JPS62288543A - 差圧発信器 - Google Patents
差圧発信器Info
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- JPS62288543A JPS62288543A JP61131741A JP13174186A JPS62288543A JP S62288543 A JPS62288543 A JP S62288543A JP 61131741 A JP61131741 A JP 61131741A JP 13174186 A JP13174186 A JP 13174186A JP S62288543 A JPS62288543 A JP S62288543A
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Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Indication And Recording Devices For Special Purposes And Tariff Metering Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
３、発明の詳細な説明
〔産業上の利用分野〕
本発明は、各種のプロセス制御系等において、第１およ
び第２の入力圧力の差圧を求め、その信号を伝送路に送
出する差圧発信器に関する。
び第２の入力圧力の差圧を求め、その信号を伝送路に送
出する差圧発信器に関する。
従来この種の発信器として、差圧を電気量に変換する圧
力検出センサーの出力信号および差圧に影響を与える静
圧や温度等の検出センサーの出力信号から差圧を算出し
、例えば４〜２０ｍＡの電流信号として発信するものが
ある。
力検出センサーの出力信号および差圧に影響を与える静
圧や温度等の検出センサーの出力信号から差圧を算出し
、例えば４〜２０ｍＡの電流信号として発信するものが
ある。
このような差圧発信器において、静圧や温度の影響を考
慮した上での差圧の算定は、当然にある誤差をもって行
なわれるが、その精度は常に一定ではなく、例えば差圧
や温度によって変動する。
慮した上での差圧の算定は、当然にある誤差をもって行
なわれるが、その精度は常に一定ではなく、例えば差圧
や温度によって変動する。
ところが、従来の差圧発信器においては、算定した差圧
値そのものは発信されるが、その精度は示されないため
、その値をどの程度信用してよいのか、例えば１ ｋ＆
／ｉと出力されているものが、使用環境によって、１．
１に９／−のこともあシ得るのか、あるいは１．５ ｋ
ｙ／−のこともあシ得るのかわからないという不都合が
あった。
値そのものは発信されるが、その精度は示されないため
、その値をどの程度信用してよいのか、例えば１ ｋ＆
／ｉと出力されているものが、使用環境によって、１．
１に９／−のこともあシ得るのか、あるいは１．５ ｋ
ｙ／−のこともあシ得るのかわからないという不都合が
あった。
本発明は、差圧検出センサー、あるいは静圧、温度等の
センサーをもつときには差圧検出センサーおよびそれら
の各検出センサーの出力信号から差圧値を算定するとと
もにその算定精度を求める信号処理手段を設けたもので
ある。
センサーをもつときには差圧検出センサーおよびそれら
の各検出センサーの出力信号から差圧値を算定するとと
もにその算定精度を求める信号処理手段を設けたもので
ある。
信号処理手段は、各検出センサーの出力信号を取り込ん
で所定の関係式から差圧値を算定するとともにそのとき
の算定精度を出力する。これらの差圧値および算定精度
は、通信手段によシデジタルもしくはアナログ信号とし
て送出される。
で所定の関係式から差圧値を算定するとともにそのとき
の算定精度を出力する。これらの差圧値および算定精度
は、通信手段によシデジタルもしくはアナログ信号とし
て送出される。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図である。同
図において、複合機能センサー１は、第２図に示すよう
に、従来一般に使用されている半導体圧力センサーと同
様に、シリコンチップ１１１に薄肉ダイアフラム部１１
１人を構成し、表面に拡散領域からなるピエゾ抵抗素子
を形成し、差圧の変化を電気信号として取出せるように
したものであるが、主として差圧に感応する、つまシ差
圧に対する感度の高い差圧測定用センサーＩＡ、主とし
て静圧に感応する静圧測定用センサー１Ｂおよび主とし
て温度に感応する温度測定用センサー１Ｃの３Ｗｉの測
定エレメントを同一チップ上に配置しである。つまシ、
このセンサーは、測定したい状態量である差圧のみなら
ず、その差圧に対しては外乱と考えられる状態量の静圧
および温度をも測定するもので、 とすると、 と表現できるから、各センサーにおいてｆ、ｇ、ｈの関
数がわかれば、（１）式の連立方程式を解くことによ！
７、（２）式の解が求められる。
図において、複合機能センサー１は、第２図に示すよう
に、従来一般に使用されている半導体圧力センサーと同
様に、シリコンチップ１１１に薄肉ダイアフラム部１１
１人を構成し、表面に拡散領域からなるピエゾ抵抗素子
を形成し、差圧の変化を電気信号として取出せるように
したものであるが、主として差圧に感応する、つまシ差
圧に対する感度の高い差圧測定用センサーＩＡ、主とし
て静圧に感応する静圧測定用センサー１Ｂおよび主とし
て温度に感応する温度測定用センサー１Ｃの３Ｗｉの測
定エレメントを同一チップ上に配置しである。つまシ、
このセンサーは、測定したい状態量である差圧のみなら
ず、その差圧に対しては外乱と考えられる状態量の静圧
および温度をも測定するもので、 とすると、 と表現できるから、各センサーにおいてｆ、ｇ、ｈの関
数がわかれば、（１）式の連立方程式を解くことによ！
７、（２）式の解が求められる。
ｆ 、ｇ、ｈの関数の同定およびＦ、Ｇ、Ｈの式を求め
る作業は、予め１個１個のセンサーについて行なわれる
。この作業をセンサーのキャラクタリゼーションと呼ぶ
。
る作業は、予め１個１個のセンサーについて行なわれる
。この作業をセンサーのキャラクタリゼーションと呼ぶ
。
再び第１図において、導圧管（図示せず）によってこの
発信器に導かれた圧力ｐｐは、受圧ダイアフラム（図示
せず）を介して封入液（図示せず）に伝達され、オーバ
ーロード保護機構２を通って、最終的にセンサー１に伝
えられる。このセンサー１に加えられた差圧・静圧・温
度は、各センサーＩＡ、ＩＢ 、ＩＣによって３つのア
ナログ電気信号に変換される。この３種類のアナログ電
気信号は、マイクロプロセッサによシ、その制御下にあ
るマルチプレクサ３を介して選択的に、かつルΦ変換器
４によりデジタル信号に変換された上でデジタル演算部
に取シ込まれる。このデジタル演算部は、マイクロプロ
セッサを形成するプロセッサユニット５および各種メモ
リー６〜９によシ構成され、プロセッサユニット５が、
ＲＯＭ６に予め格納されているプログラムの実行として
、はじめに上記各センサー１人；１Ｂ、１Ｃから得られ
る３つのデータ、！：、ＦＲＯＭ７に格納されているセ
ンサーの特性データ（キャラクタリゼーション・データ
）とを用い、適宜ＲＡＭ ８にアクセスしながら差圧を
計算する。計算された差圧は、次Ｋ ＮＶＭ （ノンボ
ラタイルメモリー：不揮発性メモリー）９に格納されて
いるコンフィギユレーション・データに従って単位変換
され、デジタル量となる。このデジタル量は、Ｄ／Ａ変
換器１０を通して４〜２０ｍＡのアナログ信号に変換さ
れ、２線式伝送路に送出される。１１は定電圧回路であ
る。
発信器に導かれた圧力ｐｐは、受圧ダイアフラム（図示
せず）を介して封入液（図示せず）に伝達され、オーバ
ーロード保護機構２を通って、最終的にセンサー１に伝
えられる。このセンサー１に加えられた差圧・静圧・温
度は、各センサーＩＡ、ＩＢ 、ＩＣによって３つのア
ナログ電気信号に変換される。この３種類のアナログ電
気信号は、マイクロプロセッサによシ、その制御下にあ
るマルチプレクサ３を介して選択的に、かつルΦ変換器
４によりデジタル信号に変換された上でデジタル演算部
に取シ込まれる。このデジタル演算部は、マイクロプロ
セッサを形成するプロセッサユニット５および各種メモ
リー６〜９によシ構成され、プロセッサユニット５が、
ＲＯＭ６に予め格納されているプログラムの実行として
、はじめに上記各センサー１人；１Ｂ、１Ｃから得られ
る３つのデータ、！：、ＦＲＯＭ７に格納されているセ
ンサーの特性データ（キャラクタリゼーション・データ
）とを用い、適宜ＲＡＭ ８にアクセスしながら差圧を
計算する。計算された差圧は、次Ｋ ＮＶＭ （ノンボ
ラタイルメモリー：不揮発性メモリー）９に格納されて
いるコンフィギユレーション・データに従って単位変換
され、デジタル量となる。このデジタル量は、Ｄ／Ａ変
換器１０を通して４〜２０ｍＡのアナログ信号に変換さ
れ、２線式伝送路に送出される。１１は定電圧回路であ
る。
またこの発信器は、上述したようにマイクロプロセッサ
を内蔵しているため、第３図に示すような伝送系におい
て、ジャンクション・ボックス２１を介して伝送路２２
に接続された携帯形の通信装置２３この間で、デジタル
信号入出力回路１２を介して、４〜２０ｍＡの信号の断
続によシ、デジタル通信を行々うことができる。１３は
そのためのパルス発生用のスイッチングトランジスタで
ある。
を内蔵しているため、第３図に示すような伝送系におい
て、ジャンクション・ボックス２１を介して伝送路２２
に接続された携帯形の通信装置２３この間で、デジタル
信号入出力回路１２を介して、４〜２０ｍＡの信号の断
続によシ、デジタル通信を行々うことができる。１３は
そのためのパルス発生用のスイッチングトランジスタで
ある。
なお、第３図において２４が本実施例の発信器である。
２５は電源、２６は受信装置である。また、第４図に第
３図の等何回路を示す。２Ｔは電流信号を電圧信号に変
換して取シ出すための抵抗器である。
３図の等何回路を示す。２Ｔは電流信号を電圧信号に変
換して取シ出すための抵抗器である。
ここで、上述したように差圧は、各センサーからのデー
タと、キャラクタリゼーションーデータとによって決ま
る。先にも述べたように、キャラクタリゼーションは、
センサー１の３つの出力と３つの入力この関係を明らか
にする（固定）ことおよび（２）式の関係式を求める（
出力関数の決定）ことよシなる。プロセス用差圧発信器
においては、プロセス圧は直接センサーに作用するので
はなく、バリアダイアフラムおよび封入液を介してセン
サーに働き、静圧や温度はこれらのダイアフラムや封入
液等の構成ニレメン）Ｋも影響を与えるから、センサー
の同定は、センサーが実際にフィールドで設置される形
、つまシ完全なメータボディの形で行表われる。また同
定は、所定の範囲内における差圧・静圧・温度の異なる
組合せの条件で、メータボディのＰ、８．Ｔの各センサ
ー出力を測定することによって行なわれる。次に、この
同定によって得られたデータを大形計算機で処理し、出
方関数を決定する。
タと、キャラクタリゼーションーデータとによって決ま
る。先にも述べたように、キャラクタリゼーションは、
センサー１の３つの出力と３つの入力この関係を明らか
にする（固定）ことおよび（２）式の関係式を求める（
出力関数の決定）ことよシなる。プロセス用差圧発信器
においては、プロセス圧は直接センサーに作用するので
はなく、バリアダイアフラムおよび封入液を介してセン
サーに働き、静圧や温度はこれらのダイアフラムや封入
液等の構成ニレメン）Ｋも影響を与えるから、センサー
の同定は、センサーが実際にフィールドで設置される形
、つまシ完全なメータボディの形で行表われる。また同
定は、所定の範囲内における差圧・静圧・温度の異なる
組合せの条件で、メータボディのＰ、８．Ｔの各センサ
ー出力を測定することによって行なわれる。次に、この
同定によって得られたデータを大形計算機で処理し、出
方関数を決定する。
この場合、差圧値として得られるデータの精度は、従来
一般に用いられている差圧発信器のようにセンサー自体
の物理的特性あるいは電気回路等によって決定されるの
ではなく、キャラクタリゼーションによって決定される
。つまυ、同定のための装置の精度と、出力関数の近似
精度とによって、その精度が決定される。
一般に用いられている差圧発信器のようにセンサー自体
の物理的特性あるいは電気回路等によって決定されるの
ではなく、キャラクタリゼーションによって決定される
。つまυ、同定のための装置の精度と、出力関数の近似
精度とによって、その精度が決定される。
本実施例では、この精度を、第５図６）Ｋ示すように、
差圧測定用センサー１人から読取った差圧ｐｖがＰＶ６
＝ １２５０ｍ Ｈ２０からＰＶｍ＆ｘ＝ １０００
０ｍ１００Ｏ０使用範囲において、誤差分ＥＰＶｐ ＝
０．００１Ｐｖとなるように、つｔυ同図（ｂ）に示
すように上記範囲内において読取シ値に対しＥＰＶＰ（
イ）＝ ０．１ ％の精度が確保されるように設定して
いる。なお、Ｐ Ｖ （Ｐ Ｖ （１の範囲においては
、誤差分ＥＰＶｐ ＝ １．２５ｗ１ＨｚＯ一定として
いるため、この範囲においては読取υ値に対する比は、
ｐｖがｐｖｏよシ小さくなるに従って増大する。つまシ
この範囲では００１％の精度は保証されておらず、この
意味で使用範囲外である。
差圧測定用センサー１人から読取った差圧ｐｖがＰＶ６
＝ １２５０ｍ Ｈ２０からＰＶｍ＆ｘ＝ １０００
０ｍ１００Ｏ０使用範囲において、誤差分ＥＰＶｐ ＝
０．００１Ｐｖとなるように、つｔυ同図（ｂ）に示
すように上記範囲内において読取シ値に対しＥＰＶＰ（
イ）＝ ０．１ ％の精度が確保されるように設定して
いる。なお、Ｐ Ｖ （Ｐ Ｖ （１の範囲においては
、誤差分ＥＰＶｐ ＝ １．２５ｗ１ＨｚＯ一定として
いるため、この範囲においては読取υ値に対する比は、
ｐｖがｐｖｏよシ小さくなるに従って増大する。つまシ
この範囲では００１％の精度は保証されておらず、この
意味で使用範囲外である。
第５図に示したものは、差圧の変化この関係で規定した
精度で、その場合、静圧と温度は一定とした場合に保証
される精度である。例えば温度は、２５℃一定とした場
合の精度であるが、温度が変われば、第６図に示すよう
に、さらにそれによる誤差が生ずる。そこで、温度の影
響を考慮した誤差分は、第５図（＆）から得られる誤差
分に、第６図によって得られる誤差分を加えて得られる
。例えば、ＰＶ＝３０００ｗＨ２０、温度測定用センサ
ー１Ｂから読取った温度Ｔｓｍｐ＝６０℃であったとす
れば、差圧に依存する誤差分ＥＰＶＰが第５図（ａ）よ
り３ｍＨ２Ｏ、温度に依存する誤差分ＥＰＶＴが第６図
よシよって、両者を併せた精度は、 ３０００±４．９ｍＨ２Ｏ （±１．６３％） となる。静圧についても同様で、静圧が変化すれば、そ
れに依存する誤差分ＥＰＶｓがさらに加わる。
精度で、その場合、静圧と温度は一定とした場合に保証
される精度である。例えば温度は、２５℃一定とした場
合の精度であるが、温度が変われば、第６図に示すよう
に、さらにそれによる誤差が生ずる。そこで、温度の影
響を考慮した誤差分は、第５図（＆）から得られる誤差
分に、第６図によって得られる誤差分を加えて得られる
。例えば、ＰＶ＝３０００ｗＨ２０、温度測定用センサ
ー１Ｂから読取った温度Ｔｓｍｐ＝６０℃であったとす
れば、差圧に依存する誤差分ＥＰＶＰが第５図（ａ）よ
り３ｍＨ２Ｏ、温度に依存する誤差分ＥＰＶＴが第６図
よシよって、両者を併せた精度は、 ３０００±４．９ｍＨ２Ｏ （±１．６３％） となる。静圧についても同様で、静圧が変化すれば、そ
れに依存する誤差分ＥＰＶｓがさらに加わる。
本実施例では、この誤差は、差圧ｐｖと静圧ｓｐの範囲
に応じて次のように規定している。
に応じて次のように規定している。
Ｉ） Ｏ≦ｓｐ≦２１０ ｋｇ／−のときｌ−１）
ＰＶ≧ＰＶｔ（ＰＶｔ ＝ ２５ＱＯｔ＊Ｈ２０）のと
きＥＰＶｓ＝ ＰＶ Ｘ Ｏ，００２Ｘ ＳＰ／７０つ
まシ、例えば静圧が７０ ｋｆ／−のとき、差圧値は０
．２％の誤差をもつ。この誤差分は静圧値に比例し、静
圧が３５ｋｌＦ／−であれば、０．１係の誤差となる。
ＰＶ≧ＰＶｔ（ＰＶｔ ＝ ２５ＱＯｔ＊Ｈ２０）のと
きＥＰＶｓ＝ ＰＶ Ｘ Ｏ，００２Ｘ ＳＰ／７０つ
まシ、例えば静圧が７０ ｋｆ／−のとき、差圧値は０
．２％の誤差をもつ。この誤差分は静圧値に比例し、静
圧が３５ｋｌＦ／−であれば、０．１係の誤差となる。
Ｉ −２） ＰＶ ＜ ＰＶ １ＯときＥＰＶ８＝ＰＶ
ＩＸＯ１００２ＸＳＰ／７０つｔシ、差圧が小さい範囲
では差圧によっては変化しないものとしている。例えば
静圧が７０ｋｆ／ｃｄのとき５ｍＨ２Ｏ、静圧が３５に
！ｇ／−のとき２．５ ｓａｗ Ｈ２０の誤差を生ずる
。
ＩＸＯ１００２ＸＳＰ／７０つｔシ、差圧が小さい範囲
では差圧によっては変化しないものとしている。例えば
静圧が７０ｋｆ／ｃｄのとき５ｍＨ２Ｏ、静圧が３５に
！ｇ／−のとき２．５ ｓａｗ Ｈ２０の誤差を生ずる
。
ｎ） ２１０≦ｓｐ≦４２０に９／−のときこの場合
は、上記の誤差に、さらに次のものが加わる。
は、上記の誤差に、さらに次のものが加わる。
ＥＰＶ、’ ＝ ＰＶ Ｘ Ｏ，００２Ｘ （ＳＰ−２
１０）／７０りまシ、ｓｐが２１０ｋｇ／ｄ以上では、
誤差の傾きが変化する。
１０）／７０りまシ、ｓｐが２１０ｋｇ／ｄ以上では、
誤差の傾きが変化する。
結局、例えばｐｖが２５０（ｈｗＨ２０の範囲では、差
圧の読取シ値に対する静圧による誤差ＥＰＶ８（４）は
第７図に示すようになる。
圧の読取シ値に対する静圧による誤差ＥＰＶ８（４）は
第７図に示すようになる。
これら差圧、温度および静圧に依存する各誤差分を加え
たものが、総合誤差ＥＰＶと々る。つまシ、実際の使用
状態において差圧として出力される値は、真の差圧に対
して上記の誤差ＥＰＶに相当する精度で算定された値で
ある。
たものが、総合誤差ＥＰＶと々る。つまシ、実際の使用
状態において差圧として出力される値は、真の差圧に対
して上記の誤差ＥＰＶに相当する精度で算定された値で
ある。
そこで、本実施例の発信器においては、前述したように
デジタル演算部において差圧Ｐｖを算定し、アナログ信
号としてコントロールルームの受信装置２６に受は送出
するが、一方、通信装置２３からの要求があった場合に
は、上述したようにしてそのときの差圧値の総合精度を
求め、デジタル信号によシ送出する。
デジタル演算部において差圧Ｐｖを算定し、アナログ信
号としてコントロールルームの受信装置２６に受は送出
するが、一方、通信装置２３からの要求があった場合に
は、上述したようにしてそのときの差圧値の総合精度を
求め、デジタル信号によシ送出する。
第８図は、この動作を示すフローチャートである。プロ
セッサユニット５は、常時は一定の周期で各センサーみ
出力を取シ込み（ステップ１ｏ１）、そのときの差圧ｐ
ｖを算定して（ステップ１０２ ）Ｄ／Ａ変換器１０に
出力する（ステップ１ｏ３）。
セッサユニット５は、常時は一定の周期で各センサーみ
出力を取シ込み（ステップ１ｏ１）、そのときの差圧ｐ
ｖを算定して（ステップ１０２ ）Ｄ／Ａ変換器１０に
出力する（ステップ１ｏ３）。
これに対し、通信装置２３から発信要求があった場合（
ウェイクアップパルスを受信した場合）Ｋは（ステップ
１０４）、プロセッサユニット５はそのときの静圧ｓｐ
および温度Ｔ＠ｍｐを算出しくステップ１０５）、前述
したようＫそのときの差圧ｐｖ、静圧ｓｐおよび温度Ｔ
＠ｍｐに応じて各誤差分ＥＰＶｐ 、 ＥＰＶｓおよび
ＥＰＶＴを求める（ステップ１０６〜１０８）。ついで
、これらから総合精度ＥＰＶもしくはＥＰＶ（％；を算
出しくステップ１０９ ） 、差圧値ｐｖとともにデジ
タル通信にょシ発信する（ステップ１１０）。
ウェイクアップパルスを受信した場合）Ｋは（ステップ
１０４）、プロセッサユニット５はそのときの静圧ｓｐ
および温度Ｔ＠ｍｐを算出しくステップ１０５）、前述
したようＫそのときの差圧ｐｖ、静圧ｓｐおよび温度Ｔ
＠ｍｐに応じて各誤差分ＥＰＶｐ 、 ＥＰＶｓおよび
ＥＰＶＴを求める（ステップ１０６〜１０８）。ついで
、これらから総合精度ＥＰＶもしくはＥＰＶ（％；を算
出しくステップ１０９ ） 、差圧値ｐｖとともにデジ
タル通信にょシ発信する（ステップ１１０）。
これによシ、通信装置２３側では、差圧ｐｖ。
値を、その精度とともに実時間で知ることができる。
本実施例では、通常は差圧をアナログ信号として出力し
、特に要求があった場合にのみ、デジタル通信によシそ
の精度を発信するものとしたが、本発明はこれに限定さ
れるものではなく、例えばすべてをデジタル通信とする
ことも可能である。
、特に要求があった場合にのみ、デジタル通信によシそ
の精度を発信するものとしたが、本発明はこれに限定さ
れるものではなく、例えばすべてをデジタル通信とする
ことも可能である。
第９図は、そのような場合のプロセッサユニットにおけ
る処理プログラムの一例を示すフローチャートである。
る処理プログラムの一例を示すフローチャートである。
なお、第５図ないし第６図に示した誤差の規定は一例で
あシ、これに限定されるものでないことはいうまでもな
い。例えば第６図において、ある温度から誤差の傾きが
変わるものであってもよい。
あシ、これに限定されるものでないことはいうまでもな
い。例えば第６図において、ある温度から誤差の傾きが
変わるものであってもよい。
以上、差圧に対し、静圧および温度の影響を考慮した場
合について説明したが、もちろん、他の差圧に影響する
その他の物理量についても考慮してもよいことはいうま
でもない。また、静圧および温度測定用センサーをもた
ない場合においても、差圧測定用センサーの出力から差
圧値を算出するに際しての精度を、当該差圧値とともに
発信するようＫしてもよい。
合について説明したが、もちろん、他の差圧に影響する
その他の物理量についても考慮してもよいことはいうま
でもない。また、静圧および温度測定用センサーをもた
ない場合においても、差圧測定用センサーの出力から差
圧値を算出するに際しての精度を、当該差圧値とともに
発信するようＫしてもよい。
以上説明したように１本発明によれば、各検出センサー
の出力信号から差圧値を算定するとともにその算定精度
を求める信号処理手段を設けたことＫよシ、当該差圧値
とともに、その差圧値および周囲環境によって決まるそ
の精度を知ることができるようＫなる。特に１基準器と
して使用した場合には、校正時の精度が明らかとなるこ
とで、被校正側が十分に満足できる値であるか否かを正
確に判断することが可能となる。
の出力信号から差圧値を算定するとともにその算定精度
を求める信号処理手段を設けたことＫよシ、当該差圧値
とともに、その差圧値および周囲環境によって決まるそ
の精度を知ることができるようＫなる。特に１基準器と
して使用した場合には、校正時の精度が明らかとなるこ
とで、被校正側が十分に満足できる値であるか否かを正
確に判断することが可能となる。
また、従来よシ測定値の正確性を確保するため、１つの
量を同時に２つの計器で測定し、両側定値の差が誤差の
範囲を考慮して設定したある幅を越えた場合には、いず
れかの計器に異常が発生したものとして警報を発する偏
差モニターが用いられ、従来はその判断の幅を一定（固
定）としていたが、本発明により誤差がわかれば、その
判断の幅を誤差の値とするととくよって、よシ適切な判
断が行なえる。
量を同時に２つの計器で測定し、両側定値の差が誤差の
範囲を考慮して設定したある幅を越えた場合には、いず
れかの計器に異常が発生したものとして警報を発する偏
差モニターが用いられ、従来はその判断の幅を一定（固
定）としていたが、本発明により誤差がわかれば、その
判断の幅を誤差の値とするととくよって、よシ適切な判
断が行なえる。
【図面の簡単な説明】
第１図表いし第７図は本発明の一実施例を示す図で、第
１図は差圧発信器のブロック図、第２図はセンサーの平
面図、第３図は伝送系のブロック図、第４図はその等価
回路図、第５図は差圧算定時の誤差の差圧依存性を示す
図、第６図および第７図はそれぞれ温度依存性および静
圧依存性を示す図、第８図は動作を示すフローチャート
、第９図は本発明の他の実施例の動作を示すフローチャ
ートである。 １人・・・・差圧測定用センサー、１Ｂ−Φ・・静圧測
定用センサー、１Ｃ・・・・温度測定用センサー、５・
・・・プロセッサユニット、１３−ｅ・・スイッチング
トランジスタ、２２・・・・伝送路、２４拳・・・差圧
発信器。 図面の浄書（内容に変更′なし） 第１＠ 第２図 第３図 第４図 １ｉ句も（ 第５図 第６図 第７図 ＥＰＶ５（％）（０′。） ７０ ２１０２８０ ＳＰ（ｋｇ／ｃｍ２）第８
図 第９図 手続補正書（さ入） １、事件の表示 昭和１／年特 許願第１．ｌ／７ダ／号３、補正をす
る者
１図は差圧発信器のブロック図、第２図はセンサーの平
面図、第３図は伝送系のブロック図、第４図はその等価
回路図、第５図は差圧算定時の誤差の差圧依存性を示す
図、第６図および第７図はそれぞれ温度依存性および静
圧依存性を示す図、第８図は動作を示すフローチャート
、第９図は本発明の他の実施例の動作を示すフローチャ
ートである。 １人・・・・差圧測定用センサー、１Ｂ−Φ・・静圧測
定用センサー、１Ｃ・・・・温度測定用センサー、５・
・・・プロセッサユニット、１３−ｅ・・スイッチング
トランジスタ、２２・・・・伝送路、２４拳・・・差圧
発信器。 図面の浄書（内容に変更′なし） 第１＠ 第２図 第３図 第４図 １ｉ句も（ 第５図 第６図 第７図 ＥＰＶ５（％）（０′。） ７０ ２１０２８０ ＳＰ（ｋｇ／ｃｍ２）第８
図 第９図 手続補正書（さ入） １、事件の表示 昭和１／年特 許願第１．ｌ／７ダ／号３、補正をす
る者
Claims (2)
- （１）第１および第２の入力圧力の差圧に対応する電気
量を出力する差圧検出センサーと、この差圧検出センサ
ーの出力信号から差圧値を算定するとともにその算定精
度を求める信号処理手段と、この信号処理手段の出力信
号をデジタルにもしくはアナログ信号として伝送路に送
出する通信手段とを備えたことを特徴とする差圧発信器
。 - （２）第１および第２の入力圧力の差圧に対応する電気
量を出力する差圧検出センサーと、上記差圧に影響を及
ぼす他の物理量に対応する電気量を出力する少なくとも
１種の検出センサーと、これらの各検出センサーの出力
信号から差圧値を算定するとともにその算定精度を求め
る信号処理手段とこの信号処理手段の出力信号をデジタ
ルもしくはアナログ信号として伝送路に送出する通信手
段とを備えたことを特徴とする差圧発信器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61131741A JPS62288543A (ja) | 1986-06-09 | 1986-06-09 | 差圧発信器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61131741A JPS62288543A (ja) | 1986-06-09 | 1986-06-09 | 差圧発信器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62288543A true JPS62288543A (ja) | 1987-12-15 |
| JPH0370173B2 JPH0370173B2 (ja) | 1991-11-06 |
Family
ID=15065106
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61131741A Granted JPS62288543A (ja) | 1986-06-09 | 1986-06-09 | 差圧発信器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62288543A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017142264A (ja) * | 2017-04-21 | 2017-08-17 | ラピスセミコンダクタ株式会社 | 半導体装置および電子端末 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5441845B2 (ja) * | 2010-07-09 | 2014-03-12 | アズビル株式会社 | デュアル圧力センサ及び流量制御弁 |
-
1986
- 1986-06-09 JP JP61131741A patent/JPS62288543A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017142264A (ja) * | 2017-04-21 | 2017-08-17 | ラピスセミコンダクタ株式会社 | 半導体装置および電子端末 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0370173B2 (ja) | 1991-11-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |