KR100263816B1 - Dust eliminating apparatus and dust eliminating method - Google Patents
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Abstract
(목적) 본 발명은, 분진발생원, 특히 반도체소자 제조공정에서 발생하는 0.3μm 정도 이하의 분진을 장기간에 걸쳐 효율적으로 포획할 수 있고, 게다가, 장치의 콤팩트화를 꾀할 수 있도록 한 분진제거장치 및 분진제거방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.(Objective) The present invention provides a dust removal apparatus capable of efficiently trapping dust generation sources, in particular, dusts of about 0.3 μm or less generated in a semiconductor device manufacturing process over a long period of time, and further compacting the apparatus. It is an object to provide a dust removal method.
(구성) 본 발명은, 분진발생원에서 도입한 기체중에 함유되는 분진을 제거하는 분진제거장치에서, 상기 분진발생원에서 도입되는 기체중의 수분 및 유분을 제거하는 액분리장치와, 이 액분리장치로부터 기체가 도입되는 집진장치를 가지고, 이 집진장치는, 통형상으로 형성된 필터와, 이 필터의 외측에 형성되는 기체정화실과, 이들 필터 및 기체정화실을 둘러싸면서 이 필터의 내측에 상기 액분리장치로부터의 기체를 도입하는 도입구와 이 필터의 외측에 상기 기체정화실을 외부에 연통하는 도출구를 가지는 케이싱과, 상기 필터의 내측에 미끄럼접합하는 분진제거구와, 이 분진제거구를 구동하는 구동장치를 구비하고, 한편, 상기 액분리장치는, 상기 분진발생원으로부터의 기체를 도입하는 도입구와 상기 집진장치의 도입구에 연통하는 도출구를 가지는 케이싱과, 이 케이싱내의 도입구에서 도출구에 이르는 액분리실을 나누듯이 배치된 원반상의 액분리용 회전브러쉬와, 이 액분리용 회전브러쉬를 구동하는 구동장치를 구비하고, 또한 이 액분리용 회전브러쉬의 두께가, 상기 집진장치에서의 필터 길이의 1-75%의 치수로 되어있는 것을 특징으로 한다.(Configuration) The present invention provides a dust removal apparatus for removing dust contained in a gas introduced from a dust generating source, the liquid separation device for removing water and oil in the gas introduced from the dust generating source, and from the liquid separation apparatus. A dust collecting device into which gas is introduced, the dust collecting device includes a filter formed in a cylindrical shape, a gas purifying chamber formed on the outside of the filter, and the liquid separation device inside the filter while surrounding these filters and the gas purifying chamber. A casing having an inlet for introducing gas from the filter and an outlet for communicating the gas purifying chamber to the outside of the filter, a dust removal device sliding against the inside of the filter, and a drive device for driving the dust removal port. On the other hand, the liquid separation device, the inlet for introducing the gas from the dust generating source and the outlet for communicating with the inlet of the dust collector; The paper is provided with a casing, a disk-shaped rotary brush for separating the liquid separation chamber from the inlet to the outlet of the casing, and a driving device for driving the liquid-separated rotary brush. The thickness is 1-75% of the filter length in the said dust collector, It is characterized by the above-mentioned.
Description
본 발명은, 분진발생원에서 발생하는 분진을 포획, 제거하기 위한 분진제거장치 및 분진제거방법에 관련되고, 특히, 반도체소자 제조공정에서 생성되는 0.3μm 정도 이하의 분진을 장기간에 걸쳐서 효율적으로 포획할 수 있고, 게다가, 장치의 컴팩트화를 꾀할 수 있도록 한 분진제거장치 및 분진제거방법에 관한 것이다.The present invention relates to a dust removal apparatus and a dust removal method for trapping and removing dust generated from a dust generating source, and in particular, it is possible to efficiently capture dust of 0.3 μm or less produced in a semiconductor device manufacturing process for a long time efficiently. In addition, the present invention relates to a dust removal apparatus and a dust removal method that enables the compactness of the apparatus.
분진의 발생원으로서는, 예컨대 반도체소자 제조공업, 자동차공업, 플라스틱공업, 자원산업, 세라믹공업, 분말야금공업, 세제공업, 촉매공업, 페라이트공업, 색재공업, 농약공업, 사료가공업, 식품공업, 폐기물처리산업, 바이오 관련산업, 화장품공업 및 의약품공업 등의 분야에서는, 각종 설비에서 분진이 발생하는 문제가 있고, 예컨대 입경 0.01-50μm 정도의 대단히 미세한 분진이 발생하는 것이 알려져 있다.As the source of dust, for example, semiconductor device manufacturing industry, automobile industry, plastic industry, resource industry, ceramic industry, powder metallurgy industry, tax supply industry, catalyst industry, ferrite industry, color material industry, agrochemical industry, feed processing industry, food industry, waste treatment In the fields of industry, bio-related industry, cosmetics industry, pharmaceutical industry, etc., there exists a problem that dust generate | occur | produces in various facilities, for example, it is known that very fine dust of particle size of about 0.01-50 micrometers generate | occur | produces.
특히, 최근, 컴퓨터 및 이것을 응용하는 전자제어장치의 진보에는 눈을 크게 뜨게 하는 것이 있고, 이에 따라, 컴퓨터에 사용되는 반도체소자의 제조기술 및 그 생산량도 현저히 급속하게 성장하고 있는 것으로, 이들 반도체소자의 원료가 되는 반도체로서, 게르마늄(Ge), 실리콘(Si), 갈륨비소(GaAs), 갈륨인(GaP)등이 실용되고 있지만, 이들 반도체소자 제조공정에서, 발생하는 분진은, 그 자체가 공해방지의 관점에서 방산하는 것이 금지되는 유해물질이거나, 이것을 함유하는 기체가 유해물질이거나, 또, 분위기중의 유해물질을 흡착하기도 하거나 하는 것이 알려져 있다.In particular, in recent years, advances in computers and electronic control apparatuses that apply the same have greatly opened their eyes, and accordingly, the manufacturing technology and production amount of semiconductor devices used in computers have grown significantly rapidly. Germanium (Ge), silicon (Si), gallium arsenide (GaAs), gallium phosphorus (GaP) and the like are practically used as semiconductors to be used as raw materials for the semiconductor materials. In view of prevention, it is known that harmful substances are forbidden to dissipate, or gases containing them are harmful substances or adsorb harmful substances in the atmosphere.
반도체 제조공정에서 사용되고, 혹은 생성되는 유해물질로서는, 실리콘계, 비소계, 인계, 붕소계, 수소화금속, 프레온계, 할로겐, 할로겐화물, 질소 산화물, 그 밖의 것이 있지만, 오늘날에는, 이들의 유해성분이나 분진을 함유한 배기 가스를 그대로 대기중에 방출하는 것은 허용되지 않고, 우선, 배기 가스중에서 분진을 제거한 뒤에, 여러가지 처리를 실행하여, 안전하고 청정한 가스로 방출하는 것이 요청되고 있다.Examples of hazardous substances used or produced in semiconductor manufacturing processes include silicon, arsenic, phosphorus, boron, metal hydrides, freons, halogens, halides, nitrogen oxides, and the like. It is not allowed to discharge dust-containing exhaust gas into the atmosphere as it is, firstly, after removing the dust from the exhaust gas, various processes are performed to release it as a safe and clean gas.
그래서, 상기 분진발생원에서의 기체중에 포함되는 분진을 제거하기 위해서, 사이클론, 스크러버, 벤츄리 스크러버, 버그필터, 전기 집진기, 루퍼, 침강실 등을 이용하는 것이 제안되고 있다.Therefore, in order to remove the dust contained in the gas from the said dust generating source, it is proposed to use cyclone, a scrubber, a venturi scrubber, a bug filter, an electrostatic precipitator, a looper, a settling chamber, etc.
그러나, 이들 장치에서 포획할 수 있는 먼지의 한계입경은, 사이클론에서는 3.0μm, 스크러버에서는 1.0μm, 루퍼에서는 10μm, 침강실에서는 50μm이고, 이들 종래의 장치에서는 0.01-50μm의 광범위로 효율 좋게, 게다가 매우 미세한 분진을 포획할 수는 없다.However, the marginal particle diameter of the dust that can be captured by these devices is 3.0 μm in a cyclone, 1.0 μm in a scrubber, 10 μm in a looper, and 50 μm in a settling chamber. It is not possible to capture very fine dust.
또한, 벤츄리 스크러버, 버그필터 및 전기집진기에 의하면, 0.1μm의 분진을 포획할 수 있지만, 이들 장치는 대규모로 고가가 되거나, 포집한 분진의 폐기처리가 번잡한 문제가 있다.In addition, although a venturi scrubber, a bug filter, and an electrostatic precipitator can capture 0.1 μm of dust, these devices are expensive on a large scale or have a problem that waste disposal of collected dust is complicated.
분진발생원, 특히 반도체 제조공정에서 발생하는 분진의 입경분포를 관찰하면, 0.3μm 정도 이하의 것이 대부분을 차지하고 있고, 그래서, 이 0.3μm 정도 이하의 먼지를 포집할 수 있는 집진장치를 개발하기 위해서 실험을 되풀이하고 있지만, 그 과정에서, 두께 1mm 정도의 펠트상의 부직포로 이루어지는 필터를 사용하면, 0.3μm 정도이상의 분진을 충분히 포획수집할 수 있는 것을 알 수 있다.When observing the particle size distribution of dust sources, especially dust generated in the semiconductor manufacturing process, most of them occupy about 0.3 μm or less, so experiment to develop a dust collector capable of collecting dust of about 0.3 μm or less. In the process, it can be seen that by using a filter made of a felt-like nonwoven fabric having a thickness of about 1 mm, it is possible to sufficiently collect and collect dust of about 0.3 μm or more.
그래서, 이 필터의 실용화를 꾀하기 위해서, 고압의 역압을 부여하여 해당 필터를 세정하고, 그 재이용을 꾀하는 것을 시도하였다. 그러나, 필터의 눈이 미소하기 때문에, 상당히 고압의 역압을 부여해야만 하고, 그 때문에, 대형으로 고성능의 세정장치가 필요하게 되어, 장치전체로서의 부설면적이 커지고, 또한, 장치가 매우 비싸게 되는 데다가, 메인트넌스 비용도 고가로 되는 것이 판명되었다.Therefore, in order to put this filter into practical use, a high-pressure back pressure was applied to wash the filter, and an attempt was made to reuse the filter. However, since the eye of the filter is very small, a very high pressure back pressure must be applied, and therefore, a large-scale, high-performance washing apparatus is required, and the installation area of the whole apparatus becomes large, and the apparatus becomes very expensive. Maintenance costs also proved to be expensive.
이것에 대해서는, 예컨대 도 6에 도시한 바와 같이, 필터(101)를 세로축의 원통형태로 형성함과 동시에, 이 필터(101)의 내측 면에 접하는 브러쉬(102)를 설치하여, 이 브러쉬(102)를 필터(101)에 미끄럼접합시키면서 그 일단에 기체를 도입하고, 브러쉬(102)의 속을 통해서 필터(101)의 내측에서 외측으로 관류시키는 한편, 필터(101)에 부착한 분진을 브러쉬(102)를 회전시킴으로써 떨어지도록 한 자기재생형의 집진장치를 제안하였다.On the other hand, as shown in FIG. 6, for example, the
이 필터(101)의 내측 및 외측은, 분진을 함유한 기체중의 수분 및 기름성분을 제거한 후, 이 분진을 함유한 기체를 필터에 관통시켜 해당 분진을 제거하는 취지로 하면, 이러한 기체가 도입되는측이 내측이고, 이 기체가 필터(101)를 관류하여, 분진이 제거되어 청정화된 기체가 배출되는 측이 외측인 것은 말할 필요도 없다.When the inside and the outside of this
그렇지만, 이 자기재생형의 집진장치를, 예컨대 실제의 반도체소자 제조공정에서의 분진제거장치로서 시용한 바, 예상보다도 단기간 내에 필터(101)의 압력손실이 커지고, 게다가, 브러쉬(102)를 회전시키더라도 필터(101)를 재생할 수 없게 되는 것이 판명되었다.However, when this self-regenerating dust collector is used as a dust removal device in an actual semiconductor device manufacturing process, for example, the pressure loss of the
그래서, 더욱, 예의 검토를 거듭한 결과, 반도체 제조공정 등의 분진의 발생원으로 사용되는 진공펌프나 오일로터리 등에서 샌 기름성분이나, 연마나 절단 등에 사용하는 수성 혹은 유성의 공작액 등의 액체성분이 미소적상으로 되어 처리하는 기체중에 부유하거나, 덕트의 국면에 부착한 후, 기류를 타고, 필터(101)까지 날아가버려 그 표면에 분진과 동시에 부착하는 것이, 이 필터(101)의 막힘의 원인으로 되는 것이 판명되었다.Therefore, as a result of intensive examination, liquid components, such as oil components, which are used in vacuum pumps and oil rotary, etc. used for dust generation in semiconductor manufacturing processes, and aqueous or oily work fluids used for grinding or cutting, Floating in the gas to be treated as a small droplet or attached to the phase of the duct, then flows through the air flow to the
게다가, 이 필터(101)의 표면에 부착한 기름성분이나 수분은 기체의 압력이나 모세관현상에 의해서 필터(101)의 눈 속에 침투하여 저류되므로, 또한 필터(101)의 표면에 분진과 동시에 찰싹 부착하면, 브러쉬(102)로 쓸거나 하는 정도로서는 제거할 수 없으므로, 그 결과, 필터가 재생불가능한 막힘을 일으키는 것이 판명되었다.In addition, since oil components and moisture adhering to the surface of the
본 발명은, 상기 기술적과제에 감안하여 완성된 것으로, 분진발생원, 특히 반도체소자 제조공정에서 발생하는 0.3μm 정도 이하의 분진을 장기간에 걸쳐 효율적으로 포획할 수 있고, 게다가, 장치의 컴팩트화를 꾀할 수 있도록 한 분진제거장치 및 분진제거방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been completed in view of the above technical problem, and it is possible to efficiently capture dust generation sources, in particular, dusts of about 0.3 μm or less generated in the semiconductor device manufacturing process over a long period of time, and furthermore, to compact the device. An object of the present invention is to provide a dust removal device and a dust removal method.
도 1은 본 발명장치의 구성도이다.1 is a block diagram of an apparatus of the present invention.
도 2는 본 발명에 사용되는 제1층과 제2층의 필터의 관계를 나타내는 모식도이다.It is a schematic diagram which shows the relationship of the filter of a 1st layer and a 2nd layer used for this invention.
도 3은 본 발명장치의 다른 실시 형태를 나타내는 구성도이다.3 is a configuration diagram showing another embodiment of the apparatus of the present invention.
도 4는 본 발명장치의 또 다른 실시 형태를 나타내는 구성도이다.4 is a configuration diagram showing still another embodiment of the apparatus of the present invention.
도 5는 본 발명장치의 또 다른 실시 형태를 나타내는 구성도이다.5 is a configuration diagram showing still another embodiment of the apparatus of the present invention.
도 6은 본 발명에 앞서서 발명한 자기재생형 집진장치의 구성도이다.6 is a block diagram of a self-regulating dust collector invented prior to the present invention.
(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)(Explanation of symbols for the main parts of the drawing)
1: 미립자 분진발생원 3: 액분리장치 4: 집진장치1: particle generation source 3: liquid separation unit 4: dust collector
7: 송풍기 8: 흡유성 폴리머 9: 흡수성 폴리머7: blower 8: oil absorbent polymer 9: absorbent polymer
31: 케이싱 31a: 하부 31b: 상부31:
32: 액분리실 33: 입구 34: 상벽32: liquid separation chamber 33: inlet 34: upper wall
35: 출구 36: 액분리용 회전브러쉬 38: 구동장치35: exit 36: rotary brush for liquid separation 38: drive device
41: 케이싱 42: 분진제거용 나선브러쉬41: casing 42: spiral brush for dust removal
43: 적층 필터(필터) 43A: 제1층 필터 43B: 제2층 필터43: laminated filter (filter) 43A:
43C: 제3층 필터 44: 기체정화실 45: 도출구43C: Third Layer Filter 44: Gas Purification Chamber 45: Outlet
즉, 본 발명에 관한 분진제거장치 (이하, 단순히 본 발명장치라고한다)는, 분진발생원에서 도입한 기체중에 함유되는 분진을 제거하는 분진제거장치에 관한 것으로, 분진발생원에서 도입되는 기체중의 수분 및 기름성분을 제거하는 액분리장치와, 이 액분리장치로부터 기체가 도입되는 집진장치를 가지며, 이 집진장치는, 통형상으로 형성된 필터와, 이 필터의 외측으로 형성되는 기체정화실과, 이들 필터 및 기체정화실을 둘러싸고 또한 필터의 내측에 상기 액분리장치로부터 기체를 도입하는 도입구와 필터의 외측에 상기 기체정화실을 외부에 연통하는 도출구를 가지는 케이싱과, 상기 필터의 내측에 미끄럼접합하는 분진제거구, 이 분진제거구를 구동하는 구동장치를 구비하고, 한편, 상기 액분리장치는, 상기 분진발생원으로부터 기체를 도입하는 도입구와 상기 집진장치의 도입구에 연통하는 도출구를 가지는 케이싱과, 이 케이싱내의 도입구에서 도출구에 이르는 액분리실을 나누듯이 배치된 원반상의 액분리용 회전브러쉬와, 이 브러쉬를 구동하는 구동장치를 구비하고, 또한 이 액분리용 회전브러쉬의 두께가, 상기 집진장치에서의 필터 길이의 1-75%의 치수로 되어있는 것을 특징으로 한다.That is, the dust removing apparatus (hereinafter simply referred to as the present apparatus) according to the present invention relates to a dust removing apparatus for removing dust contained in a gas introduced from a dust generating source, and the moisture in the gas introduced from the dust generating source. And a liquid separator for removing an oil component, a dust collector for introducing gas from the liquid separator, wherein the dust collector includes a filter formed in a cylindrical shape, a gas purifying chamber formed outside the filter, and these filters. And a casing having an inlet for enclosing the gas purifying chamber and introducing gas from the liquid separation device inside the filter, and an outlet for communicating the gas purifying chamber to the outside of the filter, and sliding the inner side of the filter. And a drive device for driving the dust removal port, wherein the liquid separation device is configured to introduce gas from the dust generation source. A casing having an inlet port and an outlet port communicating with the inlet port of the dust collector, a disc-shaped rotational brush for separating the liquid separation chamber from the inlet port to the outlet port in the casing, and a drive device for driving the brush. And the thickness of the liquid separation rotating brush is 1-75% of the filter length in the dust collector.
본 발명장치에서, 필터의 내측에 미끄럼접합하는 분진제거구란, 필터의 내측을 털거나, 문지르거나, 털어내거나 하는 것을 말하고, 예컨대 브러쉬나 주걱 등을 사용하여, 이들을 필터의 내측에 접촉시키면서 원주방향에 회전시키거나 (한방향의 회전), 회동시키거나 (시계회전방향 혹은 그 역방향의 회전을 교대로 되풀이하는 것), 또는 브러쉬 등을 축방향에 상하 혹은 좌우에 운동시키거나, 혹은 이들을 편성한 운동을 하는 것을 들 수 있다.In the apparatus of the present invention, the dust removal device that is slid to the inside of the filter means to shake, rub, or shake off the inside of the filter, and, for example, by using a brush or a spatula to contact the inside of the filter while circumferentially contacting them. Rotate in one direction (rotate in one direction), rotate (reversely rotate in a clockwise or reverse direction), or move a brush, etc. up and down or left and right in the axial direction, or Exercise.
구체적으로는, 예컨대 브러쉬나 주걱이 필터의 내측에 접촉하도록 회전 혹은 회동시키거나, 필터가 세로모양인 경우에는 브러쉬나 주걱이 필터의 내측에 접촉하도록 해당 브러쉬 등을 상하운동시키거나, 필터가 가로모양인 경우에는 브러쉬나 주걱이 필터의 내측에 접촉하도록 해당 브러쉬 등을 좌우로 운동시키거나, 유연한 호스에 가압가스를 통해서 해당 호스를 격렬하게 운동시켜, 채찍과 같이 필터의 내측을 털도록 하더라도 좋다.Specifically, for example, the brush or the spatula is rotated or rotated to contact the inside of the filter, or when the filter is vertical, the brush or the spatula is moved up and down so that the brush or the spatula comes into contact with the inside of the filter, or the filter is horizontal. In the case of the shape, the brush or the spatula may be moved left and right so that the brush or spatula comes into contact with the inside of the filter, or the hose is violently moved through a pressurized gas through a flexible hose to whisk the inside of the filter, such as a whip. .
또한, 본 발명장치에서 기체정화실은, 분진을 함유하는 기체를 필터에 관통시켜, 이 분진이 제거된 측 (필터의 외주면)으로부터 외부에 연통하는 도출구에 이르기까지의 사이의 공간을 의미한다.In addition, in the apparatus of the present invention, the gas purifying chamber means a space between a gas containing dust penetrating through a filter and a side from which the dust is removed (outer peripheral surface of the filter) to an outlet for communicating with the outside.
본 발명장치에서, 필터의 내측 및 외측은, 분진을 함유한 기체중의 수분 및 기름성분을 제거한 후, 이 분진을 함유한 기체를 필터에 관통시켜 해당 분진을 제거하는 취지로 보아, 이러한 기체가 도입되는 측이 내측이고, 이 기체가 필터를 관류하여, 분진이 제거되어 청정화된 기체가 배출되는 측이 외측인 것은 말할 필요도 없다.In the apparatus of the present invention, the inside and the outside of the filter are considered to remove the dust by passing the gas containing the dust through the filter after removing the moisture and oil components in the gas containing the dust. It goes without saying that the side to be introduced is on the inside, and this gas flows through the filter, and the side from which the dust is removed and the purified gas is discharged is the outside.
또한, 본 발명장치에서는, 이상의 구성에 더하여, 분진발생원에서 순서대로 액분리장치, 집진장치를 거쳐 외부에 흐르는 기류를 형성하는 송풍기를 설치하는 것이 바람직하다.In addition, in the apparatus of the present invention, in addition to the above configuration, it is preferable to provide a blower that forms an air flow flowing through the liquid separator and the dust collector in order from the dust generating source in order.
또한, 본 발명장치에서는, 필요에 따라서, 액분리실의 저부에 흡수성 폴리머, 흡유성 폴리머 또는 흡수성 폴리머와 흡유성 폴리머의 적층체가 배치되어, 이것에 기체중의 수분 및 기름성분을 흡수시키는 것이 뒷처리가 간편하므로 바람직하다.In addition, in the apparatus of the present invention, if necessary, an absorbent polymer, an oil absorbent polymer, or a laminate of an absorbent polymer and an oil absorbent polymer is disposed at the bottom of the liquid separation chamber, so that the water and oil components in the gas are absorbed thereafter. It is preferable because it is simple.
또한,본 발명장치에서는, 액분리실의 하부가 그 상부로부터 분리가능하게 되도록 하더라도 좋다. 이와 같이 구성함으로써, 액분리실내의 보수관리가 극히 용이하게 되므로 바람직하다.In the present invention, the lower part of the liquid separation chamber may be separated from the upper part. This configuration is preferable because maintenance in the liquid separation chamber becomes extremely easy.
또한, 본 발명장치에서는, 집진장치의 분진제거구가 분진제거용 회전브러쉬로 이루어지고, 이 분진제거용 회전브러쉬가, 상기 집진장치의 필터의 축심에 위치하는 중심축을 중심으로 하여 털이 나선면을 형성하도록 병행하는 나선브러쉬로 이루어지고, 이 나선브러쉬가 상기 집진장치의 구동장치에 의해서 회전하도록 구성되더라도 좋고, 이에 따라, 분진을 효율적으로 제거할 수 있게 된다. 그 경우에, 나선형상으로 형성된 분진제거용 회전브러쉬는, 연속적으로 형성된 것이라도 좋고, 간헐적으로 형성된 것이라도 좋으며, 전체로서 나선형상을 하고 있으면 좋다.Further, in the apparatus of the present invention, the dust removing port of the dust collecting device is composed of a dust removing rotary brush, and the dust removing rotating brush has a hair spiral surface around the central axis located at the center of the filter of the dust collecting device. The spiral brush may be formed to be parallel to each other, and the spiral brush may be configured to rotate by the driving device of the dust collector, thereby making it possible to efficiently remove dust. In this case, the dust removal rotating brush formed in a spiral shape may be formed continuously, may be formed intermittently, and may be spirally formed as a whole.
또한, 본 발명장치에서는, 집진장치의 분진제거구가, 집진장치의 필터의 축심에 위치하는 중심축과 이것을 중심축으로 식모된 털로 이루어지고, 이 식모된 털이 상기 집진장치의 필터에 미끄럼접합하도록, 즉, 전술했듯이, 상기 집진장치의 필터에 접촉하면서 원주방향에 회전 또는 회동하고 또는 축방향에 운동하도록, 상기 구동장치에 의해 구동됨으로써 이 필터에 부착한 분진을 제거하도록 구성되어도 좋다.Further, in the apparatus of the present invention, the dust removal port of the dust collector is composed of a central axis located at the axis of the filter of the dust collector and hair that has been planted on the central axis, so that the planted hair is slid to the filter of the dust collector. That is, as mentioned above, it may be comprised so that the dust attached to this filter by driving by the said drive apparatus may be rotated or rotated in the circumferential direction, or it moves in the axial direction, while contacting the filter of the said dust collector.
또한, 본 발명장치에서는, 이러한 장치가 세로모양의 분진제거장치인 경우, 집진장치가 액분리장치의 윗쪽에 배치되고, 집진장치의 도입구와 액분리장치의 도출구가 겸용되어 있더라도 좋다. 이렇게 함으로써, 장치가 콤팩트하고, 구조가 간단하게 되는 데다가, 취급이 극히 용이해지고, 게다가 극히 경제적이다.In the present invention, when such a device is a vertical dust removing device, the dust collecting device may be disposed above the liquid separating device, and the introduction port of the dust collecting device and the outlet of the liquid separating device may be used in combination. By doing so, the apparatus is compact, the structure is simple, handling is extremely easy, and extremely economical.
또한, 본 발명장치에서는, 집진장치의 분진제거구와 액분리장치의 액분리용 회전브러쉬가 공통의 중심축을 가지고, 분진제거구의 구동장치와 액분리용 회전브러쉬의 구동장치가 겸용되도록 구성하더라도 좋고, 이에 따라 구조가 간소화된다.Further, in the apparatus of the present invention, the dust removal port of the dust collector and the liquid separation rotating brush of the liquid separation device may have a common central axis, and the driving device of the dust removal port and the driving device of the liquid separation rotation brush may be used together. The structure is simplified.
특히, 본 발명장치에서는, 집진장치의 필터가 내측에서 외측 순서로 눈이 작아지는 3층 이상의 필터를 적층한 적층 필터로 구성되더라도 좋고, 이것에 의하면, 미세한 분진도 효율적으로 제거할 수 있게 된다.In particular, in the apparatus of the present invention, the filter of the dust collector may be constituted by a laminated filter in which three or more layers of filters whose eyes are reduced in the order from the inner side to the outer side may be laminated, whereby fine dust can be efficiently removed.
이 경우, 적층 필터로서는, 눈의 크기가 200μm 정도의 제1층 필터와, 눈의 크기가 50-200μm의 제2층 필터와, 눈의 크기가 제2층 필터보다도 작고 1μm보다 큰 제3층 필터로 이루어지는 것이, 장기간에 걸쳐서 분진을 효율적으로 제거할 수 있다는 점에서 바람직하다.In this case, the laminated filter includes a first layer filter having an eye size of about 200 μm, a second layer filter having an eye size of 50-200 μm, and a third layer having an eye size smaller than that of the second layer filter and larger than 1 μm. It is preferable that a filter is formed in that dust can be efficiently removed over a long period of time.
본 발명장치에서, 적층 필터의 두께는, 분진을 효율적으로 또한 경제적으로 제거할 수 있는 범위이면 특히 한정되는 것이 아니지만, 일반적으로 0.5-20mm 이다. 즉, 적층 필터의 두께가 0.5mm 미만의 경우는 원하는 분진제거율을 달성할 수 없고, 20mm를 넘으면 필터에 의한 압력손실이 증대하여, 그 결과 대형 송풍기가 필요해져, 설비비가 많아지는 것이다. 이들 관점에서, 적층 필터의 두께는 바람직하게는 1-10mm, 더욱 바람직하게는 1.5-7.5mm 로 하는 것이 바람직하다. 이 경우, 제1층 필터의 두께가 적층 필터전체 두께의 20-50%이고, 제2층 필터의 두께가 적층 필터전체 두께의 30-60%이고, 제3층 필터의 두께가 적층 필터전체 두께의 1-25% 인 것이 바람직하다.In the apparatus of the present invention, the thickness of the laminated filter is not particularly limited as long as it can remove dust efficiently and economically, but is generally 0.5-20 mm. That is, when the thickness of the laminated filter is less than 0.5 mm, the desired dust removal rate cannot be achieved. When the laminated filter exceeds 20 mm, the pressure loss caused by the filter increases, and as a result, a large blower is required and the equipment cost increases. From these viewpoints, the thickness of the laminated filter is preferably 1-10 mm, more preferably 1.5-7.5 mm. In this case, the thickness of the first layer filter is 20-50% of the total thickness of the multilayer filter, the thickness of the second layer filter is 30-60% of the total thickness of the multilayer filter, and the thickness of the third layer filter is the total thickness of the multilayer filter. It is preferably 1-25% of.
본 발명장치는, 상술한 분진발생원으로부터의 분진을 효율적으로 제거하는데 적용되지만, 특히, 분진발생원이, 미분진을 대량으로 포함하는 반도체소자 제조공정에서의 분진을 발생하는 분진설비 및 이것에 부대하는 분진설비에 적합하게 사용된다.The apparatus of the present invention is applied to efficiently remove dust from the dust generating source described above. Particularly, the dust generating source includes dust equipment and dust equipment for generating dust in a semiconductor device manufacturing process including a large amount of fine dust. It is suitably used for dust equipment.
본 발명에 관한 분진제거방법 (이하, 단지 본 발명방법이라고 한다)은, 분진발생원에서 발생하는 기체중에 포함되는 분진을 제거하는 분진제거방법에서, 상기 목적을 달성하기 위해서, 상기 기체를 집진장치에 도입하기 전에 상기 기체로부터 기름성분 및 수분을 제거하는 공정과, 통형태로 형성된 집진장치의 필터의 내측에서 외측으로 상기 기체를 관류시켜 여과하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.The dust removal method (hereinafter referred to simply as the present invention method) according to the present invention is a dust removal method for removing dust contained in a gas generated from a dust generating source. And removing the oil component and the water from the gas before introducing, and filtering the gas by flowing through the gas from the inside to the outside of the filter of the dust collector formed in a cylindrical shape.
본 발명방법에서 필터의 내측 및 외측은, 분진을 함유한 기체중의 수분 및 기름성분을 제거한 후, 이 분진을 함유한 기체를 필터에 관통시켜 해당 분진을 제거하는 취지로 보아, 이러한 기체가 도입되는 측이 내측이고, 이 기체가 필터를 관류하여, 분진이 제거되어 청정화된 기체가 배출되는 측이 외측인 것은 말할 필요도 없다.In the method of the present invention, the inside and the outside of the filter are considered to remove the dust by passing the gas containing the dust through the filter after removing water and oil components in the gas containing dust. It goes without saying that this side is the inside, and this gas flows through the filter, and the side from which the dust is removed and the purified gas is discharged is the outside.
본 발명방법에서는, 분진제거구가 집진장치의 필터에 미끄럼접합함으로써, 즉, 전술했듯이, 집진장치의 필터에 접촉하면서 원주방향에 회전 또는 회동하고 또는 축방향으로 운동하며, 혹은 이들을 편성한 운동을 함으로써, 이 필터의 표면을 청소하여 필터에 포착된 분진을 제거하도록 해도 좋다.In the method of the present invention, the dust removal port is slidly bonded to the filter of the dust collector, that is, as described above, while rotating or rotating in the circumferential direction or moving in the axial direction while contacting the filter of the dust collector, By doing so, the surface of the filter may be cleaned to remove dust trapped by the filter.
이 경우, 분진제거구가 수시로, 결국 간헐적으로, 또는 항상 연속하여, 집진장치의 필터에 미끄럼접합함으로써, 즉, 집진장치의 필터에 접촉하면서 원주방향으로 회전 또는 왕복운동하고 또는 축방향으로 왕복운동하며 혹은 이것들을 편성한 운동을 함으로써, 이 필터의 표면을 청소하여 필터에 포착된 분진을 제거하도록 해도 좋다.In this case, the dust removal device is often, eventually intermittently or always continuously, slid to the filter of the dust collector, that is, rotates or reciprocates in the circumferential direction while contacting the filter of the dust collector or reciprocates in the axial direction. Alternatively, the surface of the filter may be cleaned to remove dust trapped in the filter by performing a coordinated movement of these.
분진제거방법에서, 사용되는 분진제거구로서는, 본 발명장치와 같은 것을 들 수 있다.In the dust removal method, as the dust removal opening used, the same thing as the apparatus of this invention is mentioned.
즉, 분진제거구는, 필터의 내측을 털거나, 문지르거나, 털어내거나 하는 것을 말하며, 예컨대 브러쉬나 주걱 등을 사용하여, 이것들을 필터의 내측에 접촉시키면서 원주방향에 회전시키거나 (한방향의 회전), 회동시키거나 (시계회전방향 혹은 그 역방향의 회전을 교대로 되풀이하는 것), 또는 브러쉬 등을 축방향으로 상하 혹은 좌우로 운동시키거나, 혹은 이것들을 편성한 운동을 하는 것을 들 수 있다.That is, the dust removal opening means to shake, rub, or shake off the inside of the filter. For example, by using a brush or a spatula, they are rotated in the circumferential direction while contacting the inside of the filter (rotation in one direction). , Rotating (clockwise rotation or reverse rotation in turn), or moving a brush or the like up or down or left or right in the axial direction, or performing a combination of these.
구체적으로는, 예컨대 브러쉬나 주걱이 필터의 내측에 접촉하도록 회전 혹은 회동시키거나, 필터가 세로모양인 경우에는 브러쉬나 주걱이 필터의 내측에 접촉하도록 해당 브러쉬 등을 상하운동시키거나, 필터가 가로모양인 경우에는 브러쉬나 주걱이 필터의 내측에 접촉하도록 해당 브러쉬 등을 좌우에 운동시키거나, 유연한 호스에 가압가스를 통해서 해당 호스를 격렬하게 운동시켜, 회초리와 같이 필터의 내측을 털도록 해도 좋다.Specifically, for example, the brush or the spatula is rotated or rotated to contact the inside of the filter, or when the filter is vertical, the brush or the spatula is moved up and down so that the brush or the spatula comes into contact with the inside of the filter, or the filter is horizontal. In the case of a shape, the brush or the spatula may be moved left and right so that the brush or spatula comes into contact with the inside of the filter, or the hose is violently moved through a pressurized gas through a flexible hose, and the inside of the filter may be blown off like a scratch. .
이상과 같이 구성함으로써, 본 발명 (본 발명장치와 본 발명방법의 양자를 포함한다.)에 의하면, 분진발생원에서 분진을 함유하는 기체가 액분리장치에 도입되어 수분, 기름성분 등을 분리한 후에 집진장치에 도입되게 된다. 따라서, 집진장치의 필터의 표면에 수분, 유분 혹은 이것들과 함께 이것들에 흡착된 분진이 부착할 염려가 없어지고, 필터의 막힘이 기체중의 수분이나 기름성분에 의해서 촉진되는 것이 방지된다.According to the present invention (which includes both the apparatus of the present invention and the method of the present invention), the gas containing dust from the dust generating source is introduced into the liquid separation apparatus to separate water, oil, and the like. It will be introduced to the dust collector. Therefore, there is no fear that water, oil or dust adsorbed on these together with the surface of the filter of the dust collector will be prevented, and the clogging of the filter will be prevented from being promoted by the moisture or oil component in the gas.
게다가, 집진장치로서, 필터를 통형상으로 형성하여, 기체를 그 내측에서 외측에 관류시키는 한편, 그 내측에 배치한 분진제거구에서 그 필터로부터 분진을 제거하여 집진능력의 회복을 꾀하는 자기재생형의 집진장치를 사용하고 있으므로, 집진용필터의 재생을 위해 대규모의 역세장치를 설치할 필요가 없고, 장치전체를 콤팩트하게 할 수 있다.In addition, as a dust collector, a filter is formed in a tubular shape, the gas flows from the inside to the outside, and the dust is removed from the filter at the dust removal port disposed therein to recover the dust collection capacity. Since the dust collector is used, it is not necessary to install a large-scale backwashing device for the regeneration of the dust collecting filter, and the whole apparatus can be made compact.
그리고, 특히, 본 발명에서는, 액분리장치에서의 액분리용 회전브러쉬의 두께가, 집진장치에서의 통형상 필터 길이의 1-75%, 바람직하게는 3-60%, 더욱 바람직하게는 5-50%의 치수로 됨으로써, 이 회전브러쉬때문에 공연히 통풍성을 나쁘게 하여, 송풍기의 대형화 등을 초래하거나 처리능력을 저하시키거나 하지 않고, 분진발생원으로부터의 기체중의 수분이나 기름성분을 효과적으로 제거할 수 있어, 집진장치의 필터로의 수분과 유분의 부착이나, 이것에 따르는 해당필터의 자기재생능력의 저하 내지 상실이 방지된다. 즉, 액분리용 회전브러쉬의 두께가 통형상필터 길이의 1% 미만이면 소요 수분 및 유분의 제거율을 달성할 수 없고, 한편, 75%를 넘으면 압력손실의 증대를 초래하여 처리가스의 도입효율이 저하하고, 소요 가스 처리효율을 달성하기 위해서는 설비를 대형화할 필요가 생겨 설비비가 증대하므로, 어느 쪽의 경우도 바람직하지 못하다.In particular, in the present invention, the thickness of the rotary brush for separating the liquid in the liquid separator is 1-75%, preferably 3-60%, more preferably 5-50 of the length of the cylindrical filter in the dust collector. By the dimension of%, this rotating brush can naturally deteriorate the ventilation and effectively remove the moisture and oil components in the gas from the dust generating source without causing the enlargement of the blower or reducing the processing capacity. The adhesion of moisture and oil to the filter of the dust collector and the deterioration or loss of the self-renewal capacity of the filter are prevented. That is, if the thickness of the rotary brush for separating the liquid is less than 1% of the length of the cylindrical filter, the removal rate of the required water and oil cannot be achieved. On the other hand, if the thickness of the rotary brush is greater than 75%, the pressure loss is increased and the introduction efficiency of the processing gas is reduced. In order to achieve the required gas treatment efficiency, it is necessary to increase the size of the equipment and the equipment cost increases, which is not preferable in either case.
(발명의 실시 형태)(Embodiment of the Invention)
이하, 본 발명의 실시 형태를 도면에 따라서 구체적으로 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described concretely according to drawing.
이 실시 형태에 관한 분진제거장치는, 분진발생원이 반도체소자 제조공정에서 미립자분진을 발생하는 미립자분진발생원(1)인 경우의 것으로, 도 1의 구성도에 도시한 바와 같이, 이 분진제거장치는, 상기 미립자 분진발생원(1)에 도출 덕트(2)로 연통시킨 액분리장치(3)와, 이 액분리장치(3)의 상측에 직결된 자기재생형 집진장치(4)와, 이 집진장치(4)로부터 도출된 배기덕트(5)와, 이 배기덕트(5)에 개재시킨 유해가스처리장치(6) 및 송풍기(7)를 가진다.The dust removing apparatus according to this embodiment is a case where the dust generating source is a particulate
상기 송풍기(7)는, 기체를 미립자 분진발생원(1)으로부터 도출 덕트(2), 액분리장치(3), 집진장치(4), 배기덕트(5) 및 유해가스처리장치(6)를 거쳐 대기중에 방출시키는 구성이면 좋고, 도시와 같이 배기덕트(5)상에 설치하는 경우 외에, 예컨대 미립자 분진발생원(1)에 설치한 대기를 흡입하기 위한 흡기덕트에 개재시키거나, 상기 도출 덕트(2)에 개재시키거나, 혹은 액분리장치(3)내 또는 집진장치(4)내에 설치하거나 해도 좋다.The blower (7) passes the gas from the particulate dust generating source (1) through the duct (2), the liquid separator (3), the dust collector (4), the exhaust duct (5) and the noxious gas treatment device (6). The configuration may be such that the air is discharged into the atmosphere, and in addition to being installed on the
이 송풍기(7)에 의해, 미립자 분진발생원(1) 부터의 기체를 도출 덕트(2), 액분리장치(3), 집진장치(4), 배기덕트(5) 및 유해가스처리장치(6)를 거쳐 대기중에 방출시키는 기류가 형성되면, 미립자 분진발생원(1)에서 발생한 미립자 분진 및 이 미립자 분진발생원(1)에 침입한 수분 및 유분은 그 기류를 타고, 혹은 그 기류에 밀려서 도출 덕트(2)를 거쳐 액분리장치(3)에 도입되어, 후에 자세히 설명하듯이, 이 액분리장치(3)에서 수분, 유분 및 비교적 큰 미립자 분진이 제거된 후, 또, 집진장치(4)에 도입되고 나머지 미립자 분진이 제거된다.By this
집진장치(4)로부터 배출되는 기체는, 수분, 유분 및 미립자 분진이 제거된 것이지만, 유해한 기체성분을 함유하고 있으므로, 더욱 유해가스처리장치(6)에 이끌려, 여기서, 주로 산화, 환원, 중화 등의 화학처리나 활성탄이나 제올라이트 등의 흡착재로 처리되어, 무해화된 후, 대기중에 방출된다.The gas discharged from the
상기 액분리장치(3)는 케이싱(31)를 가지고, 이 케이싱(31)의 내부에 액분리실(32)이 형성되어 있다. 또한, 이 케이싱(31)의 하단으로부터 소정 높이의 위치에, 액분리실(32)을 도출 덕트(2)에 연통시키는 입구(33)가 형성되어 있음과 동시에, 상벽(34)에는 원통형의 개구부가 형성되어, 액분리실(32)을 집진장치(4)에 연통시키는 출구(35)로 되어 있다.The
상기 케이싱(31)를 형성하는 소재는 특히 한정되는 것이 아니고, 예컨대, 종이, 나무, 합성수지 또는 금속 등을 사용할 수 있지만, 기류의 압력에 견딜 정도의 기계적 강도, 특히 강성을 가지는 것이 필요하다.The material for forming the
이 실시 형태에서는, 기계적 강도가 우수하고, 또한, 내후성, 내약품성 및 내산성, 내알칼리성 및 내열성이 우수한 섬유강화 합성수지 (FRP)로 케이싱(31)를 형성하고 있다.In this embodiment, the
또한, 상기 케이싱(31)의 형상은, 내부에 액분리실(32)을 형성할 수 있는 중공형상이면 특히 한정되는 것이 아니고, 입방형, 직육면체형 등의 다각입방체, 원통형, 타원통형 등으로 형성하면 좋지만, 제조비용의 절감을 꾀하기 위해서 될 수 있는 한 단순한 형상으로 형성하는 것이 바람직하다.In addition, the shape of the
이 실시 형태에서는, 케이싱(31)은, 평판재를 구부리거나, 핸드레이업법, 스프레이업법, 진공백성형법, 가압백성형법, 오토크레이프성형법, 콜드프레스성형법, 스퀴즈성형법, 리저버성형법, 사출성형법, 감압주입성형법, 매치드다이성형방법, SMC 성형법 등 공지의 FRP 성형방법에 의해서 간단히 성형할 수 있는 원통형으로 형성되어 있다.In this embodiment, the
또한, 상기 케이싱(31)의 크기는 미리 요청되는 단위시간의 처리량, 후술하는 흡유성 폴리머(8), 흡수성 폴리머(9)등의 변환주기 등의 처리능력에 대응하여 설정된다.In addition, the size of the
상기 액분리실(32)은, 케이싱(31)의 내부에 형성하고 있으면 좋고, 케이싱(31)의 내부에 액분리실(32)을 구획하는 칸막이 벽을 설치해도 좋지만, 이 실시 형태에서는, 구성을 간단히 함과 동시에, 소형화 및 경량화를 꾀하기 위해서, 케이싱(31) 그자체가 액분리실(32)의 주위벽을 구성하고 있다.The
또한, 상기 액분리장치(3)에는, 액분리실(32)의 원통형 출구(35)의 주위벽에 내접하여 세로축심회전에 회전가능하게 된 원반상의 액분리용 회전브러쉬(36)가 설치됨과 동시에, 그 구동원으로서, 집진장치(4)에서의 분진제거구로서의 분진제거용 나선브러쉬(42)의 구동장치를 겸하는 구동장치(M)가 구비되고, 액분리실(32)내를 입구(33)로부터 출구(35)로 향하여 상승하는 기류가 모두 연속회전하는 액분리용 회전브러쉬(36)를 통과하도록 구성되어 있다.In addition, the
이 액분리용 회전브러쉬(36)의 털의 소재는, 특히 한정되지 않고, 예컨대 천연 또는 합성 섬유, 강철, 놋쇠, 동 등의 금속선, 이들의 복합재 등, 일반적으로 브러쉬의 털에 사용되고 있는 것 중에서 자유롭게 선택할 수 있다.The material of the hair of the liquid
또한, 이 액분리용 회전브러쉬(36) 털의 털끝의 길이는 특히 한정되지 않고, 털끝이 케이싱(31)의 내주면으로부터 약간 벌어질 정도에서, 털끝이 케이싱(31)의 내주면에 닿을 정도까지의 길이가 바람직하다.In addition, the length of the hair tip of the hair of the liquid
털끝이 원체(31)의 내주면에 닿을 정도 이상으로 긴 경우에는, 케이싱(31)의 내주면에 마모가 생길 우려가 있기 때문에, 털의 소재로서 금속선을 사용하는 것은 바람직하지 못하고, 또한 케이싱(31)의 내주면에서 털끝이 크게 벌어지면, 액분리용 회전브러쉬(36)와 케이싱(31)의 사이를 유분이나 수분을 함유한 기체가 상승할 우려가 생기기때문에 바람직하지 못하다.In the case where the tip of the hair is longer than the inner circumferential surface of the
그러나, 털끝이 케이싱(31)의 내주면에서 약간 벌어지는 정도이면, 액분리용 회전브러쉬(36)의 회전에 따라 액분리용 회전브러쉬(36)의 주변 가장자리와 케이싱(31)과의 사이에 원심방향으로 흐르는 기류가 생겨, 이 기류가 액분리용 회전브러쉬(36)와 케이싱(31)과의 사이를 유분이나 수분을 함유한 기체가 상승하는 것을 방지하기 때문에 문제는 없다.However, if the tip of the hair is slightly open at the inner circumferential surface of the
액분리용 회전브러쉬(36)에 기류가 접촉하면, 이 기류에 포함된 유분 및 수분은 액분리용 회전브러쉬(36)의 털 사이에 포착되고, 기류로부터 분리된다. 액분리용 회전브러쉬(36)에 포착된 유분 및 수분은 해당 브러쉬(36)의 회전에 따르는 원심력으로 액분리실(32)의 주위에 운반되고, 액분리실(32)의 주변벽(39)에 따라서 자중으로 액분리실(32)의 저부에 흘러내려, 유분과 수분이 상하로 분리하여 고인다.When the airflow contacts the liquid
또한, 기류에 포함된 분진의 일부분, 특히 비교적 입경이 큰 분진도 액분리용 회전브러쉬(36)의 털 사이에 포착되거나, 해당 브러쉬(36)에 부착한 유분 혹은 수분에 흡착되거나, 원심력에 의해 유분 혹은 수분과 함께 액분리실(32)의 주변벽(39)으로 운반되고, 또, 액분리실(32)의 저부로 흘러 간다.In addition, a part of dust contained in the air stream, especially dust having a relatively large particle size, is also trapped between the hairs of the
그리고, 나머지 분진은 액분리용 회전브러쉬(36)의 털 사이를 지나는 기류를 타고 출구(35)로부터 집진장치(4)에 흡입된다.Then, the remaining dust is sucked into the
여기서, 상기 액분리용 회전브러쉬(36)의 두께 x는, 유분, 수분 및 비교적 입경이 큰 분진을 효율적으로 포착할 수 있음과 동시에, 해당 브러쉬(36)에 의한 압손을 적게 하여 소형 송풍기(7)의 사용을 가능하게 하기 위해서, 후술하는 집진장치(4)에서의 원통형 필터(43)의 축선방향의 유효길이 y의 1-75%, 바람직하게는 3-60%, 더욱 바람직하게는 5-50%로 설정된다.Here, the thickness x of the liquid
또한, 이 실시 형태에서는, 유분, 수분, 혹은 유분과 수분의 폐기처리를 용이하게 하기위해서, 액분리실(32)의 저부에, 필요에 따라서, 흡유성 폴리머(8), 흡수성 폴리머(9), 혹은 흡유성 폴리머(8)와 흡수성 폴리머(9)의 적층체가 배치되어, 액분리실(32)의 저부에 흘러내린 유분, 수분, 혹은 유분과 수분을 이들 폴리머에 흡착시켜, 이들 폴리머를 액분리실(32)로부터 추출하여 폐기할 수 있게 되어 있다.In this embodiment, in order to facilitate disposal of oil, water, or oil and water, the oil
이 경우, 액분리실(32)의 저부에 흡유성 폴리머(8) 혹은 흡수성 폴리머(9)를 배치하는 형태는 특히 한정되지 않고, 예컨대 입상 혹은 분말형상의 것을 액분리실(32)의 저부에 적당한 두께로 깔아 채울 수 있고, 이 경우, 양자를 혼합하여 깔아 채우더라도 좋지만, 흡유성 폴리머(8)와 흡수성 폴리머(9)를 상하에 층형상으로 나눠서 깔아 채워, 양자를 나눠 폐기처리할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.In this case, the form which arrange | positions the
양자를 나눠 폐기처리하는 데는, 폐기처리의 작업성을 높이기위해서, 입상의 흡유성 폴리머(8)나 흡수성 폴리머(9)를 사용하는 것 보다도, 흡유성 폴리머(8)와 흡수성 폴리머(9)를 각각 일체물로 형성하는 것이 바람직하고, 이러한 일체물로서는, 흡유성 폴리머(8) 혹은 흡수성 폴리머(9)를 담지한 다공질체나, 흡유성 폴리머(8) 혹은 흡수성 폴리머(9)를 배합한 합성 수지를 생각할 수 있다. 또한, 이러한 일체물의 형상은 특히 한정되지 않지만, 액분리실(32)의 용적 증대에 의한 대형화를 피하기 위해서, 예컨대 액분리실(32)의 저부내에 수납할 수 있는 필름, 시트 혹은 판형상으로 형성하는 것이 바람직하다.In order to increase the workability of the waste treatment, the oil
여기서 사용되는 흡유성 폴리머(8)는 기름을 흡수하여, 유지하는 것이면 특히 한정되지 않고, 이 경우, 공지의 것이 사용가능하다.The oil-absorbing
또한, 여기서, 사용되는 흡수성 폴리머(9)는 물을 흡수하여, 유지하는 것이면 특히 한정되지 않고, 이 경우, 공지의 것이 사용가능하다.Here, the
또한, 이 케이싱(31)의 입구(33) 보다도 아래쪽의 부분(31a)는 그 상측 부분(31b)에서 분해가능하게 되어 있고, 소정량의 수분이나 유분 또 분진이 액분리실(32)내의 저부에 고일 때나, 흡유성 폴리머(8), 흡수성 폴리머(9) 혹은 흡유성 폴리머(8)와 흡수성 폴리머(9)의 적층체 등의 변환시기가 도래했을 때에, 이 케이싱(31)의 하부(31a)를 분해하여, 수분, 유분 혹은 수분과 유분 또는 이것들과 분진을 함유한 폴리머 및 그 밖의 분진으로 분별하는 분별처리장에 운반해 올 수 있게 되어 있다. 그리고, 분별후에 비게 된 케이싱(31)의 하부(31a)에 새로운 흡수성 폴리머(9)와 흡유성 폴리머(8)를 넣은 후, 이 하부(31a)는 케이싱(31)의 상부(31b)에 맞붙게 된다.In addition, the
또한, 케이싱(31)의 하부(31a)를 복수개 준비해 두고, 회수된 유분, 수분, 분진 등이 들어간 케이싱(31)의 하부(31a)와, 새로운 흡수성 폴리머(9)와 흡유성 폴리머(8)를 넣은 다른 1개의 케이싱(31) 하부(31a)를 교환하도록 해도 좋다.In addition, a plurality of
이와 같이 하면, 작업자가 직접 유해한 분진이나 유해물질을 흡수하고 있는 흡유성 폴리머(8) 혹은 흡수성 폴리머(9) 또는 흡유성 폴리머(8)와 흡수성 폴리머(9)의 적층체 등에 닿지않고서 끝나므로 안전성을 높일 수 있다.In this way, the operator can be finished without touching the oil absorbent polymer (8) or the absorbent polymer (9) or the laminate of the oil absorbent polymer (8) and the absorbent polymer (9), which directly absorbs harmful dust or harmful substances. Can increase.
한편, 이 경우, 회수된 유분, 수분, 분진 등이 들어 간 케이싱(31)의 하부(31a)를 분리한 후, 덮개(31c)에 의해서 그 상면 개구부를 밀폐하는 것이 안전성을 높이는데 바람직하다.On the other hand, in this case, it is preferable to remove the
집진장치(4)는, 액분리장치(3)와의 사이에서, 기류로부터 분진이 분리되어 퇴적하는 것이나, 액분리장치(3)부터의 유로저항에 의한 압손이 생기는 것 등을 방지함과 동시에, 장치전체를 한층 더 소형화하고, 또한, 회수된 분진 등의후처리장으로의 운반 안전성을 높이기 위해서, 이 실시 형태에서는 액분리장치(3)에 직결된다.The
즉, 이 실시 형태의 집진장치(4)는, 액분리장치(3)의 상측에, 그 케이싱(31)와 동축심에 배치되는 세로축의 뚜껑 있는 원통형의 케이싱(41)를 가지고, 이 케이싱(41)와 동축심상에 배치되는 분진제거구로서 사용되는나선브러쉬(42)와, 이 나선브러쉬(42)에 접하는 원통형의 필터(43)가 구비되어 있다.That is, the
이 실시 형태에서는, 분진제거구로서 나선브러쉬(42)가 사용되지만, 분진을 제거할 수 있는 것이면 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다. 예컨대 다른 형상의 브러쉬 혹은 주걱형상의 부재이더라도, 필터에 포획된 분진을 제거할 수 있기만 하면 분진제거구로서 사용가능하다.In this embodiment, the
또한, 상기 필터(43)와 케이싱(41)의 주변벽(41a)과의 사이에, 원고리 형상의 기체정화실(44)가 형성되어 있음 과 동시에, 케이싱(41)의 상부에, 이 기체정화실(44)의 상부를 배기덕트(5)에 연통시키는 도출구(45)가 형성되어 있다.In addition, a circular
상기 케이싱(41)의 하면은 액분리장치(3)의 케이싱(31)의 상벽(34)으로 덮어지고, 이 상벽(34)의 중앙부에, 평면에서 보아, 분진제거용 나선브러쉬(42)의 윤곽과 일치하도록 원형으로 형성된 액분리장치(3)의 출구(35)가 위치하고, 이 출구(35)가 집진장치(4)의 도입구와 겸용되어 있다.The lower surface of the
상기 케이싱(41)를 형성하는 소재는 특히 한정되지 않고, 예컨대, 종이, 나무, 합성수지, 금속 등을 사용할 수 있지만, 기류의 압력에 견디는 정도의 기계적 강도, 특히 강성을 가지는 것이 필요하다.The material for forming the
이 실시 형태에서는, 케이싱(41)이, 기계적 강도가 우수하고, 또한, 내후성, 내약품성, 내산성, 내 알칼리성 및 내열성이 우수한 합성 수지로 형성되어 있다.In this embodiment, the
또한, 상기 케이싱(41)의 형상은, 중공형상으로 형성되어 있고, 필터(43)와 케이싱(41)의 주변벽(41a)과의 사이에 원고리 형상의 기체정화실(44)이 형성되어 있지만, 필터(43)가, 전주위에 걸쳐 형성되거나, 또는, 둘레방향에 부분적으로 연속하여, 혹은 단속하여 형성되어 있으면 좋다.The
즉, 케이싱(41)는, 예컨대, 입방형태, 직육면체 형태등의 다각입방체, 원통형태, 타원통형태 등으로 형성하면 좋지만, 제조비용의 절감을 꾀하기 위해서는 될 수 있는 한 단순한 형상으로 하는 것이 바람직하고, 또한, 원통형태의 필터(43)의 전체에 걸쳐 균등한 여과가 되도록 하기 위해서는, 필터(43)의 전주위에 걸쳐 기체정화실(44)을 형성하는 것이 바람직하다. 이러한 관점에서 이 실시 형태에서는 케이싱(41)가 뚜껑 있는 원통형으로 형성되어 있다.That is, the
또한, 상기 케이싱(41)의 크기는 미리 요청되는 단위시간의 처리량, 나선브러쉬(42), 필터(43) 등의 변환주기 등의 처리능력에 대응하여 설정된다.In addition, the size of the
분진제거구로서 사용되는 상기 분진제거용 나선브러쉬(42)는, 중심축(42a)를 구비하고, 이 중심축(42a)를 중심으로 하여 털(42b)이 나선면을 형성하는 것 같이 병렬하는 브러쉬이고, 털(42b)의 줄 사이에 일정한 나선형상의 통기로(42c)가 형성된다.The dust
이 분진제거용 나선브러쉬(42)의 털(42b)의 소재는, 특히 한정되지 않고, 구체적으로는, 예컨대, 천연 또는 합성의 섬유, 강철, 놋쇠, 동 등의 금속 선등, 일반적으로 브러쉬의 털에 사용되고 있는 것 중에서 자유롭게 선택할 수 있고, 이 실시 형태에서는, 분진제거용 나선브러쉬(42)의 털끝이나 필터(43)의 내측 면의 마모를 장기간에 걸쳐 방지하기 위해서, 합성 수지제의 털을 사용한 분진제거용 나선브러쉬(42)가 쓰이고 있다.The material of the
이 털(42b)의 표면털의 길이는 적어도 필터(43)의 내측 면에 털(42b)의 끝이 어느 정도의 압력을 갖고 접촉할 수 있는 정도로 하는 것이 필요하고, 털(42b)의 선단부가 필터(43)의 내측 면의 근처에서 구부러져 소정 길이에 걸쳐 필터(43)의 내측 면에 따르는 정도로 하는 것이 바람직하다.The length of the surface hairs of the
상기 분진제거용 나선브러쉬(42)의 중심축(42a)은 케이싱(41)의 상벽(41b) 상에 탑재된 구동장치(M)에 연결되고, 또한, 이 중심축(42a)의 하단부에는 액분리장치(3)의 액분리용 회전브러쉬(36)가 연결되어, 구동장치(M)에 의해서, 분진제거용 나선브러쉬(42)와 액분리장치(3)의 액분리용 회전브러쉬(36)를 동시에 같은 방향에 구동할 수 있게 되어 있다.The
상기 실시예와 같이 구동장치(M)에서 분진제거용 나선브러쉬(42)를 회전하는 대신에, 나선브러쉬를 고정하여 필터(43)를 회전시키거나, 나선브러쉬와 필터의 쌍방을 서로 역방향으로 회전시키더라도 좋다.Instead of rotating the dust
분진제거용 나선브러쉬(42)는, 털(42b)의 줄이 나선상이므로, 이 브러쉬(42)를 선회시키면, 필터(43)의 중공부내의 기체를 상승 또는 하강시킬 수 있지만, 집진을 주목적으로서 운전하는 동안은, 필터(43)의 전면에 걸쳐 균등하게 분진이 날아가버리도록 하기 위해서, 기체가 상승하는 방향으로 회전시켜, 도입구에서 도입된 기체를 통풍로(42c)를 통해 상승시켜, 필터(43) 전체에 걸쳐 균등한 압력으로 유입시키는 것이 유리하다.Since the dust
분진을 함유하는 기체가 분진제거용 나선브러쉬(42)에 접촉하면, 분진이 털(42b) 사이에 포착되어, 원심력에 의해서 필터(43)의 내측 면에 날아가버린다. 또한, 이 분진제거용 나선브러쉬(42)의 털(42b)에 닿지않고, 통풍로(42c)를 통해 필터(43)의 내측 면에 달한 기체중에 부유하고 있는 미립자 분진은 기체가 필터(43)를 내측에서 외측으로 관류함으로써 필터(43)에 포착된다.When the gas containing dust comes into contact with the dust
본 발명장치 및 본 발명방법에서, 필터의 내측 및 외측은, 해당 발명이 수분 및 유분을 제거한 기체를 필터에 관통시키는 취지로 보아, 말할 필요도 없이, 분진을 함유한 기체가 도입되는 측이 내측이고, 분진이 제거된 기체가 배출되는 측이 외측인 것은 상술한 대로이다.In the present invention and the method of the present invention, the inside and the outside of the filter are inside the side to which the gas containing dust is introduced, not to mention the fact that the present invention penetrates the gas from which water and oil have been removed. It is as mentioned above that the side from which the gas from which the dust was removed is discharged is the outer side.
필터(43)의 구성은, 0.3μm 이하의 분진을 포획할 수 있는 것이면 특별히 한정되는 것은 없지만, 예컨대 포집가능한 미립자 분진의 최소입경을 0.3μm로 하는 경우에는, 1장의 두께 1.5 mm 정도의 펠트로 구성할 수 있다.The
그렇지만, 이 실시 형태에서는, 포집가능한 미립자 분진의 최소입경을 0.01μm 정도로 하기 위해서, 내측에서 외측에 순서로 눈이 작아지는 3층 이상의 필터를 적층한 적층 필터로 구성되어 있다.However, in this embodiment, in order to make the minimum particle diameter of collectable particulate dust about 0.01 micrometer, it is comprised by the laminated | multilayer filter which laminated | stacked the filter of three or more layers which eyes become small in order from inside to outside.
상기 필터 (적층 필터)(43)를 구성하는 필터(43A·43B·43C)의 적층수는 3층 이상이면 좋고, 1층 또는 2층에서는 입경 0.01μm의 미립자 분진을 포획할 수 없으므로 바람직하지 못하다.The number of stacked layers of the
또한, 적층 필터(43)의 상류측에 눈이 작은 필터(43B 또는 43C)를 배치하는 것은, 그 필터(43B 또는 43C)의 눈의 크기로 비교적 작은 분진을 포획할 수 있지만, 막힘이 빠르고, 사용가능기간이 짧으므로 바람직하지 않다Further, arranging the small-
적층 필터(43)의 각 필터(43A·43B·43C)의 눈의 크기는, 용도, 포획되는 미립자 분진의 입경분포 등을 고려하여 적절히 설정된다.The eye size of each of the
이 실시 형태에서는, 눈의 크기가 200μm 정도의 제1층 필터(43A)와, 눈의 크기가 50-200μm의 제2층 필터(43B)와, 눈의 크기가 1-50μm의 제3층 필터(43C)가 적층된다.In this embodiment, the
필터(43)에 미립자 분진을 함유하는 기류를 관류시키면, 제1층 필터(43A)의 눈 a의 크기보다도 입경이 큰 먼지는 모두 제1층 필터(43A)에 포획되어, 포획된 먼지가 제1층 필터(43A)의 눈 a을 막는 면적은 점차 넓게 된다.When the airflow containing particulate matter flows through the
이에 따라, 제1층 필터(43A)의 눈 a의 평균적 크기는 작아지지만, 여기서 먼지가 구형이고, 필터의 눈이 정방형이라고 가정하여, 제1층 필터(43A)의 눈 a와 같은 크기의 먼지가 제1층 필터(43A)의 눈 a에 포획되었다고 생각하면, 먼지가 가득찬 눈에서는 그 눈의 크기의 약 0.2배 이하의 먼지가 통과할 수 있게 된다.As a result, the average size of the eye a of the
이 값은 제1층 필터(43A)가 거의 완전히 막힌 상태에서의 이론적인 집진한계입경이지만, 적층 필터(43)의 압력손실이 커지면, 분진제거용 나선브러쉬(42)가 회전하고, 적층 필터(43)가 재생된다.This value is the theoretical dust collecting particle size in the state where the
도 2의 모식도에 도시한 바와 같이, 제1층 필터(43A)와 제2층 필터(43B)와의 경계에서는, 제1층 필터(43A)의 눈 a은 이것보다도 눈이 크기가 작은 제2층 필터(43B)의 눈 b에 분할되고, 또한, 제2층 필터(43B)의 눈 b의 일부분이 제1층 필터(43A)의 눈 a에 의해서 분할된다.As shown in the schematic diagram of FIG. 2, at the boundary between the
이 때문에, 제1층 필터(43A)와 제2층 필터(43B)와의 경계의 눈의 평균치는 제2층 필터(43B)의 눈 b의 크기보다도 작아지고, 이 경계에 제2층 필터(43B)의 눈 b의 크기보다도 작은 먼지가 다량으로 포획되어, 이에 따라, 이 경계의 실질적인 눈의 크기는 제2층 필터(43B)의 눈 b의 크기보다도 상당히 작아진다.For this reason, the average value of the eye at the boundary between the
필터(43A·43B·43C)의 적층수, 각 층의 필터(43A·43B·43C)의 눈(a·b·c)의 크기 등에 의해 최종층의 필터 (여기서는 제3층 필터(43C))와 그 전층의 필터(43B)와의 경계에서도 실질적인 눈의 크기가 결정되고, 필터(43)의 집진한계입경이 결정된다.The final layer filter (here, the
현실로는 최종층의 필터(43C)의 눈 c의 크기가 1μm 이상인 것 밖에 제조할 수 없으므로, 최종층의 필터(43C)의 눈의 크기와, 그 전 층의 필터(43B)의 눈의 크기를 상기한 바와 같이 선정하거나, 필터의 적층매수를 늘림으로써, 집진한계입경을 0.01μm 정도 혹은 그 이하로 할 수 있다.In reality, since the size of the eye c of the
적층 필터(43)의 두께는, 미립자 분진발생원(1)과 송풍기(7)의 흡입압과의 압력차, 필터(43)의 통풍성 내지 압력손실, 필터(43)의 기계적 강도 등을 고려하여 결정하면 좋고, 이 실시 형태에서는 5mm 이상으로 설정되어 있다.The thickness of the
또한, 적층 필터(43)의 각 필터(43A·43B·43C)의 두께도, 마찬가지로 미립자 분진발생원(1)과 송풍기(7)의 흡입압과의 압력차, 각 필터(43A·43B·43C)의 통풍성 내지 압력손실, 각 필터(43A·43B·43C)의 기계적 강도를 고려하여 결정하면 좋고, 이 실시 형태에서는, 제1층 필터(43A)의 두께가 적층 필터(43)의 전두께의 20-50%, 제2층 필터(43B)의 두께가 적층 필터(43)의 전두께의 30-60%, 제3층 필터(43C)의 두께가 적층 필터(43)의 전두께의 1-25%로 되어 있다.In addition, the thickness of each
상기 적층 필터(43)를 구성하는 각 필터(43A·43B·43C)의 소재는 특히 한정되지 않고, 예컨대, 천연섬유, 합성섬유 혹은 이들 혼합물, 연신합성수지필름, 발포합성수지, 합성 수지의 가용혼련물을 용출하여 형성한 다공질체, 세라믹다공질체 등을 사용할 수 있고, 또한, 섬유를 사용하는 경우에는, 그 조직은 편성조직, 직성조직, 부직조직의 어느 쪽의 조직을 채용해도 좋다.The material of each of the
상기 천연섬유는 유기의 것과 무기의 것으로 분류되고, 유기천연섬유로서는, 면, 스프, 펄프 등의 식물성 섬유, 양모, 우모, 돈모, 마모, 비단 등의 동물성 섬유를 그 예로 들 수 있고, 또한, 무기천연섬유로서는 유리섬유 등의 세라믹섬유, 록울, 아스베스트 등을 그 예로서 들 수 있다.The natural fibers are classified into organic and inorganic ones. Examples of the organic natural fibers include vegetable fibers such as cotton, soup, and pulp, and animal fibers such as wool, wool, pig hair, abrasion, and silk. Examples of the inorganic natural fibers include ceramic fibers such as glass fibers, rock wool and asbestos.
상기 합성 섬유는 유기의 것과 무기의 것으로 분류되고, 유기합성섬유로서는 폴리아미드섬유, 폴리에스테르섬유, 아크릴섬유, 아세테이트섬유 등을 그 예로서 들 수 있고, 무기합성 섬유로서는 카본섬유, 보론섬유 등을 그 예로서 들 수 있다.The synthetic fibers are classified into organic and inorganic ones. Examples of the organic synthetic fibers include polyamide fibers, polyester fibers, acrylic fibers, and acetate fibers. Examples of the inorganic synthetic fibers include carbon fibers and boron fibers. The example is mentioned.
다만, 각 필터의 소재는 처리되는 기류중에 함유되는 물질과 반응하여 분해하거나, 부식하거나 하지않는 소재를 사용하는 것이 필요하다.However, the material of each filter needs to use a material that does not decompose, corrode or react with substances contained in the air stream being treated.
이 실시 형태에서는, 제1층 필터(43A)는 두께 약 4mm의 폴리프로필렌섬유를 겹쳐서 형성되어 있고, 제2층 필터(43B)는 두께 약 3mm의 폴리프로필렌섬유를 겹쳐서 형성되어 있으며, 제3층 필터(43C)는 두께 약 1mm의 폴리프로필렌섬유를 겹쳐서 형성되어 있다.In this embodiment, the
한편, 여기서 복수층의 필터(43A), 필터(43B) 및 필터(43C)를 적층한다는 것은, 각 층의 필터(43A), 필터(43B) 및 필터(43C)가 순서로 밀착하여 설정된다는 의미로서, 반드시 각 층의 필터(43A), 필터(43B) 및 필터(43C)가 예컨대 접착 등의 수법에 의해 불가분하게 일체화되지 않더라도 좋다.On the other hand, when the plurality of layers of the
또한, 적층 필터(43)는 보강재로 보강하는 것이 가능하고, 보강재로서는, 예컨대 금속, 합성수지등으로 이루어지는 유공판, 망을 그 예로서 들 수 있다. 이 보강재는 적층 필터(43)의 어딘가의 층인 필터 43A, 필터 43B 또는 필터 43C에 접착, 나사 멈춤, 리벳 멈춤, 계착 등의 방법에 의해서 고정해도 좋고, 또한, 이 어느쪽의 필터와도 결합하지않아도 좋다.The
또한, 상기 적층 필터(43)는 수지함침에 의해 보강하더라도 좋고, 이 경우, 수지는 어딘가 1층의 필터 43A, 필터 43B 또는 필터 43C 에만 함침시켜도 좋고, 복수층의 필터에 함침시키더라도 좋고, 또한, 전층의 필터(43A·43B·43C)에 함침시키더라도 좋다.The
적층 필터(43)에 부착한 미립자 분진은, 분진제거용 나선브러쉬(42)가 회전하면서 필터(43)의 내측 면에 접촉함으로써 청소되고, 자중으로 아래쪽에 낙하한다.Particulate dust adhering to the
분진제거용 나선브러쉬(42)는, 적당한 시간을 두고 주기적으로, 혹은 수시로, 구동장치(M)을 역방향으로 작동시켜, 털(42b)이 필터(43)의 내측 면을 위에서 아랫방향으로 쓰는 방향에 역회전시키더라도 좋다. 그리고, 적층 필터(43) 및 분진제거용 나선브러쉬(42)로부터의 미립자 분진의 털어뜨림에 요하는 적당한 시간이 경과한 후, 역회전으로부터 다시 원래의 회전방향으로 되돌리면, 필터(43)의 내외의 압력차는 원래로 돌아가, 효율 좋은 호과작용이 필터(43)의 전면에 걸쳐 회복되도록 된다.The dust
또한, 적층 필터(43)는, 분진제거용 나선브러쉬(42)에 의해 내측 면이 청소됨으로써, 그 눈이 막혀있던 미립자 분진이 제거되어 재생되므로, 또한, 이 분진제거용 나선브러쉬(42)는, 적층 필터(43)의 내측 면을 청소하는 반동으로 털(42b)이 진동함으로써, 털(42b) 사이에 가득찬 미립자 분진이 떨어지고 재생된다. 한편, 이 실시 형태에서는, 분진제거용 나선브러쉬(42)에 의해서 포획된 분진의 제거가 행하여져 적층 필터(43)가 재생되지만, 본 발명은 특히 이것에 한정되지 않고, 다른 형상의 브러쉬 혹은 주걱형상의 부재이더라도, 그것에 의하여 필터에 포획된 분진을 제거할 수 있으면, 적층 필터의 재생은 가능하다.In addition, since the inner surface of the
분진제거용 나선브러쉬(42)가 연속회전하는 이 실시 형태에서는, 분진제거용 나선브러쉬(42) 및 적층 필터(43)에 의한 분진 제거와 분진제거용 나선브러쉬(42) 및 적층 필터(43)의 재생이 동시에 병행하고, 또한, 연속하여 행해지게 되고, 집진능력을 장기간에 걸쳐 유지할 수 있게 된다.In this embodiment in which the dust
또한, 집진장치(4)에 도입된 기체는, 상술했듯이 유분 및 수분이 제거된 기체이기때문에, 유분이나 수분 또한 분진이 적층 필터(43)에 철썩 부착하는 것이 없다. 그 결과, 적층 필터(43)의 막힘의 진행을 방지하거나, 또한, 유분이나 수분이 적층 필터(43)에 침투하여 제거불능이 되는 일도 없으므로, 집진능력을 한층 더 장기간에 걸쳐서 유지할 수 있게 된다.In addition, since the gas introduced into the
분진제거용 나선브러쉬(42) 및 적층 필터(43)로부터 떨어뜨려진 분진는, 집진장치(4)의 도입구를 겸하는 액분리장치(3)의 출구(35)로부터 액분리용 회전브러쉬(36)의 주위나 털 사이를 통하여 액분리실(32)에 낙하하고, 최종적으로는 액분리실(32)의 저부에 낙하하여, 해당 액분리실(32)로 분리된 분진과 함께 저류된다. 따라서, 집진장치(4)에 의해서 분리제거된 분진과, 액분리장치(3)로 분리된 폐기물을 함께 분별처리장 등의 후처리장에 나를 수 있고, 작업원이 유해물질에 닿는 기회가 적어져, 안전성이 높아진다.The dust dropped from the dust
한편, 이 실시 형태에서, 액분리장치(3)의 저부에 회수된 분진의 폐기에 있어서, 유해물질에 대한 불특정 다수의 제삼자의 안전을 확보하기 위해서, 케이싱(31)내의 저부에 회수된 분진 및 필요에 따라서 설치된 흡유성 폴리머(8)와 흡수성 폴리머(9)의 적층체를 둘러 싸는 자루 등의 폐기용 용기를 케이싱(31)의 하부(31a) 내에 배치하는 것이 가능하다.On the other hand, in this embodiment, in the disposal of the dust collected at the bottom of the
또한, 상기 중심축(42a)을 이중축으로 구성하여, 공통의 구동장치(M) 또는 개별의 구동장치로 액분리용 회전브러쉬(36)와, 분진제거용 나선브러쉬(42)를 서로 독립하여 같은 방향 또는 역방향으로회전시키도록 하더라도 좋다.In addition, the central axis (42a) is configured as a double axis, the common drive device (M) or a separate drive device to separate the liquid
또한, 예컨대 도 3에 도시한 바와 같이, 액분리장치(3)와 집진장치(4)를 서로 독립시켜, 액분리장치(3)의 출구(35)와 집진장치(4)의 도입구(47)를 중간 덕트(10)로 연통시키도록 하더라도 좋다. 여기서는, 액분리장치(3)의 액분리용 회전브러쉬(36)를 구동하는 구동장치(M1)과, 집진장치(4)의 분진제거용 나선브러쉬(42)를 구동하는 구동장치(M2)는 각각 설치하고 있지만, 액분리용 회전브러쉬(36)와 나선브러쉬를 연동시키는 적당한 전동기구를 가지는 공통의 구동장치에서 양자를 공통으로 구동하도록 하더라도 좋다.For example, as shown in FIG. 3, the
특히, 도 3에 도시한 바와 같이, 케이싱(41)의 상벽(41b)과 독립하여, 필터(43)의 중공부분 혹은 필터(43)의 표면전체를 상측으로부터 덮는 덮개(41c)를 설치하여, 이 덮개(41c)의 상측에 필터(43)의 외측 전주에 연속하는 기체정화실(44)이 균등하게 연통하는 집합실(46)을 형성하여, 이 집합실(46)의 중앙에 도출구(45)를 개구시키도록 구성하면, 필터(43)의 외측 면에서 도출구(45)까지의 유로저항이 둘레방향에 균등하게 된다. 그리고, 이와 같이 필터(43)의 외주면에서 도출구(45)까지의 유로저항을 둘레방향에 균등하게 함으로써, 필터(43)의 호과능력을 둘레방향에 한층 더 균일하게 할 수 있다.In particular, as shown in Fig. 3, independent of the
한편, 이 실시 형태에서도, 액분리장치(3)에서의 액분리용 회전브러쉬의 두께(x')는, 집진장치(4)에서의 필터(43)의 유효길이(y')의 1-75%, 바람직하게는 3-60%, 더욱 바람직하게는 5-50%로 설정되고, 따라서, 해당 회전브러쉬(36)에 의한 압손의 증대 내지 송풍기(7)의 대형화를 회피하면서, 유부, 수분 및 비교적 입경이 큰 분진을 효율적으로 포착하는 것이 가능해진다. 즉, 액분리용 회전브러쉬의 두께가 통형상 필터 길이의 1% 미만이면 원하는 수분 및 유분의 제거율을 달성할 수 없고, 75%를 넘으면 압력손실의 증대를 초래하여 처리가스의 도입효율이 저하하고, 원하는 가스처리효율을 달성하기 위해서는 설비를 대형화할 필요가 생겨, 설비비가 증대하는 것이다.On the other hand, also in this embodiment, the thickness x 'of the liquid separation rotary brush in the
또한, 상기 집진장치(4)의 케이싱(41), 분진제거용 나선브러쉬(42) 및 필터(43)는 세로축에 한정되지 않고, 예컨대 도 4에 도시한 바와 같이횡축에 배치하는일도 가능하다. 그리고, 이 실시 형태에서도, 액분리장치(3)에서의 액분리용 회전브러쉬의 두께 x"는, 집진장치(4)에서의 필터(43)의 유효길이(y")의 1-75%, 바람직하게는 3-60%, 더욱 바람직하게는 5-50%로 설정됨으로써 동일한 효과가 생긴다.The
또한, 상기 각 실시 형태에서, 예컨대 도 4에 도시한 바와 같이, 액분리장치(3)의 저벽(31d)을 깔때기 모양으로 형성하고, 그 하단에 연달아 설치한 추출구(31e)에 칸막이밸브(37)를 설치하여, 이 칸막이밸브(37)의 개폐에 의해, 액분리장치(3)내로 회수되는 유분이나 수분 또는 미립자 분진 등의 폐기물을 수시로 추출할 수 있도록 하더라도 좋다.In each of the above embodiments, for example, as shown in Fig. 4, a partition valve (31d) is formed in the shape of a funnel, and a partition valve ( 37) may be provided so that the waste, such as oil, water or fine particles dust recovered into the
상기한 각 실시 형태에서는, 분진제거구로서, 분진제거용 나선브러쉬(42)를 사용하여, 집진장치(4)의 필터(43)의 내측 면에 접촉시켜, 정위치로 회전가능하게 형성한 것에 관하여 설명하였지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다. 즉, 분진제거용 나선브러쉬 외에, 분진 긁어모음용의 주걱등을 사용하여, 그것들이 집진장치의 필터에 접촉하면서 원주방향에 회전 또는 왕복운동하고 또는 축방향에 왕복운동하고, 혹은 이것들을 편성한 운동을 함으로써, 해당 필터(43)에 포착된 분진을 제거, 회수하도록 하더라도 좋다.In each of the above embodiments, as the dust removal opening, the dust
또한, 상기 분진제거용 나선브러쉬 또는 분진긁어모음용의 주걱이 나선형상으로 형성되는 경우에는, 이들이 연속적으로 형성되는 경우 외에, 간헐적으로 형성되어, 전체로서 나선형상을 하고 있는 것이라도 좋다.When the dust removal spiral brush or the spatula for dust scraping is formed in a spiral shape, it may be formed intermittently as a whole, in addition to the case where they are formed continuously, and may be in a spiral shape as a whole.
또한, 도 5에 도시한 바와 같이, 분진을 함유한 기체가 도입되는 측과 분진이 제거된 기체가 도입되는 측을 필터(43)의 형상을 기준으로 하여 교체하더라도 좋고, 이 경우, 분진제거용 나선브러쉬(42)의 위치도 필터(43)의 형상을 기준으로 하여 교체한다. 구동장치(M)에 의해서 분진제거용 나선브러쉬(42)를 구동하더라도 좋고, 혹은 분진제거용 나선브러쉬(42)를 고정하여, 반대로 필터(43)를 구동장치(M)에 의해 구동하더라도 좋다. 도 5에 나타내는 집진제거도구에서, 분진제거용 나선브러쉬(42)에 대신해, 필터의 형상은 직사각형 등의 다른 형상을 채용하더라도 좋다.In addition, as shown in FIG. 5, the side into which the gas containing dust is introduce | transduced and the side into which the gas from which dust was removed may be replaced based on the shape of the
또한, 상기 각 실시 형태에서는, 분진의 발생원으로서, 미립자 분진을 대량으로 발생하는 반도체소자 제조업의 예에 관하여 설명하였지만, 본 발명은, 이것에 한정되디 않고, 분진의 발생원으로서, 예컨대, 플라스틱공업, 자원산업, 세라믹공업, 분말야금공업, 세제공업, 촉매공업, 페라이트공업, 색재공업,농약공업, 사료가공업, 식품공업, 폐기물처리산업, 바이오테크놀러지 관련산업, 화장품공업 및 의약품공업 등에도 적합하게 적용된다.In each of the above embodiments, an example of a semiconductor device manufacturing industry that generates a large amount of particulate dust as a source of dust has been described. However, the present invention is not limited thereto, and as the source of dust, for example, plastic industry, Applicable to resource industry, ceramic industry, powder metallurgy industry, tax supply industry, catalyst industry, ferrite industry, colorant industry, pesticide industry, feed processing industry, food industry, waste disposal industry, biotechnology related industry, cosmetics industry and pharmaceutical industry do.
이상과 같이, 본 발명에 관한는 분진제거장치에 의하면, 분진발생원에서 분진을 함유하는 기체가 액분리장치에 도입되어 수분, 유분 등을 분리한 후에 집진장치에 도입되게 된다. 따라서, 집진장치의 필터의 표면에 수분, 유분 혹은 이들과 함께 이것들에 흡착된 분진이 부착할 우려가 없어지고, 필터의 막힘의 진행이 기체중의 수분이나 유분에 의해서 촉진되는 것이 방지된다.As described above, according to the dust removal apparatus according to the present invention, a gas containing dust from the dust generating source is introduced into the liquid separation apparatus to separate water, oil, and the like, and then introduced into the dust collector. Therefore, there is no fear that moisture, oil or dust adsorbed on these together will adhere to the surface of the filter of the dust collector, and the progression of clogging of the filter will be prevented from being promoted by moisture or oil in the gas.
게다가, 집진장치로서, 필터를 통형상으로 형성하여, 기체를 그 내측에서 외측에 관류시키는 한편, 필터의 내측에 배치한 분진제거구로 필터에 포획된 분진을 제거하여 이 필터의 집진능력의 회복을 꾀하는 자기재생형의 집진장치를 사용하고 있기때문에, 집진용필터의 재생을 위해 대규모인 역세장치를 설치할 필요가 없고, 장치전체를 콤팩트하게 할 수 있다.In addition, as a dust collecting device, a filter is formed in a cylindrical shape, gas is flowed from the inside to the outside, and dust trapped in the filter is removed by a dust removal port disposed inside the filter to recover the dust collecting capacity of the filter. Since the self-regeneration type dust collector is used, it is not necessary to install a large-scale backwashing device for regeneration of the dust collecting filter, and the whole apparatus can be made compact.
그리고, 특히, 본 발명에서는, 액분리장치에서의 액분리용 회전브러쉬의 두께가, 집진장치에서의 통형상의 필터 길이의 1-75%, 바람직하게는 3-60%, 더욱 바람직하게는 5-50%의 치수로 됨으로써, 이 회전브러쉬때문에 쓸데없이 통풍성을 나쁘게 하고, 압손의 증대에 따라 송풍기의 대형화 등을 초래하거나, 처리능력을 저하시키거나 하는 일 없이, 분진발생원으로부터의 기체중의 수분이나 유분을 효과적으로 제거할 수 있어, 집진장치의 필터로의 수분이나 유분의 부착이나, 이것에 따르는 해당 필터의 자기재생능력의 저하 내지 상실이 방지된다. 그 결과, 장치를 한층 더 콤팩트하게 할 수 있음과 동시에, 설비비용 및 런닝코스트를 삭감할 수 있다.In particular, in the present invention, the thickness of the rotary brush for separating the liquid in the liquid separator is 1-75%, preferably 3-60%, more preferably 5- of the cylindrical filter length in the dust collector. With the 50% dimension, this rotating brush unnecessarily deteriorates the ventilation and increases the pressure loss, which causes the blower to be enlarged or the like, and the processing capacity of the gas is not reduced. The oil can be effectively removed, thereby preventing the adhesion of water or oil to the filter of the dust collector and the deterioration or loss of the self-renewal ability of the filter. As a result, the apparatus can be made more compact, and the equipment cost and running cost can be reduced.
또한, 본 발명장치에서는, 액분리장치에서의 액분리실의 저부에, 흡유성 폴리머, 흡수성 폴리머, 또 흡유성 폴리머와 흡수성 폴리머의 적층체를 배치할 수있어, 이 경우, 분리된 유분 혹은 수분 또는 유분과 수분을 이 폴리머에 흡수시켜 해당 폴리머와 함께 폐기하는 방법을 실시할 수 있기때문에, 이것을 실시함으로써, 분리된 유분 혹은 수분 또는 유분과 수분의 폐기처리를 용이하게 행할 수 있게 된다.In the apparatus of the present invention, the oil absorbent polymer, the absorbent polymer, and the laminate of the oil absorbent polymer and the absorbent polymer can be arranged at the bottom of the liquid separation chamber in the liquid separation device. Since the oil and the water can be absorbed into this polymer and disposed together with the polymer, this method makes it possible to easily separate the oil or water or the oil and water.
또한, 상기 액분리실의 하부가 그 상부로부터 분리가능하게 형성되어 있는 경우에는, 이 액분리실에서 분리되어, 그 저부에 저류된 폐기물을 액분리실의 하부마다 후처리장에 운반하는 방법을 실시할 수 있기때문에, 이것을 실시함으로써, 후처리장으로의 운반시에 작업원이 폐기물에 접촉할 필요가 없어져, 한층 더 안전성을 높일 수 있다.In addition, when the lower part of the liquid separation chamber is formed so as to be separable from the upper part, it is possible to carry out a method of transporting wastes separated from the liquid separation chamber and stored in the bottom of the liquid separation chamber to the aftertreatment for each lower part of the liquid separation chamber. Therefore, by performing this, a worker does not need to contact waste at the time of conveyance to a post-processing plant, and can improve safety further.
또한, 본 발명장치에서, 집진장치의 분진제거구로서, 필터의 축심에 위치하는 중심축을 중심으로 하여 털이 나선면을 형성하도록 병행하는 나선브러쉬가 사용되는 경우, 이 나선브러쉬가 집진장치의 구동장치에 의해서 회전함으로써, 필터 내측의 기체에 브러쉬의 기체도입측으로부터 반대측(도출측)에 흐름을 부여할 수 있어, 그 결과, 필터의 전면에 걸쳐 균등한 압력으로 기체를 유입시킬 수 있고, 필터의 호과작용을 전면에 걸쳐 평균화시킬 수 있어, 이에 따라, 필터에 국부적으로 분진이 모여 막힘이 생기는 것이 방지된다.Further, in the present invention, when the spiral brush is used as the dust removal port of the dust collector, in which a spiral brush is formed in parallel to form a hair spiral surface around a central axis located at the center of the filter, the spiral brush is a driving device of the dust collector. The rotation of the filter can impart a flow to the gas inside the filter from the gas introduction side of the brush to the opposite side (the evacuation side). As a result, the gas can be introduced at an equal pressure over the entire surface of the filter. The interactions can be averaged over the entire surface, thereby preventing local dust gathering and clogging in the filter.
또한, 본 발명장치에서, 집진장치의 분진제거구로서, 필터의 축심에 위치하는 중심축을 중심으로 하여 털이 나선면을 형성하도록 병행하는 나선브러쉬가 사용되는 경우, 이 나선브러쉬를, 수시로, 집진장치의 구동장치에 의해, 필터의 내측면을 위에서 아래에 쓰는 방향으로 구동함으로써, 해당 나선브러쉬 및 필터로부터 원활하게, 또한, 효율적으로 미립자 분진을 떨어뜨릴 수 있다.In addition, in the present invention, when the spiral brush is used as a dust removal port of the dust collector, in which a spiral brush is formed in parallel to form a hair spiral surface around a central axis located at the center of the filter, the dust brush is often collected. By driving the inner surface of the filter in the writing direction from the top to the bottom, the drive device can smoothly and efficiently separate the particulate dust from the spiral brush and the filter.
또한, 본 발명장치에서, 집진장치가 액분리장치의 윗쪽에 배치되어, 집진장치의 도입구가 액분리장치의 도출구와 겸용되는 경우에는, 집진장치로부터 낙하하는 분진을 액분리실에 낙하시켜 액분리실의 저부에 저류시킬 수 있고, 이에 따라, 액분리장치와 집진장치와의 사이에서, 기류로부터 분진이 분리되어 퇴적하는 것이나 액분리장치로부터 집진장치까지의 유로저항에 의한 압손이 생기는 것 등이 방지됨과 동시에, 장치전체가 한층 더 콤팩트화되고, 또한, 회수된 분진 등의 후처리장으로의 운반의 안전성이 높아지게 된다.Also, in the present invention, when the dust collector is disposed above the liquid separator, and the inlet of the dust collector is combined with the outlet of the liquid separator, the dust falling from the dust collector is dropped into the liquid separation chamber so that the liquid separation chamber is separated. This prevents dust from separating and depositing from the air stream and from causing pressure loss due to flow resistance from the liquid separator to the dust collector between the liquid separator and the dust collector. At the same time, the whole apparatus becomes more compact, and the safety of transport to the aftertreatment plant, such as collected dust, becomes high.
덧붙여, 본 발명장치에서, 집진장치의 필터가 내측에서 외측에 순서로 눈이 작아지는 3층 이상의 필터를 적층한 적층 필터로 구성되는 경우에는, 각 층의 필터의 눈의 겹치고, 특히, 최종층과 그 이전의 층의 필터 눈의 겹침에 따라 포집가능한 분진의 최소입경을 0.3μm보다도 작게 할 수 있다.In addition, in the present invention, when the filter of the dust collector is composed of a laminated filter in which three or more layers of filters are formed in which the eyes become smaller in order from the inner side to the outer side, the eyes of the filters of the respective layers overlap, in particular, the final layer. The minimum particle diameter of the dust which can be collected can be made smaller than 0.3 micrometer by the overlap of the filter eye of the layer and the previous layer.
이 경우, 상기 적층 필터가, 눈의 크기가 200μm 정도의 제1층 필터와, 눈의 크기가 50-200μm의 제2층 필터와, 눈의 크기가 1-50μm의 제3층 필터로 이루어지는 3층의 적층필터로 이루어지는 경우에는, 포집가능한 분진의 최종입경을 0.01μm 정도로 할 수 있다.In this case, the laminated filter includes a first layer filter having an eye size of about 200 μm, a second layer filter having a size of 50-200 μm, and a third layer filter having an eye size of 1-50 μm. In the case of a laminated filter of layers, the final particle diameter of the dust that can be collected can be about 0.01 μm.
그리고, 이 3층의 적층 필터로, 집진장치의 필터를 구성하는 경우에는, 적층 필터의 두께를 0.5-20 mm 이상으로 하여, 제1층 필터의 두께가 적층 필터의 전두께의 20-50%, 제2층 필터의 두께가 적층 필터의 전두께의 30-60%, 제3층 필터의 두께가 적층필터의 전두께의 1-25%로 함으로써, 충분한 기계적 강도를 얻을 수 있을 뿐 만 아니라, 우수한 분진의 제거효과를 얻을 수 있다.And when the filter of a dust collector is comprised with this laminated filter of 3 layers, the thickness of a laminated filter shall be 0.5-20 mm or more, and the thickness of a 1st layer filter is 20-50% of the total thickness of a laminated filter. When the thickness of the second layer filter is 30-60% of the total thickness of the multilayer filter and the thickness of the third layer filter is 1-25% of the total thickness of the multilayer filter, not only sufficient mechanical strength can be obtained, Excellent dust removal effect can be obtained.
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