JPS63289459A - 二次元流速方向検出器 - Google Patents

二次元流速方向検出器

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Publication number
JPS63289459A
JPS63289459A JP62123728A JP12372887A JPS63289459A JP S63289459 A JPS63289459 A JP S63289459A JP 62123728 A JP62123728 A JP 62123728A JP 12372887 A JP12372887 A JP 12372887A JP S63289459 A JPS63289459 A JP S63289459A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
temperature
flow velocity
fluid
measuring
detection element
Prior art date
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Pending
Application number
JP62123728A
Other languages
English (en)
Inventor
Masayuki Sekimura
関村 雅之
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP62123728A priority Critical patent/JPS63289459A/ja
Publication of JPS63289459A publication Critical patent/JPS63289459A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 (産業上の利用分野) この発明は、2次元的に流れる流体の流速と流れ方向を
検出する二次元流速方向検出器に関する。
(従来の技術) 従来技術を第1図を参照して説明する。第1図は、基板
上に抵抗体を配置した方向センサの模式図である。セラ
ミックの円型基板〜11上に円対称に24個の発熱抵抗
体〜12が形成されており、これらの抵抗体から得られ
る信号パターンから方向を検出していた。しかし、方向
算出の為の年号数が多く、又、方向算出までの信号処理
が煩雑である欠点があった。
(発明が解決しようとする問題点) 従来技術では、信号の数が多くかつ方向算出の手順が複
雑で実際の測定器としては使い難いという問題があった
本発明の目的は上記の様な欠点を改善し、流速や方向算
出の為の信号の数が少なくかつ方向算出の信号処理が簡
単な二次元流速方向検出器を提供することにある。
〔発明の構成〕
(問題点を解決するための手段辷 本発明は円型基板の中央に、基板が一定温度となる様に
発熱を行なうために発熱用素子と温度測定用素子から成
る流速検出要素とこの流速検出要素を中心とした円周上
に対称に4個の温度測定用素子とを配置しておシ、流速
検出要素を中心として対向する2組の温度測定用素子対
の温度差に起因する電位差を検出して演算を行ない二次
元流速と方向を測定している。
(作用) 本発明では、流速検出要素を中心に対向する2、組の温
度測定用素子対の温度差に起因する信号を演算して流速
、方向を測定している。従来技術では、信号数は24で
あったが、本発明では検出する2つの差信号が流速と方
向に依存しておシ、これらの信号を演算することによシ
流速、方向を算出することがズきる。
(実施例) 以下、本発明の詳細な説明する。
第1図は本発明の二次元流速方向検出器の流れ検出素子
の素子配置図である。良熱伝導性(例えば、N1メッキ
をした銅、板)の円型基板〜1の中央、 に、発熱用素
子となる発熱用トランジスタル糸と温度測定用素子とな
る温度測定用トランジスタ〜3とがワンチップ上に形成
された流速検出要素〜4が配置され、この流速検出要素
を中心とした円周上に4個の温度測定用素子となる温度
測定用トれて配置されている。
第2図は流れ検出素子〜61の断面図(第1図のA −
A+ )である。円型基板上に流速検出要素や温度測定
用メランジスタが配置されており、この基板の裏面が流
体に曝される構造となっている。流速検出要素等は円型
基板上に配置されている必要はなく、第3図に示すよう
に基板中に埋め込まれた構造とな゛っていてもよい。
第4図は、二次元流速方向検出器の回路構成図である。
流速検出素子に配置された発熱用あるいは温度測定用ト
ランジスタの他に流体娘度測定用トランジスタ〜8が接
続されている。流体温度測定用トランジスタ〜8で流体
温度を、温度測定用トランジスタ〜3で基板温度を検知
し、流速検出要素を流体よりも一定温度高い状態に保つ
ようにオペアンプ〜9で発熱用トランジスタの発熱を制
御している。流速検出要素を中心に対向する2組の温度
測定用素子対5.と5m、5茸と54は対となるトラン
ジスタのエミッタ同志がつながれ定電流が流されている
。コレクタには抵抗Rc、 、Rcl 、Re、 IR
e、がつながれており、出力としてコレクタの電位差■
。1.V02を検出している。この出力は、2個の温度
測定用トランジスタの温度差に起因する出力であり、流
れがない状態では両トランジスタは同じ温度なので■。
1=V02=0である。しかし、例えば第1図のA −
+ A’という方向の流れがある時には温度測定用トラ
ンジスタ〜53は温度測定用トランジスタ〜5Iよシも
温度が低くなるのでVc、’ (Vc3とな多出力を生
じる。流れの方向を第1図に示すようにとると出力孔、
 V。2は    ■。== ay/91 cosθ 
  (11V02=afi(s inθ   (2)と
変化する。ここでaは定数 (11、(21よシ方向は と求めることができる。又、流速も(IN21からと求
められる。実際には、出力VI、1.Vo2は信号処理
演算回路〜10.に入力され方向と流速が算出される。
発熱用トランジスタ〜2の発熱量は流速に対応して変化
する量であシ、発熱量に対応して変化する抵抗Re0を
付加した発熱用トランジスタのコレクタ電位Vcは流速
信号となる。第5図は出力Vcの流速−出力特性であシ
、出力Vcを信号処理演算回路〜10zに入力すれば流
速の算出が行なえる。
このように本発明では、少なくともV。1.■o2の2
つの出力を検出し演算することによシ流速と方向を測定
することができる。
〔発明の効果〕
本発明によれば、わずか2つの差信号出力V01゜■。
2を検出し演算することにより二次元流速と方向の測定
を行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の二次元流速方向検出器の流れ検出素子
の素子配置図、第2図および第3図は実施例の流れ検出
素子の断面図、第4図は二次元流速方向検出器の回路構
成図、第5図は出力Vcの流速出力特性図である。第6
図は従来例の流れ検出素子の模式図である。 1・・・円型基板、2・・・発熱用トランジスタ、3・
・・温度測定用トランジスタ、4・・・流速検出要素、
5+ 、5z 、51.54・・・温度測定用トランジ
スタ、6.62・・・流れ検出素子、7・・・流れ検出
素子回転軸、8・・・流体温度測定用トランジスタ、9
・・・オペアンプ、101−10!  ・・・信号処理
演算回路、11・・・セラミックの円形基板、12・・
・発熱抵抗体。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同       松  山  光  之第  4  図 tl テf、遣 第 5rXJ 第  6  図

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)良熱伝導性の円型基板に中央部に発熱用素子と温
    度測定用素子とからなる流速検出要素と、前記流速検出
    要素を中心とした円周上に90°ずつずれて4個の温度
    測定用素子とが配置された流れ検出素子と、測定すべき
    流体の温度を測定する流体温度測定用素子を含み該流体
    温度測定用素子の出力と前記流速検出要素の温度測定用
    素子の出力とを用いて前記流速検出要素を測定すべき流
    体の温度より一定温度高くなるように前記発熱用素子の
    発熱を制御する駆動回路とを備え、前記流速検出要素を
    中心に対向している2組の温度測定用素子対に生じる温
    度差に起因する電流差あるいは電圧差を検出して演算を
    行ない二次元流速と方向を測定することを特徴とする二
    次元流速方向検出器。
  2. (2)前記発熱用素子に流れて発熱に寄与する電流又は
    、この電流に対応して変化する電位あるいは電圧を検出
    して演算を行ない流速を測定する手段も備えたことを特
    徴とする特許請求の範囲第1項記載の二次元流速方向検
    出器。
  3. (3)前記発熱用素子、温度測定用素子、流体温度測定
    用素子はトランジスタであることを特徴とする特許請求
    の範囲第1項及び第2項記載の二次元流速方向検出器。
JP62123728A 1987-05-22 1987-05-22 二次元流速方向検出器 Pending JPS63289459A (ja)

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JP62123728A JPS63289459A (ja) 1987-05-22 1987-05-22 二次元流速方向検出器

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JPS63289459A true JPS63289459A (ja) 1988-11-25

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ID=14867886

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Application Number Title Priority Date Filing Date
JP62123728A Pending JPS63289459A (ja) 1987-05-22 1987-05-22 二次元流速方向検出器

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JP (1) JPS63289459A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
ES2214122A1 (es) * 2002-12-20 2004-09-01 Universidad De Jaen Sensor de microflujo bidireccional.

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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ES2214122A1 (es) * 2002-12-20 2004-09-01 Universidad De Jaen Sensor de microflujo bidireccional.

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