JPS6227482B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6227482B2 JPS6227482B2 JP54103667A JP10366779A JPS6227482B2 JP S6227482 B2 JPS6227482 B2 JP S6227482B2 JP 54103667 A JP54103667 A JP 54103667A JP 10366779 A JP10366779 A JP 10366779A JP S6227482 B2 JPS6227482 B2 JP S6227482B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- reaction
- hydrolysis
- ferroelectric
- thermal decomposition
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 31
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 claims description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 16
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 10
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 claims description 9
- 150000002902 organometallic compounds Chemical class 0.000 claims description 8
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 14
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 10
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 8
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 6
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 description 6
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 6
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 3
- -1 titanium alkoxide Chemical class 0.000 description 3
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 2
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- MXTOFRMIIQQSOE-UHFFFAOYSA-N butane;titanium(4+) Chemical compound [Ti+4].CCC[CH2-].CCC[CH2-].CCC[CH2-].CCC[CH2-] MXTOFRMIIQQSOE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N dioxido(oxo)titanium;lead(2+) Chemical compound [Pb+2].[O-][Ti]([O-])=O NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 2
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 2
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UPWGGXLAZRGSTI-UHFFFAOYSA-N CCCC[Zr](CCCC)(CCCC)CCCC Chemical compound CCCC[Zr](CCCC)(CCCC)CCCC UPWGGXLAZRGSTI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052688 Gadolinium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910013641 LiNbO 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002367 SrTiO Inorganic materials 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- RKTYLMNFRDHKIL-UHFFFAOYSA-N copper;5,10,15,20-tetraphenylporphyrin-22,24-diide Chemical compound [Cu+2].C1=CC(C(=C2C=CC([N-]2)=C(C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC(N=2)=C(C=2C=CC=CC=2)C2=CC=C3[N-]2)C=2C=CC=CC=2)=NC1=C3C1=CC=CC=C1 RKTYLMNFRDHKIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- UIWYJDYFSGRHKR-UHFFFAOYSA-N gadolinium atom Chemical compound [Gd] UIWYJDYFSGRHKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 238000010574 gas phase reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003301 hydrolyzing effect Effects 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- GIWKOZXJDKMGQC-UHFFFAOYSA-L lead(2+);naphthalene-2-carboxylate Chemical compound [Pb+2].C1=CC=CC2=CC(C(=O)[O-])=CC=C21.C1=CC=CC2=CC(C(=O)[O-])=CC=C21 GIWKOZXJDKMGQC-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- MEFBJEMVZONFCJ-UHFFFAOYSA-N molybdate Chemical compound [O-][Mo]([O-])(=O)=O MEFBJEMVZONFCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WWZKQHOCKIZLMA-UHFFFAOYSA-M octanoate Chemical compound CCCCCCCC([O-])=O WWZKQHOCKIZLMA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011591 potassium Substances 0.000 description 1
- UKDIAJWKFXFVFG-UHFFFAOYSA-N potassium;oxido(dioxo)niobium Chemical compound [K+].[O-][Nb](=O)=O UKDIAJWKFXFVFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 239000006104 solid solution Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- VEALVRVVWBQVSL-UHFFFAOYSA-N strontium titanate Chemical compound [Sr+2].[O-][Ti]([O-])=O VEALVRVVWBQVSL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000001308 synthesis method Methods 0.000 description 1
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
- Inorganic Insulating Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、有機金属化合物の加水分解反応を
用い、加水分解反応後の熱分解反応時に、水蒸気
を強制的に送込み、再現性のよい均一な強誘電体
の透明薄膜を得るようにした強誘電体薄膜の製造
方法に関する。
用い、加水分解反応後の熱分解反応時に、水蒸気
を強制的に送込み、再現性のよい均一な強誘電体
の透明薄膜を得るようにした強誘電体薄膜の製造
方法に関する。
従来、強誘電体薄膜の製造方法においては、ス
パツタ法等の真空蒸着、気相反応等が試みられて
いるが、これらの方法は、高温度を必要とするこ
と、ストイキオメトリ制御が非常に困難であるこ
と等の理由により、そのいずれもが実用化されて
いない。
パツタ法等の真空蒸着、気相反応等が試みられて
いるが、これらの方法は、高温度を必要とするこ
と、ストイキオメトリ制御が非常に困難であるこ
と等の理由により、そのいずれもが実用化されて
いない。
ところが、近年、前述のいずれにも属さない方
法により、強誘電体であるBaTiO3（チタン酸バ
リウム）膜の合成が試みられている。この方法
は、セラミツク・ブリテイン（CERAMIC
BULLETIN）Vol.55No.12（1976）の「有機金属
化合物の加水分解によるチタン酸バリウム薄膜の
合成」（PREPARATION OF BaTiO3 FILMS
BY HYDROLYSIS OF ORGANOMETALLIC
COMPOUNDS）に紹介されたものであり、溶液
状態よりの化学反応を用いた合成法、すなわち液
相反応による強誘電体薄膜の合成法である。すな
わち、Ba（バリウム）の有機化合物〔C8H15
（CH2）nCOO〕2Ba（ｎ＝０〜３）（ナフテン酸バ
リウム）と、Ti（チタン）の有機化合物
（C4H9O）2Ti〔C4H8ON（C4H9OH）2〕2（チタンア
ルコオキシド）とを、BaとTiとが等モル比とな
るように混合し、両者のブタノール溶液を、ガラ
スまたは石英ガラスの表面に滴下もしくはデイツ
ピングにより塗布し、110℃の空気中において30
分間乾燥したのち、200〜800℃の電気炉で0.5〜
１時間加熱し、その結果、透明なBaTiO3の薄膜
を得るものである。この反応式は、 （R1COO）2Ba＋Ti（OR1′）4＋3H2O →BaTiO32R1COOH＋4R1′OH であり、R1はC8H15（CH2）ｎ（ｎ＝０〜３）、
R1′は（C4H8）Ｎ（C4H9OH）2（C4H9O）であ
る。なお、この反応式に示すナフテン酸バリウム
とチタンアルコオキシドとの加水分解は、室温お
よび110℃の空気中での乾燥時に起こるものとさ
れ、その後の電気炉による加熱は、有機化合物
BaTiO3・2RlCOOHの熱分解のために必要とされ
るものである。
法により、強誘電体であるBaTiO3（チタン酸バ
リウム）膜の合成が試みられている。この方法
は、セラミツク・ブリテイン（CERAMIC
BULLETIN）Vol.55No.12（1976）の「有機金属
化合物の加水分解によるチタン酸バリウム薄膜の
合成」（PREPARATION OF BaTiO3 FILMS
BY HYDROLYSIS OF ORGANOMETALLIC
COMPOUNDS）に紹介されたものであり、溶液
状態よりの化学反応を用いた合成法、すなわち液
相反応による強誘電体薄膜の合成法である。すな
わち、Ba（バリウム）の有機化合物〔C8H15
（CH2）nCOO〕2Ba（ｎ＝０〜３）（ナフテン酸バ
リウム）と、Ti（チタン）の有機化合物
（C4H9O）2Ti〔C4H8ON（C4H9OH）2〕2（チタンア
ルコオキシド）とを、BaとTiとが等モル比とな
るように混合し、両者のブタノール溶液を、ガラ
スまたは石英ガラスの表面に滴下もしくはデイツ
ピングにより塗布し、110℃の空気中において30
分間乾燥したのち、200〜800℃の電気炉で0.5〜
１時間加熱し、その結果、透明なBaTiO3の薄膜
を得るものである。この反応式は、 （R1COO）2Ba＋Ti（OR1′）4＋3H2O →BaTiO32R1COOH＋4R1′OH であり、R1はC8H15（CH2）ｎ（ｎ＝０〜３）、
R1′は（C4H8）Ｎ（C4H9OH）2（C4H9O）であ
る。なお、この反応式に示すナフテン酸バリウム
とチタンアルコオキシドとの加水分解は、室温お
よび110℃の空気中での乾燥時に起こるものとさ
れ、その後の電気炉による加熱は、有機化合物
BaTiO3・2RlCOOHの熱分解のために必要とされ
るものである。
したがつて、この製法によれば、ナフテン酸バ
リウムとチタンアルコオキシドとの加水分解によ
り、BaTiO3の薄膜が直接的に生成されるもので
あり、PbTiO3（チタン酸鉛）、PZT、LiNbO3
（ニオブ酸リチウム）等の強誘電体の合成におい
ても同様に行なわれるものである。
リウムとチタンアルコオキシドとの加水分解によ
り、BaTiO3の薄膜が直接的に生成されるもので
あり、PbTiO3（チタン酸鉛）、PZT、LiNbO3
（ニオブ酸リチウム）等の強誘電体の合成におい
ても同様に行なわれるものである。
しかし、この種方法によるBaiO3等の薄膜の合
成において、加水分解反応後の電気炉における焼
成時、すなわち熱分解時、電気炉の雰囲気を真
空、O2ガス、乾燥空気、不活性ガス等とする
と、粉末状もしくは白濁した膜しか得られないこ
とが、実験上明らかになつており、電気炉の雰囲
気により所望の薄膜が得られない欠点がある。
成において、加水分解反応後の電気炉における焼
成時、すなわち熱分解時、電気炉の雰囲気を真
空、O2ガス、乾燥空気、不活性ガス等とする
と、粉末状もしくは白濁した膜しか得られないこ
とが、実験上明らかになつており、電気炉の雰囲
気により所望の薄膜が得られない欠点がある。
この発明は、このような点に留意し、前述の液
相反応による強誘電体薄膜の製造方法における熱
分解反応時に、水蒸気を強制的に送込み、水蒸気
雰囲気中で焼成するようにしたものであり、つぎ
にこの発明を、その実験例とともに詳細に説明す
る。
相反応による強誘電体薄膜の製造方法における熱
分解反応時に、水蒸気を強制的に送込み、水蒸気
雰囲気中で焼成するようにしたものであり、つぎ
にこの発明を、その実験例とともに詳細に説明す
る。
まず、１実施例のPbTiO3（チタン酸鉛）薄膜
の製造方法について述べる。
の製造方法について述べる。
〔C8H15（CH2）nCOO〕2Pb（ｎ＝０〜３）（ナ
フテン酸鉛）と（C4H9O）4Ti（テトラブチルチタ
ン）とを、Pb（鉛）とTiとが等モル比となるよ
う秤量して20重量％ブタノール溶液とし、このブ
タノール溶液をネサガラス、スライドガラス等の
基板上に滴下もしくはデイツピングにより塗布
し、常温空気中で30分間および110℃の恒温槽中
で30分間乾燥させて加水分解反応を完了させ、そ
の後の焼成時に、20〜30℃の飽和水蒸気を５〜10
／min550℃の電気炉に強制的に送込み、30分
間加熱して熱分解反応を行なわせる。この加水分
解による化学反応式は、 （R2COO）2Pb＋（R2′O）4Ti＋3H2O →PbTiO32R2COOH＋4R2′OH となる。ここで、R2はC8H15（CH2）ｎ（ｎ＝０
〜３）、R2′はC4H9Oであり、また、加水分解に
より得られた有機化合物PbTiO32R2COOHは、
前述の熱分解によりPbTiO3の再現性のよい均一
な透明薄膜になり、Ｘ線回折等によりPbTiO3の
正方晶を確認することができる。
フテン酸鉛）と（C4H9O）4Ti（テトラブチルチタ
ン）とを、Pb（鉛）とTiとが等モル比となるよ
う秤量して20重量％ブタノール溶液とし、このブ
タノール溶液をネサガラス、スライドガラス等の
基板上に滴下もしくはデイツピングにより塗布
し、常温空気中で30分間および110℃の恒温槽中
で30分間乾燥させて加水分解反応を完了させ、そ
の後の焼成時に、20〜30℃の飽和水蒸気を５〜10
／min550℃の電気炉に強制的に送込み、30分
間加熱して熱分解反応を行なわせる。この加水分
解による化学反応式は、 （R2COO）2Pb＋（R2′O）4Ti＋3H2O →PbTiO32R2COOH＋4R2′OH となる。ここで、R2はC8H15（CH2）ｎ（ｎ＝０
〜３）、R2′はC4H9Oであり、また、加水分解に
より得られた有機化合物PbTiO32R2COOHは、
前述の熱分解によりPbTiO3の再現性のよい均一
な透明薄膜になり、Ｘ線回折等によりPbTiO3の
正方晶を確認することができる。
つぎに、PZT薄膜の製造方法について述べる。
〔C4H9CH（C3H5）COO〕2Pb（オクチル酸
鉛）と（C4H9O）4Zr（テトラブチルジルコニウ
ム）と（C4H9O）4Ti（テトラブチルチタン）と
を、Pb：Zr：Ti＝１：0.65：0.35となるモル比で
秤量して20重量％ブタノール溶液とし、前述と同
様の要領により各反応を行なわせる。この化学反
応式は、C4H9CH（C3H5）をR3、C4H9をR3′とす
ると、（R3COO）2Pb＋0.65（C4H9O）4Zr＋0.35
（C4H9O）4Ti＋3H2O→Pb（Zr0.65、Ti0.35）O3＋
4R3′OHとなり、PbZrO3とPbTiO3との固溶体で
あるPb（Zr0.65、Ti0.35）O3すなわちPZTの透明
薄膜を得ることができ、Ｘ線回折等によりPZTの
回折パターンを確認することができる。
鉛）と（C4H9O）4Zr（テトラブチルジルコニウ
ム）と（C4H9O）4Ti（テトラブチルチタン）と
を、Pb：Zr：Ti＝１：0.65：0.35となるモル比で
秤量して20重量％ブタノール溶液とし、前述と同
様の要領により各反応を行なわせる。この化学反
応式は、C4H9CH（C3H5）をR3、C4H9をR3′とす
ると、（R3COO）2Pb＋0.65（C4H9O）4Zr＋0.35
（C4H9O）4Ti＋3H2O→Pb（Zr0.65、Ti0.35）O3＋
4R3′OHとなり、PbZrO3とPbTiO3との固溶体で
あるPb（Zr0.65、Ti0.35）O3すなわちPZTの透明
薄膜を得ることができ、Ｘ線回折等によりPZTの
回折パターンを確認することができる。
したがつて、有機金属化合物の加水分解反応を
用い、この加水分解反応後の熱分解反応時に、電
気炉中に水蒸気を強制的に送込み、水蒸気雰囲気
において焼成することにより、常に再現性のよい
均一な透明薄膜を得ることができ、また、溶液状
態からの反応により薄膜を合成することができる
ため、ストイキオメトリ制御が非常に容易であ
り、化学量論的に安定した薄膜を得ることがで
き、さらに、有機金属化合物のアクテイブな反応
性を用いるため、550〜800℃のような比較的低温
度で薄膜の合成を可能にすることができる。
用い、この加水分解反応後の熱分解反応時に、電
気炉中に水蒸気を強制的に送込み、水蒸気雰囲気
において焼成することにより、常に再現性のよい
均一な透明薄膜を得ることができ、また、溶液状
態からの反応により薄膜を合成することができる
ため、ストイキオメトリ制御が非常に容易であ
り、化学量論的に安定した薄膜を得ることがで
き、さらに、有機金属化合物のアクテイブな反応
性を用いるため、550〜800℃のような比較的低温
度で薄膜の合成を可能にすることができる。
なお、この発明の方法は、他の強誘電体の化合
物の合成においても十分適用し得、SrTiO3（チ
タン酸ストロンチウム）、KNbO3（ニオブ酸カリ
ウム）、KTaO3（タンタル酸カリウム）、LiTaO3
（タンタル酸リチウム）、Gd2（MoO4）3（モリブ
デン酸ガドリニウム）等の薄膜の合成を可能にす
るものであり、さらに、この方法により得られた
薄膜は多結晶体であるが、その強誘電性により大
容量コンデンサへの応用、また透明薄膜であるこ
とにより、電気光学効果を用いた光学装置等への
応用を可能にすることができる。
物の合成においても十分適用し得、SrTiO3（チ
タン酸ストロンチウム）、KNbO3（ニオブ酸カリ
ウム）、KTaO3（タンタル酸カリウム）、LiTaO3
（タンタル酸リチウム）、Gd2（MoO4）3（モリブ
デン酸ガドリニウム）等の薄膜の合成を可能にす
るものであり、さらに、この方法により得られた
薄膜は多結晶体であるが、その強誘電性により大
容量コンデンサへの応用、また透明薄膜であるこ
とにより、電気光学効果を用いた光学装置等への
応用を可能にすることができる。
以上のように、この発明の強誘電体薄膜の製造
方法によると、有機金属化合物の加水分解反応に
より、溶液状態から強誘電体薄膜を合成する強誘
電体薄膜の製造方法において、加水分解反応後の
熱分解反応時に水蒸気を強制的に送込むことによ
り、再現性のよい均一な強誘電体の透明薄膜を合
成することができる。また、この発明は、溶液状
態からの反応により薄膜を合成することができる
ため、ストイキオメトリ制御が容易であるととも
に、反応性に富む有機金属化合物の加水分解によ
るため、比較的低温度で薄膜を合成することがで
き、化合物薄膜の１つの有力な製法となり得るも
のである。
方法によると、有機金属化合物の加水分解反応に
より、溶液状態から強誘電体薄膜を合成する強誘
電体薄膜の製造方法において、加水分解反応後の
熱分解反応時に水蒸気を強制的に送込むことによ
り、再現性のよい均一な強誘電体の透明薄膜を合
成することができる。また、この発明は、溶液状
態からの反応により薄膜を合成することができる
ため、ストイキオメトリ制御が容易であるととも
に、反応性に富む有機金属化合物の加水分解によ
るため、比較的低温度で薄膜を合成することがで
き、化合物薄膜の１つの有力な製法となり得るも
のである。
Claims (1)
- １ 有機金属化合物の加水分解反応により、溶液
状態から強誘電体薄膜を合成する強誘電体薄膜の
製造方法において、加水分解反応後の熱分解反応
時に、水蒸気を強制的に送込むことを特徴とする
強誘電体薄膜の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10366779A JPS5628408A (en) | 1979-08-14 | 1979-08-14 | Method of manufacturing ferrodielectric thin film |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10366779A JPS5628408A (en) | 1979-08-14 | 1979-08-14 | Method of manufacturing ferrodielectric thin film |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5628408A JPS5628408A (en) | 1981-03-20 |
| JPS6227482B2 true JPS6227482B2 (ja) | 1987-06-15 |
Family
ID=14360131
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10366779A Granted JPS5628408A (en) | 1979-08-14 | 1979-08-14 | Method of manufacturing ferrodielectric thin film |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5628408A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0134249A4 (en) * | 1983-01-31 | 1987-06-29 | Nippon Soda Co | PROCESS FOR PRODUCING A THIN FILM DIELECTRIC. |
| JPS59213665A (ja) * | 1983-05-13 | 1984-12-03 | 鐘淵化学工業株式会社 | 機能性無機薄膜およびその製造法 |
-
1979
- 1979-08-14 JP JP10366779A patent/JPS5628408A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5628408A (en) | 1981-03-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Hirano et al. | Preparation of strontium barium niobate by sol–gel method | |
| Tani et al. | Lead Oxide Coatings on Sol–Gel‐Derived Lead Lanthanum Zirconium Titanate Thin Layers for Enhanced Crystallization into the Perovskite Structure | |
| US3330697A (en) | Method of preparing lead and alkaline earth titanates and niobates and coating method using the same to form a capacitor | |
| Lee et al. | Sol‐gel processing of transition‐metal alkoxides for electronics | |
| Hirano et al. | Preparation of potassium tantalate niobate by sol–gel method | |
| Lin et al. | Crystallization behavior in a low temperature acetate process for perovskite PbTiO3, Pb (Zr, Ti) O3, and (Pb1− x, Lax)(Zry, Ti1− y) 1− x/4O3 bulk powders | |
| Swartz et al. | Ferroelectric thin films by sol-gel processing | |
| Xu et al. | Sol-gel processing of strontium-barium niobate ferroelectric thin film | |
| Nazeri et al. | Preparation of KTaO3 and KNbO3 solid solutions through sol–gel processing | |
| Kuang et al. | Preparation of KTa0. 65Nb0. 35O3 thin films by a sol-gel process | |
| Tahar et al. | Preparation and characterization of PZT solid solutions via sol–gel process | |
| JPS6227482B2 (ja) | ||
| US5308601A (en) | Formation of crystalline metal oxides at low temperatures | |
| JP3865442B2 (ja) | 多層酸化物薄膜素子及びその製造方法 | |
| Kakihana et al. | Chemical design of highly water-soluble Ti, Nb and Ta precursors for multi-component oxides | |
| Yogo et al. | Processing of β-BaB 2 O 4 thin films through metal organics | |
| Amini et al. | Preparation Of Single-Phase Knbo3, Using Bimetallc Alkoxides | |
| JP2783158B2 (ja) | 酸化物薄膜の製造方法 | |
| JPH0193425A (ja) | ニオブ酸リチウム粉末の製造方法 | |
| JPH0543241A (ja) | ジルコン酸チタン酸鉛薄膜の製造方法 | |
| Hirano et al. | Chemical processing of ferroelectric niobates epitaxial films | |
| JP3026871B2 (ja) | ニオブ酸タンタル酸カリウム薄膜の製造方法 | |
| JP2856599B2 (ja) | ジルコン酸チタン酸鉛薄膜の製造方法 | |
| JPH05298920A (ja) | 高誘電体薄膜 | |
| JPH0375518B2 (ja) |