JPWO2020158741A1 - 感光性樹脂組成物、ポリマー、パターン、カラーフィルタ、ブラックマトリクス、表示装置および撮像素子 - Google Patents

Abstract

一般式（１）で表される第一構造単位を有し、酸価が７０〜３００ｍｇＫＯＨ／ｇであり、二重結合当量が１００〜５００ｇ／ｍｏｌであるポリマーを含む、感光性樹脂組成物。また、一般式（１）で表される第一構造単位を有し、酸価が７０〜３００ｍｇＫＯＨ／ｇであり、二重結合当量が１００〜５００ｇ／ｍｏｌであるポリマー。一般式（１）において、ＲＤは、重合性炭素−炭素二重結合を含む基である。

Description

本発明は、感光性樹脂組成物、ポリマー、パターン、カラーフィルタ、ブラックマトリクス、表示装置および撮像素子に関する。

表示装置（液晶ディスプレイ等）や撮像素子（ＣＣＤ、ＣＭＯＳ等）は、通常、カラーフィルタやブラックマトリクスを備えている。
カラーフィルタやブラックマトリクスの形成には、感光性樹脂組成物が用いられることが多い。具体的には、光硬化性の感光性樹脂組成物により基板上に感光性樹脂膜を形成し、その膜を露光・現像することで、カラーフィルタやブラックマトリクス等のパターンが基板上に形成される。

特許文献１には、酸基、重合性不飽和基およびブロックイソシアナト基を分子中に含有し、酸価が２０〜３００ｍｇＫＯＨ／ｇであり、不飽和基当量が１００〜４，０００ｇ／ｍｏｌであり、ブロックイソシアナト基当量が４００〜６，０００ｇ／ｍｏｌである硬化性ポリマーが記載されている。また、この硬化性ポリマーを用いてカラーフィルタを形成することが記載されている。

特許文献２には、重量平均分子量が１０００〜６０００、酸価が８０〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇ、エチレン性不飽和結合当量が５００以下のバインダー樹脂を用いて、ブラックマトリクスを形成することが記載されている。

特許文献３には、カルボキシル基を有しない式量７０〜１２０のエチレン性不飽和モノマーと、カルボキシル基含有エチレン性不飽和モノマーを含むエチレン性不飽和モノマーをラジカル重合してなる共重合体中のカルボキシル基１ｍｏｌに対し、エポキシ基含有エチレン性不飽和モノマー中のエポキシ基を０．２〜０．９ｍｏｌ反応させて得られた感光性樹脂が記載されている。また、その感光性樹脂を含有する感光性組成物が記載されている。さらに、この感光性組成物を用いてカラーフィルタを形成することが記載されている。
特許文献３において、感光性樹脂の酸価は、好ましくは２０〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇと記載されている。また、感光性樹脂の二重結合当量は、好ましくは３００〜１０００と記載されている。

特許文献４には、特定の一般式で表されるカルボキシル基含有重合体に、（ｉ）カルボン酸と反応する基とエチレン性不飽和基を有する化合物、または、（ｉｉ）カルボン酸と反応する基と珪素系官能基を有する化合物を、反応させて得られるアルカリ可溶性樹脂、また、そのアルカリ可溶性樹脂を含有する感光性樹脂組成物が記載されている。また、この感光性樹脂組成物を用いてカラーフィルタを形成することが記載されている。
特許文献４において、アルカリ可溶性樹脂の酸価は好ましくは２５〜１００ｍｇＫＯＨ／ｇ、エチレン性不飽和基当量は好ましくは５０〜４００と記載されている。

国際公開第２０１４／１４１７３１号 特開２０１５−１９７６１９号公報 特開２０１１−３３９５１号公報 特開２００７−２６４４３３号公報

感光性樹脂組成物、特にネガ型の感光性樹脂組成物を用いてパターンを形成する場合、露光部の光硬化のしやすさ（すなわち感度）と、未露光部の現像液に対する溶解のしやすさ（現像性）とは、トレードオフの関係となりがちである。
特に最近、液晶表示装置や固体撮像素子のさらなる複雑化、微細化等を背景として、感度と現像性を高いレベルで両立させることが求められている。

本発明者らは、今回、感度と現像性が両立された感光性樹脂組成物を提供することを目的の１つとして、検討を行った。

本発明者らは、鋭意検討の結果、以下に提供される発明を完成させた。

本発明によれば、以下が提供される。

１．
以下一般式（１）で表される第一構造単位を有し、酸価が７０〜３００ｍｇＫＯＨ／ｇであり、二重結合当量が１００〜５００ｇ／ｍｏｌであるポリマーを含む、感光性樹脂組成物。

一般式（１）中、Ｒ^Ｄは、重合性炭素−炭素二重結合を含む基である。
２．
１．に記載の感光性樹脂組成物であって、
前記第一構造単位は、Ｒ^Ｄが２以上の重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位を含む、感光性樹脂組成物。
３．
１．または２．に記載の感光性樹脂組成物であって、
前記第一構造単位は、Ｒ^Ｄが２以上の重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位と、Ｒ^Ｄが１のみの重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位とを含む、感光性樹脂組成物。
４．
１．〜３．のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物であって、
前記ポリマーが、さらに、以下式（ＭＡ）で表される第二構造単位を含む、感光性樹脂組成物。

５．
１．〜４．のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物であって、
前記ポリマーが、さらに、環状炭化水素骨格を有する構造単位を含む、感光性樹脂組成物。
６．
１．〜５．のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物であって、
前記ポリマーの全構造単位中の前記第一構造単位の比率が、１０〜４０ｍｏｌ％である、感光性樹脂組成物。
７．
１．〜６．のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物であって、
前記ポリマーの重量平均分子量が、６，０００〜２５，０００である、感光性樹脂組成物。
８．
１．〜７．のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物であって、
さらに着色剤を含む感光性樹脂組成物。
９．
１．〜７．のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物であって、
さらに遮光剤を含む感光性樹脂組成物。
１０．
以下一般式（１）で表される第一構造単位を有し、酸価が７０〜３００ｍｇＫＯＨ／ｇであり、二重結合当量が１００〜５００ｇ／ｍｏｌであるポリマー。

一般式（１）中、Ｒ^Ｄは、重合性炭素−炭素二重結合を含む基である。
１１．
１０．に記載のポリマーであって、
前記第一構造単位は、Ｒ^Ｄが２以上の重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位を含むポリマー。
１２．
１０．または１１．に記載のポリマーであって、
前記第一構造単位は、Ｒ^Ｄが２以上の重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位と、Ｒ^Ｄが１のみの重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位とを含むポリマー。
１３．
１０．〜１２．のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物であって、
さらに、以下式（ＭＡ）で表される第二構造単位を含むポリマー。

１４．
１０．〜１３．のいずれか１つに記載のポリマーであって、
さらに、環状炭化水素骨格を有する構造単位を含むポリマー。
１５．
１０．〜１４．のいずれか１つに記載のポリマーであって、
全構造単位中の前記第一構造単位の比率が、１０〜４０ｍｏｌ％であるポリマー。
１６．
１０．〜１５．のいずれか１つに記載のポリマーであって、
重量平均分子量が、６，０００〜２５，０００であるポリマー。
１７．
１．〜７．のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物を用いて得られるパターン。
１８．
８．に記載の感光性樹脂組成物を用いて得られるカラーフィルタ。
１９．
１８．に記載のカラーフィルタを備える表示装置。
２０．
１８．に記載のカラーフィルタを備える撮像素子。
２１．
９．に記載の感光性樹脂組成物を用いて得られるブラックマトリクス。
２２．
２１．に記載のブラックマトリクスを備える表示装置。
２３．
２１．に記載のブラックマトリクスを備える撮像素子。

本発明によれば、感度と現像性が両立された感光性樹脂組成物が提供される。また、そのような感光性樹脂組成物の製造に好適なポリマーが提供される。

上述した目的、およびその他の目的、特徴および利点は、以下に述べる好適な実施の形態、およびそれに付随する以下の図面によってさらに明らかになる。

液晶表示装置および／または固体撮像素子の構造の一例を模式的に示す図（断面図）である。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照しつつ、詳細に説明する。
すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
煩雑さを避けるため、同一図面内に同一の構成要素が複数ある場合には、その１つのみに符号を付し、全てには符号を付さない場合がある。
図面はあくまで説明用のものである。図面中の各部材の形状や寸法比などは、必ずしも現実の物品と対応しない。

本明細書中、「二重結合当量」の「二重結合」は、重合性炭素−炭素二重結合のことである。
本明細書中、「略」という用語は、特に明示的な説明の無い限りは、製造上の公差や組立て上のばらつき等を考慮した範囲を含むことを表す。
本明細書中、数値範囲の説明における「ａ〜ｂ」との表記は、特に断らない限り、ａ以上ｂ以下のことを表す。例えば、「１〜５質量％」とは「１質量％以上５質量％以下」を意味する。

本明細書における基（原子団）の表記において、置換か無置換かを記していない表記は、置換基を有しないものと置換基を有するものの両方を包含するものである。例えば「アルキル基」とは、置換基を有しないアルキル基（無置換アルキル基）のみならず、置換基を有するアルキル基（置換アルキル基）をも包含するものである。
本明細書における「（メタ）アクリル」との表記は、アクリルとメタクリルの両方を包含する概念を表す。「（メタ）アクリレート」等の類似の表記についても同様である。
本明細書における「有機基」の語は、特に断りが無い限り、有機化合物から１つ以上の水素原子を除いた原子団のことを意味する。例えば、「１価の有機基」とは、任意の有機化合物から１つの水素原子を除いた原子団のことを表す。

＜感光性樹脂組成物＞
本実施形態の感光性樹脂組成物は、以下一般式（１）で表される第一構造単位を有し、酸価が７０〜３００ｍｇＫＯＨ／ｇであり、二重結合当量が１００〜５００ｇ／ｍｏｌであるポリマーを含む。
一般式（１）中、Ｒ^Ｄは、重合性炭素−炭素二重結合を含む基である。

上述のポリマーを用いて感光性樹脂組成物を製造することで、感度と現像性が両立された感光性樹脂組成物を得ることができる。その理由については以下のように説明することができる。
なお、以下説明により本発明が限定的に解釈されるものではない。

一般式（１）で表される構造単位は、１つの構造単位中に、重合性炭素−炭素二重結合を含む基（一般式中のＲ^Ｄ）と、カルボキシ基との「両方」を含んでいる。
重合性基とカルボキシ基が同一構造単位内にあることで、ポリマー中の重合性基の量とカルボキシ基の量の「両方」を大きな値に設計しやすい（（メタ）アクリル系樹脂などの他の樹脂では、このような設計は難しいと考えられる）。このことは、感度を高めつつ、現像性も高める点で好都合である。

そして、ポリマー全体としては、酸価を７０〜３００ｍｇＫＯＨ／ｇに設計し、二重結合当量を１００〜５００ｇ／ｍｏｌに設計することで、高いレベルで感度と現像性を両立させることができる。
すなわち、ポリマーの酸価が７０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であることで、良好な現像性を得ることができる。また、二重結合当量が５００ｇ／ｍｏｌ以下であることで、組成物の感度を高くすることができる。

なお、酸価が大きすぎると、アルカリ現像液での現像の際に、露光部分が溶解しやすくなり光硬化に必要な露光量が多くなってしまったり、パターン形状が不十分になったりする懸念がある。よって、本実施形態では、酸価の上限値を３００ｍｇＫＯＨ／ｇとしている。
また、二重結合当量が小さすぎると（すなわち、ポリマー中の二重結合の密度が大きすぎると）、アルカリ現像液での現像時に、未露光部や低露光部が溶解しにくくなる傾向があり、現像時に残膜が発生しがちとなる。また、二重結合当量が小さすぎると、架橋により分子量が過度に増大し、溶解性の過度な低下などが懸念される。よって、本実施形態では、二重結合当量の下限値を１００ｇ／ｍｏｌとしている。

ポリマーの酸価は、７０〜３００ｍｇＫＯＨ／ｇ、好ましくは８０〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇである。
ポリマーの二重結合当量は、１００〜５００ｇ／ｍｏｌ、好ましくは２００〜４７０ｇ／ｍｏｌである。
ポリマーの酸価および／または二重結合当量を調整することで、より一層高いレベルで感度と現像性を両立させることができる。

念のため述べておくと、酸価および二重結合当量は、スペクトル測定などにより求めることができる。例えば、以下のような手順で求めることができる（より具体的には実施例を参照されたい）。
（１）ポリマーの^１Ｈ−ＮＭＲチャートから、カルボキシ基の水素原子や、重合性炭素−炭素二重結合近傍の水素原子に対応するピークの面積（積分値）を求める。
（２）（１）で求めた面積を、標準物質に由来するピークの面積から、カルボキシ基の量および炭素−炭素二重結合の量を求める。
（３）（２）で求めたカルボキシ基の量を、酸価（ｍｇＫＯＨ／ｇ）に換算する。また、（２）で求めた重合性炭素−炭素二重結合の量を、二重結合当量（ｇ／ｍｏｌ）に換算する。

ポリマー中の一般式（１）で表される構造単位の比率、一般式（１）中のＲ^Ｄの構造、Ｒ^Ｄが含む重合性炭素−炭素二重結合の数などを適切に設計することで、ポリマーの酸価や二重結合当量を適切な値とすることができる。

本実施形態の感光性樹脂組成物が含むことができる成分などについて、以下説明する。

（ポリマー）
本実施形態の感光性樹脂組成物は、前述のように、一般式（１）で表される第一構造単位を有し、酸価が７０〜３００ｍｇＫＯＨ／ｇであり、二重結合当量が１００〜５００ｇ／ｍｏｌであるポリマーを含む。一般式（１）において、Ｒ^Ｄは、重合性炭素−炭素二重結合を含む基である限り、任意の基であることができる。

・第一構造単位
第一構造単位は、Ｒ^Ｄが２以上の重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位を含むことが好ましい。換言すると、ポリマー中の一般式（１）で表される構造単位の一部または全部のＲ^Ｄは、好ましくは、２以上の重合性炭素−炭素二重結合を含む基である。
Ｒ^Ｄが２以上の重合性炭素−炭素二重結合を含む場合、Ｒ^Ｄ内の重合性炭素−炭素二重結合の数は、好ましくは２〜６、より好ましくは２〜５、さらに好ましくは３〜５である。Ｒ^Ｄが含む重合性二重結合の数を調整することで、感度と現像性をより高いレベルで両立させることができる。

Ｒ^Ｄが２以上の重合性炭素−炭素二重結合を含む場合、好ましくは、２以上の重合性二重結合のうち少なくとも１つ（より好ましくは全て）は、Ｒ^Ｄの末端に存在する。このような構造とすることで、重合性二重結合は光重合開始剤から発生した活性化学種と反応しやすくなる。よって、感度を一層向上させることができる。

Ｒ^Ｄが２以上の重合性炭素−炭素二重結合を含む場合、一例として、Ｒ^Ｄは、２以上の（メタ）アクリロイル基を含む。より具体的には、Ｒ^Ｄは、２〜６、好ましくは２〜５、より好ましくは３〜５の（メタ）アクリロイル基を含む。なお、感度の一層の向上のためには、（メタ）アクリロイル基は、アクリロイル基であることが好ましい。メチル基で置換されていないアクリロイル基のほうが、メタクリロイル基に比べて、光重合開始剤から発生した活性化学種とより反応しやすくなるためである。

Ｒ^Ｄが２以上の（メタ）アクリロイル基を含む場合、Ｒ^Ｄは、例えば、下記一般式（１ｂ）または（１ｃ）で表される基であることができる。

一般式（１ｂ）中、
ｋは２または３であり、
Ｒは水素原子またはメチル基であり、複数のＲは同じでも異なっていてもよく、
Ｘ^１は単結合、炭素数１〜６のアルキレン基または−Ｚ−Ｘ−で表される基（Ｚは−Ｏ−または−ＯＣＯ−であり、Ｘは炭素数１〜６のアルキレン基である）であり、複数存在するＸ^１は同一であっても異なっていてもよく、
Ｘ^１'は単結合、炭素数１〜６のアルキレン基または−Ｘ'−Ｚ'−で表される基（Ｘ'は炭素数１〜６のアルキレン基であり、Ｚ'は−Ｏ−または−ＣＯＯ−である）であり、
Ｘ^２は炭素数１〜１２のｋ＋１価の有機基である。

Ｒは、感度の一層の向上（重合のしやすさ）などから、水素原子が好ましい。
ｋは、２でも３でもよいが、原料の入手容易性や感度の一層の向上の点からは、好ましくは３である。

Ｘ^１が炭素数１〜６のアルキレン基である場合、アルキレン基は直鎖状であっても分枝状であってもよい。
Ｘ^１が炭素数１〜６のアルキレン基である場合、Ｘ^１は好ましくは直鎖状アルキレン基であり、より好ましくは炭素数１〜３の直鎖状アルキレン基であり、さらに好ましくは−ＣＨ_２−（メチレン基）である。

Ｘ^１が−Ｚ−Ｘ−で表される基（Ｚは−Ｏ−または−ＯＣＯ−、Ｘは炭素数１〜６のアルキレン基）である場合の、Ｘの炭素数１〜６のアルキレン基は、直鎖状であっても分枝状であってもよい。
Ｘの炭素数１〜６のアルキレン基は、好ましくは直鎖状アルキレン基であり、より好ましくは炭素数１〜３の直鎖状アルキレン基であり、さらに好ましくは−ＣＨ_２−ＣＨ_２−（エチレン基）または−ＣＨ_２−ＣＨ（ＣＨ_３）−である。

Ｘ^１'が炭素数１〜６のアルキレン基である場合、その具体的態様についてはＸ^１と同様である。
Ｘ^１'が−Ｘ'−Ｚ'−で表される基である場合、Ｘ'の具体的態様については上記Ｘと同様である。

Ｘ^２の炭素数１〜１２のｋ＋１価の有機基としては、任意の有機化合物からｋ＋１個の水素原子を除いた任意の基を挙げることができる。ここでの「任意の有機化合物」としては、例えば分子量３００以下、好ましくは２００以下、より好ましくは１００以下の有機化合物である。
Ｘ^２は、例えば、炭素数１〜１２（好ましくは炭素数１〜６）の直鎖状または分枝状炭化水素からｋ＋１個の水素原子を除いた基である。より好ましくは、炭素数１〜３の直鎖状炭化水素からｋ＋１個の水素原子を除いた基である。なお、ここでの炭化水素は、酸素原子（例えばエーテル結合やヒドロキシ基など）を含んでもよい。また、炭化水素は飽和炭化水素であることが好ましい。
別の態様として、Ｘ^２は、環状構造を含む基であってもよい。環状構造を含む基としては、脂環構造を含む基、複素環構造（例えば、イソシアヌル酸構造）を含む基などを挙げることができる。

一般式（１ｃ）中、
ｋ、Ｒ、Ｘ^１およびＸ^２は、それぞれ、一般式（１ｂ）におけるＲ、ｋ、Ｘ^１およびＸ^２と同義であり、複数のＲは互いに同一であっても異なっていてもよく、複数のＸ^１は互いに同一であっても異なっていてもよく、
Ｘ^３は、炭素数１〜６の２価の有機基であり、
Ｘ^４およびＸ^５は、それぞれ独立に、単結合または炭素数１〜６の２価の有機基であり、
Ｘ^６は、炭素数１〜６の２価の有機基である。

Ｒ、ｋ、Ｘ^１およびＸ^２の具体的態様、好ましい態様などについては、一般式（１ｂ）で説明したものと同様である。
Ｘ^３およびＸ^６の炭素数１〜６の２価の有機基としては、例えば、炭素数１〜６の直鎖状または分枝状炭化水素から２個の水素原子を除いた基を挙げることができる。なお、ここでの炭化水素は、酸素原子（例えばエーテル結合やヒドロキシ基など）を含んでもよい。また、炭化水素は飽和炭化水素であることが好ましい。
Ｘ^４およびＸ^５の炭素数１〜６の２価の有機基としては、直鎖状または分枝状アルキレン基を挙げることができる。直鎖状または分枝状アルキレン基の炭素数は好ましくは１〜３である。

第一構造単位は、Ｒ^Ｄが２以上の重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位と、Ｒ^Ｄが１のみの重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位とを含むことが好ましい。別の言い方として、好ましくは、ポリマー中の一般式（１）で表される構造単位のうち、一部の構造単位中のＲ^Ｄは２以上の重合性炭素−炭素二重結合を含む基であり、ポリマー中の一般式（１）で表される構造単位のうち、残りの構造単位中のＲ^Ｄは１のみの重合性炭素−炭素二重結合を含む基である。
ポリマーをこのように設計することで、感度を高めつつ、一層良好な現像性を得やすくなる。

「Ｒ^Ｄが２以上の重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位」の具体的態様については、上述のとおりである（一般式（１）において、Ｒ^Ｄが一般式（１ｂ）または（１ｃ）で表される基である場合など）。

「Ｒ^Ｄが１のみの重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位」において、重合性二重結合は、好ましくは、Ｒ^Ｄの末端に存在する。また、Ｒ^Ｄは、一態様として、（メタ）アクリロイル基を１つ含む。感度の一層の向上の観点では、（メタ）アクリロイル基はアクリロイル基であることが好ましい。より具体的には、Ｒ^Ｄは、以下一般式（２ａ）で表される基であることができる。

一般式（２ａ）において、Ｘ^１０は２価の有機基であり、Ｒは水素原子またはメチル基である。
Ｘ^１０の総炭素数は、好ましくは１〜３０、より好ましくは１〜２０、さらに好ましくは１〜１０である。

Ｘ^１０の２価の有機基としては、例えばアルキレン基が好ましい。このアルキレン基中の一部の−ＣＨ_２−はエーテル基（−Ｏ−）となっていてもよい。アルキレン基は、直鎖状でも分枝状でもよいが、直鎖状であることがより好ましい。

Ｘ^１０の２価の有機基としてより好ましくは、総炭素数３〜６の直鎖状アルキレン基である。Ｘ^１０の炭素数（Ｘ^１０の「長さ」に相当）を適切に選択することで、一般式（２ａ）で表される基が硬化反応に一層関与しやすくなる。そのため、感度を一層高めることができる。

Ｘ^１０の２価の有機基（例えばアルキレン基）は、任意の置換基で置換されていてもよい。置換基としては、アルキル基、アリール基、アルコキシ基、アリールオキシ基などを挙げることができる。
また、Ｘ^１０の２価の有機基は、アルキレン基以外の任意の基であってよい。例えば、アルキレン基、シクロアルキレン基、アリーレン基、エーテル基、カルボニル基、カルボキシ基等から選ばれる１種又は２種以上の基を連結して構成される２価の基であってもよい。

ポリマーの全構造単位中の第一構造単位の比率は、好ましくは１０〜４０ｍｏｌ％、より好ましくは１５〜３５ｍｏｌ％である。
また、ポリマーが、第一構造単位として、Ｒ^Ｄが２以上の重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位と、Ｒ^Ｄが１のみの重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位の両方を含む場合、前者：後者のモル比は、好ましくは５：９５〜５０：５０、より好ましくは１０：９０〜４０：６０である。この比を適切に調整することで、感度と現像性とを一層高度に両立させやすい。
ここで、前者：後者のモル比は、例えば、以下のように求めることができる。
ポリマー中の、前者の量をＸ_１（ｍｏｌ／ｇ）、後者の量をＸ_２（ｍｏｌ／ｇ）、カルボキシル基の量をＣ（ｍｏｌ／ｇ）、重合性炭素−炭素二重結合の量をＤ（ｍｏｌ／ｇ）とする。また、前者は、ｎ個の重合性炭素−炭素二重結合を含むとする。
前者と後者は、ともに、カルボキシル基を１つ有する。よって、Ｘ_１＋Ｘ_２＝Ｃと書ける（ポリマーが、カルボキシル基を含む構造単位を他に含まないと仮定）。
また、重合性炭素−炭素二重結合の量について、ｎ・Ｘ_１＋Ｘ_２＝Ｄと書ける（ポリマーが、重合性二重結合を含む構造単位を他に含まないと仮定）。
ＣやＤは、ＮＭＲ測定で得られるピーク面積などから知ることができる。また、ｎは原料の化学構造により定まる。よって、これら２つの数式を連立方程式として未知数Ｘ_１およびＸ_２について解くことを通じて、前者：後者のモル比を求めることができる。
さらに、Ｘ_１とＸ_２の和、原料ポリマー（後述）中に含まれる各構造単位のモル数（ｍｏｌ／ｇ）、原料ポリマー中に含まれる各構造単位の素となるモノマーの分子量などから、ポリマーの全構造単位中の第一構造単位（複数の第一構造単位がある場合は、合計）の比率を求めることができる。

・第二構造単位
ポリマーは、さらに、以下式（ＭＡ）で表される第二構造単位を含むことが好ましい。
第二構造単位は、アルカリ現像液により開環しうる。開環すると２つのカルボキシル基が生じるため、現像性の一層の向上が図られると考えられる。

ポリマーが式（ＭＡ）で表される構造単位を含む場合、ポリマーの全構造単位中の、式（ＭＡ）で表される構造単位の割合は、好ましくは１〜２５ｍｏｌ％、より好ましくは３〜２０ｍｏｌ％である。

・溶解性調整構造単位
ポリマーは、下記一般式（ａ２−１）、（ａ２−２）または（ａ２−３）により示される構造単位のうち、１または２以上を含んでもよい。ポリマーにこのような構造単位を含めることで、現像性への溶解性の調整、有機溶剤に対する溶解性の調整などが可能である。
一般式（ａ２−１）および一般式（ａ２−２）中、Ｒ_１４、Ｒ_１５およびＲ_１６は、それぞれ独立して炭素数１〜３０の有機基である。

Ｒ_１４、Ｒ_１５およびＲ_１６を構成する炭素数１〜３０の有機基は、その構造中にＯ、Ｎ、Ｓ、Ｐ、Ｓｉのいずれか１以上を含んでいてもよい。また、Ｒ_１４、Ｒ_１５およびＲ_１６を構成する有機基は、酸性官能基を含まないものとすることができる。これにより、酸価の制御を容易とすることができる。

Ｒ_１４、Ｒ_１５およびＲ_１６を構成する有機基としては、たとえばアルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アルキリデン基、アリール基、アラルキル基、アルカリル基、シクロアルキル基、およびヘテロ環基が挙げられる。
アルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ペンチル基、ネオペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基等が挙げられる。
アルケニル基としては、例えば、アリル基、ペンテニル基、ビニル基等が挙げられる。
アルキニル基としては、例えば、エチニル基等が挙げられる。
アルキリデン基としては、例えば、メチリデン基、エチリデン基等が挙げられる。
アリール基としては、例えば、フェニル基、ナフチル基、アントラセニル基等が挙げられる。
アラルキル基としては、例えば、ベンジル基、フェネチル基等が挙げられる。
アルカリル基としては、例えば、トリル基、キシリル基等が挙げられる。
シクロアルキル基としては、例えば、アダマンチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロオクチル基等が挙げられる。
ヘテロ環基としては、例えば、エポキシ基、オキセタニル基等が挙げられる。

これらアルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アルキリデン基、アリール基、アラルキル基、アルカリル基、シクロアルキル基、およびヘテロ環基は、１以上の水素原子が、ハロゲン原子により置換されていてもよい。ハロゲン原子としては、フッ素、塩素、臭素、およびヨウ素が挙げられる。なかでもアルキル基の１以上の水素原子が、ハロゲン原子に置換されたハロアルキル基が好ましい。

・環状炭化水素骨格を有する構造単位
ポリマーは、好ましくは、環状炭化水素骨格を有する構造単位を含む。環状炭化水素骨格の剛直な構造により、例えば、感光性樹脂組成物を硬化させたときの硬化膜の耐熱性、機械物性などを高めることができる。

環状炭化水素骨格を有する構造単位は、例えば、以下モノマーに由来するものである。

環状オレフィンモノマー。具体的には、ノルボルネン、ノルボルナジエン、ビシクロ［２．２．１］−ヘプト−２−エン（慣用名：２−ノルボルネン）、５−メチル−２−ノルボルネン、５−エチル−２−ノルボルネン、５−ブチル−２−ノルボルネン、５−ヘキシル−２−ノルボルネン、５−デシル−２−ノルボルネン、５−アリル−２−ノルボルネン、５−（２−プロペニル）−２−ノルボルネン、５−（１−メチル−４−ペンテニル）−２−ノルボルネン、５−エチリデン−２ノルボルネン、５−ベンジル−２−ノルボルネン、５−フェネチル−２−ノルボルネン等の、ノルボルネン骨格またはノルボルナジエン骨格を有するモノマー。

インデン、２−メチルインデン、３−メチルインデン、アセナフチレン等の、インデン骨格またはアセナフチレン骨格を有するモノマー。
１，５，９−シクロドデカトリエン、シス−トランス−トランス−１，５，９−シクロドデカトリエン、トランス−トランス−トランス−１，５，９−シクロドデカトリエン、トランス−シス−シス−１，５，９−シクロドデカトリエン、シス−シス−シス−１，５，９−シクロドデカトリエン等の、トリエン構造を有するモノマー。
スチレン、ビニルトルエン、ヒドロキシスチレン、アセトキシスチレン、α−メチルスチレン等のスチレン骨格を有するモノマー。

Ｎ−シクロヘキシルマレイミド、Ｎ−シクロペンチルマレイミド、Ｎ−ノルボルニルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルメチルマレイミド、Ｎ−シクロペンチルメチルマレイミド等のＮ−シクロアルキルマレイミド。
Ｎ−フェニルマレイミド、Ｎ−クロロフェニルマレイミド、Ｎ−メチルフェニルマレイミド、Ｎ−ナフチルマレイミド、Ｎ−ヒドロキシフェニルマレイミド、Ｎ−メトキシフェニルマレイミド、Ｎ−カルボキシフェニルマレイミド、Ｎ−ニトロフェニルマレイミド等のＮ−アリールマレイミド。

環状炭化水素骨格を有する構造単位としては、環状オレフィンモノマーに由来する構造単位が好ましく、ノルボルネン骨格またはノルボルナジエン骨格を有するモノマーに由来する構造単位がより好ましい。より具体的には、環状炭化水素骨格を有する構造単位は、以下一般式（ＮＢ）で表されるものであることが好ましい。

一般式（ＮＢ）中、
Ｒ^１、Ｒ^２、Ｒ^３およびＲ^４は、それぞれ独立して、水素原子または炭素数１〜３０の有機基であり、
ａ_１は０、１または２である。

一般式（ＮＢ）における、Ｒ^１、Ｒ^２、Ｒ^３およびＲ^４の炭素数１〜３０の有機基としては、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アルキリデン基、アリール基、アラルキル基、アルカリル基、シクロアルキル基、アルコキシ基、ヘテロ環基、カルボキシル基などを挙げることができる。

アルキル基としては、例えばメチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ペンチル基、ネオペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基などが挙げられる。
アルケニル基としては、例えばアリル基、ペンテニル基、ビニル基などが挙げられる。
アルキニル基としては、例えばエチニル基などが挙げられる。
アルキリデン基としては、例えばメチリデン基、エチリデン基などが挙げられる。
アリール基としては、例えばトリル基、キシリル基、フェニル基、ナフチル基、アントラセニル基が挙げられる。
アラルキル基としては、例えばベンジル基、フェネチル基などが挙げられる。
アルカリル基としては、例えばトリル基、キシリル基などが挙げられる。
シクロアルキル基としては、例えばアダマンチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロオクチル基などが挙げられる。
アルコキシ基としては、例えば、メトキシ基、エトキシ基、ｎ−プロポキシ基、イソプロポキシ基、ｎ−ブトキシ基、ｓｅｃ−ブトキシ基、イソブトキシ基、ｔｅｒｔ−ブトキシ基、ｎ−ペンチルオキシ基、ネオペンチルオキシ基、ｎ−ヘキシルオキシ基などが挙げられる。
ヘテロ環基としては、例えばエポキシ基、オキセタニル基などが挙げられる。

一般式（ＮＢ）におけるＲ^１、Ｒ^２、Ｒ^３およびＲ^４としては、水素またはアルキル基が好ましく、水素がより好ましい。
Ｒ^１、Ｒ^２、Ｒ^３およびＲ^４の炭素数１〜３０の有機基中の水素原子は、任意の原子団により置換されていてもよい。例えば、フッ素原子、ヒドロキシル基、カルボキシル基などで置換されていてもよい。より具体的には、Ｒ^１、Ｒ^２、Ｒ^３およびＲ^４の炭素数１〜３０の有機基として、フッ化アルキル基などを選択してもよい。
一般式（ＮＢ）において、ａ_１は好ましくは０または１、より好ましくは０である。

ポリマーが環状炭化水素骨格を有する構造単位を含む場合、その量は、ポリマーの全構造単位中、好ましくは１０〜９０ｍｏｌ％、より好ましくは３０〜７０ｍｏｌ％、さらに好ましくは４０〜６０ｍｏｌ％である。この割合を適切に調整することで、感度と現像性を両立させつつ、追加の効果（例えば硬化膜としたときの耐熱性向上や機械物性の向上）を得やすい。
ちなみに、総合的な性能やコスト等の観点から、ポリマーは、必須構造単位としての第一構造単位、ならびに、任意の構造単位としての第二構造単位および環状炭化水素骨格を有する構造単位とは異なる「その他の構造単位」を含まないか、または含むとしても少量であることが好ましい。具体的には、ポリマー中の「その他の構造単位」の比率は、好ましくは０〜２０ｍｏｌ％、より好ましくは０〜１０ｍｏｌ％である。

ポリマーの重量平均分子量は、好ましくは６，０００〜２５，０００、より好ましくは７，０００〜２０，０００である。重量平均分子量を適切に調整することで、アルカリ現像液に対する溶解性や、有機溶剤に対する溶解性などを適切に調整することができる。
ポリマーの分散度（重量平均分子量Ｍｗ／数平均分子量Ｍｎ）は、好ましくは１．０〜５．０、より好ましくは１．０〜４．０、さらに好ましくは１．０〜３．０である。分散度を適切に調整することで、ポリマーの物性を均質にすることができ、好ましい。
これらの値は、ポリスチレンを標準物質として用いたゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）測定により求めることができる。

ポリマーは、任意の方法により製造（合成）してよい。例えば、
・少なくとも前述の式（ＭＡ）で表される構造単位を含む原料ポリマーを準備する準備工程と、
・塩基性触媒の存在下、その原料ポリマーと、ヒドロキシ基および重合性炭素−炭素二重結合を有する化合物とを反応させる反応工程と
により、ポリマーを製造することができる。

以下、上述の準備工程および反応工程によりポリマーを製造（合成）する方法についてより具体的に説明する。説明は、一般式（１）で表される構造単位と、一般式（ＮＢ）で表される構造単位とを含むポリマーの合成を例として行うが、これによりポリマー製造方法の一般性が失われるものではない。例えば、一般式（１）で表される構造単位と、一般式（ＮＢ）ではない構造単位（共重合単位）とを含むポリマーも、以下説明と類似の手順で合成することができる。

・準備工程
原料ポリマーは、例えば、下記一般式（ＮＢ−ｍ）で表されるモノマーと、無水マレイン酸とを重合（付加重合）することで得ることができる。
一般式（ＮＢ−ｍ）のＲ^１、Ｒ^２、Ｒ^３およびＲ^４ならびにａ_１の定義は、一般式（ＮＢ）のものと同様である。好ましい態様についても同様である。

一般式（ＮＢ−ｍ）で表されるモノマーとしては、例えば、ビシクロ［２．２．１］−ヘプト−２−エン（慣用名：２−ノルボルネン）、５−メチル−２−ノルボルネン、５−エチル−２−ノルボルネン、５−ブチル−２−ノルボルネン、５−ヘキシル−２−ノルボルネン、５−デシル−２−ノルボルネン、５−アリル−２−ノルボルネン、５−（２−プロペニル）−２−ノルボルネン、５−（１−メチル−４−ペンテニル）−２−ノルボルネン、５−エチニル−２−ノルボルネン、５−ベンジル−２−ノルボルネン、５−フェネチル−２−ノルボルネン、２−アセチル−５−ノルボルネン、５−ノルボルネン−２−カルボン酸メチル、５−ノルボルネン−２，３−ジカルボン酸無水物、ノルボルナジエンなどが挙げられる。
重合の際、一般式（ＮＢ−ｍ）で表されるモノマーは、１種のみ用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

重合の方法については限定されないが、ラジカル重合開始剤を用いたラジカル重合が好ましい。
重合開始剤としては、例えば、アゾ化合物、有機過酸化物などを使用できる。
アゾ化合物として具体的には、アゾビスイソブチロニトリル（ＡＩＢＮ）、ジメチル−２，２'−アゾビス（２−メチルプロピオネート）、１，１'−アゾビス（シクロヘキサンカルボニトリル）（ＡＢＣＮ）などを挙げることができる。
有機過酸化物としては、例えば、過酸化水素、ジ−ｔｅｒｔ−ブチルパーオキサイド（ＤＴＢＰ）、過酸化ベンゾイル（ベンゾイルパーオキサイド，ＢＰＯ）および、メチルエチルケトンパーオキサイド（ＭＥＫＰ）などを挙げることができる。
重合開始剤については、１種のみを用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

重合溶媒としては、例えば、ジエチルエーテル、テトラヒドロフラン、トルエン、メチルエチルケトン等の有機溶剤を用いることができる。重合溶媒は単独溶剤でも混合溶剤でもよい。

一般式（ＮＢ−ｍ）で表されるモノマー、無水マレイン酸および重合開始剤を溶媒に溶解させて反応容器に仕込み、その後、加熱することで、付加重合を進行させる。加熱温度は例えば５０〜８０℃であり、加熱時間は例えば５〜２０時間である。
反応容器に仕込む際の、一般式（ＮＢ−ｍ）で表されるモノマーと、無水マレイン酸とのモル比は、０．５：１〜１：０．５であることが好ましい。分子構造制御の観点から、モル比は１：１であることが好ましい。
以上のような工程により、「原料ポリマー」を得ることができる。
なお、原料ポリマーは、ランダム共重合体、交互共重合体、ブロック共重合体、周期共重合体などのいずれであってもよい。典型的にはランダム共重合体または交互共重合体である（一般に、無水マレイン酸は交互共重合性が強いモノマーとして知られている）。

原料ポリマーの合成後に、未反応モノマー、オリゴマー、残存する重合開始剤などの低分子量成分を除去する工程を行ってもよい。
具体的には、合成された原料ポリマーと低分子量成分とが含まれた有機層を濃縮し、その後、テトラヒドロフラン（ＴＨＦ）などの有機溶媒と混合して溶液を得る。そして、この溶液を、メタノールなどの貧溶媒と混合し、モノマーを沈殿させる。この沈殿物を濾取して乾燥させることで、原料ポリマーの純度を上げることができる。

・反応工程
塩基性触媒の存在下、準備工程で得られた原料ポリマーと、ヒドロキシ基および重合性炭素−炭素二重結合を有する化合物とを反応させることで、原料ポリマー中に含まれる式（ＭＡ）の構造単位が開環する。これにより、一般式（１）の構造単位が形成される。

より具体的には、まず、原料ポリマーを適当な有機溶剤に溶解させたポリマー溶液を準備する。
ここで使用可能な有機溶媒としては、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）、ジメチルアセトアミド（ＤＭＡｃ）、Ｎ−メチルピロリドン（ＮＭＰ）、テトラヒドロフラン（ＴＨＦ）などの単独溶剤または混合溶剤が挙げられる。もちろん、溶剤はこれらのみには限定されず、有機化合物や高分子の合成で用いられる種々の有機溶剤を用いることができる。

次に、このポリマー溶液に、ヒドロキシ基および重合性炭素−炭素二重結合を有する化合物を加える。さらに、塩基性触媒を加える。そして適切に混合して均一な溶液とする。

ヒドロキシ基および重合性炭素−炭素二重結合を有する化合物としては、例えば、１または２以上の（メタ）アクリロイル基と、ヒドロキシ基とを含む化合物を挙げることができる。
２以上の（メタ）アクリロイル基と、ヒドロキシ基とを含む化合物（多官能化合物）を用いることで、ポリマー中に、一般式（１）においてＲ^Ｄが２以上の重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位を導入することができる。
一方、１のみの（メタ）アクリロイル基と、ヒドロキシ基とを含む化合物（単官能化合物）を用いることで、ポリマー中に、一般式（１）においてＲ^Ｄが１のみの重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位を導入することができる。
これら多官能化合物と単官能化合物の両方を用いることで、第一構造単位として、Ｒ^Ｄが２以上の重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位と、Ｒ^Ｄが１のみの重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位との両方を、ポリマー中に導入することができる。ただし、立体障害の点で、単官能化合物のほうが多官能化合物よりもポリマーと反応しやすい傾向があるため、反応工程では、単官能化合物を最初から反応系中には仕込まず、「追添」することが好ましい。

「２以上の（メタ）アクリロイル基と、ヒドロキシ基とを含む化合物」として、具体的には、以下一般式（１ｂ−ｍ）で表される化合物または以下一般式（１ｃ−ｍ）で表される化合物を挙げることができる。
一般式（１ｂ−ｍ）におけるｋ、Ｒ、Ｘ^１、Ｘ^１'およびＸ^２の定義および具体的態様は、一般式（１ｂ）と同様である。
一般式（１ｃ−ｍ）におけるｋ、Ｒ、Ｘ^１、Ｘ^２、Ｘ^３、Ｘ^４、Ｘ^５およびＸ^６の定義および具体的態様は、一般式（１ｃ）と同様である。

２以上の（メタ）アクリロイル基と、ヒドロキシ基とを含む化合物として、好ましく使用可能なものを以下に示す。なお、以下に示される化合物のアクリロイル基の一部または全部を（メタ）アクリロイル基としたもの（またはその逆のもの）なども使用可能である。

一方、「１のみの（メタ）アクリロイル基と、ヒドロキシ基とを含む化合物」としては、例えば以下一般式（２ａ−ｍ）で表される化合物が挙げられる。
一般式（２ａ−ｍ）において、Ｘ^１０およびＲの定義や具体的態様は一般式（２ａ）と同様である。

一般式（２ａ−ｍ）で表される化合物の具体例としては、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、１，４−シクロヘキサンジメタノールモノ（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピル（メタ）アクリレート、２−（メタ）アクリロイロキシエチル−２−ヒドロキシエチルフタル酸などを挙げることができる。

反応工程の後、有機溶剤で反応溶液を希釈し、かつ／または、塩基性触媒の中和のために酸を加えることで、反応を停止させる。
以上の工程によりポリマーを得ることができる。

参考までに、反応工程において、ヒドロキシ基および重合性炭素−炭素二重結合を有する化合物の量を適切に調整すること等により、原料ポリマー中の無水マレイン酸構造が全ては開環せず、最終的なポリマー中に式（ＭＡ）の構造が含まれることとなる。
また、反応工程において、原料ポリマー中の無水マレイン酸構造に対し、水、アルコール、その他適当な物質を反応させることで、一般式（ａ２−１）、（ａ２−２）または（ａ２−３）により示される構造単位をポリマー中に導入することができる。

所望のポリマー以外の不要な成分の除去などのため、更に以下の工程を適宜行うことが好ましい。

まず、上記で、有機溶剤で希釈し、また、酸（例えばギ酸など）を加えた反応溶液を、分液漏斗で少なくとも３分間激しく攪拌する。これを３０分以上静止して、有機相と水相に分け、水相を除去する。このようにしてポリマーの有機溶液を得る。

得られたポリマーの有機溶液に、過剰量のトルエンを加えてポリマーを再沈殿させる。また、再沈殿により得られたポリマー粉末をさらに数回トルエンで洗浄する。
さらに、ギ酸や塩基性触媒の除去のため、得られたポリマー粉末を、イオン交換水で洗浄する操作を数回（３回程度）繰り返す。
イオン交換水で洗浄後のポリマー粉末を、例えば３０〜６０℃で１６時間以上乾燥させることで、高純度のポリマーを得ることができる。

（光重合開始剤）
本実施形態の感光性樹脂組成物は、好ましくは、光重合開始剤を含む。
光照射により発生する成分が、ポリマーの一般式（１）の構造単位に含まれる重合性二重結合を反応させるものである限り、光重合開始剤としては任意のものを用いることができる。光重合開始剤は、例えば、光ラジカル重合開始剤、光カチオン重合開始剤、光アニオン重合開始剤などでありうる。
なお、光重合開始剤は、典型的には紫外光、より具体的はｇ線、ｉ線などの照射により活性な化学種を発生する。

一層の高感度化等の観点から、光重合開始剤は、好ましくは、光ラジカル重合開始剤である。
光ラジカル重合開始剤としては特に限定されず、公知のものを適宜用いることができる。例えば、以下のものを挙げることができる。

２，２−ジエトキシアセトフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、１−〔４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル〕−２−ヒドロキシ−２−メチル−１−プロパン−１−オン、２−ヒドロキシ−１−｛４−〔４−（２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオニル）ベンジル〕フェニル｝−２−メチルプロパン−１−オン、２−メチル−１−（４−メチルチオフェニル）−２−モルフォリノプロパン１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタノン−１、２−ジメチルアミノ−２−〔（４−メチルフェニル）メチル〕−１−〔４−（４−モルホリニル）フェニル〕−１−ブタノン等のアルキルフェノン系化合物。

ベンゾフェノン、４，４'−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、２−カルボキシベンゾフェノン等のベンゾフェノン系化合物。
ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテ等のベンゾイン系化合物。
チオキサントン、２−エチルチオキサントン、２−イソプロピルチオキサントン、２−クロロチオキサントン、２，４−ジメチルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン等のチオキサントン系化合物。

２−（４−メトキシフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−メトキシナフチル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−エトキシナフチル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−エトキシカルボキニルナフチル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン等のハロメチル化トリアジン系化合物。
２−トリクロロメチル−５−（２'−ベンゾフリル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−〔β−（２'−ベンゾフリル）ビニル〕−１，３，４−オキサジアゾール、４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−フリル−１，３，４−オキサジアゾール等のハロメチル化オキサジアゾール系化合物。

２，２'−ビス（２−クロロフェニル）−４，４'，５，５'−テトラフェニル−１，２'−ビイミダゾール、２，２'−ビス（２，４−ジクロロフェニル）−４，４'，５，５'−テトラフェニル−１，２'−ビイミダゾール、２，２'−ビス（２，４，６−トリクロロフェニル）−４，４'，５，５'−テトラフェニル−１，２'−ビイミダゾール等のビイミダゾール系化合物。
１，２−オクタンジオン，１−〔４−（フェニルチオ）−２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）〕、Ｏ−アセチル−１−［６−（２−メチルベンゾイル）−９−エチル−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］エタノンオキシム等のオキシムエステル系化合物。
ビス（η５−２，４−シクロペンタジエン−１−イル）−ビス（２，６−ジフルオロ−３−（１Ｈ−ピロール−１−イル）−フェニル）チタニウム等のチタノセン系化合物。
ｐ−ジメチルアミノ安息香酸、ｐ−ジエチルアミノ安息香酸等の安息香酸エステル系化合物。
９−フェニルアクリジン等のアクリジン系化合物。

感光性樹脂組成物は、光重合開始剤を１種のみ含んでもよいし、２種以上含んでもよい。
光重合開始剤の使用量は、ポリマー１００質量部に対し、例えば１〜２０質量部であり、好ましくは３〜１０質量部である。

（溶剤）
本実施形態の感光性樹脂組成物は、典型的には、溶剤を含む。これにより、各種の基板表面に均一な感光性樹脂膜を形成することができる。
溶剤としては有機溶剤が好ましく用いられる。具体的には、ケトン系溶剤、エステル系溶剤、エーテル系溶剤、アルコール系溶剤、ラクトン系溶剤、カーボネート系溶剤などのうち１種または２種以上を用いることができる。

溶剤の例としては、プロピレングリコールモノメチルエーテル（ＰＧＭＥ）、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）、乳酸エチル、メチルイソブチルカルビノール（ＭＩＢＣ）、ガンマブチロラクトン（ＧＢＬ）、Ｎ−メチルピロリドン（ＮＭＰ）、メチル−ｎ−アミルケトン（ＭＡＫ）、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、シクロヘキサノン、又は、これらの混合物を挙げることができる。

溶剤の使用量は特に限定されない。例えば、不揮発成分の濃度が例えば１０〜７０質量％、好ましくは１５〜６０質量％となるような量で使用される。

（架橋剤）
本実施形態の感光性樹脂組成物は、架橋剤を含むことができる。
架橋剤は、光重合開始剤から発生する活性化学種の作用によりポリマーを架橋可能なもの（ポリマーと化学結合することができるもの）であれば、特に限定されない。
架橋剤は、ポリマーとのみ化学結合するのではなく、架橋剤同士で反応して結合形成してもよい。

架橋剤は、例えば、一分子中に２以上の重合性二重結合を有する多官能化合物が好ましく、一分子中に２以上の（メタ）アクリロイル基を有する多官能（メタ）アクリル化合物であることがより好ましい（ただし、架橋剤は、前述のポリマーには該当しない）。ポリマーが有する架橋性基（重合性二重結合）と同種の架橋性基を有する架橋剤を用いることが、均一な硬化性、感度の更なる向上などの点で好ましい。
架橋剤一分子あたりの官能数（重合性二重結合の数）の上限は特にないが、例えば８以下、好ましくは６以下である。

架橋剤として具体的には、以下を挙げることができる。

エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ブチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、シクロヘキサンジメタノールジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡアルキレンオキシドジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＦアルキレンオキシドジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、グリセリントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、エチレンオキシド付加トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、エチレンオキシド付加ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、エチレンオキシド付加ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、エチレンオキシド付加ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、プロピレンオキシド付加トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、プロピレンオキシド付加ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、プロピレンオキシド付加ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、プロピレンオキシド付加ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ε−カプロラクトン付加トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ε−カプロラクトン付加ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、ε−カプロラクトン付加ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ε−カプロラクトン付加ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等の、多官能（メタ）アクリレート類。

エチレングリコールジビニルエーテル、ジエチレングリコールジビニルエーテル、ポリエチレングリコールジビニルエーテル、プロピレングリコールジビニルエーテル、ブチレングリコールジビニルエーテル、ヘキサンジオールジビニルエーテル、ビスフェノールＡアルキレンオキシドジビニルエーテル、ビスフェノールＦアルキレンオキシドジビニルエーテル、トリメチロールプロパントリビニルエーテル、ジトリメチロールプロパンテトラビニルエーテル、グリセリントリビニルエーテル、ペンタエリスリトールテトラビニルエーテル、ジペンタエリスリトールペンタビニルエーテル、ジペンタエリスリトールヘキサビニルエーテル、エチレンオキシド付加トリメチロールプロパントリビニルエーテル、エチレンオキシド付加ジトリメチロールプロパンテトラビニルエーテル、エチレンオキシド付加ペンタエリスリトールテトラビニルエーテル、エチレンオキシド付加ジペンタエリスリトールヘキサビニルエーテル等の、多官能ビニルエーテル類。

（メタ）アクリル酸２−ビニロキシエチル、（メタ）アクリル酸３−ビニロキシプロピル、（メタ）アクリル酸１−メチル−２−ビニロキシエチル、（メタ）アクリル酸２−ビニロキシプロピル、（メタ）アクリル酸４−ビニロキシブチル、（メタ）アクリル酸４−ビニロキシシクロヘキシル、（メタ）アクリル酸５−ビニロキシペンチル、（メタ）アクリル酸６−ビニロキシヘキシル、（メタ）アクリル酸４−ビニロキシメチルシクロヘキシルメチル、（メタ）アクリル酸ｐ−ビニロキシメチルフェニルメチル、（メタ）アクリル酸２−（ビニロキシエトキシ）エチル、（メタ）アクリル酸２−（ビニロキシエトキシエトキシエトキシ）エチル等の、ビニルエーテル基含有（メタ）アクリル酸エステル類。

エチレングリコールジアリルエーテル、ジエチレングリコールジアリルエーテル、ポリエチレングリコールジアリルエーテル、プロピレングリコールジアリルエーテル、ブチレングリコールジアリルエーテル、ヘキサンジオールジアリルエーテル、ビスフェノールＡアルキレンオキシドジアリルエーテル、ビスフェノールＦアルキレンオキシドジアリルエーテル、トリメチロールプロパントリアリルエーテル、ジトリメチロールプロパンテトラアリルエーテル、グリセリントリアリルエーテル、ペンタエリスリトールテトラアリルエーテル、ジペンタエリスリトールペンタアリルエーテル、ジペンタエリスリトールヘキサアリルエーテル、エチレンオキシド付加トリメチロールプロパントリアリルエーテル、エチレンオキシド付加ジトリメチロールプロパンテトラアリルエーテル、エチレンオキシド付加ペンタエリスリトールテトラアリルエーテル、エチレンオキシド付加ジペンタエリスリトールヘキサアリルエーテル等の、多官能アリルエーテル類。

（メタ）アクリル酸アリル等の、アリル基含有（メタ）アクリル酸エステル類。
トリ（アクリロイルオキシエチル）イソシアヌレート、トリ（メタクリロイルオキシエチル）イソシアヌレート、アルキレンオキシド付加トリ（アクリロイルオキシエチル）イソシアヌレート、アルキレンオキシド付加トリ（メタクリロイルオキシエチル）イソシアヌレート等の、多官能（メタ）アクリロイル基含有イソシアヌレート類。
トリアリルイソシアヌレート等の、多官能アリル基含有イソシアヌレート類。
トリレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート等の多官能イソシアネートと（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシプロピル等の、水酸基含有（メタ）アクリル酸エステル類との反応で得られる多官能ウレタン（メタ）アクリレート類。
ジビニルベンゼン等の、多官能芳香族ビニル類。

なかでも、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート等の三官能（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート等の四官能（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等の六官能（メタ）アクリレートが好ましい。

感光性樹脂組成物が架橋剤を含む場合、感光性樹脂組成物は架橋剤を１種のみ含んでもよいし、２種以上含んでもよい。
感光性樹脂組成物が架橋剤を含む場合、その量は目的や用途に応じて適宜設定すればよい。一例として、架橋剤の量は、ポリマー１００質量部に対して通常３０〜７０質量部、好ましくは４０〜６０質量部とすることができる。

（着色剤）
本実施形態の感光性樹脂組成物は、着色剤を含むことができる。組成物が着色剤を含むことで、表示装置や撮像素子のカラーフィルタの形成材料として好ましく用いることができる。
着色剤としては、種々の顔料または染料を用いることができる。

顔料としては有機顔料や無機顔料を用いることができる。
有機顔料としては、アゾ系顔料、フタロシアニン系顔料、キナクリドン系顔料、ペリレン系顔料、ペリノン系顔料、イソインドリノン系顔料、イソインドリン系顔料、ジオキサジン系顔料、チオインジゴ系顔料、アントラキノン系顔料、キノフタロン系顔料、金属錯体系顔料、ジケトピロロピロール系顔料、キサンテン系顔料、ピロメテン系顔料、染料レーキ系顔料等を使用することができる。
無機顔料としては、白色・体質顔料（酸化チタン、酸化亜鉛、硫化亜鉛、クレー、タルク、硫酸バリウム、炭酸カルシウム等）、有彩顔料（黄鉛、カドミニウム系、クロムバーミリオン、ニッケルチタン、クロムチタン、黄色酸化鉄、ベンガラ、ジンククロメート、鉛丹、群青、紺青、コバルトブルー、クロムグリーン、酸化クロム、バナジン酸ビスマス等）、光輝材顔料（パール顔料、アルミ顔料、ブロンズ顔料等）、蛍光顔料（硫化亜鉛、硫化ストロンチウム、アルミン酸ストロンチウム等）などを使用することができる。

染料としては、例えば、特開２００３−２７０４２８号公報、特開平９−１７１１０８号公報、特開２００８−５０５９９号公報などに記載されている公知の染料を使用することができる。

着色剤（特に顔料）は、目的や用途に応じて、適切な平均粒子径を有するものを使用できる。特にカラーフィルタのような透明性が要求される場合は、０．１μｍ以下の小さい平均粒子径が好ましい。一方、塗料などの隠蔽性が必要とされる場合は、０．５μｍ以上の大きい平均粒子径が好ましい。
着色剤は、目的や用途に応じて、ロジン処理、界面活性剤処理、樹脂系分散剤処理、顔料誘導体処理、酸化皮膜処理、シリカコーティング、ワックスコーティングなどの表面処理がなされていてもよい。

感光性樹脂組成物が着色剤を含む場合、感光性樹脂組成物は着色剤を１種のみ含んでもよいし、２種以上含んでもよい。
感光性樹脂組成物が着色剤を含む場合、その量は目的や用途に応じて適宜設定すればよいが、着色濃度と着色剤の分散安定性との両立などから、感光性樹脂組成物の不揮発成分（溶剤を除く成分）全体に対して、好ましくは３〜７０質量％であり、より好ましくは５〜６０質量％、さらに好ましくは１０〜５０質量％である。

（遮光剤）
本実施形態の感光性樹脂組成物は、遮光剤を含むことができる。組成物が遮光剤を含むことで、表示装置や撮像素子のブラックマトリクスの形成材料として好ましく用いることができる。
遮光剤としては、公知の遮光剤を特に制限なく用いることができる。例えば、カーボンブラック、ボーンブラック、グラファイト、鉄黒、チタンブラック等の黒色顔料を遮光剤として用いることができる。

感光性樹脂組成物が遮光剤を含む場合、その量は目的や用途に応じて適宜設定すればよいが、遮光性能と遮光剤の分散安定性との両立などから、感光性樹脂組成物の不揮発成分（溶剤を除く成分）全体に対して、好ましくは３〜７０質量％であり、より好ましくは５〜６０質量％、さらに好ましくは１０〜５０質量％である。

（その他成分）
本実施形態の感光性樹脂組成物は、各種目的や要求特性に応じて、上記以外の成分を含んでもよい。
含んでもよい成分としては、例えば、フィラー、上述のポリマー以外のバインダー樹脂、多官能（メタ）アクリレート化合物、酸発生剤、耐熱向上剤、現像助剤、可塑剤、重合禁止剤、紫外線吸収剤、酸化防止剤、艶消し剤、消泡剤、レベリング剤、界面活性剤、帯電防止剤、分散剤、スリップ剤、表面改質剤、揺変剤、シランカップリング剤、多価フェノール化合物等が挙げられる。

＜パターン、カラーフィルタ、ブラックマトリクス、表示装置、撮像素子、および、表示装置または撮像素子の製造方法＞
上述の感光性樹脂組成物を用いて膜形成し、その膜を露光・現像してパターンを形成することができる。このパターンは、例えばカラーフィルタやブラックマトリクスなどに適用される。具体的には、着色剤を含む感光性樹脂組成物を用いてパターンを形成することで、カラーフィルタを得ることができる。また、遮光剤を含む感光性樹脂組成物を用いてパターンを形成することで、ブラックマトリックスを得ることができる。そして、カラーフィルタおよび／またはブラックマトリクスを備える表示装置（典型的には液晶表示装置）または撮像素子（典型的には固体撮像素子）を製造することができる。

パターンを形成する典型的な手順を以下で説明する。

・感光性樹脂膜の形成
例えば、本実施形態の感光性樹脂組成物を、任意の基板上に塗布し、必要に応じて乾燥させる。これにより、まず、感光性樹脂膜を得る。

基板は特に限定されない。例えばガラス基板、シリコンウエハ、セラミック基板、アルミ基板、ＳｉＣウエハー、ＧａＮウエハー、銅張積層板などを挙げることができる。
基板は、未加工の基板であっても、電極や素子が表面に形成された基板であってもよい。基板は、接着性の向上のために表面処理さていてもよい。
感光性樹脂組成物の塗布方法は特に限定されない。塗布は、スピナーを用いた回転塗布、スプレーコーターを用いた噴霧塗布、浸漬、印刷、ロールコーティング、インクジェット法などにより行うことができる。

基板上に塗布した感光性樹脂組成物の乾燥は、典型的にはホットプレート、熱風、オーブン等で加熱処理することで行われる。加熱温度は、通常８０〜１４０℃、好ましくは９０〜１２０℃である。加熱時間は、通常３０〜６００秒、好ましくは３０〜３００秒程度である。

感光性樹脂膜の膜厚は、特に限定されず、最終的に得ようとするパターンに応じて適宜調整すればよい。膜厚は、通常は０．５〜１０μｍ、好ましくは１〜５μｍである。なお、膜厚は、感光性樹脂組成物中の溶剤の含有量や塗布方法などにより調整可能である。

・露光
露光は、典型的には、適当なフォトマスクを介して活性光線を感光性樹脂膜に当てることで行う。
活性光線としては、例えばＸ線、電子線、紫外線、可視光線などが挙げられる。波長でいうと２００〜５００ｎｍの光が好ましい。パターンの解像度や取り扱い性の点で、光源は水銀ランプのｇ線、ｈ線又はｉ線であることが好ましく、特にｉ線が好ましい。また、２つ以上の光線を混合して用いてもよい。露光装置としては、コンタクトアライナー、ミラープロジェクションまたはステッパーが好ましい。
露光の光量は、感光性樹脂膜中の光重合開始剤の量や、感光性樹脂膜の膜厚などにより適宜調整すればよい。露光の光量は例えば１００〜５００ｍＪ／ｃｍ^２程度である。

露光後、必要に応じて、感光性樹脂膜を再度加熱してもよい（露光後加熱：Ｐｏｓｔ Ｅｘｐｏｓｕｒｅ Ｂａｋｅ）。ここでの加熱温度は、例えば７０〜１５０℃、好ましくは９０〜１２０℃である。加熱時間は、例えば３０〜６００秒、好ましくは３０〜３００秒である。露光後加熱をすることで、光重合開始剤から発生した活性種による重合反応が促進され、硬化反応が一層促される。つまり、プロセス面から一層の高感度化を図ることができる。

・現像
露光された感光性樹脂膜を、適当な現像液により現像することで、パターンを得ること、また、パターンを備えた基板を製造することができる。
現像工程においては、適当な現像液を用いて、例えば浸漬法、パドル法、回転スプレー法などの方法を用いて現像を行うことができる。現像により、感光性樹脂膜の露光部（ポジ型の場合）又は未露光部（ネガ型の場合）が溶出除去され、パターンが得られる。本実施形態の感光性樹脂組成物を用いた場合には、通常、ネガ型パターンが得られる。

使用可能な現像液は特に限定されない。例えば、アルカリ水溶液や有機溶剤が使用可能である。
アルカリ水溶液として具体的には、（ｉ）水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、アンモニアなどの無機アルカリ水溶液、（ｉｉ）エチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、トリエタノールアミンなどの有機アミン水溶液、（ｉｉｉ）テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシドなどの４級アンモニウムヒドロキシドの水溶液などが挙げられる。
有機溶剤として具体的には、シクロペンタノンなどのケトン系溶剤、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）や酢酸ブチルなどのエステル系溶剤、プロピレングリコールモノメチルエーテルなどのエーテル系溶剤、等が挙げられる。
現像液は、例えばメタノール、エタノールなどの水溶性有機溶媒や、界面活性剤などの添加剤を含んでもよい。

本実施形態においては、現像液としてアルカリ水溶液を用いることが好ましく、テトラメチルアンモニウムヒドロキシドまたは炭酸ナトリウムの水溶液を用いることがより好ましい。
アルカリ水溶液の濃度は、好ましくは０．１〜１０質量％であり、更に好ましくは０．５〜５質量％である。

現像の後、さらに様々な処理を行ってもよい。
例えば、現像の後、リンス液によりパターンおよび／または基板を洗浄してもよい。リンス液としては、例えば蒸留水、メタノール、エタノール、イソプロパノール、プロピレングリコールモノメチルエーテルなどが挙げられる。これらは単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

また、得られたパターンを加熱して十分に硬化させるようにしてもよい。加熱温度は、典型的には１５０〜４００℃、好ましくは１６０〜３００℃、より好ましくは２００〜２５０℃である。加熱時間は特に限定されないが、例えば１５〜３００分の範囲内である。この加熱処理は、ホットプレート、オーブン、温度プログラムを設定できる昇温式オーブンなどにより行うことができる。加熱処理を行う際の雰囲気気体としては、空気であっても、窒素やアルゴンなどの不活性ガスであってもよい。また、減圧下で加熱してもよい。

以上の工程により、パターンを得ること／パターンを備えた基板を製造することができる。より具体的には、着色剤を含む感光性樹脂組成物を用いて、カラーフィルタを得ることができる。また、遮光剤を含む感光性樹脂組成物を用いて、ブラックマトリックスを得ることができる。さらには、カラーフィルタおよび／またはブラックマトリクスを備える表示装置（典型的には液晶表示装置）または撮像素子（典型的には固体撮像素子）を製造することができる。

カラーフィルタおよび／またはブラックマトリクスを備える、表示装置および／または撮像素子の構造の一例について、図１に模式的に示す。
基板１０上には、ブラックマトリクス１１とカラーフィルタ１２が形成されている。また、このブラックマトリクス１１とカラーフィルタ１２の上部に保護膜１３および透明電極層１４が設けられている。
基板１０は、通常、光を通過する材料により構成されるものである。例えば、ガラス、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリオレフィン、ポリスルホン、環状オレフィンの重合体などのいずれかにより構成される。
基板１０は、コロナ放電処理、オゾン処理、薬液処理等が施されたものであってもよい。
基板１０は、例えばガラスより構成される。

ブラックマトリクス１１は、通常、遮光剤を含む感光性樹脂組成物の硬化物である。
カラーフィルタ１２としては、通常、赤、緑、青の三色が存在する。カラーフィルタ１２は、通常、各色に応じた着色剤を含む感光性樹脂組成物の硬化物である。

以上、本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することができる。また、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれる。

本発明の実施態様を、実施例および比較例に基づき詳細に説明する。なお、本発明は実施例に限定されるものではない。

実施例中の使用化合物については、以下の略号または商品名で示す場合がある。
・ＭＡ：無水マレイン酸
・ＮＢ：２−ノルボルネン
・ＭＥＫ：メチルエチルケトン
・ＢＨＥＡ：２−ヒドロキシエチルアクリレート
・４−ＨＢＡ：４−ヒドロキシブチルアクリレート

・Ａ−ＴＭＭ−３Ｌ：以下２種の化合物の混合物、ガスクロマトグラフ測定に基づく混合物中の左の化合物の量は約５５％（新中村化学工業株式会社製）

・Ａ−ＴＭＭ−３ＬＭ−Ｎ：以下２種の化合物の混合物、ガスクロマトグラフ測定に基づく混合物中の左の化合物の量は約５７％（新中村化学工業株式会社製）

・Ａ−９５５０：以下２種の化合物の混合物、水酸基価から見積もった混合物中の左の化合物の量は約５０％（新中村化学工業株式会社製）

＜原料ポリマーの合成＞
まず、無水マレイン酸構造単位と、２−ノルボルネン構造単位とを含む原料ポリマーを合成した。詳細を以下に示す。

（原料ポリマー１）
撹拌機および冷却管を備えた適切なサイズの反応容器に、無水マレイン酸３５３．０２ｇ（３．６ｍｏｌ）と、２−ノルボルネン３３８．９４ｇ（３．６ｍｏｌ）と、ジメチル−２，２'−アゾビス（２−メチルプロピオネート）３３．１６ｇ（０．１４４ｍｏｌ）とを計量して入れた。これらを、メチルエチルケトン１０３０．１ｇおよびトルエン１１３．０ｇからなる混合溶媒に溶解させ、溶解液を作製した。
この溶解液に対して、３０分間窒素を通気して酸素を除去し、次いで、撹拌しつつ温度６５℃で１．５時間加熱し、さらにその後８０℃で６時間加熱することで、無水マレイン酸と、２−ノルボルネンとを重合させ、重合溶液を作製した。
上記で得られた重合溶液を、メタノール８５１９．９ｇに滴下することで白色固体を沈殿させた。得られた白色固体を、温度１２０℃で真空乾燥することにより、２−ノルボルネンに由来する構造単位と、無水マレイン酸に由来する構造単位とを備えるポリマー（原料ポリマー１）６０７．５ｇを得た。
得られたポリマーをゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）を用いて測定した結果、重量平均分子量Ｍｗは７０００であり、多分散度（重量平均分子量Ｍｗ）／（数平均分子量Ｍｎ）は１．８２であった。

（原料ポリマー２）
撹拌機および冷却管を備えた適切なサイズの反応容器に、無水マレイン酸３５３．０２ｇ（３．６ｍｏｌ）と、２−ノルボルネン３３８．９４ｇ（３．６ｍｏｌ）と、ジメチル−２，２'−アゾビス（２−メチルプロピオネート）３３．１６ｇ（０．１４４ｍｏｌ）とを計量して入れた。これらを、ＭＥＫ２６５４．９ｇおよびトルエン１１３．０ｇからなる混合溶媒に溶解させ、溶解液を作製した。
この溶解液に対して、３０分間窒素を通気して酸素を除去し、次いで、撹拌しつつ温度６５℃で１．５時間加熱し、さらにその後８０℃で６時間加熱することで、無水マレイン酸と、２−ノルボルネンとを重合させ、重合溶液を作製した。
上記で得られた重合溶液を、メタノール１３９７２．１ｇに滴下することで白色固体を再沈殿させた。得られた白色固体を、温度１２０℃で真空乾燥することにより、２−ノルボルネンに由来する構造単位と、無水マレイン酸に由来する構造単位とを備えるポリマー（原料ポリマー２）５６９．１ｇ得た。
得られたポリマーをＧＰＣ測定した結果、重量平均分子量Ｍｗは４３００であり、多分散度（重量平均分子量Ｍｗ）／（数平均分子量Ｍｎ）は１．５９であった。

＜ポリマーの合成（原料ポリマーのＭＡ由来の構造単位の開環）＞
（比較合成例１）
原料ポリマー１のＭＡ由来の構造単位（以下、単に「ＭＡ単位」とも記載する）を、水酸基含有の３官能アクリレートで開環したポリマーを作製した。以下、詳細を説明する。
まず、原料ポリマー１ ３０ｇ（ＭＡ換算０．１５６ｍｏｌ）に対して、ＭＥＫ ６４．１５ｇを加えて、溶解液を作製した。次いで、この溶解液に対して、Ａ−ＴＭＭ−３Ｌ ９６．８５ｇ（上記の２種混合物としての添加量、以下同様）を加え、その後、トリエチルアミン９．００ｇ（０．０８９ｍｏｌ）を加え、温度７０℃で６時間反応させ、反応溶液を作製した。

作製された反応溶液をギ酸水溶液で処理することで、反応溶液から水相を除去した。その後、以下手順でポリマーを精製した。
・過剰量のトルエンでポリマーを再沈殿させた。
・再沈殿で得られたポリマー粉末を、過剰量のトルエンで洗浄する操作を２回繰り返した。
・上記の２回洗浄後のポリマー粉末を、過剰量の水で洗浄する操作を３回行った。

以上により、原料ポリマー中の無水マレイン酸に由来する構造単位を、Ａ−ＴＭＭ−３Ｌで開環した、ポリマー２３．３９ｇを得た。

（比較合成例２）
原料ポリマー１のＭＡ単位を、水酸基含有の単官能アクリレートのみで開環したポリマーを作製した。以下、詳細を説明する。
まず、原料ポリマー１ ３０ｇ（ＭＡ換算０．１５６ｍｏｌ）に対して、ＭＥＫ ５５．５０ｇを加えて、溶解液を作製した。次いで、この溶解液に対して、ＢＨＥＡ ２２．６５ｇ（０．１９５ｍｏｌ）を加え、その後、トリエチルアミン９．００ｇ（０．０８９ｍｏｌ）を加え、そして温度７０℃で６時間反応させ、反応溶液を作製した。
得られた反応溶液をギ酸水溶液で処理することで、反応溶液から水相を除去した。その後、溶液を大量の純水に注ぎ、ポリマーを析出させた。得られたポリマーを濾取し、さらに純水で洗浄した。
以上により、原料ポリマー中の無水マレイン酸に由来する構造単位を、ＢＨＥＡのみで開環した、ポリマー２７．２１ｇを得た。

（比較合成例３）
原料ポリマー１のＭＡ単位を、水酸基含有の単官能アクリレートのみで開環したポリマーを作製した。以下、詳細を説明する。
まず、原料ポリマー１ ３０ｇ（ＭＡ換算０．１５６ｍｏｌ）に対して、ＭＥＫ ５５．５ｇを加えて、溶解液を作製した。次いで、この溶解液に対して、４−ＨＢＡ ２８．１１ｇ（０．１９５ｍｏｌ）を加え、その後、トリエチルアミン９．００ｇ（０．０８９ｍｏｌ）を加え、そして温度７０℃で６時間反応させ、反応溶液を作製した。
得られた反応溶液をギ酸水溶液で処理することで、反応溶液から水相を除去した。その後、溶液を大量の純水に注ぎ、ポリマーを析出させた。得られたポリマーを濾取し、さらに純水で洗浄した。
以上により、原料ポリマー中の無水マレイン酸に由来する構造単位を、４−ＨＢＡで開環した、ポリマー２６．５４ｇを得た。

（合成例１）
原料ポリマー１のＭＡ単位を、水酸基含有の３官能アクリレートおよび水酸基含有の単官能アクリレートで開環したポリマーを作製した。以下、詳細を説明する。
まず、原料ポリマー１ ３０ｇ（ＭＡ換算０．１５６ｍｏｌ）に対して、ＭＥＫ ６７．７２ｇを加えて、溶解液を作製した。次いで、この溶解液に対して、Ａ−ＴＭＭ−３Ｌ ５８．１２ｇを加え、その後、トリエチルアミン９．００ｇ（０．０８９ｍｏｌ）を加え、温度７０℃で２時間反応させた。さらにその後、ＢＨＥＡ ２２．６５ｇ（０．１９５ｍｏｌ）を加え、温度７０℃で４時間反応させ、反応溶液を作製した。
作製された反応溶液を、比較合成例１と同様に、ギ酸水溶液、過剰量のトルエン、過剰量の水などを用いて精製した。
以上により、原料ポリマー中の無水マレイン酸に由来する構造単位を、Ａ−ＴＭＭ−３ＬおよびＢＨＥＡで開環した、ポリマー２２．２１ｇを得た。

（合成例２）
原料ポリマー１のＭＡ単位を、水酸基含有の３官能アクリレートおよび水酸基含有の単官能アクリレートで開環したポリマーを作製した。以下、詳細を説明する。
まず、原料ポリマー１ ３０ｇ（ＭＡ換算０．１５６ｍｏｌ）に対して、ＭＥＫ ４９．４１ｇを加えて、溶解液を作製した。次いで、この溶解液に対して、Ａ−ＴＭＭ−３Ｌ １９．３７ｇを加え、その後、トリエチルアミン９．００ｇ（０．０８９ｍｏｌ）を加え、温度７０℃で２時間反応させた。さらにその後、ＢＨＥＡ ２２．６５ｇ（０．１９５ｍｏｌ）を加え、温度７０℃で４時間反応させ、反応溶液を作製した。
作製された反応溶液を、比較合成例１と同様に、ギ酸水溶液、過剰量のトルエン、過剰量の水などを用いて精製した。
以上により、原料ポリマー中の無水マレイン酸に由来する構造単位をＡ−ＴＭＭ−３ＬおよびＢＨＥＡで開環した、ポリマー２２．５３ｇを得た。

（合成例３）
原料ポリマー１のＭＡ単位を、水酸基含有の３官能アクリレートおよび水酸基含有の単官能アクリレートで開環したポリマーを作製した。以下、詳細を説明する。
まず、原料ポリマー１ ３０ｇ（ＭＡ換算０．１５６ｍｏｌ）に対して、ＭＥＫ ４９．５１ｇを加えて、溶解液を作製した。次いで、この溶解液に対して、Ａ−ＴＭＭ−３Ｌ １９．３７ｇを加え、その後、トリエチルアミン１８．００ｇ（０．１７８ｍｏｌ）を加え、温度７０℃で２時間反応させた。さらにその後、ＢＨＥＡ ２２．６５ｇ（０．１９５ｍｏｌ）を加え、温度７０℃で４時間反応させ、反応溶液を作製した。
作製された反応溶液を、比較合成例１と同様に、ギ酸水溶液、過剰量のトルエン、過剰量の水などを用いて精製した。
以上により、原料ポリマー中の無水マレイン酸に由来する構造単位を、Ａ−ＴＭＭ−３ＬおよびＢＨＥＡで開環した、ポリマー２２．１０ｇを得た。

（合成例４）
原料ポリマー１のＭＡ単位を、水酸基含有の３官能アクリレートおよび水酸基含有の単官能アクリレートで開環したポリマーを作製した。以下、詳細を説明する。
まず、原料ポリマー１ ３０ｇ（ＭＡ換算０．１５６ｍｏｌ）に対して、ＭＥＫ ４９．８６ｇを加えて、溶解液を作製した。次いで、この溶解液に対して、Ａ−ＴＭＭ−３Ｌ １９．３７ｇを加え、その後、トリエチルアミン９．００ｇ（０．０８９ｍｏｌ）を加え、温度７０℃で２時間反応させた。さらにその後、４−ＨＢＡ ２８．１３ｇ（０．１９５ｍｏｌ）を加え、温度７０℃で４時間反応させ、反応溶液を作製した。
作製された反応溶液を、比較合成例１と同様に、ギ酸水溶液、過剰量のトルエン、過剰量の水などを用いて精製した。
以上により、原料ポリマー中の無水マレイン酸に由来する構造単位を、Ａ−ＴＭＭ−３Ｌおよび４−ＨＢＡで開環した、ポリマー２４．６４ｇを得た。

（合成例５）
原料ポリマー１のＭＡ単位を、水酸基含有の３官能アクリレートおよび水酸基含有の単官能アクリレートで開環したポリマーを作製した。以下、詳細を説明する。
まず、原料ポリマー１ ３０ｇ（ＭＡ換算０．１５６ｍｏｌ）に対して、ＭＥＫ ４７．３５ｇを加えて、溶解液を作製した。次いで、この溶解液に対して、Ａ−ＴＭＭ−３Ｌ １９．３７ｇを加え、その後、トリエチルアミン１８．００ｇ（０．１７８ｍｏｌ）を加え、温度７０℃で２時間反応させた。さらにその後、４−ＨＢＡ ２８．１３ｇ（０．１９５ｍｏｌ）を加え、温度７０℃で４時間反応させ、反応溶液を作製した。
作製された反応溶液を、比較合成例１と同様に、ギ酸水溶液、過剰量のトルエン、過剰量の水などを用いて精製した。
以上により、原料ポリマー中の無水マレイン酸に由来する構造単位を、Ａ−ＴＭＭ−３Ｌおよび４−ＨＢＡで開環した、ポリマー２５．７７ｇを得た。

（合成例６）
原料ポリマー１のＭＡ単位を、水酸基含有の５官能アクリレートおよび水酸基含有の単官能アクリレートで開環したポリマーを作製した。以下、詳細を説明する。
まず、原料ポリマー１ ３０ｇ（ＭＡ換算０．１５６ｍｏｌ）に対して、ＭＥＫ ７１．０３ｇを加えて、溶解液を作製した。次いで、この溶解液に対して、Ａ−９５５０ ４３．７８ｇを加え、その後、トリエチルアミン９．００ｇ（０．０８９ｍｏｌ）を加え、温度７０℃で２時間反応させた。さらにその後、反応溶液にＢＨＥＡ ２２．６５ｇ（０．１９５ｍｏｌ）を加え、温度７０℃で４時間反応させ、反応溶液を作製した。
作製された反応溶液を、比較合成例１と同様に、ギ酸水溶液、過剰量のトルエン、過剰量の水などを用いて精製した。
以上により、原料ポリマー中の無水マレイン酸に由来する構造単位を、Ａ−９５５０およびＢＨＥＡで開環した、ポリマー２５．５１ｇを得た。

（合成例７）
原料ポリマー２のＭＡ単位を、水酸基含有の３官能アクリレートおよび水酸基含有の単官能アクリレートで開環したポリマーを作製した。以下、詳細を説明する。
まず、原料ポリマー２ ３０ｇ（ＭＡ換算０．１５６ｍｏｌ）に対して、ＭＥＫ ４９．４１ｇを加えて、溶解液を作製した。次いで、この溶解液に対して、Ａ−ＴＭＭ−３ＬＭ−Ｎ １９．３７ｇを加え、その後、トリエチルアミン９．００ｇ（０．０８９ｍｏｌ）を加え、温度７０℃で２時間反応させた。さらにその後、ＢＨＥＡ ２２．６５ｇ（０．１９５ｍｏｌ）を加え、温度７０℃で４時間反応させ、反応溶液を作製した。
作製された反応溶液を、比較合成例１と同様に、ギ酸水溶液、過剰量のトルエン、過剰量の水などを用いて精製した。
以上により、原料ポリマー中の無水マレイン酸に由来する構造単位を、Ａ−ＴＭＭ−３ＬおよびＢＨＥＡで開環した、ポリマー２１．１１ｇを得た。

（合成例８）
原料ポリマー１のＭＡ単位を、水酸基含有の３官能アクリレートおよび水酸基含有の単官能アクリレートで開環したポリマーを作製した。以下、詳細を説明する。
まず、原料ポリマー１ ３０ｇ（ＭＡ換算０．１５６ｍｏｌ）に対して、ＭＥＫ ５０．６０ｇを加えて、溶解液を作製した。次いで、この溶解液に対して、Ａ−ＴＭＭ−３ＬＭ−Ｎ ７．７５ｇを加え、その後、トリエチルアミン９．００ｇ（０．０８９ｍｏｌ）を加え、温度７０℃で２時間反応させた。さらにその後、ＢＨＥＡ ２２．６５ｇ（０．１９５ｍｏｌ）を加え、温度７０℃で４時間反応させ、反応溶液を作製した。
作製された反応溶液を、比較合成例１と同様に、ギ酸水溶液、過剰量のトルエン、過剰量の水などを用いて精製した。
以上により、原料ポリマー中の無水マレイン酸に由来する構造単位をＡ−ＴＭＭ−３ＬＭ−ＮおよびＢＨＥＡで開環した、ポリマー２０．６６ｇを得た。

（合成例９）
原料ポリマー１のＭＡ単位を、水酸基含有の３官能アクリレートおよび水酸基含有の単官能アクリレートで開環したポリマーを作製した。以下、詳細を説明する。
まず、原料ポリマー１ ３０ｇ（ＭＡ換算０．１５６ｍｏｌ）に対して、ＭＥＫ ４６．６０ｇを加えて、溶解液を作製した。次いで、この溶解液に対して、Ａ−ＴＭＭ−３Ｌ ７．７５ｇを加え、その後、トリエチルアミン１８．００ｇ（０．１７８ｍｏｌ）を加え、温度７０℃で２時間反応させた。さらにその後、ＢＨＥＡ ２２．６５ｇ（０．１９５ｍｏｌ）を加え、温度７０℃で４時間反応させ、反応溶液を作製した。
作製された反応溶液を、比較合成例１と同様に、ギ酸水溶液、過剰量のトルエン、過剰量の水などを用いて精製した。
以上により、原料ポリマー中の無水マレイン酸に由来する構造単位をＡ−ＴＭＭ−３ＬおよびＢＨＥＡで開環した、ポリマー２１．２２ｇを得た。

（合成例１０）
原料ポリマー１のＭＡ単位を、水酸基含有の３官能アクリレートおよび水酸基含有の単官能アクリレートで開環したポリマーを作製した。以下、詳細を説明する。
まず、原料ポリマー１ ３０ｇ（ＭＡ換算０．１５６ｍｏｌ）に対して、ＭＥＫ ５４．１３ｇを加えて、溶解液を作製した。次いで、この溶解液に対して、Ａ−ＴＭＭ−３ＬＭ−Ｎ ２９．０６ｇを加え、その後、トリエチルアミン１８．００ｇ（０．１７８ｍｏｌ）を加え、温度７０℃で２時間反応させた。さらにその後、ＢＨＥＡ ２２．６５ｇ（０．１９５ｍｏｌ）を加え、温度７０℃で４時間反応させ、反応溶液を作製した。
作製された反応溶液を、比較合成例１と同様に、ギ酸水溶液、過剰量のトルエン、過剰量の水などを用いて精製した。
以上により、原料ポリマー中の無水マレイン酸に由来する構造単位を、Ａ−ＴＭＭ−３ＬＭ−ＮおよびＢＨＥＡで開環した、ポリマー２４．５４ｇを得た。

＜ＧＰＣ測定＞
各ポリマーについて、ポリスチレンを標準物質としたＧＰＣ測定により、重量平均分子量および分散度（重量平均分子量／数平均分子量）を求めた。
なお、ＧＰＣ測定により、アクリレート化合物（ＢＨＥＡ、４−ＨＢＡ、Ａ−ＴＭＭ−３Ｌ、Ａ−ＴＭＭ−３ＬＭ−Ｎ、Ａ−９５５０）のピークの消失を確認した。つまり、各合成例および比較合成例のポリマーにおいては、原料ポリマーのＭＡ単位と未反応のアクリレートや、そもそもＭＡ単位と反応しないアクリレート化合物（水酸基を含まないアクリレート）が十分に除去されていることを確認した。

＜ポリマーのＮＭＲ測定＞
各合成例および比較合成例のポリマーについて、^１Ｈ−ＮＭＲ測定を行った。
^１Ｈ−ＮＭＲ測定内標準のテレフタル酸ジメチルのフェニル基の４Ｈのピーク（８．１ｐｐｍ付近）の積分値を基準にして、ポリマーのカルボキシル基（−ＣＯＯＨ）のＨのピーク（１２．４ｐｐｍ付近）の積分値からカルボキシル基の量を求めた。そして、その量から酸価（ｍｇＫＯＨ／ｇ）を算出した。
酸価の値が大きいほど、ポリマー単位質量あたりのカルボキシル基の量が多いことを表す。

また、同様に、テレフタル酸ジメチルのフェニル基の４Ｈのピーク（８．１ｐｐｍ付近）の積分値を基準にして、ポリマー中のアクリロイル部分（ＣＨ_２＝ＣＨ−ＣＯＯ−）の３Ｈのピーク（６．２ｐｐｍ付近）の積分値よりＣ＝Ｃ二重結合の量を求め、その量から二重結合当量 （Ｃ＝Ｃ二重結合１モルあたりのポリマー質量、ｇ／ｍｏｌ）を算出した。
二重結合当量の値が小さいほど、ポリマー単位質量あたりのＣ＝Ｃ二重結合の量が多いことを表す。

表１に、各合成例および比較合成例のポリマーについて、合成で用いたアクリレート化合物、ポリマーの重量平均分子量、分散度、酸価および二重結合当量をまとめて示す。

あわせて、第一構造単位のうち、Ｒ^Ｄが２以上の重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位の比率と、第一構造単位のうち、Ｒ^Ｄが１のみの重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位の比率（ポリマーの全構造単位中の比率）も、表１に示す。これら比率は、原料ポリマー１または２中のノルボルネン構造単位：無水マレイン酸構造単位の比率が５０：５０（モル比）であることを前提として、前述のように「連立方程式」を解くこと等により求めた。
念のため述べておくと、各ポリマーにおいて、これら２つの比率の和は５０ｍｏｌ％未満である。このことから、ポリマー中の無水マレイン酸構造単位の全ては開環せず、一部は式（ＭＡ）で表される構造のままであることがいえる。

ここで、合成例のポリマーの酸価および二重結合当量の数値から、合成例１〜１０のポリマーには、一般式（１）で表される構造単位であって、Ｒ^Ｄが２以上の重合性炭素−炭素二重結合を含む基であるものが含まれていることが裏付けられる。このことについて以下に説明する。

ヒドロキシ基および重合性炭素−炭素二重結合を有する化合物による、原料ポリマー中のＭＡ単位の開環を考える。
１分子のヒドロキシ基および重合性炭素−炭素二重結合を有する化合物が、１のＭＡ単位を開環させると、一般式（１）のように１つのカルボキシル基が生成する。
ここで、ヒドロキシ基および重合性炭素−炭素二重結合を有する化合物が、ＢＨＥＡや４−ＨＢＡの如き単官能化合物である場合には、導入されるＣ＝Ｃ二重結合の数は１つである。つまり、１つのＭＡ単位の開環により、カルボキシル基が１つ、Ｃ＝Ｃ二重結合が１つ増える。

一方、ヒドロキシ基および重合性炭素−炭素二重結合を有する化合物が、Ａ−ＴＭＭ−３ＬやＡ−９５５０の如き多官能化合物である場合には、１つのＭＡ単位の開環により、カルボキシル基は１つ、Ｃ＝Ｃ二重結合は「２以上」増える。

そうすると、酸価が同程度（すなわち、ＭＡ単位の開環量が同程度）の２種以上のポリマーにおいては、多官能化合物でＭＡ単位を開環させたポリマーのほうが、単官能化合物でＭＡ単位を開環させたポリマーよりも、二重結合当量は小さくなる。

このことを踏まえて上表を確認する。
合成例１〜１０のポリマーの酸価（開環によるカルボキシ基の生成量に対応する）は、比較合成例２、３のポリマー（単官能化合物のみでＭＡ単位を開環させたもの）の酸価と同程度または小さい。それにもかかわらず、合成例１〜１０のポリマーの二重結合当量は比較合成例２、３のポリマーのそれよりも小さい傾向にある（つまり、ポリマー単位質量あたりのＣ＝Ｃ二重結合の量が多い）。このことは、合成例１〜１０のポリマーには、Ａ−ＴＭＭ−３ＬやＡ−９５５０の如き多官能化合物に由来する構造が導入されていることを示す。

合成の手順からして、Ａ−ＴＭＭ−３ＬやＡ−９５５０の如き多官能化合物に由来する構造が原料ポリマーに導入されていることは明らかではあるが、上記のように、酸価と二重結合当量の関係からも、多官能化合物に由来する構造の導入が裏付けられる。

＜評価＞
［現像性評価］（ＴＭＡＨ水溶液に対するポリマーの溶解速度）
各合成例および比較合成例のポリマーをプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）に溶解させて、固形分濃度３０質量％の溶液を作製した。
次いで、ウエハー上に上記溶液をスピンコートし、ＰＧＭＥＡを乾燥させ、そして温度１００℃で２分間プリベークすることで、膜厚約２μｍの樹脂膜を作製した。
この樹脂膜を、ウエハーごと、温度２３℃の２．３８質量％水酸化テトラメチルアンモニウム（ＴＭＡＨ）水溶液に浸漬し、樹脂膜の溶解速度を測定した。
溶解速度は、浸漬したウエハーを目視で観察して樹脂膜が溶解して干渉模様が見えなくなるまでの時間を測定し、その時間で膜厚を割り算することで算出した。

現像性の良し悪しは、以下基準により判断した。
○（良い）：溶解速度５００ｎｍ／ｓ以上
×（悪い）：溶解速度５００ｎｍ／ｓ未満

［感度評価］（２．０質量％炭酸ナトリウム水溶液）
まず、全固形分濃度が３０質量％になるように、以下成分をプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）に溶解した感光性樹脂組成物を得た。
・ポリマー（合成例１〜１０または比較合成例１〜３のもの）：１００質量部
・多官能アクリレート（ジペンタエリスリトールキサアクリレート）：５０質量部
・光重合開始剤（ＢＡＳＦ社製、Ｉｎｇａｃｕｒｅ ＯＸＥ０１）：５質量部
・密着助剤（信越化学工業株式会社製、ＫＢＭ−４０３）：１質量部
・界面活性剤（ＤＩＣ株式会社製、Ｆ−５５６）：０．５質量部

得られた樹脂組成物を、ＨＭＤＳ（Ｈｅｘａｍｅｔｈｙｌｄｉｓｉｌａｚａｎｅ）処理した３インチシリコンウェハー上に回転塗布し、１００℃、１２０秒間ホットプレートにてベークして、約３．０μｍ厚（±０．３μｍ）の薄膜Ａを得た。
この薄膜Ａに、遮光率１〜１００％の階調を有するフォトマスクを介して、キヤノン社製ｇ＋ｈ＋ｉ線マスクアライナー（ＰＬＡ−５０１Ｆ）にて１００ｍＪ／ｃｍ^２の露光量でｇ＋ｈ＋ｉ線を露光した。
露光後、薄膜を２．０質量％炭酸ナトリウム水溶液で２３℃、６０秒間現像（ウェハーごと浸漬）することで、１〜１００ｍＪ／ｃｍ^２の各露光量で露光、現像された薄膜Ｂを得た。

上記の方法にて得られた薄膜Ａ、薄膜Ｂの膜厚から、以下の式より残膜率を算出した。
残膜率（％）＝（各露光量での薄膜Ｂの膜厚／薄膜Ａの膜厚）×１００
そして、残膜率が９５％以上となる露光量を、各感光性樹脂組成物の感度として、以下基準により評価した。
◎（感度がとても良い）：２０ｍＪ／ｃｍ^２以下
○（感度が良い）：２１〜５０ｍＪ／ｃｍ^２
×（感度が悪い）：５１ｍＪ／ｃｍ^２以上

［現像性評価］（追加：Ｎａ_２ＣＯ_３水溶液に対するポリマーの溶解速度）
様々な現像プロセスに対する適応性などを探るため、現像液として炭酸ナトリウム水溶液を用いた場合の現像性も評価した。
具体的には、上記［感度評価］で調製した感光性樹脂組成物のうち、ポリマーとして合成例１〜１０のいずれかのものを用いた組成物について、現像液としては２．０質量％炭酸ナトリウム水溶液を用い、手順としては上記［現像性評価］と同様にして樹脂膜の作製と溶解速度の測定を行った。そして、以下基準で評価した。
○（良い）：溶解速度５０ｎｍ／ｓ以上
×（悪い）：溶解速度５０ｎｍ／ｓ未満

評価結果を以下にまとめて示す。

表２に示されるとおり、合成例１〜１０のポリマーを用いた評価においては、現像性と感度の両性能が良好であった。すなわち、感度と現像性を両立させることができた。
特に、現像性については、ＴＭＡＨ現像液を用いた場合だけでなく、炭酸ナトリウム現像液を用いた場合も良好であった。本実施形態の感光性樹脂組成物またはポリマーは、様々な種類の現像液に対する溶解性が良好であることが読み取れる。

一方、比較合成例１のポリマーを用いた評価においては、現像性が悪かった。比較的多量の重合性炭素−炭素二重結合がポリマー中に含まれていたにもかかわらず（二重結合当量：２８６ｇ／ｍｏｌ）、酸価が７０ｍｇＫＯＨ／ｇ未満と小さかったために、十分な現像性が得られなかったものと考えられる。
また、比較合成例２、３のポリマーを用いた評価においては、感度が悪かった。高感度化に必要な密度の二重結合がポリマー中に存在しなかったためと考えられる。

＜カラーフィルタの作製＞
［感度評価］で調製した感光性樹脂組成物のうち、合成例１のポリマーを含むものに対し、さらに、顔料分散液ＮＸ−０６１（大日精化工業株式会社製、緑色）を適量加えた着色感光性樹脂組成物を調製した。これを基板上に製膜し、露光、アルカリ現像処理などを行うことで、緑色のカラーフィルタを形成することができた。
また、顔料分散液として、ＮＸ−０６１の代わりに、同社製のＮＸ−０５３（青色）、ＮＸ−０３２（赤色）などを用いて、青色または赤色のカラーフィルタを形成することができた。
ちなみに、これらカラーフィルタは、デバイス作製工程の中で晒されうる高温に対して十分な耐性を有していた。これには、ポリマーが環状炭化水素骨格を有する構造単位を含むことが関係していると考えられる。

＜ブラックマトリクスの作製＞
［感度評価］で調製した感光性樹脂組成物のうち、合成例１のポリマーを含むものに対し、さらに、カーボンブラック分散液ＮＸ−５９５（大日精化工業株式会社製）を適量加えた黒色感光性樹脂組成物を調製した。これを基板上に製膜し、露光、アルカリ現像処理などを行うことで、ブラックマトリクスを形成することができた。
ちなみに、このブラックマトリックスは、デバイス作製工程の中で晒されうる高温に対して十分な耐性を有していた。これには、ポリマーが環状炭化水素骨格を有する構造単位を含むことが関係していると考えられる。

この出願は、２０１９年１月３１日に出願された日本出願特願２０１９−０１５７１５号を基礎とする優先権を主張し、その開示の全てをここに取り込む。

１．
以下一般式（１）で表される第一構造単位を有し、酸価が７０〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇであり、二重結合当量が１００〜５００ｇ／ｍｏｌであるポリマーを含む、感光性樹脂組成物であって、
前記ポリマーは、スチレン骨格を有するモノマーに由来する構造単位を有しない感光性樹脂組成物。

一般式（１）中、Ｒ^Ｄは、重合性炭素−炭素二重結合を含む基である。
２．
一般式（１）（前掲）で表される第一構造単位を有し、酸価が７０〜３００ｍｇＫＯＨ／ｇであり、二重結合当量が１００〜５００ｇ／ｍｏｌであるポリマーを含む、感光性樹脂組成物であって、
前記第一構造単位は、Ｒ ^Ｄ が２以上の重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位を含み、
前記ポリマーは、さらに、後掲の一般式（ＮＢ）で表される環状炭化水素骨格を有する構造単位を含む、感光性樹脂組成物。
３．
一般式（１）（前掲）で表される第一構造単位を有し、酸価が７０〜３００ｍｇＫＯＨ／ｇであり、二重結合当量が１００〜５００ｇ／ｍｏｌであるポリマーを含む、感光性樹脂組成物であって、
前記第一構造単位は、Ｒ ^Ｄ が２以上の重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位と、Ｒ ^Ｄ が１のみの重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位とを含む、感光性樹脂組成物。
４．
１．に記載の感光性樹脂組成物であって、
前記第一構造単位は、Ｒ ^Ｄ が２以上の重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位を含む、感光性樹脂組成物。
５．
１．、２または４に記載の感光性樹脂組成物であって、
前記第一構造単位は、Ｒ ^Ｄ が２以上の重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位と、Ｒ ^Ｄ が１のみの重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位とを含む、感光性樹脂組成物。
６．
１．〜５．のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物であって、
前記ポリマーが、さらに、以下式（ＭＡ）で表される第二構造単位を含む、感光性樹脂組成物。

７．
１．、３または４のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物であって、
前記ポリマーが、さらに、環状炭化水素骨格を有する構造単位を含む、感光性樹脂組成物。
８．
１．〜７．のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物であって、
前記ポリマーの全構造単位中の前記第一構造単位の比率が、１０〜４０ｍｏｌ％である、感光性樹脂組成物。
９．
１．〜８．のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物であって、
前記ポリマーの重量平均分子量が、６，０００〜２５，０００である、感光性樹脂組成物。
１０．
１．〜９．のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物であって、
さらに着色剤を含む感光性樹脂組成物。
１１．
１．〜９．のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物であって、
さらに遮光剤を含む感光性樹脂組成物。
１２．
以下一般式（１）で表される第一構造単位を有し、酸価が７０〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇであり、二重結合当量が１００〜５００ｇ／ｍｏｌであるポリマーであって、
スチレン骨格を有するモノマーに由来する構造単位を有しないポリマー。

一般式（１）中、Ｒ ^Ｄ は、重合性炭素−炭素二重結合を含む基である。
１３．
一般式（１）（前掲）で表される第一構造単位を有し、酸価が７０〜３００ｍｇＫＯＨ／ｇであり、二重結合当量が１００〜５００ｇ／ｍｏｌであるポリマーであって、
前記第一構造単位は、Ｒ ^Ｄ が２以上の重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位を含み、
さらに、後掲の一般式（ＮＢ）で表される環状炭化水素骨格を有する構造単位を含むポリマー。
１４．
一般式（１）（前掲）で表される第一構造単位を有し、酸価が７０〜３００ｍｇＫＯＨ／ｇであり、二重結合当量が１００〜５００ｇ／ｍｏｌであるポリマーであって、
前記第一構造単位は、Ｒ ^Ｄ が２以上の重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位と、Ｒ ^Ｄ が１のみの重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位とを含むポリマー。
１５．
１２．に記載のポリマーであって、
前記第一構造単位は、Ｒ ^Ｄ が２以上の重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位を含むポリマー。
１６．
１２．、１３または１５に記載のポリマーであって、
前記第一構造単位は、Ｒ ^Ｄ が２以上の重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位と、Ｒ ^Ｄ が１のみの重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位とを含むポリマー。
１７．
１２．〜１６．のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物であって、
さらに、以下式（ＭＡ）で表される第二構造単位を含むポリマー。

１８．
１２．、１４または１５に記載のポリマーであって、
さらに、環状炭化水素骨格を有する構造単位を含むポリマー。
１９．
１２．〜１８．のいずれか１つに記載のポリマーであって、
全構造単位中の前記第一構造単位の比率が、１０〜４０ｍｏｌ％であるポリマー。
２０．
１２．〜１９．のいずれか１つに記載のポリマーであって、
重量平均分子量が、６，０００〜２５，０００であるポリマー。
２１．
１．〜９．のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物を用いて得られるパターン。
２２．
１０．に記載の感光性樹脂組成物を用いて得られるカラーフィルタ。
２３．
２２．に記載のカラーフィルタを備える表示装置。
２４．
２２．に記載のカラーフィルタを備える撮像素子。
２５．
１１．に記載の感光性樹脂組成物を用いて得られるブラックマトリクス。
２６．
２５．に記載のブラックマトリクスを備える表示装置。
２７．
２６．に記載のブラックマトリクスを備える撮像素子。

以上、本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することができる。また、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれる。
以下、参考形態の例を付記する。
１．
一般式（１）（前掲）で表される第一構造単位を有し、酸価が７０〜３００ｍｇＫＯＨ／ｇであり、二重結合当量が１００〜５００ｇ／ｍｏｌであるポリマーを含む、感光性樹脂組成物。
２．
１．に記載の感光性樹脂組成物であって、
前記第一構造単位は、Ｒ ^Ｄ が２以上の重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位を含む、感光性樹脂組成物。
３．
１．または２．に記載の感光性樹脂組成物であって、
前記第一構造単位は、Ｒ ^Ｄ が２以上の重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位と、Ｒ ^Ｄ が１のみの重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位とを含む、感光性樹脂組成物。
４．
１．〜３．のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物であって、
前記ポリマーが、さらに、式（ＭＡ）（前掲）で表される第二構造単位を含む、感光性樹脂組成物。
５．
１．〜４．のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物であって、
前記ポリマーが、さらに、環状炭化水素骨格を有する構造単位を含む、感光性樹脂組成物。
６．
１．〜５．のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物であって、
前記ポリマーの全構造単位中の前記第一構造単位の比率が、１０〜４０ｍｏｌ％である、感光性樹脂組成物。
７．
１．〜６．のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物であって、
前記ポリマーの重量平均分子量が、６，０００〜２５，０００である、感光性樹脂組成物。
８．
１．〜７．のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物であって、
さらに着色剤を含む感光性樹脂組成物。
９．
１．〜７．のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物であって、
さらに遮光剤を含む感光性樹脂組成物。
１０．
一般式（１）（前掲）で表される第一構造単位を有し、酸価が７０〜３００ｍｇＫＯＨ／ｇであり、二重結合当量が１００〜５００ｇ／ｍｏｌであるポリマー。
１１．
１０．に記載のポリマーであって、
前記第一構造単位は、Ｒ ^Ｄ が２以上の重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位を含むポリマー。
１２．
１０．または１１．に記載のポリマーであって、
前記第一構造単位は、Ｒ ^Ｄ が２以上の重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位と、Ｒ ^Ｄ が１のみの重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位とを含むポリマー。
１３．
１０．〜１２．のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物であって、
さらに、式（ＭＡ）（前掲）で表される第二構造単位を含むポリマー。
１４．
１０．〜１３．のいずれか１つに記載のポリマーであって、
さらに、環状炭化水素骨格を有する構造単位を含むポリマー。
１５．
１０．〜１４．のいずれか１つに記載のポリマーであって、
全構造単位中の前記第一構造単位の比率が、１０〜４０ｍｏｌ％であるポリマー。
１６．
１０．〜１５．のいずれか１つに記載のポリマーであって、
重量平均分子量が、６，０００〜２５，０００であるポリマー。
１７．
１．〜７．のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物を用いて得られるパターン。
１８．
８．に記載の感光性樹脂組成物を用いて得られるカラーフィルタ。
１９．
１８．に記載のカラーフィルタを備える表示装置。
２０．
１８．に記載のカラーフィルタを備える撮像素子。
２１．
９．に記載の感光性樹脂組成物を用いて得られるブラックマトリクス。
２２．
２１．に記載のブラックマトリクスを備える表示装置。
２３．
２１．に記載のブラックマトリクスを備える撮像素子。

１．
以下一般式（１）で表される第一構造単位を有し、酸価が７０〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇであり、二重結合当量が１００〜５００ｇ／ｍｏｌであるポリマーを含む、感光性樹脂組成物であって、
前記ポリマーは、スチレン骨格を有するモノマーに由来する構造単位を有しない感光性樹脂組成物。

一般式（１）中、Ｒ^Ｄは、重合性炭素−炭素二重結合を含む基である。
２．
一般式（１）（前掲）で表される第一構造単位を有し、酸価が７０〜３００ｍｇＫＯＨ／ｇであり、二重結合当量が１００〜５００ｇ／ｍｏｌであるポリマーを含む、感光性樹脂組成物であって、
前記第一構造単位は、Ｒ^Ｄが２以上の重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位を含み、
前記ポリマーは、さらに、後掲の一般式（ＮＢ）で表される環状炭化水素骨格を有する構造単位をポリマー中３０〜７０ｍｏｌ％含む、感光性樹脂組成物。
３．
一般式（１）（前掲）で表される第一構造単位を有し、酸価が７０〜３００ｍｇＫＯＨ／ｇであり、二重結合当量が１００〜５００ｇ／ｍｏｌであるポリマーを含む、感光性樹脂組成物であって、
前記第一構造単位は、Ｒ^Ｄが２以上の重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位と、Ｒ^Ｄが１のみの重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位とを含む、感光性樹脂組成物。
４．
１．に記載の感光性樹脂組成物であって、
前記第一構造単位は、Ｒ^Ｄが２以上の重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位を含む、感光性樹脂組成物。
５．
１．、２．または４．に記載の感光性樹脂組成物であって、
前記第一構造単位は、Ｒ^Ｄが２以上の重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位と、Ｒ^Ｄが１のみの重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位とを含む、感光性樹脂組成物。
６．
１．〜５．のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物であって、
前記ポリマーが、さらに、以下式（ＭＡ）で表される第二構造単位を含む、感光性樹脂組成物。

７．
１．、３または４のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物であって、
前記ポリマーが、さらに、環状炭化水素骨格を有する構造単位を含む、感光性樹脂組成物。
８．
１．〜７．のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物であって、
前記ポリマーの全構造単位中の前記第一構造単位の比率が、１０〜４０ｍｏｌ％である、感光性樹脂組成物。
９．
１．〜８．のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物であって、
前記ポリマーの重量平均分子量が、６，０００〜２５，０００である、感光性樹脂組成物。
１０．
１．〜９．のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物であって、
さらに着色剤を含む感光性樹脂組成物。
１１．
１．〜９．のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物であって、
さらに遮光剤を含む感光性樹脂組成物。
１２．
以下一般式（１）で表される第一構造単位を有し、酸価が７０〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇであり、二重結合当量が１００〜５００ｇ／ｍｏｌであるポリマーであって、
スチレン骨格を有するモノマーに由来する構造単位を有しないポリマー。

一般式（１）中、Ｒ^Ｄは、重合性炭素−炭素二重結合を含む基である。
１３．
一般式（１）（前掲）で表される第一構造単位を有し、酸価が７０〜３００ｍｇＫＯＨ／ｇであり、二重結合当量が１００〜５００ｇ／ｍｏｌであるポリマーであって、
前記第一構造単位は、Ｒ^Ｄが２以上の重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位を含み、
さらに、後掲の一般式（ＮＢ）で表される環状炭化水素骨格を有する構造単位を３０〜７０ｍｏｌ％含むポリマー。
１４．
一般式（１）（前掲）で表される第一構造単位を有し、酸価が７０〜３００ｍｇＫＯＨ／ｇであり、二重結合当量が１００〜５００ｇ／ｍｏｌであるポリマーであって、
前記第一構造単位は、Ｒ^Ｄが２以上の重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位と、Ｒ^Ｄが１のみの重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位とを含むポリマー。
１５．
１２．に記載のポリマーであって、
前記第一構造単位は、Ｒ^Ｄが２以上の重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位を含むポリマー。
１６．
１２．、１３．または１５．に記載のポリマーであって、
前記第一構造単位は、Ｒ^Ｄが２以上の重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位と、Ｒ^Ｄが１のみの重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位とを含むポリマー。
１７．
１２．〜１６．のいずれか１つに記載のポリマーであって、
さらに、以下式（ＭＡ）で表される第二構造単位を含むポリマー。

１８．
１２．、１４．または１５．に記載のポリマーであって、
さらに、環状炭化水素骨格を有する構造単位を含むポリマー。
１９．
１２．〜１８．のいずれか１つに記載のポリマーであって、
全構造単位中の前記第一構造単位の比率が、１０〜４０ｍｏｌ％であるポリマー。
２０．
１２．〜１９．のいずれか１つに記載のポリマーであって、
重量平均分子量が、６，０００〜２５，０００であるポリマー。
２１．
１．〜９．のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物を用いて得られるパターン。
２２．
１０．に記載の感光性樹脂組成物を用いて得られるカラーフィルタ。
２３．
２２．に記載のカラーフィルタを備える表示装置。
２４．
２２．に記載のカラーフィルタを備える撮像素子。
２５．
１１．に記載の感光性樹脂組成物を用いて得られるブラックマトリクス。
２６．
２５．に記載のブラックマトリクスを備える表示装置。
２７．
２６．に記載のブラックマトリクスを備える撮像素子。

Claims (23)

1. 以下一般式（１）で表される第一構造単位を有し、酸価が７０〜３００ｍｇＫＯＨ／ｇであり、二重結合当量が１００〜５００ｇ／ｍｏｌであるポリマーを含む、感光性樹脂組成物。
   

   

   一般式（１）中、Ｒ^Ｄは、重合性炭素−炭素二重結合を含む基である。
2. 請求項１に記載の感光性樹脂組成物であって、
   前記第一構造単位は、Ｒ^Ｄが２以上の重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位を含む、感光性樹脂組成物。
3. 請求項１または２に記載の感光性樹脂組成物であって、
   前記第一構造単位は、Ｒ^Ｄが２以上の重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位と、Ｒ^Ｄが１のみの重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位とを含む、感光性樹脂組成物。
4. 請求項１〜３のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物であって、
   前記ポリマーが、さらに、以下式（ＭＡ）で表される第二構造単位を含む、感光性樹脂組成物。
   

   
5. 請求項１〜４のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物であって、
   前記ポリマーが、さらに、環状炭化水素骨格を有する構造単位を含む、感光性樹脂組成物。
6. 請求項１〜５のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物であって、
   前記ポリマーの全構造単位中の前記第一構造単位の比率が、１０〜４０ｍｏｌ％である、感光性樹脂組成物。
7. 請求項１〜６のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物であって、
   前記ポリマーの重量平均分子量が、６，０００〜２５，０００である、感光性樹脂組成物。
8. 請求項１〜７のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物であって、
   さらに着色剤を含む感光性樹脂組成物。
9. 請求項１〜７のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物であって、
   さらに遮光剤を含む感光性樹脂組成物。
10. 以下一般式（１）で表される第一構造単位を有し、酸価が７０〜３００ｍｇＫＯＨ／ｇであり、二重結合当量が１００〜５００ｇ／ｍｏｌであるポリマー。
    

    

    一般式（１）中、Ｒ^Ｄは、重合性炭素−炭素二重結合を含む基である。
11. 請求項１０に記載のポリマーであって、
    前記第一構造単位は、Ｒ^Ｄが２以上の重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位を含むポリマー。
12. 請求項１０または１１に記載のポリマーであって、
    前記第一構造単位は、Ｒ^Ｄが２以上の重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位と、Ｒ^Ｄが１のみの重合性炭素−炭素二重結合を含む基である構造単位とを含むポリマー。
13. 請求項１０〜１２のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物であって、
    さらに、以下式（ＭＡ）で表される第二構造単位を含むポリマー。
    

    
14. 請求項１０〜１３のいずれか１項に記載のポリマーであって、
    さらに、環状炭化水素骨格を有する構造単位を含むポリマー。
15. 請求項１０〜１４のいずれか１項に記載のポリマーであって、
    全構造単位中の前記第一構造単位の比率が、１０〜４０ｍｏｌ％であるポリマー。
16. 請求項１０〜１５のいずれか１項に記載のポリマーであって、
    重量平均分子量が、６，０００〜２５，０００であるポリマー。
17. 請求項１〜７のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物を用いて得られるパターン。
18. 請求項８に記載の感光性樹脂組成物を用いて得られるカラーフィルタ。
19. 請求項１８に記載のカラーフィルタを備える表示装置。
20. 請求項１８に記載のカラーフィルタを備える撮像素子。
21. 請求項９に記載の感光性樹脂組成物を用いて得られるブラックマトリクス。
22. 請求項２１に記載のブラックマトリクスを備える表示装置。
23. 請求項２１に記載のブラックマトリクスを備える撮像素子。

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