JPS6379233A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
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- JPS6379233A JPS6379233A JP22560386A JP22560386A JPS6379233A JP S6379233 A JPS6379233 A JP S6379233A JP 22560386 A JP22560386 A JP 22560386A JP 22560386 A JP22560386 A JP 22560386A JP S6379233 A JPS6379233 A JP S6379233A
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Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する技術分野〕
本発明は磁気記録装置に用いられる磁気記録媒体を製造
する方法に関する。
する方法に関する。
近年、磁気記録装置に用いられる磁気ディスクなどの磁
気記録媒体はますます高記録密度となる傾向にあり、こ
れに伴い磁気記録媒体の磁性層の膜層を従来の約１μｍ
程度から０．１μｍ以下まで薄くし、保持力（Ｈｃ ）
もより高くする必要が生じている。そのため磁気記録媒
体の製造方法もサブミクロンオーダでは磁性層の膜層が
不均一になるスピンコード法に代って、均一な薄膜を容
易に形成することが可能なスパッタ法やメッキ法が注目
されるとともに、磁性層としてスパッタ法によって形成
されるＣｏ系合金例えばＣｏ−Ｎｉ合金磁性薄膜が使用
されるようになった。
気記録媒体はますます高記録密度となる傾向にあり、こ
れに伴い磁気記録媒体の磁性層の膜層を従来の約１μｍ
程度から０．１μｍ以下まで薄くし、保持力（Ｈｃ ）
もより高くする必要が生じている。そのため磁気記録媒
体の製造方法もサブミクロンオーダでは磁性層の膜層が
不均一になるスピンコード法に代って、均一な薄膜を容
易に形成することが可能なスパッタ法やメッキ法が注目
されるとともに、磁性層としてスパッタ法によって形成
されるＣｏ系合金例えばＣｏ−Ｎｉ合金磁性薄膜が使用
されるようになった。
第２図にディスク状磁気記録媒体の要部構成断面図を示
す。第２図において、磁気記録媒体は合金基板１上に非
磁性基体ｒＷ１２を被覆し、この非磁性基体層２の上に
さらに非磁性金属下地層３を介して磁性層４を被覆し、
磁性層４上に保ＩＩ潤滑膜５を被覆したものである。
す。第２図において、磁気記録媒体は合金基板１上に非
磁性基体ｒＷ１２を被覆し、この非磁性基体層２の上に
さらに非磁性金属下地層３を介して磁性層４を被覆し、
磁性層４上に保ＩＩ潤滑膜５を被覆したものである。
このように構成された磁気記録媒体の合金基板 。
１１Ｃはアルミニウム合金が多用されており、所定の面
粗さ、平行度および平面度に仕上げられる。
粗さ、平行度および平面度に仕上げられる。
非磁性基体層２は例えばＮｔ−Ｐ合金を無電解めっきし
た所定の硬さをもったものが用いられ表面は機械的研磨
によシ鏡面仕上げを行なう。非磁性金属下地層３は一般
にＣｒを用いてスパッタ法により形成され、さらにその
上にスパッタされる磁性層４は例えばＣｏ−３０ａｔ％
Ｎｉ −７，５ａｔ％Ｃ【合金が用いられる。
た所定の硬さをもったものが用いられ表面は機械的研磨
によシ鏡面仕上げを行なう。非磁性金属下地層３は一般
にＣｒを用いてスパッタ法により形成され、さらにその
上にスパッタされる磁性層４は例えばＣｏ−３０ａｔ％
Ｎｉ −７，５ａｔ％Ｃ【合金が用いられる。
以下この磁気記録媒体の製造方法の概要を述べる。第３
図はスパッタ装置におけるチャンバー内の部材配置と作
動を説明する丸めの模型的断面図である。第３図におい
てチャンバー６の外周に真空排気ロアとＡｒガス導入口
８を備え、それぞれ図示してない真空排気系と人ｒガス
ボンベに連通しており、いずれも操作バルブ９，９ａを
備え、チャンバー６の内部には基板１ａがとりつけられ
たトレー１０が配設され、基板１ａと対向して基板１ａ
を昇温するヒータ１１が置かれている。トレー１０は基
板１ａとともに矢印の方向に移動することができ、その
移動過徨でＣｒターゲット１２によシ下地層がスパッタ
され、引き続きＣ。
図はスパッタ装置におけるチャンバー内の部材配置と作
動を説明する丸めの模型的断面図である。第３図におい
てチャンバー６の外周に真空排気ロアとＡｒガス導入口
８を備え、それぞれ図示してない真空排気系と人ｒガス
ボンベに連通しており、いずれも操作バルブ９，９ａを
備え、チャンバー６の内部には基板１ａがとりつけられ
たトレー１０が配設され、基板１ａと対向して基板１ａ
を昇温するヒータ１１が置かれている。トレー１０は基
板１ａとともに矢印の方向に移動することができ、その
移動過徨でＣｒターゲット１２によシ下地層がスパッタ
され、引き続きＣ。
−３０ａｔ％Ｎｉ −７，５ａｔ％ＣｒＯ磁性合金ター
ゲット１３からＣＯ系磁性層がスパッタ形成される。
ゲット１３からＣＯ系磁性層がスパッタ形成される。
まず例えば直径３．５インチの円板状アルミニウム合金
板上にＮｉ−Ｐメッキを均一に厚さ約１５μｍ行ない、
これに平面ポリッシュによシ表面鏡面加工を施したもの
をアルコール溶液で超音波洗条、フロン溶液の超音波洗
条、蒸気洗条などを行なった後、チャンバー６内のトレ
ー１０にセットする。次いでチャンバー６内を排気ロア
から５×ｌ Ｑ−７ｔｏｒｒ ｉで真空排気し、ヒータ
１１を用いて基板１ａを１００℃に加熱保持しておき、
バルブ９ａを開きＡｒガス導入口８からＡｒガスを流量
６０ ｓｃ’ｃｍでチャンバー６内に流入させ、バルブ
９を調節してチャンバー６内の圧力を５ Ｘ １０−”
（Ｏｒｒ Ｋ設定する。Ｃｒターゲット１２と磁性合金
ターゲット１３に印加するスパッタパワーは、例えばＣ
ｒ下地層の膜厚が２００ＯＡ、磁性層の膜厚が５００人
となるようＫｖ１４節し、トレー１０を矢印の方向に１
１７ ｍｍ／ｍｉｎの速度で搬送することにより、基板
ｌａ上ＫＣｒ下地層とＣｏ−３０ａｔ％Ｎｉ−７，５ａ
ｔ％Ｃｒ磁性層カコノ順に形成されるのである。
板上にＮｉ−Ｐメッキを均一に厚さ約１５μｍ行ない、
これに平面ポリッシュによシ表面鏡面加工を施したもの
をアルコール溶液で超音波洗条、フロン溶液の超音波洗
条、蒸気洗条などを行なった後、チャンバー６内のトレ
ー１０にセットする。次いでチャンバー６内を排気ロア
から５×ｌ Ｑ−７ｔｏｒｒ ｉで真空排気し、ヒータ
１１を用いて基板１ａを１００℃に加熱保持しておき、
バルブ９ａを開きＡｒガス導入口８からＡｒガスを流量
６０ ｓｃ’ｃｍでチャンバー６内に流入させ、バルブ
９を調節してチャンバー６内の圧力を５ Ｘ １０−”
（Ｏｒｒ Ｋ設定する。Ｃｒターゲット１２と磁性合金
ターゲット１３に印加するスパッタパワーは、例えばＣ
ｒ下地層の膜厚が２００ＯＡ、磁性層の膜厚が５００人
となるようＫｖ１４節し、トレー１０を矢印の方向に１
１７ ｍｍ／ｍｉｎの速度で搬送することにより、基板
ｌａ上ＫＣｒ下地層とＣｏ−３０ａｔ％Ｎｉ−７，５ａ
ｔ％Ｃｒ磁性層カコノ順に形成されるのである。
次に以上の過程と得られる磁気記録媒体に付与される磁
気特性の関係に９いて述べる。磁気特性は保磁力（Ｈｃ
）、残留磁束密度（Ｂｒ）と磁性層の膜厚（δ）との積
（Ｂｒ・δ〕、保磁力角形比（Ｓ ）がバランスよく
保たれ、Ｈｃ〉８００（Ｏｅ）、Ｂｒｓδ＞ ４００
（Ｇ −μｍ ）、Ｓ＊≧０．８５とするのが望ましい
。これら磁気特性を得るにはＨａを高めることが優先的
に留意され、Ｈｃの増大に寄与するのはｃｒ下地層の膜
厚であシ、Ｃｒ下地層の膜厚を厚くするとＨｃが増大す
る傾向がある。しかしＣｒ下地層の膜厚が大きくなるに
つれて）ｆ ｃ −？ Ｓ の磁気異方性が顕著にな
り、磁気ディスクの再生出力のモジュレーシｌンが発生
するようになるのでｃｒ下地層の膜厚は２００ＯＡ程度
としている。Ｈｃを高めるための別の方法は上記の製造
過程においてＡｒガス圧力がＨａの値に効果的に作用す
るのでＡｒガス圧力を高くするのがよく、例えばＡｒガ
ス圧力を５ Ｘ Ｉ Ｑ”−” ｔｏｒｒにすればＨｃ
は９０００ｅ以上が得られる。しかしながら、このとき
他の磁気特性Ｂｒ・δやＳ は低下し、媒体全体の磁気
特性として上述したような好いバランスを保つことがで
きなくなることがわかった。
気特性の関係に９いて述べる。磁気特性は保磁力（Ｈｃ
）、残留磁束密度（Ｂｒ）と磁性層の膜厚（δ）との積
（Ｂｒ・δ〕、保磁力角形比（Ｓ ）がバランスよく
保たれ、Ｈｃ〉８００（Ｏｅ）、Ｂｒｓδ＞ ４００
（Ｇ −μｍ ）、Ｓ＊≧０．８５とするのが望ましい
。これら磁気特性を得るにはＨａを高めることが優先的
に留意され、Ｈｃの増大に寄与するのはｃｒ下地層の膜
厚であシ、Ｃｒ下地層の膜厚を厚くするとＨｃが増大す
る傾向がある。しかしＣｒ下地層の膜厚が大きくなるに
つれて）ｆ ｃ −？ Ｓ の磁気異方性が顕著にな
り、磁気ディスクの再生出力のモジュレーシｌンが発生
するようになるのでｃｒ下地層の膜厚は２００ＯＡ程度
としている。Ｈｃを高めるための別の方法は上記の製造
過程においてＡｒガス圧力がＨａの値に効果的に作用す
るのでＡｒガス圧力を高くするのがよく、例えばＡｒガ
ス圧力を５ Ｘ Ｉ Ｑ”−” ｔｏｒｒにすればＨｃ
は９０００ｅ以上が得られる。しかしながら、このとき
他の磁気特性Ｂｒ・δやＳ は低下し、媒体全体の磁気
特性として上述したような好いバランスを保つことがで
きなくなることがわかった。
したがって、Ｃｒ下地層と磁性層を所定の膜厚となるよ
うに連続スパッタを行なうとき、Ａｒガス圧を最適な条
件とすることによυ磁気特性をバランスよく媒体に付与
させることが必要となる。
うに連続スパッタを行なうとき、Ａｒガス圧を最適な条
件とすることによυ磁気特性をバランスよく媒体に付与
させることが必要となる。
本発明は上述の点く鑑みてなされたものであり、その目
的は磁気記録媒体を製造する際に、良好な磁気特性を得
るための最適Ａｒガス圧の設定値を提供することにある
。
的は磁気記録媒体を製造する際に、良好な磁気特性を得
るための最適Ａｒガス圧の設定値を提供することにある
。
本発明は磁気記録媒体のＣｒ下地層、ＣＯ系合金磁性層
を連続スパッタ形成するときに、チャンバー内に導入す
るＡｒガス圧力をＩ Ｘ １０”−” ｔｏｒｒから２
Ｘ １０ ｔｏｒｒの範囲に設定することＫよりこ
の媒体の磁気特性としてＨＣ〉８０００ｅ、Ｂｒ・δ〉
４０００＊μｍ、８”〉０．８５を満足できるようにし
たものである。
を連続スパッタ形成するときに、チャンバー内に導入す
るＡｒガス圧力をＩ Ｘ １０”−” ｔｏｒｒから２
Ｘ １０ ｔｏｒｒの範囲に設定することＫよりこ
の媒体の磁気特性としてＨＣ〉８０００ｅ、Ｂｒ・δ〉
４０００＊μｍ、８”〉０．８５を満足できるようにし
たものである。
以下本発明を実施例に基づき説明する。
本発明に用いられる装置は第３図に示したものと同様で
あるからその説明は省略する。ここではターゲットＫＣ
ｒおよびＣｏ −３，Ｑ ａｔ％Ｎｉ −７，５ａｔ％
Ｃｒ合金を用い、第２図の構成を有する磁気記録媒体を
製造するものであることおよびその他の主な成膜条件を
前述と全く同様に設定しておき、Ａｒガス圧力のみを変
化させ、Ａｒガス圧力と得られた媒体の磁気特性との対
応を求め最適Ａｒガス圧力の範囲を定めるようにしたも
のである。
あるからその説明は省略する。ここではターゲットＫＣ
ｒおよびＣｏ −３，Ｑ ａｔ％Ｎｉ −７，５ａｔ％
Ｃｒ合金を用い、第２図の構成を有する磁気記録媒体を
製造するものであることおよびその他の主な成膜条件を
前述と全く同様に設定しておき、Ａｒガス圧力のみを変
化させ、Ａｒガス圧力と得られた媒体の磁気特性との対
応を求め最適Ａｒガス圧力の範囲を定めるようにしたも
のである。
本実施例はＡｒガス圧力をＩ Ｘ １０−３ｔｏｒｒか
ら５ Ｘ １０−” ｔｏｒｒの範囲に変化させたが、
これはＩ Ｘ １０ ｔｏｒｒ以下では安定した放電
状態が得られず、５ Ｘ １０””２ｔｏｒｒは従来性
なわれていたＡｒガス圧力であシ、その中間を採用した
からである。
ら５ Ｘ １０−” ｔｏｒｒの範囲に変化させたが、
これはＩ Ｘ １０ ｔｏｒｒ以下では安定した放電
状態が得られず、５ Ｘ １０””２ｔｏｒｒは従来性
なわれていたＡｒガス圧力であシ、その中間を採用した
からである。
第１図は横軸をＡｒガス圧力、縦軸を磁気特性として両
者の関係を表わし丸線図である。第１図における三つの
線図はそれぞれＡｒガス圧力の変化に対してＨｃ、Ｂｒ
・δおよびＳ の値をプロットしたものである。この結
果ＨｃはＡｒガス圧力の上昇とともに増加し、Ｂｒ・δ
とＳ は低下するが、これらの線図からＨＣ〉８０００
ｅ、Ｂｒ・δ〉４０００ａμｍ、 ８ 〉０．８５に
磁気特性を保持するための良好な放電状態におけるＡｒ
ガス圧力はＩ Ｘ １０” ｔｏｒｒから２ Ｘ Ｉ
Ｑ−” ｔｏｒｒの範囲にあることがわかる。またこの
範囲のＡｒガス圧力は下地層と磁性層の連続形成に同一
条件で適用することができるから、磁気記録媒体の量産
性にも寄与している。
者の関係を表わし丸線図である。第１図における三つの
線図はそれぞれＡｒガス圧力の変化に対してＨｃ、Ｂｒ
・δおよびＳ の値をプロットしたものである。この結
果ＨｃはＡｒガス圧力の上昇とともに増加し、Ｂｒ・δ
とＳ は低下するが、これらの線図からＨＣ〉８０００
ｅ、Ｂｒ・δ〉４０００ａμｍ、 ８ 〉０．８５に
磁気特性を保持するための良好な放電状態におけるＡｒ
ガス圧力はＩ Ｘ １０” ｔｏｒｒから２ Ｘ Ｉ
Ｑ−” ｔｏｒｒの範囲にあることがわかる。またこの
範囲のＡｒガス圧力は下地層と磁性層の連続形成に同一
条件で適用することができるから、磁気記録媒体の量産
性にも寄与している。
基板上に被覆したＮｉ−Ｐめっき層の上にＣｒ下地層と
Ｃｏ系合金磁性層を連続スパッタして磁気記録媒体を製
造する際に１従来磁性層の磁気特性と＜ Ｋ Ｈｃを大
きくするためＡｒガス圧力をできるだけ高くしていたが
、これに伴ない他の磁気特性、Ｂｒ−ａ−ｐ８ が低
下し、総合的な磁気特性として好ましい状態が得られな
かったのに対し、本発明によればＡｒガスし圧力の最適
範囲を（１×１０−” ｔｏｒｒ〜２ Ｘ １０−”に
設定したために磁気記録媒体の磁気特性としでＨｃ、）
Ｂｒ・δおよびＳ＊をバランスよく付与させることがで
きるようにしたものである。
Ｃｏ系合金磁性層を連続スパッタして磁気記録媒体を製
造する際に１従来磁性層の磁気特性と＜ Ｋ Ｈｃを大
きくするためＡｒガス圧力をできるだけ高くしていたが
、これに伴ない他の磁気特性、Ｂｒ−ａ−ｐ８ が低
下し、総合的な磁気特性として好ましい状態が得られな
かったのに対し、本発明によればＡｒガスし圧力の最適
範囲を（１×１０−” ｔｏｒｒ〜２ Ｘ １０−”に
設定したために磁気記録媒体の磁気特性としでＨｃ、）
Ｂｒ・δおよびＳ＊をバランスよく付与させることがで
きるようにしたものである。
第１図はＡｒガス圧力と媒体の磁気特注との関係線図、
第２図は磁気記録媒体の構成断面図、第３図はスパッタ
チャンバーの模型断面図である。 １１ａ・・・基板、３・・・下地層、４・・・磁性ｌ−
１６・・・チャンバー、１０・・トレー、１２・・・Ｃ
ｒターゲット、１３・・・磁性合金ターゲット。 ７１、ｒガスｇカ （ｔｏｒｒ） 第１図
第２図は磁気記録媒体の構成断面図、第３図はスパッタ
チャンバーの模型断面図である。 １１ａ・・・基板、３・・・下地層、４・・・磁性ｌ−
１６・・・チャンバー、１０・・トレー、１２・・・Ｃ
ｒターゲット、１３・・・磁性合金ターゲット。 ７１、ｒガスｇカ （ｔｏｒｒ） 第１図
Claims (1)
- １）主面にＮｉ−Ｐめっきを施した基板を真空排気した
チャンバー内で昇温し、次いで該チャンバー内にＡｒガ
スを導入した後、ＣｒおよびＣｏ系磁性合金のターゲッ
トを連続的にスパッタして前記Ｎｉ−Ｐめっき層の上に
Ｃｒ下地層とＣｏ系磁性合金層をこの順に積層形成する
磁気記録媒体の製造方法において、Ａｒガス圧力を１×
１０＾−＾３〜２×１０＾−＾２ｔｏｒｒとすることを
特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22560386A JPS6379233A (ja) | 1986-09-24 | 1986-09-24 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22560386A JPS6379233A (ja) | 1986-09-24 | 1986-09-24 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6379233A true JPS6379233A (ja) | 1988-04-09 |
| JPH0554173B2 JPH0554173B2 (ja) | 1993-08-11 |
Family
ID=16831913
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22560386A Granted JPS6379233A (ja) | 1986-09-24 | 1986-09-24 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6379233A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0350940A2 (en) * | 1988-07-15 | 1990-01-17 | Mitsubishi Kasei Corporation | Method and apparatus for producing a magnetic recording medium |
| US5552217A (en) * | 1989-10-20 | 1996-09-03 | Fuji Electric Co., Ltd. | Magnetic recording medium and a method for producing it |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61202324A (ja) * | 1985-03-06 | 1986-09-08 | Victor Co Of Japan Ltd | 磁気記録媒体 |
-
1986
- 1986-09-24 JP JP22560386A patent/JPS6379233A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61202324A (ja) * | 1985-03-06 | 1986-09-08 | Victor Co Of Japan Ltd | 磁気記録媒体 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0350940A2 (en) * | 1988-07-15 | 1990-01-17 | Mitsubishi Kasei Corporation | Method and apparatus for producing a magnetic recording medium |
| US5552217A (en) * | 1989-10-20 | 1996-09-03 | Fuji Electric Co., Ltd. | Magnetic recording medium and a method for producing it |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0554173B2 (ja) | 1993-08-11 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |