결되어 있다.
그리고 이 감속기(464)에는 모터(463)가 연결되어 있고, 메거진(467) 상부 모서리에는 브라켓(468)이 구비되어 있다.
또한 빈트래이픽업유니트(469)는 도18,19,20에 도시한 바와 같이 빈트래이로딩유니트(461)와 트래이제1이송수단(440)의 적재유니트(448) 사이를 왕복운동하는 좌우이송실린더(480)가 구비되고, 좌우이송실린더(480)에는 브라켓(479)에 의해 빈트래이피커(470)가 고정설치되어 있다.
여기서 빈트래이피커(470)는, 브라켓(479)에 고정되고 수직왕복운동하는 승강실린더(471)와, 이 승강실린더(471)의 로드에 고정된 서포트판(472)과, 이 서포트판(472)에 설치된 그리퍼실린더(473) 및 이에 연결된 그리퍼(474)가 구비된다.
그리고 서포트판(472)에는 4개의 제1스프링(476)에 의해 플레이트(475)가 지지되어 있고, 플레이트(475) 중앙에는 4개의 제2스프링(477)에 의해 떨림방지판(478)이 지지되어 있어, 그리퍼(474)가 트래이(401)를 파지할시 떨림방지판(478)이 제1,2스프링(476)(477)에 의해 트래이 상부를 눌러지지하게 된다.
트래이제1이송수단(440) 단부에 설치되는 트래이픽업수단(490)은 도21,22,23에 도시한 바와 같이 트래이피커(491)와 리시브유니트(500) 및 트래이피커(491)를 좌우이송시키는 좌우이송실린더(503)로 이루어진다.
트래이피커(491)에는 수직왕복운동하는 승강실린더(492)가 구비되고, 이 승강실린더(492)의 로드에는 서포트판(493)이 고정되며, 이 서포트판(493)에는 그리퍼실린더(494) 및 이에 연결된 그리퍼(495)가 구비된다.
그리고 서포트판(493)에는 4개의 제1스프링(497)에 의해 플레이트(496)가 지지되어 있고, 플레이트(496) 중앙에는 4개의 제2스프링(498)에 의해 떨림방지판(499)이 지지되어 있어, 그리퍼(495)가 트래이(401)를 파지할시 떨림방지판(499)이 제1,2스프링(497)(498)에 의해 트래이(401) 상부를 눌러지지하게 된다.
또한 트래이제1이송수단(440)의 적재유니트(448) 일측에 설치된 리시브유니트(500)는 트래이피커(491)의 플래이트(496)에 대향되도록 리시브판(501)이 구비되고, 리시브판(501) 하측에는 트래이피커(491)가 리시브판(501) 상측으로 이송될시 이를 승강시키도록 승강실린더(502)가 설치되어 있다.
그리고 트래이피커(491)의 승강실린더(502)에는 트래이피커(491)가 리시브유니트(500)와 적재유니트(448) 상을 왕복운동하도록 좌우이송실린더(503)가 설치되어 있다.
도24,25,26은 트래이제2이송수단(510) 및 필름수축포장수단(520)을 보인 정면도, 측면도, 평면도로써, 트래이제2이송수단(510)은 도24,25,26 또는 도27에 도시한 바와 같이 후술할 수축포장기(521)의 전방 일측에 위치된 모터(511)와, 이 모터(511)에 제1풀리(512), 제1전동벨트(513)로 연결된 제1이송컨베이어(514)와, 이 제1이송컨베이어(514)에 제2풀리(516), 제2전동벨트(515)로 연결되고 리시브유니트(500) 상부에 위치된 제2이송컨베이어(517)로 이루어진다.
그리고 트래이제2이송수단(510)의 제1이송컨베이어(514) 후방에 설치되는 필름수축포장수단(520)은 도24,25,26 또는 도28에 도시한 바와 같이 트래이제2이송수단(510)의 제1이송컨베이어(514) 일측 상하부에는 공급롤러(530) 및 권취롤러(531)가 각각 설치되어 있다.
이 공급롤러(530)와 권취롤러(531)에는 필름(532)이 감겨져 있어 후술할 수축포장기(521)의 포장실(522) 입구 전방에 수직형태의 막을 형성하도록 되어 있다.
그리고 이 필름(532) 막에 대향되는 제1이송컨베이어(514) 일측에는 푸셔실린더(529)가 설치되어 제1이송컨베이어(514) 상으로 이송된 6개의 트래이(401)를 필름(532) 막측으로 밀어서 필름(532)이 트래이(401)의 외측을 감싸면서 수축포장기(521)의 포장실(522) 입구로 진입시키게 된다.
또한 푸셔실린더(529) 후방에 설치되는 수축포장기(521)는 푸셔실린더(529)에 의해 포장실(522) 입구로 이송된 트래이(403)를 포장실(522) 내부로 이송시키도록 푸셔실린더(529) 일측에 모터(524)가 설치되고, 이 모터(524)에 풀리(526)와 벨트(525)로 연결된 컨베이어(527)가 설치되며, 포장실(522)의 가열온도를 제어하도록 콘트롤러(523)가 설치된다.
그리고 수축포장기(521)의 포장실(522)을 통과하여 수축포장된 트래이(403)를 냉각시키도록 수축포장기(521) 후방에는 냉각팬(528)이 설치되어 있다.
한편 수축포장기(521)의 포장실(522) 입구 상하측에는 트래이(403)와 함께 포장실(522) 내부로 인입된 필름(532)을 절단하도록 커터(533)가 설치되고, 이 커터(533)에는 이를 승강시키도록 커팅실린더(534)가 설치된다.
도29는 수축포장기(521)를 통과한 트래이(403)를 후술할 실드백(111)에 삽입시키기 위한 트래이삽입수단(30)을 보인 개략적 평면도이다.
이는 모터(31)가 구비되고, 이 모터(31)에는 트래이(401)의 이송거리에 따라 길게 벨트(32) 및 풀리(33)가 연결되어 있으며, 이 벨트(32)에는 엘엠가이드(34)에 의해 푸셔실린더(35)가 연결되어 있다.
한편 본 발명 반도체가 적재된 트래이 포장장치의 전방 타측에는 필름(532)에 의해 1차 포장된 트래이(401)가 실드백(111)에 삽입되기전, 이 트래이(403) 상면에 실리카겔(41)과 인디케이터(81)를 올려 놓기 위한 실리카겔공급수단(40)과 인디케이터공급수단(80)이 구비된다.
먼저, 도30 내지 도40은 실리카겔공급수단(40)을 보인 도면들로써, 도30은 실리카겔공급수단(40)을 보인 개략적 작동도이고, 도31,32,33은 초기세팅유니트(43), 실리카겔공급유니트(47), 커팅유니트(60), 피딩테이블유니트(64)의 위치를 보이는 개략적 정면도, 우측면도, 평면도이다.
도34,35는 실리카겔공급수단(40) 중, 초기세팅유니트(43)를 보이는 정면도 및 측면도이고, 도36,37은 실리카겔공급유니트(47)를 보이는 정면도 및 측면도이며, 도38은 커팅유니트(60)를 보이는 정면도이며, 도39,40은 피딩테이블유니트(64)를 보이는 정면도 및 평면도이다.
먼저, 초기세팅유니트(43)는 도34,35에 도시한 바와 같이 수납함(42) 상에 설치되고 실리카겔(41)을 파지하는 그리퍼(44)와, 이 그리퍼(44)에 연결되어 이를 승강시키는 승강실린더(45)와, 승강실린더(45)에 연결되어 이를 좌우로 이송시키는 좌우이송실린더(46)로 구성되어 수납함(42) 상에 설치되어 있다.
또한 초기세팅유니트(43)와 수평방향으로 직각을 이루도록 설치된 실리카겔공급유니트(47)는 도36,37에 도시한 바와 같이 수직이송부(48)와 수평이송부(55)로 대분된다.
먼저 수직이송부(48)는 제2모터(49)와, 이 제2모터(49)에 제2벨트(50)와, 제2풀리(51)로 연결된 수직방향의 제2스크류(52)와, 제2스크류(52)에 연결된 승강실린더(53)와, 승강실린더(53)의 로드에 설치되어 세팅된 실리카겔(41)을 파지하는 그리퍼(54)로 이루어진다.
그리고 수평이송부(55)는 제1모터(56)와 제1모터(56)에 제1벨트(57) 및 제1풀리(58)에 의해 연결된 수평방향의 제1스크류(59)로 이루어진다.
이러한 실리카겔공급유니트(47)는 수직이송부(48)가 수평이송부(55)의 제1스크류(59)에 연결설치되어 커팅전 실리카겔(41)을 파지하고 커팅후 파지한 실리카겔(41)을 후술할 테이블(65)상으로 이송시키게 된다.
커팅유니트(60)는 도38에 도시한 바와 같이 실리카겔공급유니트(47) 하측의 수납함 상부에 설치되어 있는바, 이는 세팅된 실리카겔(41)의 하측을 잡아주는 홀딩실린더(61)와, 이 홀딩실린더(61) 상측에 설치되어 실리카겔(41)의 연결부위를 커팅시키는 커팅실린더(62)가 설치되어 있으며, 이 커팅실린더(62)는 커터(63)가 구비되어 있다.
그리고 피팅테이블유니트(64)는 초기세팅유니트(43)와 실리카겔공급유니트(47) 사이에 설치되어 실리카겔공급유니트(47)로부터 이송된 실리카겔(41)을 일시 안착시킨 후 후속공정으로 이송시키도록 되어 있는바, 이는 도39,40에 도시한 바와 같이 실리카겔(41)이 안착되는 테이블(65)이 구비되어 있다.
이 테이블(65)은 제1기어(66), 제2기어(67), 제3기어(68), 제4기어(69)가 연속 치합되어 있고 제1기어(66)와 제4기어(69)의 중심축(70)에는 그 길이방향을 따라 대향되는 방향으로 한쌍의 날개(71)가 형성되어 구비된다.
이러한 테이블(65)의 제1기어(66)의 중심축(70)에는 이 중심축(70)을 회전시키도록 제3실린더(72)가 연결되어 있고, 제3실린더(72) 및 테이블(65) 하측에는 이들을 전후진시키도록 제2실린더(73)가 설치되며, 제2실린더(73) 하측에는 이를 전후진시키는 제1실린더(74)가 더 구비되어 있다.
이러한 실리카겔공급수단(40) 일측에는 인디케이터공급수단(80)이 설치되어 수축포장된 트래이(403) 상에 인디케이터(81)를 공급하게 되는바, 이러한 인디케이터공급수단(80)은 도41 또는 도42,43에 도시한 바와 같이 모터(82)에 회전운동을 수직왕복운동으로 교환하는 공지의 기어박스(83)가 구비되고, 이 기어박스(83)에는 승강축(84) 및 승강브라켓(85)이 구비되어 메거진(86) 내의 인디케이터(81)를 단계적으로 밀어 올리도록 되어 있고, 메거진(86) 상부에는 커버(87)가 구비되어 있으며, 이 커버(87)에는 이를 개폐시키도록 커버실린더(88)가 구비된다.
그리고 메거진(86) 상의 인디케이터(81)를 한 장씩 흡착하는 진공패드(89)가 구비되고, 진공패드(89)에는 이를 승강시키도록 승강실린더(90)가 구비되며, 승강실린더(90)에 연결된 회전축(91)을 회전시켜 승강실린더(90)를 소정각도 회동시키도록 회전실린더(92)가 설치되어 있다.
한편 트래이(403), 실리카겔(41), 인디케이터(81)가 삽입되어 포장되는 실드백(111)은 실드백픽업수단(110)에 의해 진공포장수단(120)으로 이송되기 전에 바코드부착수단(100)에 의해 바코드(101)가 부착된다.
이 바코드부착수단(100)은 도44 또는 도45,46에 도시한 바와 같이 바코드(101)를 한 장씩 발행하는 바코드프린터(102)가 구비되고, 실드백메거진(103) 및 바코드프린터(102) 상부에는 수평이송실린더(104)가 길게 설치되어 있으며, 이 수평이송실린더(104)에는 이를 따라 바코드프린터(102) 및 실드백메거진(103) 상부를 왕복이송하는 승강실린더(105)가 연결되어 있다.
그리고 승강실린더(105)에는 발행된 바코드(101)를 흡착하여 실드백(111)에 부착하는 진공패드(106)가 설치되고, 바코드프린터(102) 전방 하측에는 발행된 바코드(101)가 진공패드(106)에 부착되도록 상측으로 공기를 분사하는 에어노즐(107)이 구비되어 있다.
바코드(101)가 부착된 실드백메거진(103) 상의 실드백(111)을 후술할 진공포장수단(120)의 작업대(121) 상으로 이송시키기 위한 실드백픽업수단(110)은, 도47 또는 도48,49,50에 도시한 바와 같이 실드백(111)을 흡착하는 진공패드(113)와 이 진공패드(113) 일측에 바코드스캐너(114)가 구비된 흡착유니트(112)가 구비된다.
이 흡착유니트(112)에는 바코드스캐너(114)가 실드백(111)의 바코드(101)를 판독하도록 이를 수평왕복이송시키는 제3실린더(115)가 연결설치되고, 제3실린더(115)에는 제3실린더(115), 흡착유니트(112)를 승강시키는 제2실린더(116)가 연결설치되며, 제2실린더(116)에는 제2실린더(116), 제3실린더(115), 흡착유니트(112)를 승강시키는 제1실린더(117)가 연결설치된다.
그리고 제1실린더(117)에는 제1실린더(117), 제2실린더(116), 제3실린더(115), 흡착유니트(112)를 수평왕복이송시켜 흡착된 실드백(111)을 진공포장수단(120)으로 이송시키는 제4실린더(118)가 설치되어 있다.
한편 진공포장수단(120)은, 도51 또는 도52,53에 도시한 바와 같이 작업대(121) 저면에는 진공패드(122)가 승강실린더(123)에 연결설치되어 있어 실드백픽업수단(110)에 의해 작업대(121)에 이송된 실드백(111)의 저면을 흡착하도록 되어 있고, 실드백(111) 양측의 작업대(121)에는 그리퍼실린더(124)가 설치되어 있으며, 이 그리퍼실린더(124)에는 실드백(111) 양측을 잡아 지지하도록 그리퍼(125)가 연결되어 있다.
그리고 실드백(111) 개방부 전방에는 노즐실린더(126)에 연결되어 실드백(111) 내부에 출입되고 실드백(111) 내부를 진공시킨 후 이에 질소를 주입하는 노즐(127)이 설치되어 있고, 실드백(111)의 개방부 상하측에는 승강운동하는 제1실린더(128)와 제2실린더(129)에 연결되고 노즐(127) 단부가 실드백(111) 개방부에 삽입될시 제1실린더(128) 및 제2실린더(129)에 의해 승강되어 실드백(111) 개방부를 눌러 지지하도록 한쌍의 실리콘고무(131)가 각각 설치되어 있으며, 제1실린더(128)와 제2실린더(129) 일측의 제3실린더(130)에는 질소 주입 완료시 제1실린더(128) 및 제3실린더(130)에 의해 각각 승강되어 실드백(111) 개방부를 밀봉시키는 패드(132) 및 히터(133)가 설치되어 있다.
도54는 풀백이송수단(140)을 보이는 개략도이고, 도55,56은 풀백이송수단(140)의 정면도 및 측면도이다.
이러한 풀백이송수단(140)은 진공포장수단(120)과 제함기(200) 상에 설치되어 진공포장된 풀백(158)을 1차 절첩된 박스(213)에 수납시키게 되는바, 이 풀백이송수단(140)에는 작업대(121) 상의 풀백(158)을 잡고 이를 박스(213)에 밀어 넣는 풀백유니트(141)가 구비되어 있다.
이 풀백유니트(141)는 보조판(143) 저면에 작업대(121) 상의 풀백(158)을 흡착하는 진공패드(142)가 설치되고, 보조판(143) 상면에는 작동실린더(144)가 설치되며, 작동실린더(144)의 왕복운동시 회동운동하여 흡착된 풀백(158)의 양측을 접도록 작동실린더(144)에는 링크(145)들에 의해 날개(146)가 연결되어 있다.
그리고 작동실린더(144) 양측의 보조판(143) 상에는 보조판(143) 하측으로 위치된 로드(147)에 플레이트(148)가 설치되어 박스(213) 상부에 위치된 풀백(158)을 하측으로 밀어 넣는 두 제1실린더(149)가 설치되고, 보조판(143) 상부에는 지지판(150)이 구비되며, 이 지지판(150)의 네 모서리에는 로드에 블록(151)이 구비된 제2실린더(152)가 설치되어, 풀백(158)이 삽입된 박스(213)의 네 모서리를 눌러주도록 되어 있다.
이러한 풀백유니트(141)의 지지판(150)에는 이를 승강시키는 승강실린더(153)가 연결되어 있고, 이 승강실린더(153)는 브라켓(154)에 의해 벨트(155)에 연결되어 있으며, 이 벨트(155)는 모터(157) 및 풀리(156)에 의해 구동되도록 되어 있어, 승강실린더(153) 및 풀백유니트(141)를 진공포장수단(120)의 작업대(121)와 박스(213) 상부 사이를 왕복이송시키도록 되어 있다.
한편 본 발명 반도체가 적재된 트래이 포장장치의 후방에는 도57, 도58에 도시한 바와 같이 좌측에서 우측으로 길게 제함기(200)가 설치되어 있다.
도59 내지 도62는 이러한 제함기(200)의 박스1,2,3차절첩수단(210)(230) (270)에 의해 박스(213)가 자동으로 절첩되는 상태를 순차적으로 보이는 사시도들이다.
먼저, 제함기(200) 중 좌측의 박스1차절첩수단(210)은, 도63에 도시한 바와 같이 전개된 다수의 박스(213)가 수납되는 박스메거진(211)이 구비되고, 박스메거진(211) 하측의 작업대(218) 내에는 승강되는 박스공급실린더(212)가 설치되어 있으며, 박스공급실린더(212)에는 박스메거진(211) 하측의 전개된 박스(213)를 흡착하여 인출시키는 진공패드(214)가 연결되어 있다.
그리고 박스메거진(211) 하측에는 전개된 박스(213)가 하측으로 당겨질시 박스(213)의 양측면 및 배면을 상측으로 접어주도록 상부가이드(215)가 설치되어 있고, 상부가이드(215) 하측의 작업대(219) 상에는 박스(213)의 전면을 상측으로 접고 접혀진 양측면 및 배면을 지지하도록 하부가이드(216)가 설치되어 있다.
또한 하부가이드(216)의 양측에는 회전실린더(217)가 설치되어 있고, 이 회전실린더(217)에는 박스(213)의 양측면 단부의 날개를 내측으로 접는 회동편(218)이 연결되어 있다.
또한 제함기(200)의 작업대(219) 상에는 그 길이방향을 따라 박스이송수단(220)이 설치되어 있는바, 이는 반대방향으로 직선왕복운동되는 한쌍의 힌지실린더(222)와, 링크(223)에 의해 힌지실린더(222)에 연결되어 힌지실린더(222)의 직선왕복운동시 회동운동되어 박스(213)의 전면 및 배면을 지지하는 한쌍의 브라켓(224)으로 이루어진 두 박스홀더(221)가 소정간격 이격되어 설치되어 있다.
그리고 박스홀더(221) 일측에는 포장완료된 박스(213)를 배출시키도록 작업대(219) 상하로 승강되는 언로딩실린더(225)가 구비되고, 이 언로딩실린더(225)의 로드에 블록(226)이 고정되어 있다.
또한 작업대(219) 상에는 두 박스홀더(221) 및 언로딩실린더(225)에 연결되어 이들을 수평왕복이송시키는 피딩실린더(227)가 구비되어 있다.
도66,67,68은 박스1차절첩수단(210) 일측의 작업대(219) 상에 설치된 박스2차절첩수단(230)을 보이는 정면도, 측면도 및 평면도로써, 이는 박스(213) 커버(213a)의 전단부 날개를 파지하는 핑거(231)가 연결된 핑거실린더(232)가 구비되고, 1차절첩된 박스(213) 배면에 위치되고 박스(213) 커버(213a)의 양측면 날개를 접도록 박스절첩유니트(233)가 구비된다.
이 박스절첩유니트(233)는 로드에 브라켓(234)이 연결된 한쌍의 힌지실린더(235)와, 박스(213) 커버(213a)를 전방측으로 약간 기울이도록 힌지실린더(235) 상부에 설치되고 커버(213a)측으로 소정각도 회전되는 누름판(236)이 연결된 회전실린더(237)와, 한쌍의 힌지실린더(235) 사이에 구비되고 박스(213) 커버(213a)를 눌러 닫도록 로울러(238)가 연결된 로울러실린더(239)로 구성된다.
박스절첩유니트(233) 하부 일측에는 모터(240)와 풀리(241), 벨트(242)로 이루어진 구동부가 구비되고 이 구동부의 벨트(242)에는 엘엠가이드(243)가 연결되어 있으며, 이 엘엠가이드(243)에는 상술한 박스절첩유니트(233)가 연결되어 있어 모터(240)의 구동시 박스절첩유니트(233)를 박스(213) 배면에서 전면측으로 왕복이송키도록 되어 있다.
이러한 박스2차절첩수단(230) 일측에 구비된 바코드부착수단(250)은 도69,70,71에 도시한 바와 같이 바코드프린터(251)를 구비하고 있고, 이 바코드프린터(251)에서 발행된 바코드(252)를 흡착하여 박스(213) 배면에 부착하는 바코드흡착유니트(253)가 구비된다.
이 바코드흡착유니트(253)는 바코드(252)를 흡착하는 진공패드(254)가 구비되고 진공패드(254)에는 이를 전후진시키는 전진실린더(255)가 연결설치되어 있으며, 전진실린더(255)에는 이를 좌우로 회전시키는 제1회전실린더(256)가 연결설치되어 구성된다.
그리고 바코드프린터(251) 전방에는 바코드 발행부와 바코드(252)가 접착될 박스(213) 사이를 수직왕복운동하는 승강실린더(257)가 구비되고, 바코드흡착유니트(253)를 수직방향으로 회동시켜 진공패드(254)에 흡착된 바코드(252)를 박스(213) 측면에 부착시키도록 승강실린더(257)와 제1회전실린더(256) 사이에는 제2회전실린더(258)가 설치되어 있다.
이러한 바코드부착수단(250) 하측에는 도72,73에 도시한 바와 같은 바코드스캐닝수단(260)이 구비되어 있는바, 이는 바코드부착수단(250) 하측의 작업대(219) 내에 설치되어 수직방향으로 승강운동하는 승강실린더(261)가 구비되고, 승강실린더(261)에는 상승시 박스(213)에 부착된 바코드(252)에 대향되어 이를 판독하는 스캐너(262)가 구비되어 있다.
도57, 도58 또는 도74에 도시한 박스3차절첩수단(270)은 수직방향으로 왕복운동하는 승강실린더(271)가 구비되고, 이 승강실린더(271)에는 박스(213) 커버(213a)의 전단부 날개를 하측으로 절첩하고 박스(213) 커버(213a) 전체를 눌러 지지하도록 브라켓(272)이 설치되어 있다.
이러한 박스3차절첩수단(270) 상측에는 도57, 도75, 도76, 도77,78에 도시한 바와 같은 테이프부착수단(280)이 구비되어 있다.
이 테이프부착수단(280)은 도75, 도76의 테이프발행유니트(281)와, 도77,78의 테이프부착유니트(292)로 대분된다.
먼저, 테이프발행유니트(281)는 모터(282)가 구비되고, 모터(282) 상측에 테이프(284)가 권취된 테이프롤러(283)가 구비되며, 모터(282)와 테이프롤러(283) 사이에 테이프(284)의 이면지(285)가 권취되는 권취롤러(286)가 구비되어 있다.
그리고 모터(282) 하부 일측에는 제1벨트(288)에 의해 모터(282)와 연결되고 테이프(284)가 경유될시 이면지(285)와 분리시키는 제1롤러(287)가 구비되어 있고, 모터 하부 타측에는 제2벨트(290)에 의해 모터(282) 및 권취롤러(286)와 연결되고 이면지(285)가 경유되는 제2롤러(289)가 구비되어 있으며, 제1롤러(287) 상측에는 이면지(285)와 분리되는 소정길이의 테이프(284)를 감지하여 모터(282)를 일시 정지시키는 센서(291)가 구비되어 있다.
또한 테이프부착유니트(292)는 테이프발행유니트(281) 하측의 작업대(219) 내에 설치되어 테이프(284)가 발행되면 이를 흡착하여 박스(213)의 정면과 평면, 저면에 ㄷ자 형태로 부착시키도록 되어 있다.
이러한 테이프발행유니트(292)는 작업대(219) 하측에 설치되어 승강되는 제1승강실린더(293)와, 제1승강실린더(293)에 연결되고 발행 테이프(284) 전방측으로 승강되는 제2승강실린더(294)가 구비된다.
그리고 제2승강실린더(294)에는 한쌍의 테이프부착부(295)가 설치되어 있는바, 이는 발행된 테이프(284)를 흡착하도록 제1실린더(296), 제2실린더(297), 제3실린더(298)가 양측에 각각 구비되고, 이들에는 제1진공패드(299), 제2진공패드(300), 제3진공패드(301)가 연결되어 있다.
이러한 구성을 가지는 본 발명 반도체가 적재된 트래이 포장장치의 작동을 설명하면 다음과 같다.
도2,3,4 및 도5에 도시한 바와 같이 트래이제1로딩수단(410)의 로딩유니트(411),즉 1차메거진(412)과 보조메거진(420)에 다수의 트래이(401)를 적재한다. 그리고 1차메거진(412)의 모터(413)를 구동시켜 감속기(414), 스크류(415)를 회전시키면 지지판(416a)이 상승되면서 트래이(401)를 단계적으로 상승시키게 되는바, 상측의 트래이(401)가 센서(419)와 동일선상에 위치되면 센서(419)가 이를 감지하여 모터(413)를 일시 정지시킨다.
이와 같이 트래이(401)가 상승되면 도6,7,8과 같이 픽업유니트(421)의 이송부(431)가 동작하는바, 모터(434)가 구동되면 풀리(435) 및 벨트(436)가 구동되어 벨트(436)에 연결된 트래이피커(422)가 이송되어 1차메거진(412) 상부로 이송된다.
1차메거진(412) 상부로 이송된 트래이피커(422)는 승강실린더(423)의 작동에 의해 하강하고, 떨림방지판(430)이 트래이(401) 상면에 접촉지지되며, 그리퍼실린더(425)가 동작하여 그리퍼(426)로 트래이(401)를 파지하게 된다.
여기서 떨림방지판(430)은 제1,2스프링(428)(429)에 의해 파지된 트래이(401)에 탄성밀착되므로 홀딩된 상태의 트래이(401)가 유동되지 않고 안정적으로 파지되도록 한다.
이와 같이 1차메거진(412) 상의 트래이(401)가 트래이피커(422)에 파지되면 승강실린더(423)가 상승되고, 이송부(431)의 모터(434)가 구동되어 트래이(401)가 홀딩된 트래이피커(422)를 트래이제1이송수단(440)의 트래이홀더(441) 상으로 위치시키게 된다.
트래이홀더(441) 상으로 이송된 트래이제1이송수단(440)의 트래이피커(422)는 승강실린더(423)의 하강 및 그리퍼실린더(425)의 복원에 의해 트래이(401)를 트래이홀더(441) 상에 안착시키고, 이때 트래이홀더(441)의 회전실린더(442)가 작동하여 브라켓(443)을 직각으로 세우므로 이송된 트래이(401)의 전면 및 배면을 파지하게 된다.
트래이홀더(441)가 트래이(401)를 파지하면 피딩유니트(444)의 모터(445)가 작동하여 트래이홀더(441)를 레일(458)을 따라 적재유니트(448) 전방까지 1차 이송시키게 되고, 트래이(401)를 1차 이송시킨 후 트래이홀더(441)는 회전실린더(442)가 복귀되어 파지한 상태의 트래이(401)를 해제시키게 되며, 피딩유니트(444)의 모터(445)의 구동에 의해 초기 위치로 복귀된다.
이와 같이 트래이홀더(441)가 복귀되면 회전실린더(442)가 다시 작동되어 브라켓(443)을 직각으로 세우고, 피딩유니트(444)의 모터(445)의 구동에 의해 다시 전진되어 브라켓(443)으로 트래이(401) 후방을 밀어서 이를 적재유니트(448) 상부로 2차 이송시키게 된다.
적재유니트(448)의 지지판(449)에 트래이(401)가 안착되면 적재실린더(450)가 상승되어 트래이(401)를 상승시키게 되는바, 회동편(451)은 도8과 같은 상태에서 상측으로 회동되고 하측으로는 회동되지 않는 공지의 구성을 갖도록 형성되어 있기 때문에 적재실린더(450)가 상승될시 회동편(451)이 상측으로 회동되면서 트래이(401)가 상승되고, 트래이(401)가 계속 상승되어 회동편(451)을 벗어나면 회동편(451)은 복귀되며, 이때 트래이(401)는 적재실린더(450)에 의해 하강되다가 회동편(451) 상측에 걸려 지지된다.
이와 같은 작업을 반복하여 회동편(451) 상에 5개의 트래이(401)를 적재하면 그 위에 트래이제2로딩수단(460)에 의해 빈트래이(402)가 한 개 적재된다.
트래이제2로딩수단(460)의 작동은 도15,16,17에 도시한 바와 같이 빈트래이로딩유니트(461)의 모터(463)가 구동되어 감속기, 스크류(465)가 회전되면 지지판(466)이 상승되어 메거진(467) 상에 적재된 반도체가 수납되지 않은 빈트래이(402)를 상승시키게 되고, 상승된 빈트래이(402)는 빈트래이픽업유니트(469)의 빈트래이피커(470)에 의해 파지된다.
이 빈트래이피커(470)는 도18,19,20에 도시한 바와 같이 좌우이송실린더(480)에 의해 빈트래이로딩유니트(461)와 적재유니트(448) 상을 왕복이송하면서 빈트래이(402)를 적재유니트(448) 상에 5개 적재된 트래이(401) 상부에 올려 놓게 되는바, 빈트래이피커(470)의 좌우이송실린더(480)에 의해 빈트래이로딩유니트(461) 상부로 이송된 빈트래이피커(470)는 승강실린더(471)의 작동에 의해 하강하고, 떨림방지판(478)이 트래이(401) 상면에 접촉지지되며, 그리퍼실린더(473)가 동작하여 그리퍼(474)로 빈트래이(402)를 파지하게 된다.
이와 같이 빈트래이로딩유니트(461) 상의 빈트래이(402)가 빈트래이피커(470)에 파지되면 승강실린더(471)가 상승되고, 좌우이송실린더(480)가 작동되어 빈트래이(402)가 홀딩된 빈트래이피커(470)를 적재유니트(448)의 트래이(401) 상에 위치시키게 된다.
적재유니트(448) 상에 5개의 트래이(401)와 1개의 빈트래이(402)가 적재되면 트래이픽업수단(490)의 트래이피커(491)가 6개의 트래이(403)를 적재유니트(448)에서 리시브유니트(500)로 이송시키게 된다.
먼저 트래이픽업수단(490)의 트래이피커(491)가 좌우이송실린더(503)에 의해 적재유니트(448) 상으로 이송되면 트래이피커(491)의 승강실린더(492)에 의해 하강되어 그리퍼실린더(494) 및 그리퍼(495)에 의해 6개의 트래이(403)를 파지하게 되고, 승강실린더(492) 및 좌우이송실린더(503)가 복귀되어 트래이피커(491)를 리시브유니트(500) 상으로 이송시키게 되며, 이때 리시브유니트(500)의 승강실린더(502)가 상승되어 6개의 트래이(403)가 리시브판(501)에 안착된다.
6개의 트래이(403)가 리시브유니트(500)에 안착되면 승강실린더(502)가 하강하게 되고, 리시브판(501)이 제2이송컨베이어(517)보다 더 하강하면 6개의 트래이(403)는 제2이송컨베이어(517) 상에 안착된다.
이와 같이 6개의 트래이(403)가 제2이송컨베이어(517)에 안착되면 트래이제2이송수단(510)의 모터(511)가 작동되어 제1풀리(512), 제1전동벨트(513)에 의해 제1이송컨베이어(514)를 구동시키고, 제2풀리(516), 제2전동벨트(515)에 의해 제2이송컨베이어(517)를 구동시켜서 그 상부의 트래이(403)들을 수축포장기(521)의 포장실(522) 전방으로 이송시킨다.
포장실(522) 전방에 이송된 6개의 트래이(403)는 푸셔실린더(529)에 의해 필름(532) 측으로 전진되어 포장실(522) 입구로 이송된다.
그리고 필름수축포장수단(520)의 모터(524)가 작동되어 벨트(525), 풀리(526)에 의해 컨베이어(527)를 동작시키므로 포장실(522) 전방에 위치된 6개의 트래이(403)를 포장실(522) 내부로 진입시키게 된다.
이때 필름(532)은 트래이(403)를 따라 그 외주를 감싸면서 수축포장기(521)의 포장실(522) 내부로 인입되고, 트래이(403)가 완전히 삽입되면 커팅실린더(534)의 커터(533)에 의해 필름(532)을 절단시키게 된다.
이와 같은 상태에서 수축포장기(521)의 콘트롤러(523)를 조절하여 적정온도로 일정시간 가열하면 필름(532)이 트래이(401) 외주면에 밀착되면서 6개의 트래이(403) 및 이에 적재된 반도체를 밀착지지하게 된다.
수축포장된 트래이(403)는 컨베이어(527)에 의해 배출되면서 냉각팬(528)을 지나면서 냉각되어 도29의 트래이삽입수단(30) 상으로 이송된다.
트래이삽입수단(30)으로 이송된 수축포장된 트래이(401)에는 후술할 실리카겔공급수단(40) 및 인디케이터공급수단(80)에 의해 실리카겔(41)과 인디케이터(81)가 적재되며, 이와 같은 상태에서 트래이삽입수단(30)의 모터(31) 및 풀리(33), 벨트(32)의 구동으로 실드백(111) 전방까지 1차 이송되며, 다시 푸셔실린더(35)가 전진하여 수축포장된 트래이(403)를 실드백(111) 내부로 삽입시키게 된다.
한편 트래이(403)가 필름수축포장수단(520)에 의해 1차 포장된 후 트래이삽입수단(30)으로 이송되면 실리카겔공급수단(40)에 의해 트래이(403) 상에 실리카겔(41)이 한개 공급된다.
수납함(42)에 수납된 상태의 실리카겔(41)이 트래이(403) 상에 공급되는 과정을 다음과 같다.
먼저, 도34,35의 초기세팅유니트(43)의 좌우이송실린더(46)가 작동되어 그리퍼(44)를 수납함(42)의 인출구멍 상측으로 이송시키고 승강실린더(45)가 작동되어 그리퍼(44)를 수납함(42) 내에 진입시키면 작업자가 수납함(42) 내에 다수 연결된 실리카겔(41) 하나를 그리퍼(44)에 물린다.
이와 같은 상태에서 승강실린더(45)가 상승되어 실리카겔(41) 하나를 수납함(42) 상측으로 인출시켜서 세팅시키면 도38의 커팅유니트(60)의 홀딩실린더(61)가 작동되어 인출된 실리카겔(41)을 지지하게 되고, 이때 초기세팅유니트(43)는 좌우이송실린더(46)에 의해 복귀되며, 실리카겔공급유니트(47)가 인출된 실리카겔(41)을 파지하게 된다.
여기서 실리카겔공급유니트(47)의 동작은 도36,37에 도시한 바와 같이, 수평이송부(55)의 제1모터(56)가 동작하여 제1풀리(58), 제1벨트(57)를 구동시켜서 제1벨트(57)에 연결된 제1스크류(59)를 회전시키면 제1스크류(59)에 결합된 수직이송부(48)가 수평이송되어 인출된 실리카겔(41) 상부로 이송된다.
이와 같은 상태에서 수직이송부(48)의 제2모터(49)가 작동되어 제2풀리(51), 제2벨트(50)를 구동시켜서 제2벨트(50)에 연결된 제2스크류(52)를 회전시키면 제2스크류(52)에 결합된 승강실린더(53) 및 그리퍼(54)가 1차 하강한다.
그리고 승강실린더(53)가 작동하여 그리퍼(54)를 인출된 실리카겔(41)까지 2차 하강시켜서 그리퍼(54)가 실리카겔(41)을 파지하게 된다.
이와 같이 실리카겔공급유니트(47)의 그리퍼(54)가 실리카겔(41)을 파지하게 되면, 도38의 커팅유니트(60)가 작동하게 되는바, 커팅실린더(62)가 작동하여 커터(63)가 실리카겔(41) 사이의 연결부위를 커팅시키게 된다.
상단의 실리카겔(41)이 커팅되면 도36,37의 실리카겔공급유니트(47)의 수직이송부(48)가 상측으로 복귀하고 수평이송부(55)가 복귀되어 수직이송부(48)의 그리퍼(54)를 피딩테이블유니트(64) 상으로 위치시켜서 실리카겔(41)을 도18,19,20의 피딩테이블유니트(64)의 테이블(65) 상에 떨어뜨리게 된다.
테이블(65)에 실리카겔(41)이 공급되면 제1실린더(74)와 제2실린더(73)가 동시에 전지하여 이에 연결된 테이블(65)을 최대로 이송시켜서 수축포장된 트래이(403) 상부에 위치시킨다.
이와 같은 상태에서 제3실린더(72)가 작동되어 중심축(70)을 회전시키면 이에 고정된 제1기어(66)가 회전되어 제2기어(67), 제3기어(68), 제4기어(69)를 연동시키게 되며, 이에 따라 제1기어(66)와 제4기어(69)의 날개(71)가 하측으로 회동되어 이에 안착된 실리카겔(41)이 하측으로 떨어지게 되므로 실리카겔(41)을 트래이(403) 상부에 위치시키게 된다.
수축포장된 트래이(403)에 실리카겔(41)이 공급되면 도41 또는 도42,43의 인디케이터공급수단(80)이 작동되어 트래이(403) 상에 인디케이터(81)를 공급하게 된다.
먼저, 모터(82)가 회전되면 회전운동을 직선운동을 바꿔주는 공지의 기어박스(83)에 의해 승강축(84) 및 승강브라켓(85)이 상승되어 인디케이터(81)를 메거진(86) 상측으로 밀어주게 된다.
이때 인디케이터(81)가 간헐적으로 상승되는 시점에 맞추어 커버실린더(88)가 작동되어 커버(87)를 개폐시키게 되고, 커버(87)가 오픈될 시점에 맞추어 승강실린더(90)가 작동되어 진공패드(89)를 하강시켜서 인디케이터(81)를 한 장 흡착하게 되며, 흡착된 후 다시 상승시키게 된다.
이와 같은 상태에서 회전실린더(92)가 작동되어 회전축(91)을 회전시키므로 이에 연결된 승강실린더(90) 및 진공패드(89)를 수평방향으로 회전시켜서 진공패드(89)가 트래이(403) 상측으로 위치시키게 되며, 흡착된 인디케이터(81)를 낙하시켜 트래이(401) 상에 위치시키게 된다.
이와 같이 트래이(403) 상에 실리카겔(41)과 인디케이터(81)가 위치되면 트래이(403)가 삽입될 실드백(111)에 바코드(101)를 부착시킨 후 이 실드백(111)을 작업대(121)상으로 이송시키는 작업이 있게 된다.
여기서 실드백(111)에 바코드(101)를 부착시키기 위한 바코드부착수단(250)은 도44 또는 도45,46에 도시한 바와 같이 바코드프린터(102)에서 바코드(101)를 한 장 발행하면 수평이송실린더(104)가 이송하여 진공패드(106)를 바코드프린터(102)측으로 이송시키고, 승강실린더(105)가 작동하여 진공패드(106)를 바코드(101) 발행부에 대향되도록 하강시킨다.
이때 발행된 바코드(101)는 진공패드(106)의 흡입력 및 에어노즐(107)의 공기 분사력에 의해 진공패드(106)에 밀착된다.
이와 같은 상태에서 승강실린더(105)가 작동되어 진공패드(106)를 상승시키고, 수평이송실린더(104)가 작동하여 진공패드(106)를 실드백메거진(103) 상에 위치시키며, 승강실린더(105)가 다시 작동하여 진공패드(106)를 하강시키므로 바코드(101)를 실드백(111)에 부착시키게 된다. 그리고 승강실린더(105) 및 수평이송실린더(104)가 복귀된다.
이와 같이 실드백메거진(103)에 수납된 상측의 실드백(111)에 바코드(101)를 부착시키면 도29 및 도30의 실드백픽업수단(110)이 작동하여 바코드(101)가 부착된 실드백(111)을 진공포장수단(120)의 작업대(121) 상으로 이송시키게 된다.
이 실드백픽업수단(110)은 실드백(111)을 상측으로 승강시키는 구동수단인 모터(119a)의 구동력이 기어박스(119b)에 의해 브라켓(119c)에 전달되어 실드백(111)이 상승되면 제1실린더(117)가 작동하여 제2실린더(116) 및 제3실린더(115), 흡착유니트(112)를 하강시키며, 이때 흡착유니트(112)는 실드백(111) 상부에 위치된다.
이와 같은 상태에서 제3실린더(115)가 작동하여 흡착유니트(112)를 수평방향으로 이송시켜서 바코드스캐너(114)가 실드백(111)에 부착된 바코드(101)를 판독하게 하는 동시에 흡착유니트(112)를 실드백(111) 중앙에 위치시키게 되며, 제2실린더(116)가 작동하여 흡착유니트(112)의 진공패드(113)를 실드백(111)에 밀착시켜서 흡착시키게 된다.
이와 같이 진공패드(113)에 실드백(111)이 흡착되면 제2실린더(116)가 복귀하여 흡착유니트(112)를 1차 상승시키고, 제4실린더(118)가 작동하여 이 흡착유니트(112)를 진공포장수단(120)의 작업대(121) 상으로 수평이송시키게 된다.
흡착유니트(112)가 작업대(121) 상에 위치되면 제2실린더(116)가 작동하여 흡착유니트(112)를 하강시키고, 도51 또는 도52,53에 도시한 바와 같이 진공포장수단(120)의 작업대(121) 상에 설치된 진공패드(122)가 실드백(111) 하부를 흡착하게 되며, 이때 실드백픽업수단(110)의 제2실린더(116)가 동작하여 흡착유니트(112)를 약간 상승시키므로 실드백(111)을 벌리게 된다.
이러한 실드백픽업수단(110)은 입구가 벌려진 실드백(111)에 트래이(403)가 삽입되고 진공포장되면 제1실린더(117)에 의해 상승되고, 제4실린더(118)가 복귀되어 작업을 마치게 된다.
한편 실드백(111)의 입구가 벌려지게 되면 도51 또는 도52,53의 진공포장수단(120)의 그리퍼실런더(124)가 작동하여 그리퍼(125)가 실드백(111)의 양측을 파지하게 된다.
이와 같은 상태에서 도29에 도시한 트래이삽입수단(30)의 실린더(37)가 전진하여 수축포장된 트래이(403)를 밀어서 실드백(111)에 삽입시키게 된다.
실드백(111)에 트래이(403)가 삽입되면 도52,53의 노즐실린더(126)가 작동하여 노즐(127) 단부를 실드백(111)에 삽입시키고, 그리퍼실린더(124)의 후진으로 인해 그리퍼(125)가 실드백(111) 양측을 당겨서 실드백(111)을 납작하게 한다.
이때 제1실린더(128)가 상승하고 제2실린더(129)가 하강하여 한쌍의 실리콘고무(131)가 실드백(111)의 입구를 누르게 한 후, 노즐(127)을 통해 실드백(111) 내부의 공기를 외부로 배출시켜서 진공상태를 만들며, 이에 질소를 투입하게 된다.
실드백(111) 내부에 질소가 투입되면 노즐실린더(126)가 후진하여 노즐(127)을 실드백(111) 입구에서 이탈시키고, 제3실린더(130)가 하강하여 히터(133)에 의해 실드백(111) 입구를 밀봉시킨다.
실드백(111)이 밀봉되어 풀백(158)이 완성되면 제1,2,3실린더(128)(129)(130)가 복귀하고 그리퍼(125)가 잡고 있던 풀백(158) 양측을 놓으며, 풀백이송수단(140)의 풀백유니트(141)가 풀백(158) 상으로 이송되면 승강실린더(123)가 상승하여 풀백(158)을 파지할 수 있도록 하게 된다.
한편 도54 또는 도55,56의 풀백이송수단(140)은 모터(157)의 구동으로 풀리(156), 벨트(155)가 구동되어 브라켓(154)에 의해 벨트(155)에 연결된 풀백유니트(141)가 풀백(158) 상으로 이송되고, 진공포장수단(120)의 승강실린더(123)가 상승하면 풀백유니트(141)의 진공패드(142)가 풀백(158)을 흡착하게 되며, 작동실린더(144)가 작동하여 날개(146)를 하측으로 회전시키므로 풀백(158)의 양측을 접는다.
이와 같은 상태에서 모터(157), 풀리(156), 벨트(155)가 구동되어 풀백유니트(141)를 제함기(200)의 1차 절첩된 박스(213)상으로 이송시키고, 승강실린더(153)가 작동하여 박스(213) 상부로 이송시키며, 제1실린더(149)가 작동하여 풀백(158)을 박스(213)내부로 밀어서 진입시키게 된다.
풀백(158)이 박스(213)에 투입되면 승강실린더(153)가 복귀하고 작동실린더(144)가 복귀하여 90°회전된 날개(146)를 수평방향으로 펴게 되며, 작동실린더(144)가 다시 작동하여 날개(146)를 수직으로 세운후 승강실린더(153)에 의해 하강하여 접혀진 풀백(158) 양측을 박스(213) 내부로 밀어 넣는다.
그리고 제2실린더(152)가 하강하여 블록(151)으로 풀백(158)의 네 모서리를 눌러서 박스(213)에 완전히 삽입시킨 후, 승강실린더(153)와 작동실린더(144)가 복귀된다.
한편 풀백(158)이 수납되는 박스(213)는 도57 또는 도58의 제함기(200)에 의해 순차적으로 절첩되는바, 도59과 같이 전개된 상태에서 박스1차절첩수단(210)에 의해 도60 및 도61와 같이 1차 절첩되고, 박스2차절첩수단(230)에 의해 커버(213a)가 덮혀지며, 박스3차절첩수단(270)에 의해 도62와 같이 절첩된다.
먼저, 도63과 같이 박스1차절첩수단(210)의 박스공급실린더(212)가 상승하여 박스메거진(211) 하측의 전개된 박스(213)를 진공패드(214)로 흡착한 후 다시 하강한다.
이때 전개된 박스(213)는 상부가이드(215) 및 하부가이드(216)에 의해 도60과 같이 절첩된 상태에서 작업대(219) 상에 위치되면, 회전실린더(217)에 의해 회동편(218)이 회전되어 도61과 같이 박스(213) 커버(213a) 양측면 날개를 접게 된다.
한편 박스공급실린더(212)에 의해 전개된 상태의 박스(213)가 하강하여 제함기(200)의 작업대(219) 상에 위치되면 도64,65의 박스이송수단(220)의 피딩실린더(227)가 작동하여 박스홀더(221) 및 언로딩실린더(225)를 박스메거진(211)측으로 이송시켜서 1차 절첩된 박스(213)가 박스이송수단(220)의 일측의 박스홀더(221) 상에 위치되도록 한다.
이와 같이 제함기(200)의 작업대(219)에 박스(213)가 안착되면 도64,65의 박스홀더(221)가 이를 파지하는바, 힌지실린더(222)가 작동하여 브라켓(224)을 상측으로 90°회전시켜서 박스(213)의 전면 및 배면을 파지한다.
박스(213)가 파지되면 피딩실린더(227)가 작동하여 두 박스홀더(221) 및 언로딩실린더(225)를 1단계 이송시킨 후, 힌지실린더(222)가 복귀하여 파지한 박스(213)를 놓게 되며, 피딩실린더(227)가 복귀한다.
상술한 방법으로 전개된 박스(213)가 다시 1차 절첩되면 두 박스홀더(221)가 각각 위치된 박스(213)를 파지하여 피딩실린더(227)에 의해 한 단계 이송시킨 후, 피딩실린더(227)가 복귀하게 된다.
그리고 전개된 박스(213)가 또 다시 하강하여 1차 절첩되어 박스홀더(221)의 힌지실린더(222)에 파지되면 언로딩실린더(225)가 상승하게 되고, 피딩실린더(227)가 작동하여 박스홀더(221) 및 언로딩실린더(225)를 한 단계이송시킬시 상승된 언로딩실린더(225)의 블록(226)이 2차 이송된 박스(213) 즉 포장완료된 박스(213)를 밀어서 배출시키게 된다.
박스1차절첩수단(210)에 의해 1차 절첩된 박스(213)는 이러한 박스이송수단(220)의해 이송되면서 2차 절첩되고, 바코드(252)가 부착되며, 3차 절첩된 후, 테이프(284)가 부착되는 공정을 거치게 된다.
먼저, 상술한 바와 같이 박스(213)가 1차 절첩되어 이에 풀백(158)이 수납되면 박스이송수단(220)에 의해 한 단계 이송되며 박스2차절첩수단(230)에 의해 2차 절첩된다.
도66,67,68을 참조하여 박스2차절첩수단(230)에 의해 박스(213)를 2차 절첩하는 과정을 설명하면 다음과 같다.
먼저 핑거실린더(232)가 작동하여 양측의 핑거(231)가 박스(213) 커버(213a)의 상단을 파지하면, 모터(240)가 구동되어 풀리(241), 벨트(242), 엘엠가이드(243)가 연동되고, 이에 따라 엘엠가이드(243)에 연결된 박스절첩유니트(233)가 박스(213) 커버(213a)측으로 1차 이송된다.
이와 같은 상태에서 힌지실린더(235)가 작동되어 브라켓(234)을 대응 내측으로 회전시켜서 커버(213a)의 양측면 날개를 접게 되며, 핑거실린더(232)는 복귀하여 파지하고 있던 커버(213a) 상측 단부를 놓는다.
이때 박스절첩유니트(233)의 회전실린더(237)가 작동하여 누름판(236)으로 커버(213a)의 상측을 약간 누른 상태에서 박스절첩유니트(233)가 커버(213a)측으로 전진하게 되는바, 박스절첩유니트(233)가 커버(213a)측으로 전진할시 로울러(238)에 의해 커버(213a)가 눌리면서 덮혀지게 되고, 커버(213a)가 박스(213) 상면에 완전히 덮혀지게 되면 로울러실린더(239)가 하강하여 로울러(238)로 커버(213a) 상면을 눌러 커버(213a)가 박스(213)에 완전히 덮히게 한다.
이와 같이 박스(213)가 2차 절첩되면 박스절첩유니트(233)가 복귀하게 되고, 박스이송수단(220)에 의해 한 단계 이송된 후 박스(213) 배면에 바코드(252)가 부착된다.
도57 또는 도69,70,71에 참조하여 바코드부착수단(250)의 동작을 설명하면 다음과 같다.
제1회전실린더(256)가 회전되어 진공패드(254)를 바코드프린터(251) 전면을 향하도록 위치시킨 후, 전진실린더(255)에 의해 진공패드(254)를 바코드(252) 발행부까지 전진시켜서 발행된 바코드(252)를 진공패드(254)에 흡착시킨다.
그리고 전진실린더(255)가 후진하고 제1회전실린더(256)가 복귀한 후, 승강실린더(257)가 작동되어 이 바코드흡착유니트(253)를 하강시키고, 이와 같은 상태에서 제2회전실린더(258)가 작동되어 바코드흡착유니트(253)를 하측방향으로 90°회전시켜서 2차 이송된 박스(213)의 배면에 바코드(252)를 부착시킨 후, 복귀된다.
이와 같이 바코드(252)가 부착되면 도39,40 또는 도55,56의 바코드스캐닝수단(260)의 승강실린더(261)가 상승하게 되어 스캐너(262)를 박스(213) 배면의 바코드(252)에 대향시켜서 바코드(252)를 판독한 후, 다시 하강한다.
바코드(252)가 부착된 박스(213)는 박스3차절첩수단(270)에 의해 3차 절첩되는바, 이는 도74에 도시한 바와 같이 박스3차절첩수단(270)의 승강실린더(271)가 하강하여 그 브라켓(272)에 의해 커버(213a)의 전면 날개가 접히면서 커버(213a) 전체가 눌려 지지된다.
박스3차절첩수단에 의해 커버(213a) 및 박스(213) 전체가 눌려 지지되면 테이프부착수단(280)에 의해 박스(213) 전면에 ㄷ자 형태로 테이프(284)가 부착된다.
도75 또는 도76에 도시한 바와 같이 모터(282)가 구동되면 제1롤러(287)와 제2롤러(289), 권취롤러(286)가 회전되고, 권취롤러(286)에 의해 테이프롤러(283)가 회전된다.
테이프롤러(283)에 권취된 테이프(284)는 제1롤러(287)를 통과하면서 이면지(285)와 분리되고, 이면지(285)는 권취롤러(286)에 권취되며 테이프(284)는 하측으로 낙하되며, 하나의 테이프(284)가 센서(291)를 통과할시 센서(291)는 이를 감지하여 발행된 테이프(284)를 박스(213)에 부착시키는 동안 잠시 모터(282)를 정지시키게 된다.
한편 테이프발행유니트(281)에 의해 발행된 테이프(284)는 테이프부착유니트(292)에 의해 박스(213)에 부착되는데, 한 장의 테이프(284)가 발행되기 전에 도77,78에 도시한 테이프부착유니트(292)의 제1승강실린더(293) 및 제2승강실린더(294)가 동시에 상승되어 도76과 같이 테이프(284)가 발행되는 위치까지 최대한 상승된다.
이와 같은 상태에서 테이프(284)가 한 장 발행되어 낙하되면 하측의 에어노즐(302)은 테이프(284)를 테이프부착부(295) 측으로 불어주면서 제1,2,3진공패드(299)(300)(301)가 이를 흡착하게 된다.
이와 같이 제1,2,3진공패드(299)(300)(301)가 테이프(284)를 흡착하면 제1승강실린더(293)가 하강하여 테이프부착유니트(292)의 테이프부착부(295)를 박스(213) 전면에 위치시킨다.
그리고 제1,2,3실린더(296)(297)(298)가 전진하여 테이프(284)를 박스(213)에 ㄷ자 형태로 부착시키게 되는바, 제1,2,3실린더(296)(297)(298)의 전진시 제2실린더(297)의 제2진공패드(300) 부분이 박스(213)의 전면에 밀착되고, 제1,3실린더(296)(298)가 더 전진하면 테이프(284)의 상하면이 박스(213)의 상면 및 하면에 부착된다.
박스(213)에 테이프(284)가 부착되어 포장이 완료되면 박스이송수단(220)의 언로딩실린더(225)에 의해 제함기(200)의 작업대(219) 상에서 배출되어 모든 작업이 완료된다.
이러한 본 발명 반도체가 적재된 트래이 포장장치는 다수 적재된 트래이(403)를 필름(532)으로 1차 포장하고, 이에 실리카겔(41), 인디케이터(81)를 올려 놓고 실드백(111)을 이송시켜 그 입구를 벌리며, 이에 실드백(111)에 삽입시킨 후 진공포장하며, 1차절첩된 박스(213)에 진공포장된 풀백(158)을 투입하여 박스(213)를 포장하는 전공정을 자동으로 수행할 수 있게 된다.
따라서 반도체 포장작업이 신속하고 체계적이며, 인력이 최소화됨에 따른 부가적 이점이 있게 된다.