JPS63227097A - Method of thick film through-hole land - Google Patents

Method of thick film through-hole land

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JPS63227097A
JPS63227097A JP6182987A JP6182987A JPS63227097A JP S63227097 A JPS63227097 A JP S63227097A JP 6182987 A JP6182987 A JP 6182987A JP 6182987 A JP6182987 A JP 6182987A JP S63227097 A JPS63227097 A JP S63227097A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
hole
land
thick film
mask
point
Prior art date
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Pending
Application number
JP6182987A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
村瀬 博士
野田 昭夫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP6182987A priority Critical patent/JPS63227097A/en
Publication of JPS63227097A publication Critical patent/JPS63227097A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 〔1既  要〕 本発明はセラミック基板を用いた厚膜混成集積回路のス
ルーホール接続用のランドの形状に関し、基板の寸法基
準点からのスルーホールの位置に比例して、形を伸張さ
せたランドを設ける形成方法で、これにより、セラミッ
クの焼成で生じるスルーホールの位置ズレに、マスクに
より印刷されるランドの位置を合わせていたのが解消さ
れ、マスクは1種で済み、マスクの合わせ作業の能率も
向上させることが出来る。
[Detailed Description of the Invention] [1 Summary] The present invention relates to the shape of a land for through-hole connection in a thick film hybrid integrated circuit using a ceramic substrate, and the shape is proportional to the position of the through-hole from the dimensional reference point of the substrate. This method eliminates the problem of aligning the printed land with a mask to the misalignment of the through hole caused by firing the ceramic. This can improve the efficiency of mask fitting work.

〔産業上の利用分野〕[Industrial application field]

本発明はセラミンク基板を用いた厚膜混成集積回路に係
り、スルーホール接続用のランドとスルーホールとの位
置ズレを解消する厚膜スルーホールランドの形成方法に
関す。
The present invention relates to a thick film hybrid integrated circuit using a ceramic substrate, and relates to a method for forming a thick film through-hole land that eliminates misalignment between a through-hole connecting land and a through-hole.

セラミック基板を用いた厚膜混成集積回路でのスルーホ
ールの作成は、先づ、焼成前のセラミック基板の所定位
置にスルーホールの穴明けを行ってから焼成する、次に
、この基板面にインク状ペーストをマスクを使って回路
パターンに印刷、スルーホールの大面も行き亙らせてか
ら、焼付けて厚膜導体を形成させる方法が一般に採られ
ている。
To create through holes in thick film hybrid integrated circuits using ceramic substrates, first drill through holes at predetermined positions on the ceramic substrate before firing, then bake them.Next, ink is applied to the surface of this substrate. A commonly used method is to print a paste onto a circuit pattern using a mask, spread it over the large surface of the through hole, and then bake it to form a thick film conductor.

ここで、スルーホールはセラミックの焼成により寸法収
縮を起こし、特に、位置関係のズレが大きく生じる。
Here, the dimensions of the through holes shrink due to firing of the ceramic, and in particular, large deviations in positional relationship occur.

また、このズレの量はロットによりバラツク。Also, the amount of this deviation varies depending on the lot.

このスルーホールの穴位置ズレは、後工程の接続ランド
のパターン成形に影響を与え、これを如何に弊害を少な
く処理するかが、コスト的にも大きな問題となって来て
いる。
This hole position shift of the through hole affects the pattern formation of the connection land in the subsequent process, and how to deal with this problem with less adverse effects has become a big problem in terms of cost.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

セラミック基板を用いた厚膜混成集積回路に生じる、ス
ルーホールの穴位置公差は、基板の寸法基準点からの距
離に比例して大きくなり、従来の一例ではロフトのバラ
ツキも含んで、約±1%であり、方向性は無かった。
The hole position tolerance of through holes that occurs in thick film hybrid integrated circuits using ceramic substrates increases in proportion to the distance from the substrate's dimensional reference point, and in one conventional example, including loft variations, it is approximately ±1. %, and there was no direction.

一方、厚is体作成用のマスクの寸法公差は、上記の公
差に比べ1損少ない程度である。
On the other hand, the dimensional tolerance of the mask for producing a thick IS body is about one loss less than the above tolerance.

従って、このままでは基板サイズが大きなもの程、スル
ーホールの穴と接続ランドとがズして形成され、酷くは
穴が接続ランドからはみ出てしまう。
Therefore, as it is, the larger the board size, the more the through-hole and the connection land are formed, and in the worst case, the hole protrudes from the connection land.

このため、従来の一例として、同一回路パターンに対し
て、縦横寸法を一律に穴位置公差内で変えた、゛数種の
マスクを用意しておき、基板に合わせて穴位置のズレに
見合ったマスクを選択してから印刷作業を行うことで、
解決していた。
For this reason, as an example of the conventional method, several types of masks are prepared for the same circuit pattern, with the vertical and horizontal dimensions uniformly changed within the hole position tolerance, and the mask is adjusted to match the hole position deviation according to the board. By selecting a mask and then printing,
It had been resolved.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

このため、 (1)同一回路パターン用に、微小に寸法を伸縮させた
数種のマスクを作成、用意する必要があった。
For this reason, (1) it was necessary to create and prepare several types of masks with slightly expanded and contracted dimensions for the same circuit pattern;

(2)また、印刷作業も、先づ基板にマスクを合わせ、
穴とパターンのズレがはみ出ない最適マスクを選別して
から、印刷作業を行わなければならなかった。
(2) Also, in printing work, first align the mask with the substrate,
The printing process had to be carried out after selecting the optimal mask that would prevent the holes and patterns from protruding.

等の問題点があった。There were problems such as.

本発明は上記問題点の解消を目的とし、スルーホールの
位置ズレの弊害を、無駄なく能率のよい作業で解決させ
る、新方法を提供するものである。
The present invention aims to solve the above-mentioned problems and provides a new method for solving the problem of misalignment of through-holes with efficient work without waste.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

第1図の本発明の原理図に示す如く、 セラミック基板1を用いた厚膜混成集積回路で、スルー
ホール2接続を行うスルーホールランド3の形成におい
て、基板1の寸法基準点Aからスルーホール2までの位
置に比例して、スルーホールランド3の形を伸張させて
設ける、本発明の厚膜スルーホールランドの形成方法に
より解決される。
As shown in the principle diagram of the present invention in FIG. 1, in forming a through hole land 3 for connecting through holes 2 in a thick film hybrid integrated circuit using a ceramic substrate 1, the through hole is This problem is solved by the method of forming a thick film through-hole land of the present invention, in which the shape of the through-hole land 3 is expanded in proportion to the position up to 2.

〔作 用〕[For production]

即ち、基板の寸法基準点からスルーホールの穴までの位
置に比例して、穴位置のズレは大きくなるので、これに
見合って、スルーホールランドの形を伸張させて設けれ
ば、穴がランドからはみ出ることはなくなり、解決され
る。
In other words, the deviation in hole position increases in proportion to the position from the dimensional reference point of the board to the through-hole hole, so if the shape of the through-hole land is expanded accordingly, the hole becomes a land. It no longer sticks out and is resolved.

第1図の如く、基板lの寸法基準点Aを通る直線上のA
点、B点(A−Bの距離Lb)、および0点(A−Cの
距離Lc)にスルーホール2(穴径d、ランド径D)を
設ける場合、スルーホールランド3はマスクにより精度
良く印刷されるが゛、スルーホール2の穴は、セラミッ
クの焼成により縮小し、設計位置に対し±α%内にバラ
ツクものとすれば、各点での穴のズレは、 δb=±α・Lb  ・・・・・・B点δC=±α・L
c  ・・・・・・0点ここで、B点では穴がランドに
内接し、0点ではランド外にはみ出ており、 D=d+2δb  、°ルb=  (D−d)/2αD
<d+2δc  、°ルc>(D−d)/2α従って、
基準点Aからの距離りが、 L≦(D−d)/2α であれば、穴はランド外にはみ出ることはない。
As shown in Figure 1, A on the straight line passing through the dimension reference point A of the substrate l.
When providing through-holes 2 (hole diameter d, land diameter D) at point B, point B (distance Lb from A-B), and point 0 (distance Lc from A-C), through-hole land 3 can be formed with high accuracy using a mask. However, if the hole of through hole 2 is reduced by firing the ceramic and varies within ±α% with respect to the designed position, the hole misalignment at each point is δb = ±α・Lb・・・・・・Point B δC=±α・L
c ・・・・・・0 point Here, at point B, the hole is inscribed in the land, and at point 0, it protrudes outside the land, D=d+2δb,°b=(D-d)/2αD
<d+2δc, °c>(D-d)/2α Therefore,
If the distance from the reference point A is L≦(D-d)/2α, the hole will not protrude outside the land.

しかし、ランド径りを距離りに比例して変えて、D≧a
+2α・L 即ち、長径 D=Do+2α・L 短径 Do  (DoはA点でのD) とした長円ランド31とすれば、はみ出ることなく、且
つ(Do−d)の最低肉付けがなされる。
However, by changing the land radius in proportion to the distance, D≧a
+2α·L That is, if the long axis D=Do+2α·L and the short axis Do (Do is D at point A) are used as the oval land 31, the land will not protrude and the minimum thickness of (Do-d) will be achieved.

第1図は原理図で、−軸方向のズレについてのみ説明し
たが、直交二輪の平面に対しては、各軸成分の合成処理
で同様に出来る。
FIG. 1 is a diagram showing the principle, and only the deviation in the -axis direction has been explained, but the same can be done for the plane of two orthogonal wheels by combining each axis component.

か(して、スルーホールランドの形状を、寸法基準点か
らの位置に比例して、形を伸張させて、設けたマスクを
回路パターンに対して1種のみ作成し、このマスクを基
板の寸法基準点に合わせるのみで印刷作業が行え、問題
点は解決される。
(Then, the shape of the through-hole land is expanded in proportion to the position from the dimension reference point, and only one type of mask is created for the circuit pattern, and this mask is adjusted to the dimensions of the board. Printing can be done simply by aligning with the reference point, which solves the problem.

〔実施例〕〔Example〕

以下図面に示す実施例によって本発明を具体的に説明す
る。
The present invention will be specifically described below with reference to embodiments shown in the drawings.

全図を通し同一符合は同一対称物を示す。The same reference numerals indicate the same objects throughout the figures.

第2図に本発明の一実施例を示す。FIG. 2 shows an embodiment of the present invention.

長方形のセラミック基板1)に、スルーホール21゜2
2・・・29が設けられ、夫々に対応して、ランド31
゜32・・・39が設けられ、回路パターン部分を省略
して、第2図に示す如く、配設しである。
A through hole 21゜2 in a rectangular ceramic substrate 1)
2...29 are provided, and a land 31 is provided corresponding to each land.
32...39 are provided, and the arrangement is as shown in FIG. 2, with the circuit pattern portion omitted.

寸法基準点Aは基板1)の角部で、更に、−辺Xが基準
線になっている。
The dimension reference point A is the corner of the substrate 1), and the -side X is the reference line.

各スル−ホール21,22.・・・29はX辺と平行な
距離Lyl、 Ly2. Ly3の3行と、これに直交
するY辺と平行なLxl、Lx2.Lx3の3列の交点
に設けである。
Each through-hole 21, 22. ...29 is the distance Lyl parallel to the X side, Ly2. Three rows of Ly3 and Lxl, Lx2, which are parallel to the Y side orthogonal to this. It is provided at the intersection of three columns of Lx3.

全スルーホールの穴径はdで設けてあり、A点に最も近
いスルーホール21はランド径Doの円形としである。
The hole diameter of all the through holes is d, and the through hole 21 closest to point A is circular with a land diameter Do.

この基板1)の焼成による縮小率は無方向性で一律±α
%である。
The reduction rate of this substrate 1) by firing is non-directional and uniformly ±α
%.

従って、基準点Aからの位置がX、Yのスルーホールの
穴位置のズレδX、δyは、 δX=α・X δy=α・Y これを、スルーホール21を基準に置換すれば、δxO
=δX−δxl=α(X −Lxl )δyo”δy−
δyi=α(Y −Lyl )となり、このズレ分をラ
ンド径Doに加えて、比例伸張させれば、はみ出ること
はなくなる。
Therefore, the deviations δX and δy of the hole positions of the through holes at positions X and Y from the reference point A are: δX=α・X δy=α・Y If this is replaced with the through hole 21 as the reference, δxO
=δX−δxl=α(X−Lxl)δyo”δy−
δyi=α(Y-Lyl), and if this deviation is added to the land diameter Do and the land is expanded proportionally, it will no longer protrude.

即ち、その形は点(X、 Y)を中心にDx、Dyの矩
形に内接する楕円形となり、 Dx =Do +2δxo=Do + 2 cx (X
 −Lxl )Dy =Do +26yo=Do +2
cx (Y −Lyl )であり、図示の如くとなる。
That is, its shape is an ellipse centered on the point (X, Y) and inscribed in the rectangle Dx, Dy, Dx = Do + 2δxo = Do + 2 cx (X
-Lxl)Dy=Do+26yo=Do+2
cx (Y −Lyl ), as shown in the figure.

ここで、焼成による収縮率±1%、100 X100龍
のセラミック基板1)で、スルーホール穴径d=0.5
謹鳳、スルーホール Lxl,Lx2,Lx3 =10.50.9On+、L
yl 、 Ly2, Ly3 = 10。
Here, shrinkage rate due to firing is ±1%, 100 x 100 dragon ceramic substrate 1), through hole hole diameter d = 0.5
Kinho, through hole Lxl, Lx2, Lx3 =10.50.9On+, L
yl, Ly2, Ly3 = 10.

50、90 mmでは、各スルーホール21・・・のD
x,Dyは下表に示す値となる。     (単位 1
璽)従って、各スルーホール21・・・に対して、スル
ーホールランド31・・・の形を、上表の如く変えて回
路パターンを設計し、マスクを1種のみ用意し、焼成後
の基板1)の寸法基準点Aと辺Xにマスクを合わせ、印
刷すれば、はみ出ることなく行え、スルーホールランド
3L32,・・・は穴が最大値にズしても、最小肉付け
(Do − d −0.3 am)が得られる。
For 50 and 90 mm, D of each through hole 21...
x and Dy have the values shown in the table below. (Unit 1
Therefore, for each through-hole 21..., a circuit pattern is designed by changing the shape of the through-hole land 31... as shown in the table above, only one type of mask is prepared, and the substrate after firing is If you align the mask with the dimension reference point A and the side 0.3 am) is obtained.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

かくして、スルーホールランドの形状を、寸法基準点か
らの位置に比例して、形を伸張させて、設けたマスクを
回路パターンに対して1種のみ作成し、このマスクを基
板の寸法基準点に合わせるのみで印刷作業が行え、無駄
を省き、作業能率を上げることが出来、その効果は大で
ある。
In this way, the shape of the through-hole land is expanded in proportion to the position from the dimensional reference point, and only one type of mask is created for the circuit pattern, and this mask is set at the dimensional reference point of the board. Printing work can be done just by aligning the parts, eliminating waste and increasing work efficiency, which is highly effective.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の原理図、 第2図は本発明の一実施例である。 図において、 1、1)は基板、 2、21・・・29はスルーホール、 3、31・・・39はスルーホールランドである。 Figure 1 is a diagram of the principle of the present invention. FIG. 2 shows an embodiment of the present invention. In the figure, 1, 1) is the board, 2, 21...29 are through holes, 3, 31...39 are through-hole lands.

Claims (1)

【特許請求の範囲】  セラミック基板(1)を用いた厚膜混成集積回路で、
スルーホール(2)接続を行うスルーホールランド(3
)の形成において、 該基板(1)の寸法基準点Aから該スルーホール(2)
までの位置に比例して、該スルーホールランド(3)の
形を伸張させて設けることを特徴とする厚膜スルーホー
ルランドの形成方法。
[Claims] A thick film hybrid integrated circuit using a ceramic substrate (1),
Through-hole (2) Through-hole land (3) for connection
), from the dimensional reference point A of the substrate (1) to the through hole (2).
A method for forming a thick film through-hole land, characterized in that the shape of the through-hole land (3) is expanded in proportion to the position of the through-hole land.
JP6182987A 1987-03-17 1987-03-17 Method of thick film through-hole land Pending JPS63227097A (en)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0464281A (en) * 1990-07-04 1992-02-28 Hitachi Ltd Manufacture of ceramic multilayer board
JPH04127496A (en) * 1990-09-18 1992-04-28 Ngk Insulators Ltd Manufacture of ceramic multilayer wiring board
JP2008224659A (en) * 2007-02-16 2008-09-25 Ngk Spark Plug Co Ltd Electronic component-inspection wiring board and its manufacturing method
US7875810B2 (en) 2006-12-08 2011-01-25 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Electronic component-inspection wiring board and method of manufacturing the same

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