JPS6395604A - 感温抵抗器の製造方法 - Google Patents
感温抵抗器の製造方法Info
- Publication number
- JPS6395604A JPS6395604A JP24244486A JP24244486A JPS6395604A JP S6395604 A JPS6395604 A JP S6395604A JP 24244486 A JP24244486 A JP 24244486A JP 24244486 A JP24244486 A JP 24244486A JP S6395604 A JPS6395604 A JP S6395604A
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- JP
- Japan
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- sensitive resistor
- manufacture
- temperature sensitive
- resistance
- temperature
- Prior art date
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- Pending
Links
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Landscapes
- Thermistors And Varistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、一般の民生、産業機器に利用される感温抵抗
器の製造方法に関するものである。
器の製造方法に関するものである。
従来の技術
従来、感温抵抗器用薄膜の製作は、あらかじめ材料比率
が調整された粉末、塊、ターゲ・ノド等を用いて、蒸着
又はスパッタリング等の方法で着膜させていた。
が調整された粉末、塊、ターゲ・ノド等を用いて、蒸着
又はスパッタリング等の方法で着膜させていた。
発明が解決しようとする問題点
このような従来の方法では、材料白成分の蒸気圧の差が
ロフトを重ねる毎に強く影響し、抵抗温度係数を大きく
プラス側に変動させるという問題があり、同一材料で同
じ温度係数の抵抗膜を複数ロット製造することが困難で
あった。
ロフトを重ねる毎に強く影響し、抵抗温度係数を大きく
プラス側に変動させるという問題があり、同一材料で同
じ温度係数の抵抗膜を複数ロット製造することが困難で
あった。
本発明はこのような問題点を解決するもので、ハース内
に入れられた調整材料より複数ロットの同程度の高い正
の温度係数をもつ抵抗膜を生成することを目的としだも
のである。
に入れられた調整材料より複数ロットの同程度の高い正
の温度係数をもつ抵抗膜を生成することを目的としだも
のである。
問題点を解決するだめの手段
本発明は上記問題点を解決するため、電子ビーム蒸着に
おける材料の設定において、下側に純Ｎｉ（９１９％以
上）材料を入れ、その上にＮｉ Ｃｒ Ｆｅ（Ｎｉ ニ
ア０〜９０ｗｔ ％、 Ｃｒ：６ｗｔ ％＋Ｆａ ：
５〜２ｅ５ｗｔ％）材料を置き、これを溶融させ蒸着
膜を生成させるようにしたものである。
おける材料の設定において、下側に純Ｎｉ（９１９％以
上）材料を入れ、その上にＮｉ Ｃｒ Ｆｅ（Ｎｉ ニ
ア０〜９０ｗｔ ％、 Ｃｒ：６ｗｔ ％＋Ｆａ ：
５〜２ｅ５ｗｔ％）材料を置き、これを溶融させ蒸着
膜を生成させるようにしたものである。
作用
この方法により、同じ材料より複数ロットの同程度の高
い正の抵抗温度係数をもつ薄膜を生成することができる
。
い正の抵抗温度係数をもつ薄膜を生成することができる
。
実施例
第２図はＮｉＣｒＦｅ（Ｎｉ ： ７０ ｗｔ ％ 、
Ｃｒ ：５ｖｔ ％、 Ｆｅ ：２５ｗｔ ％）材
料のみを用いた場合の製作ロット数と抵抗温度係数の関
係を示したもので、第１図は本発明を用いて、純Ｎｉ
（純度９９−９９％）材料の上にＮｉＣｒＦｅ（Ｎｉ
： ７０ｗｔ ％、 Ｃｒ ：５ｗｔ％、 Ｆｅ ：２
５Ｗｔ ％＞材料を重ねて溶融させた材料を用いた場合
の製作ロット数と抵抗温度係数の関係を示しだものであ
る。
Ｃｒ ：５ｖｔ ％、 Ｆｅ ：２５ｗｔ ％）材
料のみを用いた場合の製作ロット数と抵抗温度係数の関
係を示したもので、第１図は本発明を用いて、純Ｎｉ
（純度９９−９９％）材料の上にＮｉＣｒＦｅ（Ｎｉ
： ７０ｗｔ ％、 Ｃｒ ：５ｗｔ％、 Ｆｅ ：２
５Ｗｔ ％＞材料を重ねて溶融させた材料を用いた場合
の製作ロット数と抵抗温度係数の関係を示しだものであ
る。
第１図と第２図を比較するとわかるように、純Ｎｉ材料
上にＮｉ Ｃｒ Ｆｅ 材料を重ねて蒸着材料として
用いることにより、ロフト数を重ねてもロフト間の抵抗
温度係数差を小さくすることができる。
上にＮｉ Ｃｒ Ｆｅ 材料を重ねて蒸着材料として
用いることにより、ロフト数を重ねてもロフト間の抵抗
温度係数差を小さくすることができる。
発明の効果
以上のように本発明によれば、電子ビーム蒸着法におい
て、純Ｎｉ材料上にＮ工Ｃｒ Ｆｅ 材料を重ねて溶
融したものを材料として蒸着することにより抵抗温度係
数についてロット間変動の少ない蒸着膜を得ることがで
きる。
て、純Ｎｉ材料上にＮ工Ｃｒ Ｆｅ 材料を重ねて溶
融したものを材料として蒸着することにより抵抗温度係
数についてロット間変動の少ない蒸着膜を得ることがで
きる。
第１図は本発明の一実施例における方法において純Ｎｉ
（純度９９．９９％）材料の上にＮｉ Ｃｒ Ｆｅ（
Ｎｉ ニア０ｗｔ％、 Ｃｒ ：６ｗｔ％、 Ｆｅ ：
２５ｗｔ％）材料を重ねて溶融させた材料で試料を製作
したときの抵抗温度係数の推移を示す特性図、第２図は
ＮｉＣｒＦｅ（Ｎｉ ： ７０ ｗｔ ％ 、 Ｏｒ：
ｓ ｗｔ％ 、 Ｆｅ ；２５ｗｔ ％）材料で試料を
製作したときの抵抗温度係数の推移を示す特性図である
。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第
１ 凶
（純度９９．９９％）材料の上にＮｉ Ｃｒ Ｆｅ（
Ｎｉ ニア０ｗｔ％、 Ｃｒ ：６ｗｔ％、 Ｆｅ ：
２５ｗｔ％）材料を重ねて溶融させた材料で試料を製作
したときの抵抗温度係数の推移を示す特性図、第２図は
ＮｉＣｒＦｅ（Ｎｉ ： ７０ ｗｔ ％ 、 Ｏｒ：
ｓ ｗｔ％ 、 Ｆｅ ；２５ｗｔ ％）材料で試料を
製作したときの抵抗温度係数の推移を示す特性図である
。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第
１ 凶
Claims (1)
- 電子ビーム蒸着法により、感温抵抗器用蒸着薄膜を形
成するとき、純Ｎｉ材料の上にＮｉＣｒＦｅ（Ｎｉ：７
０〜９０ｗｔ％、Ｃｒ：５ｗｔ％、Ｆｅ：５〜２５ｗｔ
％）材料を重ねて載置し、これを溶融させて蒸着するこ
とを特徴とする感温抵抗器の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24244486A JPS6395604A (ja) | 1986-10-13 | 1986-10-13 | 感温抵抗器の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24244486A JPS6395604A (ja) | 1986-10-13 | 1986-10-13 | 感温抵抗器の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6395604A true JPS6395604A (ja) | 1988-04-26 |
Family
ID=17089181
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24244486A Pending JPS6395604A (ja) | 1986-10-13 | 1986-10-13 | 感温抵抗器の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6395604A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7383710B2 (en) | 2004-03-11 | 2008-06-10 | Sumitomo Metal Industries, Ltd. | Seamless tube piercing/rolling apparatus, and seamless tube producing therewith |
| WO2014030593A1 (ja) | 2012-08-24 | 2014-02-27 | 新日鐵住金株式会社 | 熱間製管用プラグ |
-
1986
- 1986-10-13 JP JP24244486A patent/JPS6395604A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7383710B2 (en) | 2004-03-11 | 2008-06-10 | Sumitomo Metal Industries, Ltd. | Seamless tube piercing/rolling apparatus, and seamless tube producing therewith |
| US7506526B2 (en) | 2004-03-11 | 2009-03-24 | Sumitomo Metal Industries, Ltd. | Seamless tube piercing/rolling plug, and seamless tube producing method using same |
| WO2014030593A1 (ja) | 2012-08-24 | 2014-02-27 | 新日鐵住金株式会社 | 熱間製管用プラグ |
| US9283600B2 (en) | 2012-08-24 | 2016-03-15 | Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation | Plug for hot pipe making |
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