JPS62195194A - 現像装置 - Google Patents

現像装置

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Publication number
JPS62195194A
JPS62195194A JP3513786A JP3513786A JPS62195194A JP S62195194 A JPS62195194 A JP S62195194A JP 3513786 A JP3513786 A JP 3513786A JP 3513786 A JP3513786 A JP 3513786A JP S62195194 A JPS62195194 A JP S62195194A
Authority
JP
Japan
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ultrasonic
printed board
developed
handle
developing
Prior art date
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Pending
Application number
JP3513786A
Other languages
English (en)
Inventor
誠 青木
川辺 明博
穐本 健
大木 伸昭
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
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Priority to JP3513786A priority Critical patent/JPS62195194A/ja
Publication of JPS62195194A publication Critical patent/JPS62195194A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は感光性インクの現像装置に係り、特にプリント
板表面に感光性インクにより半田レジストパタンを形成
するに好適な超音波現像装置に関する。
〔従来の技術〕
プリント板の表面には、後工程の部品半田付は工程での
プリント回路間の半田ブリッジを防止する目的から半田
レジストパタンをスクリン印刷法により形成するのが一
般的である。スクリーン印刷法では形成するパタンの細
密さに限度があることから、近年感光性の半田のレジス
トをホトリソグラフィによりパタン形成する方法が実用
化されて来た。ホトリソグラフィによる方法では露光、
現像の工程は必要となるが、パタンの精細化は印刷法を
しのぐ。使用する半田レジストには、いわゆるドライフ
ィルムと液状レジストの2種のタイプがあるが、現像工
程はいずれも必要である。現像はスプレ一方式によるの
が一般的である。以上の状況は電子技術第27巻第7号
111頁から116頁に詳しく述べられている。また使
用される現像装置の代表例が工業調査会発行の電子材料
編集部編プリント配線板技術の178頁から182頁に
示されている。
〔発明が解決しようとする問題点〕
上記従来技術の問題として現像残りをあげることができ
る。前述の感光性レジストのうち有機溶剤による現像を
行なうドライフィルムでは現像が溶解現像であることか
ら現像残りは比較的心配ない。一方、液状レジスl−で
は現像は膨潤現像であるので微細なフレーク状のレジス
トが現像残りとしてプリント回路表面に付着残留すると
いう問題が生じ易い。形成するバタンか微細になる程、
この問題が生ずる。微細なパタンの現像法として前述の
スプレー現像に替えて超音波現像の適用を推奨する場合
も有り、財団法人電気学会発行の感光性ポリイシド″フ
ォトニーズ″のパタン形成と膜特性(絶縁材料研究会資
料Na E i M −84−58)に詳しく述べられ
ている。超音波現像を行なう場合の装置として最も一般
的なのは現像液を入れた現像槽の底部に水平に超音波発
振源を付設したものであり東京大学出版会発行の物理工
学実験14、超音波技術の38頁、図2−24に事例が
示されている。この種の現像装置で現像を行なう場合に
最も注意を要するのが定在波の発生の問題と被現像プリ
ント板自身が吸音体として働く為にプリント板の表裏で
現像性に差を生ずる問題である。従来の超音波洗浄装置
、超音波現像装置はこの点しこついて配慮されていない
本発明の目的はこの問題、即ち超音波槽内に生ずる定常
波の影響による現像むら及びプリント板の表裏の現像む
らを防止可能な超音波現像装置を提供しようとするもの
である。更に本発明の目的は現像液内での超音波の減衰
による現像力の低下を避ける法案をも提供することにあ
る。
〔問題点を解決するための手段〕
上記目的は、超音波槽内に水平に保持された被現像プリ
ン1〜板を上下に揺動すること、被現像プリント板の一
方の面を下にしての処理と他方の面を下にしての処理を
連続して行なうこと、前記2つの処理を超音波槽内の超
音波発振子より15m以内の距離に被現像プリント板を
保持して行なう、 3゜ ことにより達成される。
〔作用〕
超音波槽内には超音波発振源と液面との間に定在波を生
じ易い。被現像プリント板が定在波の節の部分に置かれ
れば超音波の作用は減するし、腹の部分であれば作用は
最大となる。故意に定在波をつくり、最適位置に被現像
プリント板を置く事が最も望ましいが、液面の制御、液
温の制御、被現像プリント板の大きさとの関係を一定に
保つ等が必要となり実現は歿しい。そこで定在波が出来
たとしても被現像プリント板を上下に揺動する事により
その影響を緩和し、超音波の作用を平均化する事で現像
処理のむらを防止出来る。次に超音波槽内に水平に保持
された被現像プリント板において超音波発振源に対面す
る面と反対側の面ではプリント板自身が吸音体として作
用する為に超音波現像の効果が大幅に減少する。従って
、被現像プリント板を現像の途中で表裏反転する事によ
り、表裏の現像むらを防止出来る。更に超音波槽内での
超音波の作用は超音波発振源からの距離が遠くなると大
きく減衰する。被現像プリント板と超音波発振源との距
離を15■以内に保持する事により、超音波の減衰の影
響の少ない状態での現像が可能となる。
〔実施例〕
以下1本発明の実施例を第1図および第2図により説明
する。
第1図は本発明による超音波現像装置の概念図である。
超音波発振源を槽の底部に水平にそなえた現像槽1と、
被現像物(プリント板)を洗浄するリンス槽2と、さら
に現像液を蒸留再生する蒸留再生槽3を備え、蒸留再生
液はリンス槽2を経て現像槽1へ至る。さらに言えば、
ここで槽の構成は、その洗浄度合により、さらに複数の
槽を設けて良い事はあきらかである。
一方、被現像物(プリント板)7は、水平に保持する把
手6により保持され、水平搬送レール4に具備された水
平、昇降搬送駆動系により水平搬送されると同時に、昇
降リフター5により現像槽1、およびリンス槽2、間を
往復するよう制御を行う。さらに言えば昇降リフター5
、は間欠に昇降するよう制御を行う。
係る本発明による現像装置を、第2図により詳細に述べ
る。第2図は、第1図中の現像槽1、を表わしたもので
あり、水平に備えた超音波発振源22、を具備した現像
槽1、と昇降リフター5、を駆動する駆動源、8、およ
び駆動系を伝達するギアー9、チェーン]−2、さらに
、被現像物(プリン1−板)7、を保持する把手6、さ
らに把手を回転制御する回転駆動源10、およびそれを
伝達するギアー11、およびチェーン12からなってい
る。しかしここで言う昇降、あるいは保持の回転の駆動
源およびその伝達方法は、モータ類、ギアーあるいはシ
リンダー、あるいはカム等を用いた駆動および伝達方法
に限定する必要はないことは言うまでもない。
係る底部に超音波発振源を水平に取付けた現像槽と被現
像物(プリンl−板)を現像槽内に水平に保持する把手
と該把手を昇降する機構より成るプリント板表面にホ1
−リングラフ法による半田レジストパターンを形成する
為の感光性インクの現像装置に於て、超音波周波数25
〜48 K Hz、超音波出力0.5〜1.5KW、の
発振源を槽底に取り付け、被現像物(プリント板)を超
音波発振源から2〜15■以内の位置で間欠昇降揺動を
行い、さらに前記被現像物(プリント板)を保持する把
手を回転する事により現像液中において、現像を行った
結果、現像液中の超音波によるキャビテーションが均一
に作用し従来技術で問題となった現像によるレジス1〜
残りは全く見られない。
〔発明の効果〕
本発明によれば、従来技術で問題となった現像によるレ
ジスト残りが解消でき、プロセス」二の修正、検査工数
を大幅に低減できる。さらにはプリント板の品質向上を
図れることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による超音波現像装置の概念図、第2図
は本発明による超音波現像装置の機構を表わした詳細図
である。 1・・・現像槽、2・・・リンス槽、3・・蒸留再生槽
。 、 7゜ 4・・・水平搬送レール、5・・・昇降リフター、6・
・・把手、7・・・被現像物(プリント板)、8・・・
駆動源。 9・・・伝達ギヤー、10・・・把手回転駆動源、11
・・・把手回転伝達ギアー、12・・・チェーン、22
・・・超音波発振源

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、底部に超音波発振源を水平に取付けた現像槽と被現
    像プリント板を現像槽内に水平に保持する把手と該把手
    を昇降する機構より成るプリント板表面にホトリソグラ
    フ法により半田レジストパタンを形成する為の感光性イ
    ンクの現像装置に於いて、前記把手を現像槽中で上下に
    揺動する機構と該把手を回転する事により被現像プリン
    ト板の表裏を反転させる機構とを設けたことを特徴とす
    る感光性インクの超音波現像装置。 2、前1項の現像装置であって、被現像プリント板を超
    音波発振源から15cm以内の位置で処理出来ることを
    特徴とする感光性インクの超音波現像装置。
JP3513786A 1986-02-21 1986-02-21 現像装置 Pending JPS62195194A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3513786A JPS62195194A (ja) 1986-02-21 1986-02-21 現像装置

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JP3513786A JPS62195194A (ja) 1986-02-21 1986-02-21 現像装置

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JPS62195194A true JPS62195194A (ja) 1987-08-27

Family

ID=12433526

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JP3513786A Pending JPS62195194A (ja) 1986-02-21 1986-02-21 現像装置

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JP (1) JPS62195194A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02106757A (en) * 1988-10-14 1990-04-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd Method for development processing of color filter

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