JPS63256842A - パタ−ン認識装置 - Google Patents
パタ−ン認識装置Info
- Publication number
- JPS63256842A JPS63256842A JP9102287A JP9102287A JPS63256842A JP S63256842 A JPS63256842 A JP S63256842A JP 9102287 A JP9102287 A JP 9102287A JP 9102287 A JP9102287 A JP 9102287A JP S63256842 A JPS63256842 A JP S63256842A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measured
- photodetector
- pattern recognition
- pattern
- light
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- Pending
Links
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- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims abstract description 17
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 7
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- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract description 6
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Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はパターン認識装置に関し、特に被測定物を照明
する照明装置の劣化等に対処して常時適正なパターン認
識を行い得るパターン認識装置に関する。
する照明装置の劣化等に対処して常時適正なパターン認
識を行い得るパターン認識装置に関する。
電子デバイス等の製造や測定においては、デバイス表面
に形成された素子パターン等のパターンを認識すること
が要求されることが多い。従来この種のパターン認識に
際しては、被測定物を照明しながらこれを撮像装置で撮
像し、この撮像されたパターン像を２値化処理して被認
識部分と背景とを分離する方法が取られている。この際
、被認識部分と背景を効率よく分離し、背景がなるべく
１値化されるように盪像時の照明の光量および色調を調
整していた。
に形成された素子パターン等のパターンを認識すること
が要求されることが多い。従来この種のパターン認識に
際しては、被測定物を照明しながらこれを撮像装置で撮
像し、この撮像されたパターン像を２値化処理して被認
識部分と背景とを分離する方法が取られている。この際
、被認識部分と背景を効率よく分離し、背景がなるべく
１値化されるように盪像時の照明の光量および色調を調
整していた。
しかし、上述した従来のパターン認識装置においては、
照明装置の光源の劣化による光量１色調変化を検出する
手段は特別に設けられていないため、この劣化によって
背景の１値化を保持することができなくなり、この背景
に対する被認識部分の２値化に変動が生じてパターンの
誤認識を招くという問題が生じている。
照明装置の光源の劣化による光量１色調変化を検出する
手段は特別に設けられていないため、この劣化によって
背景の１値化を保持することができなくなり、この背景
に対する被認識部分の２値化に変動が生じてパターンの
誤認識を招くという問題が生じている。
本発明は照明装置の劣化に対応して背景及び被認識部分
を補正し、常に適正なパターン認識を可能とするパター
ン認識装置を提供することを目的としている。
を補正し、常に適正なパターン認識を可能とするパター
ン認識装置を提供することを目的としている。
本発明のパターン認識装置は、被測定物を照明装置によ
り照明しなから撮像装置により撮像し、この１最像信号
を２値化処理して被測定物のパターン認識を行うパター
ン認識装置において、被測定物の近傍に光検出器を配設
し、この光検出器の光量２色調等の検出信号に基づいて
照明装置をフィードパ・ツク制御し、被測定物における
背景を略一定状態に保持させる構成としている。
り照明しなから撮像装置により撮像し、この１最像信号
を２値化処理して被測定物のパターン認識を行うパター
ン認識装置において、被測定物の近傍に光検出器を配設
し、この光検出器の光量２色調等の検出信号に基づいて
照明装置をフィードパ・ツク制御し、被測定物における
背景を略一定状態に保持させる構成としている。
次に、本発明を図面を参照して説明する。
図は本発明の一実施例の全体構成図である。この図にお
いて、パターン認識される被測定物２はＸＹテーブルｌ
上に載置される。また、このＸＹテーブル１の一部、こ
こでは四隅部には光量や色調を検出する光検出器７を配
置している。この光検出器としては、フォトダイオード
等のような光−電気変換素子や、ＣｄＳ等のように光に
よって抵抗値或いは容量が変化される素子が用いられる
。
いて、パターン認識される被測定物２はＸＹテーブルｌ
上に載置される。また、このＸＹテーブル１の一部、こ
こでは四隅部には光量や色調を検出する光検出器７を配
置している。この光検出器としては、フォトダイオード
等のような光−電気変換素子や、ＣｄＳ等のように光に
よって抵抗値或いは容量が変化される素子が用いられる
。
一方、前記ＸＹテーブル１上には被測定物２に対応して
ＴＶカメラ等の撮像装置３と、ランプ等からなる複数個
の照明装置°６が配置され、照明装置６の照明によって
撮像装置３が被測定物２を撮像することができる。
ＴＶカメラ等の撮像装置３と、ランプ等からなる複数個
の照明装置°６が配置され、照明装置６の照明によって
撮像装置３が被測定物２を撮像することができる。
そして、前記撮像装置３は撮像したパターンを２値化処
理するパターン認識装置４に接続し、更にここから制御
装置５に接続している。同様に、前記照明装置６及び光
検出器７をパターン認識装置４に接続している。
理するパターン認識装置４に接続し、更にここから制御
装置５に接続している。同様に、前記照明装置６及び光
検出器７をパターン認識装置４に接続している。
このパターン認識装置によれば、被測定物２は照明装置
６にて照射されなから撮像装置３によりパターン撮像が
行われ、パターン認識装置４において撮像信号が２値化
され、パターン認識が行われる。このとき、光検出器７
により撮像時における光量９色調が検出され、この検出
信号がパターン認識装置にフィードバックすることによ
り、光量９色調の変化に追従してこれを補正し、パター
ン撮像時における条件を一定に保持することができる。
６にて照射されなから撮像装置３によりパターン撮像が
行われ、パターン認識装置４において撮像信号が２値化
され、パターン認識が行われる。このとき、光検出器７
により撮像時における光量９色調が検出され、この検出
信号がパターン認識装置にフィードバックすることによ
り、光量９色調の変化に追従してこれを補正し、パター
ン撮像時における条件を一定に保持することができる。
これにより、例えば照明装置６の経時劣化によって照明
光量や色調が変化しても、これをフィードバック制御に
よって自動的に補正でき、適正なパターン認識を実行で
きる。
光量や色調が変化しても、これをフィードバック制御に
よって自動的に補正でき、適正なパターン認識を実行で
きる。
また、この構成によれば、照明装置による光量。
色調を一定に保つだけでなく、被測定物の色調。
コントラストが相違する場合でも照明装置の光量。
色調を制御してこれに対応でき、色調、コントラストの
異なる被測定物２を連続的に照明を変化させて測定する
こともできる。
異なる被測定物２を連続的に照明を変化させて測定する
こともできる。
以上説明したように本発明は、被測定物の照明装置に対
応させて光検出器を設け、この光検出器の光量９色調等
の検出信号に基づいて照明装置をフィードバック制御し
、被測定物における背景を略一定状態に保持させている
ので、照明装置における光源の劣化や光源の色調の変化
に追従して、かつ色調及びコントラストの異なる被測定
物に対応して夫々適正なパターン認識を行うことができ
る効果がある。
応させて光検出器を設け、この光検出器の光量９色調等
の検出信号に基づいて照明装置をフィードバック制御し
、被測定物における背景を略一定状態に保持させている
ので、照明装置における光源の劣化や光源の色調の変化
に追従して、かつ色調及びコントラストの異なる被測定
物に対応して夫々適正なパターン認識を行うことができ
る効果がある。
図は本発明の一実施例の全体構成図である。
１・・・ＸＹテーブル、２・・・被測定物、３・・・描
像装置、４・・・パターン認識装置、５・・・制御装置
、６・・・照明装置、７・・・光検出器。
像装置、４・・・パターン認識装置、５・・・制御装置
、６・・・照明装置、７・・・光検出器。
Claims (1)
- （１）被測定物を照明装置により照明するとともに、こ
の被測定装置を撮像装置により撮像し、この撮像信号を
２値化処理して被測定物のパターン認識を行うパターン
認識装置において、前記被測定物の近傍に光検出器を配
設し、この光検出器の光量、色調等の検出信号に基づい
て前記照明装置をフィードバック制御するように構成し
たことを特徴とするパターン認識装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9102287A JPS63256842A (ja) | 1987-04-15 | 1987-04-15 | パタ−ン認識装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9102287A JPS63256842A (ja) | 1987-04-15 | 1987-04-15 | パタ−ン認識装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63256842A true JPS63256842A (ja) | 1988-10-24 |
Family
ID=14014915
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9102287A Pending JPS63256842A (ja) | 1987-04-15 | 1987-04-15 | パタ−ン認識装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63256842A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005121925A (ja) * | 2003-10-17 | 2005-05-12 | Jfe Steel Kk | 画像処理装置の異常の判定方法 |
-
1987
- 1987-04-15 JP JP9102287A patent/JPS63256842A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005121925A (ja) * | 2003-10-17 | 2005-05-12 | Jfe Steel Kk | 画像処理装置の異常の判定方法 |
| JP4649828B2 (ja) * | 2003-10-17 | 2011-03-16 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 画像処理装置の異常の判定方法 |
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