JPS63190614A - 真空ポンプ用微粒子収集装置 - Google Patents
真空ポンプ用微粒子収集装置Info
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- JPS63190614A JPS63190614A JP62020382A JP2038287A JPS63190614A JP S63190614 A JPS63190614 A JP S63190614A JP 62020382 A JP62020382 A JP 62020382A JP 2038287 A JP2038287 A JP 2038287A JP S63190614 A JPS63190614 A JP S63190614A
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- Japan
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- vacuum pump
- flow path
- walls
- vacuum
- gas
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- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 3
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- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/06—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B39/00—Component parts, details, or accessories, of pumps or pumping systems specially adapted for elastic fluids, not otherwise provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B37/00
- F04B39/16—Filtration; Moisture separation
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、真空室と真空ポンプとの間に設置され、該真
空室に存するダスト等の微粒子を真空ポンプに到達する
以前に収集する真空ポンプ用の微粒子収集装置に関する
。
空室に存するダスト等の微粒子を真空ポンプに到達する
以前に収集する真空ポンプ用の微粒子収集装置に関する
。
（従来の技術）
従来、例えばダストを多量に発生する成膜装置の真空室
を真空ポンプによシ真空排気する場合、真空ポンプの保
護のために排気通路にメツ７ユを介在させて該メツシュ
に排気ガス中のダストを付着させるか、或は該排気通路
に油の中を回転するドラムを設け、該ドラムの表面又は
ドラム内に収めた小物体の表面に排気ガス中のダストを
付着させることが行なわれている。また超微粒子製造装
置では生成した超微粒子を捕集室に堆積させて収集して
いる。
を真空ポンプによシ真空排気する場合、真空ポンプの保
護のために排気通路にメツ７ユを介在させて該メツシュ
に排気ガス中のダストを付着させるか、或は該排気通路
に油の中を回転するドラムを設け、該ドラムの表面又は
ドラム内に収めた小物体の表面に排気ガス中のダストを
付着させることが行なわれている。また超微粒子製造装
置では生成した超微粒子を捕集室に堆積させて収集して
いる。
（発明が解決しようとする問題点）
前記のようなメツシュや油中を回転するドラムに排気ガ
スを通過させるものでは、排気ガスが低圧であるためレ
イノルズ数は小さく、流れの状態は層流で乱流拡散は期
待できず、主としてブラウン拡散効果の作用に頼ってい
る。
スを通過させるものでは、排気ガスが低圧であるためレ
イノルズ数は小さく、流れの状態は層流で乱流拡散は期
待できず、主としてブラウン拡散効果の作用に頼ってい
る。
この場合、十分ダストを取シ除くためには、排気通路を
狭く形成して排気ガスを流す必要があり、その結果排気
ガスの通過のために大きな圧力差が必要になる。この圧
力差は成膜装置の真空室の圧力が上がる不利をもたらす
ので、あ″！シ圧力差を大きくすることのないように排
気通路は比較的大きく形成され、そのため排気ガス中の
ダストを十分に除去することが困難となる。また圧力差
があるので排気用に連結される真空ポンプは低真空用の
ものに制限され、真空室内に高真空状態を得ることが出
来なくなる不都合がある。更にダスト除去のために油を
用いた場合、油成分が真空室へと流れ、成膜装置に悪影
響を及ばして好ましくない。
狭く形成して排気ガスを流す必要があり、その結果排気
ガスの通過のために大きな圧力差が必要になる。この圧
力差は成膜装置の真空室の圧力が上がる不利をもたらす
ので、あ″！シ圧力差を大きくすることのないように排
気通路は比較的大きく形成され、そのため排気ガス中の
ダストを十分に除去することが困難となる。また圧力差
があるので排気用に連結される真空ポンプは低真空用の
ものに制限され、真空室内に高真空状態を得ることが出
来なくなる不都合がある。更にダスト除去のために油を
用いた場合、油成分が真空室へと流れ、成膜装置に悪影
響を及ばして好ましくない。
また超微粒子はガスと共に真空ポンプに吸引でれ、収集
性が悪い欠点がある。
性が悪い欠点がある。
本発明は、上記のような従来のもののもつ問題点を解決
し、低圧のガス中のダスト等の微粒子を圧力差を高める
ことなく十分に収集し得、製作容易で比較的高い真空度
が得られる真空ポンプを使用出来、しかも保守の容易な
真空ポンプ用の微粒子収集装置を提供することを目的と
する。
し、低圧のガス中のダスト等の微粒子を圧力差を高める
ことなく十分に収集し得、製作容易で比較的高い真空度
が得られる真空ポンプを使用出来、しかも保守の容易な
真空ポンプ用の微粒子収集装置を提供することを目的と
する。
（問題点を解決するための手段）
本発明では、真空室へ接続される流入管と、真空ポンプ
へ接続される流出管とを備えた容器内の該流入管から流
出管への流路に、高温壁と低温壁とを交互に間隔を存し
て設けることにより該流路を蛇行させ且つ流入管の面積
よシも大きい流路面積を有する蛇行流路に形成して前記
問題点を解決するようにした。
へ接続される流出管とを備えた容器内の該流入管から流
出管への流路に、高温壁と低温壁とを交互に間隔を存し
て設けることにより該流路を蛇行させ且つ流入管の面積
よシも大きい流路面積を有する蛇行流路に形成して前記
問題点を解決するようにした。
（作 用）
該流入管は例えば成膜装置の真空室に接続され、該流出
管は低真空または中真空を形成し得る真空ポンプに接続
される。該真空ポンプが作動されると、真空室内のガス
は容器内の流路を介して真空ポンプへと吸引されるが、
該流路は高温壁と低温壁とを交互に設けて蛇行させられ
ている共に流入管よりも面積を大きく形成されているの
で、真空ポンプで吸引されるガス中のダスト等の微粒子
は高温壁と低温壁の温度勾配を有する流路中で高温側か
ら低温側へと熱泳動現象によりある速度で移動して低温
壁に付着する。この微粒子の移動速度は圧力が低い程／
Ｊ％さい温度勾配で同一の速度となるから、高温壁と低
温壁の間隔を大きく取り温度勾配が小さくなった場合即
ち流路面積を大きくした場合でおっても十分にガス中の
微粒子を低温壁に吸着して収集することが出来る。しか
も該流路は容器内を蛇行して形成されているので小型の
容器内で微粒子を取り去るに十分な長い流路を確保する
ことが出来、流路面積は流入管の面積よシも大きいので
、微粒子収集のだめの圧力差が小さくて済み、比較的高
い真空度が得られる真空ポンプにも使用出来、可及的に
真空室内の圧力を低くすることが可能になる。
管は低真空または中真空を形成し得る真空ポンプに接続
される。該真空ポンプが作動されると、真空室内のガス
は容器内の流路を介して真空ポンプへと吸引されるが、
該流路は高温壁と低温壁とを交互に設けて蛇行させられ
ている共に流入管よりも面積を大きく形成されているの
で、真空ポンプで吸引されるガス中のダスト等の微粒子
は高温壁と低温壁の温度勾配を有する流路中で高温側か
ら低温側へと熱泳動現象によりある速度で移動して低温
壁に付着する。この微粒子の移動速度は圧力が低い程／
Ｊ％さい温度勾配で同一の速度となるから、高温壁と低
温壁の間隔を大きく取り温度勾配が小さくなった場合即
ち流路面積を大きくした場合でおっても十分にガス中の
微粒子を低温壁に吸着して収集することが出来る。しか
も該流路は容器内を蛇行して形成されているので小型の
容器内で微粒子を取り去るに十分な長い流路を確保する
ことが出来、流路面積は流入管の面積よシも大きいので
、微粒子収集のだめの圧力差が小さくて済み、比較的高
い真空度が得られる真空ポンプにも使用出来、可及的に
真空室内の圧力を低くすることが可能になる。
（実施例）
本発明の実施例を別紙図面に基づき説明すると、図面に
於て符号（１）は成膜装置等の真空室αυに接続された
流入管（３）とメカニカルブースタポンプ等の真空ポン
プ（２）に接続された流出管（４）を備えた容器、（５
）は該容器（１）内の流入管（３１から流出管（４）へ
の流路を示す。該流路（５）には高温壁（６）と低温壁
（７）とを交互に間隔（８）を存して設け、該流路（５
）を蛇行させ且つ該流入管（３）の面積よシも大きい流
路面積を有する蛇行流路に形成するようにした。更に該
容器（１）を容器本体（１ａ）と蓋体（１ｂ）とに分割
して構成し、該容器本体（ｌａ）の内面に間隔を存して
板状の低温壁（７）を設けると共に該蓋体（１ｂ）の内
面に各低温壁（７１（７１間に介入する板状の高温壁（
６）を設けるようにした。また、該容器本体（１ａ）の
外側には冷却液の流通する冷却ｅ’１（９１を設けて低
温壁（７）を冷却するように構成すると共に該蓋体（１
ｂ）の外側にヒータ（ＩＣを設けて高温壁（６）を加熱
するように構成した。尚、高温壁（６）の加熱手段、低
温壁（７）の冷却手段は任意であり、例えば高温壁（６
）内に直接ヒータを埋設することも可能である。０３は
パイノス、（１３１（＋３）ハバルブ、ａ４）α９は冷
却液の流入管と流出管を示す。
於て符号（１）は成膜装置等の真空室αυに接続された
流入管（３）とメカニカルブースタポンプ等の真空ポン
プ（２）に接続された流出管（４）を備えた容器、（５
）は該容器（１）内の流入管（３１から流出管（４）へ
の流路を示す。該流路（５）には高温壁（６）と低温壁
（７）とを交互に間隔（８）を存して設け、該流路（５
）を蛇行させ且つ該流入管（３）の面積よシも大きい流
路面積を有する蛇行流路に形成するようにした。更に該
容器（１）を容器本体（１ａ）と蓋体（１ｂ）とに分割
して構成し、該容器本体（ｌａ）の内面に間隔を存して
板状の低温壁（７）を設けると共に該蓋体（１ｂ）の内
面に各低温壁（７１（７１間に介入する板状の高温壁（
６）を設けるようにした。また、該容器本体（１ａ）の
外側には冷却液の流通する冷却ｅ’１（９１を設けて低
温壁（７）を冷却するように構成すると共に該蓋体（１
ｂ）の外側にヒータ（ＩＣを設けて高温壁（６）を加熱
するように構成した。尚、高温壁（６）の加熱手段、低
温壁（７）の冷却手段は任意であり、例えば高温壁（６
）内に直接ヒータを埋設することも可能である。０３は
パイノス、（１３１（＋３）ハバルブ、ａ４）α９は冷
却液の流入管と流出管を示す。
図示の実施例のものの作動を説明するに、真空ポンプ（
２）を作動させると、流入管（３）に接続された真空室
（１１）からガスが該流入管（３）及び蛇行した流路（
５）を介して流出管（４）へと流れ、真空ポンプ（２）
に吸引される。該流路（５）には例えば１２０℃の高温
壁（６）と２０℃の低温壁（７）とが交互に介在するの
で、該流路（５）を流れるガスには両壁（６）（力に直
角の温度勾配を生じ、ガス中の微粒子は高温側から低温
側へある速度で熱泳動により移動し、低＠壁に付着する
。この場合、流路（５）内の圧力が低くなればなる程、
小さい温度勾配で微粒子の移動速度が同一になる。従っ
て低圧で流れるガスから微粒子を収集するために高温壁
（６）と低温壁（７）との間隔（８）をある程度大きく
でき、このことは容器の横幅が自由にとれる点と相俟っ
て流路（５）の面積を流入管（３）の流路面積よりも任
意に犬きくすることが可能になる。そのためガスを流量
（５）に流すために必要な圧力差が十分小さくなり、低
真空用の真空ポンプのみならず比較的高い真空度の得ら
れる真空ポンプが使用できる。しかも、これらの真空ポ
ンプの性能を十分生かすことができるから真空室０１）
の圧力を比較的高いＸ突変とすることが可能になる。
２）を作動させると、流入管（３）に接続された真空室
（１１）からガスが該流入管（３）及び蛇行した流路（
５）を介して流出管（４）へと流れ、真空ポンプ（２）
に吸引される。該流路（５）には例えば１２０℃の高温
壁（６）と２０℃の低温壁（７）とが交互に介在するの
で、該流路（５）を流れるガスには両壁（６）（力に直
角の温度勾配を生じ、ガス中の微粒子は高温側から低温
側へある速度で熱泳動により移動し、低＠壁に付着する
。この場合、流路（５）内の圧力が低くなればなる程、
小さい温度勾配で微粒子の移動速度が同一になる。従っ
て低圧で流れるガスから微粒子を収集するために高温壁
（６）と低温壁（７）との間隔（８）をある程度大きく
でき、このことは容器の横幅が自由にとれる点と相俟っ
て流路（５）の面積を流入管（３）の流路面積よりも任
意に犬きくすることが可能になる。そのためガスを流量
（５）に流すために必要な圧力差が十分小さくなり、低
真空用の真空ポンプのみならず比較的高い真空度の得ら
れる真空ポンプが使用できる。しかも、これらの真空ポ
ンプの性能を十分生かすことができるから真空室０１）
の圧力を比較的高いＸ突変とすることが可能になる。
該真壁ポンプ（２）の運転、停止がしばしば行なわれる
場合には、流入管（３）、流出管（４）のバルブ（１３
１Ｇ鳥を閉じ、パイノぞスａｚのバルブ（１３１（１３
）を開いてガスを流路（５）を迂回するように流し、容
器（１１内から収集した微粒子がポンプ（２）の運転、
停止による圧力変動で舞い上り、流出することを防ぐ。
場合には、流入管（３）、流出管（４）のバルブ（１３
１Ｇ鳥を閉じ、パイノぞスａｚのバルブ（１３１（１３
）を開いてガスを流路（５）を迂回するように流し、容
器（１１内から収集した微粒子がポンプ（２）の運転、
停止による圧力変動で舞い上り、流出することを防ぐ。
該低温壁（力及び容器（１１の壁に付着した微粒子は、
上蓋（１ｂ）を取υ外し、簡単に取シ出すことが出来る
。
上蓋（１ｂ）を取υ外し、簡単に取シ出すことが出来る
。
該容器（１）の寸法は、流通するガスの流量によって変
更されるが、ＳｉＨ４ガスを流ｉ ５ ＳｚＭ。
更されるが、ＳｉＨ４ガスを流ｉ ５ ＳｚＭ。
該容器内の圧力１〜ｌ Ｑ Ｔｏｒｒの条件で流すプラ
ズマＣＶＤ装置の場合、該容器（１）の長さｔは約５０
ｃＩｒ１、高さ５５ｍ１横幅５０譚に形成され、高温壁
（６）は高さ５０画、横幅４８ｃｍの板状のものを５枚
設け、約１２０℃程度に加熱きれる。
ズマＣＶＤ装置の場合、該容器（１）の長さｔは約５０
ｃＩｒ１、高さ５５ｍ１横幅５０譚に形成され、高温壁
（６）は高さ５０画、横幅４８ｃｍの板状のものを５枚
設け、約１２０℃程度に加熱きれる。
また低温壁（力は高さ５０ＣＩｎ、横幅５０ｃｎ１の板
状のものを４枚設け、２０′ＣＫ冷却され、高温壁、（
６）と低温壁（力の間隔（８）は４ｃｒｎに設定される
。この場合該容器内の圧力が５Ｔｏｒｒであるとき、流
入管（３）と流出管（４）の圧力差は１０＝ Ｔｏｒｒ
以下になる。
状のものを４枚設け、２０′ＣＫ冷却され、高温壁、（
６）と低温壁（力の間隔（８）は４ｃｒｎに設定される
。この場合該容器内の圧力が５Ｔｏｒｒであるとき、流
入管（３）と流出管（４）の圧力差は１０＝ Ｔｏｒｒ
以下になる。
尚、超微粒子製造装置では、流入管（３）を超微粒子が
生成する真空室へ接続し、流出管（４）を真空ポンプに
接続して使用される。
生成する真空室へ接続し、流出管（４）を真空ポンプに
接続して使用される。
（発明の効果）
以上のように本発明に於ては、真空室へ接続される流入
管と真空ポンプへ接続される流出管を備えた容器内に、
高温壁と低温壁を交互に設け、流入管の面積よシも大き
い流路面積を有する蛇行流路を形成するようにしたので
、流入管から流入するガス中の微粒子を低温壁に付着さ
せて効率良く収集することが出来、収集のために圧力差
が生ずることがないので真空ポンプのもつ性能を劣化さ
せることなく真空室内を高真空化することが可能になり
、油を使用せずに乾式で微粒子を収集出来るので真空室
が汚れることが々く、しかも製作容易で保守も簡単に行
なえる等の効果がある。
管と真空ポンプへ接続される流出管を備えた容器内に、
高温壁と低温壁を交互に設け、流入管の面積よシも大き
い流路面積を有する蛇行流路を形成するようにしたので
、流入管から流入するガス中の微粒子を低温壁に付着さ
せて効率良く収集することが出来、収集のために圧力差
が生ずることがないので真空ポンプのもつ性能を劣化さ
せることなく真空室内を高真空化することが可能になり
、油を使用せずに乾式で微粒子を収集出来るので真空室
が汚れることが々く、しかも製作容易で保守も簡単に行
なえる等の効果がある。
図面は本発明の実施例の截断側面図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）真空室へ接続される流入管と、真空ポンプへ接続さ
れる流出管とを備えた容器内の流入管から流出管への流
路に、高温壁と低温壁とを交互に間隔を存して設けるこ
とにより該流路を蛇行させ且つ流入管の面積よりも大き
い流路面積を有する蛇行流路に形成したことを特徴とす
る真空ポンプ用微粒子収集装置。 ２）前記容器を容器本体と蓋体に分割して構成し、該容
器本体の内面に間隔を存して板状の低温壁を設けると共
に該蓋体の内面に各低温壁間に介入する板状の高温壁を
設け、該容器本体の外側に冷却槽を、また該蓋体の外側
にヒータを設けたことを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載の真空ポンプ用微粒子収集装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62020382A JPH0710322B2 (ja) | 1987-02-02 | 1987-02-02 | 真空ポンプ用微粒子収集装置 |
| US07/149,014 US4832715A (en) | 1987-02-02 | 1988-01-27 | Fine particle collector arrangement for vacuum pumps |
| DE88101379T DE3882241T2 (de) | 1987-02-02 | 1988-02-01 | Feinteilekollektoranordnung für Vakuumpumpen. |
| EP88101379A EP0277615B1 (en) | 1987-02-02 | 1988-02-01 | Fine particle collector arrangement for vacuum pumps |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62020382A JPH0710322B2 (ja) | 1987-02-02 | 1987-02-02 | 真空ポンプ用微粒子収集装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63190614A true JPS63190614A (ja) | 1988-08-08 |
| JPH0710322B2 JPH0710322B2 (ja) | 1995-02-08 |
Family
ID=12025487
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62020382A Expired - Lifetime JPH0710322B2 (ja) | 1987-02-02 | 1987-02-02 | 真空ポンプ用微粒子収集装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4832715A (ja) |
| EP (1) | EP0277615B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0710322B2 (ja) |
| DE (1) | DE3882241T2 (ja) |
Families Citing this family (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5072592A (en) * | 1990-06-26 | 1991-12-17 | Smc Corporation | Gas cleaner |
| JP3991375B2 (ja) * | 1996-11-13 | 2007-10-17 | 東京エレクトロン株式会社 | トラップ装置 |
| US6156107A (en) * | 1996-11-13 | 2000-12-05 | Tokyo Electron Limited | Trap apparatus |
| GB2319191B (en) * | 1996-11-15 | 2000-09-27 | Boris Zachar Gorbunov | A particulate matter concentrator |
| GB2339398B (en) * | 1998-07-10 | 2002-05-01 | Notetry Ltd | Apparatus and method for concentrating gasborne particles in a portion of a gas stream |
| US6666905B2 (en) * | 1998-10-16 | 2003-12-23 | Midwest Research Institute | Thermoelectric particle precipitator and method using same for collecting particles from fluid streams |
| WO2000023165A1 (en) * | 1998-10-16 | 2000-04-27 | Midwest Research Institute | Thermoelectric particle precipitator and method using same for collecting particles from fluid streams |
| GB2350804A (en) * | 1999-06-12 | 2000-12-13 | Johnson Matthey Plc | Removing particulate matter from gas by thermophoresis and combustion |
| DE19934932B4 (de) † | 1999-07-26 | 2011-06-30 | MAN Truck & Bus AG, 80995 | Verfahren und Vorrichtung zur Abscheidung von Feinstpartikeln aus dem Abgas von Brennkraftmaschinen |
| US6328442B1 (en) * | 2000-01-31 | 2001-12-11 | Hewlett-Packard Company | Particulate filtering muffler |
| JP2008082285A (ja) * | 2006-09-28 | 2008-04-10 | Techno Takatsuki Co Ltd | エアポンプの集塵機構 |
| KR100806271B1 (ko) * | 2007-07-24 | 2008-02-22 | 주식회사 엠아이 | 반도체 반응부산물 트랩장치 |
| US10655219B1 (en) * | 2009-04-14 | 2020-05-19 | Goodrich Corporation | Containment structure for creating composite structures |
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