JPWO2022254705A5 - - Google Patents
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- JPWO2022254705A5 JPWO2022254705A5 JP2023525323A JP2023525323A JPWO2022254705A5 JP WO2022254705 A5 JPWO2022254705 A5 JP WO2022254705A5 JP 2023525323 A JP2023525323 A JP 2023525323A JP 2023525323 A JP2023525323 A JP 2023525323A JP WO2022254705 A5 JPWO2022254705 A5 JP WO2022254705A5
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Description
前記した課題を解決するために、本発明に係る空調システムは、所定の部屋の内部に設けられるクリーンルームへの給気を行う第１ファンと、当該第１ファンの吹出側に設けられる第１フィルタと、を有する第１ユニットを備えるとともに、前記クリーンルームからの還気を行う第２ファンを有する第２ユニットと、前記クリーンルームから前記所定の部屋に空気を導くダクトシャフトと、を備え、前記ダクトシャフトは上下方向に延びており、当該ダクトシャフトの上端が開口しており、前記第１ファンを介して前記クリーンルームに導かれた空気が、前記第２ファン及び前記ダクトシャフトを順次に介して、前記所定の部屋に戻されることを特徴とする。なお、その他については実施形態の中で説明する。
≪第１実施形態≫
図１は、第１実施形態に係る空調システムＳの各部屋の間取りを示す説明図である。
なお、図１では、所定のドア（例えば、ドアＤｍ）が開かれた場合に空気が流れる向きを白抜きの破線矢印で示している。第１実施形態では、主に、各クリーンルームの室圧調整について説明するが、室圧の他に空気の温度や湿度を調整する場合も「空調」に含まれるものとする。また、室圧のみの調整も「空調」に含まれるものとする。
本明細書において、第１実施形態は参考形態であるものとする。
図１は、第１実施形態に係る空調システムＳの各部屋の間取りを示す説明図である。
なお、図１では、所定のドア（例えば、ドアＤｍ）が開かれた場合に空気が流れる向きを白抜きの破線矢印で示している。第１実施形態では、主に、各クリーンルームの室圧調整について説明するが、室圧の他に空気の温度や湿度を調整する場合も「空調」に含まれるものとする。また、室圧のみの調整も「空調」に含まれるものとする。
本明細書において、第１実施形態は参考形態であるものとする。
Ｕ，Ｗ ファンフィルタユニット（第１ユニット）
Ｖ，Ｚ ファンフィルタユニット（第２ユニット）
Ｕａ，Ｗａ 給気ファン（第１ファン）
Ｕｂ，Ｗｂ フィルタ（第１フィルタ）
Ｖａ，Ｚａ 還気ファン（第２ファン）
１３ａ，１８ａ，２２ａ 排気ファン
３０ｓ，３０ｔ 圧力センサ
５０ エアハンドリングユニット
６０ 制御装置（制御部）
Ｃ チャンバ
ＡＬ１，ＡＬ２ エアロック
ＤＳ７，ＤＳ８ ダクトシャフト
Ｆ４，Ｆ５ フィルタユニット
Ｒ１ 着脱室
Ｒ２ １次更衣室
Ｒ３ 前処理室
Ｒ４，Ｒ５，Ｒ８，Ｒ９，Ｒ１１ 前室
Ｒ６ ２次更衣室
Ｒ７ 調製室
Ｒ１０ 脱衣室
Ｒｓ，Ｒｔ クリーンルーム
Ｒｏ 大部屋（所定の部屋）
Ｓ，ＳＡ 空調システム
Ｖ，Ｚ ファンフィルタユニット（第２ユニット）
Ｕａ，Ｗａ 給気ファン（第１ファン）
Ｕｂ，Ｗｂ フィルタ（第１フィルタ）
Ｖａ，Ｚａ 還気ファン（第２ファン）
１３ａ，１８ａ，２２ａ 排気ファン
３０ｓ，３０ｔ 圧力センサ
５０ エアハンドリングユニット
６０ 制御装置（制御部）
Ｃ チャンバ
ＡＬ１，ＡＬ２ エアロック
ＤＳ７，ＤＳ８ ダクトシャフト
Ｆ４，Ｆ５ フィルタユニット
Ｒ１ 着脱室
Ｒ２ １次更衣室
Ｒ３ 前処理室
Ｒ４，Ｒ５，Ｒ８，Ｒ９，Ｒ１１ 前室
Ｒ６ ２次更衣室
Ｒ７ 調製室
Ｒ１０ 脱衣室
Ｒｓ，Ｒｔ クリーンルーム
Ｒｏ 大部屋（所定の部屋）
Ｓ，ＳＡ 空調システム
Claims (5)
- 所定の部屋の内部に設けられるクリーンルームへの給気を行う第１ファンと、当該第１ファンの吹出側に設けられる第１フィルタと、を有する第１ユニットを備えるとともに、
前記クリーンルームからの還気を行う第２ファンを有する第２ユニットと、
前記クリーンルームから前記所定の部屋に空気を導くダクトシャフトと、を備え、
前記ダクトシャフトは上下方向に延びており、当該ダクトシャフトの上端が開口しており、
前記第１ファンを介して前記クリーンルームに導かれた空気が、前記第２ファン及び前記ダクトシャフトを順次に介して、前記所定の部屋に戻される、空調システム。 - 前記所定の部屋の天井に設けられるフィルタユニットを備え、
前記フィルタユニットの下方に前記第１ユニットが配置されること
を特徴とする請求項１に記載の空調システム。 - 前記所定の部屋には、エアハンドリングユニットで温度が調整された空気が供給されること
を特徴とする請求項１に記載の空調システム。 - 前記クリーンルームに設けられる圧力センサと、
前記第１ファン及び前記第２ファンのうち一方を前記圧力センサの検出値に基づいて制御し、他方を一定速で制御する制御部と、を備え、
前記第１ファン及び前記第２ファンのうち、前記圧力センサの検出値に基づいて制御されるものと、一定速で制御されるものと、が切替可能であること
を特徴とする請求項１に記載の空調システム。 - 前記クリーンルームに設けられる圧力センサと、
前記クリーンルームの室圧を陽圧及び陰圧の一方から他方に切替可能な制御部と、を備えること
を特徴とする請求項１に記載の空調システム。
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PCT/JP2021/021407 WO2022254705A1 (ja) | 2021-06-04 | 2021-06-04 | 空調システム |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPWO2022254705A1 JPWO2022254705A1 (ja) | 2022-12-08 |
| JPWO2022254705A5 true JPWO2022254705A5 (ja) | 2024-01-24 |
| JP7649850B2 JP7649850B2 (ja) | 2025-03-21 |
Family
ID=84323001
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2023525323A Active JP7649850B2 (ja) | 2021-06-04 | 2021-06-04 | 空調システム |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20240247817A1 (ja) |
| JP (1) | JP7649850B2 (ja) |
| CA (1) | CA3219696A1 (ja) |
| TW (2) | TWI893301B (ja) |
| WO (1) | WO2022254705A1 (ja) |
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| JPWO2025062587A1 (ja) * | 2023-09-21 | 2025-03-27 | ||
| WO2025154283A1 (ja) * | 2024-01-19 | 2025-07-24 | 日立グローバルライフソリューションズ株式会社 | クリーンルーム施設 |
| EP4610178A1 (de) * | 2024-02-29 | 2025-09-03 | Rotzinger PharmaPack GmbH | Automatisierte produktionseinrichtung und produktionslinie |
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|---|---|---|---|---|
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| JPH0560356A (ja) * | 1991-09-03 | 1993-03-09 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | クリーンルーム |
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| JP3040296B2 (ja) * | 1993-11-26 | 2000-05-15 | 松下精工株式会社 | 空調用吹出し装置 |
| JPH08327106A (ja) * | 1995-05-31 | 1996-12-13 | Taikisha Ltd | クリーンルーム設備 |
| JPH1096332A (ja) * | 1996-09-20 | 1998-04-14 | Mitsubishi Electric Corp | クリーンルーム |
| JP4811800B2 (ja) * | 1999-05-25 | 2011-11-09 | 高砂熱学工業株式会社 | 低露点のクリーンルーム装置 |
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| JP2005114317A (ja) * | 2003-10-10 | 2005-04-28 | Taikisha Ltd | 陰陽圧切換式換気設備 |
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| JP5117995B2 (ja) * | 2008-10-28 | 2013-01-16 | 株式会社大気社 | 室圧制御システム |
| TWM396937U (en) * | 2010-04-30 | 2011-01-21 | Taiwan Mika Engineering Consultants Co Ltd | The dry cooling coil (FFU+ Dry coil) for cleanroom. |
| JP2014070748A (ja) * | 2012-09-27 | 2014-04-21 | Dainippon Printing Co Ltd | クリーンルームの区画方法、クリーンルーム |
| JP6501679B2 (ja) * | 2015-08-31 | 2019-04-17 | 株式会社日立製作所 | クリーンルーム用空調システム |
| JP6505551B2 (ja) * | 2015-08-31 | 2019-04-24 | 株式会社日立製作所 | クリーンルーム用排気ユニット |
| JP6770357B2 (ja) * | 2016-07-11 | 2020-10-14 | 株式会社日立プラントサービス | クリーンルーム用空調システム |
| CN110307603A (zh) * | 2019-07-22 | 2019-10-08 | 伍刚 | 一种用于洁净室的集成式空调净化系统 |
| US11649975B2 (en) * | 2019-12-04 | 2023-05-16 | Hitachi Global Life Solutions, Inc. | Air conditioning system |
| WO2021214892A1 (ja) * | 2020-04-21 | 2021-10-28 | 日立グローバルライフソリューションズ株式会社 | クリーンブース |
| JP7491773B2 (ja) * | 2020-08-19 | 2024-05-28 | 株式会社日立プラントサービス | 給排気システム及びクリーンルームシステム |
| CN111829103A (zh) * | 2020-08-19 | 2020-10-27 | 江苏博创翰林光电高科技有限公司 | 分布式节能型恒温洁净室 |
-
2021
- 2021-06-04 JP JP2023525323A patent/JP7649850B2/ja active Active
- 2021-06-04 CA CA3219696A patent/CA3219696A1/en active Pending
- 2021-06-04 US US18/562,476 patent/US20240247817A1/en active Pending
- 2021-06-04 WO PCT/JP2021/021407 patent/WO2022254705A1/ja not_active Ceased
-
2022
- 2022-04-28 TW TW111116129A patent/TWI893301B/zh active
- 2022-04-28 TW TW113135073A patent/TW202500927A/zh unknown
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