JPWO2010095551A1 - Method for measuring outer shape of rectangular plate-shaped object, and method for calibrating relative position of imaging means - Google Patents

Method for measuring outer shape of rectangular plate-shaped object, and method for calibrating relative position of imaging means Download PDF

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Abstract

予め矩形板状物の四隅に対応して配置された4つの撮像手段と、前記4つの撮像手段それぞれの相対座標を格納する記憶手段と、を備える形状測定装置を用いて、搬送される矩形板状物の外形形状を測定する方法において、前記矩形板状物が測定セクションに到達したか否かを判定するステップと、前記4つの撮像手段によって前記測定セクションに到達した前記矩形板状物の四隅それぞれのコーナー部を含む画像を撮像するステップと、前記撮像された画像に基づいて、前記矩形板状物の四隅それぞれの画像原点からの座標値であるコーナーポスト座標を演算するステップと、前記演算されたコーナーポスト座標と前記記憶手段に格納された相対座標に基づいて、前記矩形板状物の四辺それぞれの長さ寸法と四隅それぞれの直角度を演算するステップと、を備える。A rectangular plate that is conveyed using a shape measuring device that includes four imaging units arranged in advance corresponding to the four corners of the rectangular plate-like object, and a storage unit that stores relative coordinates of the four imaging units. In the method for measuring the outer shape of the object, the step of determining whether or not the rectangular plate has reached the measurement section, and the four corners of the rectangular plate that have reached the measurement section by the four imaging means. Capturing an image including each corner, calculating a corner post coordinate that is a coordinate value from the image origin of each of the four corners of the rectangular plate based on the captured image, and the calculation Based on the corner post coordinates and the relative coordinates stored in the storage means, the length dimension of each of the four sides of the rectangular plate and the perpendicularity of each of the four corners are calculated. Includes a step, a.

Description

本発明は、ガラス板等の矩形板状物の外形形状(寸法及び四隅の直角度等)を測定する測定方法に関し、特にライン上を搬送されるガラス板等の矩形板状物の外形形状(寸法及び四隅の直角度等)をノンストップで測定することが可能な測定方法に関する。   The present invention relates to a measuring method for measuring the outer shape (dimensions, squareness of four corners, etc.) of a rectangular plate-like material such as a glass plate, and in particular, the outer shape of a rectangular plate-like material such as a glass plate conveyed on a line ( The present invention relates to a measurement method capable of measuring dimensions, squareness of four corners, etc.) non-stop.

従来、液晶ディスプレイ用ガラス板、プラズマディスプレイ用ガラス板、フィールドエミッションディスプレイ用ガラス板、有機EL等のフラットディスプレイパネル用ガラス板等のガラス板の分野においては、矩形のガラス板の外形形状(寸法及び四隅の直角度等)を、非接触で、短時間に、高精度で効率的に測定することが求められており、この要求に応える装置として、ガラス板を撮像し、当該撮像した画像等に基づいて、ガラス板の外形形状(寸法及び四隅の直角度等)を自動測定する形状測定装置が提案されている(例えば、特許文献1参照)。   Conventionally, in the field of glass plates such as glass plates for liquid crystal displays, glass plates for plasma displays, glass plates for field emission displays, glass plates for flat display panels such as organic EL, etc., the outer shape of the rectangular glass plate (dimensions and dimensions) It is required to measure the squareness of the four corners in a non-contact manner in a short time with high precision and efficiency. As a device that meets this requirement, the glass plate is imaged, and the captured image, etc. Based on this, a shape measuring device that automatically measures the outer shape (such as dimensions and squareness of four corners) of a glass plate has been proposed (see, for example, Patent Document 1).

図10は、特許文献1に記載の形状測定装置の正面図である。図11は、特許文献1に記載の形状測定装置の側面図である。   FIG. 10 is a front view of the shape measuring apparatus described in Patent Document 1. FIG. FIG. 11 is a side view of the shape measuring apparatus described in Patent Document 1.

図10、図11に示すように、特許文献1に記載の形状測定装置100は、X軸方向に延びるX軸ガイド102及びY軸方向に延びるY軸ガイド104、撮像手段106、撮像手段106をX軸及びY軸ガイド102、104に沿ってXY方向に移動させるモータ(図示せず)等を備えている。   As shown in FIGS. 10 and 11, the shape measuring apparatus 100 described in Patent Document 1 includes an X-axis guide 102 extending in the X-axis direction, a Y-axis guide 104 extending in the Y-axis direction, an imaging unit 106, and an imaging unit 106. A motor (not shown) that moves in the X and Y directions along the X and Y axis guides 102 and 104 is provided.

この形状測定装置100においては、図11に示すように、傾斜姿勢で搬入され、検査台108上に支持されたガラス板110のエッジ等を、撮像手段106をXY方向に移動させながら撮像し、当該撮像した画像等に基づいて、ガラス板110の外形形状(寸法及び四隅の直角度等)を自動測定するようになっている。   In this shape measuring apparatus 100, as shown in FIG. 11, the edges of the glass plate 110 carried in an inclined posture and supported on the inspection table 108 are imaged while moving the imaging means 106 in the XY directions, Based on the captured image or the like, the external shape (size, squareness of four corners, etc.) of the glass plate 110 is automatically measured.

日本国特開2007−205724号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2007-205724

しかしながら、この形状測定装置100は、XY方向に移動する撮像手段106を用いてガラス板110のエッジ等を撮像する構成であるため、当該ガラス板110を検査台108上に一定時間固定しなければならず、ライン上を搬送される複数のガラス板110それぞれに対し、ノンストップで形状測定することができず、測定に時間がかかり、不良発生時に製造条件へのフィードバックが遅くなる。このため、歩留まりを向上させることができない、という問題がある。   However, since the shape measuring apparatus 100 is configured to image the edge or the like of the glass plate 110 using the imaging means 106 moving in the XY directions, the glass plate 110 must be fixed on the inspection table 108 for a certain period of time. In other words, it is not possible to measure the shape of each of the plurality of glass plates 110 conveyed on the line in a non-stop manner, and the measurement takes time, and feedback to manufacturing conditions is delayed when a defect occurs. For this reason, there is a problem that the yield cannot be improved.

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、ライン上を搬送されるガラス板等の矩形板状物の外形形状(寸法及び四隅の直角度等)をノンストップで測定することが可能な測定方法を提供することを目的とする。   This invention is made in view of such a situation, and measures the external shape (dimensions, squareness of four corners, etc.) of a rectangular plate such as a glass plate conveyed on a line in a non-stop manner. An object is to provide a measurement method capable of performing

本発明は、前記目的を達成するため、予め矩形板状物の四隅に対応して配置された4つの撮像手段と、前記4つの撮像手段それぞれの相対座標を格納する記憶手段と、を備える形状測定装置を用いて、形状測定セクションを通過するように搬送される矩形板状物の外形形状を測定する測定方法において、前記矩形板状物が前記測定セクションに到達したか否かを判定するステップと、前記矩形板状物が前記測定セクションに到達したと判定された場合に、前記4つの撮像手段によって当該測定セクションに到達した矩形板状物の四隅それぞれのコーナー部を含む画像を撮像するステップと、前記撮像された画像に基づいて、前記矩形板状物の四隅それぞれの画像原点からの座標値であるコーナーポスト座標を演算するステップと、前記演算された矩形板状物のコーナーポスト座標、及び、前記記憶手段に格納された相対座標に基づいて、前記矩形板状物の四辺それぞれの長さ寸法を演算するステップと、前記演算されたコーナーポスト座標、前記記憶手段に格納された相対座標、及び、前記演算された長さ寸法に基づいて、前記矩形板状物の四隅それぞれの直角度を演算するステップと、を備えることを特徴とする矩形板状物の外形形状測定方法を提供する。   In order to achieve the above object, the present invention has a shape including four image pickup means arranged in advance corresponding to the four corners of a rectangular plate-like object, and a storage means for storing the relative coordinates of each of the four image pickup means. In the measuring method for measuring the outer shape of the rectangular plate conveyed so as to pass through the shape measuring section using the measuring device, the step of determining whether or not the rectangular plate has reached the measuring section And, when it is determined that the rectangular plate-like object has reached the measurement section, the four imaging means captures images including the corners of the four corners of the rectangular plate-like object that has reached the measurement section. And calculating a corner post coordinate that is a coordinate value from the image origin of each of the four corners of the rectangular plate based on the captured image; Calculating the length dimension of each of the four sides of the rectangular plate based on the corner post coordinates of the rectangular plate and the relative coordinates stored in the storage means; and the calculated corner post coordinates Calculating a squareness of each of the four corners of the rectangular plate based on the relative coordinates stored in the storage means and the calculated length dimension. A method for measuring an outer shape of a shaped object is provided.

上記構成によれば、従来のように撮像手段をXY方向に移動させることなく、予め矩形板状物の四隅に対応して配置された4つの撮像手段で同時(又はほぼ同時)に矩形板状物の四隅それぞれのコーナー部を含む画像を撮像し、当該撮像された画像等に基づいて、矩形板状物の外形形状(矩形板状物の四辺それぞれの長さ寸法及び矩形板状物の四隅それぞれの直角度)を演算する。このため、ライン上を搬送される複数の矩形板状物それぞれに対し、ノンストップで形状測定することが可能となり、歩留まりを向上させることが可能となる。   According to the above configuration, a rectangular plate shape is formed simultaneously (or almost simultaneously) with four image pickup units arranged in advance corresponding to the four corners of the rectangular plate-like object without moving the image pickup unit in the XY directions as in the prior art. Taking an image including the corners of each of the four corners of the object, and based on the captured image, etc., the outer shape of the rectangular plate (the length dimension of each of the four sides of the rectangular plate and the four corners of the rectangular plate (Each squareness) is calculated. For this reason, it becomes possible to measure the shape in a non-stop manner for each of the plurality of rectangular plates conveyed on the line, and it is possible to improve the yield.

さらに、本発明の外形形状測定方法は、前記演算された長さ寸法及び直角度と所定の規格値とを比較するステップと、前記比較結果に基づいて、前記矩形板状物の外形形状の良否判定を行うステップと、をさらに備えてもよい。   Furthermore, in the outer shape measuring method of the present invention, the step of comparing the calculated length dimension and squareness with a predetermined standard value, and the quality of the outer shape of the rectangular plate-like object based on the comparison result. And a step of making a determination.

上記構成によれば、矩形板状物の外形形状の良否判定を行うことが可能となる。   According to the said structure, it becomes possible to perform quality determination of the external shape of a rectangular plate-shaped object.

さらに、本発明の外形形状測定方法は、校正用標準矩形板状物の四辺それぞれの予め測定された長さ寸法、及び、当該校正用標準矩形板状物の四隅それぞれの予め測定された直角度に基づいて、前記矩形板状物の四隅それぞれの予め測定された直角度を補正するステップと、前記4つの撮像手段によって前記校正用標準矩形板状物の四隅それぞれのコーナー部を含む画像を撮像するステップと、前記撮像された画像に基づいて、前記校正用標準矩形板状物の四隅それぞれのコーナーポスト座標を演算するステップと、前記演算された校正用標準矩形板状物のコーナーポスト座標、前記補正された直角度、及び、前記校正用標準矩形板状物の四辺それぞれの予め測定された長さ寸法に基づいて、前記4つの撮像手段それぞれの相対座標を演算し、前記記憶手段に格納するステップと、をさらに備えてもよい。   Further, the external shape measuring method of the present invention includes a pre-measured length dimension of each of the four sides of the calibration standard rectangular plate, and a pre-measured squareness of each of the four corners of the calibration standard rectangular plate. Based on the above, the step of correcting the squareness measured in advance at each of the four corners of the rectangular plate-like object, and the four imaging means capture images including the corner portions of the four corners of the standard rectangular plate for calibration Calculating the corner post coordinates of each of the four corners of the standard rectangular plate for calibration based on the captured image, and the corner post coordinates of the calculated standard rectangular plate for calibration, Based on the corrected squareness and the length dimension measured in advance on each of the four sides of the calibration standard rectangular plate, the relative coordinates of each of the four imaging means are calculated. And storing in the storage means may further comprise a.

上記構成によれば、四辺それぞれの長さ寸法及び四隅それぞれの直角度が予め測定された(既知の)校正用標準矩形板状物を用いることで、矩形板状物の外形形状(矩形板状物の四辺それぞれの長さ寸法及び矩形板状物の四隅それぞれの直角度)の演算の基礎となる4つの撮像手段それぞれの相対座標を演算することが可能となる。   According to the above configuration, by using the (known) standard rectangular plate for calibration in which the length dimension of each of the four sides and the squareness of each of the four corners are measured in advance, the outer shape of the rectangular plate (rectangular plate shape) It is possible to calculate the relative coordinates of each of the four imaging units that are the basis for calculating the length dimension of each of the four sides of the object and the squareness of each of the four corners of the rectangular plate-like object.

しかも、矩形板状物の四隅それぞれの予め測定された直角度を補正するステップを備えているため、予め測定された校正用標準矩形板状物の四辺それぞれの長さ寸法及び四隅それぞれの直角度に計測誤差が含まれていたとしても、その計測誤差が相殺されることとなる。このため、4つの撮像手段それぞれの相対座標をより精度良く演算することが可能となる。   Moreover, since it includes a step of correcting the squareness measured in advance at each of the four corners of the rectangular plate, the length dimension of each of the four sides of the standard rectangular plate for calibration and the squareness of each of the four corners are measured. Even if a measurement error is included in, the measurement error is canceled out. For this reason, it becomes possible to calculate the relative coordinates of each of the four imaging units with higher accuracy.

さらに、本発明は、予め矩形板状物の四隅に対応して配置された4つの撮像手段を備える形状測定装置における前記4つの撮像手段の相対座標を校正する方法において、校正用標準矩形板状物の四辺それぞれの予め測定された長さ寸法、及び、当該校正用標準矩形板状物の四隅それぞれの予め測定された直角度に基づいて、前記矩形板状物の四隅それぞれの予め測定された直角度を補正するステップと、前記4つの撮像手段によって前記校正用標準矩形板状物の四隅それぞれのコーナー部を含む画像を撮像するステップと、前記撮像された画像に基づいて、前記校正用標準矩形板状物の四隅それぞれのコーナーポスト座標を演算するステップと、前記演算された校正用標準矩形板状物のコーナーポスト座標、前記補正された直角度、及び、前記校正用標準矩形板状物の四辺それぞれの予め測定された長さ寸法に基づいて、前記4つの撮像手段それぞれの相対座標を演算するステップと、を備えることを特徴とする撮像手段の相対位置の校正方法を提供する。   Furthermore, the present invention provides a calibration standard rectangular plate-like shape in a method for calibrating the relative coordinates of the four imaging means in a shape measuring apparatus provided with four imaging means previously arranged corresponding to the four corners of the rectangular plate-like object. Based on the pre-measured length dimension of each of the four sides of the object and the pre-measured squareness of each of the four corners of the standard rectangular plate for calibration, the four corners of the rectangular plate were measured in advance. A step of correcting the squareness, a step of capturing an image including each of the four corners of the standard rectangular plate for calibration by the four imaging means, and the calibration standard based on the captured image. Calculating the corner post coordinates of each of the four corners of the rectangular plate, the calculated corner post coordinates of the standard rectangular plate for calibration, the corrected squareness, and the front Calculating the relative coordinates of each of the four image pickup means based on the length dimension measured in advance on each of the four sides of the standard rectangular plate for calibration, and the relative position of the image pickup means Providing a calibration method.

上記構成によれば、四辺それぞれの長さ寸法及び四隅それぞれの直角度が予め測定された(既知の)校正用標準矩形板状物を用いることで、矩形板状物の外形形状(矩形板状物の四辺それぞれの長さ寸法及び矩形板状物の四隅それぞれの直角度)の演算の基礎となる4つの撮像手段それぞれの相対座標を演算することが可能となる。   According to the above configuration, by using the (known) standard rectangular plate for calibration in which the length dimension of each of the four sides and the squareness of each of the four corners are measured in advance, the outer shape of the rectangular plate (rectangular plate shape) It is possible to calculate the relative coordinates of each of the four imaging units that are the basis for calculating the length dimension of each of the four sides of the object and the squareness of each of the four corners of the rectangular plate-like object.

しかも、矩形板状物の四隅それぞれの予め測定された直角度を補正するステップを備えているため、予め測定された校正用標準矩形板状物の四辺それぞれの長さ寸法及び四隅それぞれの直角度に計測誤差が含まれていたとしても、その計測誤差が相殺されることとなる。このため、4つの撮像手段それぞれの相対座標をより精度良く演算することが可能となる。   Moreover, since it includes a step of correcting the squareness measured in advance at each of the four corners of the rectangular plate, the length dimension of each of the four sides of the standard rectangular plate for calibration and the squareness of each of the four corners are measured. Even if a measurement error is included in, the measurement error is canceled out. For this reason, it becomes possible to calculate the relative coordinates of each of the four imaging units with higher accuracy.

以上説明したように、本発明によれば、ライン上を搬送されるガラス板等の矩形板状物の外形形状(寸法及び四隅の直角度等)をノンストップで測定することが可能な測定方法を提供することが可能となる。   As described above, according to the present invention, a measuring method capable of measuring the outer shape (dimensions, squareness of four corners, etc.) of a rectangular plate such as a glass plate conveyed on a line in a non-stop manner. Can be provided.

本実施形態の矩形板状物の外形形状測定方法に適用される形状測定装置のシステム構成図である。It is a system configuration figure of a shape measuring device applied to a shape measuring method of a rectangular plate object of this embodiment. ガラス板の一般的な製造工程を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the general manufacturing process of a glass plate. 測定ライン30上の形状測定セクション32付近の平面図である。FIG. 4 is a plan view of the vicinity of a shape measurement section 32 on a measurement line 30. 校正用標準ガラス板36の四辺及びコーナー部と撮像手段18C0〜18C3との位置関係を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the positional relationship of the four sides and corner part of the calibration standard glass plate 36, and the imaging means 18C0-18C3. 各撮像手段18C0〜18C3により撮像された画像P1〜P4の例である。It is an example of the images P1-P4 imaged by each imaging means 18C0-18C3. 4つの撮像手段18C0〜18C3それぞれの相対座標を演算する処理を説明するためのフローチャートである。It is a flowchart for demonstrating the process which calculates the relative coordinate of each of the four imaging means 18C0-18C3. 校正用標準ガラス板36の四辺それぞれの長さ寸法E1,E2,ER,EL及び当該校正用標準ガラス板36の四隅それぞれの直角度∠1〜∠4の関係を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the relationship between the length dimensions E1, E2, ER, EL of each of the four sides of the calibration standard glass plate 36 and the squareness ∠1 to ∠4 of each of the four corners of the calibration standard glass plate 36. 4つの撮像手段18C0〜18C3それぞれの相対座標S0〜S3、近似補正角R1*,R2*等の関係を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the relationship of relative coordinates S0-S3, approximate correction angle | corner R1 *, R2 *, etc. of each of the four imaging means 18C0-18C3. ワークガラス板34の外形形状を測定する方法を説明するためのフローチャートである。It is a flowchart for demonstrating the method to measure the external shape of the work glass plate. 特許文献1に記載の形状測定装置の正面図である。It is a front view of the shape measuring apparatus of patent document 1. 特許文献1に記載の形状測定装置の側面図である。It is a side view of the shape measuring apparatus of patent document 1.

以下、添付図面に基づいて本発明に係る矩形板状物の外形形状測定方法の好ましい実施の形態を詳説する。   Hereinafter, a preferred embodiment of a method for measuring the outer shape of a rectangular plate according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

図1は、本実施形態の矩形板状物の外形形状測定方法に適用される形状測定装置のシステム構成図である。図2は、ガラス板の一般的な製造工程を説明するための図である。図3は、測定ライン30上の形状測定セクション32付近の平面図である。   FIG. 1 is a system configuration diagram of a shape measuring apparatus applied to the method for measuring the outer shape of a rectangular plate-like object according to this embodiment. FIG. 2 is a diagram for explaining a general manufacturing process of a glass plate. FIG. 3 is a plan view of the vicinity of the shape measurement section 32 on the measurement line 30.

[形状測定装置の概要]
図2に示すように、ガラス板は、一般的に、所定の厚みに製造された板ガラスを所定サイズに切断する切断工程、切断後のガラス板に対し、面取り加工を施す面取り工程、面取り加工後のガラス板に対し、洗浄・乾燥を行う洗浄・乾燥工程、洗浄・乾燥後のガラス板の外形形状を測定する測定工程(測定ライン)を経て製造される。
[Outline of shape measuring device]
As shown in FIG. 2, the glass plate is generally a cutting step for cutting a plate glass manufactured to a predetermined thickness into a predetermined size, a chamfering step for chamfering the cut glass plate, and after chamfering processing. The glass plate is manufactured through a washing / drying step for washing / drying and a measurement step (measurement line) for measuring the outer shape of the glass plate after washing / drying.

本実施形態の形状測定装置10は、ガラス板の外形形状を測定するための装置であり、図3に示すように、測定ライン30上の形状測定セクション32に設置されている。洗浄・乾燥されたガラス板34(例えば、図3に示す長さL(数m)×幅W(数m)の矩形ガラス板。以下ワークガラス板と称す)は、公知の搬送手段(図示せず)により測定ライン30上を搬送され、形状測定セクション32を通過する。形状測定装置10は、形状測定セクション32を通過するワークガラス板34の外形形状(ワークガラス板34の四辺それぞれの長さ寸法及び四隅それぞれの直角度等)をノンストップで自動測定する。   The shape measuring apparatus 10 of the present embodiment is an apparatus for measuring the outer shape of a glass plate, and is installed in a shape measuring section 32 on a measurement line 30 as shown in FIG. The cleaned and dried glass plate 34 (for example, a rectangular glass plate of length L (several m) × width W (several m) shown in FIG. 3; hereinafter referred to as a work glass plate) is a known conveying means (not shown). ) On the measurement line 30 and pass through the shape measurement section 32. The shape measuring apparatus 10 automatically measures the outer shape of the workpiece glass plate 34 passing through the shape measuring section 32 (the length dimension of each of the four sides of the workpiece glass plate 34 and the squareness of each of the four corners, etc.) in a non-stop manner.

[形状測定装置の構成]
図1に示すように、形状測定装置10は、画像処理装置12、画像処理装置12にLED電源14及び所定インターフェース(図示せず)を介して接続された4つの照明手段16、画像処理装置12に所定インターフェース(図示せず)を介して接続された4つの撮像手段18C0〜18C3、画像処理装置12に所定インターフェース(図示せず)を介して接続されたセンサ20等を備えている。
[Configuration of shape measuring device]
As shown in FIG. 1, the shape measuring apparatus 10 includes an image processing apparatus 12, four illumination units 16 connected to the image processing apparatus 12 via an LED power source 14 and a predetermined interface (not shown), and the image processing apparatus 12. Are provided with four imaging means 18C0 to 18C3 connected via a predetermined interface (not shown), a sensor 20 connected to the image processing apparatus 12 via a predetermined interface (not shown), and the like.

画像処理装置12は、MPUやCPU等の演算・制御手段12a、RAMやROM等の記憶手段12b等を備えている。画像処理装置12は、演算・制御手段12aが記憶手段12bに読み込まれた所定プログラムを実行することにより、各照明手段16及び各撮像手段18C0〜18C3を制御する制御手段、ワークガラス板34の外形形状を演算する演算手段等として機能する。   The image processing apparatus 12 includes an arithmetic / control unit 12a such as an MPU or CPU, a storage unit 12b such as a RAM or ROM, and the like. The image processing apparatus 12 includes a control unit that controls each illumination unit 16 and each imaging unit 18C0 to 18C3 by the calculation / control unit 12a executing a predetermined program read into the storage unit 12b, and the outer shape of the work glass plate 34. It functions as a calculation means for calculating the shape.

照明手段16は、ワークガラス板34の四隅を照明するためのものであり、例えば、リング状に配置された複数のLED光源(図示せず)を含む照明装置である。照明手段16は、図1に示すように、ワークガラス板34の四隅それぞれに対応して4カ所に配置されている。照明手段16は、画像処理装置12からの制御に従って点灯し、ワークガラス板34の四隅を照明する。   The illumination means 16 is for illuminating the four corners of the work glass plate 34, and is, for example, an illumination device including a plurality of LED light sources (not shown) arranged in a ring shape. The illumination means 16 is arrange | positioned at four places corresponding to each of the four corners of the workpiece | work glass plate 34, as shown in FIG. The illumination unit 16 is turned on according to control from the image processing apparatus 12 and illuminates the four corners of the work glass plate 34.

撮像手段18C0〜18C3は、ワークガラス板34の四隅を撮像するためのものであり、例えば、CCD型又はCMOS型の撮像素子(例えば、解像度:数十μm/pic)を含む撮像装置である。撮像手段18C0〜18C3は、ワークガラス板34の四隅それぞれのコーナー部C1〜C4(図1、図3、図4等参照)が視野範囲(例えば、視野範囲:数十mm×数十mm)に収まるように、ワークガラス板34の四隅それぞれに対応して4カ所に配置されている。撮像手段18C0〜18C3は、画像処理装置12からの制御に従ってワークガラス板34の四隅それぞれのコーナー部C1〜C4を含む画像P1〜P4を撮像する。図5は、各撮像手段18C0〜18C3により撮像された画像P1〜P4の例である。当該撮像された画像P1〜P4は画像処理装置12に取り込まれる。   The imaging means 18C0 to 18C3 are for imaging the four corners of the work glass plate 34, and are, for example, an imaging device including a CCD type or CMOS type imaging device (for example, resolution: several tens of μm / pic). In the imaging means 18C0 to 18C3, the corner portions C1 to C4 (see FIGS. 1, 3, 4, etc.) of the four corners of the work glass plate 34 are in the visual field range (for example, visual field range: several tens mm × several tens mm). It is arranged at four locations corresponding to each of the four corners of the work glass plate 34 so as to be accommodated. The imaging units 18 </ b> C <b> 0 to 18 </ b> C <b> 3 capture images P <b> 1 to P <b> 4 including the corner portions C <b> 1 to C <b> 4 of the four corners of the work glass plate 34 according to control from the image processing device 12. FIG. 5 is an example of images P1 to P4 captured by the image capturing units 18C0 to 18C3. The captured images P1 to P4 are taken into the image processing device 12.

センサ20は、測定対象のワークガラス板34が測定セクション32(内の所定撮像位置)に到達したか否かを検出するためのものであり、例えば、フォトインタラプタである。センサ20は、ワークガラス板34の搬送方向の端縁34a(エッジ)を検出した場合には、その旨の検出信号を画像処理装置12に通知する。当該通知を受けた画像処理装置12は、当該測定セクション32に到達したワークガラス板34の四隅を照明するように各照明手段16を制御する。これとともに、当該ワークガラス板34の四隅それぞれのコーナー部C1〜C4を含む画像を撮像するように、各撮像手段18C0〜18C3を制御する。   The sensor 20 is for detecting whether or not the workpiece glass plate 34 to be measured has reached the measurement section 32 (a predetermined imaging position in the measurement section 32), and is, for example, a photo interrupter. When the sensor 20 detects the edge 34a (edge) in the transport direction of the workpiece glass plate 34, the sensor 20 notifies the image processing apparatus 12 of a detection signal to that effect. Upon receiving the notification, the image processing apparatus 12 controls each illumination unit 16 so as to illuminate the four corners of the work glass plate 34 that has reached the measurement section 32. At the same time, the imaging means 18C0 to 18C3 are controlled so as to capture images including the corner portions C1 to C4 at the four corners of the work glass plate 34, respectively.

[校正用標準ガラス板を用いた相対座標演算処理(校正方法)]
次に、校正用標準ガラス板を用いて、4つの撮像手段18C0〜18C3それぞれの相対座標を演算する処理について、図6を参照しながら説明する。図6は、4つの撮像手段18C0〜18C3それぞれの相対座標を演算する処理を説明するためのフローチャートである。以下の処理は、画像処理装置12(演算・制御手段)が、記憶手段12b等に読み込まれた所定プログラムを実行することにより実現される。
[Relative coordinate calculation using calibration standard glass plate (calibration method)]
Next, processing for calculating the relative coordinates of each of the four imaging units 18C0 to 18C3 using the calibration standard glass plate will be described with reference to FIG. FIG. 6 is a flowchart for explaining processing for calculating the relative coordinates of the four imaging units 18C0 to 18C3. The following processing is realized by the image processing apparatus 12 (calculation / control means) executing a predetermined program read into the storage means 12b or the like.

図4、図7に示すように、校正用標準ガラス板36の四辺それぞれの長さ寸法E1,E2,EF,ER及び当該校正用標準ガラス板36の四隅それぞれの直角度∠1〜∠4は、予めリニアゲージ等の校正ゲージを用いて測定され、表1に示すように記憶手段12b等に格納されている。   As shown in FIGS. 4 and 7, the lengths E1, E2, EF, ER of the four sides of the calibration standard glass plate 36 and the square angles ∠1 to ∠4 of the four corners of the calibration standard glass plate 36 are Measured in advance using a calibration gauge such as a linear gauge and stored in the storage means 12b as shown in Table 1.

直角度とは、直角であるべき校正用標準ガラス板36の四隅それぞれの内角の、直角からの狂いの大きさのことである。本実施形態においては、校正用標準ガラス板36の四隅それぞれのコーナー部C1〜C4から1000mm離れた当該校正用標準ガラス板36上の点と、四隅それぞれの内角が直角であると仮定した場合の校正用標準ガラス板36の四隅それぞれのコーナー部C1〜C4から1000mm離れた当該校正用標準ガラス板36上の点との距離(mm)を直角度として採用した。なお、校正用標準ガラス板36の四隅それぞれの内角と、四隅それぞれの内角が直角であると仮定した場合の校正用標準ガラス板36の四隅それぞれの内角(直角)との差(rad)を直角度として採用してもよい。   The squareness is the magnitude of the deviation from the right angle of each of the four corners of the calibration standard glass plate 36 that should be a right angle. In the present embodiment, it is assumed that the points on the calibration standard glass plate 36 that are 1000 mm apart from the corners C1 to C4 of the four corners of the calibration standard glass plate 36 and the inner angles of the four corners are right angles. A distance (mm) from a point on the calibration standard glass plate 36 that is 1000 mm away from each of the corner portions C1 to C4 of the four corners of the calibration standard glass plate 36 was adopted as a squareness. Note that the difference (rad) between the inner angles of the four corners of the calibration standard glass plate 36 and the inner angles (right angles) of the four corners of the calibration standard glass plate 36 when the inner angles of the four corners are right angles is directly calculated. You may employ | adopt as an angle.

Figure 2010095551
Figure 2010095551

しかし、これらの測定値自体(特に直角度∠1〜∠4)に、既に計測誤差(校正ゲージのオフセット誤差)が含まれている。この計測誤差を相殺し、校正用標準ガラス板36の四隅の内角の和が4直角となるように、直角度∠1〜∠4を補正する(ステップS10)。   However, these measurement values themselves (in particular, the square angles ∠1 to ∠4) already contain measurement errors (offset errors of the calibration gauge). The square angles ∠1 to ∠4 are corrected so that the measurement error is offset and the sum of the inner angles of the four corners of the calibration standard glass plate 36 becomes four right angles (step S10).

具体的には、次の表2、数1、表3に示すようにして、直角度∠1〜∠4を補正する。   Specifically, as shown in the following Table 2, Equation 1, and Table 3, the squares ∠1 to ∠4 are corrected.

Figure 2010095551
Figure 2010095551

表2中、DWSn←∠n/1000は、変数DWS1〜DWS4に、直角度∠1〜∠4を、直角度測定点と四隅それぞれのコーナー部C1〜C4との距離である1000mmで除した、∠1/1000〜∠4/1000がそれぞれ代入されることを表している。また、表2中、Rn#←ATAN(DWSn)は、変数R1#〜R4#に、コーナー部C1〜C4のラジアン化(RAD化)された内角ATAN(DWS1〜DWS4)がそれぞれ代入されることを表している。   In Table 2, DWSn ← ∠n / 1000 is the variables DWS1 to DWS4, and the squares 10001 to ∠4 are divided by 1000 mm, which is the distance between the squareness measurement points and the corners C1 to C4 at the four corners. ∠1 / 1000 to ∠4 / 1000 are substituted. In Table 2, Rn # ← ATAN (DWSn) is assigned to the variables R1 # to R4 # with the internal angles Atan (DWS1 to DWS4) in which the corners C1 to C4 are converted to radians (RAD). Represents.

また、表2中、aR←(R1#+R2#+R3#+R4#)/4.0は、変数aRに、上記ラジアン化(RAD化)された内角ATAN(DWS1〜DWS4)の平均値が代入されることを表している。また、表2中、Rn←Rn#−aRは、変数R1〜4に、変数R1#〜R4#から変数aRを減算した値がそれぞれ代入されることを表している。   In Table 2, for aR ← (R1 # + R2 # + R3 # + R4 #) / 4.0, the average value of the internal angle Atan (DWS1 to DWS4) converted to radians (RAD) is substituted for the variable aR. It represents that. In Table 2, Rn ← Rn # -aR indicates that the values obtained by subtracting the variable aR from the variables R1 # to R4 # are assigned to the variables R1 to R4, respectively.

これにより、校正用標準ガラス板36の内角の計測値に誤差が含まれており、校正用標準ガラス板36の内角の計測値の和R1#+R2#+R3#+R4#がゼロとならない場合であっても、下記の通り、R1+R2+R3+R4はゼロとなる。
R1+R2+R3+R4=(R1#−aR)+(R2#−aR)+(R3#−aR)+(R4#−aR)
=R1#+R2#+R3#+R4#−4×aR
=0
Thereby, an error is included in the measured value of the inner angle of the calibration standard glass plate 36, and the sum R1 # + R2 # + R3 # + R4 # of the measured value of the inner angle of the calibration standard glass plate 36 is not zero. Even so, R1 + R2 + R3 + R4 is zero as described below.
R1 + R2 + R3 + R4 = (R1 # -aR) + (R2 # -aR) + (R3 # -aR) + (R4 # -aR)
= R1 # + R2 # + R3 # + R4 # -4xaR
= 0

Figure 2010095551
Figure 2010095551

Figure 2010095551
Figure 2010095551

上記処理において、|R3+R4|>0.000001または|AR12|>0.000001の少なくともいずれか一方を満たさない場合は、R3、R4はいずれもゼロとする。また、|R1+R2|>0.000001または|AR12|>0.000001の少なくともいずれか一方を満たさない場合は、R1、R2はいずれもゼロとする。In the above processing, if at least one of | R3 + R4 |> 0.000001 or | AR12 |> 0.000001 is not satisfied, both R3 * and R4 * are set to zero. If at least one of | R1 + R2 |> 0.000001 or | AR12 |> 0.000001 is not satisfied, both R1 * and R2 * are set to zero.

上記処理は、校正用標準ガラス板36が概略平行四辺形であることを前提にして、対辺の長さの差が比較している辺の両端の角度の和(真の平行四辺形の場合は180度となる)の差となることから、この差分を元の角度の値に比例配分して、辺の長さの差を直角度に反映させるように、長辺間の長さの差分、短辺間の長さの差分について補正している。   The above processing is based on the assumption that the calibration standard glass plate 36 is a substantially parallelogram, and the sum of the angles of both ends of the sides with which the difference in length between opposite sides is compared (in the case of a true parallelogram) The difference in length between the long sides, so that this difference is proportionally distributed to the original angle value and the difference in side length is reflected in the squareness, The difference in length between the short sides is corrected.

この処理により、近似補正角R1*〜R4*が演算され、記憶手段12bに格納される。   By this processing, approximate correction angles R1 * to R4 * are calculated and stored in the storage unit 12b.

次に、画像処理装置12は、校正用標準ガラス板36の四隅を照明するように各照明手段16を制御する。これとともに、当該校正用標準ガラス板36の四隅それぞれのコーナー部C1〜C4を含む画像を撮像するように、各撮像手段18C0〜18C3を制御する。   Next, the image processing apparatus 12 controls each illumination unit 16 so as to illuminate the four corners of the calibration standard glass plate 36. At the same time, the imaging means 18C0 to 18C3 are controlled so as to capture images including the corner portions C1 to C4 at the four corners of the calibration standard glass plate 36, respectively.

各照明手段16は、画像処理装置12からの制御に従って点灯し、当該校正用標準ガラス板36の四隅を照明する。また、各撮像手段18C0〜18C3は、画像処理装置12からの制御に従って当該校正用標準ガラス板36の四隅それぞれのコーナー部C1〜C4を含む画像P1〜P4を撮像する(ステップS12)。図5は、各撮像手段18C0〜18C3により撮像された画像P1〜P4の例である。当該撮像された画像P1〜P4は画像処理装置12に取り込まれる。   Each illumination means 16 lights up according to control from the image processing apparatus 12 and illuminates the four corners of the calibration standard glass plate 36. Further, each of the imaging units 18C0 to 18C3 captures images P1 to P4 including the corner portions C1 to C4 at the four corners of the calibration standard glass plate 36 according to the control from the image processing device 12 (step S12). FIG. 5 is an example of images P1 to P4 captured by the image capturing units 18C0 to 18C3. The captured images P1 to P4 are taken into the image processing device 12.

次に、画像処理装置12は、その撮像された画像P1〜P4に基づいて、校正用標準ガラス板36の四隅それぞれの画像原点からのmm換算座標値であるコーナーポスト座標(以下、CP座標と称す)C1PX〜C4PX,C1PY〜C4PY及びコーナーカット寸法(以下、CC寸法と称す)C1LX〜C4LX,C1LY〜C4LYを演算する(ステップS14、S16)。   Next, the image processing device 12, based on the captured images P <b> 1 to P <b> 4, corner post coordinates (hereinafter referred to as CP coordinates) that are mm-converted coordinate values from the image origins of the four corners of the calibration standard glass plate 36. C1PX to C4PX, C1PY to C4PY and corner cut dimensions (hereinafter referred to as CC dimensions) C1LX to C4LX and C1LY to C4LY are calculated (steps S14 and S16).

例えば、各画像P1〜P4に対して所定の画像処理を施すことにより、図5に示すように、各エッジ(水平エッジEH、垂直エッジEV、斜めエッジEB)を検出し、水平・垂直エッジEH、EVと斜めエッジEBの交点を求める(ステップS14)。これらの交点等に基づいて、CP座標C1PX〜C4PX,C1PY〜C4PY及びCC寸法C1LX〜C4LX,C1LY〜C4LYを演算する(ステップS16)。   For example, by performing predetermined image processing on each of the images P1 to P4, as shown in FIG. 5, each edge (horizontal edge EH, vertical edge EV, oblique edge EB) is detected and the horizontal / vertical edge EH is detected. The intersection of EV and the oblique edge EB is obtained (step S14). Based on these intersections and the like, CP coordinates C1PX to C4PX, C1PY to C4PY and CC dimensions C1LX to C4LX, C1LY to C4LY are calculated (step S16).

次に、画像処理装置12は、その演算された校正用標準ガラス板36のCP座標C1PX〜C4PX,C1PY〜C4PY、記憶手段12bに格納された校正用標準ガラス板36の四辺それぞれの予め測定された長さ寸法E1,E2,ER,EL、及び、記憶手段12bに格納された近似補正角R1*,R2*,R3*,R4*に基づいて、4つの撮像手段18C0〜18C3それぞれの相対座標S0〜S3を演算し、記憶手段12bに格納する(ステップS18)。   Next, the image processing apparatus 12 measures in advance the calculated CP coordinates C1PX to C4PX, C1PY to C4PY of the calibration standard glass plate 36, and each of the four sides of the calibration standard glass plate 36 stored in the storage means 12b. Relative coordinates of the four imaging means 18C0 to 18C3 based on the length dimensions E1, E2, ER, EL and the approximate correction angles R1 *, R2 *, R3 *, R4 * stored in the storage means 12b. S0 to S3 are calculated and stored in the storage means 12b (step S18).

具体的には、次の表4に記載の式を用いて、4つの撮像手段18C0〜18C3それぞれの相対座標S0〜S3を演算する。   Specifically, the relative coordinates S0 to S3 of each of the four imaging units 18C0 to 18C3 are calculated using the equations shown in Table 4 below.

Figure 2010095551
Figure 2010095551

以上の処理により、4つの撮像手段18C0〜18C3それぞれの相対座標S0〜S3が演算され、記憶手段12bに格納される。図8は、4つの撮像手段18C0〜18C3それぞれの相対座標S0〜S3、近似補正角R1*,R2*等の関係を示している。   Through the above processing, the relative coordinates S0 to S3 of the four imaging units 18C0 to 18C3 are calculated and stored in the storage unit 12b. FIG. 8 shows the relationship between the relative coordinates S0 to S3, approximate correction angles R1 *, R2 *, etc. of the four imaging means 18C0 to 18C3.

[ワークガラス板の外形形状測定方法]
次に、上記構成の形状測定装置10を用いて、形状測定セクション32を通過するように搬送されるワークガラス板34の外形形状を測定する方法について、図9を参照しながら説明する。図9は、ワークガラス板34の外形形状を測定する方法を説明するためのフローチャートである。以下の処理は、画像処理装置12(演算・制御手段)が、記憶手段12b等に読み込まれた所定プログラムを実行することにより実現される。なお、記憶手段12bには、予め4つの撮像手段18C0〜18C3それぞれの相対座標S0〜S3が格納されているものとする。なお、この格納された相対座標S0〜S3は、撮像手段18C0〜18C3の配置が従前と同様の配置である限り、従前に格納された相対座標S0〜S3を記憶手段12bから読み出し、これを用いることが可能である。すなわち、撮像手段18C0〜18C3の配置が従前と同様の配置である限り、従前に格納された相対座標S0〜S3の再利用が可能であり、都度ステップS10〜S18を行う必要はない。
[External shape measurement method of work glass plate]
Next, a method for measuring the outer shape of the work glass plate 34 conveyed so as to pass through the shape measuring section 32 using the shape measuring apparatus 10 having the above configuration will be described with reference to FIG. FIG. 9 is a flowchart for explaining a method of measuring the outer shape of the work glass plate 34. The following processing is realized by the image processing apparatus 12 (calculation / control means) executing a predetermined program read into the storage means 12b or the like. It is assumed that relative coordinates S0 to S3 of the four imaging units 18C0 to 18C3 are stored in the storage unit 12b in advance. Note that the stored relative coordinates S0 to S3 are read out from the storage means 12b and used as long as the arrangement of the imaging means 18C0 to 18C3 is the same as before. It is possible. That is, as long as the arrangement of the imaging units 18C0 to 18C3 is the same as the previous arrangement, the previously stored relative coordinates S0 to S3 can be reused, and it is not necessary to perform steps S10 to S18 each time.

まず、画像処理装置12は、ワークガラス板34が測定セクション32に到達したか否かを判定する(ステップS20)。画像処理装置12は、測定対象のワークガラス板34が測定セクション32(内の所定撮像位置)に到達したと判定した場合(ステップS20:YES)、すなわち、センサ20からワークガラス板34の搬送方向の端縁34a(エッジ)を検出した旨の検出信号の通知を受けた場合には、当該測定セクション32に到達したワークガラス板34の四隅を照明するように各照明手段16を制御する。これとともに、当該ワークガラス板34の四隅それぞれのコーナー部C1〜C4を含む画像を撮像するように、各撮像手段18C0〜18C3を制御する。   First, the image processing apparatus 12 determines whether or not the work glass plate 34 has reached the measurement section 32 (step S20). When the image processing apparatus 12 determines that the workpiece glass plate 34 to be measured has reached the measurement section 32 (in the predetermined imaging position) (step S20: YES), that is, the conveyance direction of the workpiece glass plate 34 from the sensor 20 Each of the illumination means 16 is controlled so as to illuminate the four corners of the work glass plate 34 that has reached the measurement section 32. At the same time, the imaging means 18C0 to 18C3 are controlled so as to capture images including the corner portions C1 to C4 at the four corners of the work glass plate 34, respectively.

各照明手段16は、画像処理装置12からの制御に従って点灯し、当該ワークガラス板34の四隅を照明する。また、各撮像手段18C0〜18C3は、画像処理装置12からの制御に従って当該ワークガラス板34の四隅それぞれのコーナー部C1〜C4を含む画像p1〜p4(図5に示した画像P1〜P4と同様の画像)を撮像する(ステップS22)。当該撮像された画像p1〜p4は画像処理装置12に取り込まれる。   Each illumination means 16 is turned on according to the control from the image processing apparatus 12 and illuminates the four corners of the work glass plate 34. Further, each of the imaging units 18C0 to 18C3 includes images p1 to p4 including the corner portions C1 to C4 at the four corners of the work glass plate 34 according to control from the image processing device 12 (similar to the images P1 to P4 shown in FIG. 5). Image) is captured (step S22). The captured images p <b> 1 to p <b> 4 are taken into the image processing device 12.

次に、画像処理装置12は、その撮像された画像p1〜p4に基づいて、ワークガラス板34の四隅それぞれのCP座標c1Px〜c4Px,c1Py〜c4Py及びCC寸法c1Lx〜c4Lx,c1Ly〜c4Lyを演算する(ステップS24、S26)。   Next, the image processing device 12 calculates the CP coordinates c1Px to c4Px, c1Py to c4Py and the CC dimensions c1Lx to c4Lx, c1Ly to c4Ly of the four corners of the work glass plate 34 based on the captured images p1 to p4. (Steps S24 and S26).

例えば、各画像p1〜p4に対して所定の画像処理を施すことにより、図5に示したのと同様に、各エッジ(水平エッジEH、垂直エッジEV、斜めエッジEB)を検出し、水平・垂直エッジEH、EVと斜めエッジEBの交点を求める(ステップS24)。これらの交点等に基づいて、CP座標c1Px〜c4Px,c1Py〜c4Py及びCC寸法c1Lx〜c4Lx,c1Ly〜c4Lyを演算する(ステップS26)。   For example, by performing predetermined image processing on each of the images p1 to p4, each edge (horizontal edge EH, vertical edge EV, oblique edge EB) is detected in the same manner as shown in FIG. The intersection of the vertical edges EH and EV and the oblique edge EB is obtained (step S24). Based on these intersections and the like, CP coordinates c1Px to c4Px, c1Py to c4Py and CC dimensions c1Lx to c4Lx, c1Ly to c4Ly are calculated (step S26).

次に、画像処理装置12は、その演算されたワークガラス板34のCP座標c1Px〜c4Px,c1Py〜c4Py、及び、記憶手段12bに格納された相対座標S0〜S3に基づいて、ワークガラス板34の四辺それぞれの長さ寸法E1,E2,ER,ELを演算し、記憶手段12bに格納する(ステップS28)。   Next, the image processing apparatus 12 determines the workpiece glass plate 34 based on the calculated CP coordinates c1Px to c4Px and c1Py to c4Py of the workpiece glass plate 34 and the relative coordinates S0 to S3 stored in the storage unit 12b. Are calculated and stored in the storage means 12b (step S28).

具体的には、次に記載の式を用いて、ワークガラス板34の四辺それぞれの長さ寸法E1,E2,ER,ELを演算する。   Specifically, the length dimensions E1, E2, ER, and EL of each of the four sides of the work glass plate 34 are calculated using the following expressions.

Figure 2010095551
Figure 2010095551

以上の処理により、ワークガラス板34の四辺それぞれの長さ寸法E1,E2,ER,ELが演算され、記憶手段12bに格納される。   Through the above processing, the length dimensions E1, E2, ER, EL of each of the four sides of the work glass plate 34 are calculated and stored in the storage means 12b.

次に、画像処理装置12は、その演算されたCP座標c1Px〜c4Px,c1Py〜c4Py、記憶手段12bに格納された相対座標S0〜S3、及び、その演算された長さ寸法E1,E2,ER,ELに基づいて、ワークガラス板34の四隅それぞれの直角度∠1〜∠4を演算する(ステップS28)。   Next, the image processing apparatus 12 calculates the calculated CP coordinates c1Px to c4Px, c1Py to c4Py, the relative coordinates S0 to S3 stored in the storage unit 12b, and the calculated length dimensions E1, E2, ER. , EL, the squares ∠1 to ∠4 at the four corners of the work glass plate 34 are calculated (step S28).

具体的には、次に記載の式を用いて、ワークガラス板34の各コーナー部のラジアン化(RAD化)された内角r1〜r4を演算し、さらに当該内角r1〜r4に基づいてワークガラス板34の四隅それぞれの直角度∠1〜∠4を演算する。   Specifically, by using the following formula, radians (RAD) of the corners of the work glass plate 34 are calculated, and the work glass is further calculated based on the inner angles r1 to r4. The squares ∠1 to ∠4 at the four corners of the plate 34 are calculated.

Figure 2010095551
Figure 2010095551

以上の処理により、ワークガラス板34の四隅それぞれの直角度∠1〜∠4が演算され、記憶手段12bに格納される。   Through the above processing, the squares ∠1 to ∠4 at the four corners of the work glass plate 34 are calculated and stored in the storage unit 12b.

次に、画像処理装置12は、その演算されたワークガラス板34の四辺それぞれの長さ寸法E1,E2,ER,EL及び直角度∠1〜∠4と予め定められた所定の規格値(設定範囲)とを比較し、その比較結果に基づいて、当該演算された長さ寸法E1,E2,ER,EL及び直角度∠1〜∠4が規格値(設定範囲)内か否か、すなわち、ワークガラス板34の外形形状の良否判定を行う(ステップS30)。そして、画像処理装置12は、当該演算された長さ寸法E1,E2,ER,EL及び直角度∠1〜∠4が規格値(設定範囲)内であれば(ステップS30:YES)、ステップS20に戻って、次に測定セクション32に到達したワークガラス板34に対し、ステップS20〜S30の処理を繰り返す。すなわち、測定ライン30上を搬送される複数のワークガラス板34(図3参照)それぞれに対し、ノンストップで形状測定する。一方、画像処理装置12は、当該演算された長さ寸法E1,E2,ER,EL及び直角度∠1〜∠4が設定範囲内でなければ(ステップS30:NO)、アラーム等をディスプレイ22表示することによりその旨を報知する。   Next, the image processing apparatus 12 sets the predetermined lengths (settings) of the calculated length dimensions E1, E2, ER, EL and squareness ∠1 to ∠4 of each of the four sides of the work glass plate 34. Range), and based on the comparison result, whether the calculated length dimensions E1, E2, ER, EL and squareness 直 1 to ∠4 are within the standard value (setting range), that is, The quality of the outer shape of the work glass plate 34 is determined (step S30). Then, if the calculated length dimensions E1, E2, ER, EL and the perpendicular angles ∠1 to ∠4 are within the standard value (set range) (step S30: YES), the image processing device 12 performs step S20. Returning to step S20, steps S20 to S30 are repeated for the work glass plate 34 that has reached the measurement section 32. That is, the shape is measured in a non-stop manner for each of the plurality of work glass plates 34 (see FIG. 3) conveyed on the measurement line 30. On the other hand, if the calculated length dimensions E1, E2, ER, EL and the perpendicular angles ∠1 to ∠4 are not within the set range (step S30: NO), the image processing device 12 displays an alarm or the like on the display 22 To that effect.

以上説明したように、本実施形態のワークガラス板の外形形状測定方法によれば、従来のように撮像手段18C0〜18C3をXY方向に移動させることなく、予めワークガラス板34の四隅に対応して配置された4つの撮像手段18C0〜18C3で同時(又はほぼ同時)にワークガラス板34の四隅それぞれのコーナー部C1〜C4を含む画像を撮像し、当該撮像された画像p1〜p4等に基づいて、ワークガラス板34の外形形状(ワークガラス板34の四辺それぞれの長さ寸法及び矩形板状物の四隅それぞれの直角度)を演算する(ステップS20〜S28)。このため、測定ライン30上を搬送される複数のワークガラス板34(図3参照)それぞれに対し、ノンストップで形状測定することが可能となり、歩留まりを向上させることが可能となる。   As described above, according to the method for measuring the outer shape of the work glass plate of the present embodiment, it corresponds to the four corners of the work glass plate 34 in advance without moving the imaging means 18C0 to 18C3 in the X and Y directions as in the prior art. The four image pickup means 18C0 to 18C3 arranged in this manner simultaneously (or substantially simultaneously) pick up images including the corner portions C1 to C4 of the four corners of the work glass plate 34, and based on the picked up images p1 to p4, etc. Then, the outer shape of the workpiece glass plate 34 (the length dimension of each of the four sides of the workpiece glass plate 34 and the squareness of each of the four corners of the rectangular plate-like object) is calculated (steps S20 to S28). For this reason, it becomes possible to measure the shape in a non-stop manner for each of the plurality of work glass plates 34 (see FIG. 3) conveyed on the measurement line 30 and to improve the yield.

また、本実施形態のワークガラス板の外形形状測定方法によれば、四辺それぞれの長さ寸法及び四隅それぞれの直角度が予め測定された(既知の)校正用標準ガラス板36を用いることで、ワークガラス板34の外形形状(ワークガラス板34の四辺それぞれの長さ寸法及び四隅それぞれの直角度)の演算の基礎となる4つの撮像手段18C0〜18C3それぞれの相対座標を演算することが可能となる。   Moreover, according to the external shape measuring method of the work glass plate of the present embodiment, by using the (standard) calibration standard glass plate 36 in which the length dimension of each of the four sides and the squareness of each of the four corners are measured in advance, It is possible to calculate the relative coordinates of each of the four imaging units 18C0 to 18C3 which are the basis for calculating the outer shape of the work glass plate 34 (the length dimension of each of the four sides of the work glass plate 34 and the perpendicularity of each of the four corners). Become.

しかも、本実施形態のワークガラス板の外形形状測定方法によれば、校正用標準ガラス板36の四隅それぞれの予め測定された直角度を補正するステップS10を備えているため、予め測定された校正用標準ガラス板36の四辺それぞれの長さ寸法及び四隅それぞれの直角度に計測誤差が含まれていたとしても、その計測誤差が相殺されることとなる。このため、4つの撮像手段18C0〜18C3それぞれの相対座標をより精度良く演算することが可能となる。   Moreover, according to the method for measuring the external shape of the work glass plate of the present embodiment, since the calibration includes the step S10 for correcting the squareness measured in advance at each of the four corners of the calibration standard glass plate 36, the calibration measured in advance. Even if a measurement error is included in the length dimension of each of the four sides of the standard glass plate 36 and the squareness of each of the four corners, the measurement error is offset. For this reason, it becomes possible to calculate the relative coordinates of the four imaging units 18C0 to 18C3 with higher accuracy.

次に、変形例について説明する。   Next, a modified example will be described.

上記実施形態では、測定対象が、図5に示すような四隅がカットされた校正用標準ガラス板36やワークガラス板34である例について説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、図3等に示すような四隅がカットされていない校正用標準ガラス板36やワークガラス板34を用いても同様に、CP座標C1PX〜C4PX,C1PY〜C4PY、4つの撮像手段18C0〜18C3それぞれの相対座標S0〜S3を演算し、さらに、ワークガラス板34の四辺それぞれの長さ寸法E1,E2,ER,EL、ワークガラス板34の四隅それぞれの直角度∠1〜∠4を演算することが可能である。   In the said embodiment, although the measurement object demonstrated the example which is the standard glass plate 36 for calibration and the work glass plate 34 by which the four corners as shown in FIG. 5 were cut, this invention is not limited to this. For example, even if a calibration standard glass plate 36 or a work glass plate 34 in which the four corners are not cut as shown in FIG. The relative coordinates S0 to S3 are calculated, and the lengths E1, E2, ER, and EL of the four sides of the workpiece glass plate 34 and the perpendicular angles ∠1 to ∠4 of the four corners of the workpiece glass plate 34 are calculated. It is possible.

また、上記実施形態では、測定対象が、切断工程、面取り工程、洗浄・乾燥工程を経たガラス板である例について説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、切断工程前のガラス板、切断工程後面取り工程前のガラス板、面取り工程後洗浄・乾燥工程前のガラス板を測定対象とすることも可能である。   Moreover, although the measurement object demonstrated the example which is a glass plate which passed the cutting process, the chamfering process, and the washing | cleaning and drying process in the said embodiment, this invention is not limited to this. For example, a glass plate before the cutting step, a glass plate before the chamfering step after the cutting step, and a glass plate before the cleaning / drying step after the chamfering step can be measured.

また、上記実施形態では、4つの撮像手段18C0〜18C3それぞれの相対座標S0〜S3を、ステップS10〜S18の処理により演算する例について説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、4つの撮像手段18C0〜18C3それぞれの相対座標S0〜S3が予め測定されているのであれば、当該予め測定されている相対座標S0〜S3を用いて、ワークガラス板34の外形形状を測定すること(ステップS20〜S32)が可能である。   Moreover, although the said embodiment demonstrated the example which calculates the relative coordinates S0-S3 of each of the four imaging means 18C0-18C3 by the process of step S10-S18, this invention is not limited to this. For example, if the relative coordinates S0 to S3 of each of the four imaging units 18C0 to 18C3 are measured in advance, the external shape of the workpiece glass plate 34 is measured using the relative coordinates S0 to S3 measured in advance. It is possible to do (steps S20 to S32).

また、上記実施形態では、測定対象の矩形板状物がガラス板である例について説明したが、本発明はこれに限定されない。木板、金属板、樹脂板等の他の矩形板状物についても同様に適用することが可能である。   Moreover, although the said embodiment demonstrated the example whose rectangular plate-shaped object of a measuring object is a glass plate, this invention is not limited to this. The present invention can be similarly applied to other rectangular plates such as a wooden plate, a metal plate, and a resin plate.

上記実施形態はあらゆる点で単なる例示にすぎない。これらの記載によって本発明は限定的に解釈されるものではない。本発明はその精神または主要な特徴から逸脱することなく他の様々な形で実施することができる。   The above embodiment is merely an example in all respects. The present invention is not construed as being limited to these descriptions. The present invention can be implemented in various other forms without departing from the spirit or main features thereof.

本出願を詳細にまた特定の実施態様を参照して説明したが、本発明の精神と範囲を逸脱することなく様々な変更や修正を加えることができることは当業者にとって明らかである。
本出願は、2009年2月18日出願の日本特許出願(特願2009-035732)に基づくものであり、その内容はここに参照として取り込まれる。
Although this application has been described in detail and with reference to specific embodiments, it will be apparent to those skilled in the art that various changes and modifications can be made without departing from the spirit and scope of the invention.
This application is based on a Japanese patent application filed on Feb. 18, 2009 (Japanese Patent Application No. 2009-035732), the contents of which are incorporated herein by reference.

10…形状測定装置
12…画像処理装置
12a…演算・制御手段
12b…記憶手段
14…LED電源
16…照明手段
20…センサ
30…測定ライン
32…測定セクション
34a…端縁
36…校正用標準ガラス板
C1-C4…コーナー部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Shape measuring apparatus 12 ... Image processing apparatus 12a ... Calculation / control means 12b ... Memory | storage means 14 ... LED power supply 16 ... Illuminating means 20 ... Sensor 30 ... Measurement line 32 ... Measurement section 34a ... Edge 36 ... Standard glass plate for calibration C1-C4 ... Corner

Claims (4)

予め矩形板状物の四隅に対応して配置された4つの撮像手段と、前記4つの撮像手段それぞれの相対座標を格納する記憶手段と、を備える形状測定装置を用いて、形状測定セクションを通過するように搬送される矩形板状物の外形形状を測定する測定方法において、
前記矩形板状物が前記測定セクションに到達したか否かを判定するステップと、
前記矩形板状物が前記測定セクションに到達したと判定された場合に、前記4つの撮像手段によって当該測定セクションに到達した矩形板状物の四隅それぞれのコーナー部を含む画像を撮像するステップと、
前記撮像された画像に基づいて、前記矩形板状物の四隅それぞれの画像原点からの座標値であるコーナーポスト座標を演算するステップと、
前記演算された矩形板状物のコーナーポスト座標、及び、前記記憶手段に格納された相対座標に基づいて、前記矩形板状物の四辺それぞれの長さ寸法を演算するステップと、
前記演算されたコーナーポスト座標、前記記憶手段に格納された相対座標、及び、前記演算された長さ寸法に基づいて、前記矩形板状物の四隅それぞれの直角度を演算するステップと、
を備えることを特徴とする矩形板状物の外形形状測定方法。
Passing through the shape measurement section using a shape measuring device comprising four image pickup means arranged in advance corresponding to the four corners of the rectangular plate-like object, and storage means for storing relative coordinates of each of the four image pickup means In the measuring method of measuring the outer shape of the rectangular plate that is conveyed as
Determining whether the rectangular plate has reached the measurement section;
When it is determined that the rectangular plate-like object has reached the measurement section, the four imaging means captures images including the corners of the four corners of the rectangular plate-like object that has reached the measurement section;
Based on the captured image, calculating corner post coordinates that are coordinate values from the image origin of each of the four corners of the rectangular plate,
Calculating the length dimension of each of the four sides of the rectangular plate based on the calculated corner post coordinates of the rectangular plate and the relative coordinates stored in the storage means;
Calculating the squareness of each of the four corners of the rectangular plate based on the calculated corner post coordinates, the relative coordinates stored in the storage means, and the calculated length dimension;
A method for measuring the outer shape of a rectangular plate-shaped object.
前記演算された長さ寸法及び直角度と所定の規格値とを比較するステップと、
前記比較結果に基づいて、前記矩形板状物の外形形状の良否判定を行うステップと、
をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の矩形板状物の外形形状測定方法。
Comparing the calculated length dimension and squareness with a predetermined standard value;
Based on the comparison result, performing a pass / fail judgment of the outer shape of the rectangular plate-like object;
The external shape measuring method of the rectangular plate-shaped object according to claim 1, further comprising:
校正用標準矩形板状物の四辺それぞれの予め測定された長さ寸法、及び、当該校正用標準矩形板状物の四隅それぞれの予め測定された直角度に基づいて、前記矩形板状物の四隅それぞれの予め測定された直角度を補正するステップと、
前記4つの撮像手段によって前記校正用標準矩形板状物の四隅それぞれのコーナー部を含む画像を撮像するステップと、
前記撮像された画像に基づいて、前記校正用標準矩形板状物の四隅それぞれのコーナーポスト座標を演算するステップと、
前記演算された校正用標準矩形板状物のコーナーポスト座標、前記補正された直角度、及び、前記校正用標準矩形板状物の四辺それぞれの予め測定された長さ寸法に基づいて、前記4つの撮像手段それぞれの相対座標を演算し、前記記憶手段に格納するステップと、をさらに備えることを特徴とする請求項1又は2に記載の矩形板状物の外形形状測定方法。
Based on the pre-measured length dimension of each of the four sides of the standard rectangular plate for calibration and the squareness measured in advance of each of the four corners of the standard rectangular plate for calibration, the four corners of the rectangular plate Correcting each pre-measured squareness;
Capturing images including corner portions of the four corners of the standard rectangular plate for calibration by the four imaging means;
Calculating the corner post coordinates of each of the four corners of the standard rectangular plate for calibration based on the captured image;
Based on the calculated corner post coordinates of the calibration standard rectangular plate, the corrected squareness, and the length dimension measured in advance on each of the four sides of the calibration standard rectangular plate, the 4 The method for measuring the external shape of a rectangular plate-like object according to claim 1, further comprising: calculating a relative coordinate of each of the two imaging units and storing the calculated coordinate in the storage unit.
予め矩形板状物の四隅に対応して配置された4つの撮像手段を備える形状測定装置における前記4つの撮像手段の相対座標を校正する方法において、
校正用標準矩形板状物の四辺それぞれの予め測定された長さ寸法、及び、当該校正用標準矩形板状物の四隅それぞれの予め測定された直角度に基づいて、前記矩形板状物の四隅それぞれの予め測定された直角度を補正するステップと、
前記4つの撮像手段によって前記校正用標準矩形板状物の四隅それぞれのコーナー部を含む画像を撮像するステップと、
前記撮像された画像に基づいて、前記校正用標準矩形板状物の四隅それぞれのコーナーポスト座標を演算するステップと、
前記演算された校正用標準矩形板状物のコーナーポスト座標、前記補正された直角度、及び、前記校正用標準矩形板状物の四辺それぞれの予め測定された長さ寸法に基づいて、前記4つの撮像手段それぞれの相対座標を演算するステップと、
を備えることを特徴とする撮像手段の相対位置の校正方法。
In the method of calibrating the relative coordinates of the four image pickup means in the shape measuring apparatus including the four image pickup means previously arranged corresponding to the four corners of the rectangular plate-shaped object,
Based on the pre-measured length dimension of each of the four sides of the standard rectangular plate for calibration and the squareness measured in advance of each of the four corners of the standard rectangular plate for calibration, the four corners of the rectangular plate Correcting each pre-measured squareness;
Capturing images including corner portions of the four corners of the standard rectangular plate for calibration by the four imaging means;
Calculating the corner post coordinates of each of the four corners of the standard rectangular plate for calibration based on the captured image;
Based on the calculated corner post coordinates of the calibration standard rectangular plate, the corrected squareness, and the length dimension measured in advance on each of the four sides of the calibration standard rectangular plate, the 4 Calculating the relative coordinates of each of the two imaging means;
A method for calibrating the relative position of the image pickup means.
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