JPS6263812A - 圧力検出装置 - Google Patents

圧力検出装置

Info

Publication number
JPS6263812A
JPS6263812A JP61170723A JP17072386A JPS6263812A JP S6263812 A JPS6263812 A JP S6263812A JP 61170723 A JP61170723 A JP 61170723A JP 17072386 A JP17072386 A JP 17072386A JP S6263812 A JPS6263812 A JP S6263812A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
comparator
detection device
pressure
capacitor
pressure detection
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP61170723A
Other languages
English (en)
Inventor
ズビ シケディ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Garrett Corp
Original Assignee
Garrett Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Garrett Corp filed Critical Garrett Corp
Publication of JPS6263812A publication Critical patent/JPS6263812A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/244Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/24Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/12Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in capacitance, i.e. electric circuits therefor
    • G01L9/125Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in capacitance, i.e. electric circuits therefor with temperature compensating means

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は圧力変化を受けたとき静電容量が変化する圧力
変換器を用いた圧力検出装置、特に検出圧力を表わすデ
ィジタル出力の分解能が高く高精度であり且狭い空間に
も設置可能な圧力検出装置に関する。
異なる位置、例えば異なる高度において測定した圧力を
利用することにより、航空機の高度、マツハ数、気流速
度、迎え角、および片揺れ角の情報を求める航空磁子工
学の分野では、特により正確に圧力を検出することが求
められる。即ち民間用および軍用のいずれの航空機にお
いても検出された圧力から求められる情報は極めて精度
が高いことが望まれる。
(従来の技術) この種の圧力検出装置には通常3つの構成部が具備され
ている。即ちA九空機の内部へと延びる空気導管を有し
た航空機内部の圧力を測定するパイロット管と、米国特
許第3,962,921号に開示されるような石英で形
成され、可変のキャパシタを有していて空気圧力を電気
信号に変換する変換器と、上記変換器のセンサからキャ
パシタを入力部として有する電子回路部とが包有されて
いる。
また米国特許第3,790,910号にはL−Cオシレ
ータを用い、変換器による検出圧力によって決まる周波
数を発生する圧力検出回路が示されている。
この場合、出力は航空機上の空気データ用のディジタル
コンピュータへ送られるので電子回路の出力はディジタ
ル出力であることが望ましく、上記米国特許では第3,
790,910号においては多数のカウンタおよびレジ
スタを用いてディジタルコンピュータへ送る信号を制御
している。また米国特許第4,208,918号に開示
された圧力検出回路においてはディジタル信号をカウン
タへ送り、そのカウンタ出力によりデコーダ/ドライバ
を介し表示装置が駆動されるように構成されており、機
能としては満足できるものである。
(発明が解決しようとする問題点) 一方航空機に搭載する航空電子装置の量が増大している
ため、搭載する航空電子装置の占有空間および重量を小
さくする必要が生じ、従って圧力検出装置並びにこれに
関連する電子回路を出来る限り小さくすることが望まれ
ている。ここで例えば石英でなりキャパシタを包有する
圧力検出装置において寸法を小さくするにはL−0回路
が障害となる。即ち例えば米国特許第3,962,92
1号においては、L−C回路の誘導子の占める割合が圧
力検出装置自体の大きさくおよび重量)の80〜90%
にも達する。従って外形が大となるL−C共振回路→以
外の回路構成をとる必要がある。
また外形を小さくすると共に従来のL−C回路を用いる
圧力検出装置の検出精度に比べ少なくとも同等以上の精
度を維持する必要があシ、更にノイズによる影響を受け
ず分解能が高く亘長期間に亘り安定性および信頼性に富
むものが要求される。
且また圧力検出回路には漂遊静電容量が変化することに
より影響を受けないことが望まれる。
(問題点を解決するための手段) 本発明による圧力検出装置にあっては、圧力変換器にキ
ャパシタンス値が可変のキャパシタを含むC−R回路が
含まれ、キャパシタが充放電回路に接続されると共に、
充放電回路の出力が可変の周波数のパルス列としてカク
ント・タイミング回路(分周器を内置可能)を介しマイ
クロプロセッサへ送られ、マイクロプロセッサから出力
される高分解能のディジタル信号が圧力変換器により検
出された圧力を充放電回路からの可変周波数の函数とし
て表わされるように構成されてなる。
(作用) 上述の如き本発明によればR−C充放電回路を用いるこ
とによって、従来のL−C回路を含むものよシ相当にコ
ンパクトな圧力検出装置を提供でき、装置の占有空間を
最少限に抑え得る。
(実施例) 第1図に示す圧力検出装置において圧力変換器αGは通
常キャパシタCを有しており、キャパシタCの容量は例
えば圧力変換器ααに加わる圧力が変化するに応じ、5
0〜100 PFの範囲で変化する〇また圧力変換器α
eのキャパシタCはキャパシタCを充放電する充放電回
路αりに接続される。キャパシタCの充放電時間はこの
容量によって決まし、図示の実施例では充放電装置をな
す充放電回路α2の出力が通常線10〜20μsθCの
パルス幅を有するパルス列になるように選択される。
充放電回路(12+から送出されるパルス列はカウント
・タイミング回路Hへ送られ、このカウント・タイミン
グ回路αaには基準周波数を発生するオシレータ(16
1から基準周波数が入力されている。オシレータ(16
1からの基準周波数は10〜80114H,の範囲にさ
れ、通常20MHzにされる。カウント・タイミング回
路Iは市販のカウンタチップで構成され得、また構成自
体は当業者には周知のものを採用できる。この場合カウ
ント・タイミング回路Iには充放電回路(13からのパ
ルス列をディジタル値出力に変換するコンバータが内装
されている。
カウント・タイミング回路■の出力はマイクロプロセッ
サ(181へ送られ、マイクロプロセッサ鱈を介しメモ
リ(21がアクセスされる。メモリ■にはマイクロプロ
セッサ(181に供給される変数に関する多くの値が記
憶されている。最簡潔な実施態様においてはマイクロプ
ロセッサ(1&から、カウント・タイミング回路a4か
らの単一の入力を用いて圧力値を示すディジタル出力が
送出されるように構成される。このディジタル出力は高
分解能出力、通常16〜20ビツトの分解能を持つ出力
にされる。16ビツト分解能を持つ場合出力は0〜64
にの範囲になる。
圧力検出装置の好ましい実施態様では、更に温度変化を
補正するように構成されており、この場合、検出温度を
表わすアナログ出力を発生する温度センサ(ハ)が具備
される。このアナログ出力はA/Dコンバータ(24へ
送られて温度に関するアナログ出力がディジタル信号に
変換され、更に温度に関するディジタル信号はマイクロ
プロセッサCIIE+へ送られる。マイクロプロセッサ
Uには2人力、すなわちカウント・タイミング回路04
)並びにA/Dコンバータ(至)からの2人力が入力さ
れ、所定の演算式に従い、マイクロプロセッサ(1gJ
から圧力に関するディジタル出力が発生される。この圧
力に関するディジタル出力はカウント・タイミング回路
側から供給されるパルス数と温度センf@により検出さ
れた温度との関数となることは理解されよう。
第2図および第3図に本発明の主要部をなす充放電回路
(13の異なる実施態様の詳細な回路図が示されておシ
、従来品に比べ大巾に小形化が図られている。第2図の
充放電回路においては演算増幅器(至)、比較器r、3
2および4個の抵抗器が具備される。
更に詳述するC二、演算増幅器(至)は市販のL715
6演算増幅演算用い得、+15Vの電圧が供給される。
また比較器■は市販のLMIII比較器を用いることが
好ましく、+10Vの′電圧が供給されている。
且4個の抵抗器は、夫々l0Kg、10にΩ、2にΩの
抵抗値を持つ抵抗器(ロ)、(至)、(至)と可変抵抗
器Rであり、可変抵抗器Rの抵抗値を調整することによ
り第2図の充放電回路において出力のパルス幅が変更さ
れ得る。
この場合圧力変換器αωのキャパシタCの一端部は演算
増幅器(至)の反転入力端子および抵抗器Rの一端部に
接続される。一方キャパシタCの他端部は演算増幅器(
7)の出力端子および10KΩの抵抗器(ロ)の一端部
に接続されている。10KΩの抵抗器(ロ)の他端部は
比較器(至)の非反転入力端子および10Kmの抵抗器
(至)の一端部に接続される。また演算増幅器(至)の
非反転入力端子および比較器(3りの反転入力端子は相
互に接続され且共にアースされている。10KΩの抵抗
器(至)の他端部は第2図の充放電回路の出力を送出す
る比較器G2の出力端子に接続される。2にΩの抵抗器
(至)の一端部が比較器(至)の出力端子に、且他端部
が比較器02の+iov電圧電源に夫々接続される。更
に抵抗器Rの他端部は比較器(至)の出力端子に接続さ
れている。
第2図の実施態様にあって好ましくは、抵抗器Rの値が
約100Kgにされ、充放電回路の出力のパルス幅が約
10〜20μsecにされる。第2図の充放電回路によ
り圧力変換器a1のキャパシタCが充放電され、キャパ
シタCのキャパシタンス値および抵抗器Rの抵抗値によ
り、第2図の充放電回路の出力の周波数が制御されるこ
とになる。またキャパシタCのキャパシタンス値が50
〜100PFの範囲内で変化するので、第2図の充放′
纜回路の出力はパルス幅が約10〜20μsecの範囲
内で変化せしめられる。
上述のように第2図の充放電回路には誘導子が含まれて
おらず、抵抗器の大きさは誘導子より大巾に小さいから
、この充放電の回路は従来品に比べ顕著に小形化され得
る。また第2図の充放電回路は圧力変換器aαの周囲に
生じる漂遊容量の影響を受けず、長期間に亘って安定性
が保たれ、悪環境下でも好適に使用できる。更に、第2
図の充放電回路によれば分解能を相当に良好にできるの
で。
格別に高い分解能を要求しない回路に対し充分採用され
得る。
第3図には充放電回路の別の実施態様が示されており、
この場合、圧力変換器(101のキャパシタCが入力部
に配置され、他に比較器G3と4個の抵抗器(財)、 
t16) 、 C3& 、 Rが内装される。比較器器
には第2図の場合と同様にLM 11 m比較器を用い
得、+15V電圧が供給される。、キャパシタCは一端
部が比較器(至)の反転入力端子および抵抗器Rの一端
部に、また他端部が10 KQの抵抗器(ロ)に接続さ
れ且共にアースされる。l0Kgの抵抗器(ロ)の他端
部は比較器33の非反転入力端子および10 KJ7の
抵抗器(至)の一端部に接続されており、10 KQの
抵抗器(至)の他端部は第3図の充放電回路において出
力を送出する比較器(至)の出力端子に接続されている
。更に2KQの抵抗器(至)が+15V電圧源と比較器
器の出力端子との間に接続され、一方抵抗器Rの他端部
は比較器器の出力端子に接続される。
第3図の充放電回路は第2因の充放電回路より安価に構
成でき、また構成部品数が少ないので、更に小形化を図
り得る。第3図の充放′1回路における抵抗器Rの抵抗
値は第2図と同様的100にΩであり、通常の上述した
キャパシタCを用いる場合、第3図の充放電回路出力の
パルス幅が10〜20μsecになる。且第3図の光放
電回路はノイズを受けないので、分解能が第2因の充放
電回路より約4倍以上高い。一方第3図の充放電回路は
第2図の充放電回路に比べ安定な期間が比較的短かい。
第4図を参照するに、本発明を単一のキャパシタを有す
る圧力変換器に適用した場合の圧力検出装置のブロック
図が示され、この場合第1図の圧力変換器(1Gにおけ
るメモリ(イ)、温度セン−9−■およびADDコンバ
ーターは第4図から省かれているが、同様に用い得る。
−力筒4図の充放電回路Hには第2図または第3図に図
示のいずれのものも使用され得る。またこの場合充放電
回路(1′3の出力周波数は相当に高いので、分周器(
4(Iを用いて充放電回路α2の出力周波数を下げるこ
とが望ましい。且好ましい実施態様においては、分周器
(40により出力周波数が1/256にされた上、分周
器(4Gからの出力が次段のカウンタゆへ送られる。ま
たカウンタθカにはオシレータ旺から基準周波数信号が
入力されており、カウンタ(4力からディジタル信号が
マイクロプロセッサαυへ送られる。マイクロプロセッ
サ(19においては所定の演算式に従って圧力変換器a
1の検出した圧力を表わすディジタル的に読取可能な′
亀子出力信号を発生する。第4図の場合のマイクロプロ
セッサ(1υにおいて実行される演算式はP == K
 x F 十Bであり、ここl:におよびBは定数、F
はカウンタ(43からマイクロプロセッサa印へ送られ
る出力である。
第4図の回路を持つ圧力検出装置においては、幾分加速
流あるいは乱流の影響を受は易いが、低コストの構成を
もって高分解能を得ることができる。
更に加速流あるいはa流の影響を低減するように第5図
の回路を持つ圧力検出装置が提供される。
この場合加速流若しくは乱流下でも高精度で、高分解能
を持つ出力が得られる。第5図の回路においては、圧力
変換器(至)は検出した圧力を表わすキャパシタンス値
を持つような第1のキャパシタCPと基準キャパシタン
ス値を有する第2のキャパシタORとの2つのキャパシ
タを有している。キャパシタCP + CRのキャパシ
タンス値は加速流あるいは乱流に応じて変化するので、
キャパシタCaに生じるキャパシタンス値の変化分をキ
ャパシタcpに生じるキャパシタンス値の変化分から減
算することによって実際の圧力値を決定できる。
キャパシタcpは充放電回路α2に接続され、充放電回
路α2の出力は分周器(4Gへ、且分周器(41の出力
はカウンタ(43へ送られる。またカウンタ(43には
オシレータα口から基準周波数信号が入力され、カウン
タ(6)の出力がマイクロプロセッサα&へ供給される
。一方キャパシタCRは別の充放電回路53に接続され
、充放電回路5zの出力は分周器54)へ送られる。
分局4倒の出力は別のカウンタ■へ送られ、カウンタ[
相]にはオシレータαeから基準周波数信号が入力され
ている。第2のカウンタ(ト)の出力はマイクロプロセ
ッサ(L♂へ送られ、マイクロプロセッサ(18におい
ては所定の演算式に従って演算が行なわれて出力が送出
される。例えば演算式としてはP=Ai X Niが用
いられ、ここに1はOから5まで変化する。この場合第
5図の回路により検出された圧力に相応する出力の精度
および分解能は極めて高くなる。
一方第5図の回路においても第1図に示すように圧力の
検出時の温度変化に対処する構成をどろことが望ましい
。この場合第5因の回路においては演算式P = Ai
j X Ni X Tjを用いて温度変化を参酌するこ
とになる。この演算式において1およびjは夫々0から
5まで変化することになる。
尚第2図および第3図の充放電回路は第4図および第5
図の回路を持つ圧力検出装置に適宜組み合わせて使用で
きることは理解されよう。例えば第2因および第3図の
充放電回路のいずれか一方の出力を第5図の回路に付与
できよう。
本発明の実施態様を以下に要約して記載する。
1、加わる圧力に応じてキャパシタンス値が変化するキ
ャパシタを有する圧力検出器により検出した圧力を表わ
すディジタル出力を発生する圧力検出装置において、R
−C回路を具備し、コンデンサを充放電してパルス幅が
コンデンサの容量値を表わす電気パルス列を発生する充
放電装置と、基準周波数を発生する装置と、パルス列の
パルス幅、延いては圧力変換器の受ける圧力に応じ変化
するコンデンサの容量値を表わすディジタル値を周期的
に出力する出力装置と、圧力変換器の受ける圧力値を表
わす複数のディジタル出力を記憶し、出力装置からの特
定ディジタル値により指示されるメモリ装置と、メモリ
装置と連係され出力装置からのディジタル値を入力した
とき圧力を表わすディジタル出力を発生するマイクロプ
ロセッサ装置とを備えた圧力検出装置。
2加わる圧力の函数として変化する圧力変換器のコンデ
ンサの静電容量値を圧力変換器の受ける圧力を表わすデ
ィジタル出力に変換する変換方法 4において、R−0
回路を形成する電気回路1:おいてR−0回路のコンデ
ンサを充放電しコンデンサの静′礒容量値により決めら
れるパルス幅のパルス列を出力する工程と、パルス幅従
ってコンデンサの靜′fト容量値を表わすディジタル出
力のディジタル値を周期的に計算する工程と、圧力変換
器の受ける圧力従ってコンデンサの容量値を表わすディ
ジタル出力にディジタル値を周期的に変換する工程とが
包有されてなる変換方法。
(発明の効果) 上述の如く構成された本発明による圧力検出装置におい
ては従来のものより精度が高く、R−C充放電回路を用
いて大巾にコンパクトにし装置の占有空間を極めて小さ
くし得るから、例えば単一のハイブリッド回路基板など
にも組み込むことができる等々の顕著な効果を達成する
本発明は図示の実施例に限定されるものではなく、特許
請求の範囲の技術的思想に含まれる設計変更を包有する
ことは理解されよう。
【図面の簡単な説明】
第1因は本発明による圧力検出装置のブロック図、第2
図および第3図は夫々第1図の圧力検出装置C二速用す
る充放電回路の異なる実施態様の回路図、第4図並びに
第5図は夫々本発明による、単一のコンデンサを持つ圧
力検出装置並びに2つのコンデンサを持つ圧力変換装置
のブロック図である。 10・・・圧力変換器、12・・・充放電回路、14・
・・カウント・タイミング回路、16・・・オシレータ
、l8・・・マイクロプロセッサ、20・・・メモリ、
22・・・温度センサ、24・・・A/Dコンバータ、
30・・・演算増幅器、32・・・比較器、34 、3
6.38・・・抵抗器、40・・・分周器、42・・・
カウンタ、50・・・圧力変換器、52・・・充放電回
路、54・・・分周器、56・・・カウンタ

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、圧力変換器に加わる圧力の函数として変化する圧力
    変換器の静電容量を圧力変換器の受ける圧力を表わすデ
    ィジタル出力に変換する圧力検出装置において、R−C
    回路を具備し、R−C回路のキャパシタを充放電してキ
    ャパシタのキャパシタンス値により決められるパルス幅
    のパルス列を発生する充放電装置と、キャパシタのキャ
    パシタンス値を示すパルス幅を表わすディジタル値を計
    算する演算装置と、ディジタル値の表わすキャパシタの
    キャパシタンス値を表わすディジタル出力に変換する変
    換装置とを備えてなる圧力検出装置。 2、充放電装置には可変抵抗器が包有され、抵抗器の抵
    抗値を変えることによりパルス列のパルス幅を調整する
    ように設けられてなる特許請求の範囲第1項記載の圧力
    検出装置。 3、パルス列のパルス幅がキャパシタのキャパシタンス
    値に応じて抵抗器を調整することにより実質的に10〜
    20μsec間の範囲に調整されるように設けられてな
    る特許請求の範囲第2項記載の圧力検出装置。 4、可変抵抗器の抵抗値は100KΩである特許請求の
    範囲第3項記載の圧力検出装置。 5、キャパシタのキャパシタンス値が実質的に50〜1
    00PFである特許請求の範囲第1項記載の圧力検出装
    置。 6、演算装置には基準周波数を発生する装置と、充放電
    装置からのパルス列と基準周波数とを入力するカウント
    ・タイミング装置とが包有されてなる特許請求の範囲第
    1項記載の圧力検出装置。 7、カウント・タイミング装置には、パルス列のパルス
    数を除算する分周器と、基準周波数および分周器からの
    出力を入力し、キャパシタCのキャパシタンス値を示す
    パルス幅を表わすディジタル値を演算するカウンタとが
    包有されてなる特許請求の範囲第6項記載の圧力検出装
    置。 8、基準周波数が10〜80MHzである特許請求の範
    囲第6項記載の圧力検出装置。 9、基準周波数が実質的に20MHzである特許請求の
    範囲第8項記載の圧力検出装置。 10、変換装置には、圧力変換器の受ける圧力の値を表
    わす複数のディジタル出力を記憶し、演算装置からの所
    定のディジタル値により指示されるメモリと、メモリと
    連係され演算装置から入力されるディジタル値に応じて
    圧力変換器の受けた圧力を表わすディジタル出力を供給
    するマイクロプロセッサ装置とが包有されてなる特許請
    求の範囲第1項記載の圧力検出装置。 11、ディジタル出力が16〜30ビット分解能を有し
    てなる特許請求の範囲第1項記載の圧力検出装置。 12、R−C回路が2組具備され、第2のR−C回路の
    キャパシタを充放電してキャパシタンスのキャパシタン
    ス値により決められる第2のパルス幅の第2のパルス列
    を発生する第2の充放電装置と、第2のR−C回路のキ
    ャパシタのキャパシタンス値を示す第2のパルス幅を表
    わす第2のディジタル値を周期的に計算する第2の演算
    装置とを備え、変換装置は第1のディジタル値および第
    2のディジタル値の両方を用いてディジタル出力を発生
    するように設けられてなる特許請求の範囲第1項記載の
    圧力検出装置。 13、変換装置に対しディジタル補正信号を発生し温度
    変化により生じるエラーを補正する補正装置を備え、変
    換装置はディジタル値およびディジタル補正信号の両方
    を用いてディジタル出力を発生し、温度変化によりエラ
    ーを生じることなくディジタル出力が発生されるように
    設けられてなる特許請求の範囲第1項記載の圧力検出装
    置。 14、補正装置には温度を表わす電気アナログ信号を発
    生する温度センサと、電気アナログ信号をディジタル補
    正信号に変換するA/Dコンバータとが包有されてなる
    特許請求の範囲第13項記載の圧力検出装置。 15、充放電装置には、パルス列を入力する比較器と、
    一端部がアースされたコンデンサの一端部に且他端部が
    比較器の非反転入力端子に夫々接続された第1の抵抗器
    と、一端部が比較器の非反転入力端子に且他端部が比較
    器の出力端子に夫々接続された第2の抵抗器と、一端部
    が比較器の正電圧源に且他端部が比較器の出力端子に夫
    々接続された第3の抵抗器と、一端部がコンデンサCの
    他端部且他端部が比較器の出力端子に夫々接続された第
    4の抵抗器とが包有されてなる特許請求の範囲第1項記
    載の圧力検出装置。 16、比較器に供給される電圧が+15Vであり、第1
    、第2、第3、第4の抵抗器が夫々10KΩ、10KΩ
    、2KΩ、RΩであり、R−C回路が第1〜第4の抵抗
    器とコンデンサでなる特許請求の範囲第15項記載の圧
    力検出装置。 17、第4の抵抗器は100KΩである特許請求の範囲
    第16項記載の圧力検出装置。 18、比較器がLM111比較器である特許請求の範囲
    第15項記載の圧力検出装置。 19、充放電装置には、パルス列を入力する比較器と、
    非反転入力端子が比較器に接続されて共にアースされる
    演算増幅器と、一端部がコンデンサの一端部および演算
    増幅器の出力端子に且他端部が比較器の非反転入力端子
    に夫々接続される第1の抵抗器と、一端部が比較器の非
    反転入力端子に且他端部が比較器の出力端子に夫々接続
    される第2の抵抗器と、一端部が比較器の正電圧源に且
    他端部が比較器の出力端子に夫々接続される第3の抵抗
    器と、一端部がコンデンサの他端部および演算増幅器の
    反転入力端子に且他端部が比較器の出力端子に夫々接続
    される第4の抵抗器とが包有されてなる特許請求の範囲
    第1項記載の圧力検出装置。 20、比較器に供給される電圧が+10Vであり、演算
    増幅器に供給される電圧が+15Vであり、第1、第2
    、第3、第4の抵抗器が夫々10KΩ、10KΩ、2K
    Ω、RΩであり、R−C回路は第1〜第4の抵抗器とコ
    ンデンサとでなる特許請求の範囲第19項記載の圧力検
    出装置。 21、第4の抵抗器は100KΩである特許請求の範囲
    第20項記載の圧力検出装置。 22、比較器がLM111比較器である特許請求の範囲
    第19項記載の圧力検出装置。 23、演算増幅器がLF156演算増幅器である特許請
    求の範囲第19項記載の圧力検出装置。
JP61170723A 1985-07-26 1986-07-18 圧力検出装置 Pending JPS6263812A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US06/759,627 US4763063A (en) 1985-07-26 1985-07-26 Compact digital pressure sensor circuitry
US759627 1985-07-26

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6263812A true JPS6263812A (ja) 1987-03-20

Family

ID=25056373

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP61170723A Pending JPS6263812A (ja) 1985-07-26 1986-07-18 圧力検出装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4763063A (ja)
EP (1) EP0213727A3 (ja)
JP (1) JPS6263812A (ja)
BR (1) BR8603458A (ja)
IL (1) IL79348A0 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6296986B1 (en) 1995-11-06 2001-10-02 Coates Brothers Plc Photoinitiator

Families Citing this family (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3642771A1 (de) * 1986-12-15 1988-06-23 Kuipers Ulrich Verfahren und vorrichtung zur messung der messgroesse eines messobjekts
US4866435A (en) * 1987-10-16 1989-09-12 Rosemount Inc. Digital transmitter with variable resolution as a function of speed
US4987782A (en) * 1989-10-03 1991-01-29 Allied-Signal Inc. Capacitive pressure transducer system
US5274334A (en) * 1989-12-18 1993-12-28 Honeywell Inc. Calibrated physical parameter value measurement system
CA2062608A1 (en) * 1991-04-18 1992-10-19 Steven W. Tanamachi Two-part sensor with transformer power coupling and optical signal coupling
US5291534A (en) * 1991-06-22 1994-03-01 Toyoda Koki Kabushiki Kaisha Capacitive sensing device
US5237285A (en) * 1991-10-18 1993-08-17 Rosemount Inc. Method and apparatus for capacitance temperature compensation and manufacturability in a dual plate capacitive pressure transmitter
US5539323A (en) * 1993-05-07 1996-07-23 Brooks Automation, Inc. Sensor for articles such as wafers on end effector
US5578993A (en) * 1994-11-28 1996-11-26 Autronics Corporation Temperature compensated annunciator
US5802728A (en) * 1995-08-17 1998-09-08 Watson Industries, Inc. Liquid level and angle detector
DE69618559T2 (de) 1996-02-14 2002-08-14 Stmicroelectronics S.R.L., Agrate Brianza Kapazitiver Abstandssensor, insbesondere zur Erfassung von Fingerabdrücken
US6114862A (en) 1996-02-14 2000-09-05 Stmicroelectronics, Inc. Capacitive distance sensor
US6320394B1 (en) 1996-02-14 2001-11-20 Stmicroelectronics S.R.L. Capacitive distance sensor
US6483931B2 (en) 1997-09-11 2002-11-19 Stmicroelectronics, Inc. Electrostatic discharge protection of a capacitve type fingerprint sensing array
US6191593B1 (en) * 1997-12-17 2001-02-20 Stmicroelectronics, Inc. Method for the non-invasive sensing of physical matter on the detection surface of a capacitive sensor
US6091082A (en) 1998-02-17 2000-07-18 Stmicroelectronics, Inc. Electrostatic discharge protection for integrated circuit sensor passivation
US5889464A (en) * 1998-03-13 1999-03-30 Huang; Tien-Tsai Tire pressure indicator including pressure gauges that have a self-generating power capability
US7239227B1 (en) 1999-12-30 2007-07-03 Upek, Inc. Command interface using fingerprint sensor input system
US6512381B2 (en) 1999-12-30 2003-01-28 Stmicroelectronics, Inc. Enhanced fingerprint detection
EP1862806B1 (en) * 2006-06-01 2017-08-09 Electrolux Home Products Corporation N.V. Method and device for measuring the capacitance of a capacitive component
US7619421B2 (en) * 2006-08-31 2009-11-17 Microtune (Texas), L.P. Systems and methods for detecting capacitor process variation
US8115497B2 (en) * 2007-11-13 2012-02-14 Authentec, Inc. Pixel sensing circuit with common mode cancellation
US8718955B2 (en) * 2010-11-15 2014-05-06 Rosemount Aerospace Inc. System and method for detecting blocked pitot-static ports
US9176011B2 (en) * 2013-03-06 2015-11-03 Microchip Technology Incorporated Single wire analog output sensor architecture
CN104182745B (zh) * 2014-08-15 2017-09-22 深圳市汇顶科技股份有限公司 指纹感应信号的处理方法、系统及指纹识别终端
US10317443B2 (en) 2017-05-24 2019-06-11 Elmos Semiconductor Ag Integrated capacitance measurement

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56151310A (en) * 1980-03-26 1981-11-24 Bosch Gmbh Robert Displacement-frequency-measured value converter
JPS58210534A (ja) * 1982-06-01 1983-12-07 Citizen Watch Co Ltd 圧力検出装置

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2142732B1 (ja) * 1971-06-24 1975-02-07 Commissariat Energie Atomique
US3790910A (en) * 1972-04-21 1974-02-05 Garrett Corp Conditioning circuit and method for variable frequency sensor
US3997801A (en) * 1975-03-17 1976-12-14 Chrysler Corporation Transducer circuits for providing pulses whose widths are representative of mechanical input signals
US4237900A (en) * 1979-02-14 1980-12-09 Pacesetter Systems, Inc. Implantable calibration means and calibration method for an implantable body transducer
CH652823A5 (de) * 1980-03-26 1985-11-29 Bosch Gmbh Robert Weg-frequenz-messgroessenwandler.
US4446447A (en) * 1980-12-22 1984-05-01 Ford Motor Company Circuit for converting pressure variation to frequency variation
US4466289A (en) * 1982-03-17 1984-08-21 Lam Calvin K Capacitance manometer with digital output
US4598381A (en) * 1983-03-24 1986-07-01 Rosemount Inc. Pressure compensated differential pressure sensor and method
US4517622A (en) * 1983-08-29 1985-05-14 United Technologies Corporation Capacitive pressure transducer signal conditioning circuit

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56151310A (en) * 1980-03-26 1981-11-24 Bosch Gmbh Robert Displacement-frequency-measured value converter
JPS58210534A (ja) * 1982-06-01 1983-12-07 Citizen Watch Co Ltd 圧力検出装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6296986B1 (en) 1995-11-06 2001-10-02 Coates Brothers Plc Photoinitiator

Also Published As

Publication number Publication date
IL79348A0 (en) 1986-10-31
US4763063A (en) 1988-08-09
BR8603458A (pt) 1987-03-04
EP0213727A3 (en) 1988-09-28
EP0213727A2 (en) 1987-03-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6263812A (ja) 圧力検出装置
US4628612A (en) Tilt angle detection device
US4788488A (en) Continuous condition sensing system
EP0411058B1 (en) Capacitive pressure sensor
EP0698780B1 (en) Differential capacitance detector
US4907449A (en) Meteorological data encoder for measuring atmospheric conditions
EP0144834B1 (en) Load cell type weight-measuring device
US4364045A (en) Digitized displacement transducer
JPS61148321A (ja) 傾斜角測定装置
US3703828A (en) Capacitance variometer
US5155445A (en) Vernier voltage-to-digital converter with a storage capacitance selectable in magnitude
US4950998A (en) Continuous condition sensing system
US5278513A (en) Continuous condition sensing system
SE447423B (sv) Reglerkrets for en elektrostatisk kapacitiv accelerometer
KR100738692B1 (ko) 전위 고정 장치, 용량 측정 장치 및 전위 고정 방법
JP2786813B2 (ja) 質量流量計変換器
JPH0246885B2 (ja)
SU1679391A1 (ru) Измеритель параметров воздушного потока на летательных аппаратах
RU2042934C1 (ru) Устройство для измерения неэлектрических величин
SU977930A1 (ru) Емкостный измеритель перемещений
JP3352793B2 (ja) 温度測定装置
US2766429A (en) Capacitive accelerometer
RU2025742C1 (ru) Цифровой емкостный высотомер
SU798491A1 (ru) Емкостный измеритель уровн жидкостей
SU1739202A1 (ru) Устройство дл измерени расхода жидкости или газа