KR100197747B1 - 화학물과 이온센서 테스트용 유체공학 헤드 - Google Patents

Abstract

본 발명의 특징은 화학물과 이온 감지 전자회로장치(4)를 자동적으로 테스팅할 수 있는 플루이딕스 헤드를 제공하는 것이다. 플루이딕스 헤드는 공지된 시험유체를 함유할 수 있는 입구와 출구가 있고 이관은 감지전자 회로장치(4)와 방수역할을 하며, 시험유체와 장치(4)가 전기적으로 반응하는 것을 테스트하기 위한 감지전자 회로장치(4)와 접촉할 수 있는 전기 프로브(3)로 구성된 것을 특징으로 한다.

Description

화학물과 이온 센서 테스트용 유체공학 헤드

제1a도와 제1c도는 유체가 처음으로 유체 감금 셀의 구멍에 들어갈 때 유체의 흐름의 효과를 설명한 것으로서, 제1b도의 재순환 부분 형성을 피하기 위해 구멍의 각이진 코너는 없애고 유입구는 도면 제1c도와 같이 직경이 점진적으로 증가하도록 됨을 도시한 도면.

제2a도는 집적회로칩의 평면(4)을 나타내며, 제2b도는 센서전자회로장치의 확대도로서 다수의 상기 센서전자회로로 구성된 웨이퍼에 대한 도면. (3)부분은 유체감금셀이 센서전자회로장치(1)와 함께 강수를 형성할 때 그 위치를 나타낸 것이다.

제3도는 유체감금셀의 한 실시예에 대한 저면도.

제4a도와 제4b도는 유체 감금셀의 두가지 실시예에 대한 단면도.

제5a도, 제5b도, 제5c도는 사각코너를 갖는 다수 부적절한 유체 감금셀에 대한 몇 가지 도면.

제6a도 내지 제6d도는 센서 전자회로와 유체적 및 전기적 접촉을 위한 유체 감금셀과 스프링장전 탐침(probe)을 지지하는 프레임(frame)의 한 실시예에 대한 몇 가지 도면.

제7도는 한 웨이퍼 상에 다수의 센서 전자회로장치를 동시에 테스트하기 위해 다수의 유체공학 헤드(head)를 갖는 테스팅 장치의 한 실시예를 도시한 도면.

제8a도와 제8b도는 본 발명의 유체공학 헤드를 이용하는 시험과정의 플로우 차트이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 집적회로 칩 4 : 칩의 표면

11,32 : 유체 감금셀(cell) 12 : 유입구

13 : 유출구 14 : 오리피스(Oripice)

15 : 지지구조 16 : 바깥측 가장자리

18 : 유체 감금셀의 선단 21 : 트랙(track)

22,23 : 스프링 장전 탐침 23 : 튜브

24 : 구멍 34 :웨이퍼

35 : 테이블 36 : 데이터 처리장치 연결 증폭기

발명은 이온에 민감하고 화학적으로 민감한 장치와 같은 환경 감지장치에 관계하고 적절한 환경 하에서 이와 같은 장치를 테스트하는 방법과 관계한다.

종종 우리 주변환경에서 화학적 환경의 성분물을 감지할 필요성을 느끼는데, 예를 들면, 화학적 또는 생물학적 진행과정을 조절하거나 공기 또는 수질을 결정하거나 생의학적, 농업적 또는 동물사육 규율의 매개변수 측정 등이 이에 속한다.

화학적 환경의 특성 때문에 어떠한 측정기구라도 적어도 다음과 같은 성질을 갖추어야 하는데; 적은 비용, 단순한 제작방법, 디지탈 작동, 선조정 시그날, 작은 크기, 선별성있는 고도 화학적 민감성, 특이적 다수의 정보제공, 화학종에 대한 통합 반응 또는 가역성 선택, 온도에 대해 안정성, 화학종에 대한 상보성과 저출력 요구성 등이 그와 같은 성질이다. 또한, 측정장치는 장기간 전기화학적 안정성과 양호한 물리적 복원력과 강도와 부식 및 화학적으로 안정성을 갖추어야 한다. 전기 측정장치의 경우에, 장치는 낮은 전기적 임퍼던스를 가져 양호한 신호 대 잡음비를 제공할 수 있어야 한다. 화학적 감도장치에서는 측정될 화학적 현상에 대한 너른스티안(Nernstian) 반응을 해야 한다.

기질의 화학적 특징을 감지하고 측정하는 방법의 하나로 전기적 전위를 측정하는데 전위는 측정할 화학적 활성에 따라 달라진다 베르그벨트(Bergveld)는 수용액 속에서의 수소와 나트륨 이온의 활성이 게이트 금속을 제거한 금속 산화막 반도체 전계효과 트랜지스터(MOSFET)로 측정될 수 있음을 제안하였다(P. Bergveld, Development, Operation, and Application of then ion-Sensitive Field-Effect Transistor as a Tool for Electrophysiology IEEE Transact ions of Biomedical Engineering, Vol. BME-10, pages 342-351(September, 1972). 특히 게이트 금속이 없는 MOSFET가 수용액 속에 놓일 경우 베르그벨트는 수화된 층의 불순물로 인해 이산화규소 절연층은 수화되고, 이온이 선별된다고 주장한다. MOSFET의 절연층이 수화된 후에 베르그벨트는 이 장치가 문제의 용액에 장치를 침강시킴으로써 이온활성을 측정하는데 이용되고 장치의 도전율의 변화를 기록하도록 된다고 믿었다 따라서 베르그벨트의 장치는 통상적으로 이온-민감 전계효과 트랜지스터(ISFET)로 불려진다.

베르그벨트의 작업은 미국특허 4,020,830에서 설명된 화학적으로 민감한 전계효과 트랜지스터(CHEMFET)와 같은 이온에 민감한 전극분야에서 다른 개발을 유도하였다. 상기 특허에서는 CHEMFET가 게이트 금속을 화학적으로 민감한 시스템으로 대체하고, 이 시스템이 노출되었을 때 특정물질과 상호 작용하도록 된 MOSFET이다. 따라서 상기 특허 제1도와 제2도를 볼 때 CHEMFET는 MOSFET와 구조가 동일하고 단지 차이점은 감지층 또는 막(38)이 트랜지스터 채널 부분 위의 산소절연층위에 금속 게이트층의 위치에 용착되거나 선택적으로 불투과성 층(44)이 용액에 노출될 수 있는 CHEMFET의 다른 모든 부분을 커버한다는 것이다. CHEMFET 구조에 상당수의 변경된 구조가 있을 수 있는데, 예를 들면, 미국특허 4,180,771, 4,218,298, 4,232,326,4,238,757, 4,305,802, 4,332,658, 4,354,308, 4,485,274, 4,397,714와 4,739,380과 미국특허출원 07/270,171에 상술되어 있다.

ISFET 또는 CHEMFET의 기술개념은 집적회로에서 트랜지스터를 제조하는데 많은 용적과 적은 제조비용으로 CHEMFET와 ISFET를 만드는데 적용되므로 매우 매력적이다. 이 기술에 한 단계 진보된 기술이 상기 미국특허 4,739,380과 출원번호 07/270,171에 상술되어 있다. 집적회로를 만드는데 있어서 부딪치는 문제점 중에 하나는, 이 장치의 테스팅이다. 집적회로는 아주 작고 복잡하기 때문에 집적회로를 다루는데 문제점과 적절한 테스팅 장치의 디자인과 도구 등의 많은 문제점이 발생된다. 동시에, 테스팅에는 IC제조공정이 원하는 대로 작동되는가 그리고 무슨 이유이건 간에 설계서에서 나타나지 않은 변함없는 IC 회로를 확인할 수 있도록 제어공정이 필요하다. 테스팅은 ISFETs와 CHEMFETs의 제조에 있어서 특별한 문제가 되는데 그 이유는 이러한 장치가 주변의 다양한 것들을 전기적 신호로 전환시키는 변환기이기 때문이다. 이러한 장치의 완전한 테스팅을 위해서는 테스팅이 ISFETs와 CHEMFETs가 측정하도록 되어있는 환경을 이 장치의 이온감지 또는 화학물감지층에 노출시켜야 한다. 테스팅의 한가지 방법이 미국특허 4,864,229에 상술되어 있다.

집적회로를 테스팅하는 중요한 컴포넌트 테스트 유체를 포함하고 유체공학 헤드(head)이며, ISFETs와 CHEMFETs는 상기 테스트 유체를 측정하도록 만들어진다. 상기 유체공학 헤드는 누수가 없는 장치에 센서전자회로장치를 제공하여 웨이퍼 상의 주변장치가 테스트 유체에 의해 오염되지 않도록 되어야 한다. 또한 용적이 작은(약 20-100ml)테스트 유체가 다루어져야하고 검사 대상 장치의 크기가 작기 때문에 검사 대상 장치를 테스팅하는 동안 그리고 한 검사에서 다른 한 검사로 변경하자마자 기포와 유체오염을 포함하지 않도록 상당한 주의가 필요하게 된다.

유체공학 헤드는 다양한 평면 웨이퍼 재상의 검사대상 장치를 테스트하도록 만들어져야 한다. 상기 웨이퍼재로는 알루미나 고온 용융점 플라스틱, 유리, 실리콘, 이산화규소와 실리콘 니트리드 등이 포함된다.

본 발명의 목적은 평면 웨이퍼 표면에서 신속하게 누수방지 접속을 하고 이로부터 다시 신속하게 상기 접속으로부터 벗어날 수 있는 유체공학 헤드를 제공하여 평면 웨이퍼 표면에 있는 센서전자회로의 신속한 테스트를 실시할 수 있도록 한다.

본 발명의 또 다른 목적은 구조적으로 튼튼하고, 다양한 유체흐름 속도에서도 센서전자회로와의 누수방지접속을 제공할 수 있는 유체공학 헤드를 제공하는 것이다.

본 발명의 목적은 기포가 생기지 않고 테스트유체의 오염이 없는 하나 이상의 테스트유체를 하나이상의 센서전자회로에 노출시키는 것이 가능한 유체공학 헤드를 제공하느 것이다.

본 발명의 목적과 장점은 하기 명세서와 첨구벙위에 상술되어 있다.

본 발명에 따른 (a) 알려진 테스트 유체를 포함하는 적어도 하나의 오리피스를 갖는 유체 감금 셀, (b) 상기 셀이 테스트될 전자감자 회로장치와 누수방지관계에 있게되는 때 상기 개방된 오리피스로 테스트유체를 채우고 상기 오리피스로부터 테스트유체를 방출시키기 위한 수단, 그리고 (C) 센서전자회로장치로 전기적접촉을 제공하여 상기 센서 전자회로장치를 상기 테스트유체로 테스트하기 위한 수단으로 구성되는 화학적 및 이온 센서 전자회로장치를 자동으로 테스트하기 위한 유체공학 헤드에 의해 달성된다. 전기적 접촉을 제공하기 위한 수단은 차령 센서 전자회로 장치의 집적회로 전기 리드(lead)에 접촉되는 스프링 장전 탐침을 사용하여 얻어질 수 있다.

개방된 오리피스로부터 테스트유체를 채우고 방출하기 위한 수단은 유체 감금 셀 내의 한 유입구개구와 한 유출구개구로 구성된다. 적절하게는 유유입구와 유출구는 유체 감금 셀의 마주하는 단부측에 위치한다. 유유입구와 유출구 개구에 연결된 개방된 오리피스는 기포가 발생할 가능성을 최소화하는 내부구조와 유체 감금 셀에 시험유체를 채우고 다시 방출하는 동안 잔류하는 테스트유체 양을 최소화하도록 되어있다. 바람직하게는 개방된 오리피스가 그 단부에서 유입구와 유출구 개구에서의 형상과 일치하도록 내부형상이 만들어진다. 가장 적절하게는 내부형상은 코너에 각이 형성되지 않는 포물선의 절반면이 되는 단부로 구성되어 최대로 박판흐름(laminate flow)을 형성시키고 따라서 유체 감금 셀을 통해 테스트유체의 비-박판 흐름을 최소로 하도록 한다. 일반적으로 모든 각은 단일 주형체로 가능할 수 있는 한 최대 둔각이 된다.

테스트유체의 오염 가능한 또 다른 방법은 전자감지 회로장치를 테스트하는 동안에 활성종(species)을 고갈시키는 것이다. 이는 전극용액접속에서 발생하는 산화 또는 환원 반응에 의해 전기활성종의 농도가 변화하는 전류측정 방법에 주로 의존하는 센서 전가 회로장치에서 명백한 것이다. 이것은 특기 테스트유체의 용적이 작을 때 두드러진다. 따라서, 이러한 농도변화를 수용하기 위하여, 개방된 오리피스를 갖는 유체 한정 셀의 내부용적은 용액특성이 유지될 수 있기에 충분할 정도가 되어야한다. 적절하게는 테스트용액의 용적은 전기활성 종의 농도에 어떠한 변화, 예로써 테스트기간동안에 1% 이하 정도를 차단하기에 충분해야 한다.

유체 한정 셀의 모양은 평면표면과 접촉시 수직력이 셀이 작용했을 때 힘의 벡터는 주로 압축력이 되고 따라서 측면 스트레스를 최소화하고 뒤틀림이 없도록 해야 한다. 유체 한정 셀의 모양은 실제 유체 흐름의 관찰과 화학적 그리고 이온 센서 전자회로장치의 정확한 측정을 기초로 하여 필요로 하여지는 유체 역학을 위해 최적화시켜야 한다. 이러한 디자인은 특히 고속의 유체속도와 직접적으로 연결되는데, 본 발명은 충분한 지지구조를 가지는 유체 감금 셀을 제공하여 유체 감금 셀의 개방된 오리피스가 회로에 닿을 때 테스트될 센서전자회로와 누수방지접속을 허용하도록 되어있다. 적절하게는 지지구조가 외형이 둥근 모양의 웨지(wedge)형이 된다. 둥근 외부모서리는 회로가 누수방지 시일(seal)을 이루기 위해 만들어지게 되는 평면 웨이퍼 표면과 일치하도록 되어있다.

유체 한정 셀은 전형적으로 바람직한 형상으로 주형될 수 있다. 셀에 사용되는 재f료는 몇몇 요구를 만족시켜야 한다. 이러한 요구조건 가운데 (1) 사용되는 유체와는 화학적 비활성이어야하고 (2) 화학물에 대해 흡착성이 없어야하고 (3) 조절된 변형과 시일링을 제공하지만 테스트될 회로로 유체가 가해지는 때 구부러짐에 저항할 수 있도록 물리적으로 강해야하고, 그리고 (4) 공기와 유체를 밀봉할 수 있어야 한다.

상기 설명한 특징과 본 발명의 장점은 다음의 본 발명의 구체예에서 더 자세히 설명되며 이 구체예는 설명을 위한 예에 해당한다.

제1a도는 유입구를 바로 지나 유체 한정 셀의 오리피스(구멍) 모서리에서 유체의 흐름이 분리되는 것을 나타낸다. 주된 유체흐름은 개구를 바로 통과하여서는 본래의 속도를 유지하여 제1a도의 1(b) 부분에서 통상 베나 콘트랙타(vena contracta)를 형성시킨다. 다음에 상기 주된 유체흐름은 오리피스를 채우기 위해 속력이 감소된다. 이는 결국 오리피스의 모서리에서 재순환 영역이 형성되도록 하며 포함된 입자들, 유체 및 기포가 혼합되고 트랩됨을 증가시킨다. 이러한 역효과는 유입구의 직경을 점차 증가시킴으로써 상당히 감소하게 된다. 따라서, 유체 감금 벨(cell)의 적절한 실시예는 제1c도에서 도시된 것과 같이 두 개의 포물선이 만나는 S곡선 모양의 벽으로 된 오리피스를 갖는다.

제2a도는 집적회로 칩의 표면 평면(4)을 도시한 것으로서, 유체 감금 셀의 바깥측 가장자리가 상기 평면을 향하도록 된다. 제2b도는 집적회로 칩(1)을 갖는 센서전자회로를 도시한 것으로서, 상기의 집적회로 칩은 이들의 전기 리드(2)로부터 떨어져 있다. (3) 부분은 유체 감금 셀의 바깥측 가장자리가 집적회로칩의 표면(4)을 향하도록 된 때 형성된 시일(seal)을 한정한 것이다, 유체 감금 셀을 포함하는 유체공학 헤드는 전술한 미국특허 4,739,380에서 상술한 것과 같이 확장 게이트(extended gate)전계효과 트랜지스터(EGFET)를 테스팅하는데도 사용될 수 있다.

제3도는 유체 감금 셀(11)의 저면도이다. 테스트유체가 채워지고 방출되는 유입구(12)와 유출구(13)가 개방된 오리피스(14) 양쪽 반대편에 위치한다. 셀의 오리피스(14)는 유입구 및 유출구와 거의 일치하여 셀 내 테스트유체의 얇은 층 흐름을 최대로 허용하도록 한다.

유체 감금 셀을 만드는데 이용되는 재료는 화학적으로 블활성이고, 화학물질을 흡수하지 않으며, 충분한 물리적 강도가 있으며 공기와 유체 시일(밀봉)을 제공할 수 있어야 한다. 실온에서 유황 처리된 재료(RTV)와 실라스틱(silastic, TM)과 같은 실리콘 기초재료, Dow에서 생산하는 폴리실콕산 탄성물질 등이 이러한 요구조건에 부합하는 유용한 것들로 알려져 있다.

유체 감금 셀(11)은 두 피이스(piece)이상으로, 즉 오리피스(14)의 외측가장자리를 따라 O-형링이 삽입되는 고체-유체 감금 셀(11)로 구성될 수 있다. 그러나 이와 같은 디자인은 몇 가지 단점을 가지고 있다. O-링의 압축은 구조 내에서 예각을 형성하게 되어 기포가 형성되거나 다른 오염을 촉진시킬 수 있다. 또한, 접촉영역의 수가 증가하면 잠정적인 누수경로수도 부수적으로 증가시키게 된다. 마지막으로 O-링의 기하학 구조가 유체공학헤드의 가능한 밀봉(시일) 모양의 범위를 한정하게 된다.

제4a도는 유체 감금 셀의 단면도이다. 지지구조(15)는 둥근 바깥측가장자리(16)를 가지며 웨지형으로 되어 있어 셀이 집적회로의 칩으로 향하게 된 때 집적회로 칩과 함께 방수역할을 제공할 수 있도록 한다. 지지구조의 양면(17)에 의해 형성되는 예각은 10도 이상이 적절하다. 둥근 바깥측가장자리(16)의 직경은 유체 감금 셀의 최대 내직경의 0.25배가 적절하다. 도면에서 보는 바와 같이 유체 감금 셀의 선단(18)은 그 같은 선단이 용이하게 만들어질 수 있도록 평평하게 가공된다. 그러나 제4b도에서 도시된바와 같니 최대의 얇은 층 흐름을 허용하도록 오목하게 만들어지기도 한다.

제5a도 내지 제5c도는 사각 모서리를 가진 다소 부적절한 유체 감금 셀의 또 다른 실시예를 도시한 것이다; 제5b도는 평면도이고 제5c도는 측면도이다. 이를 사각모서리 부근은 재순환 흐름으로 인한 잔류테스트 유체로부터 오염과 기포가 형성되는 등의 문제점을 가진다. 이러한 복잡한 문제점으로 제2도에서 설명한 것과 같은 화학물과 이온감지 전자회로장치의 측정에 정확성이 떨어지게 된다.

이와 같은 문제점은 각각 센서전자회로 장치가 유체 감금 셀 내의 테스트유체를 교체하여야 하는 연속적으로 몇 가지 테스트유체에 노출되었을 때 특히 주목할 만하다.

제6a도 내지 제6d도는 센서전자회로장치와의 유체공학적 전기적접촉을 위해 유체 감금 셀과 스프링-장전 탐침을 지지하는 프레임에 대한 몇 가지의 도면을 도시한 것이다 제6b도는 위에서 본 평면도이다. 제6c도는 정면도이다. 제6d도는 종단면도이다. 유체 감금 셀은 프레임의 중심으로 트랙(21)을 따라 활주(슬라이딩)시킴으로써 고정된다. (22)는 다수의 스프링 장전 탐침을 도시한다. (23)은 유체 감금 셀의 유입구와 유출구로 연결된 튜브를 나타낸다 구멍(24)은 상기 프레임이 일렬정렬장치에 고정되도록 하며 평면 웨이퍼면에 대해 유체 감금 셀의 높이를 나사식으로 조절할 수 있도록 한다. 상기 일렬정렬장치는 유체 감금 셀의 방수를 위해 평면웨이퍼 표면 상에서 자동으로 다수의 센서 전자장치를 연속적으로 선택하여 위치시킨다.

제7도는 상기 프레임(21)이 다수의 유체 감금 셀(32)과 이들의 상응하는 스프링 장전 탐침(33)은 함께 보유하는 테스팅 장치의 한 실시예를 도시한다. 도시된 바와 같이 유체 감금 셀은 웨이퍼(34)의 표면을 향하도록 된다. 유체 감금 셀의 공간은 이들 셀들이 다수의 센서전자회로장치와 함께 방수역할을 하도록 하여지게 되어 동시에 이들 장치들이 테스트받을 수 있도록 한다.

웨이퍼(34)상의 회로장치는 상기 웨이퍼를 보유하는 X, Y 및 세타 테이블(35)에 의해 유체 감금 셀에 대한 위치로 아래로부터 정렬된다. 데이터 처리장치에 연결된 증폭기(36)는 전계 효과 트랜치스터로 연결된다.

제8도는 본 발명에 따르는 유체공학 헤드를 이용한 다수의 센서전자회로장치를 테스트하는데 사용되는 플로우 차트를 대략적으로 나타낸 것이다. 이 차트는 특히 각 장치가 두 개의 용액으로 테스트될 수 있도록 한 것이나, 용액의 수를 더 많이 이용할 수도 있다.

본 발명의 기구는 여러 가지 방법으로 장치하거나 이용할 수 있다. 본 명세서는 본 발명의 유체공학 헤드의 원리와 작동형태를 설명한 것으로써 이 구조나 과정을 엄격히 한정하지는 않는다. 본 발명의 특허청구범위에 한정하는 영역을 벗어나지 않고 많은 변화와 수정도 가능하다.

Claims (8)

1. 알고있는 테스트유체를 포함하기 위한 적어도 하나의 개방된 오리피스를 갖는 유체 감금 셀(cell),(11,제3도,제4a도,제4b도,제5a도,제5b도,제5c도), 상기 테스트유체를 상기 개방된 오리피스 내로 채우고 상기 오리피스가 테스트받게될 상기 센서 전자 회로 장치와 누수방지의 관계로 접속되는 때 상기 테스트유체를 상기 개방된 오리피스로부터 방출시키기 위한 수단,(23,제6a도,제6b도,제6c도) 그리고 상기 센서 전자 회로장치도의 전기적 접촉을 제공하여 상기 테스트 유체로 상기 센서 전자회로장치를 테스트하기 위한 수단(22,제6a도,제6b도,제6c도,제6d도)을 포함하고, 상기 개방된 오리피스가 상기 테스트유체를 방출시키고 또 다른 테스트유체를 채우는 동안 상기 유체 포함 셀 내의 유체 오염이 최소가 되도록 하는 내부의 형상(제1c도)을 가지는 바의 화학물 및 이온 센서 전자회로장치를 자동으로 테스트하기 위한 유체공학 헤드.
2. 제1항에 있어서, 상기 채움 수단이 상기 유체 감금 셀 내의 한 유입구 개구와 한 유출구 개구를 포함하는 바의 화학물 및 이온 센서 테스트용 유체공학 헤드.
3. 제2항에 있어서, 상기 유입구 개구와 유출구 개구가 상기 감금 셀의 마주하는 단부에 위치하도록 하는 바의 화학물 및 이온 센서 테스트용 유체공학 헤드.
4. 제02함에 있어서, 상기 개방 오리피스가 상기 유입구와 유출구 개구 형상과 일치하도록 형성되게 하는 바의 화학물 및 이온 센서 테스트의 유체공학 헤드.
5. 제1항에 있어서, 적어도 하나의 개방된 오리피스를 갖는 상기 유체 감금 셀이 상기 센서 전자회로장치의 테스트 중에 용액특성이 유지되기에 충분한 내부 용적과 기하학적 구조를 갖도록 하는 바의 화학물 및 이온 센서 테스트용 유체공학 헤드.
6. 제1항에 있어서, 상기 유체 감금 셀의 개방된 오리피스가 테스트될 상기 센서 전자회로장치와 누수방지 접속관계로 밀착되는 때 구부려지지 않도록 하는 형상을 갖는 바의 화학물 및 이온공학 헤드.
7. 제6항에 있어서, 상기 유체 감금 셀이 테스트되어질 센서전자회로장치와 누수방지 접속관계를 제공하기 위해 둥근 외측 가장자리를 갖는 웨지(wedge)형인 지지구조를 갖는 바의 화학물 및 이온 센서 테스트용 유체공학 헤드.
8. 제1항에 있어서, 상기 유체 감금 셀이 a) 사용된 유체에 대한 화학적 불활성이며, b) 비-흡착성이고, c) 조절된 변형 및 시일링(밀봉)을 제공하지만 테스트되어질 회로로 밀착되는 때 그리고 유체흐름 중에 구부려짐에 저항할 수 있을 정도로 물리적으로 강해야하며, d) 공기와 유체를 밀봉할 수 있는 재료로 만들어지는 바의 화학물 및 이온 센서 테스트용 유체공학 헤드.