JPS6344685A - 薄膜画像表示装置 - Google Patents
薄膜画像表示装置Info
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- JPS6344685A JPS6344685A JP61188551A JP18855186A JPS6344685A JP S6344685 A JPS6344685 A JP S6344685A JP 61188551 A JP61188551 A JP 61188551A JP 18855186 A JP18855186 A JP 18855186A JP S6344685 A JPS6344685 A JP S6344685A
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- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims description 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 16
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 4
- 239000010408 film Substances 0.000 description 8
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PBCFLUZVCVVTBY-UHFFFAOYSA-N tantalum pentoxide Inorganic materials O=[Ta](=O)O[Ta](=O)=O PBCFLUZVCVVTBY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 239000005083 Zinc sulfide Substances 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000010345 tape casting Methods 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
- 229910052984 zinc sulfide Inorganic materials 0.000 description 1
- DRDVZXDWVBGGMH-UHFFFAOYSA-N zinc;sulfide Chemical compound [S-2].[Zn+2] DRDVZXDWVBGGMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、コンピュータ端末機器、自動事務機器（ＯＡ
機器）、自動車用インストルメントパネル等のグラフィ
ック、文字、シンボル画像表示に用いられるのに適した
薄膜画像表示装置に関するものである。
機器）、自動車用インストルメントパネル等のグラフィ
ック、文字、シンボル画像表示に用いられるのに適した
薄膜画像表示装置に関するものである。
（貸来技術）
この種のｓＪＩ’Ｊ画像表示装置の例として液晶型、プ
ラズマ型、エレクトロルミネセンス型等種々の発光原理
を利用したものがある。これらの種々の装置に共通する
ことは互いに直交する電極の間に光電効果を有する発光
物質を挟んで電極間に電圧を印加することである０例え
ば、エレクトロルミネセンス型表示装置は絶緑基板の一
ヒに形成されたＩｎ（Ｓｎ）０２ のストライプ状の
第１の電極とこの上に順次蒸着された誘電体１発光層と
この発光層の上に第１の電極に直交するように設けられ
アルミニウム製のストライプ状の第２の電移とから成り
、第１と第２との電極の間に電位差を生ずると、その交
差した点のみが発光し、この発光点の組合せによって任
意の画像を形成するようになっている。この種の表示装
置では第１の電極がある程度厚くなると、この上に積層
するｉ４膜に凹凸が生じ。
ラズマ型、エレクトロルミネセンス型等種々の発光原理
を利用したものがある。これらの種々の装置に共通する
ことは互いに直交する電極の間に光電効果を有する発光
物質を挟んで電極間に電圧を印加することである０例え
ば、エレクトロルミネセンス型表示装置は絶緑基板の一
ヒに形成されたＩｎ（Ｓｎ）０２ のストライプ状の
第１の電極とこの上に順次蒸着された誘電体１発光層と
この発光層の上に第１の電極に直交するように設けられ
アルミニウム製のストライプ状の第２の電移とから成り
、第１と第２との電極の間に電位差を生ずると、その交
差した点のみが発光し、この発光点の組合せによって任
意の画像を形成するようになっている。この種の表示装
置では第１の電極がある程度厚くなると、この上に積層
するｉ４膜に凹凸が生じ。
この凹凸が発光の不均一性を生じたり１局部的な電界の
集中による放電破壊を招く不都合が生ずるため、この第
１の電極は通常２０００Ａ以下にしている。この薄膜画
像表示装置は絶緑基板側から放射するものと第２の電極
側から放射するものとがある。前者の場合には絶緑基板
はガラス基板とし第１の電極は透明°電極とし、また、
後者の場合には絶緑基板はアルミナを主成分とする不透
明なセラミック基板とし第１の電極は銀、パラジウム等
の金属を有機バインダ中に分散して形成した導電ペース
トをストライプ状に印刷し焼結して形成され、第２の電
極は工ｎ （Ｓ ｎ）０２等によって形成された透明゛
電極とする。誘電体はドクターブレード法の如き厚膜製
作技術を用いて形成される。この、、Ａ電体はペロブス
カイト構造のチタン酸バリウムを主成分とする焼結体か
ら形成され、誘電体の膜厚が大きくとも誘′屯率が１０
３程度あるので誘電体内で′ｉセ圧降下が最小になるよ
うに設定されている。
集中による放電破壊を招く不都合が生ずるため、この第
１の電極は通常２０００Ａ以下にしている。この薄膜画
像表示装置は絶緑基板側から放射するものと第２の電極
側から放射するものとがある。前者の場合には絶緑基板
はガラス基板とし第１の電極は透明°電極とし、また、
後者の場合には絶緑基板はアルミナを主成分とする不透
明なセラミック基板とし第１の電極は銀、パラジウム等
の金属を有機バインダ中に分散して形成した導電ペース
トをストライプ状に印刷し焼結して形成され、第２の電
極は工ｎ （Ｓ ｎ）０２等によって形成された透明゛
電極とする。誘電体はドクターブレード法の如き厚膜製
作技術を用いて形成される。この、、Ａ電体はペロブス
カイト構造のチタン酸バリウムを主成分とする焼結体か
ら形成され、誘電体の膜厚が大きくとも誘′屯率が１０
３程度あるので誘電体内で′ｉセ圧降下が最小になるよ
うに設定されている。
しかし、誘゛Ｉｔ率が大きいと、電気容ＱＣ（Ｆ／ｍ）
は Ｃ＝ ６５ ／ ｄ （但しεは？Ａ電惠、Ｓは電極面積、ｄは電極間隔であ
る） で示されるように増加する。また、外部から′重圧Ｖｏ
を印加した時に実際に画素にかかる電圧■は Ｖ＝Ｖｏ／（１＋ω ｓ（＊Ｒ） （但しＲはＩ！１！線の抵抗、ωは角周波数である）で
示され、従って画面が大きくなって透明電極が長くなる
と１画素にがかる゛電圧は低下する。
は Ｃ＝ ６５ ／ ｄ （但しεは？Ａ電惠、Ｓは電極面積、ｄは電極間隔であ
る） で示されるように増加する。また、外部から′重圧Ｖｏ
を印加した時に実際に画素にかかる電圧■は Ｖ＝Ｖｏ／（１＋ω ｓ（＊Ｒ） （但しＲはＩ！１！線の抵抗、ωは角周波数である）で
示され、従って画面が大きくなって透明電極が長くなる
と１画素にがかる゛電圧は低下する。
例えば１体積抵抗率が１０−３Ω・Ｃｍの透明電極（膜
厚ｚｏｏｏＸ）を用いた場合、電極の長さはｌｏｃｍが
限界で大きな画面を得ることができなかった。また、焼
結式の導電ペーストは体積抵抗率が１０−５Ω・ｃｍで
あるので問題１’ｆないが、誘電率の大きな誘電体を用
いるために電気容ｔＣが大きくなるので実際に画素に印
加される電圧が小さくなる。これを防止するために周波
数を低くするか、膜厚を大きくして１ｒ！、気容量を小
さくすることができる。しかし１周波数を低くすると、
駆動することができる画素の数が少なくなって画像分解
能が小さくなり、また膜厚が大きくなると、隣接する画
素同志が混線して発光し易くなるのでやはりこれも画像
分解能が小さくなる欠点があった。即ち１画像の精細度
をとげるために膜厚を小さくシ、且つ高周波で多数の画
素を駆動することが要求されるが、従来技術では抵抗率
が比較的大きな透明電極を用いたり、誘電率が極めて大
きな誘電体を用いているために画像の大型化、高精細化
が困難であった。
厚ｚｏｏｏＸ）を用いた場合、電極の長さはｌｏｃｍが
限界で大きな画面を得ることができなかった。また、焼
結式の導電ペーストは体積抵抗率が１０−５Ω・ｃｍで
あるので問題１’ｆないが、誘電率の大きな誘電体を用
いるために電気容ｔＣが大きくなるので実際に画素に印
加される電圧が小さくなる。これを防止するために周波
数を低くするか、膜厚を大きくして１ｒ！、気容量を小
さくすることができる。しかし１周波数を低くすると、
駆動することができる画素の数が少なくなって画像分解
能が小さくなり、また膜厚が大きくなると、隣接する画
素同志が混線して発光し易くなるのでやはりこれも画像
分解能が小さくなる欠点があった。即ち１画像の精細度
をとげるために膜厚を小さくシ、且つ高周波で多数の画
素を駆動することが要求されるが、従来技術では抵抗率
が比較的大きな透明電極を用いたり、誘電率が極めて大
きな誘電体を用いているために画像の大型化、高精細化
が困難であった。
（発明の目的）
本発明の目的は、簡単な構造で画像の大型化と高精細化
とを達成することができる薄膜画像表示装置を提供する
ことにある。
とを達成することができる薄膜画像表示装置を提供する
ことにある。
（発明の構成）
本発明に係る薄Ｈり画像表示装置は、絶緑基板のほぼ中
央部に設けられたスルーホールを貫通する導電体によっ
て相互に接続され絶緑基板の一方の表面に設けられたス
トライプ状の第１の電極と他方の表面に設けられたリー
ド層と、第１の電極の上に設けられたエレクトロルミネ
センス発光層と、第１の電極に交差するようにエレクト
ロルミネセンス発光層の上に設けられたストライプ状の
第２の゛電極とから成っていることを特徴としている。
央部に設けられたスルーホールを貫通する導電体によっ
て相互に接続され絶緑基板の一方の表面に設けられたス
トライプ状の第１の電極と他方の表面に設けられたリー
ド層と、第１の電極の上に設けられたエレクトロルミネ
センス発光層と、第１の電極に交差するようにエレクト
ロルミネセンス発光層の上に設けられたストライプ状の
第２の゛電極とから成っていることを特徴としている。
このようにすると、第１と第２の電極の間隔を小さくす
ることができるので画素同志の混線が少なくなり、また
第１の電極の中央部から配線を取出しているので従来の
倍の長さの電極を使用することができ、従って大画面、
高精細度の画像表示装置を得ることができる。
ることができるので画素同志の混線が少なくなり、また
第１の電極の中央部から配線を取出しているので従来の
倍の長さの電極を使用することができ、従って大画面、
高精細度の画像表示装置を得ることができる。
（７Ｊ！：施例）
本発明の実施例を図面を参照して詳細に説明すると、第
１図は本発明に係る方法によって製造された薄膜画像表
示装置１０を示し、この薄膜画像表示装置１０は、第２
図及び第３図に示すように、絶緑基板１２のほぼ中央部
に設けられたスルーホール１２ａを貫通する導゛屯体１
４によって相互に接続され絶緑基板１２の一方の表面に
設けられたストライプ状の第１の電極１６と他方の表面
に設けられたリード層１８と。
１図は本発明に係る方法によって製造された薄膜画像表
示装置１０を示し、この薄膜画像表示装置１０は、第２
図及び第３図に示すように、絶緑基板１２のほぼ中央部
に設けられたスルーホール１２ａを貫通する導゛屯体１
４によって相互に接続され絶緑基板１２の一方の表面に
設けられたストライプ状の第１の電極１６と他方の表面
に設けられたリード層１８と。
この第１の電極１６の上に設けられたエレクトロルミネ
センス発光層２０と、第１の電極１６に交差するように
エレクトロルミネセンス発光、碧２０の上に設けられた
ストライプ状の第２の電極２２とから成っている。
センス発光層２０と、第１の電極１６に交差するように
エレクトロルミネセンス発光、碧２０の上に設けられた
ストライプ状の第２の電極２２とから成っている。
次に本発明の薄膜画像表示装置の具体例をその製法と共
に以下にのべる。先ず、絶緑基板１２は９例えば、厚さ
１ｍｍ、２００Ｘ１００ｍｍでアルミナ９９．５％のセ
ラミック焼結板から成り、スルーホール１２ａは例えば
ビーム径０．４ｍｍ、５．２Ｊ／パルス、パルス１４１
１ ｍｓのＹＡＧレーザを用いて形成される。導電体１
４とリード層１８とは絶緑基板１２の裏側から銀、パラ
ジウムを主成分とする導電ペーストをスクリーン印刷技
術によって印刷し焼結することによって同時に形成する
ことができる。第１の電極１６はＩｎ（Ｓｎ）０２をス
パッタリング法によって透明電極として形成することが
できる。この第１の電極１６は例えば帯の巾が０．２ｍ
ｍで帯の間隔が０．２ｍｍに設定される。エツチングは
通常のフォトリソグラフィー手法で化学エツチングによ
り行なわれる。この第１の電極の膜厚は２０００Ａで６
帯の長さは約２００ｍｍとした。このようにして形成さ
れた第１の電極１６の体積抵抗率は５ｘｌＯΩ・Ｃｍ
であった、この第１の電極１６はその中央部でリード
層１８に接続されるので絶緑基板１２の裏側から見て第
１の電極１６の最も遠い点までの電気抵抗は電極帯の全
長の電気抵抗の半分となる。
に以下にのべる。先ず、絶緑基板１２は９例えば、厚さ
１ｍｍ、２００Ｘ１００ｍｍでアルミナ９９．５％のセ
ラミック焼結板から成り、スルーホール１２ａは例えば
ビーム径０．４ｍｍ、５．２Ｊ／パルス、パルス１４１
１ ｍｓのＹＡＧレーザを用いて形成される。導電体１
４とリード層１８とは絶緑基板１２の裏側から銀、パラ
ジウムを主成分とする導電ペーストをスクリーン印刷技
術によって印刷し焼結することによって同時に形成する
ことができる。第１の電極１６はＩｎ（Ｓｎ）０２をス
パッタリング法によって透明電極として形成することが
できる。この第１の電極１６は例えば帯の巾が０．２ｍ
ｍで帯の間隔が０．２ｍｍに設定される。エツチングは
通常のフォトリソグラフィー手法で化学エツチングによ
り行なわれる。この第１の電極の膜厚は２０００Ａで６
帯の長さは約２００ｍｍとした。このようにして形成さ
れた第１の電極１６の体積抵抗率は５ｘｌＯΩ・Ｃｍ
であった、この第１の電極１６はその中央部でリード
層１８に接続されるので絶緑基板１２の裏側から見て第
１の電極１６の最も遠い点までの電気抵抗は電極帯の全
長の電気抵抗の半分となる。
一方、この第１の電極１６の上に五酸化タンタル、硫化
亜鉛、五酸化タンタルの薄膜を順次０．５ｍｍづつ積層
して形成した。五酸化タンタルはスパッタリング装置に
よって通常の条件で形成し、また、Ｖｉ、化亜鉛は発光
中心としてＭｎを１重量％混入したベレットを電子線加
熱の真空蒸着法によって蒸着して形成した。第２の電極
２２は第１の電極と同様にＩｎ（Ｓｎ）０２を第１の電
極と直交するように形成した。
亜鉛、五酸化タンタルの薄膜を順次０．５ｍｍづつ積層
して形成した。五酸化タンタルはスパッタリング装置に
よって通常の条件で形成し、また、Ｖｉ、化亜鉛は発光
中心としてＭｎを１重量％混入したベレットを電子線加
熱の真空蒸着法によって蒸着して形成した。第２の電極
２２は第１の電極と同様にＩｎ（Ｓｎ）０２を第１の電
極と直交するように形成した。
このようにして形成された画像表示装置の第１と第２の
電極１６．２２の各々の内−木づつにパルス１０１４ｓ
ｅｃ、パルス高１５０Ｖの両極性パルスを５ＫＨｚで印
加し１発光輝度及び隣の画素の測定した。この測定は接
眼レンズを用いて直径０．１ｍｍ以下の領域からの発光
のみを測定する輝度計を用いて行なった。その結果１発
光している画素の隣の画素はほとんど発光していないこ
とが確認された。また、取出し電極の近傍と画面の端で
の各画素の発光輝度を比較したところその輝度のばらつ
きは５％以下であった。しかも、この表示装置は基板を
はじめとして反射率の大きい物質を用いていないために
明るい室内でも高いコントラストが得られることが確認
された。
電極１６．２２の各々の内−木づつにパルス１０１４ｓ
ｅｃ、パルス高１５０Ｖの両極性パルスを５ＫＨｚで印
加し１発光輝度及び隣の画素の測定した。この測定は接
眼レンズを用いて直径０．１ｍｍ以下の領域からの発光
のみを測定する輝度計を用いて行なった。その結果１発
光している画素の隣の画素はほとんど発光していないこ
とが確認された。また、取出し電極の近傍と画面の端で
の各画素の発光輝度を比較したところその輝度のばらつ
きは５％以下であった。しかも、この表示装置は基板を
はじめとして反射率の大きい物質を用いていないために
明るい室内でも高いコントラストが得られることが確認
された。
（発明の効果）
本発明によれば、上記のように、第１と第２の電極の間
隔を小さくすることができるので画素同志の混線が少な
くなり、また第１の電極の中央部から配線を取出してい
るので従来の倍の長さの電極を使用することができ、従
って大画面、高精細度の画像表示装置を得ることができ
る実益がある。
隔を小さくすることができるので画素同志の混線が少な
くなり、また第１の電極の中央部から配線を取出してい
るので従来の倍の長さの電極を使用することができ、従
って大画面、高精細度の画像表示装置を得ることができ
る実益がある。
第１図は本発明に係る薄膜画像表示装置の断面図、第２
図は絶緑基板と第１の電極との拡大斜視図、第３図は第
２図の更に拡大した要部断面図である。 １ｏ−−−−−Ｑ膜画像表示装置、 １２−−−一一絶
緑基板、１２ａ−−−一一スルーホール、１４−−−−
一導゛屯体、 １６−−−−−第１の電極、 ｌ ８−
−−−−リード層、 ２０−−−−一誘電体、２２−−
−−−第２の電極。 第３図
図は絶緑基板と第１の電極との拡大斜視図、第３図は第
２図の更に拡大した要部断面図である。 １ｏ−−−−−Ｑ膜画像表示装置、 １２−−−一一絶
緑基板、１２ａ−−−一一スルーホール、１４−−−−
一導゛屯体、 １６−−−−−第１の電極、 ｌ ８−
−−−−リード層、 ２０−−−−一誘電体、２２−−
−−−第２の電極。 第３図
Claims (3)
- （１） 絶縁基板のほぼ中央部に設けられたスルーホー
ルを貫通する導電体によって相互に接続され前記絶緑基
板の一方の表面に設けられたストライプ状の第１の電極
と他方の表面に設けられたリード層と前記第１の電極の
上に設けられたエレクトロルミネセンス発光層と前記第
１の電極に交差するように前記エレクトロルミネセンス
発光層の上に設けられたストライプ状の第２の電極とか
ら成っていることを特徴とする薄膜画像表示装置。 - （２） 前記第１と第２の電極の間隔が両電極の電極帯
の間隔よりも小さく設定されている特許請求の範囲第１
項に記載の薄膜画像表示装置。 - （３） 前記第１と第２の電極は透明である特許請求の
範囲第１項または第２項に記載の薄膜画像表示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61188551A JPS6344685A (ja) | 1986-08-13 | 1986-08-13 | 薄膜画像表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61188551A JPS6344685A (ja) | 1986-08-13 | 1986-08-13 | 薄膜画像表示装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6344685A true JPS6344685A (ja) | 1988-02-25 |
Family
ID=16225675
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61188551A Pending JPS6344685A (ja) | 1986-08-13 | 1986-08-13 | 薄膜画像表示装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6344685A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0455797U (ja) * | 1990-09-20 | 1992-05-13 | ||
| JPH0461797U (ja) * | 1990-10-02 | 1992-05-27 | ||
| US6703726B2 (en) | 2000-05-12 | 2004-03-09 | Shinano Electronics Co., Ltd. | Platen for flat linear motor |
-
1986
- 1986-08-13 JP JP61188551A patent/JPS6344685A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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