KR0120728B1 - 마찰대전압 측정장치(摩擦帶電壓 測定裝置) - Google Patents

Abstract

내용 없음

Description

마찰대전압 측정장치(摩擦帶電壓 測定裝置)

제1도는 이 발명의 한 실시예의 외관도.

제2도, 제3도는 서로 다른 상태에 있어서 측정장치의 사시도.

제4도는 시료(試料)유지부의 사시도.

제5도는 받음대의 설명도

제6도는 마찰장치의 설명도.

제7도는 대전압 센서의 설명도.

제8도는 전체 구성을 표시하는 블록도.

제9도는 플로터(plotter)에 대한 기록 내용의 설명도.

제10도는 동작의 플로우챠트.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

4 : 플로터 9 : 받음대

13 : 대전압 센서 16 : 샘플테이블

17 : 샘플플레이트 110 : 교정용 전극

133 : 교정용 고전압 전원회로 135 : 전원회로

이 발명은 시트상의 시료 예를 들면 직물, 편물, 부직포(不織布)등의 포면(布綿)이나, 종이, 피혁수지필림 등의 시료의 마찰대전압 특성이나 방전특성을 채하는 마찰대전압 측정장치에 관한 것이다.

근래, 예를 들면 반도체 제조공정에서의 제전(制電)의류, 인체에의 정전기 쇼크를 방지한 카페트(carpet) 등의 용도로서, 마찰등에 의한 대전을 억제하는 성능을 가지는 제전성 섬유에 대한 수요가 급격히 증가하고 있다.

그 제전성에 대한 요청은 차즘 고도화하여, 각사가 여러가지의 소재의 개발을 행하고 있으나 그 과정에서, 제전성을 평가하는 장치에 대한 요망이 강하여지고 있다.

JIS L 1094에 의거하여 마찰대전압성을 측정하는 장치로서, 종래 시판된 것이 있으나 이것은 아직 정밀도, 재현성의 면에서 충분한 것이 아니고 대전성을 정확 및 간편하게 측정할 수 있는 장치의 개발이 큰 과제로 되어 있다.

대전압의 측정 정밀도나 재현성의 향상을 도모하는 방법으로서, 다음의 각 방법이 제안되어 있다. 특공소 62-38656호 공보에 표시하는 방법은, 시트상의 시료를 입모(入毛)를 가지는 부러시를 사용하여, 기계적 왕복운동 또는 회전운동에 의하여 마찰하고, 그 대전압을 측정하는 방법이다. 특공소 62-12303호 공보에 표시하는 방법은, 시트상 시료의 뒷면을 지지체로 지지한 상태로서, 정면에서 마찰체를 눌러서 마찰한 후, 상기 시료를 직선 또는 곡선을 따라 검출기측에 이동시켜, 그 대전압을 측정하는 방법이다.

마찰시에 시료를 뒷면에서 지지하는 것에 의하여 측정의 정밀도 향상 및 재현성의 향상을 도모할 수 있다.

특개소 62-267658호 공보에 표시하는 방법은, 다시금 마찰종료와 동시 또는 그후에 지지체를 이동하여 시료로부터 떼어놓은 것에 의하여, 시료와 대면하고 있는 검출기에 의하여 재료의 대전압을 측정하는 방법이다.

지지체를 시료에서 분리시키는 것에 의하여, 지지체의 대전에 의한 측정치에의 영향이 없이, 측정 정밀도가 향상한다.

특개소 62-287148호 공부에 표시하는 방법은 표면 상의 시료를 뒤에서 지지체에 지지한 상태에서 시료 표면을 마찰체에서 마찰하여, 마찰종료와 동시에 또는 그후에 시료와 상기 지지체와를 밀착한대로 이동하여 재료를 정전검출기에 대면시켜, 이동완료와 동시에 또는 그후에, 상기 지지체를 떼어놓는 것에 의하여, 시료와 대면하고 있는 정전기 검출기에 의하여 시료의 대전압을 측정하는 방법이다.

이들의 각 방법에 있어서, 시료는 어느 것에나 유지체에 유지되어 있다.

그러나, 시료를 유지체에 착달하는 작업이 행하기 어렵고, 다수의 시료를 순차 측정하는 경우에 많은 시간이 걸린다는 문제점이 있었다. 이 발명의 목적은, 대전성을 정확하고 간편하게 측정할 수 있어, 특히 시료의 착탈이 용이하며 다수의 시료측정을 능률적으로 행할 수 있는 마찰 대전압 측정장치를 제공하는 것이다.

이 발명의 마찰대전압 측정장치는, 본체대에 측정위치와 마찰위치와의 사이에서 왕복 이동이 자유롭게 샘플 테이블을 설치하고, 시트상의 시료를 긴장상태로 유지하는 샘플플레이트를 상기 샘플 테이블에 자유자재로 삽탈(揷脫)하게 한다. 본체대의 상기 마찰위치에는 시료를 이면측에서 지지하는 받음대와 마찰장치를 설치한다. 마찰장치는 마찰패드 및 그 구동장치로부터 이루어져서, 받음대에 의하여 지지된 시료의 표면을 마찰패드로서 마찰하는 것이다. 측정위치에는 마찰후의 시료의 대전압을 측정하는 대전압 센서를 설치한다.

이 대전압 센서로부터의 신호를 처리하는 데이타 처리장치를 설치한다. 시료를 유지한 샘플플레이트는 샘플테이블에 찔러넣는 것에 의하여, 이 샘플테이블에 유지된다. 이 시료의 이면측을 받음대로서 지지한 상태에서 시료의 표면에 마찰로 미끄러져 움직이는 패드를 미끄럼 접합시켜 소정시간 마찰을 행한다.

이후, 샘플테이블을 측정위치로 이동시켜 대전압 센서로서 시료의 대전압을 검출한다.

이 대전압 센서로부터의 신호는, 데이타 처리장치에 의하여 처리된다.

이 마찰대전압 측정장치는, 시료를 샘플테이블에 설치하면, 그 후에는 거의 인력이 불필요하여 마찰과 대전압의 측정을 행하는 것이기 때문에 시료의 대전성을 정확하고 간편하게 측정하는 것이 가능하게 된다.

시료는 샘플플레이트에 유지시켜, 이 샘플플레이트를 샘플테이블에 찔러 넣도록 하였으므로, 다수의 시료의 측정을 행하는 경우에, 미리 각 시료를 각각 유지한 복수매의 샘플플레이트를 준비하여 두고, 각 샘플플레이트를 순차 샘플테이블에 찔러 넣어 측정을 행할 수가 있다.

그 때문에, 능률적으로 측정을 행할 수가 있다.

제1도는 이 발명의 한 실시예의 전체 구성도로서, 이 마찰대전압 측정장치(1)는, 시료에 마찰을 부여함과 아울러 그 대전압을 측정하는 측정장치(2)와, 이 측정장치(2)의 동작을 제어함과 아울러 얻어진 데이타를 처리하는 데이타 처리장치(3)와, 플로터(4)로서 구성된다.

측정장치(2)는, 제2도 및 제3도에 표시하는 것과 같이, 시료(S)를 유지하는 시료 유지부(7)와, 받음대(9)와, 마찰장치(10)와, 대전압 센서(13)와를 구비하고 있다.

시료 유지부(7)는, 제4도에 표시하는 것과 같이 상면에 시료(S)표면이 노출하는 원형의 구멍(15)이 설치된 슬라이드식의 샘플테이블(16)과, 시료(S)를 펴붙여서 고정하는 샘플플레이트(17)와를 구비하여 샘플테이블(16)의 측면에는 샘플플레이트(17)를 끼워넣는 삽입구(19)가 열려져 있다.

또, 샘플테이블(16)의 내부에는 기대(基臺)(20)에 대하여 상하동이 자유자재인 다리(22), …를 가지고 스프링(23), …의 누르는 힘에 의하여 샘플플레이트(17)를 샘플테이블(16)의 천판(天板)이면에 누르는 누름판(24,24)이 설치되어 있다. 이 누름판(24,24)의 입구측 부분은 아래쪽으로 경사되어 상기 삽입구(19)에 임하고 있다.

이들 누름판(24)과 스프링(23)에 의하여 샘플플레이트 유지장치가 구성된다.

샘플플레이트(17)는 계단상으로 굴곡한 판체(板體)의 중앙부에 원형의 구멍(26)이 형성되어 있어, 샘플플레이트(17)를 샘플테이블(16)에 장착하였을때, 이 구멍(26)이 상기 테이블측의 구멍(15)과 꼭 중복되도록 되어 있다.

시트상의 시료(S)는 이 샘플플레이트(17)의 윗면에 긴장상태로 접착테이프 등의 고정수단으로 고정된다. 또한 직물이나 필림등 신축성이 낮은 시료는 샘플플레이트(17)를 사용하지 않고, 직접 샘플플레이트(16)에 테이프 등으로 펴붙여서도 측정을 행할 수가 있다.

또, 니트(knit)등 신축성이 높은 시료는 접착 테이프 등을 사용하지 않고, 복수의 핀으로 고정하는 것이 바람직스럽다.

샘플플레이트(16)의 바로 앞측의 끝단부에는, 제2도에 표시하는 것과 같이, 케이스 상의 본체대(30)에 설치된 홈(32)에 유동가능하게 끼우는 다리부가 일체로 설치되어 있어, 이 다리부에 롤러(33,33)가 부착되어져 있다.

이 롤러(33,33)는, 테이블(16)의 이동시에 홈(32)의 직하부에 설치된 레일(rail)(34)위를 움직이도록 되어 있다.

또, 샘플테이블(16)의 깊숙한 안측에는 수평 방향으로 붙여서 내놓는 가이드부재(36)가 설치되어 있어, 그 선단부는 본체대(30)에 설치된 입상부(立上部)(37)의 홈(39)내에 있어서, 레일(40)위를 미끄러져 움직이도록 되어 있다.

입상부(37)의 전면 양단부에는 풀리(pulley)(42,42')가 축받이 되어 있어, 이들 양 풀리(42,42')에 와이샤(43)가 걸려 있다.

이 와이샤(43)에는 상기 샘플테이블(16)의 한끝이 걸려져 있다.

한쪽의 풀리(42)는 펄스모터(45)의 회전축에 고정되어 있어, 이 모터(45)의 정역회전(正逆回轉))에 의하여 회전하고, 와이샤(43)를 이동시키도록 되어 있다.

와이샤(43)가 이동하면, 상기 샘플테이블(16)이 홈(32,29)을 따라 측정위치(A)에서 마찰위치(B)까지의 사이를 원활하게 전후동한다.

또한, 모터(45)에는 로터리엔코더(47)가 부착되어 있어, 이 모터(45)의 회전량을 검출하도록 되어 있다. 이들 모터(45)와 이 모터(45)의 회전량 검출수단인 로터리엔코더(47)와는 제어장치를 겸한 데이타 처리장치(3)(제1도에 표시함)에 접속되어 있다. 받음대(9)는, 상단면이 평활한 목재(木栽)로서 원주상으로 형성되어 있고, 제5도에 표시하는 것과 같이 솔레노이드(50)의 코아(52)에 부착된 로드(rod)(53)에 의하여 지지되어 있다.

코아(52)는 상기 스프링(55)에 의하여 아래로 당겨져 있으나, 솔레노이드(50)에 전기가 통하면 위로 움직이므로, 이 동작에 따라 받음대(9)가 상하로 동작한다.

받음대(9)가 하강위치에 있을때는, 그 상면이 샘플테이블(16)에 세트된 시료(S)보다도 아래쪽에 있으나, 솔레노이드(50)에 전가가 통하여 상승위치에 있을때에는, 시료(S)의 이면에 접하도록 상면위치가 조절되어 있다.

이 솔레노이드(50)는 데이타 처리장치(3)에 접속되어 있다.

마찰장치(10)는, 제6도에 표시하는 것과 같이 회전테이블(57)에 핀(59)을 편심(偏心)시켜 설치한 클랭크 기구와, 이 클랭크 기구의 핀이 자유자재로 미끌어 움직여서 끼워맞추는 긴구멍(60)을 가지는 요동암(搖動arm)(62)과를 구비하여, 이 요동암(62)의 기부(基部)에는 원통(63)이 일체로 설치되어 있다.

원통(63)은 지지축(64)에 자유자재로 회동하여 끼워져 있어, 이 원통(63)의 상단부는 지지축(64)에 밖으로 끼워진 코일 스프링(65)에 의하여 아래를 향하여 눌리워져 있다.

코일 스프링(65)의 누르는 힘의 세기는, 지지축(64)의 상부의 나사부(64a)에 나사못으로 붙인 너트(nut)(66)에 의하여 적당히 조절할 수가 있다. 요동암(62)의 하면측에는, 끝단부에 경사면(69a)을 가지는 돌조부(突條部)가 일체로 설치되어 있어, 회전테이블(57)에 설치한 롤러(70)가 이 회전테이블(57)의 소정의 회전위치에서 이 돌조부(69)를 위로 눌러 올리도록 되어 있다.

즉, 회전테이블(57)의 화살표(Y)방향의 회전과 아울러 요동암(62)은 클랭크 기구에 의하여 요동하지만, 화살표(X)방향으로 이동할때에는 상기 롤러(70)가 돌조부(69)에서 빠지기 때문에, 요동암(62)이 코일 스프링(65)에 의하여 아래로 눌리워진다. 반(反) X 방향으로 이동할때에는 요동암(62)은 롤러(70)에 의하여 위로 올리워진다.

요동암(62)이 위로 올리워지면, 그 선단부에 부착되어 있는 마찰로 미끌어져 움직이는 패드(11)가 시료 표면에서 위로 올려져서, 요동암(62)이 하강하면 상기 패드(11)가 시료표면에 접촉하도록 되어 있다.

이것 때문에, 패드(11)가 화살표(X)방향으로 이동할 때만 시료표면을 마찰하고, 역방향에 되돌아갈 때는 시료표면에서 이탈한다.

이와 같이, 한방향으로 이동할때만 마찰을 행하므로 엷은 물건, 니트의 경우이라도 주름이나 헐거움의 발생이 적다.

그러므로, 센서와의 거리(측정시)가 일정하게 되어 안정된 측정 밀도를 얻을 수 있다.

또, 마찰로 미끄러져 움직이는 패드(11)는 탈지면 5∼10g를 각형의 나무틀에 넣어 막고, 그 위에서 세탁이 끝난 면포 또는 양모(羊毛)를 덮어서 고무밴드, 접착테이프 등으로 고정한 것으로, 흑판 지우개 상의 외관을 가지게 된다.

이 패드(11)는, 요동암(62)의 단상(段狀)의 선단부(72)에 나사못(73)으로 부착된다.

이 착탈은 용이하다.

상기 회전테이블(57)의 회전축(75)에는 배벨기어(bevel gear)(76)가 고착되어 있어, 이 베벨기어(76)에 펄스모터(80)의 베벨기어(79)가 이 맞물려 있다.

이 모터(80)에도 로터리엔코더(77)가 부착되어 있어, 이들이 제1도에 표시하는 데이타 처리장치(3)에 접속되어 있다.

대전압 센서(13)는, 제1도 및 제2도에 표시하는 것과 같이, 샘플테이블(16)이 측정위치(A)에 위치할때, 꼭 시료의 직상부에 위치하도록 지지케이스(83)의 선단부에 부착되어 있다. 지지케이스(83)는, 본체대(30)의 입상부(37)에 설치한 축(82)에 부착되어 있다.

대전압 센서(13)는 회전섹터 방식(sector, 方式)의 센서이며, 제7도에 표시하는 것과 같이 부채꼴의 정전유도 검출판(센서전극)(90)과, 이 검출판(90)과 동형의 차폐판(遮蔽坂)(91)과를 상하로 간격을 두고 설치하고 있다.

상측에 위치하는 정전유도 검출판(90)은 암(92)에 의하여 고정 지지되어 있어, 하측에 위치하는 차폐판(91)은 브러시레스 모터(94)의 회전축(95)에 부착되어 있다.

모터(94)의 회전축(95)은 정전유도 검출판(90)의 중앙부에 뚫어서 설치한 구멍(96)에 비(非)접속으로 끼워서 통하여져 있다.

모터(94)의 회전축(95)의 상단부에는 화분(花盆)모양의 피벗(pivot) 축받이부(97)가 형성되어, 이 피벗 축받이부(97)에 도전체로서 형성된 니들(needle)(99)의 선단이 맞닿아 있다. 이 니들(99)은 도전성을 가지는 탄성판(彈性板)(100)에 의하여 아래를 향하여 눌리여지고, 탄성판(100)은 도선(101)에 의하여 어스(earth)되어 있다. 대전압 센서(13)의 직하부에 대전한 시료(S)를 위치시킨 상태에서 모터(94)가 회전하면, 차폐관(91)이 회전하므로, 이것과 평면시동형(平面視同形)의 검출판(90)이 아래쪽의 대전체에 의하여 유전되었다 안되었다 한다.

따라서, 대전압이 그 크기에 맞는 교류로서 인출되어, 이것이 제8도에 표시하는 프리앰프(121)에 의하여 증폭되어서 데이타 처리장치(3)에 공급된다.

구르는 축받이등의 축받이는, 축이 회전하는데에 수반하여, 예를 들면 구름체(볼 혹은 롤러)의 표면에 유막(油膜)이 형성되어, 이것을 사이에 두고 전동(轉動)하도록 되어 있다.

이것 때문에 축과 축받이 외측이 전기적으로 고저항(高低抗)이 되어, 차폐판(91)이 완전히 어스하지 않는 것에 의하여 외전 차폐판이 전위를 가지게 된다.

또, 상기 축과 축받이 외측의 고저항은 축의 회전에 수반하여 변동하므로, 축의 전위도 변화하여 이것에 의하여 정전 유도 검출판에 노이즈(noise)를 유기시킨다.

이 영향을 받아 측정 정밀도가 저하할 우려가 있으나, 이 장치에서는 모터(94)의 회전축(95)이 니들(9)을 사이에 두고 어스되어 있으므로, 상기의 원인에 의한 측정오차는 생기지 않는다. 대전압 센서(13)의 직하부에는, 제3도에 표시하는 것과 같이, 샘플테이블(16)의 구멍(15)과 동형의 원판상의 교정용 전극(110)이 상하동이 가능하게 설치되어 있다.

교정용 전극(110)은, 일정한 대전압을 가할 수가 있는 교정용 고전압 전원회로(133)(제8도)에 접속되어 있어, 통상은 본체대(30)의 상면레벨로 들어가 있으나, 전극 상승레베(111)를 조작하는 것에 의하여, 대전압 센서(13)에 접근하는 소정의 높이까지 끌어올릴 수가 있다.

이 교정용 전극(110)에 의하여 대전압 센서(13)의 감도를 교정할 수가 있다.

데이타 처리장치(3)는, 제8도에 표시하는 것과 같이 구성되어 있다.

즉, 대전압 센서(13)의 모터(94)로부터의 동기 신호와 프리앰프(121)로부터의 대전압 아날로그신호가, 모터동기신호 검출회로(120)와 메인앰프(122) 및 원칩 마이컴(123)을 포함하는 A/D변환부(125)에 공급되고, 이 A/D변환부(125)로부터의 디지탈 신호가 연산부(컴퓨터)(126)에 공급된다. 연산부(126)에서는 측정데이타의 연산처리가 행하여져서, 그 결과가 표시부(127) 및 플로터(4)에 공급된다.

또, 연산부(126)에는 측정장치(2)의 모터(45), 솔레노이드(50), 모터(80)등을 구동하는 콘트롤 릴레이부(130)와 설정용 스위치그룹(131)이 접속되어 있어, 장치전체의 동작의 제어, 측정조건의 설정등이 행하여지도록 되어 있다.

또, 교정용 전극(110)에는 전술한 것과 같이 교정용 고전압 전원회로(33)이 접속되어 있다. 도중 135는 AC 100V의 전원에 접속되어서 직류 전압을 얻는 전원회로이다.

플로터(4)는 제9도에 표시하는 것과 같이, 시료의 대전압의 경시변화(經時變化)를 그래프로서 기록함과 아울러, 1회의 측정에 있어서 피크전압을 각 그래프의 위쪽의 기록위치(140)에 예를 들면 -3.42KV와 같이 기록한다.

동도에 있어서, 종(綜)축은 대전압, 횡(橫)축은 시간(초 또는 분)이다.

이 좌표 눈금도 플로터(4)에서 설정조건에 응하여 기록지(P)상에 챠트로서 그려지도록 되어 있다.

또하나의 시료에 관하여 미리 설정된 회수(예를 들어 5회)의 측정을 행하면, 피크치의 평균과 피크치의 변동율, 측정개시에서 첫번째의 설정시간(예를 들면 10초) 경과후의 대전치의 평균과 변동율, 두번째의 설정시간(예를 들면 30초) 경과후의 대전치의 평균과 변동율, 필요한 경우에는 다시 제n번째의 설정시간 경과후의 대전압의 평균과 변동율, 대전압의 반감기(半減期)의 평균과 변동율 등의 통계처리 결과를 챠트의 오른쪽란(14)에 합하여 기록하도록 되어 있다.

이와 같이, 측정데이타의 통계처리를 행하여 동시에 표시하므로, 실용상 매우 편리한 것으로 되어 있다. 이 플로터(4)에 의한 각 측정데이타의 기록은, 소정 시간마다의 데이타를 샘플링하여 기록지상에 플로트하는 것에 의하여 행하여지나, 제9도에 표시하는 것과 같이, 기록개시 직후에 대전치의 변화가 특히 급격하므로, 이 개시에서 소정의 시간(예를 들어 10초간)은 플로터의 샘플링 인터벌을 그 이후의 부분보다도 짧게 하고 있다(예를 들어 1/2). 이것 때문에, 데이타의 급격한 변화에도 충분히 적용하여, 고정밀도의 그래프를 그리도록 할 수가 있다.

다음에, 제10도의 측정조작을 나타내는 플로우챠트를 참조하면서, 이 마찰대전압 측정장치(1)의 사용법에 관하여 설명한다.

우선, 샘플플레이트(17)에 약 정방형으로 재단한 시료를, 구멍(26)을 막는 형상으로 얹고 접착 테이프로서 펴서 붙여 고정한다.

이때, 시료표면에 주름이 없도록 한다. 시료를 부착한 샘플플레이트(17)를 샘플플레이트(16)의 삽입구(19)에 삽입하고, 양구멍(15,26)이 중복 되도록 가득이 집어넣는다.

측정장치(2)의 전원이 오프인 것을 확인한 후, 데이타 처리장치(3)와 플로터(4)의 전원을 온으로 하고, 부저(150)가 울릴때까지 기다린다.

이 부저는 플로터(4)의 준비가 완료한 것을 고지하는 것으로서, 이것이 울리면 측정장치(2)의 스위치를 온으로 한다.

그 다음, 설정용 스위치그룹의 각 스위치, 예를 들면 전압렌지 설정위치, 측정회수 설정스위치, 측정시간 설정스위치 등을 선택 설정한다. 교정을 행하는 경우에는, 교정 스위치를 조작하여 후술하는 교정조작을 행하나, 통상은 교정은 불필요하다.

이상의 설정이 행하여지면, 플로터(4)에서 기록지(P)상에 X축, Y축의 챠트 눈금을 그리게 한다. 시료(S)는 세트한 측정장치(2)의 스타트 스위치를 넣으면, 샘플테이블(16)이 마찰위치(B)까지 이동하여, 받음대(9)가 상승하여 시료의 이면을 받음과 아울러, 마찰장치(10)의 마찰로 미끄러져 움직이는 패드(11)에 의하여 한 방향만의 미끄러져 움직이는 마찰이 소정회수(예를 들면 12회) 행하여진다.

마찰이 끝나면 받음대(9)가 하강하여, 샘플테이블(16)이 측정위치(A)에 복귀하여 대전압 센서(13)에 의한 대전압 검출이 행하여진다.

이 검출신호는 데이타 처리장치(3)에서 처리되어, 플로터(4)에 의하여 기록된다.

이 조작이 설정회수(예를 들면 5회)만 행하여진 후, 얻어진 통계치가 인자(印子)된다. 하나의 시료에 관하여 소정회수의 측정이 종료하면, 시료를 바꾸어서 마찬가지 측정을 행한다.

다음에, 대전압 센서(13)의 교정법에 관하여 기술한다.

우선, 샘플플레이트(17)를 측정위치(A)에 있는 샘플테이블(16)에서 떼어내어, 레버(111)를 위로 끌어올려 교정용 전극(110)을 구멍(15)의 위치까지 상승시킨다.

이 상태에서 소정의 교정전압(예를 들면 15KV)을 교정용 전극(110)에 가하여, 대전압 센서(13)에 의한 검출을 행한다.

이 검출결과는 플로터(4)에 의하여 기록되지만 그 값이 설정전압에서 벗어나 있는 경우는 감도 조절을 행하여 교정한다.

더욱, 상기 실시예에서는 대전압 센서(13)로서 회전섹터식의 것을 사용하였으나 진동용량식이나, 기계적 혹은 전기적 쵸퍼식(chopper)(式)의 센서등을 사용하여도 좋다.

Claims (8)

1. 본체대와 이 본체대에 측정위치와 마찰위치와의 사이에 왕복 이동이 자재로 설치된 샘플테이블과, 이 샘플테이블에 끼우고 떼기가 자재롭게 설치되어 시트상의 시료를 긴장상태로 유지하는 샘플플레이트와, 상기 본체대의 상기 마찰위치에 설치되어 상기 시료를 이면측에서 지지하는 받음대와, 마찰패드 및 그 구동장치로서 이루어지며 상기 받음대에 의하여 지지된 시료의 표면을 상기 마찰패드에서 마찰하는 마찰장치와, 상기 측정위치에 설치되어 마찰 후의 시료의 대전압을 검출하는 대전압 센서와, 이 대전압 센서로부터의 신호를 처리하는 데이타 처리장치와를 구비한 마찰대전압 측정장치.
2. 제1항에 있어서, 샘플테이블이 시료를 노출시키는 구멍을 설치한 천판을 가지는 것이며 샘플플레이트를 상기 천판의 이면에 탄성력으로 꽉 눌러서 유지하는 샘플플레이트 유지장치를 설치한 마찰대전압 측정장치.
3. 제1항에 있어서, 받음대가 상하동이 가능하게 설치되어 마찰시에 상동하여 시료의 이면을 지지하는 마찰대전압 측정장치.
4. 제1항에 있어서, 대전압 센서의 감도를 교정하기 위한 교정전극이 설치되어 있는 마찰대전압 측정장치.
5. 제1항에 있어서, 대전압 센서가 검출판과 이 검출판보다도 시료측에 설치되어 회전구동되는 차폐판을 가지는 회전 섹터식의 것인 마찰대전압 측정장치.
6. 제5항에 있어서, 대전압 센서의 차폐판을 구동하는 모터회전축의 끝단면에 선단이 접하는 도전성의 니들을 설치하고 이 니들을 상기 회전축에 꽉누르는 도전성의 탄성판을 설치하고 이 탄성판을 어스수단으로 접속한 마찰대전압 측정장치.
7. 제1항에 있어서, 마찰패드에 구동장치가 마찰패드를 소정궤도에서 회동시켜 시료의 표면에 한 방향으로 미끌어 접합시키는 것인 마찰대전압 측정장치.
8. 제1항에 있어서, 데이타 처리장치가 복수회의 측정결과를 통계처리하여 표시하는 연산수단을 구비하는 마찰대전압 측정장치.

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