JPWO2021161808A5 - 双安定回路、電子回路および記憶回路 - Google Patents

双安定回路、電子回路および記憶回路 Download PDF

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本発明は、双安定回路、電子回路および記憶回路に関する。
図1は、比較例1におけるメモリセルのループ表示の回路図である。 図2は、比較例1におけるメモリセルのクロスカップル表示の回路図である。 図3は、比較例2におけるメモリセルのループ表示の回路図である。 図4は、比較例2におけるメモリセルのクロスカップル表示の回路図である。 図5は、実施例1におけるメモリセルのループ表示の回路図である。 図6は、実施例1におけるメモリセルのクロスカップル表示の回路図である。 図7Aは、実施例1におけるメモリアレイのブロック図である。 図7Bは、実施例1におけるパワースイッチおよび選択回路を示す図である。 図7Cは、実施例1におけるメモリアレイの別の例を示すブロック図である。 図8(a)および図8(b)は、実施例1のVDDリテンション状態におけるWLPおよびWFBに対するSNMおよびスタンバイパワーを示す図である。 図9(a)および図9(b)は、実施例1および比較例3のVDDリテンション状態およびリード/ライト状態のリードにおけるVWLに対するSNMおよびスタンバイパワーを示す図である。 図10(a)から図10(c)は、実施例1、比較例2および3のVDDリテンション状態およびリード/ライト状態におけるSNMを示す図である。 図11は、実施例1のULVリテンション状態におけるインバータ回路の伝達特性を示す図である。 図12(a)および図12(b)は、実施例1における双安定回路の回路図である。 図13(a)および図13(b)は、実施例1、比較例2および3のULVリテンション状態における双安定回路のバタフライカーブを示す図である。 図14(a)は、実施例1、比較例2および3のULVリテンション状態におけるSNMを示す図、図14(b)は、実施例1のULVリテンション状態におけるVVDDに対するSNMおよびスタンバイパワーを示す図である。 図15は、実施例1および比較例3におけるスタンバイパワーを示す図である。 図16は、実施例1の変形例1におけるメモリセルのループ表示の回路図である。 図17は、実施例1の変形例1におけるメモリセルのクロスカップル表示の回路図である。 図18は、実施例1の変形例2におけるメモリセルのループ表示の回路図である。 図19は、実施例1の変形例2におけるメモリセルのクロスカップル表示の回路図である。 図20は、実施例1およびその変形例2のULVリテンション状態における双安定回路のバタフライカーブを示す図である。 図21(a)および図21(b)は、それぞれヘッダPS・PDFB・タイプ1型およびフッタPS・PUFB・タイプ1型の各電圧を示す図である。 図22は、実施例2における仮想電源方式のメモリセルの回路図である。 図23は、実施例2の仮想電源方式におけるパワースイッチおよび選択回路を示す図である。 図24は、実施例2における仮想接地方式のメモリセルの回路図である。 図25は、実施例2の仮想接地方式におけるパワースイッチおよび選択回路を示す図である。 図26は、実施例2におけるメモリアレイのブロック図である。 図27(a)から図27(c)は、実施例2におけるメモリセルの動作を示す図である。 図28(a)から図28(c)は、実施例2におけるメモリセルの動作を示す図である。 図29は、実施例2におけるメモリセルの動作を示す図である。 図30は、シミュレーション3におけるホールド状態のWLPに対するSNMおよびスタンバイパワーを示す図である。 図31は、シミュレーション3におけるリード動作およびホールド状態のVWLに対するSNMを示す図である。 図32(a)および図32(b)は、シミュレーション3におけるH-ストア動作の電圧VSRに対するそれぞれ電流Im1およびSNMを示す図である。 図33(a)および図33(b)は、シミュレーション3におけるL-ストア動作の電圧Vcに対するそれぞれ電流Im2およびSNMを示す図である。 図34(a)および図34(b)は、シミュレーション3におけるリストア動作のそれぞれFFおよびFSの電圧VSRに対するSNMを示す図である。 図35(a)は、実施例2におけるSNMを示す図であり、図35(b)は、実施例2および比較例3のスタンバイパワーを示す図である。 図36は、実施例2の変形例1に係るメモリセルの回路図である。 図37は、実施例3におけるBNNモデルを示す図である。 図38は、実施例3におけるn-to-1コネクションの演算を行う演算回路のブロックである。 図39(a)は、実施例3における1-to-nコネクションの演算を行う演算回路のブロックであり、図39(b)は、蓄積器のブロック図である。 図40は、実施例3におけるBNN装置のブロック図である。 図41は、実施例3において処理部52が行うn-to-1コネクションの処理を示すフローチャートである。 図42は、実施例3において処理部62が行う1-to-nコネクションの処理を示すフローチャートである。 図43は、実施例3における時間に対する処理を示す図である。 図44は、実施例2におけるメモリの例を示すブロック図である。 図45は、実施例3の変形例1におけるBNN装置のブロック図である。 図46は、実施例3の変形例1におけるメモリの例を示す図である。 図47は、実施例3の変形例2における2R1W型NV-SRAMメモリセルの例を示す回路図である。 図48は、実施例3の変形例2における2R1W型ULVR-SRAMメモリセルの例を示す回路図である。 図49(a)は、実施例3の変形例2のリード動作における2R1W型NV-SRAMメモリセルのVWWLに対するSNMを示す図、図49(b)は、リード動作における2R1W型ULVR-SRAMメモリセルのVWWLに対するSNMを示す図である。 図50は、実施例3の変形例2における2RW型NV-SRAMメモリセルの例を示す回路図である。 図51は、実施例3の変形例2における2RW型ULVR-SRAMメモリセルの例を示す回路図である。 図52は、実施例3の変形例2における2R1W型メモリの例を示す図である。 図53は、実施例3の変形例2における2RW型メモリの例を示す図である。 図54は、実施例3の変形例における時間に対する処理を示す図である。 図55(a)から図55(c)は、層数mに対する規格化した処理時間を示す図である。 図56は、実施例3の変形例4に係るNV-SRAMメモリセルの回路図である。 図57は、実施例3の変形例4に係るULVR-SRAMメモリセルの回路図である。 図58は、実施例3の変形例4におけるBNN装置のブロック図である。 図59(a)および図59(b)は、それぞれ比較例4および実施例3の変形例5のパワースイッチ付近のブロック図である。 図60は、実施例3の変形例5における6Tセルの回路図である。 図61(a)および図61(b)は、それぞれ比較例4および実施例3の変形例5におけるVDDLに対するSNMおよびスタンバイパワーを示す図である。
図7Cは、実施例1におけるメモリアレイの別の例を示すブロック図である。図7Cに示すように、プリチャージ/選択回路33aはパワースイッチ30とメモリアレイ22との間に設けられている。プリチャージ/選択回路33aは図7BのFETM10~M12を備え、選択回路32bは図7BのトランスファーゲートM13およびM14を備えている。
比較例2における各FETのチャネル幅W/長さLは以下である。
FETm1、m2(ドライバ):165nm/60nm
FETm1a(ロード):100nm/60nm
FETm3(フィードバックトランジスタ):120nm/60nm
FETm5(パストランジスタ):100nm/60nm
比較例2における各電圧は以下である。
VVDDH=1.2V
VGND=0V
VFN=0.2V
比較例3における各FETのチャネル幅W/長さLは以下である。
ドライバ:150nm/60nm
ロード:100nm/60nm
パストランジスタ:100nm/60nm
比較例3における各電圧は以下である。
VVDD=1.2V
VGND=0V
図10(a)に示すように、VDDリテンション状態では、実施例1のSNMは比較例2および3より小さいものの、すべてのSNMにおいて80mVより大きい。図10(b)に示すように、リードでは、実施例1のSNMは比較例2および3とほぼ同じであり、すべてのSNMにおいて80mVより大きい。図10(c)に示すように、ライトでは、実施例1のSNMは比較例2および3より大きく、すべてのSNMにおいて80mVより大きい。以上のように、実施例1では、すべてのSNMにおいて80mVより大きい。また、TTのSNMは100mVより大きい。このように、実施例1では、リード/ライト状態およびVDDリテンション状態において十分なノイズマージンを確保できる。図9(a)および図9(b)でのVWLの最適化は、VDDリテンション状態およびリード/ライト状態のリードで行っているが、図10(a)から図10(c)のように、リード/ライト状態のライトにおいてもSNMを増加させることができる。
図18および図19に示すようにインバータ回路14および16においてFETm3はNチャネルFETである。インバータ回路14のFETm3のゲートは、インバータ回路14の出力ノードN2またはインバータ回路16の入力ノードN1に接続され、インバータ回路16のFETm3のゲートは、インバータ回路16の出力ノードN2またはインバータ回路14の入力ノードN1に接続されている。その他の回路構成は実施例1の図5および図6と同じである。なお、図7Bと同様に、選択回路32および32aの一部はパワースイッチ30と制御線CTRL1およびCTRL2との間に設けられたプリチャージ/選択回路33aであり、選択回路32および32aの他の一部は読出書込回路34と制御線CTRL1およびCTRL2との間に設けられた選択回路32bでもよい。
なお、電圧VLは、実施例1ではULVリテンション状態におけるグランド線15bと制御線CTRL1およびCTRL2との間の電圧VVDD-VGNDに相当し、実施例1の変形例1ではULVリテンション状態における電圧VDDの電源線15aと制御線CTRL1およびCTRL2との間の電圧VDD-VVGNDに相当する。電圧VHは、リード/ライト状態における記憶ノードQ1とQ2との間の電圧に相当する。
定電圧VFNはVVDDHより小さくVGNDより大きければよい。すなわち、VFNは、リード/ライト状態における記憶ノードQ1の電圧と記憶ノードQ2の電圧の間(図21(a)の範囲40)であればよい。定電圧VFNがVVDDHに近すぎると、仮想電源電圧VVDDをVVDDHとしたときに、インバータ回路14および16はBIモードとなり難い。定電圧VFNがVGNDに近すぎると、仮想電源電圧VVDDをVVDDLとしたときに、インバータ回路14および16はSTモードとなり難い。よって、仮想電源電圧VVDDによって双安定回路12のモードを自動的に切り替えるには、定電圧VFNは、VVDDHとVGNDとの中点の電圧以下(すなわち(VVDDH-VGND)/2以下)が好ましく、VVDDLにVVDDLとVGNDの差の電圧の1/2を加えた電圧以下(すなわちVVDDL+(VVDDL-VGND)/2以下)がより好ましく、さらには、(VVDDH-VGND)/2と、VVDDLとVGNDとの中点の電圧程度(すなわち(VVDDL-VGND)/2程度)と、の間(図21(a)の範囲41)が好ましく、VVDDL+(VVDDL-VGND)/2と、VVDDL-VGND)/2程度と、の間(図21(a)の範囲42)が好ましい。さらには、VVDDL程度が好ましい。
図28(b)に示すように、L-ストア動作のとき、制御回路28はパワースイッチ30および選択回路32bに制御線CTRL1およびCTRL2にHとして電圧VDDHを印加させる。制御回路28は、ワード線WLをH´(例えば0.8V)とし、FETM5およびM6をオン(例えば電圧VSRを0.7Vとする)させ、制御線CTRL0をVc(例えば0.5V)とする。これにより、制御線CTRL0から記憶ノードQ2MTJ2を介し電流Im2が流れる。よって、MTJ2は平行状態となり低抵抗となる。
図37に示すように、X層、Y層およびZ層の3層を例に説明する。層の数は4層以上でもよい。X層はノードx1~xnを有し、Y層はノードy1~ynを有し、Z層はノードz1~znを有する。ノードx1~xn、y1~ynおよびz1~znは各々1ビットである。X層の各ノードx1~xnの出力はそれぞれ1ビットの重みw1i~wni(iは1~nの整数)が積算されノードyiに入力する。さらに、ノードyiにはノードlから整数バイアスW0iが入力する。これらの総和に対して評価関数を通すことでノードyiの出力を得る。すべてのi(1からnまでの整数)について上記演算を行うことで、すべてのノードyiのデータが求まる。Y層のノードyjの出力には1ビットの重みw´j1~w´jn(jは1~nの整数)が積算され各ノードzk(kは1からnの整数)に入力する。ノードzjにはノードlから整数バイアスW´j0が入力する。すべてのj(1からnのまでの整数)について上記演算を行い、各ノードzjではそれぞれの入力を加算していく。この演算終了後、これらの総和に対して評価関数を通すことで各ノードzk(k=1~n)の出力を得る。重み行列w11~wnnおよびw´11~w´nnの各データは1ビットであり、整数バイアス列W01~W0nおよびW´10~W´n0の各データは整数(多ビット)である。Z層以降に層が存在する場合も同様である。
図38は、実施例3におけるn-to-1コネクションの演算を行う演算回路のブロックである。図38に示すように、演算回路50は、メモリ51および処理部52を備えている。処理部52は、XNOR回路53、カウンタ54、加算器55、評価部56および出力部57を備えている。入力部48はnビットのラッチ回路であり、ノードx1~xnのデータを保持する。XNOR回路53は、入力部48からノードx1~xnのデータを取得し、メモリ51から重み列w1i~wniを取得し、ノードx1~xnのデータと重み列w1i~wniとをXNOR演算する。カウンタ54は、XNOR回路53の出力をビットカウントし総和を演算する。すなわち、n個のXNOR回路53の出力のビットが1の個数を演算する。加算器55は、メモリ51から整数バイアスW0iを取得し、カウンタ54の出力に加算する。評価部56は、加算器55の出力を評価関数fと比較することで1ビットの結果を出力部57にノードyiのデータとして出力する。出力部57は1ビットのラッチ回路であり、ノードyiのデータを保持する。
図39(a)は、実施例3における1-to-nコネクションの演算を行う演算回路のブロックである。図39(a)に示すように、演算回路60は、メモリ61および処理部62を備えている。処理部62は、XNOR回路63、蓄積器64、加算器65、評価部66および出力部67を備えている。XNOR回路63は、出力部57からノードyiのデータを取得し、メモリ61から重み列w´i1~w´inを取得し、ノードyiのデータと重み列w´i1~w´inとをXNOR演算する。
[実施例3の変形例1]
図45は、実施例3の変形例1におけるBNN装置のブロック図である。図45に示すように、実施例3の変形例1では、処理部52においてXNOR回路53aおよび53b、カウンタ54aおよび54b、加算器55aおよび55b、評価部56aおよび56b並びに出力部57aおよび57bが各々メモリ51の複数行分設けられている。処理部52は、メモリ51の複数の行に対応する処理を並列に処理する。処理部62においてXNOR回路63aおよび63bが各々メモリ61の複数行分設けられている。処理部62は、メモリ61の複数の行に対応する処理を並列に処理する。
表8に示すように、ホールド状態では、ワード線WL1、WL2、制御線CTRL1、CTRL1´、CTRL2およびCTRL2´の電圧は1.2V(ハイレベル)であリ、FETM31、M32、M41およびM42はオフである。ライト動作1およびリード動作1のとき、WL1、CTRL1およびCTRL2を用い、FETM31およびM41を介しデータのライトおよびリードを行う。WL2、CTRL1´およびCTRL2´を1.2Vとし、FETM32およびM42をオフさせる。ライト動作2およびリード動作2はライト動作1およびリード動作1と同様である。アクセスしないメモリセル10のワード線WL1およびWL2の電圧は1.2Vである。その他の動作は実施例2と同じである。
図60は、実施例3の変形例5における6Tセルの回路図である。図60に示すように、メモリセル10および10´では、双安定回路12は、PFETM1´とNFETM1を有するインバータ回路14とPFETM2´とNFETM2を有するインバータ回路16を備えている。インバータ回路14と16とはループ状に接続されている。パストランジスタ用のNFETM3およびM4が設けられている。パワースイッチ30は、電圧VDDHを供給する電源15cHと電源線15aとを接続するFETPS1と、電圧VDDLを供給する電源15cLと電源線15aとを接続するFETPS2と、を備えている。電圧VDDHは、リードまたはライト動作のときの電源電圧(第2電源電圧)であり、例えば1.2Vである。電圧VDDLは、双安定回路12がデータを保持するがライトおよびリード動作は行わないスリープ状態のときの電源電圧(第1電源電圧)であり、例えばVDDHの1/3~1/4である。FETPS1(第2パワースイッチ)およびFETPS2(第1パワースイッチ)は、1個につき1個または数個(例えば10個以下)のメモリセル10の仮想電源線15aに接続されている。なお、FETPS1は、FETPS2より多くのセルにより接続されていてもよい。例えば1個のFETPS1は、64個、128個または256個のメモリセル10に接続されていてもよい。
図61(b)に示すように、実施例3の変形例5では、VDDLが1.2VのときSNMは300mV以上である。VDDLを低くするとSNMは小さくなる。全てのSNMが80mV以上となる最小のVDDLは0.35Vである。このため、スリープ状態のVDDLを0.35Vと設定する。VDDLを0.35Vとしたときのスタンバイパワーは約0.5nWである。このように、図59(b)の実施例3の変形例5では、図59(a)の比較例4に比べ、待機時電力を削減できる。

Claims (19)

  1. ソースが電源線に接続され、ドレインが中間ノードに接続され、ゲートが入力ノードに接続された第1導電型のチャネルの第1FETと、
    ソースが前記中間ノードに接続され、ドレインが出力ノードに接続され、ゲートが前記入力ノードに接続された前記第1導電型のチャネルの第2FETと、
    ソースおよびドレインの一方が前記中間ノードに接続され、前記ソースおよび前記ドレインの他方がバイアスノードに接続された第3FETと、
    ソースおよびドレインの一方が前記出力ノードに接続され、前記ソースおよび前記ドレインの他方が制御線に接続された前記第1導電型と反対の第2導電型のチャネルの第4FETと、
    を各々備える第1インバータ回路および第2インバータ回路と、
    前記第1インバータ回路の入力ノードおよび前記第2インバータ回路の出力ノードが接続された第1記憶ノードと、
    前記第1インバータ回路の出力ノードおよび前記第2インバータ回路の入力ノードが接続された第2記憶ノードと、を備え、
    前記第1インバータ回路および前記第2インバータ回路の第4FETのゲートはワード線に接続され、
    前記第1インバータ回路の第3FETのゲートは、前記第1インバータ回路の入力ノード、出力ノード、前記第2インバータ回路の入力ノードおよび出力ノードのいずれか1つのノードに接続され、
    前記第2インバータ回路の第3FETのゲートは、前記第2インバータ回路の入力ノード、出力ノード、前記第1インバータ回路の入力ノードおよび出力ノードのいずれか1つのノードに接続された双安定回路。
  2. 前記第3FETは、前記第2導電型のチャネルを有し、
    前記第1インバータ回路の第3FETのゲートは、前記第1インバータ回路の入力ノードまたは前記第2インバータ回路の出力ノードに接続され、
    前記第2インバータ回路の第3FETのゲートは、前記第2インバータ回路の入力ノードまたは前記第1インバータ回路の出力ノードに接続された請求項1に記載の双安定回路。
  3. 前記第3FETは、前記第1導電型のチャネルを有し、
    前記第1インバータ回路の第3FETのゲートは、前記第1インバータ回路の出力ノードまたは前記第2インバータ回路の入力ノードに接続され、
    前記第2インバータ回路の第3FETのゲートは、前記第2インバータ回路の出力ノードまたは前記第1インバータ回路の入力ノードに接続された請求項1に記載の双安定回路。
  4. 請求項1から3のいずれか一項に記載の双安定回路と、
    前記双安定回路がデータを保持する第1状態において、前記電源線と前記制御線との間の第1電圧を、前記双安定回路からデータをリードまたは前記双安定回路へデータをライトする第2状態における前記第1記憶ノードと前記第2記憶ノードとの間の第2電圧より低くする制御回路と、
    を備える電子回路。
  5. 前記制御回路は、前記第2状態において、前記制御線を前記双安定回路からデータをリードまたは前記双安定回路へデータをライトするためのビット線に設定する請求項4に記載の電子回路。
  6. 前記制御回路は、前記第2状態において、前記第1導電型がN型のとき前記ワード線の電圧を前記電源線の電圧より高くし、前記第1導電型がP型のとき前記ワード線の電圧を前記電源線の電圧より低くする請求項4または5に記載の電子回路。
  7. 前記制御回路は、前記第1状態において、前記ワード線と前記電源線との間の電圧を前記第1電圧または前記第1電圧より低くする請求項4から6のいずれか一項に記載の電子回路。
  8. 前記制御回路は、前記電源線と前記制御線との間の電圧を前記第2電圧とする第3状態において、前記ワード線と前記電源線との間の電圧を前記第2電圧より低くする請求項4から6のいずれか一項に記載の電子回路。
  9. 前記第1状態および前記第2状態のいずれにおいても、前記バイアスノードには一定のバイアスが供給される請求項4から8のいずれか一項に記載の電子回路。
  10. 前記一定のバイアスは、前記第2状態における前記第1記憶ノードの電圧と前記第2記憶ノードの電圧の間である請求項9に記載の電子回路。
  11. 前記第2インバータ回路において、第4FETのソースおよびドレインの他方は第1制御線に接続され、第4FETのゲートは第1ワード線に接続され、
    前記第1インバータ回路において、第4FETのソースおよびドレインの他方は第2制御線に接続され、第4FETのゲートは第2ワード線に接続され、
    前記第1インバータ回路は、ソースおよびドレインの一方が前記第1記憶ノードに接続され、前記ソースおよび前記ドレインの他方が第3制御線に接続され、ゲートが第3ワード線に接続された前記第2導電型のチャネルの第5FETを備え、
    前記制御回路は、前記第1ワード線を用い前記第2インバータ回路の第4FETをオンし、前記第1制御線を用い前記双安定回路にデータをライトし、前記第2ワード線を用い前記第1インバータ回路の第4FETをオンし、前記第2制御線を用い前記双安定回路からデータをリードし、前記第3ワード線を用い前記第1インバータ回路の第5FETをオンし、前記第3制御線を用い前記双安定回路からデータをリードする請求項4から10のいずれか一項に記載の電子回路。
  12. 前記制御回路は、前記第1導電型がN型のとき、前記双安定回路からデータをリードするときの前記第1ワード線の電圧を、前記双安定回路にデータをライトするときの前記第1ワード線の電圧より高くし、かつ前記双安定回路からデータをリードするときの前記第2ワード線の電圧および前記第3ワード線の電圧のうち高い方の電圧より低くし、
    前記第1導電型がP型のとき、前記双安定回路からデータをリードするときの前記第1ワード線の電圧を、前記双安定回路にデータをライトするときの前記第1ワード線の電圧より低くし、かつ前記双安定回路からデータをリードするときの前記第2ワード線の電圧および前記第3ワード線の電圧のうち低い方の電圧より高くする請求項11に記載の電子回路。
  13. 前記第1インバータ回路において、第4FETのソースおよびドレインの他方は第1制御線に接続され、第4FETのゲートは第1ワード線に接続され、
    前記第2インバータ回路において、第4FETのソースおよびドレインの他方は第2制御線に接続され、第4FETのゲートは前記第1ワード線に接続され、
    前記第1インバータ回路は、ソースおよびドレインの一方が前記第1記憶ノードに接続され、前記ソースおよび前記ドレインの他方が第3制御線に接続され、ゲートが第2ワード線に接続された前記第2導電型のチャネルの第5FETを備え、
    前記第2インバータ回路は、ソースおよびドレインの一方が前記第2記憶ノードに接続され、前記ソースおよび前記ドレインの他方が第4制御線に接続され、ゲートが前記第2ワード線に接続された前記第2導電型のチャネルの第6FETを備え、
    前記制御回路は、前記第1ワード線を用い前記第1インバータ回路および前記第2インバータ回路の第4FETをオンし、前記第1制御線および第2制御線を用い前記双安定回路にデータをライトしおよび前記双安定回路からデータをリードし、前記第2ワード線を用い前記第5FETおよび前記第6FETをオンし、前記第3制御線および前記第4制御線を用い前記双安定回路にデータをライトしおよび前記双安定回路からデータをリードする請求項4から10のいずれか一項に記載の電子回路。
  14. ソースが電源線に接続され、ドレインが第1記憶ノードに接続され、ゲートが第2記憶ノードに接続された第1導電型のチャネルの第1FETと、
    ソースが前記電源線に接続され、ドレインが前記第2記憶ノードに接続され、ゲートが前記第1記憶ノードに接続された前記第1導電型のチャネルの第2FETと、
    ソースおよびドレインの一方が前記第1記憶ノードに接続され、前記ソースおよび前記ドレインの他方が第1制御線に接続され、ゲートがワード線に接続された前記第1導電型と反対の第2導電型のチャネルの第3FETと、
    ソースおよびドレインの一方が前記第2記憶ノードに接続され、前記ソースおよび前記ドレインの他方が第2制御線に接続され、ゲートが前記ワード線に接続された前記第2導電型のチャネルの第4FETと、
    を備える双安定回路と、
    一端が前記第1記憶ノードに接続された第1スイッチと、
    一端が前記第2記憶ノードに接続された第2スイッチと、
    一端が前記第1スイッチの他端に接続され、他端が第3制御線に接続された第1不揮発性記憶素子と、
    一端が前記第2スイッチの他端に接続され、他端が前記第3制御線に接続された第2不揮発性記憶素子と、
    前記双安定回路にデータを揮発的にライトするライト動作並びに前記双安定回路からリードするリード動作のとき前記第1スイッチおよび前記第2スイッチをオフし、前記双安定回路から前記第1不揮発性記憶素子および前記第2不揮発性記憶素子にデータを不揮発的にストアするストア動作のとき並びに前記第1不揮発性記憶素子および前記第2不揮発性記憶素子から前記双安定回路にデータをリストアするリストア動作のとき前記第1スイッチおよび前記第2スイッチをオンする制御回路と、
    を備え、
    前記制御回路は、前記ストア動作を実行するとき、前記ワード線を第1電圧とし、前記第1制御線および前記第2制御線を第2電圧とし、前記第3制御線を第3電圧とする第1ストア動作と、前記ワード線を第4電圧とし、前記第1制御線および前記第2制御線を第5電圧とし、前記第3制御線を第6電圧とする第2ストア動作と、を実行し、
    前記第1導電型がN型のとき、前記第1電圧は前記第4電圧より低く、前記第2電圧および前記第5電圧は前記電源線の電圧より高く、前記第3電圧は前記第6電圧より低く、
    前記第1導電型がP型のとき、前記第1電圧は前記第4電圧より高く、前記第2電圧および前記第5電圧は前記電源線の電圧より低く、前記第3電圧は前記第6電圧より高い記憶回路。
  15. 前記第1導電型がN型のとき、前記第4電圧は前記第5電圧より低く、
    前記第1導電型がP型のとき、前記第4電圧は前記第5電圧より高い請求項14に記載の記憶回路。
  16. 前記制御回路は、前記リストア動作を実行するとき、前記ワード線の電圧を、前記ライト動作のときの前記第1記憶ノードおよび前記第2記憶ノードのうち低い方の電圧より高く、前記第1記憶ノードおよび前記第2記憶ノードのうち高い方の電圧より低くする請求項14または15に記載の記憶回路。
  17. ソースが電源線に接続され、ドレインが第1記憶ノードに接続され、ゲートが第2記憶ノードに接続された第1導電型のチャネルの第1FETと、
    ソースが前記電源線に接続され、ドレインが前記第2記憶ノードに接続され、ゲートが前記第1記憶ノードに接続された前記第1導電型のチャネルの第2FETと、
    ソースおよびドレインの一方が前記第1記憶ノードに接続され、前記ソースおよび前記ドレインの他方が第1制御線に接続され、ゲートが第1ワード線に接続された前記第1導電型と反対の第2導電型のチャネルの第3FETと、
    ソースおよびドレインの一方が前記第2記憶ノードに接続され、前記ソースおよび前記ドレインの他方が第2制御線に接続され、ゲートが第2ワード線に接続された前記第2導電型のチャネルの第4FETと、
    ソースおよびドレインの一方が前記第2記憶ノードに接続され、前記ソースおよび前記ドレインの他方が第4制御線に接続され、ゲートが第3ワード線に接続された前記第2導電型のチャネルの第5FETと、
    を備える双安定回路と、
    一端が前記第1記憶ノードに接続された第1スイッチと、
    一端が前記第2記憶ノードに接続された第2スイッチと、
    一端が前記第1スイッチの他端に接続され、他端が第3制御線に接続された第1不揮発性記憶素子と、
    一端が前記第2スイッチの他端に接続され、他端が前記第3制御線に接続された第2不揮発性記憶素子と、
    前記双安定回路にデータを揮発的にライトするライト動作並びに前記双安定回路からリードするリード動作のとき前記第1スイッチおよび前記第2スイッチをオフし、前記双安定回路から前記第1不揮発性記憶素子および前記第2不揮発性記憶素子にデータを不揮発的にストアするストア動作のとき並びに前記第1不揮発性記憶素子および前記第2不揮発性記憶素子から前記双安定回路にデータをリストアするリストア動作のとき前記第1スイッチおよび前記第2スイッチをオンする制御回路と、
    を備え、
    前記制御回路は、前記第1ワード線を用い前記第3FETをオンし、前記第1制御線を用い前記双安定回路にデータをライトし、前記第2ワード線を用い前記第4FETをオンし、前記第2制御線を用い前記双安定回路からデータをリードし、前記第3ワード線を用い前記第5FETをオンし、前記第4制御線を用い前記双安定回路からデータをリードする記憶回路。
  18. 前記制御回路は、前記第1導電型がN型のとき、前記双安定回路からデータをリードするときの前記第1ワード線の電圧を、前記双安定回路にデータをライトするときの前記第1ワード線の電圧より高くし、かつ前記双安定回路からデータをリードするときの前記第2ワード線の電圧および前記第3ワード線の電圧のうち高い方の電圧より低くし、
    前記第1導電型がP型のとき、前記双安定回路からデータをリードするときの前記第1ワード線の電圧を、前記双安定回路にデータをライトするときの前記第1ワード線の電圧より低くし、かつ前記双安定回路からデータをリードするときの前記第2ワード線の電圧および前記第3ワード線の電圧のうち低い方の電圧より高くする請求項17に記載の記憶回路。
  19. ソースが電源線に接続され、ドレインが第1記憶ノードに接続され、ゲートが第2記憶ノードに接続された第1導電型のチャネルの第1FETと、
    ソースが前記電源線に接続され、ドレインが前記第2記憶ノードに接続され、ゲートが前記第1記憶ノードに接続された前記第1導電型のチャネルの第2FETと、
    ソースおよびドレインの一方が前記第1記憶ノードに接続され、前記ソースおよび前記ドレインの他方が第1制御線に接続され、ゲートが第1ワード線に接続された前記第1導電型と反対の第2導電型のチャネルの第3FETと、
    ソースおよびドレインの一方が前記第2記憶ノードに接続され、前記ソースおよび前記ドレインの他方が第2制御線に接続され、ゲートが前記第1ワード線に接続された前記第2導電型のチャネルの第4FETと、
    ソースおよびドレインの一方が前記第2記憶ノードに接続され、前記ソースおよび前記ドレインの他方が第4制御線に接続され、ゲートが第2ワード線に接続された前記第2導電型のチャネルの第5FETと、
    ソースおよびドレインの一方が前記第1記憶ノードに接続され、前記ソースおよび前記ドレインの他方が第5制御線に接続され、ゲートが前記第2ワード線に接続された前記第2導電型のチャネルの第6FETと、
    を備える双安定回路と、
    一端が前記第1記憶ノードに接続された第1スイッチと、
    一端が前記第2記憶ノードに接続された第2スイッチと、
    一端が前記第1スイッチの他端に接続され、他端が第3制御線に接続された第1不揮発性記憶素子と、
    一端が前記第2スイッチの他端に接続され、他端が前記第3制御線に接続された第2不揮発性記憶素子と、
    前記双安定回路にデータを揮発的にライトするライト動作並びに前記双安定回路からリードするリード動作のとき前記第1スイッチおよび前記第2スイッチをオフし、前記双安定回路から前記第1不揮発性記憶素子および前記第2不揮発性記憶素子にデータを不揮発的にストアするストア動作のとき並びに前記第1不揮発性記憶素子および前記第2不揮発性記憶素子から前記双安定回路にデータをリストアするリストア動作のとき前記第1スイッチおよび前記第2スイッチをオンする制御回路と、
    を備え、
    前記制御回路は、前記第1ワード線を用い前記第3FETおよび前記第4FETをオンし、前記第1制御線および前記第2制御線を用い前記双安定回路にデータをライトし前記双安定回路からデータをリードし、前記第2ワード線を用い前記第5FETおよび第6FETをオンし、前記第4制御線および前記第5制御線を用い前記双安定回路にデータをライトし前記双安定回路からデータをリードする記憶回路
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