JPWO2015008820A1 - 形状測定装置、構造物製造システム、形状測定方法、構造物製造方法、形状測定プログラム、及び記録媒体 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、第1実施形態に係る形状測定装置1の外観を示す図である。図2は、本実施形態の形状測定装置1の概略構成を示す模式図である。図3は、形状測定装置1の平面図である。図4は、形状測定装置1の左側面図である。図5は、形状測定装置1の正面図である。図7は、第1実施形態の形状測定装置の制御装置の概略構成を示すブロック図である。
なお、初期形状測定プログラムは、繰り返し形状の基本形状を測定するときに、最適な光学プローブ3による照明光束Lの照射方向及び撮像装置9の撮影方向となるようなプローブ移動装置2及び保持回転装置7の制御タイムチャートを有していることが好ましい。例えば、初期測定範囲設定部33は、1歯面分を測定する初期形状測定プログラムの設定に基づいて、光学プローブ3の姿勢、つまり、照明光束Lを投影する向き等の情報も取得し、その結果に基づいて、径方向の各位置においてパターンを投影する方向及び投影されたパターンの像を取得する方向が設定する。歯と歯の間の谷部で生成されやすい多重反射光の像が撮影しにくい方向に設定することが好ましい。これにより、本実施形態では、プローブ移動装置2により制御する光学プローブ3の姿勢を特定することができる。このような制御タイムチャートから被測定物M上でライン状のパターンが移動する軌跡を求め、その軌跡から初期測定範囲80を算出する。
ゆえに、初期測定範囲設定部33は、被測定物Maの一つの歯の設計データや、被測定物Maの一つの歯を測定したときの光学プローブ3から投影されるライン光の投影位置とその走査情報に基づいて、初期測定範囲を設定する。初期測定範囲80は、初期測定内側端部81と初期測定外側端部82とを含み、初期測定内側端部81と初期測定外側端部82とで囲まれた範囲である。
なお、初期測定内側端部81及び初期測定外側端部82はそれぞれ1つの歯を測定したときに設定される内径側の測定開始位置と外径側の測定終了位置のライン状のパターンの中点の位置を示す。これらの位置は、回転中心AXを原点とした位置に設定される。ここで、説明を簡単にするために、照明光束Lを図1のZ軸方向から投影した場合を前提にして説明する。しかしながら、本願発明はこのような照明方向に限定されるものではない。
また、制御装置4は、実測定開始位置84と実測定終了位置86とを結ぶ経路を径方向移動経路88とする。径方向移動経路88は、光学プローブ3と被測定物Maとの径方向の相対的な移動経路である。径方向の相対的な移動経路とは、光学プローブ3と被測定物Maとの相対的な回転を考慮しない場合の移動経路であり、本実施形態では、光学部ローブ3の径方向移動経路になる。なお、この経路は初期形状測定プログラムで設定された経路と重複するように設定することが好ましい。また、径方向移動経路は必ずしも回転軸中心から放射状に設定される方向でなくてもよい。少なくとも被測定物Mの回転方向に対して交差する方向であればよい。
さらに、初期形状測定プログラムでは、ライン状のパターンが投影される位置毎に、光学プローブ3の3次元空間上の位置と光学プローブ3がライン状のパターンを投影する方向も決められているので、そのような情報も径方向移動経路88の各位置で反映することが好ましい。ここで、本実施形態では、実測定開始位置を回転軸Axに近い側の位置とし、実測定終了位置を回転軸Axから遠い側の位置としたが、逆でもよい。なお、歯面の傾斜方向が歯すじの各位置で異なる場合は、それに応じて、照明光束Lの投影方向と撮像装置9の撮影方向の最適な方向が変わるので、その方向の変化を加味して、プローブ移動装置2の移動経路を修正することが好ましい。
なお、実際は、被測定物の測定面に投影されたライン状のパターンの長手方向が被測定物の測定面内の回転軸Axを通過する直線に対して傾きを有している場合が多い。このような場合は、図11に示すように、実測定開始位置84から回転軸中心AXまでの距離SDと実測定終了位置86から回転軸中心までの距離FDの差と、ライン状のパターンの長手方向を回転軸中心AXからライン状のパターンの中点を通る線分に射影したときの長さを基に最低限必要な回転数を求める。
回転回数算出部35は、この回転数を基に、被測定物Mが1回転したときに、径方向移動経路88に沿って移動できる移動量を算出して、被測定物M上における測定パスが設定する。また、ライン状のパターンの長手方向を回転軸中心AXとライン状のパターンの中点を通る線分に射影したときの長さは図18を使って後述するように、回転軸中心AXからライン状のパターンの内径側端部までの距離と回転軸中心AXからライン状のパターンの外径側端部までの距離の差で求まる。このような情報を基に、測定パスを決定することができる。
なお、図11に示した径方向移動経路88によると、この経路88に沿って設定された実測定開始位置84と実測定終了位置86とで、ライン状のパターンの長手方向と回転軸中心AXからライン状のパターンの中点を通る線分とのなす角度が異なる。それゆえ、実測定開始位置84と実測定終了位置86でのライン状のパターンの長手方向を回転軸中心AXからライン状のパターンの中点を通る線分に射影したときの長さが異なる。このような場合は、ライン状のパターンを射影した長さが短い方に合わせるか、または各周回毎にライン状のパターンの射影した長さを求め、その射影した長さの総和と実測定開位置から実測定終了位置までの距離から、最低限必要な回転数を求めている。
このように光学プローブ3と被測定物Maとの相対移動速度が加速域または減速域において、一定のフレームレートで撮像装置によりライン光の像を取得するような光学プローブ3を利用した場合、その光学プローブ3の画像情報から得られる点群データの間隔は、速度変化に応じて、変わってしまう。また、このように点群データの間隔が変わってしまうと、その後の座標補間処理や誤差低減化処理へ影響を与えてしまうことがある。本実施形態における形状測定装置では、各移動装置または回転装置の加減速状態を検出して、加減速域での画像データを峻別できるようにした。
制御装置4は、画像の取得を開始したら、実測定終了位置)であるかを判定する(ステップS62)。制御装置4は、実測定終了位置ではない(ステップS62でNo)と判定した場合、ステップS62に戻り、ステップS62の判定を再び行う。
さらに、測定パス設定部36は、外径側に設定された実測定開始位置または実測定終了位置のどちらか他方に前記ライン状のパターンを投影した場合、ライン状のパターンのどちらか他方側の端部が、被測定物Maの測定領域における回転軸側の外側の端部と接する位置または測定領域よりも回転軸に対して遠ざかる位置に設定する。より具体的には、ライン状パターンが初期測定開始位置または初期測定終了位置のうち回転軸側に遠い位置で被測定物Mに投影されたときに、投影されたライン状のパターンの長手方向の中点に対して、回転軸に近い領域である近傍領域と、先の中点に対して回転軸から遠い領域である遠隔領域とに対し、それぞれの領域と被測定物Mの回転軸との距離の差に基づいて、被測定物Maの測定領域よりも回転軸側から遠ざかる側に設定することが好ましい。また、他にも、ライン状パターンが被測定物Mに投影された時における、ライン状のパターンの回転軸に最も近い位置に対する回転軸までの距離とライン状のパターンの回転軸に最も遠い位置に対する回転軸までの距離との差に基づいて、測定領域よりも回転軸側に遠ざかる側に実測定開位置または実測定終了位置の回転軸側に遠い方を設定することが好ましい。さらに、他にも、ライン状のパターンの回転軸に近い方の端部から回転軸までの距離とライン状パターンの回転軸の遠い方の端部から回転軸までの距離との差に基づいて、測定領域よりも回転軸側に近い側に実測定開位置または実測定終了位置の回転軸側に遠い方の位置を設定することが好ましい。これにより、形状測定装置1は、被測定物Maの全域の形状をより確実に測定することができる。
なお、測定領域よりも回転軸側に近い位置でまたは測定領域よりも回転軸に対して遠ざかる位置に実測定開始位置または実測定終了位置を設定した場合は、実測定開始位置または実測定終了位置で、ライン状のパターンの投影を開始したり、終了したりすることでもよい。この時、必ず被測定物Mへ投影された光学プローブ3で投影されたパターンの像を撮像素子20で撮像するか否かは問わない。なお、撮像素子20で光学プローブ3で投影されたパターンの像の撮影を開始する位置は、別途初期測定開始位置と実測定開始位置との間に設定してもよく、また、同様にパターンの像の撮影を終了する位置を初期測定終了位置と実測定終了位置の間に設定してもよい。
次に、図26を参照して形状測定装置の第2実施形態について、説明する。図26は、第2実施形態の形状測定装置の構成を示す模式図である。図26に示す形状測定装置100は、被測定物Mと照明光束L(パターン)の位置とを相対的に移動させる移動機構の機構以外、第1実施形態の形状測定装置1と同様の構成である。形状測定装置100の構成要素のうち、形状測定装置1の構成要素と同一の要素については同一符号を付し、その説明を省略する。
2 プローブ移動装置
3 光学プローブ
4 制御装置
5 表示装置
6 入力装置
7 保持回転装置
8 光源装置
9 撮像装置
10 駆動部
11 位置検出部
12 光源
13 照明光学系
20 撮像素子
20a 受光面
21 結像光学系
21a 物体面
32 制御部
33 初期測定範囲設定部
34 実測定領域設定部
35 回転回数算出部
36 測定パス設定部
37 動作制御部
38 演算部
40 記憶部
40A 初期測定範囲記憶部
40B 形状測定プログラム
50X,50Y,50Z 移動部
51X,51Y,51Z ガイド部
52 保持体
53 第1回転部
53a 回転軸線
54 第2回転部
55 保持部材
55A 第1保持部
55B 第2保持部
62,63,64,65,66,68 矢印
71 テーブル
72 回転駆動部
73a、73b 基準球
80 初期測定範囲
81 初期測定内側端部
82 初期測定外側端部
84 実測定開始位置
86 実測定終了位置
88 径方向移動経路
89 測定パス
90、90a パターン
91、92、93 範囲
94、94a 点群生成範囲
95 エラー画面
96、96a ウインドウ
97a、97b ボタン
98 内径
99 外径
200 構造物製造システム
201 形状測定装置
202 設計装置
203 成形装置
204 制御装置
205 リペア装置
210 座標記憶部
211 検査部
300 形状測定システム
302 プログラム作成装置
AX 回転軸中心
B ベース
M 被測定物
L 照明光束
Claims (30)
- 被測定物の形状を測定する形状測定装置であって、
前記被測定物の表面へライン状のパターンを投影するか又はスポットパターンを少なくとも線状の走査範囲内で走査しながら投影する投影光学系と、前記被測定物に投影されたパターン像を検出する撮像装置とを含むプローブと、
前記プローブに対して前記被測定物が回転軸を中心として回転するように、前記被測定物と前記プローブとを相対的に回転させると共に、前記プローブと前記被測定物のいずれか一方を少なくとも前記相対的に回転する回転方向に対して交差する方向に相対的に移動させる移動機構と、
前記被測定物の測定領域を設定する測定領域設定部と、
前記測定領域設定部で設定された測定領域を基に、実測定開始位置及び実測定終了位置を含む実測定領域を設定する実測定領域設定部とを有し、
前記実測定領域設定部は、前記実測定開始位置または前記実測定終了位置のうち回転軸中心の近い方を、前記測定領域よりも、更に前記回転軸に近くなるように設定し、
または、前記実測定開始位置または前記実測定終了位置のうち径方向外側に位置する方を、前記測定範囲よりも、更に回転軸から離れる方向に設定する形状測定装置。 - 前記実測定領域設定部は、前記回転軸に対する前記ライン状のパターンの向きまたは前記線状の走査範囲の長手方向における前記回転軸の近傍領域と遠隔領域の位置の差に応じて、前記測定範囲の外側にも前記実測定領域を設定する請求項1に記載の形状測定装置。
- 前記実測定領域設定部は、前記回転軸に対する前記ライン状のパターンまたは前記線状の走査領域の近傍領域と遠隔領域との距離の差に基づいて、
前記実測定開始位置または実測定終了位置のうち回転軸中心の近い方を、前記測定範囲よりも、更に前記回転軸に近い位置に設定し、
あるいは、前記実測定開始位置または前記実測定終了位置のうち径方向外側に位置する方を、前記測定範囲よりも、更に回転軸から離れた位置に設定する形状測定装置。 - 更に、前記移動機構を制御する制御部を有し、
前記制御部は、前記被測定物に投影された場合の前記パターンまたは前記線状の走査範囲と前記回転軸との相対位置関係に応じて、前記移動機構を制御する形状測定装置。 - 前記制御部は、前記ライン状のパターンの前記被測定物上への投影位置または前記線状の走査範囲に関する前記被測定物上での位置に基づき設定された、前記ライン状のパターンの方向または前記線状の走査範囲の長手方向に応じて、前記回転方向に交差する方向に前記被測定物と前記プローブとを相対的に移動する移動量を制御する請求項1から4のうちいずれか一項に記載の形状測定装置。
- 被測定物の形状を測定する形状測定装置であって、
前記被測定物の表面へライン状のパターンを投影するか又はパターンを少なくとも線状の走査範囲内で走査しながら投影する投影光学系と、前記被測定物に投影されたパターンの像を検出する撮像装置とを含むプローブと、
前記プローブに対して前記被測定物が回転軸を中心として回転するように、前記被測定物と前記プローブとを相対的に回転させると共に、前記プローブと前記被測定物との少なくとも一方を少なくとも前記相対的に回転する回転方向に対して交差する方向に相対的に移動させる移動機構と、
前記被測定物に投影されたときの前記パターンまたは前記線状の走査範囲の前記回転軸との相対位置関係に応じて、前記移動機構を制御する制御部と、を有する形状測定装置。 - 前記制御部は、前記プローブに対して前記被測定物を相対的に所定角度回転した場合における、前記被測定物と前記プローブとの前記交差する方向への相対的な移動量を、前記パターンまたは前記走査範囲と、前記回転軸との相対位置関係に応じて算出する請求項6に記載の形状測定装置。
- 前記制御部は、
前記被測定物に投影された場合における、前記パターンまたは前記線状の走査範囲の前記回転軸に対する近傍領域と遠隔領域との位置の差に応じて、前記移動機構を制御する制御部と、を有する請求項7に記載の形状測定装置。 - 前記制御部は、前記近傍領域を、前記被測定物に投影されたときの前記パターンまたは前記線状の走査範囲の前記回転軸に対して最も近い部分の位置とし、前記遠隔領域を、前記被測定物に投影されたときの前記パターンまたは前記線状の走査範囲の前記回転軸に対して最も遠い部分の位置として設定する請求項8に記載の形状測定装置。
- 前記パターンまたは前記線状の走査範囲の前記回転軸に対する近傍領域と遠隔領域との差は、
前記被測定物に投影される前記パターンまたは前記走査範囲の長手方向における一方の端部と他方の端部のそれぞれの前記回転軸からの距離の差から取得する請求項1に記載の形状測定装置。 - 前記パターンまたは前記線上の走査範囲のいずれか一方の射影した長さを求めるときに用いる前記回転軸と実質的に交差する線又は前記回転軸に平行な線と、前記実測定領域における前記回転軸中心に最も近い位置と最も遠い位置を射影したときの長さを求めるときに用いる前記回転軸と実質的に交差する線又は前記回転軸に平行な線は、共通の円筒面、円錐面又は前記回転軸に直交する平面内にある請求項10に記載の形状測定装置。
- 前記パターンまたは前記線上の走査範囲を射影した長さは、前記被測定物に投影される前記パターンの長手方向における一方の端部と他方の端部のそれぞれの前記回転軸からの距離の差から取得する請求項10または11に記載の形状測定装置。
- 前記パターンまたは前記線状の走査範囲を射影した長さは、前記パターンまたは走査範囲を通過し前記回転軸と実質的に交差する直線または前記回転軸に平行な直線と前記パターンまたは前記線状の走査範囲のなす角をθとしたとき、前記被測定物に投影される前記パターンの長さもしくは前記線状の走査範囲の長さにcosθを乗算して算出した長さである請求項10または11に記載の形状測定装置。
- 前記制御部は、前記被測定物に投影されたときの前記パターンまたは前記線状の走査範囲の長さと、前記被測定物の実測定領域における前記回転軸中心に最も近い位置から最も遠い位置の長さに応じて、前記被測定物の実測定領域を測定するのに必要な前記移動機構による回転回数を算出する請求項6に記載の形状測定装置。
- 前記移動機構は、前記被測定物と前記プローブとを相対的に回転する回転機構と、前記被測定物と前記プローブとを相対的に前記径方向に移動させる直動機構を有し、
前記制御部は、前記算出された前記被測定物の回転回数に応じて、前記回転機構が1回転するときの、前記直動機構による移動ピッチ量を設定する請求項14に記載の形状測定装置。 - 前記制御部は、前記被測定物の形状の一部の領域を測定するために設定された初期測定範囲を基に、前記実測定開始位置及び前記実測定終了位置を含む前記実測定領域を設定する実測定領域設定部を有し、
前記実測定領域設定部は、前記実測定開始位置または前記実測定終了位置のうち前記回転軸中心の近くに設定された位置を、前記初期測定範囲における前記被測定物の一部の領域を測定するときの前記回転軸に最も近い測定位置よりも、更に前記回転軸に近くなるように設定し、かつ前記実測定開始位置または前記実測定終了位置のうち径方向外側に設定された位置を、前記被測定物の一部の領域を測定するときの前記回転軸に最も遠い測定位置よりも、前記径方向のより外側に設定する請求項15に記載の形状測定装置。 - 前記被測定物は、円周方向に繰り返し形状を有しかつ前記円周方向とは異なる方向に延在した凹凸形状を有し、
前記被測定物の一部の領域は、前記被測定物の繰り返し形状の1つの形状の長手方向に沿って設定する請求項1または6に記載の形状測定装置。 - 前記制御部は、前記被測定物に対して前記パターンが移動する回転線速度を一定とし、かつ、前記被測定物と前記プローブとを前記径方向に移動させる相対移動速度を一定とする請求項6から16のいずれか一項に記載の形状測定装置。
- 前記制御部は、前記被測定物と前記プローブとを前記径方向に移動させる相対移動速度を、前記径方向の最外周を移動する際の前記パターンと前記径方向の最外周から一周内側を移動する際の前記パターンとの重なり量または最内周を移動する際の前記パターンと最内周から一周外側を移動する際の前記パターンとの重なり量が設定した値となる速度とする請求項18に記載の形状測定装置。
- 前記制御部は、前記被測定物と前記プローブとを前記径方向に移動させる相対移動速度を前記径方向の内側よりも前記径方向の外側を低速とし、かつ前記被測定物と前記プローブとの回転速度を回転線速度一定とするように、前記移動機構を制御する請求項6から16のいずれか一項に記載の形状測定装置。
- 利用者に情報を伝達する報知部をさらに有し、
前記制御部は、前記被測定物の形状を測定する計測時間または回転回数が許容範囲から外れている場合、許容範囲から外れていることを示す情報を前記報知部から報知する請求項14に記載の形状測定装置。 - 前記制御部は、設定された回転回数に基づき算出された前記被測定物の形状を測定する計測時間を表示部に表示する請求項14から21のいずれか一項に記載の形状測定装置。
- 前記制御部は、前記プローブにより前記パターンの像を一定のサンプリング間隔で取得し、前記サンプリング間隔で前記被測定物に対して前記パターンが相対的に移動する移動距離が一定となる前記被測定物と前記プローブとを相対的に回転させる回転角速度及び前記被測定物と前記プローブとを前記径方向に移動させる相対移動速度で、前記プローブと前記被測定物とを相対移動させる請求項1から22のいずれか一項に記載の形状測定装置。
- 構造物の形状に関する設計情報に基づいて前記構造物を成形する成形装置と、
前記成形装置によって成形された前記構造物の形状を測定する請求項1または6に記載の形状測定装置と、
前記形状測定装置によって測定された前記構造物の形状を示す形状情報と前記設計情報とを比較する制御装置と、を備える構造物製造システム。 - プローブから被測定物の表面へライン状のパターンを照射するか又はスポットパターンを少なくとも線状の走査範囲内で走査しながら投影し、前記プローブに前記被測定物に投影されたパターン像を検出させて前記被測定物の形状を測定する形状測定方法であって、
前記プローブに対して前記被測定物が回転軸を中心として回転するように、前記被測定物と前記プローブとを相対的に回転させると共に、前記プローブと前記被測定物のいずれか一方を少なくとも前記相対的に回転する回転方向に対して交差する方向に相対的に移動させることと、
前記被測定物の測定領域を設定することと、
前記測定領域を基に、実測定開始位置及び実測定終了位置を含む実測定領域を設定することと、
実測定開始位置または実測定終了位置のうち回転軸中心の近い方を、前記測定領域よりも、更に前記回転軸に近くなるように設定すること、又は、前記実測定開始位置または前記実測定終了位置のうち径方向外側に位置する方を、前記測定範囲よりも、更に回転軸から離れる方向に設定することと、を含む形状測定方法。 - プローブから被測定物の表面へライン状のパターンを照射するか又はスポットパターンを少なくとも線状の走査範囲内で走査しながら投影し、前記プローブに前記被測定物に投影されたパターン像を検出させて前記被測定物の形状を測定する形状測定方法であって、
前記プローブに対して前記被測定物が回転軸を中心として回転するように、前記被測定物と前記プローブとを相対的に回転させると共に、前記プローブと前記被測定物との少なくとも一方を少なくとも前記相対的に回転する回転方向に対して交差する方向に相対的に移動させることと、
前記被測定物に投影されたときの前記パターンまたは前記線状の走査範囲の前記回転軸との相対位置関係に応じて、前記移動機構を制御することとを含む形状測定方法。 - 構造物の形状に関する設計情報に基づいて前記構造物を成形することと、
前記成形された前記構造物の形状を請求項25または26の形状測定方法によって測定することと、
前記測定された前記構造物の形状を示す形状情報と前記設計情報とを比較することと、
を含む構造物製造方法。 - プローブから被測定物の表面へライン状のパターンを照射するか又はスポットパターンを少なくとも線状の走査範囲内で走査しながら投影し、前記プローブに前記被測定物に投影されたパターン像を検出させて前記被測定物の形状を測定する形状測定プログラムであって、
コンピュータに、
前記プローブに対して前記被測定物が回転軸を中心として回転するように、前記被測定物と前記プローブとを相対的に回転させると共に、前記プローブと前記被測定物のいずれか一方を少なくとも前記相対的に回転する回転方向に対して交差する方向に相対的に移動させることと、
前記被測定物の測定領域を設定することと、
前記測定領域を基に、実測定開始位置及び実測定終了位置を含む実測定領域を設定することと、
前記実測定開始位置または前記実測定終了位置のうち回転軸中心の近い方を、前記測定領域よりも、更に前記回転軸に近くなるように設定すること、または、前記実測定開始位置または前記実測定終了位置のうち径方向外側に位置する方を、前記測定範囲よりも、更に回転軸から離れる方向に設定することと、を実行させる形状測定プログラム。 - プローブから被測定物の表面へライン状のパターンを照射するか又はスポットパターンを少なくとも線状の走査範囲内で走査しながら投影し、前記プローブに前記被測定物に投影されたパターン像を検出させて前記被測定物の形状を測定する形状測定プログラムであって、
コンピュータに、
前記プローブに対して前記被測定物が回転軸を中心として回転するように、前記被測定物と前記プローブとを相対的に回転させると共に、前記プローブと前記被測定物との少なくとも一方を少なくとも前記相対的に回転する回転方向に対して交差する方向に相対的に移動させることと、
前記被測定物に投影されたときの前記パターンまたは前記線状の走査範囲の前記回転軸との相対位置関係に応じて、前記移動機構を制御することと、を実行させる形状測定プログラム。 - 請求項28又は29に記載の形状測定プログラムを記録し、コンピュータが読み取り可能な記録媒体。
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