KR0183174B1 - Field emission device - Google Patents

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KR0183174B1
KR0183174B1 KR1019950010552A KR19950010552A KR0183174B1 KR 0183174 B1 KR0183174 B1 KR 0183174B1 KR 1019950010552 A KR1019950010552 A KR 1019950010552A KR 19950010552 A KR19950010552 A KR 19950010552A KR 0183174 B1 KR0183174 B1 KR 0183174B1
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임영민
문현찬
김한식
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김정덕
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    • H01J3/021Electron guns using a field emission, photo emission, or secondary emission electron source

Abstract

본 발명은 필드에미션 디바이스에서 방출되는 전자빔을 최적으로 제어하도록 게이트 전극을 구조변경한 필드에미션 디바이스(Field Emissin device)에 관한 것이다. 이를 위한 본 발명은, 기판과, 이 기판상에서 돌출되어 전자를 방출하는 다수의 필드에미터 팁과, 상기 필드에미터 팁에서 전자가 방출되도록 그 주변에 전기장을 형성시키도록 소정의 전압이 인가되는 다수의 게이트 전극을 구비한 필드에미션 디바이스에 있어서, 상기 필드에미터 팁사이 사이에는 독립 개별적으로 소정의 전압이 인가되도록 적어도 2분할되어 절연 격리되어 있는 게이트 전극이 마련되어 있기 때문에 팁에서 방출되는 전자빔을 용이하게 제어할 수 있는 이점을 제공할 수 있다.The present invention relates to a field emission device in which the gate electrode is restructured to optimally control the electron beam emitted from the field emission device. To this end, the present invention provides a substrate, a plurality of field emitter tips projecting on the substrate to emit electrons, and a predetermined voltage is applied to form an electric field around the electrons to emit electrons from the field emitter tips. In a field emission device having a plurality of gate electrodes, an electron beam emitted from the tip is provided between the field emitter tips because at least two divided and insulated gate electrodes are provided so as to apply a predetermined voltage independently and independently. It can provide an advantage that can be easily controlled.

Description

필드 에미션 디바이스Field emission devices

제1도는 일반적인 필드 에미션 디스플레이의 기본 단위구성을 도시한 구성도.1 is a block diagram showing the basic unit configuration of a general field emission display.

제2도는 금속 또는 실리콘 표면에 있어서의 터널링 효과를 설명하기 위한 밴드 다이아그램.2 is a band diagram illustrating the tunneling effect on a metal or silicon surface.

제3도는 종래 필드 에미션 디바이스를 개략적으로 도시한 구성도.3 is a schematic view showing a conventional field emission device.

제4도는 본 발명에 따른 필드 에미션 디바이스를 도시한 구성도.4 is a block diagram showing a field emission device according to the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings

22 : 투명전극(또는 에노드전극) 66 : 필드에미터 팁22: transparent electrode (or anode electrode) 66: field emitter tip

80 : 게이트전극 85 : 기판80 gate electrode 85 substrate

87 : 절연체87: insulator

본 발명은 필드에미션 디스플레이(Field Emission display)에 사용되는 필드에미션 디바이스에 관한 것으로서, 더 상세하게는 필드에미션 디바이스에서 방출되는 전자빔을 최적으로 제어하도록 게이트 전극을 구조변경한 필드에미션 디바이스에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to a field emission device for use in field emission displays, and more particularly to a field emission device in which the gate electrode is restructured to optimally control an electron beam emitted from the field emission device. It is about.

일반적으로 필드에미션 디스플레이는 진공관과 달리 전자를 방출하기 위해 열적방출을 이용하는 것이 아니라 실리콘이나 금속팁을 캐소오드로 이용하고 게이트 전극을 상기 팁 가까이 위치시킴으로써 팁 끝에 형성된 강한 전기장으로 전자를 방출시키는 필드에미션을 이용한다.In general, field emission displays, unlike vacuum tubes, do not use thermal emission to emit electrons, but instead use a silicon or metal tip as a cathode and place a gate electrode close to the tip to emit electrons into a strong electric field formed at the tip. Use the emission.

상기와 같은 필드에미션 디스플레이의 기본구성을 제1도에 나타내보였다. 제1도를 참조하면, 필드에미션 디스플레이를 구성하는 최소단위는 마이크로 단위의 3극 진공관의 형태와 유사하다. 즉, 그 표면상에 형광체(4)가 도포 또는 증착된 투명전극(2), 게이트(8), 기판(12)의 팁(6)이, 진공관의 에노드, 그리드, 캐소드와 각각 대응된다고 볼 수 있다. 이와 같은 필드에미션 디스플레이의 구성에 있어서, 팁(6)(또는, 필드에미터 팁)과 게이트(8) 및 투명전극(2; 또는 에노드전극)간에 충분한 전압이 인가되면 강한 전계에 의하여 전자들이 필드에미터 팁(6)으로부터 터널링되어 외부로 방출된다. 필드에미터 팁(6)으로부터 방출된 전자들은 게이트(8)를 통과하면서 가속이 되어 에노드전극(2)상의 형광체(4)의 화소에 높은 에너지를 가지고 충돌하여 해당 형광체를 발광시키게 된다. 이때, 필드에미터 팁(6)에서 방출되는 전자들은 게이트(8)에 거의 흡수되지 않고 형광체(4)에 도달하기 때문에 필드에미션 디스플레이는 높은 발광 효율을 갖게 된다. 여기서, 부재번호 10은 기판(12)과 게이트(8) 사이에 개재되어 이들을 절연하는 절연체이다.The basic configuration of such a field emission display is shown in FIG. Referring to FIG. 1, the minimum unit constituting the field emission display is similar to that of a three-pole vacuum tube in micro units. That is, it is assumed that the transparent electrode 2, the gate 8, and the tip 6 of the substrate 12 having the phosphor 4 coated or deposited on the surface correspond to the anode, grid, and cathode of the vacuum tube, respectively. Can be. In the configuration of the field emission display, when a sufficient voltage is applied between the tip 6 (or the field emitter tip) and the gate 8 and the transparent electrode 2 (or the anode electrode), electrons are generated by a strong electric field. Are tunneled from the field emitter tip 6 and released outward. Electrons emitted from the field emitter tip 6 are accelerated while passing through the gate 8 and collide with high energy to the pixel of the phosphor 4 on the anode electrode 2 to emit the phosphor. At this time, the field emission display has a high luminous efficiency since electrons emitted from the field emitter tip 6 reach the phosphor 4 with little absorption at the gate 8. Here, the member number 10 is an insulator interposed between the substrate 12 and the gate 8 to insulate them.

상기와 같이 필드에미터 팁(6)에서 전자들이 터널링되어 방출되는 원리를 제2도에 나타내 보였다. 제2도는 금속표면 또는 실리콘 표면의 밴드 다이아그램으로서, 이것을 참조하면, 정상상태(바이어스가 없는 상태의 진공레벨)에서 금속표면의 전도대에 있는 전자는 진공장벽에 의해 금속표면 밖으로 방출되지 못하지만, 금속표면에 강한 전기장이 형성(바이어스상태의 진공레벨)되면 진공장벽이 낮아지면서 전자가 금속표면밖으로 터널링될 수가 있게 된다. 여기서, 필드에미터 팁(6) 주변에 형성되는 전기장은 게이트(8) 및 에노드전극(2)에 인가되는 전압과 전극의 위치 및 필드에미터 팁(6)의 기하학적 모양에 의해 결정된다.As shown above, the principle in which electrons are tunneled and emitted at the field emitter tip 6 is shown in FIG. FIG. 2 is a band diagram of a metal surface or silicon surface. Referring to this, in the normal state (vacuum level without bias), electrons in the conduction band of the metal surface are not released out of the metal surface by the vacuum barrier, but the metal If a strong electric field is formed on the surface (the vacuum level in the bias state), the vacuum barrier is lowered and electrons can be tunneled out of the metal surface. Here, the electric field formed around the field emitter tip 6 is determined by the voltage applied to the gate 8 and the anode electrode 2 and the position of the electrode and the geometry of the field emitter tip 6.

상술한 바와 같은 필드에미션 디스플레이를 구성하는 필드에미션 디바이스를 제3도에 나타내 보였는데, 한 필드에미션 디스플레이에는 수십만 내지 수백만개의 필드에미션 디바이스가 포함된다. 도시되어 있는 바와 같은 필드에미션 디바이스의 게이트(8)에 소정의 전압이 인가되면, 팁(6)에서 전자가 방출되어 에노드전극(2)의 형광체에 충돌하게 된다.The field emission device constituting the field emission display as described above is shown in FIG. 3, where one field emission display includes hundreds of thousands to millions of field emission devices. When a predetermined voltage is applied to the gate 8 of the field emission device as shown, electrons are emitted from the tip 6 and collide with the phosphor of the anode electrode 2.

상기와 같이 필드에미션 디바이스를 구성하는 게이트 전극(8) 및 필드에미터 팁(6; 이하 팁이라 약칭한다)에 의해 에노드전극(2)의 A지점에 형성된 형광체(마이크로미터 단위의 수준에서 정확하게 정의된 영역의 형광체)가 발광되기 위해서는 다음과 같은 조건이 필요하다. 즉, 중앙에 위치한 팁(6-C)에서 방출되는 전자빔이 투명전극(2) A지점으로 지향되도록 하기 위해서는 상기 팁(6-C)의 오른쪽 게이트전극(8-C)에 인가되는 전압이 왼쪽 게이트전극(8-B)에 인가되는 전압보다 커야 하고, 왼쪽에 위치한 팁(6-L)에서 방출되는 전자빔이 투명전극(2) A지점으로 지향되도록 하기 위해서는 상기 팁(6-L)의 오른쪽 게이트전극(8-B)에 인가되는 전압이 왼쪽 게이트전극(8-A)에 인가되는 전압보다 커야 하며, 오른쪽 위치한 팁(6-R)에서 방출되는 전자빔이 투명전극(2) A지점으로 지향되도록 하기 위해서는 상기 팁(6-R)의 오른쪽 게이트전극(8-D)에 인가되는 전압이 왼쪽 게이트전극(8-C)에 인가되는 전압보다 작아야 한다는 것을 도시된 게이트전극(8) 구조를 통해 용이하게 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 종래 필드에미션 디바이스의 팁에서 방출되는 전자빔을 소정방향으로 지향시키기 위해서는 소정의 제어회로(미도시)가 게이트에 인가되는 전압을 제어하여야 하는 문제점이 있었다. 이러한 문제점이 발생하는 이유는 하나의 게이트전극이 그 양옆에 존재하는 팁과 관련되어 구동되어야 하기 때문이었다. 즉, 게이트전극(8-B)에 인가되는 전압은 팁(6-C)과 관련해서 낮은 전압이 인가되어야 하고, 팁(6-L)과 관련해서는 높은 전압이 인가되어야 하는 것이다.Phosphor (micrometer level) formed at the point A of the anode electrode 2 by the gate electrode 8 and the field emitter tip (hereinafter abbreviated as tip) constituting the field emission device as described above. In order for the phosphor to emit light accurately defined), the following conditions are required. That is, in order for the electron beam emitted from the tip 6-C located at the center to be directed to the A point of the transparent electrode 2, the voltage applied to the right gate electrode 8-C of the tip 6-C is left. Must be greater than the voltage applied to the gate electrode (8-B), in order to direct the electron beam emitted from the tip (6-L) located on the left to the point A of the transparent electrode (2) to the right of the tip (6-L) The voltage applied to the gate electrode 8-B must be greater than the voltage applied to the left gate electrode 8-A, and the electron beam emitted from the tip 6-R located on the right is directed to the point A of the transparent electrode 2. In order to ensure that the voltage applied to the right gate electrode 8-D of the tip 6-R must be smaller than the voltage applied to the left gate electrode 8-C, the structure of the gate electrode 8 is shown. It will be easy to understand. Accordingly, in order to direct the electron beam emitted from the tip of the conventional field emission device in a predetermined direction, a predetermined control circuit (not shown) has to control the voltage applied to the gate. This problem occurs because one gate electrode must be driven in relation to the tip existing on both sides thereof. That is, the voltage applied to the gate electrode 8 -B should be applied with a low voltage with respect to the tip 6 -C and the high voltage with respect to the tip 6 -L.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 팁에서 방출되는 전자빔의 지향성을 향상시키고, 게이트전극에 인가되는 전압제어를 간단하게 처리하도록 구조개선된 게이트전극을 구비한 필드에미션 디바이스를 제공함에 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and is a field emission device having a gate electrode structured to improve the directivity of an electron beam emitted from a tip and to simplify the voltage control applied to the gate electrode. The purpose is to provide.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 필드 에미션 디바이스는, 기판과, 이 기판상에서 돌출되어 전자를 방출하는 다수의 필드에미터 팁과, 상기 필드에미터 팁에서 전자가 방출되도록 그 주변에 전기장을 형성시키는 다수의 게이트 전극을 구비한 필드에미션 디바이스에 있어서, 상기 필드에미터 팁사이 사이에 독립적으로 소정의 전압이 인가되도록 적어도 2분할되어 절연격리된 게이트 전극들이 마련되어 있는 점에 그 특징이 있다.In order to achieve the above object, the field emission device according to the present invention comprises a substrate, a plurality of field emitter tips protruding on the substrate to emit electrons, and an electric field around the field emitter to emit electrons. A field emission device having a plurality of gate electrodes for forming a plurality of gate electrodes, the gate emission device comprising at least two divided and insulated gate electrodes so that a predetermined voltage is applied between the field emitter tips independently. have.

이하, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 필드에미션 디바이스의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the field emission device according to the present invention.

본 발명에 따른 필드에미션 디바이스는 전자빔의 지향성을 향상시키고, 전자빔의 방출방향을 용이하게 제어할 수 있도록 된 것으로서, 기판(85)과, 이 기판(85)상에서 돌출되어 전자를 방출하는 다수의 필드에미터 팁(66)과 상기 필드에미터 팁(66)에서 전자가 방출되도록 그 주변에 전기장을 형성시키도록 소정의 전압이 인가되는 다수의 게이트 전극(80) 을 구비하는데, 상기 필드에미터 팁(66; 이하 팁이라 약칭한다)사이 사이에는 독립적으로 소정의 전압이 인가되도록 2분할되어 절연격리된 게이트 전극(80A..80F)들이 마련되어 있다. 여기서, 상기 게이트 전극(80A..80F)들은 필드에미터 팁(66)이 콘(cone)형상 또는 웨지(wedge)형상이든 상관없이 2분할되어 절연격리되는데, 특히 콘형상일 경우에 필드에미터 팁(66-L)(66-C)(66-R) 주위에 각각 마련된 게이트전극들의 쌍(80A, 80B), (80C, 80D), (80E, 80F)들도 독립적으로 전압이 인가될 수 있도록 절연격리된다. 즉, 게이트전극 쌍(80A, 80B)에서 80A와 80B는 별개의 전압이 독립적으로 인가될 수 있는 게이트전극인 것이다. 또한, 상기 게이트전극(80)과 기판(85) 사이에는 이들을 절연시키는 절연체(87)가 개재되어 있다.Field emission device according to the present invention is to improve the directivity of the electron beam, and to be able to easily control the emission direction of the electron beam, the substrate 85 and a plurality of protruding from the substrate 85 to emit electrons Field emitter tip 66 and a plurality of gate electrodes 80 to which a predetermined voltage is applied to form an electric field around the electron emitter at the field emitter tip 66. Between the tips 66 (hereinafter abbreviated as tips), gate electrodes 80A..80F are divided and insulated so that a predetermined voltage is applied independently. Here, the gate electrodes 80A..80F are divided into two parts and isolated from each other regardless of whether the field emitter tip 66 is a cone shape or a wedge shape. The pairs of gate electrodes 80A, 80B, 80C, 80D, and 80E and 80F provided around the (66-L), 66-C, and 66-R may also be independently applied with voltage. Insulation is isolated. That is, in the gate electrode pairs 80A and 80B, 80A and 80B are gate electrodes to which separate voltages can be independently applied. An insulator 87 is insulated between the gate electrode 80 and the substrate 85 to insulate them.

상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 필드 에미션 디바이스의 작용 및 동작을 제4도를 참조하면서 상세하게 살펴보면 다음과 같다.Looking at the operation and operation of the field emission device according to the present invention configured as described above in detail with reference to FIG.

에노드전극(22)상에 도포된 형광체의 B지점으로 팁(66)에서 방출된 전자빔을 보내기 위해서는 각 팁(66)사이에 마련된 2분할되어 절연격리된 게이트전극(80A..F)에 인가되는 전압의 크기가 상이해야 한다. 즉, 도면상에서 왼쪽에 위치한 팁(66-L)에서 방출되는 전자빔을 투명전극(22)의 B지점으로 지향시키기 위해서는 상기 팁(66-L)의 좌측에 위치한 게이트 전극(80A)에 인가되는 전압을 그 우측에 위치한 게이트 전극(80B)에 인가되는 전압보다 작게 하면 된다. 그리고, 도면상에서 중앙에 위치한 팁(66-C)에서 방출되는 전자빔을 투명전극(22)의 B지점으로 지향시키기 위해서는 상기 팁(66-C)의 좌측에 위치한 게이트전극(80C)에 인가되는 전압을 그 우측에 위치한 게이트 전극(80D)에 인가되는 전압보다 작게 하면 된다. 또한, 도면상에서 오른쪽에 위치한 팁(66-R)에서 방출되는 전자빔을 투명전극(22)의 B지점으로 지향시키기 위해서는 상기 팁(66-R)의 좌측에 위치한 게이트 전극(80E)에 인가되는 전압을 그 우측에 위치한 게이트 전극(80F)에 인가되는 전압보다 크게 하면 된다.In order to send the electron beam emitted from the tip 66 to the point B of the phosphor coated on the anode electrode 22, it is applied to the divided and insulated gate electrodes 80A..F provided between each tip 66. The magnitudes of the voltages must be different. That is, in order to direct the electron beam emitted from the tip 66 -L located on the left side to the point B of the transparent electrode 22, the voltage applied to the gate electrode 80A located on the left side of the tip 66 -L. It may be smaller than the voltage applied to the gate electrode 80B located on the right side. In addition, in order to direct the electron beam emitted from the tip 66 -C located in the center to the point B of the transparent electrode 22, the voltage applied to the gate electrode 80C located on the left side of the tip 66 -C. What is necessary is just to make it smaller than the voltage applied to the gate electrode 80D located in the right side. In addition, in order to direct the electron beam emitted from the tip 66 -R located on the right side to the point B of the transparent electrode 22, the voltage applied to the gate electrode 80E located on the left side of the tip 66 -R. Is larger than the voltage applied to the gate electrode 80F located on the right side thereof.

더욱이, 상기각 팁에서 방출되는 전자빔을 원하는 위치로 편향시키기 위해서는, 바람직하게 조정하기 위해서는 그 팁을 둘러싸고 있는 게이트전극쌍에 인가되는 전압의 편차를 다른 팁을 둘러싸고 있는 게이트전극쌍에 인가되는 전압의 편차에 대해서 상대적으로 조정하여 수행하면 된다. 또한, 상기 각 팁에서 방출되는 전자빔을 직진시키기 위해서는 상기 게이트전극(80)에 동일한 전압을 인가시키면 된다.Furthermore, in order to deflect the electron beam emitted from each tip to a desired position, preferably, the deviation of the voltage applied to the pair of gate electrodes surrounding the tip is adjusted to the deviation of the voltage applied to the pair of gate electrodes surrounding the other tip. This can be done by adjusting relative to the deviation. In addition, the same voltage may be applied to the gate electrode 80 to advance the electron beams emitted from the tips.

그리고, 본 발명에 따른 필드에미션 디바이스는 각 팁들(66-L, C.R)을 개별적으로 제어할 수 있어, 각 팁에 관련된 전자빔을 동시(종래 기술에서는 불가능함)에 제4도의 점선방향으로 지향시킬 수 있다. 즉, 팁(66-L)으로부터의 방출전자빔을 에노드전극(22)의 C점으로 지향시키기 위해서는 게이트전극(80A)(80B)에 인가되는 전압을 상술한 바와 같이 적절히 조정하면 되고, 팁(66-C)으로부터의 방출전자빔을 에노드전극(22)의 D점으로 지향시키기 위해서는 게이트전극(80C)(80D)에 인가되는 전압을 적절히 조정하면 되고, 팁(66-R)으로부터의 방출전자빔을 에노드전극(22)의 E점으로 지향시키기 위해서는 게이트전극(80E)(80F)에 인가되는 전압을 적절히 조정하면 된다.In addition, the field emission device according to the present invention can individually control the tips 66-L and CR so that the electron beams associated with each tip are directed simultaneously (not possible in the prior art) in the dotted line direction of FIG. You can. That is, in order to direct the emission electron beam from the tip 66-L to the point C of the anode electrode 22, the voltage applied to the gate electrodes 80A and 80B may be adjusted as described above, and the tip ( In order to direct the emission electron beam from 66-C to the point D of the anode electrode 22, the voltage applied to the gate electrodes 80C and 80D may be adjusted appropriately, and the emission electron beam from the tip 66-R may be adjusted. The voltage applied to the gate electrodes 80E and 80F may be appropriately adjusted in order to direct them to the point E of the anode electrode 22.

상술한 바와 같이 본 발명에 따른 필드에미션 디바이스는, 각 팁과 관련된 각 게이트전극이 다른 팁과 관련성이 없어 이들 전극의 제어를 용이하게 할 수 있으며, 각 팁에서 방출되는 전자빔의 방향을 미세하게 조정할 수 있는 이점을 제공할 수 있게 한다. 또한, 각팁과 관련된 전자빔이 분할된 게이트 전극에 의해 독립적으로 구동될 수 있는 이점을 제공한다.As described above, in the field emission device according to the present invention, each gate electrode associated with each tip is not associated with the other tip, thereby facilitating control of these electrodes, and finely adjusting the direction of the electron beam emitted from each tip. Allows you to provide adjustable benefits. It also provides the advantage that the electron beam associated with the angular tip can be driven independently by the divided gate electrode.

Claims (5)

기판과, 이 기판상에서 돌출되어 전자를 방출하는 다수의 필드에미터 팁과, 상기 필드에미터 팁에서 전자가 방출되도록 그 주변에 전기장을 형성시키는 다수의 게이트 전극을 구비한 필드에미션 디바이스에 있어서, 상기 필드에미터 팁사이 사이에 독립 개별적으로 소정의 전압이 인가되도록 적어도 2분할되어 절연격리된 게이트 전극들이 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 필드에미션 디바이스.A field emission device having a substrate, a plurality of field emitter tips protruding from the substrate to emit electrons, and a plurality of gate electrodes forming an electric field around the electrons to emit electrons from the field emitter tips. And at least two divided and insulated gate electrodes are provided between the field emitter tips to independently apply a predetermined voltage. 제1항에 있어서, 상기 필드에미터 팁에서 방출되는 전자를 직진시키기 위해서 상기 팁의 양측에 마련된 상기 게이트 전극에 동일한 전압이 인가되는 것을 특징으로 하는 필드에미션 디바이스.The field emission device according to claim 1, wherein the same voltage is applied to the gate electrodes provided on both sides of the tip to advance electrons emitted from the field emitter tip. 제1항에 있어서, 상기 필드에미터 팁에서 방출되는 전자를 소정각도로 지향시키기 위해서 상기 팁 양측에 마련되어 절연격리된 상기 게이트 전극에 상이한 전압이 인가되는 것을 특징으로 하는 필드에미션 디바이스.The field emission device of claim 1, wherein different voltages are applied to the gate electrodes provided on both sides of the tip to insulate electrons emitted from the field emitter tip at a predetermined angle. 제3항에 있어서, 상기 전자가 지향되는 쪽에 위치한 게이트 전극에 인가되는 전압이 대응되는 게이트 전극에 인가되는 전압보다 더 큰 것을 특징으로 하는 필드에미션 디바이스.4. The field emission device according to claim 3, wherein the voltage applied to the gate electrode located on the side where the electron is directed is greater than the voltage applied to the corresponding gate electrode. 제1항 내지 제4항중의 어느 한 항에 있어서, 상기 각 게이트 전극들에 의해 상기 각 팁들에서 방출되는 전자빔이 동시에 개별적으로 제어되는 것을 특징으로 하는 필드에미션 디바이스.The field emission device according to any one of claims 1 to 4, wherein the electron beams emitted from the respective tips are individually controlled simultaneously by the respective gate electrodes.
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