JPS62195194A

JPS62195194A - 現像装置

Info

Publication number: JPS62195194A
Application number: JP3513786A
Authority: JP
Inventors: 誠青木; 川辺　明博; 穐本　健; 大木　伸昭
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1986-02-21
Filing date: 1986-02-21
Publication date: 1987-08-27

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は感光性インクの現像装置に係り、特にプリント
板表面に感光性インクにより半田レジストパタンを形成
するに好適な超音波現像装置に関する。

〔従来の技術〕

プリント板の表面には、後工程の部品半田付は工程での
プリント回路間の半田ブリッジを防止する目的から半田
レジストパタンをスクリン印刷法により形成するのが一
般的である。スクリーン印刷法では形成するパタンの細
密さに限度があることから、近年感光性の半田のレジス
トをホトリソグラフィによりパタン形成する方法が実用
化されて来た。ホトリソグラフィによる方法では露光、
現像の工程は必要となるが、パタンの精細化は印刷法を
しのぐ。使用する半田レジストには、いわゆるドライフ
ィルムと液状レジストの２種のタイプがあるが、現像工
程はいずれも必要である。現像はスプレ一方式によるの
が一般的である。以上の状況は電子技術第２７巻第７号
１１１頁から１１６頁に詳しく述べられている。また使
用される現像装置の代表例が工業調査会発行の電子材料
編集部編プリント配線板技術の１７８頁から１８２頁に
示されている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記従来技術の問題として現像残りをあげることができ
る。前述の感光性レジストのうち有機溶剤による現像を
行なうドライフィルムでは現像が溶解現像であることか
ら現像残りは比較的心配ない。一方、液状レジスｌ−で
は現像は膨潤現像であるので微細なフレーク状のレジス
トが現像残りとしてプリント回路表面に付着残留すると
いう問題が生じ易い。形成するバタンか微細になる程、
この問題が生ずる。微細なパタンの現像法として前述の
スプレー現像に替えて超音波現像の適用を推奨する場合
も有り、財団法人電気学会発行の感光性ポリイシド″フ
ォトニーズ″のパタン形成と膜特性（絶縁材料研究会資
料Ｎａ　Ｅ　ｉ　Ｍ　−８４−５８）に詳しく述べられ
ている。超音波現像を行なう場合の装置として最も一般
的なのは現像液を入れた現像槽の底部に水平に超音波発
振源を付設したものであり東京大学出版会発行の物理工
学実験１４、超音波技術の３８頁、図２−２４に事例が
示されている。この種の現像装置で現像を行なう場合に
最も注意を要するのが定在波の発生の問題と被現像プリ
ント板自身が吸音体として働く為にプリント板の表裏で
現像性に差を生ずる問題である。従来の超音波洗浄装置
、超音波現像装置はこの点しこついて配慮されていない
。

本発明の目的はこの問題、即ち超音波槽内に生ずる定常
波の影響による現像むら及びプリント板の表裏の現像む
らを防止可能な超音波現像装置を提供しようとするもの
である。更に本発明の目的は現像液内での超音波の減衰
による現像力の低下を避ける法案をも提供することにあ
る。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的は、超音波槽内に水平に保持された被現像プリ
ン１〜板を上下に揺動すること、被現像プリント板の一
方の面を下にしての処理と他方の面を下にしての処理を
連続して行なうこと、前記２つの処理を超音波槽内の超
音波発振子より１５ｍ以内の距離に被現像プリント板を
保持して行なう、　３゜ことにより達成される。

〔作用〕

超音波槽内には超音波発振源と液面との間に定在波を生
じ易い。被現像プリント板が定在波の節の部分に置かれ
れば超音波の作用は減するし、腹の部分であれば作用は
最大となる。故意に定在波をつくり、最適位置に被現像
プリント板を置く事が最も望ましいが、液面の制御、液
温の制御、被現像プリント板の大きさとの関係を一定に
保つ等が必要となり実現は歿しい。そこで定在波が出来
たとしても被現像プリント板を上下に揺動する事により
その影響を緩和し、超音波の作用を平均化する事で現像
処理のむらを防止出来る。次に超音波槽内に水平に保持
された被現像プリント板において超音波発振源に対面す
る面と反対側の面ではプリント板自身が吸音体として作
用する為に超音波現像の効果が大幅に減少する。従って
、被現像プリント板を現像の途中で表裏反転する事によ
り、表裏の現像むらを防止出来る。更に超音波槽内での
超音波の作用は超音波発振源からの距離が遠くなると大
きく減衰する。被現像プリント板と超音波発振源との距
離を１５■以内に保持する事により、超音波の減衰の影
響の少ない状態での現像が可能となる。

〔実施例〕

以下１本発明の実施例を第１図および第２図により説明
する。

第１図は本発明による超音波現像装置の概念図である。

超音波発振源を槽の底部に水平にそなえた現像槽１と、
被現像物（プリント板）を洗浄するリンス槽２と、さら
に現像液を蒸留再生する蒸留再生槽３を備え、蒸留再生
液はリンス槽２を経て現像槽１へ至る。さらに言えば、
ここで槽の構成は、その洗浄度合により、さらに複数の
槽を設けて良い事はあきらかである。

一方、被現像物（プリント板）７は、水平に保持する把
手６により保持され、水平搬送レール４に具備された水
平、昇降搬送駆動系により水平搬送されると同時に、昇
降リフター５により現像槽１、およびリンス槽２、間を
往復するよう制御を行う。さらに言えば昇降リフター５
、は間欠に昇降するよう制御を行う。

係る本発明による現像装置を、第２図により詳細に述べ
る。第２図は、第１図中の現像槽１、を表わしたもので
あり、水平に備えた超音波発振源２２、を具備した現像
槽１、と昇降リフター５、を駆動する駆動源、８、およ
び駆動系を伝達するギアー９、チェーン］−２、さらに
、被現像物（プリン１−板）７、を保持する把手６、さ
らに把手を回転制御する回転駆動源１０、およびそれを
伝達するギアー１１、およびチェーン１２からなってい
る。しかしここで言う昇降、あるいは保持の回転の駆動
源およびその伝達方法は、モータ類、ギアーあるいはシ
リンダー、あるいはカム等を用いた駆動および伝達方法
に限定する必要はないことは言うまでもない。

係る底部に超音波発振源を水平に取付けた現像槽と被現
像物（プリンｌ−板）を現像槽内に水平に保持する把手
と該把手を昇降する機構より成るプリント板表面にホ１
−リングラフ法による半田レジストパターンを形成する
為の感光性インクの現像装置に於て、超音波周波数２５
〜４８　Ｋ　Ｈｚ、超音波出力０．５〜１．５ＫＷ、の
発振源を槽底に取り付け、被現像物（プリント板）を超
音波発振源から２〜１５■以内の位置で間欠昇降揺動を
行い、さらに前記被現像物（プリント板）を保持する把
手を回転する事により現像液中において、現像を行った
結果、現像液中の超音波によるキャビテーションが均一
に作用し従来技術で問題となった現像によるレジス１〜
残りは全く見られない。

〔発明の効果〕

本発明によれば、従来技術で問題となった現像によるレ
ジスト残りが解消でき、プロセス」二の修正、検査工数
を大幅に低減できる。さらにはプリント板の品質向上を
図れることは言うまでもない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による超音波現像装置の概念図、第２図
は本発明による超音波現像装置の機構を表わした詳細図
である。１・・・現像槽、２・・・リンス槽、３・・蒸留再生槽
。、　７゜４・・・水平搬送レール、５・・・昇降リフター、６・
・・把手、７・・・被現像物（プリント板）、８・・・
駆動源。９・・・伝達ギヤー、１０・・・把手回転駆動源、１１
・・・把手回転伝達ギアー、１２・・・チェーン、２２
・・・超音波発振源

Claims

【特許請求の範囲】１、底部に超音波発振源を水平に取付けた現像槽と被現
像プリント板を現像槽内に水平に保持する把手と該把手
を昇降する機構より成るプリント板表面にホトリソグラ
フ法により半田レジストパタンを形成する為の感光性イ
ンクの現像装置に於いて、前記把手を現像槽中で上下に
揺動する機構と該把手を回転する事により被現像プリン
ト板の表裏を反転させる機構とを設けたことを特徴とす
る感光性インクの超音波現像装置。２、前１項の現像装置であって、被現像プリント板を超
音波発振源から１５ｃｍ以内の位置で処理出来ることを
特徴とする感光性インクの超音波現像装置。