KR0134345B1 - Optical path regulating apparatus - Google Patents
Optical path regulating apparatusInfo
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- KR0134345B1 KR0134345B1 KR1019930004515A KR930004515A KR0134345B1 KR 0134345 B1 KR0134345 B1 KR 0134345B1 KR 1019930004515 A KR1019930004515 A KR 1019930004515A KR 930004515 A KR930004515 A KR 930004515A KR 0134345 B1 KR0134345 B1 KR 0134345B1
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- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N5/00—Details of television systems
- H04N5/74—Projection arrangements for image reproduction, e.g. using eidophor
Abstract
본 발명은 투사형화상표시장치의 광로조절수단에 관한 것으로서, 경질금속으로 이루어지며 외팔보를 갖는 지지대를 이 외팔보의 소정위치의 하부가 액츄에이터의 상부와 부착되도록 기판상에 고정시켜 이 외팔보의 끝단에 부착된 구동전달부 하부의 변위량을 변위부의 변위량보다 크도록 하여 반사경의 경사각을 크게 한다. 따라서, 다층세라믹을 사용하지 않고 구조가 간단하므로 제조가 쉬우며, 또한 지지부에 의해 액츄에이터의 변위량을 증폭하므로 반사경이 경사각을 증가시킬 수 있다.The present invention relates to an optical path adjusting means of a projection image display device, wherein a support made of hard metal and having a cantilever is fixed on a substrate so that a lower portion of a predetermined position of the cantilever is attached to an upper portion of an actuator and attached to an end of the cantilever beam. The inclination angle of the reflector is increased by making the displacement amount of the lower portion of the drive transmission portion larger than the displacement amount of the displacement portion. Therefore, since the structure is simple without using multilayer ceramics, it is easy to manufacture, and since the displacement amount of the actuator is amplified by the supporting portion, the reflector can increase the inclination angle.
Description
제1도는 종래 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 수단에 대한 단면도.1 is a cross-sectional view of an optical path adjusting means of a conventional projection image display device.
제2도는 본 발명에 따른 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치에 대한 단면도.2 is a cross-sectional view of an optical path adjusting device of a projection image display device according to the present invention.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
30 : 광로 조절 수단 31 : 기판30: optical path adjusting means 31: substrate
33 : 도선 패턴 35 : 신호전극33: wire pattern 35: signal electrode
37 : 변형부 39 : 공통 접지 전극37: deformation portion 39: common ground electrode
40 : 액츄에이터 41 : 지지부40: actuator 41: support
43 : 구동전달부 45 : 반사경43: drive transmission part 45: reflector
본 발명은 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 수단에 관한 것으로서, 특히, 제조가 쉽고 반사경의 경사각을 크게 할 수 있는 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 수단에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical path adjusting means of a projection type image display apparatus, and more particularly to an optical path adjusting means of a projection type image display apparatus which is easy to manufacture and can increase the inclination angle of the reflecting mirror.
화상 표시 장치는 표시 방식에 따라 직시형 화상 표시 장치와 투사형 화상 표시 장치로 구분된다. 직시형 화상 표시 장치는 CRT(Cathod Ray Tube) 등이 있는데, 이러한 CRT 화상 표시 장치는 화질이 좋으나 화면에 커짐에 따라 중량 및 두께의 증가와, 가격이 비싸지는 문제점이 있어 대화면을 구현하는데 한계가 있따. 투사형 화상 표시 장치는 대화면 액정 표시 장치(Liquid Crystal display : 이하 LCD라 칭함)등이 있는데, 이러한 화면 LCD는 박형화가 가능하여 중량을 작게 할 수 있다. 그러나, 이러한 LCD는 편광판에 의한 광의 손실이 크고, LCD를 구동하기 위한 박막 트랜지스터가 화소마다 형성되어 있어 개구율(광의 투과면적)을 높이는데 한계가 있으므로 광의 효율이 매우 낮다.The image display device is classified into a direct view type image display device and a projection type image display device according to a display method. The direct view type image display device includes a CRT (Cathod Ray Tube). The CRT image display device has a good image quality, but has a problem in that a large screen is increased due to an increase in weight and thickness as the size of the screen increases, and a price is expensive. . Projection type image display apparatuses include a large-screen liquid crystal display (hereinafter referred to as LCD), and such a screen LCD can be thinned to reduce its weight. However, such LCDs have a high loss of light due to the polarizing plate, and thin film transistors for driving the LCD are formed for each pixel, so that there is a limit in increasing the aperture ratio (light transmission area).
이러한 LCD의 단점을 보완하고자 미합중국 Aura사에서 액츄에이티드 미러 어레이(Actuated Mirror Arrays : 이하 AMA라 칭함)를 이용한 투사형 화상 표시 장치가 개발되었다. AMA를 이용한 투사형 화상 표시 장치는 광원에서 발광된 백색광을 적색, 녹색 및 청색의 광속(light beam)등으로 분리한 후, 이 광속들을 액츄에이터들의 변형에 의해 기울어지는 반사경들에 각각 반사시켜 광로(light path)들을 조절하고, 이 광속들의 광량을 조절하여 화면으로 투사시키므로서 화상을 나타낸다. AMA는 구동방식에 따라 액츄에이터가 M×1개인 1차원 AMA와 M×N개인 2차원 AMA로 구분된다.In order to make up for the drawbacks of LCDs, Aura has developed a projection image display device using Actuated Mirror Arrays (hereinafter referred to as AMA). A projection type image display using AMA separates white light emitted from a light source into red, green, and blue light beams, and then reflects these light beams on reflectors that are inclined by the deformation of actuators, respectively. paths, and adjusts the amount of light beams to project on the screen to display an image. The AMA is classified into a one-dimensional AMA having an actuator of M × 1 and a two-dimensional AMA having an M × N according to the driving method.
상기에서 액츄에이터는 압전물질이나 전왜물질로 이루어지는 변형부와 전극들을 포함하며 전계발생시 변형되어 상부에 있는 거울을 기울어지게 한다.The actuator includes a deformable part and electrodes formed of a piezoelectric material or a warping material, and deforms when an electric field is generated to tilt the mirror on the top.
제1도는 종래의 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 수단(10)의 단면도이다.1 is a cross-sectional view of an optical path adjusting means 10 of a conventional projection image display apparatus.
상기 광로 조절 수단(10)은 기판(11), 액츄에이터(14) 및 반사경(23)을 포함한다. 상기 기판(11)은 유리 또는 Al2O3등의 절연물질로 이루어지며 화소들마다 트랜지스터들(도시되지 않음)을 가지고 표면에 매트릭스(matrix)형태의 도선 패턴(13)이 형성되어 있다. 또한, 기판(11)은 단결정 실리콘 웨이퍼로 형성될 수도 있다. 액츄에이터(14)는 상기 제1 및 제2변형부들(15)(17)과 신호 및 공통접지전극들(19)(21)로 이루어진다.The optical path adjusting means 10 includes a substrate 11, an actuator 14 and a reflector 23. The substrate 11 is made of an insulating material such as glass or Al 2 O 3 , and has a transistor (not shown) for each pixel, and a conductive pattern 13 having a matrix shape is formed on a surface thereof. In addition, the substrate 11 may be formed of a single crystal silicon wafer. The actuator 14 includes the first and second deformation parts 15 and 17 and the signal and common ground electrodes 19 and 21.
상기에서 제1 및 제2변형부들(15)(17)은 L자 모양을 가지며 거울상으로 배치되어 철()모양으로 기판(11)상에 실장되어 있다. 상기 제1 및 제2변형부들(15)(17)은 압전세라믹으로 이루어져 있으며, 상부에 반사경(23)이 위치되어 있다. 제1 및 제2변형부(15)(17)들은 사이에 신호전극(19)이 이 신호전극(19)과 마주보는 표면에 공통접지전극(19)들이 형성되어 있다. 상기에서 제1 및 제2변형부들(15)(17)은 신호전극(19)과 수직을 이루는 한 방향으로 분극(polarization)되어 있다. 신호전극(19)은 도선패턴(13)과 전기적으로 접속되어 있으며, 공통전극(21)들은 외부 도선 패턴(도시되지 않음)에 의해 인접하는 광로 조절 수단의 공통 전극들과 접속되어 있다.In the above, the first and second deformation parts 15 and 17 have an L-shape and are disposed in a mirror image so that iron ( ) Is mounted on the substrate 11 in a shape. The first and second deformable parts 15 and 17 are made of piezoelectric ceramics, and a reflector 23 is positioned on an upper portion thereof. The common ground electrodes 19 are formed on the surface of the first and second deformable portions 15 and 17 where the signal electrode 19 faces the signal electrode 19. The first and second deformation parts 15 and 17 are polarized in one direction perpendicular to the signal electrode 19. The signal electrode 19 is electrically connected to the conductive line pattern 13, and the common electrodes 21 are connected to common electrodes of adjacent optical path adjusting means by an external conductive pattern (not shown).
또한, 신호 및 공통 전극들(19)(21)은 금속등의 도전성 물질로 형성되며 신호 전압시 제1 및 제2변형부들(15)(17)을 변형시킨다. 즉, 예를 들면, 제1변형부(15)에서 제2변형부(17) 방향으로 분극된 상태에서 신호전극(19)에 신호전압을 인가하면 분극방향과 전계방향은 제1변형부(17)에서 일치하지 않고 제2변형부(19)에서 일치한다. 그러므로, 제1변형부(15)는 수평방향으로 수축하고 수직방향으로 팽창하며, 제2변형부(17)는 수평방향으로 팽창하고 수직방향으로 수축한다. 따라서, 반사경(23)은 제1변형부(15)에서 제2변형부(17) 방향으로 기울어져 경사각을 갖는다. 상기에서 반사경(23)의 경사각을 크게 하여 광로 조절 범위를 크게하기 위해서는 제1 및 제2변형부들(15)(17) 상부의 두께를 작게 하거나 높이를 크게 해야 한다.In addition, the signal and common electrodes 19 and 21 are formed of a conductive material such as metal, and deform the first and second deformation parts 15 and 17 at the signal voltage. That is, for example, when a signal voltage is applied to the signal electrode 19 in a state in which the first deformation unit 15 is polarized in the direction of the second deformation unit 17, the polarization direction and the electric field direction are the first deformation unit 17. ) Does not coincide, but coincides in the second deformation unit 19. Therefore, the first deformable portion 15 contracts in the horizontal direction and expands in the vertical direction, and the second deformed portion 17 expands in the horizontal direction and contracts in the vertical direction. Therefore, the reflector 23 is inclined from the first deformable portion 15 toward the second deformable portion 17 to have an inclination angle. In order to increase the inclination angle of the reflector 23 to increase the optical path control range, the thickness of the upper portions of the first and second deformation parts 15 and 17 should be reduced or increased.
상술한 광로 조절 수단(10)은 신호전극을 형성하기 위한 금속 도전막과 압전 세라믹등이 교호하는 다수의 층으로 적층하며, 한쪽 방향으로 분극하고, 적층방향에 대해 수직으로 절단하여 기판(21)에 실장한다. 그 다음, 금속 도전막 사이의 압전 세라믹등을 쏘잉(sawinig)등의 기계적 절삭 가공에 의해 제1 및 제2변형부들(15)(17) 상부의 두께 및 높이를 한정하고, 스퍼터링등에 의해 제1 및 제2변형부들(15)(17)의 외부표면에 공통접지전극(21)들을 형성하여 M×N 액츄에이터들을 만들고, 이 액츄에이터들의 상부표면에 반사경들을 부착시킨다.The above-described optical path adjusting means 10 is laminated in a plurality of layers in which a metal conductive film for forming a signal electrode, a piezoelectric ceramic, and the like are alternated, polarized in one direction, and cut perpendicularly to the lamination direction to form the substrate 21. Mount on Then, the piezoelectric ceramics, etc., between the metal conductive films are defined by mechanical cutting, such as sawinig, to limit the thickness and height of the upper portions of the first and second deformed portions 15 and 17, and the first by sputtering or the like. And common ground electrodes 21 formed on the outer surfaces of the second deformable portions 15 and 17 to form MxN actuators, and attach reflectors to the upper surfaces of the actuators.
그러나, 상술한 종래의 광로 조절 수단은 M×N개의 액츄에이터들을 만들기 위한 다층 세라믹 사이의 금속 도전막이 평탄하지 않아 기계적 절상가공시 변형부들 상부에 있는 금속 도전막이 제거되어 신호전극이 손상될 수 있는 문제점이 있었다. 또한, 광로 조절 수단은 큰 광로 조절 범위를 갖기 위해 기계적 절삭 방법에 의해 변형부들이 상부의 두께를 얇고 높이를 크게 하여야 하므로 가공과 화소를 고밀도로 하기 어려운 문제점이 있었다.However, the conventional optical path adjusting means described above has a problem that the metal conductive film between the multilayer ceramics for making M × N actuators is not flat so that the metal conductive film on top of the deformed portions may be removed during mechanical round cutting to damage the signal electrode. There was this. In addition, the optical path control means has a problem that it is difficult to make the process and the pixel high density because the deformation parts should have a thin thickness and a high height by the mechanical cutting method in order to have a large optical path control range.
따라서, 본 발명의 목적은 다적층 세라믹을 형성하지 않고 M×N 개의액츄에이터를 만들 수 있는 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 수단을 제공함에 있다.Accordingly, it is an object of the present invention to provide an optical path adjusting means of a projection type image display apparatus capable of making M x N actuators without forming a multilayer ceramic.
본 발명의 다른 목적은 액츄에이터의 미세 변위에 의해 반사경의 경사각이 큰 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 수단을 제공함에 있다.It is another object of the present invention to provide an optical path adjusting means of a projection type image display device having a large inclination angle of a reflecting mirror due to a fine displacement of an actuator.
상기 목적들을 달성하기 위한 본 발명에 따른 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 수단은 화소들마다 트랜지스터들을 가지며 표면에 매트릭스 형태의 도선 패턴이 형성된 기판과; 기판상에 신호전극, 변형부 및 공통 접지 전극이 순차적으로 적층된 구조로 형성되고, 신호전극이 도선패턴과 전기적으로 접속되며, 변형부가 상부 또는 하부 방향중 어느 하나의 방향으로 분극되어 전계 발생시 수직 방향으로 수축 또는 팽창되는 액츄에이터와; 공통 접지 전극 상부에 하부의 소정 부분이 부착된 외팔보를 가지며, 액츄에이터와 인접되게 상기 기판 표면에 부착되어 상기 변형부가 수직 방향으로 수축 또는 팽창될 때 외팔보 끝단이 운동거리가 상기 변형부의 변위량보다 크게 하향 또는 상향으로 연동되는 지지대와; 지지대의 외팔보와 일면이 연결되고, 반대면은 이웃하는 액츄에이터와 연결된 지지대의 외팔보가 형성되지 않은 면과 연결되며 지지대에 의해 하향 또는 상향으로 연동되는 구동전달부와; 구동전달부의 상부에 부착된 반사경을 구비한다.An optical path adjusting means of a projection image display device according to the present invention for achieving the above objects comprises: a substrate having transistors for each pixel and a lead pattern in the form of a matrix formed on a surface thereof; The signal electrode, the deformable part and the common ground electrode are sequentially stacked on the substrate, and the signal electrode is electrically connected to the lead pattern, and the deformed part is polarized in one of the upper and lower directions so that the vertical is generated when the electric field is generated. An actuator contracted or expanded in a direction; The lower part of the common ground electrode has a cantilever beam with a lower portion attached thereto, and is attached to the substrate surface adjacent to the actuator so that the end of the cantilever beam is larger than the displacement amount of the deformation portion when the deformation portion is contracted or expanded in the vertical direction. Or a support that is interlocked upwardly; A drive transmission unit connected to one side of the support cantilever and connected to a surface on which the cantilever of the support connected to a neighboring actuator is not formed and interlocked downwardly or upwardly by the support; It has a reflector attached to the upper portion of the drive transmission.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
제2도는 본 발명의 일실시예에 따른 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 수단(30)의 단면도이다. 광로 조절수단(30)은 기판(31), 액츄에이터(40), 지지부(41), 구동전달부(43) 및 반사경(45)을 구비한다.2 is a cross-sectional view of the optical path adjusting means 30 of the projection image display apparatus according to the embodiment of the present invention. The optical path adjusting means 30 includes a substrate 31, an actuator 40, a support part 41, a drive transmission part 43, and a reflector 45.
기판(31)은 표면에 박막 트랜지스터(도시되지 않음)와 매트릭스 형태의 도선 패턴(33)이 형성된 유리 또는 Al2O3등의 절연물질로 이루어진다. 또한, 기판(31)은 각 화소마다 트랜지스터가 내장되고 표면에 매트릭스 형태의 도선패턴(33)이 형성된 단결정 실리콘 웨이퍼로 이루어질 수도 있다.The substrate 31 is made of an insulating material such as glass or Al 2 O 3 on which a thin film transistor (not shown) and a conductive pattern 33 in a matrix form are formed. In addition, the substrate 31 may be formed of a single crystal silicon wafer in which a transistor is embedded in each pixel and a conductive pattern 33 having a matrix shape is formed on a surface thereof.
액츄에이터(40)는 변형부(37), 신호전극(35) 및 공통 접지 전극(39)을 가지며, 이 신호전극(35)이 도선 패턴(33)과 전기적으로 연결되도록 기판(31)의 상부에 위치되어 있다. 변형부(37)는 BaTiO3, PZT(Pb, La)(Zr, Ti)O3) 또는 PLZT((Pb, La)(Zr, Ti)O3) 등의 압전 세라믹으로 이루어지며 y방향 또는 -y방향으로 분극되어 있거나, 또는 PMN(Pb(Mg, Nb)O3)-PT)PbTIO3)등의 전왜재료로 이루어져 있다. 신호전극(35)은 액츄에이터(40)를 구동시키기 위한 화상 신호를 변형부(37)에 전달하고, 공통 접지 전극(39)은 이웃하는 액츄에이터들의 공통 접지 전극들과 공통 접속되어 있다. 상기에서, 신호전극(35)은 금(Au), 은(Ag), 니켈(Ni) 또는 크롬(Cr) 등으로 형성된다.The actuator 40 has a deformable portion 37, a signal electrode 35, and a common ground electrode 39, and is disposed on the upper portion of the substrate 31 so that the signal electrode 35 is electrically connected to the conductive pattern 33. It is located. Deformation portion 37 is made of piezoelectric ceramics such as BaTiO 3 , PZT (Pb, La) (Zr, Ti) O 3 ) or PLZT ((Pb, La) (Zr, Ti) O 3 ) It is polarized in the y direction, or is made of electrostrictive material such as PMN (Pb (Mg, Nb) O 3 ) -PT) PbTIO 3 ). The signal electrode 35 transmits an image signal for driving the actuator 40 to the deformable portion 37, and the common ground electrode 39 is commonly connected with common ground electrodes of neighboring actuators. In the above, the signal electrode 35 is formed of gold (Au), silver (Ag), nickel (Ni), chromium (Cr), or the like.
지지대(41)는 알루미늄(Al)등의 경질금속이 외팔보를 갖는 'ㄱ'자 모양으로 형성된다. 상기 지지대(41)는 하부가 액츄에이터(40)와 이격되어 기판(31)의 표면에 부착되며, 소정 길이(a)를 갖는 외팔보의 하부표면이 액츄에이터(40)의 공통 접지 전극(39)과 부착되어 있다.The support 41 is formed in a 'b' shape in which a hard metal such as aluminum (Al) has a cantilever. The support 41 has a lower portion spaced apart from the actuator 40 and is attached to the surface of the substrate 31, and a lower surface of the cantilever beam having a predetermined length a is attached to the common ground electrode 39 of the actuator 40. It is.
구동전달부(43)는 'T'자형의 폴리머(polymer)로 이루어지며, 그 하부가 지지대(41) 중 외팔보의 단면과 이웃하는 지지대(41)의 외팔보가 형성되어 있지 않은 측면의 사이에 부착되어 있다. 또한, 구동전달부(43) 상부의 표면에 반사경(45)이 위치된다.The drive transmission part 43 is made of a polymer of 'T' shape, the lower part of which is attached between the cross section of the cantilever beam of the support 41 and the side where the cantilever beam of the neighboring support 41 is not formed. It is. In addition, the reflector 45 is positioned on the surface of the upper portion of the drive transmission 43.
그러므로, 구동전달부(43)는 반사경(45)이 위치되는 상부를 경질의 폴리머로, 지지대(41)의 외팔보와 부착되는 하부는 연질의 폴리머로 형성되어 있다.Therefore, the drive transmission part 43 is formed of a hard polymer in the upper portion where the reflector 45 is located, and a lower polymer attached to the cantilever beam of the support 41 is made of soft polymer.
상술한 광로 조절 수단(30)의 동작을 설명하면 다음과 같다.The operation of the optical path adjusting means 30 described above is as follows.
먼저, 신호전극(35)에 양(+)의 화상 신호가 입력되면 반사경(45)은 시계 방향으로 기울게 되고, 신호전극(35)에 음(-)의 화상 신호가 입력되면 반사경(45)은 반시계 방향으로 기울게 된다.First, when a positive image signal is input to the signal electrode 35, the reflector 45 is inclined clockwise. When a negative image signal is input to the signal electrode 35, the reflector 45 is Tilt counterclockwise.
상술한 반사경(45)이 시계방향 또는 반시계 방향으로 기울어지는 동작을 좀더 구체적으로 설명하면, 신호전극(35)에 양(+)의 화상 신호가 인가되면, 변형부(37)는 분극방향과 전계방향이 일치되어 y축상으로 소정거리(c)만큼 팽창된다. 지지부(41)는 변형부(37)의 변위에 따라 외팔보를 y축을 따라 상방향으로 움직이게 되고, 지지부(41)의 외팔보 끝단에 부착된 구동전달부(43)의 하부가 원래 위치보다 높아지게 되어 그 상부에 위치되어 있는 반사경(45)은 시계 방향으로 경사지게 된다.In more detail, the tilting of the reflector 45 in the clockwise or counterclockwise direction will be described in detail. When a positive image signal is applied to the signal electrode 35, the deformable part 37 may have a polarization direction. The electric field directions coincide with each other and are expanded by a predetermined distance c on the y axis. The support part 41 moves the cantilever beam upward along the y axis according to the displacement of the deformation part 37, and the lower part of the drive transmission part 43 attached to the cantilever end of the support part 41 becomes higher than its original position. The reflector 45 positioned at the top is inclined clockwise.
이와는 반대로, 신호전극(35)에 음(-)의 화상 신호가 인가되면, 변형부(37)는 분극 방향과 전계방향이 반대로 되어 y축상으로 소정거리(c)만큼 수축된다. 지지부(41)는 변형부(37)의 변위에 따라 외팔보를 y축을 따라 하방향으로 움직이게 되고, 지짖부(41)의 외팔보 끝단에 부착된 구동전달부(43)의 하부가 원래 위치보다 낮아지게 되어 그 상부에 위치되어 있는 반사경(45)은 반시계 방향으로 경사지게 된다.On the contrary, when a negative (-) image signal is applied to the signal electrode 35, the deformable portion 37 is reversed in the polarization direction and the electric field direction and contracted by a predetermined distance c on the y axis. The support part 41 moves the cantilever downward along the y axis according to the displacement of the deformation part 37, and the lower part of the drive transmission part 43 attached to the cantilever end of the support part 41 is lower than the original position. The reflecting mirror 45 positioned at the upper portion thereof is inclined counterclockwise.
이때, 변형부(37)의 팽창 또는 수축되는 소정 거리(c)는 신호전극(35)에 인가되는 화상신호의 크기와 비례한다.In this case, the predetermined distance c at which the deformation portion 37 is expanded or contracted is proportional to the magnitude of the image signal applied to the signal electrode 35.
또한, 변형부(37)의 x축 중심과 지지대(41)의 거리를 a라 하고 외팔보의 거리를 b라고 하면 지지대(41)의 외팔보 끝단과 부착되어 있는 구동전달부(43)의 하부는 -y또는 y방향으로 b/a×c만큼 변위량이 신장되어 반사경의 경각을 크게 한다.In addition, if the distance between the center of the x-axis of the deformable portion 37 and the support 41 is a and the distance of the cantilever is b, the lower portion of the drive transmission portion 43 attached to the cantilever end of the support 41 is − The displacement amount is extended by b / a × c in the y or y direction to increase the tilt angle of the reflector.
상술한 바와 같이 지지대는 경질 금속으로 이루어지며 외팔보를 갖으며, 외팔보의 소정 위치 하부가 변형부의 상부와 부착되도록 기판상에 고정시켜 이 외팔보의 끝단에 부착된 구동전달부 하부의 변위량을 변형부의 변위량보다 크도록 하여 반사경의 경사각을 크게 한다.As described above, the support is made of hard metal and has a cantilever, and the displacement amount of the lower portion of the drive transmission portion attached to the end of the cantilever is fixed on the substrate so that the lower portion of the cantilever is attached to the upper portion of the deformable portion. The larger the larger the inclination angle of the reflector.
따라서, 본 발명은 다층 세라믹을 사용하지 않고 구조가 간단하므로 제조가 쉬운 잇점이 있다. 또한, 지지부에 의해 액츄에이터의 변위량을 증폭하므로 반사경의 경사각을 증가시킬 수 있는 잇점이 있다.Therefore, the present invention has the advantage of easy manufacturing because the structure is simple without using multilayer ceramics. In addition, since the displacement amount of the actuator is amplified by the support, there is an advantage in that the inclination angle of the reflector can be increased.
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| KR1019930004515A KR0134345B1 (en) | 1993-03-23 | 1993-03-23 | Optical path regulating apparatus |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR0134345B1 (en) |
-
1993
- 1993-03-23 KR KR1019930004515A patent/KR0134345B1/en not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR940022622A (en) | 1994-10-21 |
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Legal Events
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