JPWO2016084721A1 - 透明アルミナ焼結体の製法 - Google Patents
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Abstract
Description
(a)アスペクト比が3以上の板状アルミナ粉末を含むアルミナ原料粉末を、該アルミナ原料粉末中のFのAlに対する質量比R1が5ppm以上となるように調製し、前記アルミナ原料粉末を含む成形用原料を成形して成形体とする工程と、
(b)前記成形体を1700℃以上で加圧焼成することにより透明アルミナ焼結体を得る工程と、
を含むものである。
R1=X×(板状アルミナの質量/アルミナ原料粉末の質量) …(1)
(a)アスペクト比が3以上の板状アルミナ粉末を含むアルミナ原料粉末を、該アルミナ原料粉末中のFのAlに対する質量比R2が15ppm以上となるように調製する工程と、
(b)前記成形体を1700℃以上で加圧焼成することにより透明アルミナ焼結体を得る工程と、
を含む透明アルミナ焼結体の製法。
R2=100×[x1×T+x2×(100-T)+x3×Z]/[y1×T+y2×(100-T)+y3 ×Z}…(2)
(a)アスペクト比が3以上の板状アルミナ粉末を含むアルミナ原料粉末を、該アルミナ原料粉末中のFのAlに対する質量比R1が5ppm以上(あるいは質量比R2が15ppm以上)となるように調製し、前記アルミナ原料粉末を含む成形用原料を成形して成形体とする工程と、
(b)前記成形体を1700℃以上で加圧焼成することにより透明アルミナ焼結体を得る工程と、
を含むものである。
1.アルミナ焼結体の作製
(1)板状アルミナ粉末の作製
高純度γ−アルミナ(TM−300D、大明化学製)96質量部と、高純度AlF3(関東化学製、鹿特級)4質量部と、種結晶として高純度α−アルミナ(TM−DAR、大明化学製、D50=1μm)0.17質量部とを、溶媒をIPA(イソプロピルアルコール)としてφ2mmのアルミナボールを用いて5時間ポットミルで混合した。得られた混合粉末中のF,H,C,S以外の不純物元素の質量割合の合計は1000ppm以下であった。得られた混合原料粉末300gを純度99.5質量%の高純度アルミナ製のさや(容積750cm3)に入れ、純度99.5質量%の高純度アルミナ製の蓋をして電気炉内でエアフロー中、900℃、3時間熱処理した。エアの流量は25000cc/minとした。熱処理後の粉末を大気中、1150℃で40時間アニール処理した後、φ2mmのアルミナボールを用いて4時間粉砕して平均粒径2μm、平均厚み0.2μm、アスペクト比10の板状アルミナ粉末を得た。粒子の平均粒径、平均厚みは、走査型電子顕微鏡(SEM)で板状アルミナ粉末中の任意の粒子100個を観察して決定した。平均粒径は、粒子の長軸長の平均値、平均厚みは、粒子の短軸長の平均値、アスペクト比は平均粒径/平均厚みである。得られた板状アルミナ粉末は、α−アルミナであった。
C,S:燃焼(高周波加熱)−赤外線吸収法
N:不活性ガス融解−熱伝導度法
H:不活性ガス融解−非分散型赤外線吸収法
F:熱加水分解−イオンクロマトグラフ法、アルカリ融解−イオンクロマトグラフ法
上記以外の不純物元素(主にSi,Fe,Ti,Na,Ca,Mg,K,P,V,Cr,Mn,Co,Ni,Cu,Zn,Y,Zr,Pb,Bi,Li,Be,B,Cl,Sc,Ga,Ge,As,Se,Br,Rb,Sr,Nb,Mo,Ru,Rh,Pd,Ag,Cd,In,Sn,Sb,Te,Cs,Ba,Hf,Ta,W,Ir,Pt,Au,Hg,La,Ce,Pr,Nd,Sm,Eu,Gd,Tb,Dy,Ho,Er,Tm,Yb,Lu):ICP発光分析
上記(1)で作製した板状アルミナ粉末5質量部と、微細なアルミナ粉末(TM−DAR、平均粒径0.1μm、大明化学製)95質量部とを混合し、混合アルミナ粉末とした。この混合アルミナ粉末100質量部に対し、酸化マグネシウム(500A、宇部マテリアルズ製)0.025質量部(250質量ppm)と、グラファイト粉末(UF−G5、昭和電工製)0.01質量部と、バインダーとしてポリビニルブチラール(品番BM−2、積水化学工業製)7.8質量部と、可塑剤としてジ(2−エチルヘキシル)フタレート(黒金化成製)3.9質量部と、分散剤としてトリオレイン酸ソルビタン(レオドールSP−O30、花王製)2質量部と、分散媒として2−エチルヘキサノールとを加えて混合した。分散媒の量は、スラリー粘度が20000cPとなるように調整した。このようにして調製されたスラリーを、ドクターブレード法によってPETフィルムの上に乾燥後の厚さが20μmとなるようにシート状に成形した。得られたテープを口径50.8mm(2インチ)の円形に切断した後150枚積層し、厚さ10mmのAl板の上に載置した後、パッケージに入れて内部を真空にすることで真空パックとした。この真空パックを85℃の温水中で100kgf/cm2の圧力にて静水圧プレスを行い、円板状の成形体を得た。
得られた成形体を脱脂炉中に配置し、600℃で10時間の条件で脱脂を行った。得られた脱脂体を黒鉛製の型を用い、ホットプレスにて窒素中1800℃で4時間、面圧200kgf/cm2の条件で焼成し、アルミナ焼結体を得た。得られたアルミナ焼結体のサンプルの外観写真を図3に示した。図3に描かれたNGKのロゴ入りマークは日本碍子(株)の登録商標である。
(1)c面配向度
得られたアルミナ焼結体の配向度を確認するため、円板状のアルミナ焼結体の上面に対して平行になるように研磨加工した後、その研磨面に対してX線を照射しc面配向度を測定した。XRD装置(リガク製、RINT−TTR III)を用い、2θ=20〜70°の範囲でXRDプロファイルを測定した。具体的には、CuKα線を用いて電圧50kV、電流300mAという条件で測定した。c面配向度は、ロットゲーリング法によって算出した。具体的には、以下の式により算出した。c面とはアルミナの(006)面である。式中、Pは作製したアルミナ焼結体のXRDから得られた値であり、P0は標準α−アルミナ(JCPDSカードNo.46−1212)から算出された値である。実験例1のアルミナ焼結体のc面配向度は99.7%であった。
得られたアルミナ焼結体の任意の断面をクロスセクションポリッシャ(CP)(日本電子製、IB−09010CP)で研磨した。CPはイオンミリングの範疇に属する。CPを用いたのは、研磨面に脱粒が生じないからである。得られた断面を走査型電子顕微鏡(日本電子製、JSM−6390)にて撮影した。具体的には、図4のような縦19.0μm×横25.4μmの視野を倍率5000倍で撮影した写真を、図5のように縦6枚分、横5枚分の連続的な写真(縦114μm×横127μm)となるように並べ、目視により気孔の数をカウントした。気孔と気孔でない部分とは、明暗がはっきりしているため目視で容易に区別することができる。実験例1のアルミナ焼結体で確認された気孔数は0個であった。また、縦223.4μm×横321.4μmの視野を倍率500倍で撮影した写真を、縦6枚分、横5枚分の連続的な写真(縦1340.4μm×横1607.0μm)となるように並べ、目視により直径1μm以上の気孔の数をカウントした。この場合、実験例1のアルミナ焼結体で確認された気孔数は2個であった。
アルミナ焼結体を純度99.9%のアルミナ乳鉢で粉砕した後、不純物元素を下記方法により定量分析した。そして、アルミナ焼結体中のMg,C以外の不純物元素の合計の質量割合(ppm)、アルミナ焼結体に含まれるMg,Cの質量割合(ppm)を求めた。実験例1のアルミナ焼結体のMg,C以外の不純物元素は、いずれも検出限界以下であり、Mgが112ppm、Cが40ppm検出された。
C,S:燃焼(高周波加熱)−赤外線吸収法
N:不活性ガス融解−熱伝導度法
H:不活性ガス融解−非分散型赤外線吸収法
F:熱加水分解−イオンクロマトグラフ法
上記以外の不純物元素(主にSi,Fe,Ti,Na,Ca,Mg,K,P,V,Cr,Mn,Co,Ni,Cu,Zn,Y,Zr,Pb,Bi,Li,Be,B,Cl,Sc,Ga,Ge,As,Se,Br,Rb,Sr,Nb,Mo,Ru,Rh,Pd,Ag,Cd,In,Sn,Sb,Te,Cs,Ba,Hf,Ta,W,Ir,Pt,Au,Hg,La,Ce,Pr,Nd,Sm,Eu,Gd,Tb,Dy,Ho,Er,Tm,Yb,Lu):ICP発光分析
アルミナ焼結体のAl2O3含有量(質量%)は、上述した定量分析で得られた、アルミナ焼結体中のAl、O以外の元素の質量%の和Sを算出し、100−Sにより便宜的に求めた。実験例1のアルミナ焼結体のAl2O3含有量は99.98質量%であった。
得られたアルミナ焼結体を、10mm×10mmの大きさに切り出し、φ68mmの金属製定盤の最外周部に90°おきに4個固定し、SiC研磨紙上で、金属製定盤と研磨治具の荷重のみ(合わせて1314g)をかけた状態で#800で10分、#1200で5分ラップ研磨(予備研磨)した。その後、セラミック定盤上でダイヤモンド砥粒を用いたラップ研磨を行った。ラップ研磨は、砥粒サイズ1μmで30分、その後、砥粒サイズ0.5μmで2時間行った。研磨後の10mm×10mm×0.2mm厚の試料をアセトン、エタノール、イオン交換水の順でそれぞれ3分間洗浄した後、分光光度計(Perkin Elmer製、Lambda900)を用いて波長350〜1000nmにおける直線透過率を測定した。実験例1のアルミナ焼結体の波長350〜1000nmにおける直線透過率は80.3%以上であった。また、0.5mm厚の試料の波長300〜1000nmにおける直線透過率は66.0%以上であった。
板状アルミナ粉末を作製する際のアニール温度を1180℃としたこと以外は実験例1と同様にしてアルミナ焼結体を作製した。熱処理温度が高くFの揮発量が増加したため、混合アルミナ粉末の質量比R1,R2はそれぞれ11,491であった。得られたアルミナ焼結体につき、上記2.(1)〜(5)の特性を求めた。その結果を表1に示した。
テープ成形の際の板状アルミナ粉末と微細アルミナ粉末との混合比を質量比で1.5:98.5としたこと以外は実験例1と同様にしてアルミナ焼結体を作製した。Fを含有する板状アルミナ粉末の混合割合を低くしたため、混合アルミナ粉末の質量比R1,R2はそれぞれ7,159であった。得られたアルミナ焼結体につき、上記2.(1)〜(5)の特性を求めた。その結果を表1に示した。
テープ成形の際の酸化マグネシウムの添加量を2500質量ppmとしたこと以外は実験例1と同様にしてアルミナ焼結体を作製した。得られたアルミナ焼結体につき、上記2.(1)〜(5)の特性を求めた。その結果を表1に示した。
焼成の際に酸化マグネシウムを添加しなかったこと以外は実験例1と同様にしてアルミナ焼結体を作製した。得られたアルミナ焼結体につき、上記2.(1)〜(5)の特性を求めた。その結果を表1に示した。
板状アルミナ粉末を作製する際にアニール温度を1200℃としたこと、テープ成形の際にAlF3を0.025質量部添加(外配)したこと以外は実験例1と同様にしてアルミナ焼結体を作製した。混合アルミナ粉末の質量比R2は652であった。得られたアルミナ焼結体につき、上記2.(1)〜(5)の特性を求めた。その結果を表1に示した。
焼成の際に常圧大気焼成を行ったあとHIP焼成を行ったこと以外は実験例1と同様にしてアルミナ焼結体を作製した。アルミナ原料粉末の質量比R1,R2はそれぞれ24,529であった。常圧大気焼成の条件は、1350℃で4時間保持とした。また、HIP焼成の条件は、Arを圧力媒体とし、圧力185MPaで1800℃、2時間保持とした。得られたアルミナ焼結体につき、上記2.(1)〜(5)の特性を求めた。その結果を表1に示した。
板状アルミナ粉末を作製する際に板状アルミナ粉末のアニール処理を行わなかったこと以外は実験例1と同様にしてアルミナ焼結体を作製した。板状アルミナ粉末に多くのFが残ったため、アルミナ原料粉末の質量比R1,R2はそれぞれ1439,2271であった。得られたアルミナ焼結体につき、上記2.(1)〜(5)の特性を求めた。その結果を表1に示した。
板状アルミナ粉末を作製する際のアニール温度を1200℃としたこと以外は実験例1と同様にしてアルミナ焼結体を作製した。熱処理温度が高くFの揮発量が増加したため、混合アルミナ粉末の質量比R1,R2はそれぞれ5,331であった。得られたアルミナ焼結体につき、上記2.(1)〜(5)の特性を求めた。その結果を表1に示した。
板状アルミナ粉末を作製する際のアニール温度を900℃としたこと、及びホットプレス焼成温度を1650℃としたこと以外は実験例1と同様にしてアルミナ焼結体を作製した。混合アルミナ粉末の質量比R1,R2はそれぞれ343,747であった。得られたアルミナ焼結体につき、上記2.(1)〜(5)の特性を求めた。その結果を表1に示した。
テープ成形の際にアルミナ原料粉末を微細アルミナ粉末であるTM−DARのみとし、混合時にフッ化アルミニウム粉末を0.004質量部添加(外配)したこと以外は実験例1と同様にしてアルミナ焼結体を作製した。アルミナ原料粉末の質量比R2は51であった。得られたアルミナ焼結体につき、上記2.(1)〜(5)の特性を求めた。その結果を表1に示した。
焼成方法を常圧大気1700℃としたこと以外は実験例1と同様にしてアルミナ焼結体を作製した。混合アルミナ粉末の質量比R1,R2はそれぞれ24,529であった。得られたアルミナ焼結体につき、上記2.(1)〜(5)の特性を求めた。その結果を表1に示した。
実験例1〜7,9では、板状アルミナ粉末を含むアルミナ原料粉末を、該アルミナ原料粉末中のFのAlに対する質量比R1が5ppm以上、質量比R2が15ppm以上となるように調製し、このアルミナ原料粉末を含む成形用原料をテープ成形した後、1700℃以上で加圧焼成(ホットプレス焼成又はHIP焼成)した。そのため、実験例1〜7,9のアルミナ焼結体は、c面配向度が90%以上、気孔の数は視野114×127μmの範囲では0個、視野1340.4×1607.0μmの範囲では0〜2個、Mg,C以外の不純物元素の合計は100ppm以下、アルミナ含有量が99.8質量%以上であり、高配向、高緻密性かつ高純度のアルミナ焼結体であった。また、0.2mm厚で350〜1000nmの直線透過率が60%以上、0.5mm厚で300〜1000nmの直線透過率が50%以上であり、高い透光性を示した。実験例8では、混合アルミナ粉末中のR1,R2が高かったため、得られたアルミナ焼結体は、粒成長がやや過剰となってc面配向度や直線透過率はやや低くなったものの、高配向、高緻密性かつ高純度と呼べるものであった。
テープ成形の際の板状アルミナ粉末と微細アルミナ粉末との混合比、MgO量、焼成の際の焼成温度を表2の通りとし、焼成温度から降温する際に1200℃までプレス圧を維持し、1200℃未満の温度域ではプレス圧をゼロに開放した以外は、実験例1と同様にしてアルミナ焼結体を作製した。得られたアルミナ焼結体につき、上記2.(1)〜(5)の特性を求めた。その結果を表2に示した。
テープ成形の際の板状アルミナ粉末と微細アルミナ粉末との混合比、MgO量、焼成の際の焼成温度を表2の通りとし、焼成温度から降温する際に1200℃までプレス圧を維持し、1200℃未満の温度域ではプレス圧をゼロに開放した以外は、実験例8と同様にしてアルミナ焼結体を作製した。得られたアルミナ焼結体につき、上記2.(1)〜(5)の特性を求めた。その結果を表2に示した。
板状アルミナ粉末を作製する際のアニール条件を900℃3時間エアフロー(エアの流量は25000cc/min)とし、テープ成形の際の板状アルミナ粉末と微細アルミナ粉末との混合比、焼成の際の焼成温度を表2の通りとし、焼成温度から降温する際に1200℃までプレス圧を維持し、1200℃未満の温度域ではプレス圧をゼロに開放した以外は、実験例1と同様にしてアルミナ焼結体を作製した。得られたアルミナ焼結体につき、上記2.(1)〜(5)の特性を求めた。その結果を表2に示した。
テープ成形の際のアルミナ原料粉末を微細アルミナ粉末のみとすると共にF含有量をゼロとし、焼成の際の焼成温度を表2の通りとし、焼成温度から降温する際に1200℃までプレス圧を維持し、1200℃未満の温度域ではプレス圧をゼロに開放した以外は、実験例1と同様にしてアルミナ焼結体を作製した。得られたアルミナ焼結体につき、上記2.(1)〜(5)の特性を求めた。その結果を表2に示した。
実験例13〜27では、板状アルミナ粉末を含むアルミナ原料粉末を、該アルミナ原料粉末中のFのAlに対する質量比R1が5ppm以上、質量比R2が15ppm以上となるように調製し、このアルミナ原料粉末を含む成形用原料をテープ成形した後、1700℃以上で加圧焼成(ホットプレス焼成)した。そのため、実験例13〜27のアルミナ焼結体は、c面配向度が5%以上、気孔の数は視野114×127μmの範囲では0〜4個、視野1340.4×1607.0μmの範囲では0〜17個、Mg,C以外の不純物元素の合計は100ppm以下、アルミナ含有量が99.8質量%以上であり、高配向、高緻密性かつ高純度のアルミナ焼結体であった。また、0.2mm厚で350〜1000nmの直線透過率が70%以上、0.5mm厚で300〜1000nmの直線透過率が60%以上であり、高い透光性を示した。
Claims (6)
- (a)アスペクト比が3以上の板状アルミナ粉末を含むアルミナ原料粉末を、該アルミナ原料粉末中のFのAlに対する質量比R1が5ppm以上となるように調製し、前記アルミナ原料粉末を含む成形用原料を成形して成形体とする工程と、
(b)前記成形体を1700℃以上で加圧焼成することにより透明アルミナ焼結体を得る工程と、
を含む透明アルミナ焼結体の製法。
但し、質量比R1は、下記式(1)で算出される値であり、単位は質量ppmである。式(1)中、Xは、板状アルミナ粉末中のFのAlに対する質量比(質量ppm)である。板状アルミナ粉末のF含有量は、熱加水分解−イオンクロマトグラフ法で求める。板状アルミナ粉末のAl含有量は、板状アルミナ粉末のアルミナ純度を100−(Al,O以外の不純物元素の質量%の和)として求め、それに0.529を乗じた値を用いて算出する。不純物元素の質量%は、以下のように定量する。すなわち、Sは燃焼(高周波加熱)−赤外線吸収法、Nは不活性ガス融解−熱伝導度法、Hは不活性ガス融解−非分散型赤外線吸収法、Fは熱加水分解−イオンクロマトグラフ法、その他の元素はICP(誘導結合プラズマ)発光分析で定量する。
R1=X×(板状アルミナの質量/アルミナ原料粉末の質量) …(1) - (a)アスペクト比が3以上の板状アルミナ粉末を含むアルミナ原料粉末を、該アルミナ原料粉末中のFのAlに対する質量比R2が15ppm以上となるように調製する工程と、
(b)前記成形体を1700℃以上で加圧焼成することにより透明アルミナ焼結体を得る工程と、
を含む透明アルミナ焼結体の製法。
但し、質量比R2は、下記式(2)で算出される値であり、単位は質量ppmである。アルミナ原料粉末は、板状アルミナ粉末と微細アルミナ粉末との混合割合が質量比でT:(100−T)である。アルミナ原料粉末に添加物を外配で添加する場合、アルミナ原料粉末に対する添加物の割合をZ(質量%)とする。x1は、板状アルミナ粉末中のF含有率(質量ppm)、x2は、微細アルミナ粉末中のF含有率(質量ppm)、x3は添加物中のF含有率(質量ppm)である。F含有量は、アルカリ融解−イオンクロマトグラフ法で求める。y1は、板状アルミナ粉末中のAl含有率(質量%)、y2は、微細アルミナ粉末中のAl含有率(質量%)である。Al含有率は、各アルミナ粉末のアルミナ純度を100−(Al,O以外の不純物元素の質量%の和)として求め、それに0.529を乗じた値(質量%)とする。不純物元素の質量%は、以下のように定量する。すなわち、Sは燃焼(高周波加熱)−赤外線吸収法、Nは不活性ガス融解−熱伝導度法、Hは不活性ガス融解−非分散型赤外線吸収法、Fはアルカリ融解−イオンクロマトグラフ法、その他の元素はICP発光分析で定量する。y3は、添加物中のAl含有率(質量%)であり、ICP発光分析で定量する。
R2=100×[x1×T+x2×(100-T)+x3×Z]/[y1×T+y2×(100-T)+y3 ×Z}…(2) - 前記工程(a)では、前記アルミナ原料粉末100質量部に対して、MgOを100〜5000質量ppm添加して混合することにより混合原料粉末とする、
請求項1又は2に記載の透明アルミナ焼結体の製法。 - 前記工程(b)では、前記透明アルミナ焼結体に含まれるMg、C以外の各不純物元素が10質量ppm以下となるように焼成する、
請求項1〜3のいずれか1項に記載の透明アルミナ焼結体の製法。 - 前記工程(a)では、前記板状アルミナ粉末と前記板状アルミナ粉末よりも平均粒径が小さな微細アルミナ粉末とを含むアルミナ原料粉末を、前記板状アルミナ粉末と前記微細アルミナ粉末との混合割合が質量比で0.1:99.9〜15:85となるよう調製する、
請求項1〜4のいずれか1項に記載の透明アルミナ焼結体の製法。 - 前記工程(b)では、降温時において1000〜1400℃の範囲で設定された所定温度まで50kgf/cm2以上の圧力を印加し続け、前記所定温度以下の温度域では50kgf/cm2未満まで除圧する、
請求項1〜5のいずれか1項に記載の透明アルミナ焼結体の製法。
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Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5130209A (ja) * | 1974-09-06 | 1976-03-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | |
JPH01286956A (ja) * | 1988-05-13 | 1989-11-17 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 透光性スピネル焼結体の製造方法 |
JP2004359495A (ja) * | 2003-06-04 | 2004-12-24 | Ngk Insulators Ltd | エピタキシャル膜用アルミナ基板 |
JP4357584B1 (ja) * | 2008-10-01 | 2009-11-04 | 株式会社ニッカトー | 耐食性、耐熱衝撃抵抗性及び耐久性に優れたアルミナ質焼結体 |
JP5396176B2 (ja) * | 2008-10-09 | 2014-01-22 | 日本碍子株式会社 | ウエハ載置台及びその製法 |
JP5501040B2 (ja) * | 2009-03-26 | 2014-05-21 | 日本碍子株式会社 | アルミナ焼結体、その製法及び半導体製造装置部材 |
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5130209A (ja) * | 1974-09-06 | 1976-03-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | |
JPH01286956A (ja) * | 1988-05-13 | 1989-11-17 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 透光性スピネル焼結体の製造方法 |
JP2004359495A (ja) * | 2003-06-04 | 2004-12-24 | Ngk Insulators Ltd | エピタキシャル膜用アルミナ基板 |
JP4357584B1 (ja) * | 2008-10-01 | 2009-11-04 | 株式会社ニッカトー | 耐食性、耐熱衝撃抵抗性及び耐久性に優れたアルミナ質焼結体 |
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