JPS6324126A - Photoelectric encoder - Google Patents
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- JPS6324126A JPS6324126A JP14907386A JP14907386A JPS6324126A JP S6324126 A JPS6324126 A JP S6324126A JP 14907386 A JP14907386 A JP 14907386A JP 14907386 A JP14907386 A JP 14907386A JP S6324126 A JPS6324126 A JP S6324126A
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Abstract
Description
相対変位する光学格子の重なり合いの繰返しによって生
じる光の明暗の故を光電索子によって検出し、該相対変
位の距離を測定できるようにした光電型エンコーダの改
良に関する。The present invention relates to an improvement in a photoelectric encoder that is capable of detecting the brightness and darkness of light caused by repeated overlapping of relatively displaced optical gratings using a photoelectric probe, and measuring the distance of the relative displacement.
上記のような光電型エンコーダは、例えば工作機械、測
定機等に取付けられて使用されるものであり、当然その
小型化及び（！！ ｆｆｉ化が要求されている。
このような小型化及び軽量化の要請に対して、本出願人
は、特公昭６０−１４２８７に開示されるように、照明
器を一体とした小型エンコーダを提案している。
この小をエンコーダは、第４図に示されるように、発光
ダイオード１から発光される光を凹面鏡状の反射膜２に
よって反則して、第１スケール３及び第２スケール４に
それぞれ設けられた光学格子５．６を照明し、受光素子
７に到達するようにしている。
ところで、上記のような反射膜２を用いた光電型エンコ
ーダにおいては、発光ダイオード１から射出された光が
、光学格子５．６の幅方向、即ち、目盛方向に拡散して
しまい、このため、光学格子５．６の重なり合いの繰返
しによる明暗によって受光素子７から１ｑられる信号の
立ち上がり及び立ち下がりが不明確となるという問題点
がある。
このように、照明光の拡散角が大きいと、第１スケール
３及び第２スケール４における光学格子５と光学格子６
の隙間即ち格子間隔Ｓを大きくυることができない。
例えば、ピッチが２０μｍの光学格子の場合にあっては
、格子間隔Ｓは１０μｍ程度以下としなければならず、
第１スケール３と第２スケール４の相対移動のためのガ
イド芸構の精度を相当程度高くしなければならず、これ
が製造コストを上昇させるという問題点がある。
ここで、球面状の反射膜２における該球面の近軸での焦
点距離を１１発光ダイオード１の発光部の幅をｄとする
と、拡散角は ｄ／ｆに比例する。
ここで、ｒは半径に比例し、拡散角の大きさはｒによる
影響が小さい。
即ち、照明光の拡散の主たる原因は発光ダイオード１に
おける発光部の幅ｄによるものである。
【発明が解決しようとする問題点］
これに対して、ｆを大きくするべく、反射膜２における
球の半径を大きくすることも考えられるが、これは、光
電型エンコーダを大型化してしまうという問題点がある
る。
又、ｄを小さくするべく、発光ダイオード１の発光部を
小さくすることも考えられるが、このようにづ−ると、
発光ダイオードの発光ｍが少なくなるという問題点があ
る。
（発明の目的１
この発明は上記従来の問題点に鑑みてなされたものであ
って、装置を大型化することなく、且つ、発光ダイオー
ドの十分な発光ｍを維持して、照明光の拡散による影響
を小さくした光電型エンコーダを提供することを目的と
する。
【問題点を解決するための手段１
この発明は、一定ピッチの光学格子からなる目盛が長手
方向に並列して形成された第１スケールに対し、第１ス
ケールに対して、前記長手方向に相対移動可能に配置さ
れ、且つ、面記第１スケールにおける光学格子と同一ピ
ッチの光学格子からなる目盛が形成され、該目盛が前記
第１スケールの目盛と対向するように配置された第２ス
ケールと、発光ダイオードを備え、前記対向して配置さ
れた第１及び第２スケールの光学格子を一方から照明す
る照明器と、１１１Ｊ記第１及び第２スケールの光学格
子を間に、前記照明器に対向して配置され、これら第１
及び第２スケールの光学格子を通過する、前記照明器か
らの光を受光する受光素子とを有してなる光電型エンコ
ーダにおいて、前記発光ダイオードを、スリット状の発
光部を備えると共に該スリットが前記光学格子と平行に
なるように配置して上記目的を）平成するものである。
又、ｉ’＋ｉＪ記発光ダイオードを、発光面にスリット
状の間口部を備えた金属膜を蒸着Ｊることにより前記ス
リット状の発光部を形成して上記目的を達成するもので
ある。
又、首記発光部のスリットの幅を１００μｍ以下とげる
ことにより上記目的を達成するものである。
更に又、前記照明器を、第２スケールの光学格子形成面
とは反対側の外側面に取付けられ、且つ、発光δ１１を
該外側面とは反対向きに配置された前記発光ダイオード
と、この発光ダイオードを囲んで配置された球面状反射
膜とを有して構成し、発光部からの光が前記球面状反射
膜で反射されてから、前記第２スケールの光学格子及び
第１スケールの光学格子を照明するようにして上記目的
を達成するものである。
【作用】
この発明において、発光ダイオードの発光部がスリット
状とされ、該スリットが光学格子と平行になるように配
置されているので、発光部から発光された光は、該スリ
ットの幅方向即ち光学格子の並設方向の拡散が少なく、
光学格子の高さ即ち目盛の幅方向にのみ拡散されるので
、受光素子によって受光される光の明暗の立ち上がり及
び立ち下がりが明瞭となり、測定粘度の低下がない。
。
従って、第１及び第２スケールにおける光学格子の間の
格子間隔を大きくしても、測定精度が低下されることが
ない。
又、発光ダイオードを小型化する必要がないので、十分
な照明光量を得ることができる。
更には、発光ダイオードを球面状の反ひ］膜で囲む場合
、該反射膜の半径を大ぎくする必要がない。
（実施例］
以下本発明の実施例を図面を参照して説明する。
この実施例は、第１図ないし第３図に示されるように、
一定ピッチの光学格子１０からなる目盛が長手方向に並
ｙ１シて形成された第１スケール１２と、この第１スケ
ール１２に対して、前記長手方向に相対移動可能に配置
され、且つ、前記第１スケール１２における光学格子１
０と同一ピッチの光学格子１４からなる目盛が形成され
、該目盛が前記第１スケール１２の目盛と対向するよう
に配置された第２スケール１６と、発光ダイオード１８
を備え、前記対向して配置された第１及び第２スケール
１２．１６の光学格子１０，１４を一方から照明する照
明器２０と、前記第１及び第２スケール１２．１６の光
学格子１０．１４を間に、前記照明器２０に対向して配
置され、これら第１及び第２スケールの光学格子１０，
１４を通過する、前記照明器２０からの光を受光する受
光索子２２と、を有ｌノでなる光電型エンコーダにおい
て、前記発光ダイオード１８をスリット状の発光部２４
を備え、且つ該スリットが前記光学格子１０．１４と平
行となるように配置したものである。
１１η記発光ダイオード１８は、第３図に示されるよう
に、発光部２６にスリット状の開口部を備えた金属膜２
８を蒸着することにより前記スリット状の発光部２４を
形成したものである。
この発光ダイオード１８は、Ｐ型ＧａＡｓ１８ＡとＮ型
ＧａＡｓ１８８を接合して形成したものであり、これら
は、−辺が４００μ田の正方形であって、前記スリット
状の発光部２４の形状は、幅Ｗ＝５Ｑμ、ｕ、長ざＬ＝
３５Ｃ１ｍであつで、Ｇａ Ａｓ填根板１８△１８Ｂの
対角線上に配置されている。
図の符号１８Ｃ１１８Ｄはリード線であって、一方のリ
ード線１８Ｃは電極を兼ねる金属膜２８に接続され、他
方のリード線１８Ｄは、金属膜２８と反対側の面に接続
されている。
前記第１スケール１２は、第２図に示されるように、光
電型エンコーダにおけるいわゆるメインスケールとされ
ている。
これに対して、第２スケール１６は、短く形成されてい
わゆるインデックススケールとされ、その光学格子１４
は、位相が９０度ずつずれている４個の光学格子１４Ａ
〜１４Ｄから形成されている。
これら４個の光学格子１４Ａ〜１４Ｄは、第１スケール
１２にａ−３ける光学格子１０と重なり合うことができ
る位置でブロック状、即ち円型に配置されている。
これに対して、＋ｉＧ記発光発光ダイオード１８そのス
リット状の発光部２４が４藺の光学格子１４Ａへ１４Ｄ
の中央位置で、これら光学格子１４Ａ〜１４Ｄと平行と
なるように配置ざｆｌている。
第２図の符号３０Ａ、３０Ｂは発光ダイオード１８に電
力を供給するために、第２スケール表面に形成された透
明尋電膜を示し、これら透明導電膜３０Ａ、３０Ｂは、
リード線３２Ａ、３２Ｂを介して電源３４に接続されて
いる。
前記照明器２０は、前記第２スケール１６の光学格子１
４形成而とは反対側の外側面１６Ａに取イ・」けられ、
且つ、１）ｊ記発光部２４を該外側面１６Δとは反対向
きに配置された、前記発光ダイオード１８と、この発光
ダイオード１８を囲んで配置された球面状反射膜３６と
、を有してなり、発光部２４からの光が前記球面状反射
膜３６で反射されてから、前記第２スケール１６の光学
格子１４及び第１スケール１２の光学格子１０を照明す
るようにされている。
前記球面状反！ｌ１ｌ−ｊ膜３６は、エポキシ系接着剤
を半球状の型を用いて半球面を有するレンズ３６Ａに形
成し、このレンズ３６Ａの半球面にアルミ蒸着をするこ
とによって半球状及銅膜３６を形成している。
又、前記受光索子２２は、前記４個の光学格子１４Ａ〜
１４．Ｄに対応して、４個の受光索子２２Δ〜２２Ｄか
ら構成されている。
・ 第１図の符号３８Ａ、３８Ｂは、４個の受光素子２
２Ａ〜２２Ｄにより得られた電気信号の差を演算して、
差動信号を得るための差演算器を示す。
上記実施例においては、光学格子１０及び１４のピッチ
を２０μ田とした場合、これら光学格子の間隔即ち格子
間隔Ｓを４０μ田程度とすることができた。
即ち、従来、光学格子のビツヂが２ｏμｍｌＵ合、格子
間隔Ｓは最大ｌＣ１ｍであったが、上記実施例の場合は
、従来と比較して格子間隔Ｓを４侶とすることができた
。
更に球面状反射膜３６の半径を従来と同一とした状態で
あっても、受光素子２２による受光光ｆｆ１３も従来と
比較して何ら減少されることなく、（ｑられた信号のＳ
Ｎ比は従来とほぼ同一であった。
なお上記実施例において、発光ダイオード１８を形成す
るＰ型Ｇａ Ａｓ １８Ａ及びＮ型ＱａΔ５１８Ｂは共
に正方形であるが、これは長方形であってもよい。
ただし、これらのＰ型及びＮ型基板を正方形にして、そ
の対角線上にスリット状の発光部２４を形成する場合は
、注入電流に対して発光動帯が高いという利点がある。
又、前記発光ダイオード１８はガリウム砒素の半導体基
板を利用するものであるが、これは、Ｇａ Ｐ、 Ｇａ
ＡλＡＳＷの他の半導体基板であってもよい。
更には、Ｐ型とＮ型の基板は、実施例と上下逆であって
もよく、又、これら基板の側面には黒色塗料を塗るよう
にしてもよい。
又、上記実施例は、第２スケール１６の光学格子１４が
９０度ずつ位相をずらした４個の光学格子１４Ａ〜１４
Ｄから構成されているが、本発明はこれに限定されるも
のでなく、例えばモアレ縞万式の場合には、第２スケー
ル１６の光学格子１４のピッチが第１スケール１２の光
学格子１０のピッチと略等しければ足り、更には、第２
スケールの光学格子を１個として、その位置により、位
相を９０度ずつ変えた信号を４［Ｊることがでさる。
更に又、上記実施例は、第１スケール１２及び第２スケ
ール１６がそれぞれ直線型のエンコーダであるが、本発
明はこれに限定されるものでなく、〇−タリーエンコー
ダにも当然適用され得るものである。
又、上記実施例は発光ダイオード１８からの５芒光を球
面状反射膜３６によって反射した後、光学格子１０及び
１４を照明するようにしたものであるが、本発明は、球
面状反射膜３６を設けることなく、発光ダイオード１８
からの発光によって、直接光学格子１０及び１４を照明
するようにしたものにも適用されるものである。
【発明の効果］
本発明は上記のように構成したので、発光ダイオードの
発光部を小型化することなく、第１及び第２スケールの
光学格子を照明する光の、光学格子の幅方向、即ち目盛
方向の拡散を抑制することができるという優れた効果を
有する。The photoelectric encoder described above is used by being attached to, for example, a machine tool, a measuring instrument, etc., and naturally there is a demand for its miniaturization and (!ffi). In response to the demand for a compact encoder, the present applicant has proposed a compact encoder integrated with an illuminator, as disclosed in Japanese Patent Publication No. 60-14287. In this way, the light emitted from the light emitting diode 1 is reflected by the concave mirror-like reflective film 2 to illuminate the optical gratings 5.6 provided on the first scale 3 and the second scale 4, respectively, and the light is reflected on the light receiving element 7. By the way, in the photoelectric encoder using the reflective film 2 as described above, the light emitted from the light emitting diode 1 is diffused in the width direction of the optical grating 5.6, that is, in the direction of the scale. Therefore, there is a problem that the rising and falling edges of the signal received from the light receiving element 7 are unclear due to the brightness and darkness caused by the repeated overlapping of the optical gratings 5.6. If the angle is large, the optical grating 5 and the optical grating 6 on the first scale 3 and the second scale 4
It is not possible to increase the gap, that is, the lattice spacing S, to a large value. For example, in the case of an optical grating with a pitch of 20 μm, the grating spacing S must be approximately 10 μm or less,
There is a problem in that the precision of the guide mechanism for the relative movement of the first scale 3 and the second scale 4 must be considerably high, which increases the manufacturing cost. Here, if the paraxial focal length of the spherical reflective film 2 is 11 and the width of the light emitting part of the light emitting diode 1 is d, then the diffusion angle is proportional to d/f. Here, r is proportional to the radius, and the size of the diffusion angle is less affected by r. That is, the main cause of the diffusion of illumination light is the width d of the light emitting portion of the light emitting diode 1. [Problems to be solved by the invention] On the other hand, it is possible to increase the radius of the sphere in the reflective film 2 in order to increase f, but this increases the size of the photoelectric encoder. There is a point. Also, in order to reduce d, it is possible to make the light emitting part of the light emitting diode 1 smaller, but based on this,
There is a problem that the light emission m of the light emitting diode decreases. (Objective of the Invention 1) This invention has been made in view of the above-mentioned conventional problems, and it is possible to maintain sufficient light emission m of the light emitting diode without increasing the size of the device, and to improve the efficiency of the illumination light by diffusing the illumination light. It is an object of the present invention to provide a photoelectric encoder with reduced influence. [Means for solving the problem 1] This invention provides a first encoder in which scales made of optical gratings with a constant pitch are formed in parallel in the longitudinal direction. A scale is formed with an optical grating that is disposed so as to be movable relative to the first scale in the longitudinal direction and has the same pitch as the optical grating in the in-plane first scale, and the scale is arranged to be movable relative to the first scale in the longitudinal direction. a second scale arranged to face the graduations of the first scale; an illuminator comprising a light emitting diode and illuminating the optical gratings of the first and second scales arranged facing each other from one side; a first and a second scale of optical gratings are disposed opposite the illuminator between them;
and a light-receiving element that receives light from the illuminator that passes through an optical grating of a second scale. The above object is achieved by arranging it parallel to the optical grating. Further, the above object is achieved by forming the slit-shaped light-emitting portion of the i'+iJ light-emitting diode by vapor-depositing a metal film having a slit-shaped opening on the light-emitting surface. Further, the above object is achieved by increasing the width of the slit of the light emitting portion to 100 μm or less. Furthermore, the illuminator is attached to an outer surface of the second scale opposite to the optical grating forming surface, and the light emitting diode is arranged to emit light δ11 in a direction opposite to the outer surface; and a spherical reflective film disposed surrounding the diode, and after the light from the light emitting section is reflected by the spherical reflective film, the optical grating of the second scale and the optical grating of the first scale are formed. The above objective is achieved by illuminating the area. [Operation] In this invention, the light emitting part of the light emitting diode is shaped like a slit, and the slit is arranged parallel to the optical grating, so that the light emitted from the light emitting part is directed in the width direction of the slit. There is less diffusion in the direction in which the optical gratings are arranged,
Since the light is diffused only in the height of the optical grating, that is, in the width direction of the scale, the rise and fall of the light and shade of the light received by the light receiving element are clear, and there is no decrease in the measured viscosity.
. Therefore, even if the grating spacing between the optical gratings on the first and second scales is increased, the measurement accuracy will not be reduced. Furthermore, since there is no need to downsize the light emitting diode, a sufficient amount of illumination light can be obtained. Furthermore, when the light emitting diode is surrounded by a spherical reflective film, there is no need to increase the radius of the reflective film. (Example) An example of the present invention will be described below with reference to the drawings. In this example, as shown in FIGS. 1 to 3,
a first scale 12 in which graduations made of optical gratings 10 with a constant pitch are formed in rows y1 in the longitudinal direction; Optical grating 1 at 1 scale 12
a second scale 16 formed with a scale consisting of an optical grating 14 having the same pitch as 0 and arranged so that the scale faces the scale of the first scale 12; and a light emitting diode 18.
an illuminator 20 for illuminating the optical gratings 10, 14 of the first and second scales 12.16 arranged oppositely from one side; 14, the first and second scale optical gratings 10,
In the photoelectric encoder, the light emitting diode 18 is connected to a slit-shaped light emitting section 24, and a light receiving cable 22 that receives light from the illuminator 20 passes through the light emitting section 24.
and is arranged so that the slit is parallel to the optical grating 10.14. As shown in FIG.
The slit-shaped light-emitting portion 24 is formed by vapor-depositing 8. This light emitting diode 18 is formed by bonding P-type GaAs 18A and N-type GaAs 188, and these are squares with a negative side of 400 μm, and the shape of the slit-shaped light emitting portion 24 has a width W =5Qμ, u, length L=
It has a diameter of 35C1m and is arranged on a diagonal line of the GaAs filler plate 18Δ18B. Reference numerals 18C and 118D in the figure are lead wires, one lead wire 18C is connected to the metal film 28 which also serves as an electrode, and the other lead wire 18D is connected to the surface opposite to the metal film 28. As shown in FIG. 2, the first scale 12 is a so-called main scale in a photoelectric encoder. On the other hand, the second scale 16 is formed short and is a so-called index scale, and its optical grating 14
are four optical gratings 14A whose phases are shifted by 90 degrees.
~14D. These four optical gratings 14A to 14D are arranged in a block shape, that is, in a circular shape, at positions where they can overlap with the optical grating 10 at a-3 on the first scale 12. On the other hand, the slit-shaped light emitting portion 24 of the +iG light emitting diode 18 connects to the four optical gratings 14A and 14D.
The optical gratings 14A to 14D are arranged parallel to each other at the center of the optical gratings 14A to 14D. Reference numerals 30A and 30B in FIG. 2 indicate transparent conductive films formed on the surface of the second scale in order to supply power to the light emitting diode 18, and these transparent conductive films 30A and 30B are
It is connected to a power source 34 via lead wires 32A and 32B. The illuminator 20 includes an optical grating 1 of the second scale 16.
It is taken on the outer surface 16A on the opposite side from the 4-forming structure,
and 1) j-th light emitting portion 24 includes the light emitting diode 18 disposed in a direction opposite to the outer surface 16Δ, and a spherical reflective film 36 disposed surrounding the light emitting diode 18. After the light from the light emitting section 24 is reflected by the spherical reflective film 36, the optical grating 14 of the second scale 16 and the optical grating 10 of the first scale 12 are illuminated. Said spherical anti! The l1l-j film 36 is formed by applying an epoxy adhesive to a lens 36A having a hemispherical surface using a hemispherical mold, and depositing aluminum on the hemispherical surface of this lens 36A to form a hemispherical copper film 36. are doing. Further, the light receiving cable 22 is connected to the four optical gratings 14A to 14A.
14. Corresponding to D, it is composed of four light receiving cables 22Δ to 22D.・Symbols 38A and 38B in FIG. 1 indicate four light receiving elements 2.
Calculate the difference between the electrical signals obtained by 2A to 22D,
A difference calculator for obtaining differential signals is shown. In the above embodiment, when the pitch of the optical gratings 10 and 14 was set to 20 μm, the interval between these optical gratings, that is, the grating interval S, could be set to about 40 μm. That is, conventionally, the bits of the optical grating were 2 μm lU, and the grating spacing S was at most lC1 m, but in the case of the above embodiment, the grating spacing S could be set to 4 bits compared to the conventional example. Furthermore, even if the radius of the spherical reflective film 36 is the same as before, the light received by the light-receiving element 22 ff13 is not reduced in any way compared to the conventional case;
The N ratio was almost the same as before. In the above embodiment, both the P-type GaAs 18A and the N-type QaΔ518B forming the light emitting diode 18 are square, but they may be rectangular. However, when these P-type and N-type substrates are made into squares and the slit-shaped light emitting portions 24 are formed on the diagonals thereof, there is an advantage that the light emission band is high with respect to the injection current. Further, the light emitting diode 18 uses a semiconductor substrate of gallium arsenide, which is made of GaP, Ga
A semiconductor substrate other than AλASW may be used. Furthermore, the P-type and N-type substrates may be upside down compared to the embodiment, and the sides of these substrates may be coated with black paint. Further, in the above embodiment, the optical grating 14 of the second scale 16 has four optical gratings 14A to 14 whose phases are shifted by 90 degrees.
D, but the present invention is not limited to this. For example, in the case of Moire fringe pattern, the pitch of the optical grating 14 of the second scale 16 is the same as that of the optical grating 10 of the first scale 12. It is sufficient that it is approximately equal to the pitch, and furthermore, the second
With one scale optical grating, depending on its position, it is possible to generate 4[J] signals with the phase changed by 90 degrees. Furthermore, in the above embodiment, the first scale 12 and the second scale 16 are linear encoders, but the present invention is not limited to this, and can naturally be applied to a 〇-tally encoder. It is. Further, in the above embodiment, the optical gratings 10 and 14 are illuminated after the five-ray light emitted from the light emitting diode 18 is reflected by the spherical reflective film 36. light emitting diode 18 without providing
The present invention is also applicable to an arrangement in which the optical gratings 10 and 14 are directly illuminated by the light emitted from the light source. Effects of the Invention Since the present invention is configured as described above, the light illuminating the first and second scale optical gratings can be directed in the width direction of the optical gratings without downsizing the light emitting part of the light emitting diode. It has an excellent effect of suppressing diffusion in the direction of the scale.
第１図は本発明に係る光電型エンコーダの実施例を示ず
一部ブロック図を含む断面図、第２図は第１図のＩＩ−
ＩＩ線に沿う断面図、第３図は同実施例における発光ダ
イオードを拡大して示す斜視図、第４図は従来の光電型
エンコーダを示す断面図である。
１０・・・光学格子、 １２・・・第１スケール、
１４・・・光学格子、 １６・・・第２スケール、
１６Ａ・・・外側面、 １８・・・発光ダイオード
、２０・・・照明器、 ２２・・・受光索子、２
４・・・発光部、 ２６・・・発光面、２８・・
・金属膜、 ３６・・・球面状反射膜。FIG. 1 is a cross-sectional view that does not show an embodiment of a photoelectric encoder according to the present invention but includes a partial block diagram, and FIG.
3 is an enlarged perspective view showing the light emitting diode in the same embodiment, and FIG. 4 is a sectional view showing a conventional photoelectric encoder. 10... Optical grating, 12... First scale,
14... Optical grating, 16... Second scale,
16A...Outer surface, 18...Light emitting diode, 20...Illuminator, 22...Light receiving cord, 2
4... Light emitting part, 26... Light emitting surface, 28...
- Metal film, 36... Spherical reflective film.
Claims (4)
並列して形成された第１スケールと、この第１スケール
に対して、前記長手方向に相対移動可能に配置され、且
つ、前記第１スケールにおける光学格子と同一ピッチの
光学格子からなる目盛が形成され、該目盛が前記第１ス
ケールの目盛と対向するように配置された第２スケール
と、発光ダイオードを備え、前記対向して配置された第
１及び第２スケールの光学格子を一方から照明する照明
器と、 前記第１及び第２スケールの光学格子を間に、前記照明
器に対向して配置され、これら第１及び第２スケールの
光学格子を通過する、前記照明器からの光を受光する受
光素子と、 を有してなる光電型エンコーダにおいて、 前記発光ダイオードはスリット状の発光部を備えると共
に、該スリットが前記光学格子と平行になるように配置
されてなる光電型エンコーダ。(1) a first scale in which graduations made of optical gratings with a constant pitch are formed in parallel in the longitudinal direction; and the first scale is arranged so as to be movable relative to the first scale in the longitudinal direction A second scale is formed with an optical grating having the same pitch as the optical grating on the scale, and the second scale is arranged to face the scale of the first scale, and a light emitting diode is provided, and the scale is arranged to face the first scale. an illuminator that illuminates the optical gratings of the first and second scales from one side; and an illuminator that is arranged opposite to the illuminator with the optical gratings of the first and second scales in between; a light-receiving element that receives light from the illuminator that passes through an optical grating, wherein the light-emitting diode includes a slit-shaped light emitting part, and the slit is connected to the optical grating. A photoelectric encoder arranged in parallel.
口部を備えた金属膜を蒸着することにより前記スリット
状の発光部が形成されてなる特許請求の範囲第１項記載
の光電型エンコーダ。(2) The photoelectric encoder according to claim 1, wherein the light emitting diode has the slit-shaped light emitting portion formed by depositing a metal film having a slit-shaped opening on the light emitting surface.
てなる特許請求の範囲第１項又は第２項記載の光電型エ
ンコーダ。(3) The photoelectric encoder according to claim 1 or 2, wherein the width of the slit of the light emitting section is 100 μm or less.
面とは反対側の外側面に取付けられ、且つ、前記発光部
を該外側面とは反対向きに配置された前記発光ダイオー
ドと、この発光ダイオードを囲んで配置された球面状反
射膜と、を有してなり、発光部からの光が前記球面状反
射膜で反射されてから、前記第２スケールの光学格子及
び第１スケールの光学格子を照明するようにされた特許
請求の範囲第１項又は第２項記載の光電型エンコーダ。(4) the illuminator is attached to an outer surface of the second scale opposite to the optical grating forming surface, and the light emitting diode is arranged with the light emitting part facing opposite to the outer surface; a spherical reflective film disposed surrounding the light emitting diode, and after the light from the light emitting part is reflected by the spherical reflective film, the optical grating of the second scale and the first scale A photoelectric encoder according to claim 1 or 2, which is adapted to illuminate an optical grating.
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14907386A JPS6324126A (en) | 1986-06-25 | 1986-06-25 | Photoelectric encoder |
| GB8719127A GB2194635B (en) | 1986-03-14 | 1987-03-12 | Photoelectric type displacement detecting instrument |
| DE19873790038 DE3790038T1 (en) | 1986-03-14 | 1987-03-12 | |
| PCT/JP1987/000154 WO1987005693A1 (en) | 1986-03-14 | 1987-03-12 | Photoelectric displacement detector |
| US07/086,627 US4840488A (en) | 1986-03-14 | 1987-03-12 | Photoelectric type displacement detecting instrument |
| GB9005628A GB2229813B (en) | 1986-03-14 | 1990-03-13 | Photoelectric type displacement detecting instrument |
| GB9005627A GB2229812B (en) | 1986-03-14 | 1990-03-13 | Photoelectric type displacement detecting instrument |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14907386A JPS6324126A (en) | 1986-06-25 | 1986-06-25 | Photoelectric encoder |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6324126A true JPS6324126A (en) | 1988-02-01 |
| JPH0411809B2 JPH0411809B2 (en) | 1992-03-02 |
Family
ID=15467098
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14907386A Granted JPS6324126A (en) | 1986-03-14 | 1986-06-25 | Photoelectric encoder |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6324126A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1991003711A1 (en) * | 1989-09-05 | 1991-03-21 | Mitutoyo Corporation | Photoelectric encoder |
| JP2002081964A (en) * | 2000-06-21 | 2002-03-22 | Mitsutoyo Corp | Optical encoder |
-
1986
- 1986-06-25 JP JP14907386A patent/JPS6324126A/en active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1991003711A1 (en) * | 1989-09-05 | 1991-03-21 | Mitutoyo Corporation | Photoelectric encoder |
| JPH0392716A (en) * | 1989-09-05 | 1991-04-17 | Mitsutoyo Corp | Photoelectric encoder |
| GB2243684A (en) * | 1989-09-05 | 1991-11-06 | Mitutoyo Corp | Photoelectric encoder |
| JP2002081964A (en) * | 2000-06-21 | 2002-03-22 | Mitsutoyo Corp | Optical encoder |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0411809B2 (en) | 1992-03-02 |
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