JPS63248450A

JPS63248450A - 均熱装置

Info

Publication number: JPS63248450A
Application number: JP62082655A
Authority: JP
Inventors: Isao Hishikari; 功菱刈; Mitsuo Ishige; 石毛　光雄
Original assignee: Chino Corp
Current assignee: Chino Corp
Priority date: 1987-04-02
Filing date: 1987-04-02
Publication date: 1988-10-14

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］この発明は、温度センサの校正、各種半導体素子等の試
験用素子の温度試験等に用いる均熱装置に関するもので
ある。

し従来の技術］従来、温度センサの校正には、電気炉、オイルバス、各
種半導体素子の試験には、恒温槽等が多く用いられ、同
時に多数のものの校正、試験が行われている。

［この発明が解決しようとする問題点］しかしながら、
電気炉、恒温槽等を用いると、どうしても大型なものと
なり、取り扱いが煩雑となり、試験・校正点数、設定温
度等にフレキシブルに対応しにくい問題点があった。

この発明の目的は、以上の点に鑑み、各種校正、試験に
好適な均熱装置を提供することである。

［問題点を解決するための手段］この発明は、灼熱ブロックに、加熱ヒータと冷媒通過手
段を設けるようにした均熱装置である。

［実施例］第１図、第２図は、この発明の一実施例を示す構成説明
図である。

図において、１は、たとえば円筒状のＡＩ等の均熱ブロ
ックで、周囲、底部に加熱ヒータ２を設け、その周囲に
、水、空気、油等の冷媒を流す冷媒通過手段３が設けら
れている。また、均熱ブロック１の上方から温度センサ
を挿入する複数の挿着孔４が設けられている。

つまり、均熱ブロック１の挿着孔４の中央に標準温度セ
ンサ、周囲に被校正温度センサを挿入し、加熱ヒータ２
を加熱するとともに、冷媒通過手段３に水、油等の冷媒
を流し、図示しない制御手段で加熱ヒータ２を制御し、
均熱ブロック１を所定の温度とする。この場合、温度検
出、制御用の温度センサは、適当な部位または挿着孔４
に設けるようにする。

また、第３図で示すように、均熱ブロック１の長さが十
分長い場合、均熱ブロック１の底部の加熱ヒータ２は除
き、周囲にのみ設けるようにしてもよい。

さらに、第４図で示すように、均熱ブロック１の周囲に
加熱ヒータ２を設け、中央部に冷媒通過手段３を設ける
ようにしてもよい。

また、第５図に示すように、均熱ブロック１の周囲に冷
媒通過手段３、中央部に加熱ヒータ２を設けるようにし
てもよい。

なお、第３図から第５図において、均熱ブロック１には
温度センサの挿着孔４が設けられており、図示しない制
御手段により加熱ヒータ２を制御し所定温度とされる。

このように熱伝導の良好な均熱ブロック１に加熱ヒータ
２、冷媒を通過させて冷却する冷媒通過手段３を設けて
いるので、全体として等温とされ、同時に多数のセンサ
、素子の校正、試験が高精度に低温度まで可能となる。

第６図は、この発明の他の一実施例を示す構成説明図で
ある。

図において、１は、平板状の均熱ブロックで、上部と下
部に水平方向に貫通された冷媒通過手段３が設けられ、
連結管３ａで連結され、この均熱ブロック１の裏面に加
熱ヒータが設けられ、さらに挿着孔４が均熱ブロック１
を貫通して複数個設けられている。

また、均熱ブロック１の表面に、たとえば内径を異にす
る各種挿着孔４０を有する補助均熱ブロック１ａが取り
付けられている。つまり、均熱ブロック１、補助均熱ブ
ロック１ａの挿着孔４．４０に試験用素子を位置させ、
冷媒通過手段３に冷媒を流し、加熱ヒータの加熱を図示
しない制御手段で行い、均熱ブロック１を所定温度とす
る。

また、平板状の均熱ユニット１に挿着孔を設けず、黒色
塗料を塗布し、放射温度計等で照準することにより校正
に使用できる。

また、試験素子の種類に応じた挿着孔を有する補助均熱
ブロック１ａを交換することにより、各種電子素子の温
度試験に用いることができる。

第７図は、冷媒通過手段３に水Ｗを流す場合の制御例で
、室温（約２５℃）に近い温度や、たとえば８０℃の所
定温度までは、バルブＶ１を開き、水Ｗを冷媒通過手段
３に流し、温度センサＳによる均熱ブロック１の温度Ｔ
と設定ｆａ　Ｔ　ｃとを制御手段Ｃで比較し、加熱ヒー
タ２の制御を行い均熱ブロック１を所定温度とする。第
７図で示すように温度センサＳの検出温度が所定の８０
℃を越えると、バルブｖ１を閉じ、バルブｖ２を開きエ
ア（空気）Ａを導入し、冷媒通過手段３から水分を除去
し、蒸発による事故等を防止する。

第９図は、本願発明の均熱ブロック１を含む均熱装置に
の冷媒通過手段３に油を流す場合の例で、ポンプＰによ
り均熱装置にと熱交換器Ｈとを油は循環するが、配管の
一部にベロー等の油の熱膨張を吸収する膨張吸収体Ｂを
設けるようにする。

［発明の効果〕以上述べたように、この発明は、均熱ブロックに、加熱
ヒータと冷媒通過手段を設けるようにしたので、簡単な
構成で高精度に低温度までの均熱装置が実現でき、各種
校正、試験に用いることができる。また、補助均熱ブロ
ックの交換により、点数、種別に容易に対応できる。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図、第３図、第４図、第５図、第６図、第
７図、第９図は、この発明の一実施例を示す構成説明図
、第８図は、動作説明図である。１・・・均熱ブロック、２・・・加熱ヒータ、３・・・
冷媒通過手段、４．４０・・・挿着孔、１ａ・・・補助
均熱ブロック、Ｂ・・・膨張吸収体

Claims

【特許請求の範囲】１、均熱ブロックと、この均熱ブロックに設けられた加
熱ヒータと、前記均熱ブロックに設けられた冷媒通過手
段とを備えたことを特徴とする均熱装置。２、前記均熱ブロックに、温度センサまたは試験用素子
等を挿入する挿着孔を設けたことを特徴とする特許請求
の範囲第１項記載の均熱装置。３、前記均熱ブロックに、各種挿着孔を有する補助均熱
ブロックを設けたことを特徴とする特許請求の範囲第１
項または第２項記載の均熱装置。４、前記均熱ブロックの温度が、所定温度以下では水、
所定温度以上では空気を冷媒通過手段に流すことを特徴
とする特許請求の範囲第１項から第３項記載の均熱装置
。５、前記冷媒通過手段に油を流す場合、配管の一部に膨
張吸収体を設けたことを特徴とする特許請求の範囲第１
項から第３項記載の均熱装置。