JPS63141764A - 熱記録用サ−マルヘツド - Google Patents
熱記録用サ−マルヘツドInfo
- Publication number
- JPS63141764A JPS63141764A JP61289211A JP28921186A JPS63141764A JP S63141764 A JPS63141764 A JP S63141764A JP 61289211 A JP61289211 A JP 61289211A JP 28921186 A JP28921186 A JP 28921186A JP S63141764 A JPS63141764 A JP S63141764A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- layer
- protective film
- specific resistance
- resistant protective
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims abstract description 31
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 7
- 230000005611 electricity Effects 0.000 abstract description 11
- 230000003068 static effect Effects 0.000 abstract description 11
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 abstract description 7
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 abstract description 4
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 abstract 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 25
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- -1 silicon nitride compound Chemical class 0.000 description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 3
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011195 cermet Substances 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical class [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000003487 electrochemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical class N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/315—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material
- B41J2/32—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material using thermal heads
- B41J2/335—Structure of thermal heads
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は事務機器や家庭用のプリンターに用いる感熱記
録用サーマルヘッドに関するものである。
録用サーマルヘッドに関するものである。
従来の技術
感熱記録方式は保守の容易なノ・−トコピーを得る方式
として、各種の端末記録装置やファクシミリ−等に利用
されている。特に近年、熱転写記録方式による多色記録
やフルカラー記録の開発も活発で、事務機器分野や家庭
用プリンターとして期待されている。
として、各種の端末記録装置やファクシミリ−等に利用
されている。特に近年、熱転写記録方式による多色記録
やフルカラー記録の開発も活発で、事務機器分野や家庭
用プリンターとして期待されている。
従来のサーマルヘッドは、第２図のような断面構造にな
っている。同図において９はアルミナ基板、１０はグレ
ーズ層、１１は発熱抵抗体、１２゜１３は電極であり、
電極１２は密着層及び発熱抵抗体１１と電極１３の反応
防止層として、また電極１３は主導体層として働く。主
導体層としての電極１３と発熱抵抗体１１との密着性が
良く、しかも反応が生じない場合には電極１２は特に設
ける必要はない。１４は耐摩耗保護膜であり、窒化珪素
化合物と炭化珪素化合物を混合して形成されている。
っている。同図において９はアルミナ基板、１０はグレ
ーズ層、１１は発熱抵抗体、１２゜１３は電極であり、
電極１２は密着層及び発熱抵抗体１１と電極１３の反応
防止層として、また電極１３は主導体層として働く。主
導体層としての電極１３と発熱抵抗体１１との密着性が
良く、しかも反応が生じない場合には電極１２は特に設
ける必要はない。１４は耐摩耗保護膜であり、窒化珪素
化合物と炭化珪素化合物を混合して形成されている。
耐摩耗保護膜１４はサーマルヘッドが感熱紙と摺動しな
がら使用されることから生じる発熱抵抗体１１及び電極
１３の摩耗を防止する目的で形成されており耐摩耗性に
優れていること。又、印字時には、発熱抵抗体１０に加
熱と冷却の温度サイクルが繰返され、発熱抵抗体１ｏ上
に形成されている耐摩耗保護膜１４にも大きな熱衝撃が
加わるだめ、耐熱衝撃性の大きい耐摩耗保護膜１４が要
求されている。
がら使用されることから生じる発熱抵抗体１１及び電極
１３の摩耗を防止する目的で形成されており耐摩耗性に
優れていること。又、印字時には、発熱抵抗体１０に加
熱と冷却の温度サイクルが繰返され、発熱抵抗体１ｏ上
に形成されている耐摩耗保護膜１４にも大きな熱衝撃が
加わるだめ、耐熱衝撃性の大きい耐摩耗保護膜１４が要
求されている。
窒化珪素化合物と炭化珪素化合物の混合により形成され
た耐摩耗保護膜１４は、硬度（ＨｖΦ１８ｏｏｋｑ／ｙ
ｔｒＡ ）が大きく、かつ靭性に優れていると共に、１
０１０Ω・α 以上と絶縁物である。
た耐摩耗保護膜１４は、硬度（ＨｖΦ１８ｏｏｋｑ／ｙ
ｔｒＡ ）が大きく、かつ靭性に優れていると共に、１
０１０Ω・α 以上と絶縁物である。
１０１０Ω・口 以上の膜にすることによυ感熱紙を用
いた印字時に生じていた電気化学的反応による摩耗を防
止して耐摩耗性を大きく改善した。さらに、この保護膜
はＴ ａ ２０５保護膜のように下層に５ｉ０２膜のよ
うな酸化防止層を設ける必要もなく、しかも材料として
も低価格であるという特長がある。
いた印字時に生じていた電気化学的反応による摩耗を防
止して耐摩耗性を大きく改善した。さらに、この保護膜
はＴ ａ ２０５保護膜のように下層に５ｉ０２膜のよ
うな酸化防止層を設ける必要もなく、しかも材料として
も低価格であるという特長がある。
発明が解決しようとする問題点
炭化珪素化合物と窒化珪素化合物（以降、各々をＳｉＣ
，Ｓｉ３Ｎ４とする）の混合被膜よりなる耐摩耗保護膜
１４は、耐熱衝撃性および耐摩耗性に優れているが、ポ
リエステル等の樹脂を保護コートした感熱紙、あるいは
熱転写記録用の転写シート（この２種類の紙を含めて以
降、特殊紙とする。）で印字した場合、発色形感熱紙で
の記録寿命に比べて極端に短かくなる場合があった。こ
のような特殊紙での印字は今後のプリンターに多く使用
されるようになることが予測されることから、どのよう
な特殊紙においても、発色形感熱紙と同程度の記録寿命
を有するような材料および作成方式の開発が要請されて
いた。
，Ｓｉ３Ｎ４とする）の混合被膜よりなる耐摩耗保護膜
１４は、耐熱衝撃性および耐摩耗性に優れているが、ポ
リエステル等の樹脂を保護コートした感熱紙、あるいは
熱転写記録用の転写シート（この２種類の紙を含めて以
降、特殊紙とする。）で印字した場合、発色形感熱紙で
の記録寿命に比べて極端に短かくなる場合があった。こ
のような特殊紙での印字は今後のプリンターに多く使用
されるようになることが予測されることから、どのよう
な特殊紙においても、発色形感熱紙と同程度の記録寿命
を有するような材料および作成方式の開発が要請されて
いた。
前記ＳｉＣ−３ｉ ３Ｎ ４混合の耐摩耗保護膜１４の
特殊紙による記録寿命の低下は、耐摩耗保護膜１４の比
抵抗が１０１０〜１０１３Ω・α 程度で特殊紙の比抵
抗も１０１２〜１０１４程度と大きいことから、印字の
際に静電気が発生し、耐摩耗保護膜１４の欠陥等を通し
て、放電することにより、耐摩耗保護膜１４下の電極１
３．１２及び発熱抵抗体１１を局部的に破壊するもので
あった。
特殊紙による記録寿命の低下は、耐摩耗保護膜１４の比
抵抗が１０１０〜１０１３Ω・α 程度で特殊紙の比抵
抗も１０１２〜１０１４程度と大きいことから、印字の
際に静電気が発生し、耐摩耗保護膜１４の欠陥等を通し
て、放電することにより、耐摩耗保護膜１４下の電極１
３．１２及び発熱抵抗体１１を局部的に破壊するもので
あった。
この静電気による破壊防止方法として、本発明者等によ
り特願昭５９−２１５９４９２号に示す耐摩耗保護膜の
製造方法に関する発明が出頭されておりそれを第３図に
示す。
り特願昭５９−２１５９４９２号に示す耐摩耗保護膜の
製造方法に関する発明が出頭されておりそれを第３図に
示す。
同図において９はアルミナ基板、１ｏはグレーズ層、１
１は発熱抵抗体、１２．１３は電極、１４．１５は耐摩
耗保護膜であり、１４は高比抵抗層よりなる耐摩耗保護
膜、１６は低比抵抗層よりなる耐摩耗保護膜である。こ
の発明は、耐熱衝撃性の良好な５ｉＣ−３ｉ、Ｎ４混合
耐摩耗保護膜を、スパッタリング時のガス組成を変える
ことで特殊紙との接触面のみの比抵抗を１Ｑ８Ω・ａ程
度と小さくし、静電気の発生を防止するものであり、具
体的には、スパッタリングのガス組成を、水素・窒素及
び不活性ガスの混合ガスとして成膜する高比抵抗層より
なる耐摩耗保護膜１４と、それに引き続いて不活性ガス
のみで成膜する低比抵抗層よりなる耐摩耗保護膜１５の
２層構成としたもので、表面の比抵抗を小さくし、静電
気を発生しにくくしたものであるが、転写紙との長時間
の走行試験ではやはり、静電気が多少発生している。又
膜作成においても１０８〜１０９Ω・αのバラツキがあ
り、少し高めの比抵抗のものも生じることも重なり、耐
摩耗保護膜１４．１５の下の電極１２．１３及び発熱抵
抗体１１を局部的に破壊するものも一部生じている。特
願昭５９−２５９４９２号に示す方法による静電気防止
法は、抜本的対策になっていないものである。
１は発熱抵抗体、１２．１３は電極、１４．１５は耐摩
耗保護膜であり、１４は高比抵抗層よりなる耐摩耗保護
膜、１６は低比抵抗層よりなる耐摩耗保護膜である。こ
の発明は、耐熱衝撃性の良好な５ｉＣ−３ｉ、Ｎ４混合
耐摩耗保護膜を、スパッタリング時のガス組成を変える
ことで特殊紙との接触面のみの比抵抗を１Ｑ８Ω・ａ程
度と小さくし、静電気の発生を防止するものであり、具
体的には、スパッタリングのガス組成を、水素・窒素及
び不活性ガスの混合ガスとして成膜する高比抵抗層より
なる耐摩耗保護膜１４と、それに引き続いて不活性ガス
のみで成膜する低比抵抗層よりなる耐摩耗保護膜１５の
２層構成としたもので、表面の比抵抗を小さくし、静電
気を発生しにくくしたものであるが、転写紙との長時間
の走行試験ではやはり、静電気が多少発生している。又
膜作成においても１０８〜１０９Ω・αのバラツキがあ
り、少し高めの比抵抗のものも生じることも重なり、耐
摩耗保護膜１４．１５の下の電極１２．１３及び発熱抵
抗体１１を局部的に破壊するものも一部生じている。特
願昭５９−２５９４９２号に示す方法による静電気防止
法は、抜本的対策になっていないものである。
問題点を解決するための手段
上記問題点を解決するために本発明は、耐摩耗保護膜を
１ｏ１０Ω・口取上の高比抵抗からなる第１層膜、１０
９Ω・ａ以下の低比抵抗からなる第２層膜、第２層膜か
ら電極に導く導体膜の合計３層の構造にしたものである
。
１ｏ１０Ω・口取上の高比抵抗からなる第１層膜、１０
９Ω・ａ以下の低比抵抗からなる第２層膜、第２層膜か
ら電極に導く導体膜の合計３層の構造にしたものである
。
作用
本発明は上記した構成により従来の問題点を解決し、第
３層である導電膜を第２層の低比抵抗膜から電極上に形
成することによυ、転写紙との長時間走行により発生す
る少量の静電気も、導電膜を通して電極に逃がすことが
でき、静電気の帯電を防止することができるものである
。
３層である導電膜を第２層の低比抵抗膜から電極上に形
成することによυ、転写紙との長時間走行により発生す
る少量の静電気も、導電膜を通して電極に逃がすことが
でき、静電気の帯電を防止することができるものである
。
実施例
以下に本発明の構成を実施例に従って説明する。
発熱抵抗体膜としてＴｉＣ−３ｉｎ２サーメット膜、電
極として０ｒ−Ｃｕ２層膜よりなるヘッド基板上に、ス
パッタリングにより１０Ω・α以上の高比抵抗の５ｉＣ
−３ｉ３Ｎ４混合の第１層を形成し、第１層上に１０
Ω・ｍ以下の低比抵抗のＳ工Ｃの第２層を形成し、第２
層上から電極にかけて、導電ペーストを塗布して第３の
導電層を形成した。
極として０ｒ−Ｃｕ２層膜よりなるヘッド基板上に、ス
パッタリングにより１０Ω・α以上の高比抵抗の５ｉＣ
−３ｉ３Ｎ４混合の第１層を形成し、第１層上に１０
Ω・ｍ以下の低比抵抗のＳ工Ｃの第２層を形成し、第２
層上から電極にかけて、導電ペーストを塗布して第３の
導電層を形成した。
このように形成した本発明のサーマルヘッドの発熱体部
の断面形状を第１図に示す。同図において１はアルミナ
基板、２はグレーズ層、３はＴｉＣ−８ｉｏ２サーメツ
ト膜、４はＯｒよりなる電極、５はＣｕ よりなる電極
、６は高比抵抗の第１の保護膜、７は低比抵抗の第２の
保護膜、８は導電膜である。
の断面形状を第１図に示す。同図において１はアルミナ
基板、２はグレーズ層、３はＴｉＣ−８ｉｏ２サーメツ
ト膜、４はＯｒよりなる電極、５はＣｕ よりなる電極
、６は高比抵抗の第１の保護膜、７は低比抵抗の第２の
保護膜、８は導電膜である。
本実施例により形成したサーマルヘッドを転写紙と長時
間走行させ帯電量の測定を行ったが静電気の帯電は生じ
ていなかった。又、転写紙と発色形感熱紙により印字走
行試験を行った結果、充分な記録寿命が得られた。
間走行させ帯電量の測定を行ったが静電気の帯電は生じ
ていなかった。又、転写紙と発色形感熱紙により印字走
行試験を行った結果、充分な記録寿命が得られた。
発明の効果
以上のように本発明の感熱記録用サーマルヘッドは、耐
摩耗保護膜上の静電気の帯電を防止するもので、発色形
感熱紙及び転写紙のどちらに対しても良好な記録寿命を
有するものが得られ工業的価値の犬なるものである。
摩耗保護膜上の静電気の帯電を防止するもので、発色形
感熱紙及び転写紙のどちらに対しても良好な記録寿命を
有するものが得られ工業的価値の犬なるものである。
第１図は本発明の感熱記録用サーマルヘッドの一実施例
を示す断面図、第２図は従来の感熱記録用サーマルヘッ
ドを示す断面図、第３図は他の従来例を示す断面図であ
る。 １・・・・・・アルミナ基板、２・・・・・・グレーズ
層、３・・・・・・発熱抵抗体、４．６・・・・・・電
極、６・・・・・・第１の保護膜、７・・・・・・第２
の保護膜、８・・・・・・導電膜。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名ｌ
−−アノシミアコ寡ンワ之 第１図 第２図 第３図
を示す断面図、第２図は従来の感熱記録用サーマルヘッ
ドを示す断面図、第３図は他の従来例を示す断面図であ
る。 １・・・・・・アルミナ基板、２・・・・・・グレーズ
層、３・・・・・・発熱抵抗体、４．６・・・・・・電
極、６・・・・・・第１の保護膜、７・・・・・・第２
の保護膜、８・・・・・・導電膜。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名ｌ
−−アノシミアコ寡ンワ之 第１図 第２図 第３図
Claims (1)
- 絶縁性基板上に形成した抵抗体膜、電極および耐摩耗保
護膜よりなり、前記耐摩耗保護膜を、１０＾１０Ω・ｃ
ｍ以上の高比抵抗膜からなる第１保護膜と、前記第１保
護膜上に、１０＾９Ω・ｃｍ以下の低比抵抗膜からなる
第２保護膜と前記第２保護膜と前記電極とを接続する導
体膜とを形成した熱記録用サーマルヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61289211A JPS63141764A (ja) | 1986-12-04 | 1986-12-04 | 熱記録用サ−マルヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61289211A JPS63141764A (ja) | 1986-12-04 | 1986-12-04 | 熱記録用サ−マルヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63141764A true JPS63141764A (ja) | 1988-06-14 |
Family
ID=17740217
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61289211A Pending JPS63141764A (ja) | 1986-12-04 | 1986-12-04 | 熱記録用サ−マルヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63141764A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0264045U (ja) * | 1988-11-01 | 1990-05-14 | ||
| EP0999065A1 (en) * | 1997-07-22 | 2000-05-10 | Rohm Co., Ltd. | Construction of thermal print head and method of forming protective coating |
| EP1057649A3 (en) * | 1999-05-31 | 2001-03-07 | Aoi Electronics Company Limited | Thermal head and method to manufacture thermal head |
| WO2013080915A1 (ja) * | 2011-11-28 | 2013-06-06 | 京セラ株式会社 | サーマルヘッドおよびこれを備えるサーマルプリンタ |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61135765A (ja) * | 1984-12-07 | 1986-06-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | サ−マルヘツドの耐摩耗保護膜の製造方法 |
| JPS61154954A (ja) * | 1984-12-28 | 1986-07-14 | Tokyo Electric Co Ltd | サ−マルヘツド |
-
1986
- 1986-12-04 JP JP61289211A patent/JPS63141764A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61135765A (ja) * | 1984-12-07 | 1986-06-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | サ−マルヘツドの耐摩耗保護膜の製造方法 |
| JPS61154954A (ja) * | 1984-12-28 | 1986-07-14 | Tokyo Electric Co Ltd | サ−マルヘツド |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0264045U (ja) * | 1988-11-01 | 1990-05-14 | ||
| EP0999065A1 (en) * | 1997-07-22 | 2000-05-10 | Rohm Co., Ltd. | Construction of thermal print head and method of forming protective coating |
| EP0999065A4 (en) * | 1997-07-22 | 2001-03-14 | Rohm Co Ltd | PRODUCTION OF A THERMAL PRINT HEAD AND METHOD FOR FORMING A PROTECTIVE LAYER |
| US6448993B1 (en) | 1997-07-22 | 2002-09-10 | Rohm Co., Ltd. | Construction of thermal print head and method of forming protective coating |
| EP1057649A3 (en) * | 1999-05-31 | 2001-03-07 | Aoi Electronics Company Limited | Thermal head and method to manufacture thermal head |
| WO2013080915A1 (ja) * | 2011-11-28 | 2013-06-06 | 京セラ株式会社 | サーマルヘッドおよびこれを備えるサーマルプリンタ |
| CN103946028A (zh) * | 2011-11-28 | 2014-07-23 | 京瓷株式会社 | 热敏头以及具备该热敏头的热敏打印机 |
| JPWO2013080915A1 (ja) * | 2011-11-28 | 2015-04-27 | 京セラ株式会社 | サーマルヘッドおよびこれを備えるサーマルプリンタ |
| US9238376B2 (en) | 2011-11-28 | 2016-01-19 | Kyocera Corporation | Thermal head and thermal printer equipped with the same |
| CN103946028B (zh) * | 2011-11-28 | 2016-01-20 | 京瓷株式会社 | 热敏头以及具备该热敏头的热敏打印机 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2001047652A (ja) | サーマルヘッド及びサーマルヘッドの製造方法 | |
| JP3087104B2 (ja) | 薄膜型サーマルプリントヘッド | |
| JPS63141764A (ja) | 熱記録用サ−マルヘツド | |
| US6448993B1 (en) | Construction of thermal print head and method of forming protective coating | |
| JPS61154954A (ja) | サ−マルヘツド | |
| JPS63145052A (ja) | 熱記録用サ−マルヘツド | |
| JPS61135765A (ja) | サ−マルヘツドの耐摩耗保護膜の製造方法 | |
| JPS61135763A (ja) | サ−マルヘツド | |
| JPS61135764A (ja) | サ−マルヘツド | |
| JP3169518B2 (ja) | サーマルヘッド | |
| JPS629966A (ja) | サ−マルヘツドの耐摩耗保護膜の製造方法 | |
| JPH04112048A (ja) | サーマルヘッド | |
| JP3107911B2 (ja) | サーマルプリントヘッド | |
| JP4330681B2 (ja) | サーマルヘッドおよびその製造方法 | |
| JPS6024965A (ja) | 端面型サ−マルヘツドの製造方法 | |
| JP2514240B2 (ja) | サ―マルヘッド | |
| JPH01283163A (ja) | ハイブリッドｉｃ用耐摩耗層 | |
| JPS59225973A (ja) | サ−マルヘツド | |
| JPS6125550B2 (ja) | ||
| JP3016969B2 (ja) | サーマルプリントヘッド | |
| JPS6021264A (ja) | サ−マルプリントヘツドの電極構造 | |
| JPS61108567A (ja) | サ−マルヘツド | |
| JPS63130367A (ja) | サ−マルヘツド | |
| JPH0751361B2 (ja) | サーマルヘッド | |
| JPS6238147B2 (ja) |