JPS6349704A - ダイクロイツクミラ− - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概　　要〕 本発明は、特定の波ＪＷａＪｆ域の光のみを反射し、他
の波長領域の光を透過するダイクロイックミラーにおい
て、その製造工程の簡略化と波面収差の著しい低減とを
可能にするために、厚さ１．５乃至２．５ｍｍの１枚の
ガラス基板の一方の面に誘電体多層膜を、他方の面に反
射防止膜を形成することにより上記ミラーを構成したも
のである。

〔産業上の利用分野〕

本発明は、ダイクロイックミラーに係り、特には光デイ
スク装置の光学ヘッド内に組込まれ、互いに波長の異な
る記録用、再生用の２つの光ビームを分離・合成するた
めに使用されるダイクロインクミラーに関する。

〔従来の技術〕

第４図（ｄ）に、従来のダイクロインクミラーの構成を
示す。これは、同材質で厚さＱ、５ｍｍ程度のガラス基
板１．２のそれぞれ一方の面に、それぞれ反射防止膜３
、誘電体多層膜４を形成したものを、互いに貼り合わせ
た構成となっている。

このようなグイクロイックミラーを作成するには、まず
ガラス基板１の一方の面に、例えばＭｇＦ、膜とＡ！、
Ｑ、膜とを真空蒸着等で交互に複数層重ねることにより
反射防止膜３を形成する。

次に、もう一方のガラス基板２の一方の面に、第４図（
ａ）に示すように、例えばＴＩＯ！膜４ａと５ｔｏｔ膜
４ｂとを真空蒸着等で交互に多数層重ねることにより、
誘電体多層膜４を形成する。この時、ガラス基板１．２
、反射防止膜３、誘電体多層膜４はいずれも熱膨張係数
が異なるため、上記のようにしてガラス基Ｆｉ１．２に
形成された反射防止膜３、誘電体多層膜４０表面は、第
４図（ｂｌ、（Ｃ）に示すように、それぞれ凹状、凸状
の反りが生しる。そこで次に、ガラス基板１．２の未使
用の面を互いに貼り合わせることにより、第４図（ｄ）
に示した構成にする。このようにすれば、上記の反りは
ほとんどなくなって平面度が小さくなり、よって波面収
差も太き（ならずに済む。

〔発明が解決しようとする問題点〕 上記従来のグイクロイックミラーでは、反射防止膜３と
誘電体多層膜４とを別々のガラス基板１．２上に形成す
ることによる使用ガラス基板数の増加と、その両者を貼
り合わせることによる工程数の増加という問題点があっ
た。

本発明は、上記問題点に鑑み、製造工程の簡略化と波面
収差の一層の低減とを可能にするグイクロイックミラー
を提供することを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明によるグイクロイックミラーは、厚さ１．５〜２
．５ｎ＋の１枚のガラス基板の一方の面に誘電体多層膜
を形成し、他方の面に反射防止膜を形成した構成とした
ものである。

〔作　　用〕

上述したようにガラス基板を１枚しか使用しなければ、
貼り合わせる工程も必要としないので、製造工程を大幅
に簡略化することができる。

また、使用するガラス基板の厚さが１．５ｍｍ以上の範
囲では、反りに対する十分な強度が得られるので、平面
度が非常に小さくなり、よって波面収差の一層の低減が
可能になる。更に、上記ガラス基板の厚さを２．５ｆｉ
以内に抑えれば、光デイスク装置の光学ヘッド内に組込
んだ場合であっても、上記光学ヘッドが大型化する等の
心配はなくなる。

〔実　施　例〕

以下、本発明の実施例について、図面を参照しながら説
明する。

第１図は、本発明の一実施例を示す構成図である。本実
施例は、厚さが１．５〜２．５鶴の範囲内にある１枚の
ガラス基板１１を使用し、その一方の面に反射防止膜Ｉ
２を形成するとともに、他方の面に誘電体多層膜１３を
形成したものである。上記反射防止膜１２は、第４図中
に示した反射防止膜３と同様であり、例えばＭ　ｇ　Ｆ
　ｚ膜とＡｌｔｏ。

膜とを交互に複数層重ねた構成である。上記誘電体多層
膜１３も第４図中の誘電体多層膜４と同様であり、例え
ばＴｉＯ□膜とＳ　ｉ　ｏｘ膜とを交互に多数層重ねた
構成である。

このような構成からなるグイクロイックミラーを作成す
るには、まずガラス基板１１の一方の面に上記反射防止
膜１２を真空蒸着等で形成し、次に他方の面に上記誘電
体多層膜１３を同様に真空蒸着等で形成するだけでよい
。よって、使用ガラス基板数も少なく、従来のような貼
り合わせ工程も不要になるので、製造工程を大幅に簡略
化することができる。

次に、ガラス基板の厚さを０．５鶴から２．５鶴まで実
験的に変化させた場合の、その厚さと各表面における平
面度との関係を第３図に示す。なお、試料として用いた
グイクロイックミラーの表面形状は、８ｎ＋ＸＩＱ＋ｕ
である。同図においては、表面が、凸状に変形した場合
を＋（プラス）の平面度で表わし、凹状に変形した場合
を−（マイナス）の平面度で表わしている。よって、誘
電体多層膜の表面は凸状となるので平面度は十の範囲で
変化し、反射防止膜の表面は凹状となるので平面度は−
の範囲で変化する。

同図の結果から、ガラス基板の厚さが増すほど各膜の平
面度が小さくなっていき、厚さが１．５鶴以上で平面度
はいずれも１１００ｎ以下と著しく小さくなるのがわか
る。従って、上記実施例では、第１図に示したような、
厚さの下限が１．５龍であるガラス基板１１を用いたの
で、反射防止膜１２及び誘電体多層膜１３の表面の平面
度を非常に小さく保つことができ、これに伴って波面収
差の一層の低減が可能になる。

更に、上記実施例では、ガラス基板１１の厚さの上限を
２．５鶴としたので、製造時のカッティングが困難にな
らず、また後述するように光デイスク装置の光学ヘッド
内に組込んだ場合であっても、装置全体が大型化する等
の虞れはない。

次に、第１図に示したダイクロイックミラー１０を光デ
ィクス装置の光学ヘッド内に組込んだ場合の、上記ダイ
クロイックミラー１０による光ビームの合成および分離
作用を概略的に第２図に示す。同図において、１１は不
図示のレーザから出力された記録用の光ビーム（波長λ
、）であり、１！は不図示のレーザから出力された再生
用の光ビーム（波長λ２）である。ダイクロイックミラ
ー１０は、波長λ２の光を反射し、波長λ、の光を透過
させる作用を持つ。すると、記録時には、波長λ、の光
ビーム１１がダイクロインクミラー１０をそのまま透過
し、光ディスクＤ上に照射される。一方、再生時には、
波長λ２の光ビームβ２がダイクロイックミラー１０で
反射されて光ディスクＤ上に照射されるとともに、その
反射光が再びダイクロイックミラーｌＯで反射されて、
不図示の光検知器で検知される。

この際、ダイクロイックミラー１０は上述したように平
面度が非常に小さいので、光ビーム１１．１２を良く絞
り込むことができ、焦点深さ方向での光ビームの位置ず
れや波面の乱れを低減することができる。更に、ダイク
ロイックミラー１０は、波面収差が著しく低減した誘電
体多層膜１３を備え、かつ戻り光（反射光）を除去する
ための反射防止膜１２を備えているため、記録、再生用
の２つの光ビームｌ、、ｌ、を完全に合成および分離す
ることができる。

なお、誘電体多層膜や反射防止膜の材質は、上述したも
のに限らず、ダイクロイックミラーの各種用途に応じて
適切なものを選択すればよい。

〔発明の効果〕

本発明によれば、製造工程の筒略化が可能になるととも
に、波面収差の一層の低減化が可能になる。従って、本
発明によるダイクロイックミラーを光デイスク装置の光
学ヘッド内に組込めば、焦点深さ方向での光ビームの位
置ずれおよび波面の乱れを一段と低減でき、より正確な
記録および再生が可能になる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す構成図、第２図は同実
施例を光デイスク装置の光学ヘッド内に組込むことによ
る光ビーム１２１、β２の合成・分離作用を概略的に示
す図、 第３図はガラス基板の厚さを変化させた場合の、その厚
さと平面度との関係を示す図、 第４図（ａ）〜（ｄ）は従来のダイクロイックミラーの
槽底と製造過程を示す図である。 １１・・・ガラス基板、 １２・・・反射防止膜、 １３・・・誘電体多層膜。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）厚さ１．５乃至２．５ｍｍの１枚のガラス基板（１
   １）の一方の面に誘電体多層膜（１３）を形成し、他方
   の面に反射防止膜（１２）を形成してなることを特徴と
   するダイクロイックミラー。 ２）前記誘電体多層膜はＴｉＯ＿２膜とＳｉＯ＿２膜と
   を交互に多数層重ねてなることを特徴とする特許請求の
   範囲第１項記載のダイクロイックミラー。 ３）前記反射防止膜はＭｇＦ＿２膜とＡｌ＿２Ｏ＿３膜
   とを交互に複数層重ねてなることを特徴とする特許請求
   の範囲第１項または第２項記載のダイクロイックミラー
   。