JPS6326421A - Rolling slide member for magnetic recorder - Google Patents

Rolling slide member for magnetic recorder

Info

Publication number
JPS6326421A
JPS6326421A JP17026686A JP17026686A JPS6326421A JP S6326421 A JPS6326421 A JP S6326421A JP 17026686 A JP17026686 A JP 17026686A JP 17026686 A JP17026686 A JP 17026686A JP S6326421 A JPS6326421 A JP S6326421A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sliding member
rolling sliding
ceramic
slide member
porous body
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP17026686A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yuzo Izeki
井関 裕三
Yuji Okuda
奥田 裕次
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ibiden Co Ltd
Original Assignee
Ibiden Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ibiden Co Ltd filed Critical Ibiden Co Ltd
Priority to JP17026686A priority Critical patent/JPS6326421A/en
Publication of JPS6326421A publication Critical patent/JPS6326421A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

PURPOSE:To improve processing and sliding characteristics of slide member consisting of ceramic porous material made through a sintering process without blocking the pores existing in a formed body, by specifying its surface roughness as well as by filling open pores with lubricant. CONSTITUTION:A magnetic head 2 is moved toward a magnetic recording disc 1, thereby, in a magnetic recorder making an access of the magnetic head 2 to the magnetic recording disc 1 the magnetic disc 2 is integrally fitted to a carriage (rolling slide member) 3, and this carriage 3 is placed on a bearing (rolling slide member) 4. A rolling slide member suitable for such an apparatus as mentioned above is formed from ceramic porous material equipped with open pores of a three dimentional network by sintering said material without blocking pores included in a formed body. Furthermore, the surface roughness of this slide member is under 0.8S, and lubricant is to be put in the open pores of the slide member.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、磁気記録装置を構成し磁気ヘッドを移動可濠
に支持するコロガリ摺動部材に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention relates to a rolling sliding member that constitutes a magnetic recording device and supports a magnetic head on a movable moat.

(従来の技術) 磁気記録装置は種々の形式のものがあるが、その代表的
な形式は第1図及び第2図に概略的に示したようなもの
である。すなわち、これらの図において示したものは、
回転する磁気記録ディスクに対して磁気ヘウドを動かし
、これによって磁気ヘッドの磁気記録ディスクに対する
アクセスを行なうようにしたものである。そして、この
場合の磁気ヘットは、キャリッジに一体的に支持される
とともに、このキャリッジを回転自在なベアリング上に
截置して構成してあり、これにより磁気ヘッドは磁気記
録ディスクに対して自由に動き得るようになっている。
(Prior Art) There are various types of magnetic recording devices, and the typical types are as schematically shown in FIGS. 1 and 2. That is, what is shown in these figures is
A magnetic head is moved relative to a rotating magnetic recording disk, thereby allowing a magnetic head to access the magnetic recording disk. The magnetic head in this case is integrally supported by the carriage, and the carriage is placed on a rotatable bearing, so that the magnetic head can freely move relative to the magnetic recording disk. It is possible to move.

以下の説明にありては1以上のような磁気記録装置にお
けるキャリッジやベアリング等をコロガリ摺動部材とい
う。
In the following description, carriages, bearings, etc. in one or more magnetic recording devices are referred to as rolling sliding members.

このような磁気記録装置にあっては、そのキャリッジや
ベアリング等のコロガリ摺動部材か次の条件を満たすも
のであることが必要である。
In such a magnetic recording device, it is necessary that the rolling sliding members such as the carriage and bearings satisfy the following conditions.

■この種のコロガリ摺動部材は、高速度で頻繁に動かさ
れるものであるから、摺動によって容易に摩上毛するよ
うなものであってはならない。
- Since this type of rolling sliding member is frequently moved at high speeds, it must not be easily frayed by sliding.

■当然、このコロガリ摺動部材は、コロガリ摺動抵抗が
少ないものでなければならない。
■Of course, this rolling sliding member must have low rolling sliding resistance.

■このコロガリ摺動部材は、磁気記録ディスクに対する
悪影響を考慮すると、乾式状態でコロガリ摺動が行なえ
るものであるとよい。
(2) This rolling sliding member is preferably one that can perform rolling sliding in a dry state, considering the adverse effects on the magnetic recording disk.

■このコロガリ摺動部材は、磁気記録ディスクや磁気ヘ
ッド等に対する悪影響を考慮すると、磁気を帯びない材
料によって構成されていることか好ましい。
(2) This rolling sliding member is preferably made of a non-magnetic material in view of the adverse effects on magnetic recording disks, magnetic heads, etc.

従来のこの種のコロガリ摺動部材としては、主として金
属によって構成されていた。これをキャリッジとベアリ
ングの組み合わせとして例示してみると、ステンレスと
ステンレスとを組み合わせたもの、あるいはステンレス
とアルミナを緻密状態に焼結して形成したもの等がある
。しかしながら、ステンレスを材料として使用する以上
、少なくとも上記の条件■を満足することができない。
Conventional rolling sliding members of this type have mainly been made of metal. Examples of combinations of carriages and bearings include those made by combining stainless steel and stainless steel, or those formed by sintering stainless steel and alumina into a dense state. However, as long as stainless steel is used as the material, at least the above condition (2) cannot be satisfied.

また、ステンレスとアルミナをm密状態に焼結して形成
したものの組み合わせの場合には、−見すると■の条件
を満足するようではあるが、アルミナが硬質なためステ
ンレス側が摩耗することがあり、これによって生じた庁
耗粉か磁気記録ディスク等に悪影響を与える可能性が強
くなるといった問題がある。
In addition, in the case of a combination of stainless steel and alumina sintered into an m-dense state, it appears that the condition (■) is satisfied, but since the alumina is hard, the stainless steel side may wear out. This poses a problem in that the resulting wear particles are more likely to have an adverse effect on magnetic recording disks and the like.

それては、キャリッジとベアリングの両者をアルミナ等
のセラミックスによって形成すればよいのでは、という
ことか当然考えられる。ところが、セラミックスは硬度
が高いため、特に緻密質に焼結した場合には、その焼結
後における機械的加工は相当困難である。このため、生
成形体の状態において焼成収縮を考慮した所定の加工を
施しておき、これを焼成することが考えられる。しかし
ながら、このような考慮を入れて焼成しても、コロガリ
摺動部材にはどうしても寸法精度に狂いが生じ、特に高
い寸法精度の要求される磁気記録装置用のコロガリ摺動
部材をこのセラミックスによりて構成するには相当高度
な技術が必要となって、製品価格の高膿の原因ともなっ
ているのである。
Naturally, it may be thought that both the carriage and the bearing could be made of ceramics such as alumina. However, since ceramics have high hardness, mechanical processing after sintering is quite difficult, especially when sintered to a dense state. For this reason, it is conceivable to perform a predetermined process in consideration of firing shrinkage in the state of the formed body and then fire this. However, even when fired with these considerations in mind, the dimensional accuracy of rolling sliding members inevitably deviates, and rolling sliding members for magnetic recording devices that require particularly high dimensional accuracy cannot be manufactured using ceramics. This requires highly sophisticated technology to construct, which is one of the reasons for the high price of the product.

(発明が解決しようとする問題点) 本発明は以上のような実状にffiみてなされたもので
、その解決しようとする問題点は、従来のコロガリ摺動
部材に3ける磁気記録ディスク等に対する悪影響であり
、またセラミックスによってコロガリ摺@部材を構成し
ようとする場合の加工の困難性である。
(Problems to be Solved by the Invention) The present invention has been made in view of the above-mentioned actual situation, and the problems to be solved are the negative effects on magnetic recording disks etc. caused by conventional rolling sliding members. This is also the difficulty of processing when trying to construct a korogari suri@ member using ceramics.

そして、本発明の目的とするところは、セラミックスの
機械加工性を向上させることによって、このセラミック
スの各種特性を十分に生かし、磁気記録装置用の部品と
して適するとともに、摺動特性にも債れたセラミックス
を材料とするコロガリ摺動部材を提供することにある。
The purpose of the present invention is to improve the machinability of ceramics, thereby making full use of the various characteristics of this ceramic, making it suitable as parts for magnetic recording devices, and also improving its sliding properties. An object of the present invention is to provide a rolling sliding member made of ceramics.

(問題点を解決するための手段) 以上の問題点を解決するために本発明が採った手段は、 「生成形体中に存在する気孔を閉塞させることなく焼結
することによって三次元網目構造の開放気孔を具備せし
めたセラミックス質多孔質体からなるコロガリ摺動部材
であって、このコロガリ摺動部材の面粗度がo、ssg
下であり。
(Means for Solving the Problems) The means taken by the present invention to solve the above problems are as follows: ``The three-dimensional network structure is created by sintering without clogging the pores existing in the formed body. A rolling sliding member made of a ceramic porous body provided with open pores, the rolling sliding member having a surface roughness of o, ssg.
It's below.

かつこのコロガリ摺動部材の前記開放気孔中に潤滑剤か
充填されてなることを特徴とするセラミックス質複合体
からなる磁気記録装置用のコロガリ摺動部材」 である。
A rolling sliding member for a magnetic recording device made of a ceramic composite, characterized in that the open pores of the rolling sliding member are filled with a lubricant.

以下にこの手段を更に詳細に説明する。This means will be explained in more detail below.

本発明に係るコロガリ摺動部材は、これを構成している
セラミックス質焼結体が、その生成形体中に存在する気
孔を閉塞させることなく焼成することによって得られた
ものてあり、かつ三次元網目構造の開放気孔を有した多
孔質体てなければならない、その理由は、セラミックス
粉末を結合させる際に気孔が独立化すると、この独立気
孔内には後述の潤滑剤が充填されないため、本発明の目
的とするコロガリ摺動部材を得ることが困難になるから
であり、これに対して三次元網目構造の開放気孔を有し
た多孔質体は潤滑剤を充填するのに極めて好適だからで
ある。
The rolling sliding member according to the present invention is obtained by firing the ceramic sintered body constituting it without clogging the pores present in the formed body, and is three-dimensional. The porous body must have open pores with a network structure.The reason for this is that when the pores become independent when the ceramic powder is bonded, the lubricant described below cannot be filled in the independent pores. This is because it becomes difficult to obtain the desired rolling sliding member, whereas a porous body having open pores with a three-dimensional network structure is extremely suitable for filling with lubricant.

また、セラミックス質焼結体が多孔質体でなければなら
ない理由は、この焼結体によってコロガリ摺動部材を完
成させる場合の仕上げ作業に3ける加工容易性を確保で
きるようにするためである。緻密質のセラミックスであ
れば、これの表面を機械研削等によって仕上げるのは非
常に困難ではあるが、多孔質体であればその機械研削は
比較的容易に行なうことがてきるからである。
Further, the reason why the ceramic sintered body must be a porous body is to ensure ease of processing in the finishing work when completing a rolling sliding member using this sintered body. This is because it is very difficult to finish the surface of dense ceramics by mechanical grinding, but if it is a porous material, mechanical grinding can be performed relatively easily.

さらに付言すれば、セラミックス質焼結体を三次元網目
構造の開放気孔を宥した多孔質体とすることにより、一
般の焼結体(1&密質体)によって構成されたコロガリ
摺動部材は、これに対して摺動する他の部品によって当
該セラミックス質焼結体から摩耗粉が離脱すると、この
離脱した摩耗粉か部材と部材間の摺動面間に介在して、
摺動特性を著しく劣化させることがある。ところか、本
発明のごとくコロガリ摺動部材を構成するセラミックス
焼結体を多孔質体によって構成することにより、当該コ
ロガリ摺動部材が摺動中にこれを構成しているセラミッ
クス質焼結体から摩耗粉が離脱しても、この摩耗粉は近
くのセラミックス質焼結体の気孔中に速やかに保持され
てしまい、離脱した摩耗粉による摺動特性の劣化が殆ど
生じないため、コロガリ摺動部材として極めて優れてい
るのである。
Furthermore, by making the ceramic sintered body a porous body with open pores in a three-dimensional network structure, a rolling sliding member made of a general sintered body (1 & dense body) can be When wear powder is detached from the ceramic sintered body by other sliding parts, the detached wear powder is interposed between the sliding surfaces between the members.
This may significantly deteriorate the sliding properties. However, by configuring the ceramic sintered body constituting the rolling sliding member with a porous body as in the present invention, the rolling sliding member is free from the ceramic sintered body that constitutes it while sliding. Even if the wear particles detach, the wear particles are quickly retained in the pores of the nearby ceramic sintered body, and the detached wear particles hardly cause any deterioration of the sliding properties. It is extremely excellent.

このセラミックス質多孔質体としては、耐摩耗性の観点
からなるべく硬度の高いものを使用することが有利であ
り、例えば、An、O,、SiO2,Zr0t 、Si
C,TiC,TaC1Ba C,W4 C,Cr5Cx
 、Sii N4 、BN、TiN、AIN、TiB2
 、CrB2あるいはこれらの化合物から選択されるい
ずれか1種または2種以上を主として含有する多孔質体
であることが好ましい。
As this ceramic porous body, it is advantageous to use one with as high hardness as possible from the viewpoint of wear resistance; for example, An, O, SiO2, Zr0t, Si
C, TiC, TaC1Ba C, W4 C, Cr5Cx
, Sii N4, BN, TiN, AIN, TiB2
, CrB2, or any one or more of these compounds.

また、このセラミックス質多孔質体は、その多孔質体を
構成する結晶の平均粒径か50gm以下であることが好
ましい。その理由は、平均粒径が5081、mより大き
いと焼結体表面の面粗度か大きくなり、コロガリ摺動部
材の摺動面が平滑となり難く、しかもコロガラ摺動部材
自体の寸法精度が劣るものとなるからである。当該セラ
ミックス質多孔質体を構成する結晶の平均粒径は、中て
も20gm以下であることがより好適である。
Further, it is preferable that the ceramic porous body has an average grain size of crystals constituting the porous body of 50 gm or less. The reason is that if the average particle size is larger than 5081 m, the surface roughness of the sintered body surface will increase, making it difficult for the sliding surface of the rolling sliding member to be smooth, and furthermore, the dimensional accuracy of the rolling sliding member itself will be poor. Because it becomes something. The average grain size of the crystals constituting the ceramic porous body is preferably 20 gm or less.

本発明のコロガリ摺動部材を構成するセラミックス賀多
孔質体は、その開放気孔が5〜50容積%であることが
好ましい、その理由は、この開放気孔率が5容積%以下
であると、実質的な潤滑剤の含浸あるいは充填量が少な
くなり、潤滑特性を十分に発揮させることが困難となる
からであり、一方50容積%より高いとセラミックス質
多孔質体の耐摩耗性が低くなり、特に高い精密度の要求
される機械・装はのコロガリ摺動部材としての使用か困
難になるからである。
The ceramic porous body constituting the rolling sliding member of the present invention preferably has open pores of 5 to 50% by volume.The reason is that when the open porosity is 5% by volume or less, the This is because the amount of impregnated or filled lubricant becomes small, making it difficult to fully demonstrate the lubricating properties.On the other hand, if it is higher than 50% by volume, the wear resistance of the ceramic porous body becomes low, especially when This is because it becomes difficult to use it as a rolling sliding member in machines and equipment that require high precision.

そして、このコロガリ摺動部材を構成するセラミック質
多孔質体の面粗度は、0.8S以下である必要がある。
The surface roughness of the ceramic porous body constituting this rolling sliding member must be 0.8S or less.

その理由は、このセラミック質多孔質体の面粗度が0.
8以上であると、この多孔質体を使用してい形成したコ
ロガリ摺動部材の摺動面が平滑となり難く、しかも焼結
体自体の寸法精度が悪くなるからである。中でも、この
セラミック賀焼結体の面粗度は、O,Is以下であるこ
とか好ましい。
The reason is that the surface roughness of this ceramic porous body is 0.
If it is 8 or more, the sliding surface of a rolling sliding member formed using this porous body will be difficult to become smooth, and the dimensional accuracy of the sintered body itself will deteriorate. Among these, it is preferable that the surface roughness of this ceramic sintered body is not more than O.Is.

また、本発明においては、セラミックス質多孔質体の開
放気孔内に潤滑剤を含浸または充填した複合体として使
用することが必要である。その理由は、潤滑剤をセラミ
ックス質多孔質体の開放気孔内に充填または含浸するこ
とによって、コロガリ摺動部材としての摺動特性を著し
く向上させることができるからである。
Further, in the present invention, it is necessary to use a composite body in which the open pores of a ceramic porous body are impregnated or filled with a lubricant. The reason for this is that by filling or impregnating the open pores of the ceramic porous body with a lubricant, the sliding characteristics as a rolling sliding member can be significantly improved.

このような潤滑剤としては、種々な物質を使用すること
ができ、例えば樹脂やオイルを使用することが有利であ
る。
Various substances can be used as such lubricants, for example resins or oils are advantageously used.

前記樹脂としては、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ト
リマジン樹脂、ポリパラバン樹脂、ポリアミドイミド樹
脂、シリコン樹脂、エポキシシリコン樹脂、アクリル酸
樹脂、メタクリル酸樹脂、アニリン酸樹脂、フェノール
樹脂、ウレタン系樹脂、フラン系樹脂、フッ素樹脂、ア
セタール樹脂、ナイロン樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリ
カーボネイト樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂。
The resins include epoxy resins, polyimide resins, trimazine resins, polyparaban resins, polyamideimide resins, silicone resins, epoxy silicone resins, acrylic acid resins, methacrylic acid resins, anilic acid resins, phenol resins, urethane resins, and furan resins. , fluororesin, acetal resin, nylon resin, polyethylene resin, polycarbonate resin, polyethylene terephthalate resin.

スチレンアクリロニトリル樹脂、ポリプロピレン樹脂、
ポリウレタン樹脂あるいはポリフェニレンサルファイド
樹脂から選択される樹脂を単独あるいは混合して使用す
ることができる。
Styrene acrylonitrile resin, polypropylene resin,
Resins selected from polyurethane resins and polyphenylene sulfide resins can be used alone or in combination.

また、前記オイルとしては、フルオロエチレン、フルオ
ロエステル、フルオロトリアジン、ペルフルオロポリエ
ーテル、フルオロシリコーン、これらの誘導体あるいは
これらの重合体から選択されるフッ素系オイル、または
メチルシリコーン、メチルフェニルシリコーン、これら
の誘導体あるいはこれらの重合体から選択されるシリコ
ン系オイル、ナフテン系オイルあるいはパラフィン系オ
イルを使用することができる。
Further, the oil may be a fluorinated oil selected from fluoroethylene, fluoroester, fluorotriazine, perfluoropolyether, fluorosilicone, derivatives thereof, or polymers thereof, or methyl silicone, methylphenyl silicone, or derivatives thereof. Alternatively, silicone oil, naphthenic oil, or paraffin oil selected from these polymers can be used.

これらのオイルは、液状、グリース状あるいはワックス
状のいずれの状態であっても使用することがてきる。な
お、これらのフッ素系オイル及びシリコン系オイルは、
耐溶剤性、化学的安定性および耐熱性に優れているため
、長期間にわたって極めて良好な潤滑特性を付与するこ
とができ、また、前記ナフテン系オイル及びパラフィン
系オイルは、各種の化学剤との相溶性が低く、これらの
化学剤に接触したとしても流出したりすることが少ない
利点を有するものである。勿論、これらのオイルに代え
て通常使用されている潤滑油等を使用することもできる
These oils can be used in any of liquid, grease or wax forms. In addition, these fluorine-based oils and silicone-based oils are
Because they have excellent solvent resistance, chemical stability, and heat resistance, they can provide extremely good lubrication properties over a long period of time. It has the advantage that it has low compatibility and is unlikely to leak out even if it comes into contact with these chemical agents. Of course, a commonly used lubricating oil or the like may be used instead of these oils.

そして、これらの潤滑剤の充填率は、上述した開放気孔
100容植部に対して少なくとも10容積部充填したも
のが有利である。その理由は、潤滑剤の充填量が10容
積部より少ないと1本発明に係るコロガリ摺動部材の潤
滑特性を向上させることが困難だからである。
The filling rate of these lubricants is preferably at least 10 parts by volume per 100 open pores described above. The reason for this is that if the amount of lubricant filled is less than 10 parts by volume, it is difficult to improve the lubrication characteristics of the rolling sliding member according to the present invention.

前記セラミックス質多孔質体の開放気孔中に潤滑剤を充
填させる方法としては、前記潤滑剤が樹脂の場合には、
樹脂を加熱して溶融させて含浸させる方法、樹脂を溶剤
に溶解させて含浸する方法、樹脂を七ツマー状態で含浸
した後、ポリマーに添加する方法、あるいは微粒化した
樹脂を分散媒液中に分散し、この分散液を多孔質体に含
浸し、乾燥した後樹脂の溶融温度で樹脂を焼き付ける方
法が適用できる。
When the lubricant is a resin, the method for filling the open pores of the ceramic porous body with a lubricant includes:
A method of heating and melting the resin and impregnating it, a method of dissolving the resin in a solvent and impregnating it, a method of impregnating the resin in a 7-mer state and then adding it to the polymer, or a method of adding atomized resin to a dispersion medium solution. An applicable method is to disperse the resin, impregnate a porous body with this dispersion, dry it, and then bake the resin at the melting temperature of the resin.

また、前記潤滑剤がオイルの場合に、このオイルを前記
セラミックス質多孔質体の開放気孔中に充填させる方法
としては、加熱により低粘度化した潤滑剤中にセラミッ
クス質多孔賀体を浸漬し。
When the lubricant is oil, a method for filling the open pores of the porous ceramic body with the oil is to immerse the porous ceramic body in the lubricant whose viscosity has been reduced by heating.

真空または加圧下で含浸する方法など一般的な方法が適
用でき、る。
Common methods such as impregnation under vacuum or pressure can be applied.

次に、このセラミックス質複合体からなるコロガリ摺動
部材を製造する一般的な方法について以下に説明する。
Next, a general method for manufacturing a rolling sliding member made of this ceramic composite will be described below.

本発明に係るセラミックス質複合体からなるコロガリ摺
動部材は、出発原料であるセラミックス粉末を任意の形
状、例えば板状あるいはローラー状の生成形体に成型し
、この生成形体中に存在する気孔を閉塞させることなく
焼結してセラミックス多孔質体となし、次いで、このセ
ラミックス質多孔質体の開放気孔中に潤滑剤を充填する
ことによって製造することができる。
The rolling sliding member made of a ceramic composite according to the present invention is produced by molding ceramic powder as a starting material into an arbitrary shape, such as a plate or roller shape, and closing the pores present in the formed body. It can be manufactured by sintering the porous ceramic body without causing any oxidation, and then filling the open pores of the porous ceramic body with a lubricant.

前記出発原料であるセラミックス粉末は、平均粒径が5
0pm以下であることが好ましい。その理由は、平均粒
径が50gmより大きいセラミックス粉末を使用すると
、粒と粒との結合個所が少なくなるため、高強度の多孔
質体を製造することが困難になるばかりでなく、表面の
面精度が劣化するからであり、中でも20pm以下であ
ることが好ましい。
The ceramic powder that is the starting material has an average particle size of 5
It is preferably 0 pm or less. The reason for this is that when ceramic powder with an average particle size larger than 50gm is used, the number of bonding points between the particles decreases, which not only makes it difficult to produce a high-strength porous body, but also makes the surface rougher. This is because the accuracy deteriorates, and above all, it is preferably 20 pm or less.

前記セラミックス粉末を任意の形状の生成形体に成型し
、この生成形体中に存在する気孔を閉塞させることなく
焼結させる方法としては種々の方法が適用できるが2例
えばセラミックス粉末自体を常圧焼結あるいは加圧焼結
して自己結合させる方法、セラミックス粉末に反応によ
ってセラミックスを生成する物質を添加して反応焼結し
て結合させる方法、セラミックス粉末にガラスセメント
等の結合剤を配合して常圧焼結あるいは加圧焼結して結
合させる方法を適用するこができる。
Various methods can be applied to mold the ceramic powder into a formed body of any shape and sinter it without clogging the pores present in the formed body. Alternatively, there is a method of self-bonding by pressure sintering, a method of adding a substance that generates ceramics by reaction to ceramic powder and bonding by reaction sintering, or a method of blending a binder such as glass cement with ceramic powder to create a ceramic under normal pressure. A method of bonding by sintering or pressure sintering can be applied.

さらに、このコロガリ摺動部材を形成するためのセラミ
ックスとして、炭化珪素を選択した場合の方法について
具体的に説明する。
Furthermore, a method in which silicon carbide is selected as the ceramic for forming this rolling sliding member will be specifically explained.

すなわち、この炭化珪素を材料とする製造方法にあって
は、平均粒径がlOμmの炭化珪素粉末であってβ型結
晶の炭化珪素を少なくとも30%含有する炭化珪素粉末
を主体とする出発原料を所望の生成形体に成形した後、
非酸化性ガス雰囲気中で1700〜2100℃の範囲内
に加熱して焼成し、これによって形成された開放気孔中
に潤滑剤を前述した方法によりて充填することが有利で
ある。
That is, in this manufacturing method using silicon carbide as a material, a starting material mainly consisting of silicon carbide powder having an average particle size of 10 μm and containing at least 30% of β-type crystal silicon carbide is used. After forming into the desired product shape,
It is advantageous to heat and sinter the material in a non-oxidizing gas atmosphere to a temperature in the range of 1700 to 2100 DEG C., and fill the open pores thus formed with a lubricant by the method described above.

この方法において使用される炭化珪素粉末の平均粒径が
10Bm以下の微粉末である理由は、平均粒径が10g
m以下の粉末で成形された生成形体は粒子相互の接触点
が比較的多く、また炭化珪素粉末の焼成温度における熱
的活性が大であり、炭化珪素粒子間での原子の移動が著
しく大きいため、炭化珪素粒子相互の結合が極めて起り
やすいからである。従って、このような粒径の炭化珪素
粉末を使用すれば、比較的低密度でも高強度の焼結体を
得ることができるのである。特に、前記炭化珪素粉末の
平均粒径が5gm以下である場合により好適な結果が得
られる。
The reason why the silicon carbide powder used in this method is a fine powder with an average particle size of 10 Bm or less is that the average particle size is 10 g.
The formed body molded from powder with a particle size of less than This is because bonding between silicon carbide particles is extremely likely to occur. Therefore, if silicon carbide powder having such a particle size is used, a high-strength sintered body can be obtained even with a relatively low density. In particular, more suitable results can be obtained when the average particle size of the silicon carbide powder is 5 gm or less.

この方法において、前記炭化珪素粉末としてβ型結晶の
炭化珪素を少なくとも30%含有する炭化珪素粉末が使
用される理由は、β型結晶は比較的低温で合成される低
温安定型結晶であり、焼結に際して炭化珪素粒子相互の
結合が起りやすく、比較的低密度でも高強度の焼結体を
製造することができるからであり、なかでもβ型結晶を
50%以上含有する炭化珪素粉末である場合により好適
な結果が得られる。
In this method, the silicon carbide powder containing at least 30% of silicon carbide in the β-type crystal is used as the silicon carbide powder because the β-type crystal is a low-temperature stable crystal that is synthesized at a relatively low temperature. This is because the silicon carbide particles are easily bonded to each other during sintering, and a high-strength sintered body can be produced even with a relatively low density, especially when the silicon carbide powder contains 50% or more of β-type crystals. A more suitable result can be obtained.

この方法において、前記出発原料はホウ素、アルミニウ
ム、鉄、クロム、ランタン、チタン、イツトリウム、エ
ルビウムあるいはこれらの化合物から選択されるいずれ
か少なくとも1種を0.O1〜5.0重量%含有するも
のであることが有利である。その理由は、前記物質は炭
化珪素の焼結を促進させる作用を有するものであり、焼
結に際して炭化珪素粒子相互の結合を促進させるため高
強度の焼結体を製造することができるからであり、また
前記物質の含有量を0.01〜5.0重量%の範囲内と
することが有利である理由は、前記含有量が0.01重
量%よりも少ないと焼結に際して炭化珪素粒子相互の結
合を促進させる効果が少ないからであり、一方5.0重
量%よりも多いと前記物質の焼結体に含有される量が多
くなるため炭化珪素本来の特性が失われるからである。
In this method, the starting material contains at least one selected from boron, aluminum, iron, chromium, lanthanum, titanium, yttrium, erbium, or compounds thereof. Advantageously, it contains 1 to 5.0% by weight of O. The reason is that the substance has the effect of promoting sintering of silicon carbide, and it is possible to produce a high-strength sintered body because it promotes bonding between silicon carbide particles during sintering. The reason why it is advantageous to keep the content of the substance within the range of 0.01 to 5.0% by weight is that if the content is less than 0.01% by weight, silicon carbide particles will not interact with each other during sintering. This is because the effect of promoting the bonding of silicon carbide is small, and on the other hand, if it is more than 5.0% by weight, the amount of the substance contained in the sintered body increases and the original properties of silicon carbide are lost.

この方法においては焼成時に遊離カーボンを残す炭素源
を出発原料中に添加することがてきる。
In this method, a carbon source that leaves free carbon during calcination can be added to the starting material.

このような炭素源としては、焼結開始時に炭素の状態で
存在するものであれば使用することができ、例えばフェ
ノール樹脂、リグニンスルホン酸塩、ポリビニルアルコ
ール、コンスターチ、糖類、コールタールピッチ、アル
ギン酸塩のような各種有機物質あるいはカーボンブラッ
ク、アセチレンブラックのような熱分解炭素を増刊に使
用することができる。このような遊離カーボンは、前記
物質と同時に存在すると結晶の成長性を抑え、微細な気
孔を有する多孔質炭化珪素焼結体を得るのに効果かある
As such a carbon source, any carbon source that exists in the carbon state at the start of sintering can be used, such as phenolic resin, lignin sulfonate, polyvinyl alcohol, cornstarch, sugar, coal tar pitch, and alginate. Various organic materials such as carbon black, pyrolytic carbon such as acetylene black, etc. can be used in the supplement. When such free carbon exists simultaneously with the above substances, it suppresses crystal growth and is effective in obtaining a porous silicon carbide sintered body having fine pores.

また、前記遊離カーボンの含有量としては、出発原料1
00重量部に対し、5重量部以下であることが有利であ
る。その理由は、5重量部より多く添加してもその効果
は変わらず、逆に前記焼結体に残留する量が多くなり、
焼結体の強度が劣化するからである。
In addition, the content of free carbon is as follows: starting material 1
Advantageously, it is not more than 5 parts by weight relative to 00 parts by weight. The reason is that even if more than 5 parts by weight is added, the effect will not change, but on the contrary, the amount remaining in the sintered body will increase.
This is because the strength of the sintered body deteriorates.

前記方法によれば、前記出発原料を生成形体に成形した
後、非酸化性ガス雰囲気中で1700〜2100°Cの
範囲内に加熱して焼結することにより、密度が2.1〜
10 g/ crnjで強度が30Kgf/1g+”以
上の炭化珪素質焼結体を製造することができる。この焼
成温度を1700〜2100℃の範囲内とする理由は、
焼成温度が1700℃よりも低いと粒子相互の結合が不
充分で、高い強度を有する焼結体を得ることが困難であ
り、ztoo℃よりも高いと焼結体が緻密化し易く、多
孔質炭化珪素焼結体を得ることが困難だからである。
According to the method, the starting material is formed into a green body and then heated and sintered in a non-oxidizing gas atmosphere within the range of 1700 to 2100°C, so that the density is 2.1 to 2100°C.
At 10 g/crnj, it is possible to produce a silicon carbide sintered body with a strength of 30 Kgf/1 g+'' or more.The reason for setting the firing temperature in the range of 1700 to 2100°C is as follows.
If the firing temperature is lower than 1700°C, the bonding between particles is insufficient and it is difficult to obtain a sintered body with high strength. If the firing temperature is higher than ztoo°C, the sintered body tends to become dense and porous carbonization occurs. This is because it is difficult to obtain a silicon sintered body.

前記多孔質炭化珪素焼結体は密度が2.1〜3.0g/
 am’て強度か30 Kgf/12以上であることが
有利である。前記密度か2.1〜3.0 g/ crn
’の範囲内であることが有利である理由は、前記密度が
2.13/ crn’よりも小さい焼結体は炭化珪素粒
子相互の結合箇所か少ないため1本発明の目的とする3
0Kgf/am2以上の強度を有する焼結体となすこと
が困難であるからであり、一方3.0 g/ crn’
より大きい焼結体は合力される気孔のうち開放気孔の占
める割合が小さくなるからである。また、前記強度か3
0 Kgf/麿12以上であることが有利な理由は、前
記強度が30 Kgf/ms”より小さいと使用中に破
損し易く、実質的な使用に耐えないからであり、なかで
も40 Kgf/膳層2以上である場合により好適な結
果が得られる。な3、この方法における強度は平均曲げ
強度である。
The porous silicon carbide sintered body has a density of 2.1 to 3.0 g/
Advantageously, the strength is greater than or equal to 30 Kgf/12. The density is 2.1~3.0 g/crn
The reason why it is advantageous to be within the range of 2.13/crn' is because a sintered body with a density smaller than 2.13/crn' has fewer bonding points between silicon carbide particles.
This is because it is difficult to form a sintered body with a strength of 0 kgf/am2 or more, while 3.0 g/crn'
This is because the larger the sintered body, the smaller the proportion of open pores among the pores subjected to the resultant force. Also, the above strength is 3
The reason why it is advantageous for the strength to be 0 Kgf/12 or more is that if the strength is less than 30 Kgf/ms, it will easily break during use and cannot be used effectively. More suitable results can be obtained when the number of layers is 2 or more. 3. The strength in this method is the average bending strength.

次に、本発明に係るコロガリ附動部材を実施例によって
具体的に説明する。
Next, the rolling motion member according to the present invention will be specifically explained using examples.

(実施例) 実施例1 平均粒径が0.28μm、β型結晶の含有率が94.6
重量%の炭化珪素粉末100重量部に対し、炭化ホウ素
粉末1重量部、カーボンブラック粉末2重量部、ポリビ
ニールアルコール5重量部、水300重量部を配合し、
ボールミル中で5時間混合した後噴霧乾燥した。なお、
前記炭化珪素粉末は遊離を炭素0.29重量%、酸素を
0.17重量%、鉄な0.03重量%、アルミニウムを
0.03重量%を含有していた。
(Example) Example 1 Average particle size is 0.28 μm, β-type crystal content is 94.6
100 parts by weight of silicon carbide powder, 1 part by weight of boron carbide powder, 2 parts by weight of carbon black powder, 5 parts by weight of polyvinyl alcohol, and 300 parts by weight of water,
After mixing in a ball mill for 5 hours, it was spray dried. In addition,
The silicon carbide powder contained 0.29% by weight of free carbon, 0.17% by weight of oxygen, 0.03% by weight of iron, and 0.03% by weight of aluminum.

この乾燥物を適量採取して成形し、1900°Cのアル
ゴンガス雰囲気中で10分間保持して焼結体を得た。
An appropriate amount of this dried product was collected, molded, and held in an argon gas atmosphere at 1900°C for 10 minutes to obtain a sintered body.

得られた焼結体は密度が2.59g/cゴ、強度が45
Kgf/■層2で三次元的に均一に分散した微細な開放
気孔を有しており、その開放気孔率は約16容積%であ
った。
The obtained sintered body has a density of 2.59 g/c and a strength of 45
The Kgf/■ layer 2 had fine open pores uniformly dispersed three-dimensionally, and the open porosity was about 16% by volume.

次いで、この焼結体を二液性タイプのエポキシ樹脂に真
空下で浸填し含浸させた後、約150°Cの温度で硬化
させた。
Next, this sintered body was impregnated with a two-component type epoxy resin under vacuum, and then cured at a temperature of about 150°C.

この焼結体の開放気孔に占めるエポキシ樹脂の割合はほ
ぼ96容積%であった。
The proportion of the epoxy resin in the open pores of this sintered body was approximately 96% by volume.

この樹脂を充填した焼結体をダイヤモンドホイールで切
断加工したところ、従来の緻密質の炭化珪素質焼結体に
比較して極めて容易に切断することができ、しかもダイ
ヤモンドホイールの摩耗も極めて少なかワた。
When this resin-filled sintered body was cut with a diamond wheel, it was much easier to cut than the conventional dense silicon carbide sintered body, and the wear of the diamond wheel was also extremely low. I was.

実施例2 平均粒径が0.4gmのα型アルミナ粉末100重量部
に対し、ポリビニルアルコール2重量部、ポリエチレン
グリコール1重1部、ステアリン酸0.5重量部及び水
100重量部を配合して噴霧乾燥した。
Example 2 2 parts by weight of polyvinyl alcohol, 1 part by weight of polyethylene glycol, 0.5 parts by weight of stearic acid, and 100 parts by weight of water were mixed with 100 parts by weight of α-type alumina powder with an average particle size of 0.4 gm. Spray dried.

この乾!j!物を適量採取し、金属製押し型を用いて1
.5t/cm″の圧力で成型し、密度が2.3g / 
c try’ (59容積%)の生成形体を得た。
This dryness! j! Collect an appropriate amount of the material and use a metal press mold to
.. Molded at a pressure of 5t/cm'' and has a density of 2.3g/cm.
A product form of c try' (59% by volume) was obtained.

この生成形体をアルミナ製ルツボに挿入し、大気圧下の
空気中で焼成時に液相が5重量%以上生成しない温度域
であるところの1300°Cの温度で1時間焼成した。
This formed body was inserted into an alumina crucible and fired for 1 hour at 1300°C, which is a temperature range in which 5% by weight or more of a liquid phase is not produced during firing in air under atmospheric pressure.

得られた焼結体は結晶の平均粒径が2.4pmで三次元
網目構造で結合してSす、密度は2.3g / cmf
f、平1’7曲げ強度は6 、7 kgf/am2であ
った。
The obtained sintered body has an average crystal grain size of 2.4 pm, is bonded in a three-dimensional network structure, and has a density of 2.3 g/cmf.
f, flat 1'7 bending strength was 6.7 kgf/am2.

この焼結体をコロガリ摺動部材の形状に加工した後、平
均粒径が0.26gmのポリテトラフルオロエチレン微
粒子を分散させた懸濁木に真空下で9漬して含浸させた
後、380〜400℃の温度で燐青し、さらに表面仕上
を行ない複合体を得た。
After processing this sintered body into the shape of a rolling sliding member, it was impregnated with suspension wood in which polytetrafluoroethylene fine particles with an average particle size of 0.26 gm were dispersed by dipping in a vacuum for 9 hours, and then A composite was obtained by phosphorescence at a temperature of ~400°C and further surface finishing.

この複合体に充填されたポリテトラフルオロエチレンの
多孔質体の空隙に占める割合は約62容積%であった。
The proportion of the voids in the polytetrafluoroethylene porous material filled in this composite was about 62% by volume.

実施例3 実施例1及び実施例2の複合体の表面をさらに研府して
面粗度をo、isに仕上げた後、ステンレスm (SU
S304)に対する乾式摺動試験を500 m m /
 s e cの摺動速度で摺動させるリングオンリング
法でl Ok 1; f / c m ”の端面加重を
負荷して行なったところ、摩擦係数はいずれも0.16
S−0,23、また摩擦係数は3.7×10−4−膳/
km(に、f/麿麿2)以下てあり、極めて優れた摺動
特性を有していることが認められた。
Example 3 The surfaces of the composites of Examples 1 and 2 were further polished to a surface roughness of o and is, and then stainless steel m (SU
Dry sliding test for S304) at 500 mm/
When the ring-on-ring method was used to slide at a sliding speed of s e c and an end face load of l Ok 1; f / cm '' was applied, the friction coefficient was 0.16 in both
S-0,23, and the friction coefficient is 3.7×10-4-zen/
km (f/Maromaro 2) or less, and it was recognized that it had extremely excellent sliding properties.

実施例4 実施例1で作成した多孔質焼結体と同様にして製造した
焼結体を第1図及び第2図に示した如き形状のコロガリ
摺動部材に加工し、その表面の面粗度をO,tSまて仕
上げた6次いて、その開放気孔中へペルフルオロポリエ
ーテルを開放気孔に対して60容摂%含浸して、コロガ
リ摺動部材を製造した。
Example 4 A sintered body produced in the same manner as the porous sintered body produced in Example 1 was processed into a rolling sliding member having the shape shown in FIGS. 1 and 2, and the surface roughness was Next, the open pores were impregnated with perfluoropolyether in an amount of 60% by volume to produce a rolling sliding member.

このコロガリ摺動部材を第1図及び第2図に示した如き
機構の磁気記録装置に組み込み、極めて長期間の実用テ
ストを行なったが、摩耗粉等による磁気ディスクの汚染
は殆ど認められず、長期間極めて良好な摺動特性か発揮
された。
This rolling sliding member was incorporated into a magnetic recording device with the mechanism shown in Figs. 1 and 2, and practical tests were conducted for an extremely long period of time, but almost no contamination of the magnetic disk by wear particles was observed. Extremely good sliding properties were exhibited over a long period of time.

(発明の効果) 以上詳述した通り、磁気記録装置に使用される部品等と
して用いられる本発明に係るコロガリ摺動部材は、生成
形体中に存在する気孔を閉塞させることなく焼結するこ
とによって三次元網目構造の開放気室な具備せしめたセ
ラミックス質多孔質体を形成し、このセラミックス質多
孔質体の前記開放気孔中に潤滑剤を充填したことにその
特徴があり、これにより、緻密質のセラミックスに比し
て機械加工性に優れ、しかもセラミックスのその他の特
性をそのまま生かしたコロガリ摺動部材とすることがで
きた。
(Effects of the Invention) As detailed above, the rolling sliding member according to the present invention, which is used as a component used in a magnetic recording device, can be produced by sintering without clogging the pores present in the formed body. It is characterized by forming a ceramic porous body with open air chambers having a three-dimensional network structure, and filling the open pores of this ceramic porous body with a lubricant. It was possible to create a rolling sliding member that has superior machinability compared to other ceramics and also takes advantage of the other characteristics of ceramics.

なわち、本発明によれば、コロガリ摺動部材として必要
な非磁性体であること、及び耐摩耗性。
That is, according to the present invention, it is a non-magnetic material necessary for a rolling sliding member and has wear resistance.

耐酸化性、#食性等に優れていることは勿論のこと、剛
性・強度に優れ軽量化を図ることができて移動慣性を少
なくすることもできるコロガリ摺動部材を提供すること
ができる。しかも、この発明に係るコロガリ摺動部材は
、熱伝導率・熱膨張率が比較的良好で使用環境における
温度変化による影響を少なくすることができる。
It is possible to provide a rolling sliding member that not only has excellent oxidation resistance and corrosion resistance, but also has excellent rigidity and strength, can be lightweight, and can reduce movement inertia. Moreover, the rolling sliding member according to the present invention has relatively good thermal conductivity and coefficient of thermal expansion, and can reduce the influence of temperature changes in the usage environment.

また1本発明に係るコロガリ摺動部材はセラミックス質
多孔質体の開放気孔内に潤滑剤を充填したから、当該コ
ロガリ摺動部材を長期間使用しても、開放気孔内の樹脂
を順次表面へ漏出させることができる。これは、このコ
ロガリ摺動部材が、セラミックス質多孔質体により構成
したことによって錆の発生が全くないことから、その開
放気孔に目詰まりを発生することがなく、長期間に亙っ
て潤滑剤がその表面に漏れ出ることを可能にしているか
らである。従って、本発明に係るコロガリ摺動部材は、
長期間に亙って必要な潤滑特性に変化を来すことはなく
、またその摺動特性を初期の値に長期間保持することが
できるのである。
In addition, in the rolling sliding member according to the present invention, the open pores of the ceramic porous body are filled with lubricant, so even if the rolling sliding member is used for a long period of time, the resin in the open pores is gradually transferred to the surface. It can be leaked. This is due to the fact that this rolling sliding member is made of a porous ceramic material, so there is no rust at all, so there is no clogging of the open pores, and the lubricant remains stable for a long period of time. This is because it allows for leakage to the surface. Therefore, the rolling sliding member according to the present invention,
The necessary lubrication properties do not change over a long period of time, and the sliding properties can be maintained at their initial values for a long period of time.

さらに1本発明に係るコロガリ摺動部材は、上述したよ
うに潤滑特性に優れているから、比較的頻繁に始動・停
止が繰り返えさえながら層接し合うコロガリ摺動部材と
して最も好適なものとすることがてきるのである。
Furthermore, since the rolling sliding member according to the present invention has excellent lubrication properties as described above, it is most suitable as a rolling sliding member that can be started and stopped relatively frequently and has layers in contact with each other. There are things you can do.

なお1本発明に係るコロガリ摺動部材を炭化珪素によっ
て形成した場合には、当該コロガリ摺動部材を、優れた
耐酸化性・耐摩耗性を有し、低い熱膨張率のものでかつ
機械加工性に優れたものとすることができることは勿論
、その硬度において極めても高いものとすることができ
、しかも高いPV値の条件下で使用することのてきるも
のとすることができるのである。
Note that when the rolling sliding member according to the present invention is made of silicon carbide, the rolling sliding member has excellent oxidation resistance and abrasion resistance, has a low coefficient of thermal expansion, and can be machined. Not only can it be made to have excellent properties, it can also be made to have extremely high hardness, and moreover, it can be used under conditions of a high PV value.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の対象であるコロガリ摺動部財を採用し
た磁気記録装置の斜視図、第2図は第1図の縦断面図で
ある。
FIG. 1 is a perspective view of a magnetic recording device employing a rolling sliding member, which is the object of the present invention, and FIG. 2 is a longitudinal sectional view of FIG. 1.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、)生成形体中に存在する気孔を閉塞させることなく
焼結することによって三次元網目構造の開放気孔を具備
せしめたセラミックス質多孔質体からなるコロガリ摺動
部材であって、このコロガリ摺動部材の面粗度が0.8
S以下であり、かつこのコロガリ摺動部材の前記開放気
孔中に潤滑剤が充填されてなることを特徴とするセラミ
ックス質複合体からなる磁気記録装置用のコロガリ摺動
部材。 2、)前記セラミックス質多孔質体としては、Al_2
O_3、SiO_2、ZrO_2、SiC、TiC、T
aC、B_4C、WC、Cr_3C_2、Si_3N_
4、BN、TiN、AlN、TiB2、CrB_2ある
いはこれらの化合物から選択されるいずれか1種または
2種以上を主として含有する特許請求の範囲第1項に記
載の磁気記録装置用コロガリ摺動部材。 3、)前記セラミックス質多孔質体は、その多孔質体を
構成する結晶の平均粒径が50μm以下である特許請求
の範囲第1項または第2項に記載の磁気記録装置用コロ
ガリ摺動部材。 4、)前記セラミックス質多孔質体は、その開放気孔率
が5〜50容積%である特許請求の範囲第1項〜第3項
のいずれかに記載の磁気記録装置用コロガリ摺動部材。 5、)前記潤滑剤は、前記セラミックス質多孔質体の開
放気孔100容積部に対し、少なくとも、10容積部充
填されている特許請求の範囲第1項〜第4項のいずれか
に記載の磁気記録装置用コロガリ摺動部材。
[Scope of Claims] 1.) A rolling sliding member made of a ceramic porous body that is provided with open pores in a three-dimensional network structure by sintering the pores existing in the formed body without clogging them. Therefore, the surface roughness of this rolling sliding member is 0.8.
A rolling sliding member for a magnetic recording device made of a ceramic composite, characterized in that the rolling sliding member has a diameter of less than S, and the open pores of the rolling sliding member are filled with a lubricant. 2.) As the ceramic porous body, Al_2
O_3, SiO_2, ZrO_2, SiC, TiC, T
aC, B_4C, WC, Cr_3C_2, Si_3N_
4. The rolling sliding member for a magnetic recording device according to claim 1, which mainly contains one or more selected from 4, BN, TiN, AlN, TiB2, CrB_2, or compounds thereof. 3.) The rolling sliding member for a magnetic recording device according to claim 1 or 2, wherein the ceramic porous body has an average grain size of crystals constituting the porous body of 50 μm or less. . 4.) The rolling sliding member for a magnetic recording device according to any one of claims 1 to 3, wherein the ceramic porous body has an open porosity of 5 to 50% by volume. 5.) The magnetic material according to any one of claims 1 to 4, wherein the lubricant is filled in an amount of at least 10 parts by volume per 100 parts by volume of open pores of the ceramic porous body. Rolling sliding member for recording devices.
JP17026686A 1986-07-18 1986-07-18 Rolling slide member for magnetic recorder Pending JPS6326421A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17026686A JPS6326421A (en) 1986-07-18 1986-07-18 Rolling slide member for magnetic recorder

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17026686A JPS6326421A (en) 1986-07-18 1986-07-18 Rolling slide member for magnetic recorder

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6326421A true JPS6326421A (en) 1988-02-04

Family

ID=15901749

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP17026686A Pending JPS6326421A (en) 1986-07-18 1986-07-18 Rolling slide member for magnetic recorder

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6326421A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02278577A (en) * 1989-03-15 1990-11-14 Internatl Business Mach Corp <Ibm> Actuator of disc file
US5422322A (en) * 1993-02-10 1995-06-06 The Stackpole Corporation Dense, self-sintered silicon carbide/carbon-graphite composite and process for producing same

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4935482A (en) * 1972-08-08 1974-04-02

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4935482A (en) * 1972-08-08 1974-04-02

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02278577A (en) * 1989-03-15 1990-11-14 Internatl Business Mach Corp <Ibm> Actuator of disc file
US5422322A (en) * 1993-02-10 1995-06-06 The Stackpole Corporation Dense, self-sintered silicon carbide/carbon-graphite composite and process for producing same

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5735501B2 (en) Hard non-oxide or oxide ceramic / hard non-oxide or oxide ceramic composite hybrid seal parts
US6200526B1 (en) Method of controlling infiltration of complex-shaped ceramic-metal composite articles and the products produced thereby
US5672435A (en) Hard disk drive components and methods of making same
US6398991B1 (en) Processes for making a silicon carbide composition
JPS6326421A (en) Rolling slide member for magnetic recorder
JPS6237517A (en) Sliding member
JPS6263219A (en) Sliding member consisting of seramic compound material
JPH01145371A (en) Highly wear-resistant c-b4c-based sliding member
JP2752417B2 (en) Preparation of Alumina-Molybdenum Disulfide Composite
JP2665773B2 (en) Manufacturing method of sliding material
JPS62132785A (en) Precision standard part consisting of ceramic composite body
JP2543093B2 (en) Sliding parts for seals
JP2525161B2 (en) Glass-like carbon composite material and method for producing the same
JPS643951B2 (en)
JPH04293998A (en) Sliding member
JPS61281086A (en) Sliding material
JPS6227382A (en) Manufacture of porous silicon carbide sintered body
Dwivedi Friction and wear properties of a ceramic matrix composite produced by directed metal oxidation
JPS61251586A (en) Sliding material of ceramic composite body
JPH0867887A (en) Sliding member
JPH01320254A (en) Ceramic-carbon based composite material and its production
JPH0781645B2 (en) Valve body for valve
JP2598960B2 (en) Glassy carbon composite material, method for producing the same, and sliding contact part
JPH01300079A (en) Compressor vane
JPS5943222A (en) Wear-resisting oil impregnant material