JPS63312035A - Sheet holder - Google Patents
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- JPS63312035A JPS63312035A JP62143105A JP14310587A JPS63312035A JP S63312035 A JPS63312035 A JP S63312035A JP 62143105 A JP62143105 A JP 62143105A JP 14310587 A JP14310587 A JP 14310587A JP S63312035 A JPS63312035 A JP S63312035A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は薄板部材の保持装置にかかわり、特に、ハイブ
リッドＩＣやセラミック基板の焼結前のグリーンシート
等の軟質の薄板部材の保持に好適な保持装置に関する。[Detailed Description of the Invention] [Field of Industrial Application] The present invention relates to a holding device for thin plate members, and is particularly suitable for holding soft thin plate members such as green sheets of hybrid ICs and ceramic substrates before sintering. Relating to a holding device.
従来、半導体のクエハやマスク、レチクル等の薄板を保
持する方法として、特公昭６０−１５１４７号公報、４
！開昭５７−５４５４１号公報で開示された方法がある
。しかし、これらの保持方法を用いてグリーンシート等
の軟質の薄板部材の保持を行うと、第２図に示すように
、吸引穴３あるいは吸引用の溝（図示せず）に対応した
部分で変形が生じる。このため、上記保持装置パターン
印刷機や検査機等に適用すると、吸引用穴（あるいは溝
）から作用する局部的吸引力 により薄板部材の一部に
変形を生じ、印刷ずれや誤検査の原因となる欠点がある
。また、多層セラミック基板は、グリーンシートにスル
ーホールを形成し、このスルーホールに導体物質を充填
し、グリーンシートを複数枚重ねて熱着した後、焼結し
て作成するが、このスルーホールに導体物質を充填する
充填装置や、充填状態を検査する検査装置に上記従来の
保持装置を適用すると、グリーンシートが局部的に変形
したり、充填材が保持装置の吸引穴や吸引溝に入り込ん
だり、引き込まれたりして、充填不良や充填状態検査不
良が生じる欠点がある。また、薄板保持部表面や、吸引
穴、吸引溝に付着した汚れを取り除くことも困難である
。Conventionally, as a method for holding thin plates such as semiconductor wafers, masks, and reticles, Japanese Patent Publication No. 60-15147, 4
! There is a method disclosed in Japanese Patent Publication No. 57-54541. However, when holding a soft thin plate member such as a green sheet using these holding methods, as shown in Figure 2, deformation occurs in the portion corresponding to the suction hole 3 or suction groove (not shown). occurs. Therefore, when applied to the above-mentioned holding device pattern printing machine, inspection machine, etc., the local suction force acting from the suction holes (or grooves) may cause deformation of a part of the thin plate member, causing printing misalignment or incorrect inspection. There is a drawback. In addition, multilayer ceramic substrates are created by forming through holes in green sheets, filling these through holes with a conductive material, stacking multiple green sheets, thermally bonding them, and then sintering them. If the above-mentioned conventional holding device is applied to a filling device that fills a conductive material or an inspection device that inspects the filling state, the green sheet may be locally deformed or the filling material may enter the suction hole or suction groove of the holding device. There is a drawback that the filling may be drawn in, resulting in defective filling or defective inspection of the filling state. Furthermore, it is difficult to remove dirt adhering to the surface of the thin plate holder, suction holes, and suction grooves.
一方、特公昭５７−５６２０７号公報には、多孔質焼結
金属からなる保持装置が開示されている。On the other hand, Japanese Patent Publication No. 57-56207 discloses a holding device made of porous sintered metal.
この焼結金属は、吸着表面を高精度に加工するため研削
加工等で仕上げるが、吸着表面の穴に研削（ずの詰まり
が生じたり１表面吸着部の穴のつぶれを生じたりして、
吸着能力が低下する。そこで、エツチング等により化学
的に吸着表面の目開きをする必要があるが、この工程の
ため、表面の吸着平坦性が数十μｍ以上悪くなる欠点が
ある。さらに、焼結金属体は剛性が小さいため、大口径
のワークを保持する場合には、吸着力による変形を小さ
くする必要があり、高い平坦性を必要とする場！
合、厚みの厚い構造としなげればならず、大聖で高価な
保持装置となる欠点がある。また、この保持装置をグリ
ーンシートのスルーホールに導体物質を充填する充填装
置やその検査装置に適用すると、汚れが吸着面上に付着
した場合、その都度清掃しなければならない。また、グ
リーンシート吸着面をふき取るときにスルーホール内の
充填物が焼結材の多孔の中に入り込み、吸着能力を低下
させたり、また汚れの原因となることもある。This sintered metal is finished by grinding, etc. in order to process the suction surface with high precision.
Adsorption capacity decreases. Therefore, it is necessary to chemically open the adsorption surface by etching or the like, but this process has the disadvantage that the adsorption flatness of the surface deteriorates by several tens of μm or more. Furthermore, since sintered metal bodies have low rigidity, when holding large-diameter workpieces, it is necessary to minimize deformation due to suction force, and high flatness is required! In this case, it is necessary to use a thick structure, which has the disadvantage of requiring an expensive and expensive holding device. Furthermore, when this holding device is applied to a filling device that fills conductor material into through holes in green sheets and an inspection device thereof, it is necessary to clean the suction surface each time when dirt adheres to the suction surface. Furthermore, when wiping the suction surface of the green sheet, the filler in the through holes may enter into the pores of the sintered material, reducing the suction ability or causing stains.
上記従来技術は、軟質部材を変形させることなく保持す
る点、および保持部表面の汚れを容易に取り除く点につ
いて配慮がされておらず、ハイブリッドＩＣやセラミッ
ク基板の焼結前のグリーンシートなどのような軟質薄板
部材の保持には適さないという問題があった。The above-mentioned conventional technology does not take into consideration the point of holding the soft member without deforming it and the point of easily removing dirt from the surface of the holding part. There was a problem in that it was not suitable for holding soft thin plate members.
本発明の目的は、軟質薄板部材を局部変形を生じること
なく保持するとともに、保持部表面の汚れによる実害を
容易に取り除くことができる。保持部に高い平坦性を保
持しかつ小型の薄板保持装置を提供することにある。An object of the present invention is to hold a soft thin plate member without causing local deformation, and to easily eliminate actual damage caused by dirt on the surface of the holding part. It is an object of the present invention to provide a small-sized thin plate holding device that maintains high flatness in a holding part.
上記目的は、薄板と薄板保持部表面との間に、空気等の
流体を厚み方向に通過させる機能をほぼ全面にわたり備
えた物質、例えば多孔質のプラスチックフィルム等を介
在させ、真空吸着保持することにより、達成される。The above purpose is to interpose between the thin plate and the surface of the thin plate holding part a material that has the function of allowing fluid such as air to pass through the thickness direction over almost the entire surface, such as a porous plastic film, and to hold the thin plate by vacuum suction. This is achieved by
上記流体を通過させる機能を備えた物質の一般的なもの
として、液体や気体をある膜を通過させて、その液体・
気体中の物質の分離を行うフィルタがある。このフィル
タを薄板と薄板保持部表面との間に介在させて、該薄板
を吸着保持すると、吸着保持部表面の吸引用穴から作用
する局部的な吸引力がフィルタ全体に拡散する。このた
め、薄板には、フィルタに形成された無数の微小な孔か
ら平均的な吸引力が作用し、軟質の薄板であっても、こ
れを変形させることなく吸着保持することができる。A common substance that has the function of allowing the fluid to pass through is a substance that allows a liquid or gas to pass through a certain membrane.
There are filters that separate substances in gas. When this filter is interposed between the thin plate and the surface of the thin plate holder and the thin plate is held by suction, the local suction force acting from the suction holes on the surface of the suction holder is diffused throughout the filter. Therefore, an average suction force acts on the thin plate from the countless minute holes formed in the filter, and even a soft thin plate can be attracted and held without deforming it.
また、フィルタが汚れた場合は、フィルタを交換するこ
とにより、容易に汚れによる実害を取り除くことができ
る。Furthermore, if the filter becomes dirty, the actual damage caused by the dirt can be easily removed by replacing the filter.
以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。第１
図は本発明の基本構成を有する実施例の構成を示したも
のである。図において、１はグリーンシートで、フィル
タ２および吸引穴３が形成されたチャック４に真空吸引
される。また、フィルタ２は、吸引穴５＆Ｃより周辺部
が吸引保持される。An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG. 1st
The figure shows the configuration of an embodiment having the basic configuration of the present invention. In the figure, 1 is a green sheet, which is vacuum-suctioned into a chuck 4 in which a filter 2 and suction holes 3 are formed. Further, the peripheral portion of the filter 2 is held by suction through the suction holes 5&C.
フィルタ２は、多孔質のグラスチックフィルムを用いて
おり、その孔径はα１〜５μｍ程度である。上記構成に
おいて、まずフィルタ２が真空Ｂで示す真空手段により
チャック４に吸着保持される。そして、グリーンシート
１は、真空Ａで示す真空手段により、チャック４の吸引
穴３から、フィルタ２の有する多数の微小な孔を介して
、全面が均一に吸引される。このとき、吸引穴３の吸引
部の面積を１−〜１〇−程度にすると、通常この種のチ
ャックに使用されている真空度１１００ＷＨ〜４００Ｈ
ｇで吸引した場合、フィルタ２に作用する吸引力は最大
＆２ｔ／−となる。しかし。The filter 2 uses a porous glass film, and its pore diameter is approximately α1 to 5 μm. In the above configuration, the filter 2 is first held by suction on the chuck 4 by vacuum means indicated by vacuum B. Then, the entire surface of the green sheet 1 is uniformly suctioned by a vacuum means indicated by vacuum A from the suction hole 3 of the chuck 4 through the many minute holes of the filter 2. At this time, if the area of the suction part of the suction hole 3 is about 1- to 10-, the vacuum degree usually used in this type of chuck is 1100WH to 400H.
When suction is performed at g, the maximum suction force acting on the filter 2 is &2t/-. but.
フィルタ２は多孔質で多数の孔が形成されているため、
前記吸引力の一部はフィルタ２に作用するとともに、他
の部分の吸引力はフィルタ２に形成された孔を経由して
グリーンシート１を吸着する力として作用する。しかも
、一般に市販されている多孔質のプラスチックフィルタ
は、引張り強さが数百１／−以上あり、真空吸引力によ
ってフィルタ２が変形することはない。このため、フィ
ルタ２上のグリーンシート１は、チャック４およびフィ
ルタ２の平面度に倣って吸着保持される。フィルタ２の
厚さ誤差は３００■０当り２０μｍ程度であり、またチ
ャック４の表面の平坦度誤差は数μｍ以内にすることは
可能である。以上のことから、本実施例の保持装置に吸
着されたグリーンシート１は、これを５００ｗｍ口当り
２０〜３０μｍ以内の誤差で平坦に保持することが可能
である。Since the filter 2 is porous and has many pores,
A part of the suction force acts on the filter 2, and the other part of the suction force acts as a force that attracts the green sheet 1 through the holes formed in the filter 2. Moreover, commercially available porous plastic filters have a tensile strength of several hundred 1/- or more, and the filter 2 will not be deformed by the vacuum suction force. Therefore, the green sheet 1 on the filter 2 is held by suction following the flatness of the chuck 4 and the filter 2. The thickness error of the filter 2 is about 20 .mu.m per 300 mm, and the flatness error of the chuck 4 surface can be kept within several .mu.m. From the above, it is possible to hold the green sheet 1 held flat by the holding device of this embodiment with an error within 20 to 30 μm per 500 wm.
現在用いられているセラミック基板等の大きさは最大１
００ｍ０程度であり、この範囲においては、さらに高精
度の平坦性を保ちながらグリーンシート１を保持するこ
とができる。また、セラミック基板の配線パターン幅は
数十ないし数百μｍであるが、トの配線パターンのグリ
ーンシートへの印刷装置や検査装置に必要な吸着保持面
は、局部的な凹凸がなく、数十μｍの平坦性を必要とす
るので、本実施例の保持装置を用いれば、保持方法に起
因する印刷不良や誤検査は皆無となる。さらに、５μｍ
程度のパターン欠陥を検査するパターン検査装置に本実
施例の保持装置を用いると、被検査面であるグリーンシ
ートの表面が２０〜５０μｍの平坦性をもっているため
、パターン検出用レンズの焦点深度以内に保つことがで
き、自動焦点機能が不要となり、装置構成が簡単かつ安
価となる利点もある。The maximum size of ceramic substrates currently used is 1
00 m0, and within this range, the green sheet 1 can be held while maintaining even higher precision flatness. In addition, the width of the wiring pattern on a ceramic substrate is several tens to hundreds of micrometers, but the suction and holding surface required for the printing equipment and inspection equipment for printing the wiring pattern onto the green sheet has no local irregularities and is several tens of micrometers wide. Since flatness of μm is required, if the holding device of this embodiment is used, there will be no printing defects or incorrect inspections caused by the holding method. Furthermore, 5μm
When the holding device of this embodiment is used in a pattern inspection device that inspects pattern defects of approximately It also has the advantage that an automatic focus function is not required, and the device configuration is simple and inexpensive.
本実施例においては、フィルタ２を保持する真空系とグ
リーンシート１を保持する真空系とを互いに独立にして
いる。この構成により、グリーンシート１の印刷や検査
後に、真空Ａ＆Ｃよる吸着を解除してグリーンシート１
を交換するときも、フィルタ２は真空Ｂによる吸着を解
除しない限りチャック４に保持されているため、グリー
ンシート１だけを簡単に取り外すことができる。また、
フィルタ２に汚れが生じた場合、真空Ｂによる吸着を解
除し、フィルタを交換するだけで、汚れ付着の実害防止
を簡単にできる利点もある。なお、フィルタの色を白色
にしておけば、異物あるいは汚れの付着を容易に見付け
ることができる。しかも、本実施例に用いるフィルタ２
はプラスチックであるため、フィルタが発塵する恐れも
ない。In this embodiment, the vacuum system for holding the filter 2 and the vacuum system for holding the green sheet 1 are made independent of each other. With this configuration, after printing or inspecting the green sheet 1, the suction by the vacuum A&C is released and the green sheet 1 is
Even when replacing the green sheet 1, since the filter 2 is held by the chuck 4 unless suction by the vacuum B is released, only the green sheet 1 can be easily removed. Also,
When dirt occurs on the filter 2, there is an advantage that the actual damage caused by the adhesion of dirt can be easily prevented by simply releasing the suction by the vacuum B and replacing the filter. Note that if the color of the filter is white, foreign matter or dirt can be easily detected. Moreover, the filter 2 used in this example
Since the filter is made of plastic, there is no risk of the filter generating dust.
一方、グリーンシート１は軟質であるため、ハンドリン
グを容易にしたり、シートを破損させないために、第３
図に示すように、金枠６にグリーンシート１を接着し、
グリーンシート１を金枠６と一体にして、パターン印刷
やパターン検査等を行うことがある。第４図に、このよ
うに金枠に保持されたグリーンシートに本発明を適用し
た他の実施例の保持装置の構成を示す。図において、金
枠６に接着保持されたグリーンシート１はフィルタ２上
に保持され、金枠６はチャック７に固定されている金枠
ホルダ８に真空Ｃで示す真空手段により吸着保持されて
いる。その他の構造、機能は。On the other hand, since the green sheet 1 is soft, a third
As shown in the figure, the green sheet 1 is glued to the metal frame 6,
The green sheet 1 may be integrated with the metal frame 6 to perform pattern printing, pattern inspection, etc. FIG. 4 shows the configuration of another embodiment of a holding device in which the present invention is applied to a green sheet held in a metal frame in this manner. In the figure, a green sheet 1 adhesively held on a metal frame 6 is held on a filter 2, and the metal frame 6 is held by suction on a metal frame holder 8 fixed to a chuck 7 by vacuum means indicated by vacuum C. . Other structures and functions.
第１図に示した実施例で述べたものと同じである。This is the same as described in the embodiment shown in FIG.
上記構成におけるグリーンシート１を吸着する作用も第
１図に示した実施例で述べたものと同じであり、同様な
効果が得られる。また、金枠６は、金枠ホルダ８＆Ｃ形
成した真空用穴９から真空吸引されて金枠ホルダ８に固
定されるので、例えば、パターン検査機のＸＹテーブル
（図示せず）（第４図に示す保持装置を用いた場合、テ
ーブル移動・停止時、慣性力が金枠６に作用し、グリー
ンシートとの接着葆持部に応力が加わり、低剛性のグリ
ーンシートに亀裂が生じる等の不良が発生することもな
（、グリーンシートを確実に検査できる利点がある。The effect of attracting the green sheet 1 in the above structure is the same as that described in the embodiment shown in FIG. 1, and the same effect can be obtained. Further, the metal frame 6 is fixed to the metal frame holder 8 by vacuum suction from the vacuum holes 9 formed in the metal frame holder 8&C. When using the holding device shown, when the table is moved or stopped, inertial force acts on the metal frame 6, stress is applied to the adhesive holding part with the green sheet, and defects such as cracks occur in the low-rigidity green sheet. This has the advantage of being able to reliably inspect green sheets.
本発明によれば、薄板保持面と薄板との間に、流体を厚
み方向に通過させる機能を全面にわたり備えた物質を介
在させて薄板を吸着保持するため、軟質薄板部材を、局
部的に変形させることなく、３００ ｍ口当り２０〜３
０μｍ程度に平坦に保持することが可能となる。また、
吸着表面が汚れた場合、上記流体を通過させる機能を備
えた物質を交換することにより、汚れによる実害を簡単
に除去できる効果もある。According to the present invention, in order to adsorb and hold the thin plate by interposing a substance having the function of allowing fluid to pass through the thickness direction over the entire surface between the thin plate holding surface and the thin plate, the soft thin plate member is locally deformed. 300 m mouthfeel 20-3 without letting
It becomes possible to hold the surface flat to about 0 μm. Also,
When the adsorption surface becomes dirty, replacing the substance that allows the fluid to pass through can easily remove the actual damage caused by the dirt.
第１図は本発明の一実施例の薄板保持装置の断面図、第
２図は従来の保持装置の断面図、第３図は金枠付きの薄
板の外観図、第４図は金枠付き薄板を保持する本発明の
他の実施例の保持装置の断面図である。
符号の説明
１・・・・・・グリーンシート、２・・・・・・フィ、
ルタ、６・・・・・・吸引穴、４・・・・・・チャック
、５・・・・・・吸引穴、６・・・・・・金枠、７・・
・・・・チャック、８・・・・・・金枠ホルダ、９・・
・・・・真空用穴。
箪 １ 図
第 ２ 図
ｓ ａ／Ｌ引穴
４ ナヤヘン２
５ ａ爪弓ｌ穴
゛第４図
１７゛リーンンート ７ ナヤツ７２ フィルタ
３ 住オ卆ボルタ゛３ リＬダｌメこ
ヲ Ｊ鴫空月Ａプ乙６ 夜 オ乎Fig. 1 is a cross-sectional view of a thin plate holding device according to an embodiment of the present invention, Fig. 2 is a cross-sectional view of a conventional holding device, Fig. 3 is an external view of a thin plate with a metal frame, and Fig. 4 is a cross-sectional view of a thin plate with a metal frame. FIG. 7 is a sectional view of a holding device according to another embodiment of the present invention for holding a thin plate. Explanation of symbols 1... Green sheet, 2... Fi,
router, 6...suction hole, 4...chuck, 5...suction hole, 6...metal frame, 7...
... Chuck, 8 ... Metal frame holder, 9 ...
...Vacuum hole. 1 Figure 2 Figure s A/L drawing hole 4 Naya Hen 2 5 a Nail arch L hole ゛ Figure 4 17゛ Lean root 7 Nayasu 72 Filter
3 Residential Voltage 3 Redemption
wo J 鴫空月 Apu Otsu 6 Night Oh
Claims (1)
する薄板保持装置において、該薄板と該保持部表面との
間に、流体を厚み方向に通過させる機能をほぼ全面にわ
たり備えた物質を介在させたことを特徴とする薄板保持
装置。 ２、特許請求の範囲第１項に記載の薄板保持装置におい
て、薄板の保持手段が、該薄板を真空によつて保持する
ものであることを特徴とする薄板保持装置。 ３、特許請求の範囲第１項または第２項に記載の薄板保
持装置において、薄板が軟質であることを特徴とする薄
板保持装置。 ４、特許請求の範囲第１項ないし第３項のいずれか１項
に記載の薄板保持装置において、流体を通過させる機能
を備えた物質がフィルム状であることを特徴とする範板
保持装置。５、特許請求の範囲第１項ないし第４項のい
ずれか１項に記載の薄板保持装置において、流体を通過
させる機能を備えた物質が非金属であることを特徴とす
る薄板保持装置。[Claims] 1. A thin plate holding device having a holding part for holding a thin plate and a holding means for the thin plate, which has a function of allowing fluid to pass in the thickness direction between the thin plate and the surface of the holding part. A thin plate holding device characterized by having a substance interposed over almost the entire surface. 2. A thin plate holding device according to claim 1, wherein the thin plate holding means holds the thin plate by vacuum. 3. A thin plate holding device according to claim 1 or 2, characterized in that the thin plate is soft. 4. The thin plate holding device according to any one of claims 1 to 3, wherein the material having the function of allowing fluid to pass through the thin plate holding device is in the form of a film. 5. The thin plate holding device according to any one of claims 1 to 4, wherein the material having the function of allowing fluid to pass through is a nonmetallic material.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62143105A JPS63312035A (en) | 1987-06-10 | 1987-06-10 | Sheet holder |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62143105A JPS63312035A (en) | 1987-06-10 | 1987-06-10 | Sheet holder |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63312035A true JPS63312035A (en) | 1988-12-20 |
Family
ID=15331021
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62143105A Pending JPS63312035A (en) | 1987-06-10 | 1987-06-10 | Sheet holder |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63312035A (en) |
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1987
- 1987-06-10 JP JP62143105A patent/JPS63312035A/en active Pending
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