KR100256052B1 - 잉커 테스트 장치 및 잉커 테스트 장치의 테스트 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 잉커 테스트 장치는 베이스의 윗면에 설치되고, 베이스의 윗면에 대하여 평행하게 소정 거리로 왕복 운동되는 제 1 이동부와, 제 1 이동부상에 설치되고, 일단에는 잉커가 결합되며, 제 1 이동부상에서 베이스의 윗면에 대하여 수직하게 소정 거리로 왕복 운동되는 제 2 이동부와, 제 1 이동부상에 설치되고, 일단에는 잉커에서 솔레노이드의 동작 여부를 감지하기 위한 제 1 센서가 결합되며, 제 1 이동부상에서 베이스의 윗면에 대하여 수직하게 소정 거리로 이동 가능한 제 3 이동부와, 제 1 이동부와 대향되도록 베이스의 윗면에 설치되고, 일단에는 잉커에서 잉크 라인의 동작 여부를 감지하기 위한 제 2 센서가 결합되며, 베이스의 윗면에 대하여 평행하게 소정 거리로 왕복 운동되는 제 4 이동부와, 웨이퍼가 위치되는 웨이퍼 로딩부와, 데이터 입력부와, 테스트 제어부와, 표시부와, 작동부 및 잉커에서 사용되는 전원이 공급되도록 하는 전원 공급부를 포함한다. 이와 같은 잉커 테스트 장치의 테스트 방법은 잉커를 제 2 이동부에 결합시키고, 제 1 이동부와 제 2 이동부를 사용하여 웨이퍼 로딩부에 로딩된 웨이퍼를 기준으로 잉커를 세팅하는 단계와, 제 1 센서와 제 2 센서를 잉커의 솔레노이드와 잉크 라인의 동작을 측정가능하도록 제 3 이동부와 제 4 이동부를 사용하여 세팅하는 단계와, 잉커를 테스트하기 위한 데이터를 입력시키는 단계와, 입력된 데이터를 실행하도록 잉커 테스트 장치에 지시하는 단계와, 테스트 제어부에서 동작신호를 발생하고, 동작신호에 응답하여 작동부에서 잉커가 작동되도록 하는 단계와, 잉커의 작동 상태가 상기 제 1 센서와 제 2 센서에서 검출되고, 그 결과가 표시부에 출력되는 단계 및 데이터 입력 단계에서 입력된 데이터에 의해서 테스트가 완료 또는 잉커 작동 단계가 반복 수행되도록 하는 단계를 포함한다.

Description

잉커 테스트 장치 및 잉커 테스트 장치의 테스트 방법(a test apparatus and method for an inker)
본 발명은 잉커 테스트 장치 및 잉커 테스트 장치의 테스트 방법에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 반도체 제조 공정에서 웨이퍼상의 불량칩을 표시하기 위하여 사용되는 잉커의 상태를 점검하기 위한 잉커 테스트 장치 및 잉커 테스트 장치의 테스트 방법에 관한 것이다.
잉킹 공정(inking process)은 반도체 제조 공정에서 웨이퍼를 구성하고 있는 각 칩의 전기적 특성을 검사하는 단계에 속하는 공정으로, 조립 공정(assembly process)에서 양품 칩(good chip)과 불량 칩(bad chip)을 구분하기 위하여 소정 잉크로 불량 칩에 표시를 하는 공정이다.
이와 같이 상기 잉킹 공정에서 사용되는 장치는 도 1에서 도시한 바와 같은 잉커(10)이다. 상기 잉커(10)는 잉킹 공정이 수행되는 시스템의 베이스(12)에 설치되어 상기 시스템의 작업대(14)에 로딩된 웨이퍼(16)의 불량 칩에 잉크 표시를 한다.
이때, 상기 잉커(10)에서 가장 중요한 점은 상기 잉크 라인(20)이 상기 솔레노이드(solenoid)(22)의 작동에 의해서 균일한 거리로 작동되고, 상기 솔레노이드(22)의 작동에 의해서 상기 잉크 라인(20)의 작동이 원활하게 이루어지는 것이다. 만일, 상기 잉크 라인(20)이 상기 웨이퍼(16)의 표면에 균일한 거리로 작용하지 않고, 상기 솔레노이드(22)의 작동에 의해서 상기 잉크 라인(20)의 이동이 안정적이지 않다면, 상기 웨이퍼(16)상에 형성되는 잉크 표시는 정확하게 표시되지 않을 수 있으며, 사용되는 잉크가 파티클(particle)로 작용되어 상기 웨이퍼(16)의 불량 요인으로 작용할 수 있다. 따라서, 상기 잉커(10)는 정기적으로 테스트하여 작동상태를 점검하여야 한다.
종래 잉커 테스트 방법은 프로브 스테이션(probe station)에서 제공하는 잉커 검사 버튼을 사용하여 해당 잉커 번호 소켓에 잉커를 연결하고, 잉커 번호를 연속적으로 누름으로써 진행하였다. 즉, 잉커를 연속 동작시켜서 동작상태를 육안으로 확인하여 1차로 동작상태를 점검한 후, 2차 검사 실행전에 웨이퍼의 가장자리 부분에서 검사를 진행하여 잉커의 동작상태를 확인하여 이상유무를 확인 후 검사를 진행하였다.
이와 같은 방법의 문제점은 잉커를 점검하기 위해서는 작업자가 일일이 손으로 한 동작씩 신호를 만들어 내어 잉커를 테스트해야 한다. 따라서, 작업자마다 동작 속도 및 동작 횟수의 차이가 발생하여 점검에 따른 오차에 따른 잉커 동작의 신뢰성을 판단할 수 없으며, 동작상태를 육안 확인함으로 오동작 검출에 한계가 발생한다. 또한, 잉커의 종류에 따라 동작조건의 변화 즉, 구동전압과 동작 횟수 그리고, 동작시간을 만들어 주어야 하지만, 종래 프로브 스테이션의 경우 일정 동작 전압 설정만이 가능하고, 동작 횟수의 지정이나 동작 시간의 설정이 불가능하여 잉커의 정확한 검사가 불가능하였다.
본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 잉커의 종류에 따른 동작 전압의 설정을 자유롭게 할 수 있고, 동작의 이상 유무를 자동적으로 검출가능한 새로운 형태의 잉커 테스트 장치 및 잉커 테스트 장치의 테스트 방법을 제공하는데 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 잉커 테스트 장치에서 테스트되는 잉커를 도시한 정면도,
도 2는 본 발명의 잉커 테스트 장치의 구성을 도시한 블록도,
도 3은 잉커 테스트 장치의 테스트 방법을 도시한 순서도,
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 잉커 테스트 장치를 도시한 주요 부분의 결합도,
도 5는 잉커 테스트 장치의 외관을 도시한 잉커 테스트 장치의 정면도,
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 잉커 테스트 장치의 테스트 방법을 도시한 순서도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
10 : 잉커 20 : 잉크 라인
22 : 솔레노이드 30,50 : 잉커 테스트 장치
32 : 고정부 34 : 위치 조정부
36,160 : 전원 공급부 38,170 : 데이터 입력부
40 : 테스트 제어부 42 : 작동부
44 : 감지부 46,140 : 웨이퍼 로딩부
48,190 : 표시부 52 : 베이스
60 : 제 1 이동부 62,82,124 : 마이크로미터
64 : 제 1 고정대 66 : 제 1 가이더
68 : 제 2 가이더 80 : 제 2 이동부
84 : 가이딩 로드 86 : 왕복대
90 : 탄성부재 100 : 제 3 이동부
102 : 제 1 센서 104 : 높이 세팅부
106 : 제 1 센서 로드 120 : 제 4 이동부
122 : 제 2 센서 126 : 제 2 고정대
128 : 제 2 센서 로드 142 : 웨이퍼
172 : 엔터 버튼 174 : 업 버튼
176 : 다운 버튼 178 : 셋 버튼
180 : 작동 버튼
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 특징에 의하면, 잉커 테스트 장치는 잉커가 결합되는 고정부와; 상기 고정부와 결합되어 상기 고정부가 수직.수평으로 이동되도록 하는 위치 조정부와; 상기 잉커에서 사용되는 전원이 공급되도록 하는 전원 공급부와; 상기 잉커의 테스트 데이터를 입력받는 데이터 입력부와; 상기 데이터 입력부에 입력된 데이터를 사용하여 상기 잉커의 테스트를 제어하는 테스트 제어부와; 상기 테스트 제어부의 제어에 의해서 상기 잉커가 작동되도록 하는 작동부와; 상기 잉커의 작동 여부를 검출하여 상기 테스트 제어부로 소정 신호가 전송되도록 하는 감지부 및 상기 테스트 제어부로부터 전송되는 상기 잉커의 테스트 결과가 출력되는 표시부를 포함한다.
이와 같은 본 발명에서 웨이퍼가 재치되는 웨이퍼 로딩부를 포함한다. 상기 표시부는 상기 테스트 제어부로부터 상기 잉커의 테스트 결과를 전송받아 외부로 출력되도록 하는 디스플레이를 포함한다. 상기 데이터 입력부는 상기 잉커의 동작 횟수와 동작 시간 그리고, 비동작 시간을 입력받는 것을 포함한다. 상기 표시부는 상기 잉커가 작동되지 않는 횟수가 출력된다. 상기 감지부는 상기 잉커에서 잉킹되는 부분에 위치한 잉크 라인의 작동 여부를 감지하는 제 1 감지부 및 상기 잉크 라인이 작동되도록 동작되는 솔레노이드의 작동 여부를 감지하는 제 2 감지부를 포함한다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 특징에 의하면, 잉커 테스트 장치의 테스트 방법은 잉커를 잉커 테스트 장치에 세팅하는 단계와; 상기 잉커에서 작동되는 상태를 측정하기 위한 부분에 감지부를 세팅하는 단계와; 상기 잉커를 테스트하기 위한 데이터를 입력시키는 단계와; 상기 데이터를 사용하여 상기 잉커 테스트 장치에서 테스트를 진행하는 단계 및 상기 잉커의 테스트 결과를 출력하는 단계를 포함한다.
이와 같은 본 발명에서 상기 데이터 입력 단계는 상기 잉커에서 사용되는 전원을 전원 공급부에 입력시키는 단계 및 상기 잉커의 동작 조건을 데이터 입력부에 입력시키는 단계를 포함한다. 상기 잉커 세팅 단계에서 상기 잉커의 잉크 라인을 잉킹 공정시 웨이퍼의 표면과 유지되는 거리로 세팅한다. 상기 데이터 입력 단계에서는 상기 잉커의 동작 횟수와 동작 시간 그리고, 비동작 시간을 입력하고, 상기 테스트 진행 단계에서는 상기 동작 횟수에 따라 반복적으로 상기 잉커를 동작시킨다. 상기 출력 단계에서는 상기 테스트 진행 단계에서 발생되는 상기 잉커의 비동작 횟수를 카운터하여 출력한다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 잉커 테스트 장치는 소정 크기로 형성된 윗면을 갖는 베이스와; 상기 베이스의 윗면에 설치되고, 상기 베이스의 윗면에 대하여 평행하게 소정 거리로 왕복 운동되는 제 1 이동부와; 상기 제 1 이동부상에 설치되고, 일단에는 잉커가 결합되며, 상기 제 1 이동부상에서 상기 베이스의 윗면에 대하여 수직하게 소정 거리로 왕복 운동되는 제 2 이동부와; 상기 제 1 이동부상에 설치되고, 일단에는 상기 잉커에서 솔레노이드의 동작 여부를 감지하기 위한 제 1 센서가 결합되며, 상기 제 1 이동부상에서 상기 베이스의 윗면에 대하여 수직하게 소정 거리로 이동 가능한 제 3 이동부와; 상기 제 1 이동부와 대향되도록 상기 베이스의 윗면에 설치되고, 일단에는 상기 잉커에서 잉크 라인의 동작 여부를 감지하기 위한 제 2 센서가 결합되며, 상기 베이스의 윗면에 대하여 평행하게 소정 거리로 왕복 운동되는 제 4 이동부와; 상기 베이스의 윗면에서 상기 제 1 이동부와 제 4 이동부의 사이에 설치되고, 상기 잉커의 테스트에 사용되는 웨이퍼가 위치되는 웨이퍼 로딩부와; 상기 베이스에 설치되고, 상기 잉커를 테스트하기 위한 데이터를 입력받는 데이터 입력부와; 상기 베이스에 설치되고, 상기 데이터 입력부로부터 입력된 데이터를 사용하여 상기 잉커의 테스트를 제어하는 테스트 제어부와; 상기 베이스에 설치되고, 상기 잉커의 테스트 결과를 출력하기 위한 표시부와; 상기 테스트 제어부의 제어에 의해서 상기 잉커가 작동되도록 하는 작동부 및 상기 잉커에서 사용되는 전원이 공급되도록 하는 전원 공급부를 포함한다.
이와 같은 본 발명에서 상기 제 1 이동부와 제 2 이동부 그리고, 제 4 이동부는 각각 마이크로미터와 결합되어 작동된다. 상기 웨이퍼 로딩부는 상기 웨이퍼를 진공 흡착방식으로 고정한다. 상기 데이터 입력부는 입력되는 사항을 표시하기 위한 엔터 버튼과; 상기 엔터 버튼에 의해서 표시된 사항의 데이터를 입력하기 위한 업 및 다운 버튼과; 상기 업 및 다운 버튼에 의해서 입력된 내용을 세팅하기 위한 셋 버튼 및 상기 입력된 데이터에 의해서 상기 테스트 제어부가 동작되도록 하는 신호를 발생시키거나, 정지되도록 하는 신호를 발생시키는 작동 버튼을 포함한다. 상기 제 1 이동부는 상기 베이스에 결합되고, 상기 베이스의 윗면으로부터 소정 높이를 갖는 제 1 고정대와; 상기 베이스의 측면 방향으로 향하는 상기 제 1 고정대의 일면에 결합되고, 상기 제 1 고정대를 통하여 회전축이 왕복 운동되는 마이크로미터와; 상기 마이크로미터가 설치된 상기 제 1 고정대의 타면에서 상기 제 1 고정대를 통하여 상기 마이크로미터의 회전축과 결합되어 왕복 운동되는 제 1 가이더 및 상기 제 1 가이더상에 결합되고, 상기 베이스에 대하여 윗 방향으로 연장되며, 소정 높이에서 상기 베이스의 윗면과 평행하게 소정 길이로 형성된 제 2 가이더를 포함한다. 상기 제 2 이동부는 상기 제 1 가이더와 제 2 가이더 사이에 위치하고, 양 끝단이 상기 제 1 및 제 2 가이더에 각각 결합된 적어도 하나의 가이딩 로드와; 상기 제 1 가이더와 제 2 가이더 사이에 위치하고, 상기 가이딩 로드에 슬라이딩가능하도록 결합되며, 상기 잉커가 결합되는 왕복대 및 상기 제 2 가이더에 결합되고, 상기 제 2 가이더를 통하여 상기 왕복대와 결합되며, 상기 왕복대를 소정 거리로 왕복 운동되도록 하는 마이크로미터를 포함한다. 상기 제 1 가이더와 왕복대 그리고, 상기 제 2 가이더와 왕복대 사이에 탄성부재를 부가한다. 상기 제 3 이동부는 상기 제 2 가이더상에서 상기 베이스의 윗면에 대하여 상.하 소정 거리로 이동가능하도록 결합된 높이 세팅부 및 상기 높이 세팅부로부터 상기 베이스에 대하여 수평한 방향의 소정 길이로 연장되고, 끝단에 상기 제 1 센서가 결합되는 제 1 센서 로드를 포함한다. 상기 제 4 이동부는 상기 베이스에 결합되고, 상기 베이스의 윗면으로부터 소정 높이를 갖는 제 2 고정대와; 상기 베이스의 측면 방향으로 향하는 상기 제 2 고정대의 일면에 결합되고, 상기 제 2 고정대를 통하여 회전축이 왕복 운동되는 마이크로미터 및 상기 마이크로미터가 설치된 상기 제 2 고정대의 타면에서 상기 제 2 고정대를 통하여 상기 마이크로미터의 회전축과 결합되고, 끝단에 상기 제 2 센서가 결합며, 소정 거리로 왕복 운동되는 제 2 센서 로드를 포함한다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 잉커 테스트 장치의 테스트 방법은 잉커를 제 2 이동부에 결합시키고, 제 1 이동부와 제 2 이동부를 사용하여 웨이퍼 로딩부에 로딩된 웨이퍼를 기준으로 상기 잉커를 세팅하는 단계와; 제 1 센서와 제 2 센서를 상기 잉커의 솔레노이드와 잉크 라인의 동작을 측정가능하도록 제 3 이동부와 제 4 이동부를 사용하여 세팅하는 단계와; 상기 잉커를 테스트하기 위한 데이터를 입력시키는 단계와; 상기 입력된 데이터를 실행하도록 잉커 테스트 장치에 지시하는 단계와; 테스트 제어부에서 동작신호를 발생하고, 상기 동작신호에 응답하여 작동부에서 상기 잉커가 작동되도록 하는 단계와; 상기 잉커의 작동 상태가 상기 제 1 센서와 제 2 센서에서 검출되고, 그 결과가 표시부에 출력되는 단계 및 상기 데이터 입력 단계에서 입력된 데이터에 의해서 테스트가 완료 또는 상기 잉커 작동 단계가 반복 수행되도록 하는 단계를 포함한다.
이와 같은 본 발명에서 상기 데이터 입력 단계는 상기 잉커의 동작 조건을 데이터 입력부에 입력시키는 단계 및 상기 잉커에서 사용되는 전원을 전원 공급부에 입력시키는 단계를 포함한다. 상기 데이터 입력 단계는 상기 잉커의 동작 횟수와 동작 시간 그리고, 비동작 시간을 데이터 입력부에 입력시킨다. 상기 테스트 진행 판단 단계는 상기 잉커의 동작 횟수를 카운터하고, 상기 데이터 입력 단계에서 입력된 상기 잉커의 동작 횟수보다 많으면 테스트가 완료된다. 상기 테스트 진행 단계는 상기 잉커의 솔레노이드의 작동여부를 검출하는 단계와; 상기 솔레노이드가 비작동시 카운터하는 단계 및 상기 표시부에 출력하는 단계를 포함한다. 상기 테스트 진행 단계는 상기 잉커의 잉크 라인의 작동여부를 검출하는 단계와; 상기 잉크 라인가 비작동시 카운터하는 단계 및 상기 표시부에 출력하는 단계를 포함한다.
본 발명은 잉킹 공정에 사용되는 잉커를 자동으로 검사할 수 있는 잉커 테스트 장치 및 테스트 방법을 제공하여 잉커 테스트를 편리하고, 정확하게 수행하기 위한 것이다.
도 1를 참조하면, 잉커(10)에서 점검할 부분은 잉킹 공정을 수행할 때 웨이퍼(16)에 잉크를 표시하는 잉크 라인(20)과 상기 잉크 라인(20)을 동작시키는 솔레노이드(22)이다.
따라서, 도 2에서 도시한 바와 같이, 상기 잉커(10)의 정상여부를 자동으로 검사하기 위한 본 발명에 따른 잉커 테스트 장치(30)는 잉커(10)를 고정하여 상기 잉커 테스트 장치(30)에 위치하도록 하기 위한 고정부(32)와 상기 잉커(10)의 테스트 위치를 조절하기 위하여 상기 고정부(32)와 결합되어 상기 고정부(32)가 수직.수평으로 이동되도록 하는 위치 조정부(34)를 설치할 필요가 있다. 그리고, 상기 잉커(10)의 종류에 관계없이 테스트할 수 있도록 상기 잉커 테스트 장치(30)을 구성할 필요가 있으므로, 상기 잉커(10)에서 사용되는 전원이 공급되도록 하는 전원 공급부(36)를 설치한다. 이때, 상기 잉커 테스트 장치(30)에서 사용되는 전원은 일반적으로 반도체 공정에서 사용되는 전원과 연결하여 사용할 수 있으며, 상기 전원 공급부(30)에서 상기 잉커 테스트 장치(30)에서 사용되는 전원이 공급되도록 구성할 수 있다.
한편, 상기 잉커 테스트 장치(30)는 상기 잉커(10)의 테스트를 자동으로 실행하고, 테스트 결과를 작업자가 바로 볼 수 있도록 구성할 필요가 있다. 따라서, 상기 잉커(10)의 테스트 데이터를 입력받는 데이터 입력부(38)와, 상기 데이터 입력부(38)에 입력된 데이터를 사용하여 상기 잉커(10)의 테스트를 제어하는 테스트 제어부(40) 그리고, 상기 테스트 제어부(40)의 제어에 의해서 상기 잉커(10)가 작동되도록 하는 작동부(42)와 상기 테스트 제어부(40)로부터 전송되는 상기 잉커(10)의 테스트 결과가 출력되는 표시부(48)를 설치한다.
또한, 상기 잉커 테스트 장치(30)는 상기 잉커(10)의 동작을 검출하여야 하므로, 상기 잉커(10)의 작동 여부를 검출하여 상기 테스트 제어부(40)로 소정 신호가 전송되도록 하는 감지부(44)를 설치한다. 이때, 상기 감지부(44)는 상기 잉커(10)에서 잉킹되는 부분에 위치한 잉크 라인(20)의 작동 여부를 감지하는 제 1 감지부와 상기 잉크 라인(20)이 작동되도록 동작되는 솔레노이드(22)의 작동 여부를 감지하는 제 2 감지부를 설치한다.
이때, 상기 잉커 테스트 장치(30)에 설치되어 테스트되는 상기 잉커(10)는 잉킹 공정이 수행되는 웨이퍼와 관련되어 동작되게 된다. 특히, 상기 잉크 라인(20)의 동작에 의해서 상기 웨이퍼에 품질에 영향을 미치게 된다. 따라서, 상기 잉커(10)의 동작 기준을 웨이퍼에 맞추기 위하여 웨이퍼(16)가 재치되는 웨이퍼 로딩부(46)를 포함하도록 상기 잉커 테스트 장치(30)를 구성한다. 그리고, 상기 표시부(48)는 상기 잉커 테스트 장치(30)에서 테스트되는 상태와 상기 잉커(10)의 상태를 작업자가 쉽게 알 수 있도록 하기 위하여 상기 테스트 제어부(40)로부터 상기 잉커(10)의 테스트 결과를 전송받아 외부로 출력되도록 하는 디스플레이로 구성할 수 있다.
또한, 상기 잉커 테스트 장치(30)에서 상기 잉커(10)를 테스트할 때 상기 잉커(10)의 동작 시간 즉, 상기 잉크 라인(20)이 상기 솔레노이드(22)의 작동에 의해서 웨이퍼에 잉크 표시를 하고 원위치로 돌아가는 시간과 비동작 시간 그리고, 상기 잉커(10)를 상기 잉커 테스트 장치(30)에서 테스트할 횟수를 상기 잉커 테스트 장치(30)에 지정하여 입력시키므로써, 테스트가 자동으로 실행되어 그 결과가 출력되도록 해야 한다. 따라서, 상기 데이터 입력부(38)는 상기 잉커(10)의 동작 횟수와 동작 시간 그리고, 비동작 시간을 입력받도록 구성하고, 상기 표시부(48)는 상기 잉커(10)가 작동되지 않는 횟수가 출력되도록 한다.
이와 같은 구성을 갖는 본 발명의 잉커 테스트 장치를 테스트하는 방법은 도 3에서 도시한 바와 같이 수행할 수 있다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 잉커 테스트 장치의 테스트 방법은 먼저, 잉커(10)를 잉커 테스트 장치(30)에 세팅하는 단계(S500)와 상기 잉커(10)에서 작동되는 상태를 측정하기 위한 부분에 감지부(44)를 세팅하는 단계(S510) 그리고, 상기 잉커(10)를 테스트하기 위한 데이터를 입력시키는 단계(S515)를 통하여 상기 잉커 테스트 장치(30)에 상기 잉커(10)를 테스트하기 위한 준비가 완료된다. 이때, 상기 데이터 입력 단계(S515)는 상기 잉커(10)에서 사용되는 전원을 전원 공급부(36)에 입력시키는 단계(S520)와 상기 잉커(10)의 동작 조건을 데이터 입력부(38)에 입력시키는 단계(S530)로 구성되며, 상기 잉커(10)의 동작 조건으로는 상기 잉커(10)의 동작 횟수와 동작 시간 그리고, 비동작 시간 등이 입력된다. 또한, 상기 잉커 세팅 단계(S500)에서 상기 잉커(10)의 잉크 라인(20)을 잉킹 공정시 웨이퍼(16)의 표면과 유지되는 거리로 세팅하여 잉킹 공정에서 사용되는 상태에서 테스트를 진행한다.
이와 같은 초기 준비 단계가 완료되면, 상기 데이터 입력 단계(S515)에서 입력된 상기 데이터를 사용하여 상기 잉커 테스트 장치(30)에서 테스트를 진행하는 단계(S540)와 상기 잉커(10)의 테스트 결과가 출력되는 단계(S550)를 갖도록 한다. 이때, 상기 테스트 진행 단계(S540)에서는 상기 데이터 입력부(38)에 입력된 상기 잉커(10)의 동작 횟수에 따라 반복적으로 상기 잉커(10)를 동작시키고, 상기 출력 단계(S550)에서는 상기 테스트 진행 단계(S540)에서 발생되는 상기 잉커(10)의 비동작 횟수를 카운터하여 출력하도록 한다.
도 4 내지 도 6은 상술한 바와 같은 본 발명을 구체화한 실시예로써, 동일한 기능을 수행하는 구성요소에 대해서는 동일한 참조번호를 병기하여 상세히 설명한다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 잉커 테스트 장치(50)는 상기 테스트 장치(50)의 골격을 형성하고, 소정 크기로 형성된 윗면을 갖는 베이스(52)와 상기 베이스(52)의 윗부분에 결합되어 잉커(10)를 테스트하기 위한 각종 구성 부분이 형성된 상기 베이스(52)의 윗면을 덮기 위한 커버(54)로 구성된다.
이때, 상기 잉커(10)를 테스트하기 위하여 상기 잉커(10)의 위치를 세팅하기 위한 구성 부분은 상기 베이스(52)의 윗면에 설치되고, 상기 베이스(52)의 윗면에 대하여 평행하게 소정 거리로 왕복 운동되는 제 1 이동부(60)와 상기 제 1 이동부(60)상에 설치되고, 일단에는 잉커(10)가 결합되며, 상기 제 1 이동부(60)상에서 상기 베이스(52)의 윗면에 대하여 수직하게 소정 거리로 왕복 운동되는 제 2 이동부(80)로 구성된다.
더욱 자세히 설명하면, 상기 제 1 이동부(60)는 상기 베이스(52)에 결합되고, 상기 베이스(52)의 윗면으로부터 소정 높이를 갖는 제 1 고정대(64)와 상기 베이스(52)의 측면 방향으로 향하는 상기 제 1 고정대(64)의 일면에 결합되고, 상기 제 1 고정대(64)를 통하여 회전축이 왕복 운동되는 마이크로미터(62) 그리고, 상기 마이크로미터(62)가 설치된 상기 제 1 고정대(64)의 타면에서 상기 제 1 고정대(64)를 통하여 상기 마이크로미터(62)의 회전축과 결합되어 왕복 운동되는 제 1 가이더(66) 와 상기 제 1 가이더(66)상에 결합되고, 상기 베이스(52)에 대하여 윗 방향으로 연장되며, 소정 높이에서 상기 베이스(52)의 윗면과 평행하게 소정 길이로 형성된 제 2 가이더(68)로 구성된다. 또한, 상기 제 2 이동부(80)는 상기 제 1 가이더(66)와 제 2 가이더(68) 사이에 위치하고, 양 끝단이 상기 제 1 및 제 2 가이더(66,68)에 각각 결합된 적어도 하나의 가이딩 로드(84)와 상기 제 1 가이더(66)와 제 2 가이더(68) 사이에 위치하고, 상기 가이딩 로드(84)에 슬라이딩가능하도록 결합되며, 상기 잉커(10)가 결합되는 왕복대(86) 그리고, 상기 제 2 가이더(68)에 결합되고, 상기 제 2 가이더(68)를 통하여 상기 왕복대(86)와 결합되며, 상기 왕복대(86)를 소정 거리로 왕복 운동되도록 하는 마이크로미터(82)로 구성된다. 이때, 상기 제 1 가이더(66)와 왕복대(86) 그리고, 상기 제 2 가이더(68)와 왕복대(86) 사이에 탄성부재(90)를 설치하여 상기 왕복대(86)가 상기 가이딩 로드(84)에서 안정적으로 슬라이딩운동되도록 한다.
한편, 상기 잉커(10)가 세팅된 후 상기 잉커(10)의 솔레노이드(22)와 잉크 라인(20)의 동작을 검출하기 위한 센서를 세팅하기 위한 구성 부분이 필요하다. 따라서, 본 실시예에서는 상기 제 1 이동부(52)상에 설치되고, 일단에는 상기 잉커(10)에서 솔레노이드(22)의 동작 여부를 감지하기 위한 제 1 센서(102)가 결합되며, 상기 제 1 이동부(60)상에서 상기 베이스(52)의 윗면에 대하여 수직하게 소정 거리로 이동 가능한 제 3 이동부(100)와 상기 제 1 이동부(60)와 대향되도록 상기 베이스(52)의 윗면에 설치되고, 일단에는 상기 잉커(10)에서 잉크 라인(20)의 동작 여부를 감지하기 위한 제 2 센서(122)가 결합되며, 상기 베이스(52)의 윗면에 대하여 평행하게 소정 거리로 왕복 운동되는 제 4 이동부(120)를 갖는다.
더욱 상세히 설명하면, 상기 제 3 이동부(100)는 상기 제 2 가이더(68)상에서 상기 베이스(52)의 윗면에 대하여 상.하 소정 거리로 이동가능하도록 결합된 높이 세팅부(104)와 상기 높이 세팅부(104)로부터 상기 베이스(52)에 대하여 수평한 방향의 소정 길이로 연장되고, 끝단에 상기 제 1 센서(102)가 결합되는 제 1 센서 로드(106)로 구성된다. 이때, 상기 제 3 이동부(100)의 높이 조절은 여러 방법을 사용할 수 있지만, 상기 높이 세팅부(104)에 적어도 하나의 장방형 슬롯(108)을 형성하고, 볼트와 같은 체결 부품(110)으로 상기 슬롯(108)을 통하여 상기 제 3 이동부(100)를 고정하고, 높이를 조절할 수 있도록 한다.
또한, 상기 제 4 이동부(120)는 상기 베이스(52)에 결합되고, 상기 베이스(52)의 윗면으로부터 소정 높이를 갖는 제 2 고정대(126)와 상기 베이스(52)의 측면 방향으로 향하는 상기 제 2 고정대(126)의 일면에 결합되고, 상기 제 2 고정대(126)를 통하여 회전축이 왕복 운동되는 마이크로미터(124) 그리고, 상기 마이크로미터(124)가 설치된 상기 제 2 고정대(126)의 타면에서 상기 제 2 고정대(126)를 통하여 상기 마이크로미터(124)의 회전축과 결합되고, 끝단에 상기 제 2 센서(122)가 결합되며, 소정 거리로 왕복 운동되는 제 2 센서 로드(128)로 구성된다.
이와 같이 상기 잉커 테스트 장치(50)는 잉커 및 센서를 세팅하기 위한 구성과 함께 상기 잉커(10)를 상기 잉커 테스트 장치(50)에 설치시 잉킹 공정에서 사용되는 상태와 같이 테스트하기 위하여 상기 베이스(52)의 윗면에서 상기 제 1 이동부(60)와 제 4 이동부(120)의 사이에 설치되고, 상기 잉커(10)의 테스트에 사용되는 웨이퍼(142)가 위치되는 웨이퍼 로딩부(140)를 설치한다. 이때, 상기 웨이퍼 로딩부(140)는 상기 웨이퍼(142)를 진공 흡착방식으로 고정하며, 진공 라인은 반도체 제조 공정 라인에 설치된 것을 연결하여 사용할 수 있도록 한다.
한편, 상기 잉커 테스트 장치(50)는 상기 베이스(52)의 앞면에 설치되고, 상기 잉커(10)를 테스트하기 위한 데이터를 입력받는 데이터 입력부(170)와 상기 잉커(10)의 테스트 결과를 출력하기 위한 표시부(190)를 포함하도록 구성된다. 이때, 상기 데이터 입력부(170)는 입력되는 사항을 표시하기 위한 엔터 버튼(172)과 상기 엔터 버튼(172)에 의해서 표시된 사항의 데이터를 입력하기 위한 업 및 다운 버튼(174,176) 그리고, 상기 업 및 다운 버튼(174,176)에 의해서 입력된 내용을 세팅하기 위한 셋 버튼(178)과 상기 입력된 데이터에 의해서 상기 테스트 제어부가 동작되도록 하는 신호를 발생시키거나, 정지되도록 하는 신호를 발생시키는 작동 버튼(180)으로 구성되며, 상기 표시부(190)는 디스플레이로 구성한다.
또한, 상기 잉커 테스트 장치(50)는 상기 베이스(52)에 설치되고, 상기 데이터 입력부(170)로부터 입력된 데이터를 사용하여 상기 잉커(10)의 테스트를 제어하는 테스트 제어부와 상기 테스트 제어부의 제어에 의해서 상기 잉커(10)가 작동되도록 하는 작동부 그리고, 상기 잉커(10)에서 사용되는 전원이 공급되도록 하는 전원 공급부(160)를 갖는다.
도 6에서 도시한 바와 같이, 이와 같은 구성을 갖는 잉커 테스트 장치의 테스트 방법은 잉커(10)를 제 2 이동부(80)에 결합시키고, 제 1 이동부(60)와 제 2 이동부(80)를 사용하여 웨이퍼 로딩부(140)에 로딩된 웨이퍼(142)를 기준으로 상기 잉커(10)를 세팅하는 단계(S600)와 제 1 센서(102)와 제 2 센서(122)를 상기 잉커(10)의 솔레노이드(22)와 잉크 라인(20)의 동작을 측정가능하도록 제 3 이동부(100)와 제 4 이동부(120)를 사용하여 세팅하는 단계(S610)에 의해서 상기 잉커(10) 및 상기 잉커(10)의 작동 여부를 검출하는 센서의 세팅이 이루어진다.
다음으로, 상기 잉커(10)를 테스트하기 위한 데이터를 입력시키는 단계(S620)와 상기 입력된 데이터를 실행하도록 잉커 테스트 장치(50)에 지시하는 단계(S650)에 의해서 상기 잉커(10)의 테스트가 수행된다. 이때, 상기 데이터 입력 단계(S620)는 상기 잉커(10)의 동작 조건을 데이터 입력부(170)에 입력시키는 단계(S630)와 상기 잉커(10)에서 사용되는 전원을 전원 공급부(160)에 입력시키는 단계(S640)로 구성되며, 상기 데이터 입력부(170)에는 상기 잉커(10)의 동작 횟수와 동작 시간 그리고, 비동작 시간 등을 입력한다.
이와 같이 상기 테스트 실행 지시가 작동 버튼(180)에 의해서 입력되면, 테스트 제어부에서 동작신호를 발생하고, 상기 동작신호에 응답하여 작동부에서 상기 잉커(10)가 작동되도록 하는 단계(S660)와 상기 잉커(10)의 작동 상태가 상기 제 1 센서(102)와 제 2 센서(122)에서 검출되고, 그 결과가 표시부(190)에 출력되는 단계(S670) 그리고, 상기 데이터 입력 단계(S620)에서 입력된 데이터에 의해서 테스트가 완료 또는 상기 잉커 작동 단계(S660)가 반복 수행되도록 하는 단계(S740)를 걸쳐서 상기 잉커(10)의 테스트가 수행되어 완료되고, 그 결과가 나타나게 된다.
이때, 상기 테스트 진행 단계(S670)는 상기 잉커(10)의 솔레노이드(22)의 작동여부를 검출하는 단계(S680)와 상기 솔레노이드(22)가 비작동시 카운터하는 단계(S690) 그리고, 상기 표시부(190)에 출력하는 단계(S700)로 구성된다. 또한, 상기 테스트 진행 단계(S670)는 상기 잉커(10)의 잉크 라인(20)의 작동여부를 검출하는 단계(S710)와 상기 잉크 라인(20)가 비작동시 카운터하는 단계(S720) 그리고, 상기 표시부(190)에 출력하는 단계(S730)로 구성된다.
한편, 상기 테스트 진행 판단 단계(S740)에서는 상기 잉커(10)의 동작 횟수를 카운터하고, 상기 데이터 입력 단계(S620)에서 입력된 상기 잉커(10)의 동작 횟수보다 많으면 테스트가 완료되도록 한다.
이와 같은 본 발명을 적용하면 잉커의 종류에 따른 동작 전압의 설정을 자유롭게 할 수 있으므로, 모든 솔레노이드(solenoid) 방식의 잉커를 검사할 수 있다. 그리고, 동작의 이상 유무를 육안으로 점검하지 않고, 점검 포인트를 임의 설정하여 각 위치에서 센서를 통하여 자동적으로 검출할 수 있으므로 정확한 데이터를 구할 수 있다. 또한, 동작 횟수와 동작 시간을 자유롭게 설정할 수 있으므로, 잉커 검사를 효율적이고 편리하게 수행할 수 있다.

Claims (26)

  1. 잉커(10)가 결합되는 고정부(32)와;
    상기 고정부(32)와 결합되어 상기 고정부(32)가 수직.수평으로 이동되도록 하는 위치 조정부(34)와;
    상기 잉커(10)에서 사용되는 전원이 공급되도록 하는 전원 공급부(36)와;
    상기 잉커(10)의 테스트 데이터를 입력받는 데이터 입력부(38)와;
    상기 데이터 입력부(38)에 입력된 데이터를 사용하여 상기 잉커(10)의 테스트를 제어하는 테스트 제어부(40)와;
    상기 테스트 제어부(40)의 제어에 의해서 상기 잉커(10)가 작동되도록 하는 작동부(42)와;
    상기 잉커(10)의 작동 여부를 검출하여 상기 테스트 제어부(40)로 소정 신호가 전송되도록 하는 감지부(44) 및
    상기 테스트 제어부(40)로부터 전송되는 상기 잉커(10)의 테스트 결과가 출력되는 표시부(48)를 포함하는 잉커 테스트 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    웨이퍼(16)가 재치되는 웨이퍼 로딩부(46)를 포함하여, 상기 잉커(10)가 상기 웨이퍼(16)를 기준으로 설치되도록 하는 것을 특징으로 하는 잉커 테스트 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 표시부(48)는 상기 테스트 제어부(40)로부터 상기 잉커(10)의 테스트 결과를 전송받아 외부로 출력되도록 하는 디스플레이를 포함하는 잉커 테스트 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 데이터 입력부(38)는 상기 잉커(10)의 동작 횟수와 동작 시간 그리고, 비동작 시간을 입력받는 것을 포함하는 잉커 테스트 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 표시부(48)는 상기 잉커(10)가 작동되지 않는 횟수가 출력되는 것을 포함하는 잉커 테스트 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 감지부(44)는 상기 잉커(10)에서 잉킹되는 부분에 위치한 잉크 라인(20)의 작동 여부를 감지하는 제 1 감지부 및
    상기 잉크 라인(20)이 작동되도록 동작되는 솔레노이드(22)의 작동 여부를 감지하는 제 2 감지부를 포함하는 잉커 테스트 장치.
  7. 잉커 테스트 장치의 테스트 방법에 있어서,
    잉커(10)를 잉커 테스트 장치(30)에 세팅하는 단계(S500)와;
    상기 잉커(10)에서 작동되는 상태를 측정하기 위한 부분에 감지부(44)를 세팅하는 단계(S510)와;
    상기 잉커(10)를 테스트하기 위한 데이터를 입력시키는 단계(S515)와;
    상기 데이터를 사용하여 상기 잉커 테스트 장치(30)에서 테스트를 진행하는 단계(S540) 및
    상기 잉커(10)의 테스트 결과를 출력하는 단계(S550)를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉커 테스트 장치의 테스트 방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 데이터 입력 단계(S515)는 상기 잉커(10)에서 사용되는 전원을 전원 공급부(36)에 입력시키는 단계(S520) 및
    상기 잉커(10)의 동작 조건을 데이터 입력부(38)에 입력시키는 단계(S530)를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉커 테스트 장치의 테스트 방법.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 잉커 세팅 단계(S500)에서 상기 잉커(10)의 잉크 라인(20)을 잉킹 공정시 웨이퍼(16)의 표면과 유지되는 거리로 세팅하는 것을 특징으로 하는 잉커 테스트 장치의 테스트 방법.
  10. 제 7 항에 있어서,
    상기 데이터 입력 단계(S520)에서는 상기 잉커(10)의 동작 횟수와 동작 시간 그리고, 비동작 시간을 입력하고,
    상기 테스트 진행 단계(S540)에서는 상기 동작 횟수에 따라 반복적으로 상기 잉커(10)를 동작시키는 것을 특징으로 하는 잉커 테스트 장치의 테스트 방법.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 출력 단계(S550)에서는 상기 테스트 진행 단계(S540)에서 발생되는 상기 잉커(10)의 비동작 횟수를 카운터하여 출력하는 것을 특징으로 하는 잉커 테스트 장치의 테스트 방법.
  12. 소정 크기로 형성된 윗면을 갖는 베이스(52)와;
    상기 베이스(52)의 윗면에 설치되고, 상기 베이스(52)의 윗면에 대하여 평행하게 소정 거리로 왕복 운동되는 제 1 이동부(60)와;
    상기 제 1 이동부(60)상에 설치되고, 일단에는 잉커(10)가 결합되며, 상기 제 1 이동부(60)상에서 상기 베이스(52)의 윗면에 대하여 수직하게 소정 거리로 왕복 운동되는 제 2 이동부(80)와;
    상기 제 1 이동부(52)상에 설치되고, 일단에는 상기 잉커(10)에서 솔레노이드(22)의 동작 여부를 감지하기 위한 제 1 센서(102)가 결합되며, 상기 제 1 이동부(60)상에서 상기 베이스(52)의 윗면에 대하여 수직하게 소정 거리로 이동 가능한 제 3 이동부(100)와;
    상기 제 1 이동부(60)와 대향되도록 상기 베이스(52)의 윗면에 설치되고, 일단에는 상기 잉커(10)에서 잉크 라인(20)의 동작 여부를 감지하기 위한 제 2 센서(122)가 결합되며, 상기 베이스(52)의 윗면에 대하여 평행하게 소정 거리로 왕복 운동되는 제 4 이동부(120)와;
    상기 베이스(52)의 윗면에서 상기 제 1 이동부(60)와 제 4 이동부(120)의 사이에 설치되고, 상기 잉커(10)의 테스트에 사용되는 웨이퍼(142)가 위치되는 웨이퍼 로딩부(140)와;
    상기 베이스(52)에 설치되고, 상기 잉커(10)를 테스트하기 위한 데이터를 입력받는 데이터 입력부(170)와;
    상기 베이스(52)에 설치되고, 상기 데이터 입력부(170)로부터 입력된 데이터를 사용하여 상기 잉커(10)의 테스트를 제어하는 테스트 제어부와;
    상기 베이스(52)에 설치되고, 상기 잉커(10)의 테스트 결과를 출력하기 위한 표시부(190)와;
    상기 테스트 제어부의 제어에 의해서 상기 잉커(10)가 작동되도록 하는 작동부 및
    상기 잉커(10)에서 사용되는 전원이 공급되도록 하는 전원 공급부(160)를 포함하는 잉커 테스트 장치.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 제 1 이동부(60)와 제 2 이동부(80) 그리고, 제 4 이동부(120)는 각각 마이크로미터(62,82,124)와 결합되어 작동되는 것을 포함하는 잉커 테스트 장치.
  14. 제 12 항에 있어서,
    상기 웨이퍼 로딩부(140)는 상기 웨이퍼(142)를 진공 흡착방식으로 고정하는 것을 포함하는 잉커 테스트 장치.
  15. 제 12 항에 있어서,
    상기 데이터 입력부(170)는 입력되는 사항을 표시하기 위한 엔터 버튼(172)과;
    상기 엔터 버튼(172)에 의해서 표시된 사항의 데이터를 입력하기 위한 업 및 다운 버튼(174,176)과;
    상기 업 및 다운 버튼(174,176)에 의해서 입력된 내용을 세팅하기 위한 셋 버튼(178) 및
    상기 입력된 데이터에 의해서 상기 테스트 제어부가 동작되도록 하는 신호를 발생시키거나, 정지되도록 하는 신호를 발생시키는 작동 버튼(180)을 포함하는 잉커 테스트 장치.
  16. 제 12 항에 있어서,
    상기 제 1 이동부(60)는 상기 베이스(52)에 결합되고, 상기 베이스(52)의 윗면으로부터 소정 높이를 갖는 제 1 고정대(64)와;
    상기 베이스(52)의 측면 방향으로 향하는 상기 제 1 고정대(64)의 일면에 결합되고, 상기 제 1 고정대(64)를 통하여 회전축이 왕복 운동되는 마이크로미터(62)와;
    상기 마이크로미터(62)가 설치된 상기 제 1 고정대(64)의 타면에서 상기 제 1 고정대(64)를 통하여 상기 마이크로미터(62)의 회전축과 결합되어 왕복 운동되는 제 1 가이더(66) 및
    상기 제 1 가이더(66)상에 결합되고, 상기 베이스(52)에 대하여 윗 방향으로 연장되며, 소정 높이에서 상기 베이스(52)의 윗면과 평행하게 소정 길이로 형성된 제 2 가이더(68)를 포함하는 잉커 테스트 장치.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 제 2 이동부(80)는 상기 제 1 가이더(66)와 제 2 가이더(68) 사이에 위치하고, 양 끝단이 상기 제 1 및 제 2 가이더(66,68)에 각각 결합된 적어도 하나의 가이딩 로드(84)와;
    상기 제 1 가이더(66)와 제 2 가이더(68) 사이에 위치하고, 상기 가이딩 로드(84)에 슬라이딩가능하도록 결합되며, 상기 잉커(10)가 결합되는 왕복대(86) 및
    상기 제 2 가이더(68)에 결합되고, 상기 제 2 가이더(68)를 통하여 상기 왕복대(86)와 결합되며, 상기 왕복대(86)를 소정 거리로 왕복 운동되도록 하는 마이크로미터(82)를 포함하는 잉커 테스트 장치.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 제 1 가이더(66)와 왕복대(86) 그리고, 상기 제 2 가이더(68)와 왕복대(86) 사이에 탄성부재(90)를 부가하는 것을 포함하는 잉커 테스트 장치.
  19. 제 16 항에 있어서,
    상기 제 3 이동부(100)는 상기 제 2 가이더(68)상에서 상기 베이스(52)의 윗면에 대하여 상.하 소정 거리로 이동가능하도록 결합된 높이 세팅부(104) 및
    상기 높이 세팅부(104)로부터 상기 베이스(52)에 대하여 수평한 방향의 소정 길이로 연장되고, 끝단에 상기 제 1 센서(102)가 결합되는 제 1 센서 로드(106)를 포함하는 잉커 테스트 장치.
  20. 제 12 항에 있어서,
    상기 제 4 이동부(120)는 상기 베이스(52)에 결합되고, 상기 베이스(52)의 윗면으로부터 소정 높이를 갖는 제 2 고정대(126)와;
    상기 베이스(52)의 측면 방향으로 향하는 상기 제 2 고정대(126)의 일면에 결합되고, 상기 제 2 고정대(126)를 통하여 회전축이 왕복 운동되는 마이크로미터(124) 및
    상기 마이크로미터(124)가 설치된 상기 제 2 고정대(126)의 타면에서 상기 제 2 고정대(126)를 통하여 상기 마이크로미터(124)의 회전축과 결합되고, 끝단에 상기 제 2 센서(122)가 결합며, 소정 거리로 왕복 운동되는 제 2 센서 로드(128)를 포함하는 잉커 테스트 장치.
  21. 잉커 테스트 장치의 테스트 방법에 있어서,
    잉커(10)를 제 2 이동부(80)에 결합시키고, 제 1 이동부(60)와 제 2 이동부(80)를 사용하여 웨이퍼 로딩부(140)에 로딩된 웨이퍼(142)를 기준으로 상기 잉커(10)를 세팅하는 단계(S600)와;
    제 1 센서(102)와 제 2 센서(122)를 상기 잉커(10)의 솔레노이드(22)와 잉크 라인(20)의 동작을 측정가능하도록 제 3 이동부(100)와 제 4 이동부(120)를 사용하여 세팅하는 단계(S610)와;
    상기 잉커(10)를 테스트하기 위한 데이터를 입력시키는 단계(S620)와;
    상기 입력된 데이터를 실행하도록 잉커 테스트 장치(50)에 지시하는 단계(S650)와;
    테스트 제어부에서 동작신호를 발생하고, 상기 동작신호에 응답하여 작동부에서 상기 잉커(10)가 작동되도록 하는 단계(S660)와;
    상기 잉커(10)의 작동 상태가 상기 제 1 센서(102)와 제 2 센서(122)에서 검출되고, 그 결과가 표시부(190)에 출력되는 단계(S670) 및
    상기 데이터 입력 단계(S620)에서 입력된 데이터에 의해서 테스트가 완료 또는 상기 잉커 작동 단계(S660)가 반복 수행되도록 하는 단계(S740)를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉커 테스트 장치의 테스트 방법.
  22. 제 21 항에 있어서,
    상기 데이터 입력 단계(S620)는 상기 잉커(10)의 동작 조건을 데이터 입력부(170)에 입력시키는 단계(S630) 및
    상기 잉커(10)에서 사용되는 전원을 전원 공급부(160)에 입력시키는 단계(S640)를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉커 테스트 장치의 테스트 방법.
  23. 제 21 항에 있어서,
    상기 데이터 입력 단계(S620)는 상기 잉커(10)의 동작 횟수와 동작 시간 그리고, 비동작 시간을 데이터 입력부(170)에 입력시키는 것을 포함하는 잉커 테스트 장치의 테스트 방법.
  24. 제 23 항에 있어서,
    상기 테스트 진행 판단 단계(S740)는 상기 잉커(10)의 동작 횟수를 카운터하고, 상기 데이터 입력 단계(S620)에서 입력된 상기 잉커(10)의 동작 횟수보다 많으면 테스트가 완료되도록 하는 것을 특징으로 하는 잉커 테스트 장치의 테스트 방법.
  25. 제 21 항에 있어서,
    상기 테스트 진행 단계(S670)는 상기 잉커(10)의 솔레노이드(22)의 작동여부를 검출하는 단계(S680)와;
    상기 솔레노이드(22)가 비작동시 카운터하는 단계(S690) 및
    상기 표시부(190)에 출력하는 단계(S700)를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉커 테스트 장치의 테스트 방법.
  26. 제 21 항에 있어서,
    상기 테스트 진행 단계(S670)는 상기 잉커(10)의 잉크 라인(20)의 작동여부를 검출하는 단계(S710)와;
    상기 잉크 라인(20)가 비작동시 카운터하는 단계(S720) 및
    상기 표시부(190)에 출력하는 단계(S730)를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉커 테스트 장치의 테스트 방법.
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