JPWO2007052459A1 - スクリーン印刷方法およびそれに用いるスクリーン印刷装置 - Google Patents

Abstract

【課題】印刷パターンの面内において印刷方向に沿った不均一な歪みを抑制するための補正を行うことが可能で、印刷精度の高いスクリーン印刷方法と、それに用いるスクリーン印刷装置を提供する。【解決手段】印刷台５の表面と印刷マスク３の表面との間に滑りを生じさせ、その滑り量を調整することにより被印刷物４に印刷される印刷パターンの歪みを補正する。滑り量の調整は、スキージ７を摺動させる場合、その摺動開始側から摺動終了側にかけて次第に滑り量が大きくなるように、例えば印刷台５の回動速度を変化させることにより行う。また、基準となる印刷予定位置と実際の印刷位置との関係を測定する印刷位置測定手段と、測定された相対的な位置関係より、基準位置からのずれ量を演算し、その値から印刷台の表面と印刷マスクの表面との間の滑りの補正量を求める補正量算出手段と、該補正量に基づいて両者間の滑り量を制御する制御手段とを備えた装置を用いる。

Description

本発明は、印刷方法および印刷装置に関し、詳しくは、スクリーン印刷方法、および該スクリーン印刷方法に用いるスクリーン印刷装置に関する。

例えば、積層セラミック電子部品の製造工程において、積層されるセラミックグリーンシートに導電ペーストを印刷して内部電極パターンを形成するような場合、所定の図形パターン、すなわち印刷図形を得る方法として、スクリーン印刷方法が広く用いられている。

このようなスクリーン印刷を行うための従来技術として、例えば、印刷マスクを固定した状態で、スキージと印刷台とをともに移動させてスクリーン印刷を行う方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。

すなわち、この特許文献１に開示されているスクリーン印刷方法において、図１９(ａ)〜(ｃ)に示すように、断面円形の印刷台１０１の表面に被印刷物１０２を載置した後、印刷ペースト１０３が供給された印刷マスク１０４を被印刷物１０２に接触させるとともに、スキージ１０５が印刷マスク１０４を押圧する状態とした後、スキージ１０５を水平方向に摺動させるとともに、印刷マスク１０４と印刷台１０１とが略線接触する箇所にスキージ１０５の先端が常に位置するように、印刷台１０１をスキージ１０５の摺動に同期して移動しながら回転するように構成することにより、印刷マスク１０４上の印刷ペースト１０３を、マスク開口を通じて被印刷物１０２の表面に塗布して印刷を行うようにしている。

また、他の従来技術として、例えば、スキージを固定した状態で、印刷マスクを移動させるとともに、この移動に同期して印刷台を回転させることによりスクリーン印刷を行う方法が提案されている（例えば、特許文献２参照）。

すなわち、この特許文献２に開示されている従来技術では、図２０(ａ)，(ｂ)に示すように、断面形状が円形の印刷台１０１の表面に被印刷物１０２を載置し、印刷ペースト１０３が供給された印刷マスク１０４を被印刷物１０２に接触させるとともに、印刷マスク１０４と印刷台１０１とが略線接触する箇所にスキージ１０５の先端を位置させてスキージ１０５が印刷マスク１０４を押圧する状態にした後、印刷マスク１０４を水平方向に摺動させるとともに、この印刷マスク１０４の摺動に同期して印刷台１０１を回転させることにより、印刷マスク１０４上の印刷ペースト１０３を、マスク開口を通じて被印刷物１０２の表面に転写して印刷を行う。また、この従来技術２においては、被印刷物１０２の厚さによる印刷台１０１の実質的な外径変化を補正する図示しない補正機構が設けられている。

しかしながら、上記の特許文献１に記載されている従来技術においては、印刷台１０１と印刷マスク１０４との間で滑りが生じないように、スキージ１０５の摺動、印刷台１０１の移動および回転が互いに同期するように構成されているが、被印刷物１０２の厚さによる外径変化や、スキージ１０５の押圧による印刷マスク１０４の伸長などの影響により、印刷パターンの面内には印刷方向（スキージ１０５の摺動方向）に沿って不均一な歪みが発生し、所期の印刷精度が得られないという問題点がある。

また、特許文献２に記載されている従来技術においては、補正機構によって被印刷物１０２の厚さによる印刷台１０１の外径変化の影響を補正するようにしているが、この補正機構は、印刷パターンの面内の全領域について均一な補正を行うものであることから、特許文献１の場合と同様、スキージ１０５の押圧による印刷マスク１０４の伸長などにより、依然として印刷パターンの面内には印刷方向（スキージ１０５の摺動方向）に沿って不均一な歪みが発生し、所期の印刷精度を得ることができないという問題点がある。
特開平９−３００５７９号公報 特開平９−３１４８０１号公報

本願発明は、上記の課題を解決するためになされたものであり、印刷パターンの面内において印刷方向に沿った不均一な歪みが発生しないように、有効な補正を加えることができるようにした、従来よりも高い印刷精度を得ることが可能なスクリーン印刷方法、およびこの方法に用いるスクリーン印刷装置を提供することを目的とする。

上記の目的を達成するために、請求項１のスクリーン印刷方法は、
所定の印刷パターンが開口として形成された印刷マスクと、
被印刷物の載置用の表面が前記印刷マスクに対して略線接触するように、少なくとも被印刷物が載置される面が、前記線接触する線方向に直交する断面形状において、略円弧状に形成された印刷台と、
前記印刷マスク上に載せられた印刷ペーストを前記開口を通じて前記被印刷物に向けて押し出すスキージとを備え、
前記スキージと前記印刷マスクとを相対的に摺動させて前記印刷ペーストを被印刷物に向けて押し出す際に、前記印刷台を回動させることにより前記被印刷物に対して印刷を行うスクリーン印刷方法であって、
前記印刷台の表面と前記印刷マスクの表面との間に滑りを生じさせ、その滑り量を調整することにより前記被印刷物に印刷される印刷パターンの歪みを補正すること
を特徴としている。

また、請求項２のスクリーン印刷方法は、請求項１記載の発明において、前記印刷台の表面と前記印刷マスクの表面との間の滑り量の調整を、スキージの摺動開始側から摺動終了側にかけて次第に滑り量が大きくなるように行うことを特徴としている。

また、請求項３のスクリーン印刷方法は、請求項２記載の発明において、前記印刷台の表面と前記印刷マスクの表面との間の滑り量の調整を、スキージの摺動開始側から摺動終了側にかけて２以上の領域に分けて行うことを特徴としている。

また、請求項４のスクリーン印刷方法は、請求項１〜３のいずれかに記載の発明において、前記印刷台の表面と前記印刷マスクの表面との間の滑り量の調整を、前記印刷台の回動速度を変化させることにより行うことを特徴としている。

また、請求項５のスクリーン印刷方法は、請求項１〜４のいずれかに記載の発明において、前記印刷台を、被印刷物が載置される、前記線接触する線方向に直交する断面形状が略円弧状の面に関して、３軸同期制御により疑似的に転がり運動させることを特徴としている。

また、請求項６のスクリーン印刷方法は、請求項５記載の発明において、前記３軸同期制御を行う場合において、前記印刷台の表面と前記印刷マスクの表面との間の滑り量の調整を、前記印刷台の断面形状が略円弧状の面の転がり運動軌跡を規定するパラメータを変化させることにより行うことを特徴としている。

また、請求項７のスクリーン印刷方法は、請求項１〜６のいずれかに記載の発明において、前記印刷パターンの歪み補正を、制御プログラムにより行うことを特徴としている。

また、請求項８のスクリーン印刷装置は、本願発明の請求項１〜７のいずれかに記載のスクリーン印刷方法を実施するための装置であって、基準となる印刷予定位置と実際の印刷位置との相対的な位置関係を測定する印刷位置測定手段と、前記印刷位置測定手段で測定された相対的な位置関係から実際の印刷位置の基準位置からのずれの大きさを演算し、その値に基づいて印刷台の表面と前記印刷マスクの表面との間の滑りの補正量を算出する補正量算出手段と、
前記補正量算出手段で算出された補正量に基づいて印刷台の表面と前記印刷マスクの表面との間の滑り量を制御する制御手段と
を備えることを特徴としている。

請求項１のスクリーン印刷方法によれば、スキージと印刷マスクとを相対的に摺動させて印刷ペーストを被印刷物に向けて押し出す際に、印刷台の表面と印刷マスクの表面との間に積極的に滑りを生じさせ、その滑り量を調整することにより被印刷物に印刷される印刷パターンの歪みを補正するようにしているので、スキージの押圧による印刷マスクの伸長や印刷台の形状などに起因する、印刷パターンの面内に印刷方向に沿った不均一な歪みの発生を有効に抑制、防止することができる。このため、従来のスクリーン印刷方法に比べて印刷精度を向上させることが可能になる。

なお、本願発明において、「少なくとも被印刷物が載置される面が、被印刷物と線接触する線方向に直交する断面形状において、略円弧状に形成された印刷台」とは、円柱状のものや、被印刷物が載置される上面の断面形状が略円弧状であるような、いわゆるかまぼこ状の形状のものなどを含むものである。
また、「印刷台表面」とは、印刷台に配置される被印刷物表面を意味するものである。

また、請求項２のスクリーン印刷方法において、請求項１の発明の構成において、印刷台の表面と印刷マスクの表面との間の滑り量の調整を、スキージの摺動開始側から摺動終了側にかけて次第に滑り量が大きくなるように行っているため、従来のスクリーン印刷方法では、印刷パターンの面内においてスキージの摺動開始側が伸び、終了側が縮んでいたものを、摺動開始側を縮まる方向に補正するとともに、終了側を伸ばす方向に補正することが可能になる。したがって、印刷パターンの面内において、印刷方向に沿う不均一な歪みの発生を抑制して、印刷精度を向上させることが可能になる。

また、請求項３のスクリーン印刷方法においては、請求項２の発明の構成において、印刷台の表面と前記印刷マスクの表面との間の滑り量の調整を、スキージの摺動開始側から摺動終了側にかけて２以上の領域に分けて行うようにしているので、各領域ごとに適切な滑り量を調整することが可能になり、これによって、印刷パターンの面内に印刷方向に沿う不均一な歪みの発生を効果的に抑制することができる。

また、請求項４のスクリーン印刷方法においては、請求項１〜３のいずれかの発明において、印刷台の表面と印刷マスクの表面との間の滑り量の調整を、印刷台の回動速度を変化させることにより行うようにしているので、滑り量の調整を極めて容易に実施することが可能になり、本願発明をさらに実効あらしめることができる。

また、請求項５のスクリーン印刷方法においては、請求項１〜４のいずれかの発明の構成において、印刷台の被印刷物の載置用の、断面形状が略円弧状の面を３軸同期制御により疑似的に転がり運動させるようにしているので、機構の大型化や精度の劣化を招くことなく、半径の大きい円弧運動が可能になる。このため、被印刷物に対して印刷を行うスキージの押圧による印刷マスクの伸長に起因する、印刷パターンの面内における印刷方向に沿った不均一な歪みの発生をさらに効率よく低減することができる。

また、請求項６のスクリーン印刷方法においては、請求項５の発明の構成において、印刷台の被印刷物が載置される、断面形状が略円弧状の面と印刷マスクの表面との間の滑り量の調整を、３軸同期制御を行う際、印刷台の断面形状が略円弧状の面の転がり運動軌跡を規定するパラメータを変化させることにより行うようにしているので、滑り量の調整を極めて容易に実施することが可能になり、本願発明をさらに実効あらしめることができる。

また、請求項７のスクリーン印刷方法においては、請求項１〜６のいずれかの発明の構成において、前記印刷パターンの歪み補正を制御プログラムにより行うようにしているので、所定の印刷回数ごとに印刷方向に沿った歪みを検出して滑り量の調整を行うなどのフィードバックによる自動制御が可能になり、しかも、応答性が高くなるため、歪み補正を迅速に行うことができる。

また、請求項８のスクリーン印刷装置においては、印刷位置測定手段で基準となる印刷予定位置と実際の印刷位置との相対的な位置関係を測定し、次いで、補正量算出手段で印刷位置測定手段で測定された相対的な位置関係から実際の印刷位置の基準位置からのずれの大きさを演算し、その値に基づいて印刷台の表面と前記印刷マスクの表面との間の滑りの補正量を算出し、続いて、制御手段がこの補正量算出手段で算出された補正量に基づいて印刷台の表面と印刷マスクの表面との間の滑り量を制御するので、印刷パターンの面内において印刷方向に沿う不均一な歪みが発生することを効率よく低減することが可能になり、請求項１〜７のいずれかのスクリーン印刷方法を確実に実施して、精度の高いスクリーン印刷を行うことが可能になる。

本願発明の実施例１にかかるスクリーン印刷方法を実施するのに用いたスクリーン印刷装置の構成図である。 図１のスクリーン印刷装置を用いたスクリーン印刷方法の説明図である。 本願発明の実施例１のスクリーン印刷方法における、スキージ摺動距離と印刷台の回転速度との関係を示す特性図である。 歪み補正を行わない従来のスクリーン印刷方法と、図３の特性図に基づいて歪み補正を行った本願発明のスクリーン印刷方法による印刷パターンの差異を示す図である。 本願発明の実施例１において、他の条件でスクリーン印刷を行った場合における、スキージ摺動距離と印刷台の回転速度との関係を示す特性図である。 歪み補正を行わない従来のスクリーン印刷方法と、図５の特性図に基づいて歪み補正を行った本願発明のスクリーン印刷方法による印刷パターンの差異を示す図である。 本願発明の実施例２にかかるスクリーン印刷方法を実施するのに用いたスクリーン印刷装置の印刷台と、その周辺部分を概略的に示す構成図である。 本願発明の実施例２において、印刷台の３軸同期制御を行う方法を説明する図である。 本願発明の実施例２において、印刷台の３軸同期制御による仮想円転がり運動を説明する図である。 本願発明の実施例２において、印刷台の３軸同期制御に基づくスクリーン印刷の動作を説明する図である。 本願発明の実施例２において、パラメータＲ１を制御量として変化させる場合のスキージと印刷台の動きを説明するための図である。 本願発明の実施例２において、制御量Ｒ１’を変化させた場合に得られるピッチ補正量の関係を示す特性図である。 本願発明の実施例２において、スキージ摺動方向の歪み補正を行う場合のスキージ摺動に伴う制御量Ｒ１’の変化の関係を示す特性図である。 歪み補正を行わない従来のスクリーン印刷方法と、図１３の特性図に基づいて歪み補正を行った本願発明のスクリーン印刷方法による印刷パターンの差異を示す図である。 本願発明の実施例２において、パラメータＲ２を制御量として変化させる場合の各パラメータＲ１，Ｒ２，Ｒ２’の関係を示す図である。 本願発明の実施例２において、パラメータＲ２を制御量として変化させる場合のスキージと印刷台の動きを説明するための図である。 本願発明の実施例２において、制御量Ｒ２’を変化させた場合に得られるピッチ補正量の関係を示す特性図である。 本願発明の実施例２において、スキージ摺動方向の歪み補正を行う場合のスキージ摺動に伴う制御量Ｒ２’の変化の関係を示す特性図である。 従来のスクリーン印刷方法を説明する図である。 従来の他のスクリーン印刷方法を説明する図である。

符号の説明

１ スクリーン印刷装置
２ 装置本体
３ 印刷マスク
４ 被印刷物
５ 印刷台
６ 印刷ペースト
７ スキージ
８ 制御手段
９ インク返し
１１ 印刷位置測定手段
１１ａ ＣＣＤカメラ
１１ｂ 画像処理装置
１２ 補正量算出手段
１３ ベース台
２１，２２ 支持体
３１，３２ レール
４１，４２ Ｚ軸駆動部
４３ Ｘ軸駆動部
４４ スキージ駆動部
Ｆ１，Ｆ２ 支点（円弧面と同心の円弧上に位置する２点）
Ｐ 印刷予定位置間の印刷パターンのピッチ
Ｐ１，Ｐ２ スキージの摺動開始側の印刷パターンのピッチ
Ｐ３，Ｐ４ スキージの摺動終了側の印刷パターンのピッチ
Ｒ 印刷台の半径
Ｒ１ 印刷台５の円弧面に沿う仮想円α１の半径
Ｒ１’ 仮想円α１’の半径
Ｒ２ 両支点Ｆ１，Ｆ２を通りかつ仮想円α１と同心の仮想円α２の半径
Ｒ２’ 仮想円β２の半径
Ｘ，Ｚ１，Ｚ２ 駆動量
α１ 印刷台円弧の仮想円
α１’ 仮想円
α２ 支点が位置する同心円
γ，γ’ 仮想円の中心
δ 接線
θ１ 一方の支点Ｆ１とＺ軸とのなす角（初期値）
θ２ 他方の支点Ｆ２とＺ軸とのなす角（初期値）
ｔ 時間
ω 仮想円α１の角速度

以下、本願発明の実施例を示して、その特徴とするところをさらに詳しく説明する。

図１は本願発明の実施例１にかかるスクリーン印刷方法を実施するのに用いたスクリーン印刷装置の構成図である。
この実施例１で用いたスクリーン印刷装置１は装置本体２を有している。そして、装置本体２は、所定の印刷パターンが開口として形成された印刷マスク３、被印刷物４の載置用の外周面が印刷マスク３に対して略線接触するように、線接触する線方向に平行な方向（すなわち、軸方向）から見た形状が円形状に形成されたドラム状の印刷台５、印刷マスク３上に載せられた印刷ペースト６を押圧し、開口を通じて印刷台５上に載置された被印刷物４に向けて押し出すスキージ７を備えており、さらに、マイクロコンピュータなどからなる制御手段８を備えている。

制御手段８は、スキージ７の摺動、およびこれに同期した印刷台５の移動や回転動作のタイミング制御を行うとともに、後述の補正量算出手段１２により算出された補正量に基づいて印刷台５の表面と印刷マスク３の表面との間の滑り量を制御するように構成されている。

また、このスクリーン印刷装置１は、印刷位置測定手段１１と補正量算出手段１２とを備えている。印刷位置測定手段１１は、被印刷物４における基準となる印刷予定位置と実際の印刷位置との相対的な位置関係を測定するものであり、例えばＣＣＤカメラ１１ａと画像処理装置１１ｂにより構成される。
また、補正量算出手段１２は、この印刷位置測定手段１１で測定された相対的な位置関係から実際の印刷位置の基準位置からのずれの大きさを演算し、その値に基づいて印刷台５の表面と印刷マスク３の表面との間の滑りの補正量を算出するものであり、補正量算出手段１２として、例えばパーソナルコンピュータなどが用いられる。

次に、図２(ａ)，(ｂ)，(ｃ)，(ｄ)を参照しつつ、上記構成のスクリーン印刷装置１を用いてスクリーン印刷を行う方法について説明する。

図２(ａ)に示すように、まず、印刷台５の外周面上に、セラミックグリーンシートなどの被印刷物４を吸着させて固定する。次に、印刷マスク３上に印刷ペースト６を供給し、インク返し９を用いて印刷マスク３の上に印刷ペースト６を広げる。
続いて、図２(ｂ)に示すように、印刷台５を上昇させてスキージ７の先端を印刷マスク３に接触させる。

それから、図２(ｃ)に示すように、この状態でスキージ７を水平方向に沿って摺動させる、すなわち、この実施例１では、図２(ｃ)において、左から右に摺動させるとともに、スキージ７の先端が、印刷マスク３と印刷台５とが略線接触する位置に常に位置するように、印刷台５をスキージ７の摺動に同期して移動（この例では、図中左から右に移動）させ、さらにスキージ７の摺動に同期して印刷台５を回転（この例では図中反時計方向に回転）させることにより、印刷マスク３上の印刷ペースト６を、マスク開口を通じて被印刷物４の表面に塗布して印刷を行う。この場合、スキージ７の摺動、およびこれに同期した印刷台５の移動や回転動作のタイミングは、制御手段８によって制御される。

上述のようにして印刷を行った後、図２(ｄ)に示すように、印刷台５を下降させて被印刷物４を印刷マスク３から離反させ、被印刷物４の固定を解除して被印刷物４を取り出す。

上記のようにしてスクリーン印刷を行う際、従来のように、スキージ７の摺動開始側から摺動終了側にわたって印刷台５の回転速度が常に一定に保たれていると、図４(ａ)に示すように、スキージ７の押圧による印刷マスク３の伸長などの影響により、印刷方向（スキージ７の摺動方向）に沿って印刷パターンの面内に不均一な歪みが発生する。

この歪みは、印刷パターンの面内のスキージ７の摺動方向に沿った中央位置を基準とすると、スキージ７の摺動開始側（基準位置よりも下側）が伸び、終了側（基準位置よりも上側）が縮んだ歪みとなる。すなわち、スキージ７の摺動方向に沿う印刷予定位置間の印刷パターンのピッチをＰ１〜Ｐ４とすると、スキージ７の摺動開始側の印刷パターンのピッチＰ１，Ｐ２は長くなり、スキージ７の摺動終了側の印刷パターンのピッチＰ３，Ｐ４は短くなり、Ｐ１，Ｐ２＞Ｐ３，Ｐ４となる。

そこで、この実施例１では、制御手段８により、スキージ７の摺動に同期して印刷台５を移動させるとともに、図３に示すように、スキージ７が摺動する際、その摺動開始側から摺動終了側にかけて印刷台５の回転速度が次第に大きくなるように制御して歪み補正を行うようにした。なお、図３では、スキージ速度１００ｍｍ／ｓ、印刷台５の半径Ｒ＝２００ｍｍの場合のスキージ７の摺動距離と印刷台５の回転速度との関係を示している。

すなわち、印刷時にはスキージ７と印刷台５とは互いに同期して一定速度で移動しているので、図３に示したように、印刷台５の回転速度を摺動開始側から摺動終了側にかけて次第に大きくなるように制御することは、スキージ７の摺動開始側から摺動終了側にかけて、スキージ７に対する印刷台５の滑り量が次第に大きくなるように制御することを意味する。

ここで、基準位置での回転速度を基準速度とすると、スキージ７の摺動開始側において印刷台５の回転速度が基準速度より小さいと、スキージ７の表面と印刷台５の表面との滑り量が基準位置での滑り量より小さく、このときには印刷パターンが縮まる方向に補正される。一方、スキージ７の摺動終了側において印刷台５の回転速度が基準速度より大きいと、スキージ７の表面と印刷台５の表面との滑り量が基準位置での滑り量より大きく、このときには印刷パターンが伸びる方向に補正される。

したがって、従来では、図４(ａ)に示すように、印刷パターンの面内において、スキージ７の摺動開始側が伸長し、終了側が収縮していたものが、摺動開始側では縮む方向に補正され、終了側では伸びる方向に補正されるので、印刷パターンの面内において、スキージ７の摺動方向に沿う不均一な歪みの発生が抑制されることになる。

その結果、図４(ｂ)に示すように、スキージ７の摺動方向に沿う印刷予定位置間のピッチをＰとすると、歪み補正後においては、スキージ７の摺動開始側および摺動終了側のいずれの側においても、実際の印刷パターンのピッチは、印刷予定位置間のピッチＰと略等しくなる。

このように、この実施例１では、印刷台５の表面と印刷マスク３の表面との間に積極的に滑りを生じさせ、その滑り量を調整することにより、被印刷物４に印刷される印刷パターンの歪みを補正するようにしているので、スキージ７の押圧による印刷マスク３の伸長、印刷台５の形状などに起因して、印刷方向（スキージ７の摺動方向）に沿って印刷パターンの面内に不均一な歪みが発生することを防止することが可能になり、従来のスクリーン印刷方法に比べて印刷精度を向上させることが可能になる。

具体的には、印刷台５の半径Ｒ＝２００ｍｍ、スキージ７の摺動速度１００ｍｍ／ｓ一定の条件下で、図３に示すような関係で、印刷台５の回転速度が次第に大きくなるように制御することにより、スキージ７の摺動方向の歪みが補正され、ずれ量の最大値が、従来の２３μｍから４μｍと大幅に小さくなり、印刷精度が向上することが確認された。

なお、図１に示すような構成を有するスクリーン印刷装置１における印刷台５の回転速度の制御は、具体的に次のようにして行われる。

まず、印刷位置測定手段１１は、基準となる印刷予定位置となるべき部分（例えば１ｍｍ□の図形）の重心を基準パターンとして認識し、次に被印刷物４の印刷パターンの重心について基準パターンとの相対位置を測定して、次段の補正量算出手段１２にデータを送出する。

補正量算出手段１２は、予めインストールされている所定のプログラムに従って、被印刷物４の印刷パターンの測定位置と基準パターンとの位置関係を調整し、スキージ７の摺動方向における被印刷物４の重心と基準パターンの重心との差（位置精度）を算出し、続いて、この差の大きさから印刷台５の表面と印刷マスク３の表面との間の滑りの補正量（ここでは印刷台５の回転速度）を求め、この補正量を装置本体２の制御手段８に送る。

制御手段８は、この補正量に基づいて印刷台５の回動速度を変化させる。これにより、印刷台５の表面と印刷マスク３の表面との間に生じる滑り量が調整されて被印刷物４に印刷される印刷パターンの歪みが補正される。

なお、歪み補正を行う際には、例えば予めテスト印刷を行い、その結果に基づいて、補正量算出手段１２において図３に示したようなスキージ７の摺動距離と印刷台５の回転速度との関係を求めてそのデータを図示しないメモリなどに記憶しておき、その後は、このデータを読み出して制御手段８に出力することにより本印刷を連続的に行うように構成することが可能である。

また、これに限らず、例えばスクリーン印刷を一回行うたびに印刷位置測定手段１１によりずれを測定して補正量算出手段１２において補正量を求め、この補正量を制御手段８に逐次与えるなどのフィードバック制御を行うことにより、自動的に印刷台５の回転速度の制御を行うように構成することも可能である。

なお、上記の実施例１では、スキージ７の摺動方向に沿って印刷台５の回転速度を連続的に変化させることにより歪みを補正するようにしているが、例えば、スキージ７の摺動方向に沿って段階的に歪みが発生するような場合には、印刷台５の回転速度も２以上の領域に分けて段階的に変化させて歪み補正を行うことが可能である。

例えば、スキージ７の摺動開始側から摺動終了側にわたって印刷台５の回転速度が常に一定に保たれている場合、図６(ａ)に示すように、印刷パターンの面内のスキージ７の摺動方向に沿う中央位置を基準とすると、その前後の印刷パターンのピッチは等しくＰ２で、スキージ７の摺動開始側ではこのピッチＰ２より伸びたピッチＰ１で、終了側ではこのピッチＰ２よりも縮んだピッチＰ４となる歪みが生じているとする。

このような場合には、図５に示すように、スキージ７の摺動開始側から摺動終了側にかけて印刷台５の回転速度が段階的に変化するように制御して歪み補正を行う。これにより、図６(ｂ)に示すように、スキージ７の摺動方向に沿う印刷予定位置間のピッチをＰとすると、歪み補正後はスキージ７の摺動開始側、および摺動終了側のいずれにおいても、実際の印刷パターンのピッチは印刷予定位置間のピッチＰと略等しくなる。

具体的には、印刷台５の半径Ｒ＝２００ｍｍ、スキージ７の摺動速度５０ｍｍ／ｓ一定の条件下で、図５に示した関係により印刷台５の回転速度を制御した場合、スキージ７の摺動方向の歪みが補正されて、ずれ量の最大値は従来の２５μｍから４μｍと大幅に小さくなり、印刷精度が向上することが確認された。

図７は本願発明の他の実施例（実施例２）にかかるスクリーン印刷方法を実施するのに用いたスクリーン印刷装置の印刷台５と、その周辺部分を概略的に示す構成図である。なお、実施例１と同一または相当する構成部分には同一の符号を付している。

この実施例２におけるスクリーン印刷装置は、装置本体２の構成が実施例１の場合と異なっている。すなわち、この実施例２のスクリーン印刷装置において、装置本体２は、印刷マスク３、スキージ７、および制御手段８を備えるとともに、被印刷物４が載置される表面が、線接触する線方向に平行な方向（すなわち、軸方向）から見た形状が略円弧状に湾曲した構造を有する印刷台５を備えている。

すなわち、この印刷台５は、断面形状が略円弧状の面（以下、「円弧面」ともいう）と同心の円弧上に位置する２点を支点Ｆ１，Ｆ２として、各支点Ｆ１，Ｆ２に取り付けられた支持体２１，２２によって支持されている。そして、これらの支持体２１，２２は、ベース台１３上に形成されたレール３１，３２に沿ってＸ軸方向（図７における左右方向）に移動させることができるように構成されている。

また、各支持体２１，２２はＺ軸駆動部４１，４２を備えており、各Ｚ軸駆動部４１，４２は後述の式(２)，(３)に従って各支持体２１，２２をＺ軸方向（図７における上下方向）に沿って伸縮できるように構成されている。また、印刷台５の一方の支点Ｆ１にはＸ軸駆動部４３が設けられており、このＸ軸駆動部４３は後述の式(１)に従って印刷台５をＸ軸方向に沿って駆動するように構成されている。

そして、いまＸ軸駆動部４３によるＸ軸方向の駆動量をＸ、一方のＺ軸駆動部４１によるＺ軸方向の駆動量をＺ１、他方のＺ軸駆動部４２によるＺ軸方向の駆動量をＺ２とすると、制御手段８は、各駆動量Ｘ，Ｚ１，Ｚ２がそれぞれ次の関係式を満たすように互いに同期しながら制御を行うように構成されている。
Ｘ＝Ｒ１ωｔ−Ｒ２｛ｓｉｎ（θ１＋ωｔ）−ｓｉｎθ１｝ (１)
Ｚ１＝Ｒ２｛ｃｏｓ（θ１＋ωｔ）−ｃｏｓθ１｝ (２)
Ｚ２＝Ｒ２｛ｃｏｓ（−θ２＋ωｔ）−ｃｏｓθ２｝ (３)

なお、式(１)〜(３)における符号は、図８に示すように、
Ｒ１：印刷台５の円弧面に沿う仮想円α１の半径、
Ｒ２：両支点Ｆ１，Ｆ２を通りかつ仮想円α１と同心の仮想円α２の半径、
θ１：一方の支点Ｆ１とＺ軸とのなす角（初期値）、
θ２：他方の支点Ｆ２とＺ軸とのなす角（初期値）、
ω：仮想円α１の角速度、
ｔ：時間
である。

そして、制御手段８がＲ１，Ｒ２，ωをパラメータ（制御量）として、Ｘ軸駆動部４３の駆動量Ｘ、各Ｚ軸駆動部４１，４２の駆動量Ｚ１，Ｚ２を、式(１)〜(３)に基づいて互いに同期しながら制御することにより、印刷台５の円弧面は、図９に示すように、その円弧中心γを回転中心として共通の接線δに接しながら転がり運動軌跡に沿って運動する。このように、式(１)〜(３)に基づく制御は、Ｘ軸駆動部４３および２つのＺ軸駆動部４１，４２の３軸を同期駆動して印刷台５の動きを制御するものであり、本願発明においては、かかる制御を３軸同期制御と称する。

また、スキージ７には、スキージ駆動部４４が取り付けられており、このスキージ駆動部４４は、スキージ７が常に印刷台５の頂点位置において接するように、制御手段８によって、後述の式(４)に従って印刷台５の動きに同期しながらＸ軸方向に沿って駆動される。すなわち、スキージ７のＸ軸方向の移動量をＸｓｑとすると、印刷台５が式(１)〜(３)に基づいて駆動されているとき、これに同期してスキージ７は次の制御式に基づいて動作するように制御される。
Ｘｓｑ＝Ｒ１ωｔ (４)

次に、上記構成のスクリーン印刷装置を用いてスクリーン印刷を行う方法について、図１０(ａ)〜(ｃ)を参照して説明する。

まず、印刷台５の円弧面上にセラミックグリーンシートなどの被印刷物４を載置、固定した後、印刷マスク３上に印刷ペースト６を供給し、印刷台５を上昇させてスキージ７の先端を印刷マスク３に接触させた状態にする。

この状態で、制御手段８は、スキージ７の先端が印刷マスク３と被印刷物４との接触位置に常に位置するように、スキージ駆動部４４を式(４)に従って印刷台５の動きに同期しながらＸ軸方向に沿って駆動制御してスキージ７を摺動させ、さらにスキージ７の摺動に同期してＺ軸駆動部４１，４２を式(２)，(３)に従ってＺ軸方向に沿って駆動制御するとともに、Ｘ軸駆動部４３を式(１)に従ってＸ軸方向に沿って駆動制御する。これにより、印刷台５の円弧面は、その円弧中心を回転中心として印刷マスク３に接しながら転がり運動軌跡に沿って運動し、印刷マスク３上の印刷ペースト６がマスク開口を通じて被印刷物４の表面に塗布されて印刷される。

上記のスクリーン印刷を行う際に、従来のように、制御手段８が図８に示した幾何学的関係を忠実に満たすように、上記式(１)〜(４)を規定する各パラメータＲ１，Ｒ２，ωを制御量として設定し、スキージ７の摺動、およびこれに同期した印刷台５の移動や回動動作を制御するようにした場合、図１４(ａ)に示すように、スキージ７の押圧による印刷マスク３の伸長などの影響により、印刷パターンの面内には、印刷方向（スキージ７の摺動方向）に沿って不均一な歪みが発生する。

この歪みは、印刷パターンの面内の中央位置を基準とすると、スキージ７の摺動開始側（基準位置よりも下側）が伸長し、終了側（基準位置よりも上側）が収縮した歪みとなっている。すなわち、スキージ７の摺動方向に沿う印刷予定位置間の印刷パターンのピッチをＰ１〜Ｐ４とすると、スキージ７の摺動開始側の実際の印刷パターンのピッチＰ１，Ｐ２は長くなり、スキージ７の摺動終了側の実際の印刷パターンのピッチＰ３，Ｐ４は短くなり、Ｐ１，Ｐ２＞Ｐ３，Ｐ４となる。

そこで、この実施例２では、スキージ７については常に式(４)の要件を満たすように摺動させる一方、印刷台５については、その動きが変化するように式(１)〜(３)を規定するパラメータＲ１，Ｒ２，ωを制御量として僅かに変化させた同期制御を行うことにより歪み補正を行う。

この場合、式(１)〜(３)を規定する各パラメータＲ１，Ｒ２，ωのうち、印刷台５の角速度ωを、スキージ７の摺動開始側から摺動終了側にかけて次第に大きくなるように制御して歪み補正を行うことが可能である。ただし、このように印刷台５の角速度ωを変化させるということは、実施例１で説明したようにスキージ７の摺動に伴って印刷台５の回転速度を変化させるということと同義であり、その作用、効果は実施例１と同じになる。
これに対し、この実施例２では、式(１)〜(３)のパラメータＲ１，Ｒ２を制御量として変化させることで歪み補正を行うようにしている。
以下、パラメータＲ１，Ｒ２を制御量として変化させることで歪み補正を行う場合について説明する。

[ａ]パラメータＲ１を変化させて印刷パターンの歪み補正を行う場合
図１１に示すように、いま、印刷台５の円弧面を通る実際の仮想円α１の半径Ｒ１から僅かにずらした半径Ｒ１’を制御量として設定する。ただし、半径Ｒ２および角速度ωのパラメータは変化させることなく一定とする。

半径Ｒ１’を制御量として設定した場合、前述の式(１)〜(３)の関係から、半径Ｒ１’の仮想円α１’は、γを回転中心として、その外周が接線δ’に接しながら転がり運動軌跡に沿って運動する。しかし、印刷台５の実際の円弧面（半径Ｒ１）は接線δ上にある印刷マスク３に対して相対的に滑りながら転動する。

すなわち、スキージ７は式(４)の関係から制御量Ｒ１’の変化の影響を受け、単位時間ｔ内にＬ’＝Ｒ１’ωｔの長さだけＸ軸方向に移動する。
一方、印刷台５は、制御量をＲ１からＲ１’に変更しても実際の半径はＲ１で変化せず、また、角速度ωも一定であることから、円弧面の周速度は制御量Ｒ１’の影響を受けず一定となる（ただし、印刷台５のＸ軸方向の移動速度は式(１)の関係からも分かるように制御量Ｒ１’の変化の影響を受ける）。したがって、印刷マスク３と印刷台５の円弧面との間で滑りが生じる。

その際、Ｒ１’＞Ｒ１のときには、仮想円α１’の円弧長が印刷台５の円弧面を通る実際の仮想円α１の円弧長より長いため、印刷台５の実際の円弧面（半径Ｒ１）と印刷マスクとの滑り量は、Ｒ１を変化させなかったときの滑り量よりも小さく、Ｌ’の長さのものがＬに縮むように補正されて被印刷物４に転写される。逆に、Ｒ１’＜Ｒ１のときには、仮想円α１’の円弧長が印刷台５の円弧面を通る実際の仮想円α１の円弧長より短いため、印刷台５の実際の円弧面（半径Ｒ１）と印刷マスクとの滑り量は、Ｒ１を変化させなかったときの滑り量よりも大きく、Ｌ’の長さのものがＬに伸びるように補正されて被印刷物４に転写される。

図１２は、例えばＲ１＝１２００ｍｍとして、制御量Ｒ１’を変化させた場合に得られる、制御量Ｒ１'とピッチ補正量との関係を示す特性図である。ここで、ピッチ補正量とは、スキージ７の摺動方向に沿う印刷予定位置間の印刷パターンのピッチＰに対して、制御量Ｒ１’を変化させた場合におけるピッチの変化量ΔＰのことである。

図１２から分かるように、Ｒ１’＝Ｒ１（＝１２００ｍｍ）のときは、ピッチ補正量が０であり、これよりもＲ１’をＲ１より大きく設定すると（Ｒ１’＞Ｒ１）、印刷台５の実際の円弧面（半径Ｒ１）と印刷マスクの滑り量は、Ｒ１を変化させなかったときの滑り量よりも小さいことから、ピッチ補正量が負側、すなわちピッチ間隔が縮まる方向に補正される。一方、Ｒ１’をＲ１より小さく設定すると（Ｒ１’＜Ｒ１）、印刷台５の実際の円弧面（半径Ｒ１）と印刷マスクの滑り量は、Ｒ１を変化させなかったときの滑り量よりも大きいことから、ピッチ補正量が正側、つまりピッチ間隔が伸びる方向に補正される。

したがって、従来のように、歪み補正をすることなくスキージ７の摺動開始から終了までＲ１’＝Ｒ１（＝１２００ｍｍ）の状態を保ったまま印刷すると、印刷パターンの面内においてスキージ７の摺動開始側が伸び、終了側が縮む現象が生じる。これに対して、図１３に示すように、摺動開始側ではＲ１’の制御量をＲ１より大きく設定して印刷パターンを縮める方向に補正し、終了側ではＲ１’の制御量をＲ１より小さく設定して印刷パターンを伸ばす方向に補正することにより、印刷パターンの面内の全てにおいて不均一な歪みの発生を抑制することが可能になる。

この場合の制御は、例えば図１３に示すような関係のデータを予め補正量算出手段１２のメモリに登録しておき、スキージ７の摺動が開始されると、これに同期して補正量算出手段１２からＲ１’の値を、歪み補正のための制御量として制御手段８に与えることによって実行される。

このように、制御量Ｒ１’を変えることによって印刷パターンの歪み補正を行うようにした場合、図１４(ｂ)に示すように、スキージ７の摺動方向に沿う実際の印刷パターンのピッチは、摺動開始側および摺動終了側のいずれの側においても印刷予定位置間のピッチＰと略等しくなる。

具体的には、Ｒ１＝１２００ｍｍの下で、図１３に示す関係に基づいて制御量Ｒ１’を変化させた場合、スキージ７の摺動方向の歪みが補正されて、ずれ量の最大値は従来の２５μｍから５μｍと大幅に小さくなり、印刷精度が向上することが確認された。

[ｂ]パラメータＲ２を変化させて印刷パターンの歪み補正を行う場合
いま、図１５に示すように、パラメータＲ２の代わりに、印刷台５の円弧面に沿う仮想円α１の中心γから僅かにずらした中心γ’をもち、かつ両支点Ｆ１，Ｆ２間を通る円β２を仮想し、この仮想円β２の半径Ｒ２’を制御量とし、また、このときのＺ軸と支点Ｆ１，Ｆ２との角度θ１’（＝ｓｉｎ^-1｛Ｒ２ｓｉｎ（θ１）／Ｒ２’｝），θ２’（＝ｓｉｎ^-1｛Ｒ２ｓｉｎ（θ２）／Ｒ２’｝）を初期値としてそれぞれ設定する。ただし、半径Ｒ１や角速度ωのパラメータは変化させることなく一定とする。

この場合、前述の式(１)〜(３)の関係から、図１６に示すように、中心がγ’で半径がＲ１の仮想円β１は、γ’を回転中心として、その外周が接線δ’に接しながら転がり運動軌跡に沿って運動する。これに対し、印刷台５の実際の円弧面（仮想円α１の半径Ｒ１）は接線δ上にある印刷マスク３に対して相対的に滑りながら転動する。

すなわち、スキージ７は式(４)の関係から、Ｒ１，ωは変化しないので摺動速度は一定であり、単位時間ｔ内にＬ’＝Ｒ１ωｔの長さだけＸ軸方向に移動する。一方、印刷台５を、制御量をＲ２からＲ２’に変更すると、式(１)〜(３)の関係から、Ｒ２’の変化の影響を受けて円弧面の周速度が変化し、したがって、印刷マスク３と印刷台５の円弧面との間で滑りが生じる。

その際、Ｒ２’＜Ｒ２になるときには、円弧面の周速度が小さくなり、印刷マスクと印刷台５との滑り量は、Ｒ２を変化させなかったときの滑り量より小さくなることから、Ｌ’の長さのものがＬに縮むように補正されて被印刷物４に転写される。逆に、Ｒ２’＞Ｒ２になるときには、円弧面の周速度が大きくなり、印刷マスクと印刷台５との滑り量は、Ｒ２を変化させなかったときの滑り量より大きくなることから、Ｌ’の長さのものがＬに伸びるように補正されて被印刷物４に転写される。

図１７は、例えばＲ２＝１１５２．９ｍｍとして、制御量Ｒ２’を変化させた場合に得られる、制御量Ｒ２’とピッチ補正量との関係を示す特性図である。ここに、ピッチ補正量とは、スキージ７の摺動方向に沿う印刷予定位置間の印刷パターンのピッチＰに対して制御量Ｒ２’を変化させた場合におけるピッチの変化量ΔＰのことである。

図１７から分かるように、Ｒ２’＝Ｒ２（＝１１５２．９ｍｍ）のときはピッチ補正量は０であり、これよりもＲ２’をＲ２より小さく設定すると（Ｒ２’＜Ｒ２）、スキージ７の移動速度よりも印刷台５の円弧面の周速度が小さいことから、ピッチ補正量が負側、すなわち、ピッチ間隔が縮まる方向に補正される。一方、Ｒ２’をＲ２より大きく設定すると（Ｒ２’＞Ｒ２）、スキージ７の移動速度よりも印刷台５の円弧面の周速度が大きいことから、ピッチ補正量が正側、つまりピッチ間隔が伸びる方向に補正される。

したがって、従来のように、歪み補正をすることなくスキージ７の摺動開始から終了までＲ２’＝Ｒ２（＝１１５２．９ｍｍ）の状態を保ったまま印刷すると、印刷パターンの面内においてスキージ７の摺動開始側が伸び、終了側が縮む現象が生じる。これに対して、図１８に示すように、摺動開始側ではＲ２’の制御量をＲ２より小さく設定して印刷パターンを縮める方向に補正し、終了側ではＲ２’の制御量をＲ２より大きく設定して印刷パターンを伸ばす方向に補正することにより、印刷パターンの面内の全てにおいて不均一な歪みの発生を抑制することが可能になる。

この場合の制御は、例えば図１８に示すような関係のデータを予め補正量算出手段１２のメモリに登録しておき、スキージ７の摺動が開始されると、これに同期して補正量算出手段１２からＲ２’の値を、歪み補正のための制御量として制御手段８に与えることによって実行される。

このような制御量Ｒ２’を変えることにより印刷パターンの歪み補正を行うようにした場合、制御量Ｒ１’を変化させた場合と同様、図１４(ｂ)に示すように、スキージ７の摺動方向に沿う実際の印刷パターンのピッチは、摺動開始側および摺動終了側のいずれの側においても印刷予定位置間のピッチＰと略等しくなる。

具体例として、Ｒ１＝１２００ｍｍ、Ｒ２＝１１５３ｍｍ、θ１＝９．０゜、θ２＝９．０゜の下で、図１８に示す関係に基づいて制御量Ｒ２’を変化させると（ただし、初期値θ１’，θ２’＝９．０００８゜に設定）、スキージ７の摺動方向の歪みが補正されて、ずれ量の最大値は従来の１１μｍから０．４μｍと大幅に小さくなり、印刷精度が向上することが確認された。

上述のように、実施例２では、実施例１と同様、パラメータＲ１，Ｒ２を制御量として印刷台５の表面と印刷マスク３の表面との間に積極的に滑りを生じさせ、その滑り量を調整することにより被印刷物４に印刷される印刷パターンの歪みを補正するようにしているので、スキージ７の押圧による印刷マスク３の伸長、印刷台５の形状などに起因して、印刷パターンの面内で印刷方向（スキージ７の摺動方向）に沿って不均一な歪みが発生するのを防止することが可能になり、従来のスクリーン印刷方法よりも高い印刷精度を実現することが可能になる。

なお、この実施例２では、歪み補正を行う際に、予めテスト印刷を行い、その結果に基づいて補正量算出手段１２において図１３に示す関係のデータ、あるいは図１８に示す関係のデータを記憶させておき、その後はこのデータを読み出して制御手段８に出力することにより本印刷を連続的に行うようにしているが、本願発明の実施の態様はこれに限られるものではなく、例えば、スクリーン印刷を行うたびごとに、印刷位置測定手段１１によりずれ量を測定し、補正量算出手段１２において補正量（Ｒ１’やＲ２’の制御量）を求め、この補正量を制御手段８に逐次与えるなどのフィードバック制御を行って、自動的に印刷台５の回転速度制御を行うように構成することも可能である。

また、上記の実施例１，２では、印刷マスク３が固定された状態でスキージ７と印刷台５とが同期して動作する場合について説明したが、本願発明はこのような方法に限定されるものではなく、例えば、スキージ７を固定した状態で、印刷マスク３を移動させるとともに、この印刷マスク３の移動に同期して印刷台５を回動させてスクリーン印刷を行うような場合にも本願発明を適用することが可能である。

本願発明は、さらにその他の点においても上記実施例に限定されるものではなく、被印刷物の種類、印刷台の具体的な構成、印刷マスクの種類や印刷マスクに設けられた開口パターン、スキージの動作態様、印刷ペーストの種類などに関し、発明の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能である。

本願発明によれば、印刷パターンの面内において印刷方向に沿った不均一な歪みが発生することを抑制、防止して、高精度のスクリーン印刷を行うことが可能になる。
したがって、本願発明は、例えば、セラミックグリーンシートに導電ペーストを印刷して内部電極パターンを形成する工程を経て製造される積層セラミック電子部品やセラミック多層基板などの電子部品の製造分野に広く適用することが可能である。

Claims (8)

1. 所定の印刷パターンが開口として形成された印刷マスクと、
   被印刷物の載置用の表面が前記印刷マスクに対して略線接触するように、少なくとも被印刷物が載置される面が、前記線接触する線方向に直交する断面形状において、略円弧状に形成された印刷台と、
   前記印刷マスク上に載せられた印刷ペーストを前記開口を通じて前記被印刷物に向けて押し出すスキージとを備え、
   前記スキージと前記印刷マスクとを相対的に摺動させて前記印刷ペーストを被印刷物に向けて押し出す際に、前記印刷台を回動させることにより前記被印刷物に対して印刷を行うスクリーン印刷方法であって、
   前記印刷台の表面と前記印刷マスクの表面との間に滑りを生じさせ、その滑り量を調整することにより前記被印刷物に印刷される印刷パターンの歪みを補正すること
   を特徴とするスクリーン印刷方法。
2. 前記印刷台の表面と前記印刷マスクの表面との間の滑り量の調整を、スキージの摺動開始側から摺動終了側にかけて次第に滑り量が大きくなるように行うことを特徴とする請求項１記載のスクリーン印刷方法。
3. 前記印刷台の表面と前記印刷マスクの表面との間の滑り量の調整を、スキージの摺動開始側から摺動終了側にかけて２以上の領域に分けて行うことを特徴とする請求項２記載のスクリーン印刷方法。
4. 前記印刷台の表面と前記印刷マスクの表面との間の滑り量の調整を、前記印刷台の回動速度を変化させることにより行うことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のスクリーン印刷方法。
5. 前記印刷台を、被印刷物が載置される、前記線接触する線方向に直交する断面形状が略円弧状の面に関して、３軸同期制御により疑似的に転がり運動させることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のスクリーン印刷方法。
6. 前記３軸同期制御を行う場合において、前記印刷台の表面と前記印刷マスクの表面との間の滑り量の調整を、前記印刷台の断面形状が略円弧状の面の転がり運動軌跡を規定するパラメータを変化させることにより行うことを特徴とする請求項５記載のスクリーン印刷方法。
7. 前記印刷パターンの歪み補正を、制御プログラムにより行うことを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のスクリーン印刷方法。
8. 請求項１〜７のいずれかに記載のスクリーン印刷方法を実施するための装置であって、
   基準となる印刷予定位置と実際の印刷位置との相対的な位置関係を測定する印刷位置測定手段と、
   前記印刷位置測定手段で測定された相対的な位置関係から実際の印刷位置の基準位置からのずれの大きさを演算し、その値に基づいて印刷台の表面と前記印刷マスクの表面との間の滑りの補正量を算出する補正量算出手段と、
   前記補正量算出手段で算出された補正量に基づいて印刷台の表面と前記印刷マスクの表面との間の滑り量を制御する制御手段と
   を備えることを特徴とするスクリーン印刷装置。

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