JPS6422035U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6422035U JPS6422035U JP11771587U JP11771587U JPS6422035U JP S6422035 U JPS6422035 U JP S6422035U JP 11771587 U JP11771587 U JP 11771587U JP 11771587 U JP11771587 U JP 11771587U JP S6422035 U JPS6422035 U JP S6422035U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- opening
- wafers
- stopper means
- wafer carrier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第1図は本考案のウエハキヤリアの一実施例の
斜視図、第2図aは同平面図、第2図b及びcは
ストツパー手段を示す部分図、第3図は本考案の
他の実施例を示す図、第4図は従来例を示す図で
ある。 1……ウエハキヤリア、2,2′……内壁、3
……開口部、4……ストツパー(ストツパー手段
)、4a……穴(ストツパー手段)、4b……棒
状体(ストツパー手段)、5,5′……側板、7
,7′……溝、10,10′……蓋(ストツパー
手段)、11,11′……バネ(ストツパー手段
)、40……ウエハ。
斜視図、第2図aは同平面図、第2図b及びcは
ストツパー手段を示す部分図、第3図は本考案の
他の実施例を示す図、第4図は従来例を示す図で
ある。 1……ウエハキヤリア、2,2′……内壁、3
……開口部、4……ストツパー(ストツパー手段
)、4a……穴(ストツパー手段)、4b……棒
状体(ストツパー手段)、5,5′……側板、7
,7′……溝、10,10′……蓋(ストツパー
手段)、11,11′……バネ(ストツパー手段
)、40……ウエハ。
Claims (1)
- 複数枚のウエハを所定の間隔で夫々平行に載置
するように側板の内壁に溝を有し、かつウエハの
出入のための開口部を有してなるウエハキヤリア
において、前記開口部に前記ウエハの落下を防ぐ
ためのストツパー手段を設けたことを特徴とする
ウエハキヤリア。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11771587U JPS6422035U (ja) | 1987-07-31 | 1987-07-31 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11771587U JPS6422035U (ja) | 1987-07-31 | 1987-07-31 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6422035U true JPS6422035U (ja) | 1989-02-03 |
Family
ID=31361414
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11771587U Pending JPS6422035U (ja) | 1987-07-31 | 1987-07-31 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6422035U (ja) |
-
1987
- 1987-07-31 JP JP11771587U patent/JPS6422035U/ja active Pending