JPWO2010053125A1 - 成膜装置、成膜方法及び半導体装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の第1の実施の形態について図1ないし図13を参照して説明する。
本発明の第2の実施の形態について図14ないし図16を参照して説明する。
本発明の第3の実施の形態について図17及び図18を参照して説明する。
本発明の第4の実施の形態について図19を参照して説明する。
本発明の第5の実施の形態について図20及び図21を参照して説明する。
本発明の第6の実施の形態について図24及び図25を参照して説明する。
本発明の第7の実施の形態について図26及び図27を参照して説明する。
本発明の第8の実施の形態について図28及び図29を参照して説明する。
なお、本発明は、前述の実施の形態に限るものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能である。例えば、前述の実施の形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施の形態に亘る構成要素を適宜組み合わせてもよい。
Claims (20)
- 塗布対象物が載置されるステージと、
前記ステージに載置された前記塗布対象物上の所定領域に材料を塗布して塗布膜を形成する塗布部と、
前記塗布膜を溶解可能な溶媒蒸気を生成する給気部と、
前記ステージに載置された前記塗布対象物上の前記塗布膜に対し、前記給気部により生成された前記溶媒蒸気を吹き付ける吹付部と、
前記吹付部により吹き付ける前記溶媒蒸気の量を、前記塗布膜を溶解し、前記塗布膜の表層側部分の粘度が前記塗布対象物側部分の粘度より低くなる量となるよう制御する制御部と、
を備えることを特徴とする成膜装置。 - 前記制御部は、前記塗布膜の周縁部の内側の表層に前記溶媒蒸気を吹き付けるよう前記吹付部を制御することを特徴とする請求項1記載の成膜装置。
- 前記吹付部は、エアナイフ型であり、前記給気部により生成された前記溶媒蒸気を吹き出す吹出口を具備し、
前記吹出口の開口面積を調整する調整機構と、
前記ステージを水平面内で回転させる回転機構と、
を備え、
前記制御部は、前記回転機構により前記ステージを回転させながら、前記吹付部に前記溶媒蒸気の吹き付けを実行させる、
ことを特徴とする請求項1記載の成膜装置。 - 前記吹付部は、ノズル型であり、前記給気部により生成された前記溶媒蒸気を吹き出す吹出口を具備し、
前記ステージを水平面内で回転させる回転機構を備え、
前記制御部は、前記吹付部による前記溶媒蒸気の吹付量を前記塗布膜の周縁部と周縁部の内側とで異なる量とするように前記給気部を制御し、さらに前記回転機構により前記ステージを回転させながら、前記吹付部に前記溶媒蒸気の吹き付けを実行させる、
ことを特徴とする請求項1記載の成膜装置。 - 前記吹付部は、
前記ステージを覆うように形成され、前記給気部により生成された前記溶媒蒸気を吹き出す吹出口を有する筐体と、
前記筐体内に設けられ、前記給気部により生成された前記溶媒蒸気を分散させる分散部と、
前記吹出口の開口面積を調整する調整機構と、
を具備していることを特徴とする請求項1記載の成膜装置。 - 前記ステージの外縁に沿うように設けられ、前記吹出口から吹き出された余剰分の前記溶媒蒸気を排気する排気部を備えることを特徴とする請求項3、4又は5記載の成膜装置。
- 前記吹付部は、
前記給気部により生成された前記溶媒蒸気を吹き出す吹出口と、
前記吹出口の周囲に設けられ、前記吹出口から吹き出された余剰分の前記溶媒蒸気を排気する排気口と、
を具備していることを特徴とする請求項3、4又は5記載の成膜装置。 - 前記塗布部により塗布された前記塗布対象物上の前記塗布膜を乾燥させる乾燥部を備え、
前記制御部は、前記吹付部に前記溶媒蒸気の吹き付けを実行させるまでに前記塗布対象物上の前記塗布膜の表層を乾燥させるように前記乾燥部を制御することを特徴とする請求項3、4又は5記載の成膜装置。 - 前記制御部は、前記吹付部により吹き付ける前記溶媒蒸気の量を、少なくとも前記溶媒蒸気の搬送気体の流量または前記溶媒蒸気を発生する際の温度により制御することを特徴とする請求項1記載の成膜装置。
- 前記ステージを水平面内で回転させる回転機構を備え、
前記制御部は、前記回転機構により前記ステージを回転させながら、前記塗布膜の形成を実行させる、
を備えることを特徴とする請求項1記載の成膜装置。 - 前記吹付部により前記溶媒蒸気が吹き付けられた前記塗布対象物上の前記塗布膜を乾燥させる乾燥部を備えることを特徴とする請求項1記載の成膜装置。
- 請求項1記載の成膜装置により製造されたことを特徴とする半導体装置。
- 塗布対象物上の所定領域に材料を塗布して塗布膜を形成する工程と、
吹き付ける溶媒蒸気の量を、前記塗布膜を溶解し、前記塗布膜の表層側部分の粘度が前記塗布対象物側部分の粘度より低くなる量とするように調整して前記溶媒蒸気を生成する工程と、
前記調整して生成した前記溶媒蒸気を前記塗布対象物上の前記塗布膜に吹き付ける工程と、
を有することを特徴とする成膜方法。 - 前記溶媒蒸気を吹き付ける工程では、前記塗布膜の周縁部の内側に前記溶媒蒸気を吹き付けることを特徴とする請求項13記載の成膜方法。
- 前記吹き付ける工程では、吹き付けた余剰分の前記溶媒蒸気を排気することを特徴とする請求項14記載の成膜方法。
- 前記塗布膜を形成する工程の後で前記溶媒蒸気を吹き付ける工程の前に、前記塗布対象物上の前記塗布膜を乾燥させる工程を有することを特徴とする請求項13記載の成膜装置。
- 前記溶媒蒸気を生成する工程では、生成する前記溶媒蒸気の量を、少なくとも前記溶媒蒸気の搬送気体の流量または前記溶媒蒸気を発生する際の温度により調整して前記溶媒蒸気を生成することを特徴とする請求項13記載の成膜方法。
- 前記塗布膜を形成する工程では、前記塗布対象物を水平面内で回転させながら前記塗布対象物上に材料を塗布して前記塗布膜を形成することを特徴とする請求項13記載の成膜方法。
- 前記溶媒蒸気を生成する工程では、生成する前記溶媒蒸気の量を、前記溶媒蒸気の搬送気体の流量、前記溶媒蒸気を発生する際の温度、および前記塗布対象物の回転により調整して前記溶媒蒸気を生成することを特徴とする請求項18記載の成膜方法。
- 前記溶媒蒸気を吹き付ける工程の後に、前記塗布対象物上の前記塗布膜を乾燥させる工程を有することを特徴とする請求項13記載の成膜方法。
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