KR100259259B1 - 표면피복서어멧블레이드부재 - Google Patents

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후지무라 마사지카, 아키모토 유미
미쓰비시 마테리알 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은, 서어멧기체와 그 위에 형성된 평균두께 0.5∼20㎛의 경질층으로 이루어진 표면피복서어멧블레이드부재를 개시한다.
서어멧기체는, 결합상으로서, 코발트, 니켈, 철 및 알루미늄 중 1종 또는 2종 이상을 5∼30중량%를 함유하고, 나머지가 경질분산상으로서의 금속탄질화물 및 불가피불순물로 이루어진다. 금속탄질화물의 금속은 티탄, 텅스텐과, 탄탈, 니오븀, 바나듐, 지르코늄, 몰리브덴, 크롬 중 1종 또는 2종 이상이다.
기체는 내부보다 경도가 높은 표면부를 보유한다. 경질층은 단층 또는 복수의 피복층으로 구성될 수 있으며, 각 피복층은 TiX(단, X는 탄소, 질소, 산소, 붕소 중 1종 또는 2종 이상) 또는 Al2O3로 형성된다.

Description

표면피복서어멧블레이드부재
제1도는 본 발명의 표면피복블레이드부재에 있어서 기체표면으로부터의 깊이와 비커스경도 사이의 관계를 나타내는 그래프이다.
제2도는 비교블레이드부재를 나타내는 제1도와 유사한 그래프이다.
본 발명은, 고속절삭작업에서 우수한 내마모성을 나타내고, 단속(斷續)절삭작업에서 우수한 내결손성을 나타내는 표면피복서어멧블레이드부재(surface coated cermet blade member)에 관한 것이다.
일반적으로, 결합상(相) 형성성분이 코발트(Co), 니켈(N) 등의 철족금속중 1종 또는 2종이상으로 이루어지고, 나머지가 경질분산상(相) 형성성분으로서, 조성식(Ti, M)(C, N)[단, M은 탄달(Ta), 니오븀(Nb), 바나듐(V), 지르코늄(Zr), 텅스텐(W), 몰리브덴(Mo), 및 크롬(Cr) 중 1종 또는 2종 이상]으로 표시되는 탄질화물(carbo-nitride) 및 불가피불순물로 이루어지는 조성을 보유하는 서어멧 기체(基體) 표면에, TiX[단, X는 탄소(C), 질소(N), 산소(O), 붕소(B) 중 1종 또는 2종 이상] 또는 Al2O3중 1종의 단층 또는 2종 이상의 복수층으로 구성된 평균두께 0.5∼20㎛를 보유하는 경질층을 피복하여 이루어지는 표면피복서어멧블레이드부재가 공지되어 있다.
예를 들어, 일본 특개소53-131910호 공보에는, 상기한 서어멧기체표면에 TiCO, TiCNO 등의 티탄화합물 또는 Al2O3의 단층, 또는 티탄화합물 및 또는 Al2O3의 복수층으로 구성된 평균두께 0.5∼20㎛를 보유하는 경질층을 피복하여 이루어지는 서어멧이 기재되어 있고, 일본 특개소56-62960호 공보에는, 상기한 서어멧기체표면에 결합상 형성성분이 분산된 TiC 중간층을 개재하여 TiN, TiCN 등의 티탄화합물 또는 Al2O3의 단층, 또는 티탄화합물 및/또는 Al2O3의 복수층으로 구성된 경질층을 피복하여 이루어지는 표면피복서어멧이 기재되어 있으며, 또 일본 특개소63-134654호 공보에는, 평균입경(粒徑)이 0.5㎛ 이하인 TiC, TiN, TiCN 등과 같은 티탄화합물의 단층 또는 복수층으로 구성된 경질층이 기재되어 있다.
그러나, 이들 3개의 공보에 기재되어 있는 표면피복서어멧은, 경질층과 서어멧기체 사이의 결합력이 낮으므로, 경질층이 분리되기 쉬워서 공구수명이 단축되는 결점이 있다.
그리고, 일본 특개평2-4972호 공보에는, 표면부가 경질분산상 형성성분만으로 이루어지는 서어멧기체 표면에 TiC, TiN, TiCN 등과 같은 티탄화합물의 단층, 또는 복수층으로 이루어지는 경질층을 피복하여 이루어지는 표면피복블레이드부재가 기재되어 있다.
그러나 서어멧기체의 표면내부에 결합상 형성성분이 존재하지 않으므로, 블레이드부재가 결손되기 쉽다.
또한, 일본 특개평2-22455호 공보에는, 표면부의 C/C+N의 비가 내부에 비해서 높은 서어멧기체의 표면에, TiC, TiN, TiCN 등과 같은 티탄화합물의 단층, 또는 복수층을 피복하여 이루어지는 표면피복서어멧블레이드부재가 기재되어 있지만, 이 블레이드부재도 역시, 표면부에서 탄소함량이 크므로 내결손성이 좋지 않다.
이와 같이, 여러 가지 형태의 표면피복서어멧블레이드부재가 개발되어 왔지만, 근년에 노동력 절감화 및 고능률화에 대한 강한 요구로 인하여, 종래에 비해 절삭속도의 향상 및 한층 가혹한 단속절삭이 요구되는 경향에 있으므로, 종래의 표면피복서어멧블레이드부재를 사용하여 고속절삭을 행하면, 내마모성이 부족하고, 또한 단속절삭시에는 내결손성이 불충분하여서, 공구의 사용수명이 단축되는 문제가 있었다.
따라서, 본 발명의 고속절삭 및 가혹한 조건하에서의 단속절삭작업에 사용될 때 우수한 성능을 나타내는 표면피복서어멧블레이드부재를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
본 발명에 의하면, 결합상 형성성분으로서, 코발트, 니켈, 철 및 알루미늄 중 1종 또는 2종 이상을 5∼30중량% 함유하고, 나머지가 경질분산상 형성성분으로서 티탄, 텅스텐 등의 금속과, 탄탈, 니오븀, 바나듐, 지르코늄, 몰리브덴, 크롬 중 1종 또는 2종 이상인 부가금속의 탄질화물 및 불가피불순물로 이루어지고, 표면으로부터의 깊이가 1mm 이하인 표면부와 표면으로부터의 깊이가 1mm 이상인 내부로 구성되며, 표면부의 경도가 내부의 경도보다 큰 서어멧기체와, 상기한 서어멧기체의 표면에, TiX(단, X는 탄소, 질소, 산소, 붕소 중 1종 또는 2종 이상) 및 Al2O3중에서 선택되는 피복화합물로 형성된 1종의 단층 또는 2종 이상의 복수층을 피복하여 이루어진 평균두께 0.5∼20㎛의 경질층으로 구성되는 표면피복서어멧블레이드부재가 제공된다.
본 발명자들은 상기한 요구를 충족시키는 표면피복서어멧블레이드부재를 얻기 위해서 광범위한 연구를 수행한 결과, 기체표면 근방의 서어멧기체부의 경도를 표면부 내측에 존재하는 내부의 경도보다 크도록 증가시키면, 경질층과 경질표면부 사이의 부착강도를 증가시킬 수 있어서, 한층 가혹한 조건하에서 고속절삭 및 단속절삭작업에 표면피복블레이드부재를 사용한 경우에도 극히 우수한 내결손성 및 내마모성을 보유함을 알게 되었다.
본 발명은 상기한 발견에 기초하여서, 서어멧기체가 결합상 형성성분으로서, 코발트, 니켈, 철 및 알루미늄중 1종 또는 2종 이상을 5∼30중량% 함유하고, 나머지가 경질분산상 형성성분으로서 티탄, 텅스텐 등의 금속과, 탄탈, 니오븀, 바나듐, 지르코늄, 몰리브덴, 크롬 중 1종 또는 2종 이상인 부가금속의 탄질화물 및 불가피불순물로 이루어지고, 표면부의 경도가 내부의 경도보다 크며, 서어멧기체의 표면에 형성되는 경질층은 그 평균두께가 0.5∼20㎛이고, TiX(단, X는 탄소, 질소, 산소, 붕소 중 1종 또는 2종 이상) 또는 Al2O3의 단층, 또는 TiX 및/또는 Al2O3의 복수 피복층으로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 표면피복서어멧블레이드부재를 제공한다.
상술한 내용중, "표면부"라는 용어는 서어멧기체의 표면으로부터 1mm 이하, 바람직하게는 100㎛ 깊이 이하인 서어멧기체의 표면근방부분으로서 정의되고, "내부"라는 용어는 표면으로부터 깊이 1mm 이상인 표면부의 내측부분으로서 정의된다.
표면부 및 내부의 경도는, 측정점을 결정한 후에 비커스경도시험기 또는 로크웰경도시험기를 사용하여 측정할 수 있다.
상기한 구성의 표면피복블레이드부재는, 우선, 결합상 형성성분으로서 코발트, 니켈, 알루미늄, 철 중 1종 또는 2종 이상을 5∼30중량% 함유하고, 나머지가 금속탄질화물의 경질분산상 형성성분 및 불가피불순물인 압분체(壓粉體)를 준비하여 제조된다.
이 압분체를 상온으로부터 1100∼1400℃까지의 온도범위로 진공분위기중에서 가열하고, 계속해서 상기한 온도범위에서 질소를 도입하여 서어멧기체의 표면이 탈질(脫窒)할 정도의 감압질소분위기, 즉 질소분압 5∼100Torr에서 소결공정을 행한 후, 소결공정의 최종단계 및 후속하는 냉각공정을 진공분위기 또는 불활성 가스분위기 등의 비산화분위기 중에서 수행한다.
이러한 공정에 의해서 표면부가 내부에 비해 경도가 높은 서어멧기체를 획득할 수가 있다.
이와 같이 형성된 서어멧기체의 표면에 화학적기상증착법(CVD : Chemical vapor deposition)이나 물리적기상증착법(PVD : physical vapor deposition)으로 상기한 조성의 단층 또는 복수층으로 구성된 경질층을 피복한다.
상술한 바와 같이, 기체의 표면이 탈질할 정도의 감압질소분위기에서 소결공정을 행하고, 진공분위기 또는 불활성 가스분위기 등의 비산화분위기 중에서 후속하는 냉각공정을 행하면 생성되는 서어멧기체의 표면부는, 내부에 비해서 코발트나 니켈 등의 결합금속은 적게 보유하지만, 티탄보다 강도가 높은 텅스텐을 보다 많이 보유하게 된다.
따라서, 생성된 표면피복블레이드부재에 있어서, 경질층과 기체의 경질표면부 사이의 부착강도를 강화시킬 수 있어 내마모성 및 내결손성을 대단히 증가시킬 수 있다.
또, 비산화분위기 중에서의 냉각공정에 앞서서, 소결공정을 보다 덜한 탈질분위기, 예를 들어 높은 질소압력 또는 낮은 소결온도의 분위기 중에서 행하는 경우에, 주위구조(surrounding structure)가 없이 코어구조로만 구성된 얇은 표면층이 최외부에 깊이 10㎛ 이하 존재할 수 있다.
이와 같은 경우에, 결합금속상은 상기한 최외부에서 풍부하고 최외부 바로아래의 표면부에서 가장 낮게 되며, 내부에서의 결합상의 양은 소결이전의 혼합물의 양에 가깝다.
따라서, 엄밀히 말하면, 최외면부에서는 경도가 낮지만 최외면부 바로아래의 표면부에서 경도가 가장 높고, 내부는 서어멧기체가 본래 보유하는 경도를 보유하고 있다고 생각된다.
그러나, 최외부가 결합금속상을 풍부하게 보유하여서 경도가 낮지만, 최외부의 두께가 매우 얇고 최외부 바로아래의 표면부의 경도가 가장 높기 때문에 블레이드 부재는 높은 내결손성 및 내마모성을 보유한다.
또한, 진공중에서의 냉각속도를 감소시키면, 결합금속상이 서어멧표면에 0.5∼3㎛의 두께로 스며나올수 있다.
그러나, 이러한 경우에도, 코발트분포와 경도기울기는 상술한 바와 동일하여서, 본 발명의 목적을 충분히 달성할 수 있다.
그리고, 상술한 바와 같이 소결공정에 의해 얻어진 서어멧기체를 경질층의 화학적 또는 물리적 기상증착 이전에 연마할 수 있으며, 물리적기상증착공정을 실시하는 경우에는, TiC, TiN, TiCN 등의 피복에 앞서서 최하층으로서의 기체위에 금속티탄을 피복할 수 있는데, 이 경우 금속티탄층의 두께는 1㎛ 이하인 것이 바람직하다.
또한, 화학기상증착공정을 실시하는 경우에는, 저온에서 피복을 실시하는 것이 바람직한데, 이것은 피복을 고온에서 행하면 기체내의 결합금속이 경질층내로 확산하여서 내마모성이 지나치게 저하되기 때문이다.
또, 본 발명에 의한 표면피복서어멧블레이드부재에 있어서는, 결합상 형성성분으로서, 코발트, 니켈, 철, 알루미늄 중 1종 또는 2종 이상을 5∼30중량% 함유하는 것이 필요하지만, 내마모성 및 내결손성의 평형을 위해서 상기한 결합상 형성성분의 양은 10∼20중량%가 바람직하다.
마찬가지로, 경질층의 평균두께는 0.5∼20㎛로 되도록 정해지지만, 2∼10㎛의 범위가 보다 바람직하다.
경질층의 부착강도는 서어멧기체, 특히 기체표면부의 경도에 의해 영향을 받으므로, 표면부의 경도는, TiC, TiN, TiCN 등의 티탄화합물 또는 Al2O3의 단층이나 TiC, TiN, TiCN 등의 티탄화합물 및/또는 Al2O3의 복수층으로 구성된 경질층의 경도에 근사하는 것이 바람직하다.
서어멧기체의 표면부의 경도가 낮으면, 경질층과의 사이에 경도의 불연속부분이 발생하므로, 단속절삭과 같은 절삭작업시에 블레이드부재가 충격을 받으면, 서어멧기체의 표면부가 변형하여서 경질층이 기체로부터 박리하게 된다.
또한, 서어멧기체 내부의 경도가 지나치게 높으면, 인성이 부족하게 되어서, 균열(crack)의 전파저항을 저하시키므로, 단속절삭 등의 가혹한 절삭조건하에서 사용할 때에 블레이드부재가 결속하게 되어 바람직하지 않다.
이 때문에, 100g의 하중에 대하여 최대비커스경도가 기체표면부에서는 2000이상이고, 기체내부에서는 2000미만인 것이 바람직하며, 표면부의 경도는 기체표면과 깊이 100㎛ 사이에서 최대인 것이 바람직하다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 의한 표면피복블레이드부재는, 연속절삭작업 및 가혹한 조건의 단속절삭작업에 사용하여도 우수한 내마모성 및 내결손성을 나타내므로, 실용에 있어서 우수한 성능을 장기간에 걸쳐서 발휘할 수 있다.
이하, 실시예를 참고하여 본 발명을 상세하게 설명한다.
[실시예 1]
원료분말로서, 모두 1.5㎛의 평균입경을 보유하는 TiCN, TiC, TiN, TaC, NbC, WC, Mo2C, VC, Co, Ni, NiAl의 분말을 준비하고, 이들 분말을 각각 표 1 및 표 2에 표시되는 여러 가지 배합조성으로 배합하고, 보올밀(ball mill)에서 72시간동안 습식혼합해서 건조한 후, 이 혼합물을 1.5ton/㎠의 압력하에서 압분체로 프레스성형하고, 이 압분체를 표 3 및 표 4에 표시되는 소결조건으로 소결하여 서어멧기체(A)∼(M) 및 서어멧기체(a)∼(m)를 제조하였다.
계속해서, 이 서어멧기체의 표면에 표 5 및 표 6에 표시되는 방법으로 경질층을 피복하여서, 본 발명의 표면피복블레이드부재(1)∼(14) 및 비교표면피복블레이드부재(1)∼(14)를 제조하였다.
다음에, 상기한 블레이드부재 각각에 대해서, 기체표면으로부터 20㎛ 깊이의 표면부와 기체표면으로부터 1mm 깊이의 내부의 경도를, 비커스경도시험기를 사용하여 100g의 하중하에서 측정해서, 그 결과를 표 7 및 표 8에 나타내었다.
그리고, 본 발명의 표면피복블레이드부재(3), (11), (13)와 비교표면피복블레이드부재(3), (11), (13)에 대해서, 기체표면으로부터 20㎛ 깊이의 표면부에서의 Co, Ni, W 함량과 기체표면으로부터의 1mm 깊이의 내부에서의 Co, Ni, W 함량을 측정해서, 그 결과를 표 9에 나타내었다.
또, 각 블레이드부재의 구조를 관찰하였는데, 본 발명의 블레이드부재(3)의 관찰에서는, Co 또는 Ni 등의 결합금속이 경질층의 바로아래, 즉 서어멧기체의 표면 위로 스며나와 있음을 발견하였다. 경질분산상은 내부에 비해 표면부에서 다소 거칠었다.
본 발명의 블레이드부재(11)에 관해서는, 표면부의 경질분산상이 내부의 경질분산상보다 거칠었다.
본 발명의 블레이드부재(13)에 있어서는, 주위 구조가 없이 코어구조로만 구성된 최외부가 경질층의 바로아래, 즉 기체표면위에 두께 2∼3㎛로 형성되어 있으며, 최외부 아래의 경질분산상은 내부보다 거칠었다.
비교블레이드부재(3), (11), (13)에 관해서는, 기체의 표면이 다소 불규칙하지만, 표면부와 내부 사이의 구조의 현저한 차이는 없었다.
또, 본 발명의 표면피복블레이드부재(3), (11), (13)와 비교블레이드부재(3), (11), (13)에 대해서는 기체표면으로부터 깊이 2mm까지의 부분에 대해 경도분포를 측정하여서, 그 결과를 제1도 및 제2도에 표시하였다.
기체표면으로부터 깊이 10㎛ 이하의 부분의 경도는 비커스 인덴테이션(indentation)의 크기 때문에 측정할 수가 없어서, 10㎛의 깊이로부터 2mm 깊이까지의 경도분포를 나타낸다.
그 결과로부터 알 수 있듯이, 최대경도를 보유하는 부분은, 본 발명의 블레이드부재(3), (11) 각각에 대해 기체표면과 깊이 10㎛ 사이에 존재하고 있다.
본 발명의 블레이드부재(13)에서는, 최대경도부가 깊이 20㎛ 근방의 부분에 존재하였고, 한편 비교블레이드부재(3), (11), (13)에서는 최대경도가 뚜렷하게 관찰되지 않았다.
다음에, 상기한 본 발명의 블레이드부재(1)∼(14) 및 비교블레이드부재(1)∼(14)를 사용하여 ISO 규격의 CNMG 120408을 보유하는 절삭인서어트(insert)를 제조한 후, 내마모성 특성을 평가하기 위해서, 각 인서어트를 다음과 같은 조건하에서 고속절삭시험을 실시하였다.
절삭재 : JIS SCM415(브리넬경도 : 140)의 환봉
절삭속도 : 300m / 분
이송속도 : 0.2mm / 회전
절삭시간 : 30분
이 시험에서는, 절삭날의 플랭크(flank) 마모폭을 측정하여서, 그 결과를 표 7 및 표 8에 나타낸다.
또한, 내결손특성을 평가하기 위해서, 상기한 절삭인서어트를 다음과 같은 조건하에서 고속단속절삭시험을 실시하였다.
절삭재 : JIS SCM440(브리넬경도 : 220)의 홈파진 환봉
절삭속도 : 220m / 분
이송속도 : 0.18mm / 회전
절삭깊이 : 1.0mm
절삭시간 : 3분
이 시험에서는, 시험인서어트당 결손인서어트의 수를 조사하여 그 결과를 표 7 및 표 8에 나타낸다.
표 1 내지 표 9에 표시된 결과로부터 알 수 있듯이, 1100∼1400℃의 온도범위로 가열한 시점에서 질소를 도입하고, 소결체의 표면부가 탈질할 정도의 분위기를 형성하도록 질소의 도입량을 조절하고, 소결의 최종단계와 냉각공정을 진공에서 실시하는 것으로 이루어진 소결작업에 의해 얻어진 본발명의 표면피복블레이드부재(1)∼(14)에 있어서는, 기체의 내부보다도 기체의 표면부에서의 경도가 높다.
이러한 구성의 블레이드부재는, 내부의 경도와 거의 동일한 경도를 보유하는 기체표면부로 구성된 각각의 비교블레이드부재(1)∼(14)에 비해서, 연속절삭작업에 있어서의 플랭크마모폭이 작으며, 단속절삭작업시에 결손의 영향을 덜 받는다.
[실시예 2]
실시예1의 본 발명의 서어멧기체(K)와 비교서어멧기체(k)를 ISO 규격이 TNGA 160408을 보유하는 인서어트로 성형한 후, 그 위에 TiN(0.5㎛)-TiCN(3㎛)-TiN(0.5㎛)으로 구성된 경질층을 형성하여 본 발명의 표면피복블레이드부재(15)∼(19) 및 비교블레이드부재(15)를 준비하였다.
이와 같이 형성된 각 블레이드부재에 대해서, 표면으로부터 20㎛ 깊이의 표면부 및 표면으로부터 1mm 깊이의 내부에 대한 비커스경도(하중 : 100g)를 측정하여서, 그 결과를 표 10에 나타내었다.
다음에 내마모성 및 내결손성을 평가하기 위해서, 실시예1과 동일한 절삭시험을 실시하여 그 결과를 표 10에 나타내었다.
표 10으로부터 알 수 있듯이, 본 발명의 표면피복블레이드부재(15)∼(19) 각각에 있어서는, 깊이 20㎛에서의 표면부의 경도가 깊이 1mm에서의 내부경도보다 높고, 비교블레이드부재(15)에 있어서는, 표면부 및 내부의 경도가 동일하다.
또한, 기체표면부의 일부를 연마하여도, 본 발명의 표면피복블레이드부재(15)∼(19)는 비교블레이드부재(15)에 비해 연속절삭작업에서 플랭크마모폭이 작다.
[표 1]
[표 2]
[표 3]
[표 4]
[표 5]
[표 6]
[표 7]
[표 8]
[표 9]
[표 10]

Claims (18)

  1. 결합상으로서, 코발트, 니켈, 철 및 알루미늄 중 1종 또는 2종 이상을 5∼30중량% 함유하고, 나머지는 경질분산상으로서, 티탄, 텅스텐 등의 금속과, 탄탈,니오븀, 바나듐, 지르코늄, 몰리브덴, 크롬 중 1종 또는 2종 이상인 부가금속의 탄질화물 및 불가피불순물로 이루어지고, 표면으로부터의 깊이가 1mm 이하인 표면부와 표면으로부터의 깊이가 1mm 이상인 내부로 구성되며, 상기한 표면부의 경도가 상기한 내부의 경도보다 큰 서어멧기체와,
    상기한 서어멧기체의 표면에 TiX(단, X는 탄소, 질소, 산소, 붕소 중 1종 또는 2종 이상) 및 Al2O3중에서 선택되는 피복화합물로 형성된 1종의 단층 또는 2종 이상의 복수층을 피복하여 이루어진 평균두께 0.5∼20㎛의 경질층으로 구성되어 있으며, 상기한 서어멧기체중의 티탄 농도는 42.46∼58.16중량%인 것을 특징으로 하는 표면피복서어멧블레이드부재.
  2. 제1항에 있어서, 상기한 결합상이 10∼20중량% 존재하는 것을 특징으로 하는 표면피복서어멧블레이드부재.
  3. 제1항에 있어서, 상기한 결합상이 코발트, 니켈 중 1종 또는 2종 이상으로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 표면피복서어멧블레이드부재.
  4. 제3항에 있어서, 상기한 결합상이 10∼20중량% 존재하는 것을 특징으로 하는 표면피복서어멧블레이드부재.
  5. 제1항에 있어서, 상기한 결합상의 형성성분이 0.5∼3㎛의 두께로 상기한 기체의 표면위에 스며나와 있는 것을 특징으로 하는 표면피복서어멧블레이드부재.
  6. 제1항에 있어서, 상기한 기체의 표면부는 주위구조가 없이 코어구조만으로 이루어져 있는 경질분산상을 포함하는 것을 특징으로 하는 표면피복서어멧블레이드부재.
  7. 제1항에 있어서, 상기한 표면부의 최대비커스경도는 2000 이상이고, 상기한 내부의 비커스경도는 2000 미만인 것을 특징으로 하는 표면피복서어멧블레이드부재.
  8. 제1항에 있어서, 최대경도를 보유하는 영역은, 기체표면과 깊이 100㎛ 사이의 부분에 존재하는 것을 특징으로 하는 표면피복서어멧블레이드부재.
  9. 제1항에 있어서, 상기한 기체의 표면부는 상기한 경질층의 형성 이전에 연마되는 것을 특징으로 하는 표면피복서어멧블레이드부재.
  10. 제9항에 있어서, 상기한 경질층의 형성 이전에 연마되는 레이크면(rake surface)을 보유하는 것을 특징으로 하는 표면피복서어멧블레이드부재.
  11. 제9항에 있어서, 상기한 경질층의 형성 이전에 연마되는 플랭크(flank)를 보유하는 것을 특징으로 하는 표면피복서어멧블레이드부재.
  12. 제1항에 있어서, 상기한 경질층의 피복층은 TiC, TiN, TiCN, TiCO, TiCNO, Al2O3중 1종 또는 2종 이상의 화학적기상증착층인 것을 특징으로 하는 표면피복소어멧블레이드부재.
  13. 제1항에 있어서, 상기한 경질층의 피복층은 TiC, TiN, TiCN 중 1종 또는 2종 이상의 물리적기상증착층인 것을 특징으로 하는 표면피복서어멧블레이드부재.
  14. 제13항에 있어서, 상기한 경질층은 복수의 상기한 피복층으로 구성되며, 상기한 기체에 인접하는 최하층은 티탄으로 형성되는 것을 특징으로 하는 표면피복서어멧블레이드부재.
  15. 제13항에 있어서, 상기한 경질층은 (Ti, Al)N 피복층으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 표면피복서어멧블레이드부재.
  16. 제1항에 있어서, 상기한 경질층의 평균두께가 2∼10㎛인 것을 특징으로 하는 표면피복서어멧블레이드부재.
  17. 제12항에 있어서, 상기한 경질층의 평균두께가 2∼10㎛인 것을 특징으로 하는 표면피복서어멧블레이드부재.
  18. 제13항에 있어서, 상기한 경질층의 평균두께가 2∼10㎛인 것을 특징으로 하는 표면피복서어멧블레이드부재.
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