JPS6355436U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6355436U JPS6355436U JP14752786U JP14752786U JPS6355436U JP S6355436 U JPS6355436 U JP S6355436U JP 14752786 U JP14752786 U JP 14752786U JP 14752786 U JP14752786 U JP 14752786U JP S6355436 U JPS6355436 U JP S6355436U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer transfer
- cassette
- shelf
- cassettes
- wafers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 7
Landscapes
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Description
図面はこの考案に係るウエハ移替装置の1実施
例を示す斜視図である。 C1…第1収納容器、C2…第2収納容器、W
…薄板状基板、21…薄板状基板移替装置、T1
…第1収納容器受け台、T2…第2収納容器受け
台、18…保管棚、19…制御手段、20…収納
容器搬送手段。
例を示す斜視図である。 C1…第1収納容器、C2…第2収納容器、W
…薄板状基板、21…薄板状基板移替装置、T1
…第1収納容器受け台、T2…第2収納容器受け
台、18…保管棚、19…制御手段、20…収納
容器搬送手段。
Claims (1)
- 複数枚のウエハを収納した第1のカセツトから
第2の空カセツトに一括してウエハを移し替える
ウエハ移し替え部の上方に配置され、少なくとも
第1及び第2のカセツトが収納可能な複数のカセ
ツト棚と、該カセツト棚及びウエハ移し替え部の
間で授受を行なうウエハ搬送手段と、該ウエハ搬
送手段の動作を制御するための手段とからなるカ
セツト収納棚を具備したウエハ移替装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14752786U JPS6355436U (ja) | 1986-09-25 | 1986-09-25 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14752786U JPS6355436U (ja) | 1986-09-25 | 1986-09-25 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6355436U true JPS6355436U (ja) | 1988-04-13 |
Family
ID=31060972
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14752786U Pending JPS6355436U (ja) | 1986-09-25 | 1986-09-25 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6355436U (ja) |
-
1986
- 1986-09-25 JP JP14752786U patent/JPS6355436U/ja active Pending
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