KR0131337Y1 - Improved up and down moving apparatus - Google Patents
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Abstract
고정판(2)과, 고정판(2)의 한쪽면에 설치되는 볼나사축(6)과, 고정판(2)의 한쪽면에 설치되는 모터(10)와, 모터(10)의 회전력을 볼나사축(6)에 전달하는 벨트(12)와, 고정판(2)의 한쪽면에 고정 설치되는 복수개의 안내막대(8)와, 고정판(2)과 일정간격을 두고 설치되며 안내막대(8)가 통과하는 안내구멍(24)이 형성되고 볼나사축(6)과 결합하는 볼나사너트(18)가 설치되는 이동판(4)을 포함하는 평행도가 향상된 상하 이동장치를 제공한다.The rotational force of the fixed plate 2, the ball screw shaft 6 provided on one side of the fixed plate 2, the motor 10 provided on one side of the fixed plate 2, and the motor 10 is measured. The belt 12 to be transmitted to (6), a plurality of guide bars (8) fixed to one side of the fixed plate (2), the fixed plate 2 is provided with a fixed interval and the guide rod (8) passes through It provides a vertical movement device with improved parallelism including a moving plate 4 is formed with a guide hole 24 is formed and the ball screw nut 18 is engaged with the ball screw shaft (6).
볼나사축을 네 개 이상 설치하고, 안내막대는 설치하지 않아도 좋다. 이동판(4)과 일정간격을 두고 상기한 안내막대(8)가 통과하는 안내구멍(18)이 형성된 제2고정판(26)을 더 설치하고, 고정판(2)에 설치되어 있던 볼나사축(6)과 모터(10)를 이동판(4)에 설치하며, 이동판(4)에 설치되어 있던 볼나사너트(18)를 제2고정판(26)에 설치하여도 좋다.It is not necessary to install more than four ball screw shafts and guide rods. A second fixing plate 26 having a guide hole 18 through which the guide rod 8 passes through the moving plate 4 at a predetermined interval is further provided, and the ball screw shaft provided on the fixed plate 2 ( 6) and the motor 10 may be provided on the moving plate 4, and the ball screw nut 18 provided on the moving plate 4 may be provided on the second fixing plate 26.
Description
제1도는 본 고안 평행도가 향상된 상하 이동장치의 일실시예를 나타내는 평면도.1 is a plan view showing an embodiment of the vertical movement device improved parallelism of the present invention.
제2도는 제1도의 A-A 단면도.2 is a cross-sectional view taken along line A-A of FIG.
제3도는 본 고안 평행도가 형성된 상하 이동장치의 다른 실시예를 나타내는 단면도.Figure 3 is a cross-sectional view showing another embodiment of the vertical movement device formed parallelism of the present invention.
제4도는 본 고안 평행도가 향상된 상하 이동장치를 복합하여 적용한 반도체 조립 장비인 스크린 프린터를 개략적으로 나타낸 사시도.Figure 4 is a perspective view schematically showing a screen printer which is a semiconductor assembly equipment applied by combining the vertical movement device with improved parallelism of the present invention.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
2 : 고정판 4 : 이동판2: fixed plate 4: moving plate
6 : 볼나사축 8 : 안내막대6: Ball screw shaft 8: Guide bar
10 : 모터 12 : 벨트10 motor 12 belt
14 : 풀리 16 : 풀리14: Pulley 16: Pulley
18 : 볼나사너트 20 : 브래킷18: Ball screw nut 20: Bracket
22 : 브래킷 24 : 안내구멍22 bracket 24 guide hole
26 : 제2고정판26: second fixed version
[산업상의 이용분야][Industrial use]
본 고안은 평행도가 향상된 상하 이동장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체 조립 장비에서 정확하게 평행도를 유지하며 상하 이동하는 것이 가능한 평행도가 향상된 상하 이동장치에 관한 것이다.The present invention relates to a vertical movement device with improved parallelism, and more particularly, to a vertical movement device with improved parallelism capable of vertically moving while maintaining precise parallelism in semiconductor assembly equipment.
[종래의 기술][Prior art]
종래의 반도체 조립 장비 예를 들면, 스크린 프린터(screen printer)나 아우터리드본딩(outer lead bonding) 등의 장비에 있어서는 대체로 정밀한 위치제어와 평행도가 요구되는 데, 상기와 같은 장비에서 작업대를 상하 이동시키기 위한 상하 이동장치는 판형상의 작업대와, 상기한 작업대의 한쪽에 설치되는 두 개의 안내막대와, 상기한 안내막대를 지지하는 기둥과, 상기한 두 개의 안내막대와 삼각형상을 이루며 상기한 작업대의 다른쪽 중앙부에 설치되는 볼나사와, 상기한 볼나사를 회전시키기 위한 모터와, 상기한 모터의 회전력을 상기한 볼나사에 전달하는 벨트로 구성된다.Conventional semiconductor assembly equipment such as screen printers or outer lead bonding generally requires precise position control and parallelism. The vertical movement device for the plate-shaped workbench, two guide rods installed on one side of the workbench, the pillar supporting the guide bar, and the two guide rods to form a triangular shape and the other A ball screw provided in the central portion, a motor for rotating the ball screw, and a belt for transmitting the rotational force of the motor to the ball screw.
상기와 같이 구성된 상하 이동장치는 상기한 모터의 회전력이 벨트를 통하여 볼나사에 전달되어 볼나사가 회전하면, 작업대는 안내막대를 따라 이동한다. 이때, 모터의 회전방향에 따라서 작업대는 위 또는 아래로 이동한다.In the vertical movement device configured as described above, when the rotational force of the motor is transmitted to the ball screw through the belt and the ball screw rotates, the work table moves along the guide bar. At this time, the working table moves up or down according to the rotation direction of the motor.
[고안이 해결하고자 하는 과제][Problem to Solve]
상기와 같이 구성되고 작동하는 종래의 상하 이동장치는 작업대의 한쪽에 설치된 두 개의 안내막대는 단순히 안내기능만 행하고, 다른쪽 중앙부에 설치된 볼나사가 작업대를 상하 이동시키기 때문에, 작업대의 한쪽으로만 힘이 가해지게 되고, 작업대의 수평면에 대한 평행도가 커지게 된다.In the conventional vertical movement device configured and operated as described above, the two guide bars installed on one side of the work table merely perform the guiding function, and the ball screw installed on the other center moves the work table up and down. This is applied, and the parallelism with respect to the horizontal plane of the work table becomes large.
또, 종래의 상하 이동장치는 두 개의 안내막대를 지지하기 위한 기둥이 설치되므로 장비가 매우 무겁고 공간을 많이 차지한다는 문제가 있다.In addition, the conventional vertical movement device has a problem that the equipment is very heavy and takes up a lot of space because the pillars for supporting the two guide rods are installed.
[과제를 해결하기 위한 수단][Means for solving the problem]
상기와 같은 문제를 해결하기 위하여 본 고안이 강구한 수단은 고정판과, 상기한 고정판의 한쪽면에 설치되는 하나 이상의 볼나사축과, 상기한 고정판의 한쪽면에 설치되는 모터와, 상기한 모터의 회전력을 상기한 볼나사축에 전달하는 회전력 전달 수단과, 상기한 고정판의 한쪽면에 고정 설치되는 복수개의 안내막대와, 상기한 고정판과 일정간격을 두고 설치되며 상기한 안내막대가 통과하는 안내구멍이 형성되고 상기한 볼나사축과 결합하는 볼나사너트가 설치되는 이동판을 포함하는 평행도가 향상된 상하 이동장치를 제공하는 것이다.Means devised by the present invention to solve the above problems include a fixed plate, one or more ball screw shafts installed on one side of the fixed plate, a motor installed on one side of the fixed plate, and the motor. Rotation force transmission means for transmitting the rotational force to the ball screw shaft, a plurality of guide rods fixed to one side of the fixed plate, and a guide hole which is installed at a predetermined interval with the fixed plate, the guide rod passes through It is to provide a vertical movement device having improved parallelism including a moving plate is formed and the ball screw nut is coupled to the ball screw shaft is installed.
상기한 회전력전달수단은 벨트로 이루어지고, 상기한 볼나사축의 상기한 고정판쪽 끝부분과 상기한 모터의 축에는 풀리가 장착되며, 상기한 벨트를 상기한 풀리에 걸어 모터의 회전력을 볼나사축에 전달한다. 또, 상기한 볼나사축과 모터는 브래킷을 사용하여 상기한 고정판에 설치된다.The rotational force transmission means is made of a belt, and a pulley is mounted on the fixed plate side end of the ball screw shaft and the shaft of the motor, and the rotational force of the motor is hung by hooking the belt on the pulley. To pass on. In addition, the ball screw shaft and the motor are mounted to the fixed plate using a bracket.
그리고, 상기에서 볼나사를 네 개 이상 설치하여 안내막대의 기능도 갖게 하면, 안내막대를 설치하지 않아도 된다.In addition, if four or more ball screws are provided to provide a function of the guide bar, the guide bar does not need to be provided.
더욱이, 상기한 상하 이동장치에 있어서, 상기한 이동판과 일정간격을 두고 제2고정판을 더 설치하고, 상기한 고정판에 설치된 볼나사축과 모터를 이동판에 설치하며, 상기한 이동판에 설치된 볼나사너트를 상기한 제2고정판에 설치하는 것도 가능하다.Furthermore, in the vertical movement device, the second fixing plate is further installed at a predetermined distance from the moving plate, the ball screw shaft and the motor installed on the fixed plate are installed on the moving plate, and the moving plate is installed on the moving plate. It is also possible to install the ball screw nut on the second fixing plate.
[기능 및 작용][Functions and actions]
상기와 같이 구성된 본 고안 평행도가 향상된 상하 이동장치는 상기한 고정판에 설치된 모터가 회전하면, 이 모터의 회전력이 벨트를 통하여 상기한 고정판에 설치된 볼나사축에 전달되고, 볼나사축이 회전하면 상기한 이동판에 설치된 볼나사너트가 상기한 볼나사축과 결합되어 있기 때문에 이동판이 이동하게 된다. 이때, 이동판은 모터의 회전방향에 의하여 위 또는 아래로 이동하게 된다. 또, 이동판의 이동은 안내막대에 의해 좌우의 흔들림이 방지되어 높은 정밀도의 평행도가 유지된다.The vertical movement device of the present invention having the improved parallelism configured as described above, when the motor installed on the fixed plate rotates, the rotational force of the motor is transmitted to the ball screw shaft installed on the fixed plate through the belt, and the ball screw shaft rotates. Since the ball screw nut installed on one moving plate is coupled with the ball screw shaft, the moving plate moves. At this time, the moving plate is moved up or down by the rotation direction of the motor. In addition, the movement of the movable plate is prevented from shaking left and right by the guide bar, so that high precision parallelism is maintained.
또, 볼나사를 네 개 이상 설치한 경우에 있어서는 안내막대가 없어도 상기한 이동판이 골고루 분산되어 볼나사의 이동력을 받기 때문에 또한 높은 정밀도의 평행도가 유지된다.In the case where four or more ball screws are provided, even if there is no guide bar, the moving plates are evenly distributed and receive the moving force of the ball screws, and thus high precision parallelism is maintained.
상기에서 이동판의 이동거리는 볼나사축의 길이에 의해 결정된다.In the above, the moving distance of the moving plate is determined by the length of the ball screw shaft.
더욱이, 제2고정판을 설치한 경우에 있어서는 모터가 회전하면, 모터의 회전력이 벨트를 통하여 상기한 이동판에 설치된 볼나사축에 전달되고, 상기한 볼나사축과 상기한 제2고정판에 설치된 볼나사너트가 결합되어 있으므로 상기한 볼나사축의 회전에 의하여 이동판이 상하로 이동하게 된다. 이 경우에 있어서, 이동판의 이동거리는 고정판과 제2고정판의 간격에 의해 결정된다.Furthermore, in the case where the second fixing plate is provided, when the motor rotates, the rotational force of the motor is transmitted to the ball screw shaft provided on the moving plate through the belt, and the ball provided on the ball screw shaft and the second fixing plate described above. Since the screw nut is coupled, the movable plate moves up and down by the rotation of the ball screw shaft. In this case, the moving distance of the moving plate is determined by the distance between the fixed plate and the second fixed plate.
또한, 상기한 평행도가 향상된 상하 이동장치는 하나의 장비에서 여러개를 복합적으로 적용할 수도 있다.In addition, the vertical movement device with improved parallelism may be applied to a plurality of in one equipment.
[실시예]EXAMPLE
다음으로 본 고안 평행도가 향상된 상하 이동장치의 가장 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.Next, with reference to the drawings the most preferred embodiment of the vertical movement device improved parallelism of the present invention will be described in detail.
먼저 제1도∼제2도에 나타낸 바와 같이, 본 고안 평행도가 향상된 상하 이동장치의 일실시예는 고정판(2)과, 상기한 고정판(2)의 한쪽면에 설치되는 볼나사축(6)과, 상기한 고정판(2)의 한쪽면에 설치되는 모터(10)와, 상기한 모터(10)의 회전력을 상기한 볼나사축(6)에 전달하는 회전력 전달 수단과, 상기한 고정판(2)의 한쪽면에 고정 설치되는 네 개의 안내막대(8)와, 상기한 고정판(2)과 일정간격을 두고 설치되며 상기한 안내막대(8)가 통과하는 안내구멍(24)이 형성되고 상기한 볼나사축(6)과 결합하는 볼나사너트(18)가 설치되는 이동판(4)을 포함한다.First, as shown in FIGS. 1 to 2, one embodiment of the vertical movement device with improved parallelism of the present invention includes a fixed plate 2 and a ball screw shaft 6 provided on one side of the fixed plate 2. And a rotation force transmitting means for transmitting the rotational force of the motor 10 installed on one side of the fixing plate 2 to the ball screw shaft 6, and the fixing plate 2 described above. Four guide rods 8 fixedly installed on one side of the guide plate, and the guide plate 24 through which the guide rods 8 pass through the guide plates 8 are formed at a predetermined interval from the fixing plate 2, And a moving plate 4 on which a ball screw nut 18 is coupled to the ball screw shaft 6.
상기한 회전력 전달 수단은 벨트(12)로 이루어지고, 상기한 볼나사축(6)의 상기한 고정판(2)쪽 끝부분과 상기한 모터(10)의 축에는 풀리(14),(16)가 장착되며, 상기한 벨트(12)를 상기한 풀리(14),(16)에 걸어 모터(10)의 회전력을 볼나사축(6)에 전달한다. 또, 상기한 볼나사축(6)과 모터(10)는 브래킷(20),(22)을 사용하여 상기한 고정판(2)에 설치된다.The rotational force transmission means is composed of a belt 12, the pulley 14, 16 to the end of the fixed plate (2) side of the ball screw shaft (6) and the shaft of the motor (10). The belt 12 is mounted on the pulleys 14 and 16 to transmit the rotational force of the motor 10 to the ball screw shaft 6. In addition, the ball screw shaft 6 and the motor 10 are attached to the fixing plate 2 using the brackets 20 and 22.
상기에서 본 실시예에서는 볼나사를 하나 설치하고 안내막대를 네 개 설치했지만, 볼나사를 두 개 이상 설치하여도 좋고, 안내막대도 두 개 이상 설치하면 된다.In the above embodiment, one ball screw is installed and four guide bars are installed, but two or more ball screws may be installed, and two or more guide bars may be installed.
특히, 볼나사를 네 개 이상 설치하여 안내막대의 기능도 갖게 하면, 안내막대를 설치하지 않아도 된다.In particular, if four or more ball screws are provided to provide the function of the guide bar, the guide bar does not need to be provided.
더욱이, 상기한 상하 이동장치에 있어서 제3도에 나타낸 바와 같이, 상기한 이동판(4)과 일정간격을 두고 제2고정판(26)을 더 설치하고, 상기한 실시예에서는 고정판(2)에 설치되어 있던 볼나사축(6)과 모터(10)를 이동판(4)에 옮겨 설치하며, 상기한 실시예에서는 이동판(4)에 설치되어 있던 볼나사너트(18)를 상기한 제2고정판(26)에 설치하는 것도 가능하다.Furthermore, in the above-described vertical movement device, as shown in FIG. 3, the second fixing plate 26 is further provided at a predetermined interval from the moving plate 4, and in the embodiment described above, the fixing plate 2 is provided. The ball screw shaft 6 and the motor 10, which have been installed, are moved to the moving plate 4, and in the above-described embodiment, the ball screw nut 18 provided on the moving plate 4 is described above. It is also possible to install on the fixed plate 26.
상기에서 제2고정판(26)에는 상기한 고정판(2)에 설치된 안내막대(8)가 삽입되는 안내구멍(24)이 형성되고, 상기한 안내막대(8)가 이동판(4)을 거쳐서 제2고정판(26)을 관통하게 된다.The second fixing plate 26 is formed with a guide hole 24 into which the guide bar 8 installed in the fixing plate 2 is inserted, and the guide bar 8 is formed through the moving plate 4. It penetrates the 2 fixing plate 26.
다음으로 상기와 같이 구성된 본 고안 평행도가 향상된 상하 이동장치의 작동 과정을 설명한다.Next, a description will be given of the operation process of the vertical movement device improved in parallel with the present invention configured as described above.
먼저, 상기한 고정판(2)에 설치된 모터(10)가 회전하면, 이 모터(10)의 회전력이 벨트(12)를 통하여 상기한 고정판(2)에 설치된 볼나사축(6)에 전달되고, 볼나사축(6)이 회전하면 상기한 이동판(4)에 설치된 볼나사너트(18)가 상기한 볼나사축(6)과 결합되어 있기 때문에 이동판(4)이 이동하게 된다. 이때, 이동판(4)은 모터(10)의 회전방향에 의하여 위 또는 아래로 이동하게 된다. 또, 이동판(4)의 이동은 안내막대(8)에 의해 좌우의 흔들림이 방지되어 높은 정밀도의 평행도가 유지된다.First, when the motor 10 installed in the fixed plate 2 rotates, the rotational force of the motor 10 is transmitted to the ball screw shaft 6 provided in the fixed plate 2 through the belt 12, When the ball screw shaft 6 rotates, the moving plate 4 moves because the ball screw nut 18 installed on the moving plate 4 is engaged with the ball screw shaft 6. At this time, the moving plate 4 is moved up or down by the rotation direction of the motor 10. In addition, the movement of the movable plate 4 is prevented from shaking left and right by the guide bar 8, so that high precision parallelism is maintained.
또, 볼나사를 네 개 이상 설치하고 안내막대를 설치하지 않은 경우에 있어서는 상기한 볼나사의 이동력이 상기한 이동판(4)에 골고루 분산되어 작용하기 때문에 또한 높은 정밀도의 평행도가 유지된다.In the case where four or more ball screws are provided and guide bars are not provided, the above-described ball screw movement force is evenly distributed and acted on the moving plate 4, so that high precision parallelism is maintained.
상기에서 이동판(4)의 이동거리는 볼나사축(6)의 길이에 의해 결정된다.In the above, the moving distance of the moving plate 4 is determined by the length of the ball screw shaft 6.
더욱이, 제2고정판(26)을 설치한 경우에 있어서는 모터(10)가 회전하면, 모터(10)의 회전력이 벨트(12)를 통하여 상기한 이동판(4)에 설치된 볼나사축(6)에 전달되고, 상기한 볼나사축(6)과 상기한 제2고정판(26)에 설치된 볼나사너트(18)가 결합되어 있으므로 상기한 볼나사축(6)의 회전에 의하여 이동판(4)이 상하로 이동하게 된다. 이 경우에 있어서, 이동판(4)의 이동거리는 고정판(2)과 제2고정판(26)의 간격에 의해 결정된다.Furthermore, in the case where the second fixing plate 26 is provided, when the motor 10 rotates, the ball screw shaft 6 provided on the moving plate 4 with the rotational force of the motor 10 via the belt 12. Transferred to the ball screw shaft 6 and the ball screw nut 18 installed on the second fixing plate 26 is coupled, so that the movable plate 4 is rotated by the ball screw shaft 6. This moves up and down. In this case, the moving distance of the moving plate 4 is determined by the distance between the fixed plate 2 and the second fixed plate 26.
한편, 제4도는 본 고안 평행도가 향상된 상하 이동장치의 상기한 실시예를 두 개 이상 복합적으로 적용한 반도체 조립 장비의 하나인 스크린 프린터를 나타낸 것이다.On the other hand, Figure 4 shows a screen printer which is one of the semiconductor assembly equipment to which two or more of the above-described embodiments of the vertical movement device with improved parallelism of the present invention is applied.
제4도에 나타낸 스크린 프린터는 고정판에 해당하는 콘베이어판(32)과, 상기한 콘베이어판(32)에 설치되는 안내막대(33)와, 이동판에 해당하는 공구대(34)와, 제2고정판에 해당하는 수직이동판(36)과, 상기한 수직이동판(36)에 설치되는 볼나사축(37)과, 상기한 수직이동판(36)에서 일정간격을 두고 설치되는 고정판(38)과, 상기한 고정판(38)에 설치되는 볼나사너트(39)와, 상기한 고정판(38)에서 일정간격을 두고 설치되는 수평이동판(40)과, 상기한 수평이동판(40)에 설치되고 상기한 고정판(38)에 연결된 모터(41)와, 상기한 수평이동판(40)이 이동 가능하게 장착되는 Y축판(42)과, 상기한 Y축판(42)이 이동 가능하게 장착되는 X축판(44)과, 상기한 콘베이어판(32)에 설치되는 수평안내막대(45)와, 상기한 수평안내막대(45)의 위에 설치되는 한쌍의 콘베이어 막대(46)와, 상기한 콘베이어 막대(46)의 하나에 연결되어 콘베이어의 폭을 조정하는 조정막대(47)와, 상기한 조정막대(47)와 볼나사로 연결되어 상기한 조정막대(47)를 이동시키는 모터(48)로 구성된다.The screen printer shown in FIG. 4 includes a conveyor plate 32 corresponding to a fixed plate, a guide bar 33 provided on the conveyor plate 32, a tool stand 34 corresponding to a moving plate, and a second plate. Vertical moving plate 36 corresponding to the fixed plate, the ball screw shaft 37 is installed on the vertical moving plate 36, and the fixed plate 38 is provided at a predetermined interval from the vertical moving plate 36 And a ball screw nut 39 installed on the fixed plate 38, a horizontal movable plate 40 installed at a fixed interval from the fixed plate 38, and the horizontal movable plate 40. And the Y-axis plate 42 on which the motor 41 connected to the fixed plate 38 and the horizontal plate 40 are movably mounted, and the Y-axis plate 42 is movably mounted. A shaft plate 44, a horizontal guide rod 45 provided on the conveyor plate 32, a pair of conveyor rods 46 installed on the horizontal guide rod 45, and the An adjustment rod 47 connected to one of the conveyor rods 46 to adjust the width of the conveyor, and a motor 48 connected to the adjustment rod 47 and the ball screw to move the adjustment rod 47. It is composed.
상기에서 콘베이어판(32)과 공구대(34)와 수직이동판(36)의 구조는 제3도에 나타낸 실시예를 적용한 것이고, 수직이동판(36)과 고정판(38)의 구조는 안내막대를 사용하지 않고 볼나사를 네 개 사용한 실시예를 적용한 것이며, 상기 실시예에 따르면 수직이동판(36)이 고정판의 기능을 하고 고정판(38)이 이동판의 기능을 해야 하지만, 상기한 실시예와는 달리 이동판의 기능을 하는 고정판(38)이 상기한 수평이동판(40)에 고정된 모터(41)에 연결되어 위치가 고정되므로 상기한 수직이동판(36)이 이동하게 된다.In the above, the structure of the conveyor plate 32, the tool bar 34, and the vertical moving plate 36 applies the embodiment shown in FIG. 3, and the structure of the vertical moving plate 36 and the fixed plate 38 is a guide bar. The embodiment using the four ball screws without using, according to the above embodiment, the vertical movable plate 36 should function as a fixed plate and the fixed plate 38 should function as a movable plate. Unlike the fixed plate 38 which functions as a moving plate is connected to the motor 41 fixed to the horizontal plate 40, the position is fixed, so that the vertical plate 36 is moved.
상기와 같이 구성된 스크린 프린터에서 공구대의 상하 이동은 상기한 수직이동판(36)에 설치된 모터(도면에 나타내지 않음)가 회전하여 상기한 네 개의 볼나사축(37)을 회전시키는 것과, 상기한 공구대(34)에 설치된 모터(도면에 나타내지 않음)가 회전하여 상기한 공구대(34)에 설치된 볼나사(도면에 나타내지 않음)를 회전시키는 것에 의해 행해진다. 즉, 네 개의 볼나사축(37)에 의하여 고정판(38)과 수직이동판(36) 사이의 간격이 변화하고, 상기한 공구대(34)에 설치된 볼나사에 의하여 상기한 콘베이어판(32)과 공구대(34)의 간격이 변화한다.In the screen printer configured as described above, the vertical movement of the tool post is performed by rotating a motor (not shown) installed in the vertical moving plate 36 to rotate the four ball screw shafts 37 as described above. The motor (not shown) provided in the base 34 rotates to rotate the ball screw (not shown) provided in the tool stand 34 described above. That is, the distance between the fixed plate 38 and the vertical moving plate 36 is changed by four ball screw shafts 37, and the conveyor plate 32 is formed by the ball screw installed on the tool stand 34. And the spacing of the tool post 34 change.
상기와 같이 공구를 장착한 공구대를 상하 이동시키는 것에 의해 공구를 작업 위치에 위치시키고, 콘베이어 막대(36)에 의해 이송되어 오는 반도체 부품에 대한 가공을 행한다.The tool is positioned at the work position by moving the tool post on which the tool is mounted up and down as described above, and the semiconductor component transferred by the conveyor bar 36 is processed.
[고안의 효과][Effect of design]
상기와 같이 구성되고 작동되는 본 고안 평행도가 향상된 상하 이동장치를 사용하면, 반도체 제조공정 등의 정밀작업을 행할 때에, 종래와 달리 복수개의 안내막대와 볼나사에 의해 이동판의 전체가 균형을 이루며 상하 이동하므로 높은 정밀도로 이동판의 평행도가 유지된다.When using the vertical movement device with improved parallelism of the present invention constructed and operated as described above, when performing precision work such as semiconductor manufacturing process, the entire moving plate is balanced by a plurality of guide bars and ball screws, unlike the conventional art. Because of vertical movement, the parallelism of the moving plate is maintained with high precision.
또, 종래와 달리 기둥이 필요하지 않기 때문에 장비의 무게가 줄어들고, 소형화가 가능하다.In addition, unlike the related art, since the pillar is not required, the weight of the equipment is reduced, and the miniaturization is possible.
Claims (6)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019950054322U KR0131337Y1 (en) | 1995-12-30 | 1995-12-30 | Improved up and down moving apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019950054322U KR0131337Y1 (en) | 1995-12-30 | 1995-12-30 | Improved up and down moving apparatus |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970046874U KR970046874U (en) | 1997-07-31 |
| KR0131337Y1 true KR0131337Y1 (en) | 1999-02-01 |
Family
ID=19442983
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR2019950054322U KR0131337Y1 (en) | 1995-12-30 | 1995-12-30 | Improved up and down moving apparatus |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR0131337Y1 (en) |
-
1995
- 1995-12-30 KR KR2019950054322U patent/KR0131337Y1/en not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR970046874U (en) | 1997-07-31 |
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