JPS6365093B2 - - Google Patents
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- JPS6365093B2 JPS6365093B2 JP8089481A JP8089481A JPS6365093B2 JP S6365093 B2 JPS6365093 B2 JP S6365093B2 JP 8089481 A JP8089481 A JP 8089481A JP 8089481 A JP8089481 A JP 8089481A JP S6365093 B2 JPS6365093 B2 JP S6365093B2
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- Japan
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- vacuum
- lip member
- seal roll
- continuous processing
- processing apparatus
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- Expired
Links
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C37/00—Component parts, details, accessories or auxiliary operations, not covered by group B29C33/00 or B29C35/00
- B29C37/0089—Sealing devices placed between articles and treatment installations during moulding or shaping, e.g. sealing off the entrance or exit of ovens or irradiation rooms, connections between rooms at different pressures
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C59/00—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor
- B29C59/14—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by plasma treatment
Landscapes
- Rolls And Other Rotary Bodies (AREA)
- Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は塩化ビニール系のプラスチツクフイル
ム、シートあるいは被覆電線などを連続的に真空
状態でプラズマ処理する真空連続処理装置に関す
る。
ム、シートあるいは被覆電線などを連続的に真空
状態でプラズマ処理する真空連続処理装置に関す
る。
最近、真空処理室の前後に予備真空室を配置
し、段階的に真空圧力を下げて被処理物を連続的
に表面処理する装置が開発されている。
し、段階的に真空圧力を下げて被処理物を連続的
に表面処理する装置が開発されている。
この予備真空室は、上下方向に対接し、被処理
物の搬送方向に並置する一対のシールロールと、
このシールロールの一部に軸方向に沿つて連続的
に対接するリツプ部材などを具えている。
物の搬送方向に並置する一対のシールロールと、
このシールロールの一部に軸方向に沿つて連続的
に対接するリツプ部材などを具えている。
ところで、一対のシールロールの一方は、表面
の全幅にわたつてゴムなどの弾性体を固着したも
のがあり、このシールロールに対接するリツプ部
材としては、ウレタンゴムなどの弾性体を使用し
たものがある。
の全幅にわたつてゴムなどの弾性体を固着したも
のがあり、このシールロールに対接するリツプ部
材としては、ウレタンゴムなどの弾性体を使用し
たものがある。
なお、この種の装置として関連するものには例
えば特開昭54−95672号が挙げられる。
えば特開昭54−95672号が挙げられる。
しかし、前記一方のシールロールとリツプ部材
の組合せでは、両者間の摩擦力が大きく、シール
ロールに形成した弾性体あるいはリツプ部材が破
損してしまい、特に大気側のように圧力差の大き
い一対のシールロール部分ではその傾向が高い。
の組合せでは、両者間の摩擦力が大きく、シール
ロールに形成した弾性体あるいはリツプ部材が破
損してしまい、特に大気側のように圧力差の大き
い一対のシールロール部分ではその傾向が高い。
本発明の目的は、シールロールおよびリツプ部
材の耐久性の向上を図るのに好適な真空連続処理
装置を提供することを目的とする。
材の耐久性の向上を図るのに好適な真空連続処理
装置を提供することを目的とする。
本発明は、シールロールの一部に軸方向に沿つ
て連続的に対接するリツプ部材を設け、このリツ
プ部材のシールロールに対接する部分に耐摩耗性
の大なる部材を取付けたものである。
て連続的に対接するリツプ部材を設け、このリツ
プ部材のシールロールに対接する部分に耐摩耗性
の大なる部材を取付けたものである。
シールロールとリツプ部材間の摩擦力が小さく
なるとともに摺動力が小さくなり、このためシー
ルロールとリツプ部材の耐久性が向上する。
なるとともに摺動力が小さくなり、このためシー
ルロールとリツプ部材の耐久性が向上する。
以下本発明の一実施例を図面により説明する。
第１図および第２図において、１はプラスチツ
クフイルム例えば塩化ビニール系樹脂フイルムの
ように可撓性の被処理物Ｆを真空状態で連続的に
プラズマ処理する真空処理室、２は真空処理室１
の前方側に複数個配置される予備真空室、３は真
空処理室１の後方側に複数個配置される予備真空
室で、前記真空処理室１内はこれに接続する真空
ポンプ４により10-2トール程度の真空圧力に保持
するように排気管５を介して真空排気される。前
記予備真空室２，３内はこれに接続する真空ポン
プ６により前記真空処理室１内の真空圧力より若
干高く、かつ大気圧より段階的に減じる真空圧力
に保持するように排気管７を介して真空排気され
る。
クフイルム例えば塩化ビニール系樹脂フイルムの
ように可撓性の被処理物Ｆを真空状態で連続的に
プラズマ処理する真空処理室、２は真空処理室１
の前方側に複数個配置される予備真空室、３は真
空処理室１の後方側に複数個配置される予備真空
室で、前記真空処理室１内はこれに接続する真空
ポンプ４により10-2トール程度の真空圧力に保持
するように排気管５を介して真空排気される。前
記予備真空室２，３内はこれに接続する真空ポン
プ６により前記真空処理室１内の真空圧力より若
干高く、かつ大気圧より段階的に減じる真空圧力
に保持するように排気管７を介して真空排気され
る。
処理される被処理物Ｆは巻出装置８より前方側
の予備真空室２を経て真空処理室１へ送られ、そ
こでプラズマ処理された後、さらに後方側の予備
真空室３を経て巻取装置９で巻取られる。１０は
駆動用モータで、この駆動用モータ１０はライン
シヤフト１１および無段変速機１２，１３，１
４，１５を介して真空処理室１、予備真空室２，
３、巻取装置９へ駆動力を伝達し、真空処理室
１、予備真空室２，３および巻取装置９の各駆動
系の回転速度は前記無段変速機１２，１３，１
４，１５により適宜調整される。
の予備真空室２を経て真空処理室１へ送られ、そ
こでプラズマ処理された後、さらに後方側の予備
真空室３を経て巻取装置９で巻取られる。１０は
駆動用モータで、この駆動用モータ１０はライン
シヤフト１１および無段変速機１２，１３，１
４，１５を介して真空処理室１、予備真空室２，
３、巻取装置９へ駆動力を伝達し、真空処理室
１、予備真空室２，３および巻取装置９の各駆動
系の回転速度は前記無段変速機１２，１３，１
４，１５により適宜調整される。
前記前方および後方の予備真空室２，３は第３
図および第４図に示すように、上下一対のシール
ロール１６，１７、ケース１８およびリツプ部材
１９などから構成されている。
図および第４図に示すように、上下一対のシール
ロール１６，１７、ケース１８およびリツプ部材
１９などから構成されている。
第３図および第４図において、一方側の上シー
ルロール１６は金属の例えば鉄とこの鉄の表面全
周に固着される弾性体例えば、ニトリルゴム、ウ
レタンゴムあるいはシリコンゴムなどのゴム２０
より成つており、他方側の下シールロール１７は
鉄から成つている。前記リツプ部材１９は上下シ
ールロール１６，１７の外周面の一部と軸方向に
沿つて連続的に対接されており、弾性体たとえば
ニトリルゴムなどを使用する。２１はリツプ部材
１９の上下シールロール１６，１７に対接する部
分に取付けられた耐摩耗性の大なる部材より成る
被膜で、たとえば、フツ素樹脂を使用する。また
リツプ部材１９の内部には第５図に示すようにＩ
字状の補強体２２が埋め込まれている。
ルロール１６は金属の例えば鉄とこの鉄の表面全
周に固着される弾性体例えば、ニトリルゴム、ウ
レタンゴムあるいはシリコンゴムなどのゴム２０
より成つており、他方側の下シールロール１７は
鉄から成つている。前記リツプ部材１９は上下シ
ールロール１６，１７の外周面の一部と軸方向に
沿つて連続的に対接されており、弾性体たとえば
ニトリルゴムなどを使用する。２１はリツプ部材
１９の上下シールロール１６，１７に対接する部
分に取付けられた耐摩耗性の大なる部材より成る
被膜で、たとえば、フツ素樹脂を使用する。また
リツプ部材１９の内部には第５図に示すようにＩ
字状の補強体２２が埋め込まれている。
上記の構成において、上下シールロール１６，
１７間のシールは、一方の上シールロール１６の
ゴム２０を被処理物Ｆを介して他方の下シールロ
ール１７に押付け、一方の上シールロール１６の
ゴム２０をたわませることにより施される。ま
た、上下シールロール１６，１７とリツプ部材１
９間のシールは、リツプ部材１９をシールロール
に押付けることにより施される。このとき、上シ
ールロール１６のゴム２０とリツプ部材１９のフ
ツ素樹脂２１の摩擦力が小さくなるとともに摺動
抵抗が小さくなるため、上シールロール１６とリ
ツプ部材１９の耐久性が向上する。また、第５図
に示すようにリツプ部材１９にＩ字状の補強体２
２を埋込むことにより、運転中におけるリツプ部
材２２の変形を防止でき、リツプ部材２２のシー
ルロールに対する押付状態を常に維持できる。さ
らに、第６図に示すようにリツプ部材１９にＬ字
状の補強体２３を埋め込むことによつても、運転
中におけるリツプ部材１９の変形を防止でき、リ
ツプ部材１９のシールロールに対する押付状態を
常に維持できる。さらに補強体２２，２３は、リ
ツプ部材１９に被膜２１を焼着する場合の変形を
防止する。
１７間のシールは、一方の上シールロール１６の
ゴム２０を被処理物Ｆを介して他方の下シールロ
ール１７に押付け、一方の上シールロール１６の
ゴム２０をたわませることにより施される。ま
た、上下シールロール１６，１７とリツプ部材１
９間のシールは、リツプ部材１９をシールロール
に押付けることにより施される。このとき、上シ
ールロール１６のゴム２０とリツプ部材１９のフ
ツ素樹脂２１の摩擦力が小さくなるとともに摺動
抵抗が小さくなるため、上シールロール１６とリ
ツプ部材１９の耐久性が向上する。また、第５図
に示すようにリツプ部材１９にＩ字状の補強体２
２を埋込むことにより、運転中におけるリツプ部
材２２の変形を防止でき、リツプ部材２２のシー
ルロールに対する押付状態を常に維持できる。さ
らに、第６図に示すようにリツプ部材１９にＬ字
状の補強体２３を埋め込むことによつても、運転
中におけるリツプ部材１９の変形を防止でき、リ
ツプ部材１９のシールロールに対する押付状態を
常に維持できる。さらに補強体２２，２３は、リ
ツプ部材１９に被膜２１を焼着する場合の変形を
防止する。
本発明によれば、シールロールとリツプ部材間
の摩擦力が小さくなるとともに摺動力が小さくな
るため、シールロールとリツプ部材の耐久性が大
幅に向上する。
の摩擦力が小さくなるとともに摺動力が小さくな
るため、シールロールとリツプ部材の耐久性が大
幅に向上する。
第１図は本発明装置を示す概略縦断面図、第２
図は第１図の概略平面図、第３図は本発明装置の
予備真空室のシール手段を説明するための図、第
４図は第３図の４−４線断面図、第５図は本発明
装置におけるリツプ部材の要部拡大図、第６図は
本発明装置におけるリツプ部材の他の実施例を示
す要部拡大図である。 １……真空処理室、２，３……予備真空室、１
６……上シールロール、１７……下シールロー
ル、１９……リツプ部材、２１……フツ素樹脂、
２２，２３……補強体。
図は第１図の概略平面図、第３図は本発明装置の
予備真空室のシール手段を説明するための図、第
４図は第３図の４−４線断面図、第５図は本発明
装置におけるリツプ部材の要部拡大図、第６図は
本発明装置におけるリツプ部材の他の実施例を示
す要部拡大図である。 １……真空処理室、２，３……予備真空室、１
６……上シールロール、１７……下シールロー
ル、１９……リツプ部材、２１……フツ素樹脂、
２２，２３……補強体。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 真空処理室と予備真空室とを具え、該予備真
空室を、上下一対のシールロールを被処理物の搬
送方向に複数組配置することにより形成し、前記
真空処理室で被処理物を連続的に処理する真空連
続処理装置において、前記シールロールの一部に
軸方向に沿つて連続的に対接するリツプ部材を設
け、このリツプ部材のシールロールに対接する部
分に耐摩耗性の大なる部材を取付けたことを特徴
とする真空連続処理装置。 ２ 前記耐摩耗性の大なる部材はフツ素樹脂より
成ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
の真空連続処理装置。 ３ 前記リツプ部材内には補強体が埋め込まれて
いることを特徴とする特許請求の範囲第１項また
は第２項記載の真空連続処理装置。 ４ 前記補強体をＩ字状に形成したことを特徴と
する特許請求の範囲第３項記載の真空連続処理装
置。 ５ 前記補強体をＬ字状に形成したことを特徴と
する特許請求の範囲第３項記載の真空連続処理装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8089481A JPS57195740A (en) | 1981-05-29 | 1981-05-29 | Continuous vacuum treatment apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8089481A JPS57195740A (en) | 1981-05-29 | 1981-05-29 | Continuous vacuum treatment apparatus |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57195740A JPS57195740A (en) | 1982-12-01 |
| JPS6365093B2 true JPS6365093B2 (ja) | 1988-12-14 |
Family
ID=13731063
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8089481A Granted JPS57195740A (en) | 1981-05-29 | 1981-05-29 | Continuous vacuum treatment apparatus |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS57195740A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60943A (ja) * | 1983-06-17 | 1985-01-07 | Hitachi Ltd | 真空連続処理装置 |
-
1981
- 1981-05-29 JP JP8089481A patent/JPS57195740A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57195740A (en) | 1982-12-01 |
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