JPS62175488A - 置換o−フタルアルデヒド、その製造方法及びその合成に用いられる化合物 - Google Patents

置換o−フタルアルデヒド、その製造方法及びその合成に用いられる化合物

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JPS62175488A
JPS62175488A JP62008872A JP887287A JPS62175488A JP S62175488 A JPS62175488 A JP S62175488A JP 62008872 A JP62008872 A JP 62008872A JP 887287 A JP887287 A JP 887287A JP S62175488 A JPS62175488 A JP S62175488A
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スタインマン アルフレッド
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Ciba Geigy AG
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は置換O−フタルアルデヒド類に、その製造方法
に、及びその合成用の新規ジ−及びテトラクロロ或はジ
−及びテトラヨード化合物に関する。
〔従来の技術〕
[マクロモレキュールズ(Macromolecule
s)J1967年、第2巻、第414〜419頁にはo
−7タルアルデヒドは特定の触媒の存在下で重合できる
ことが教示されている。更に欧州特許出願第01262
14号にはフタルアルデヒドのポリマーば、2〜6mJ
/c!lのエネルギーで充分に感光性とするために10
重量%のオニウム塩をレジストに加えなければならない
けれども、フォトレジストとして使用できることが開示
されている。しかしながら、これらのポリマーは酸素プ
ラズマ中で安定ではない。
〔発明の構成〕
今となって、特定のシリル基、スタニル基又はゲルマニ
ル基に基づく少なくとも1個の置換基を有するo−フタ
ルアルデヒドもまた、少量のオニウム塩が加えられそし
てエネルギー密度が低い場合に比較的よシ大きな光感受
性をもつポリマーへと重合させ得ることが発見された。
従って本発明は次式I: 〔式中、置換基R1,R2,R3,R4の少なくとも1
つはQ(アルキル)3. − CHz −Q (アルキ
ル)3゜−0−Q(アルキル)3.−Q(アリール)(
又は−Q(アルキレン−アリール)3(これら式中、Q
はSi、Sn又は(ト)を表わし、アルキル基は1ない
し12個の炭素原子を含み、アリール基は6ないし12
の環式炭素原子を含みそしてアルキレン基は1〜4個の
炭素原子を含む)を表わし、そしてR1ないしR4の残
りの置換基はおのおの水素原子又はハロゲン原子又はシ
アン基、ユトロ基、カルボキシル基又はヒドロキシル基
、炭素原子数1ないし4のアルコキシ基、炭素原子数1
ないし4のアルキルチオ基或はアルコキシ部分に1ない
し4個の炭素原子を含むアルコキシ力ルホニル基を表わ
す〕で表わされる置換0−フタルアルデヒドに関する。
前記式I中、R1,R2,R3及びR4の1つ又は2つ
がおのおのトリ(炭素原子数1ないし4のアルキル)シ
リル基、トリ(炭素原子数1ないし4のアルキル)スタ
ニル基又はトリ(炭素原子数1ないし4のアルキル)ゲ
ルマニル基ヲ表わし、そしてR1ないしR4の他の置換
基が2の2の水素原子を表わすのが好ましい。
前期式■中、R2及びR3がトリ(炭素原子数1ないし
4のアルキル)シリル基を表わし、セしてR1ないしR
4の他の置換基が水素原子を表わすのが特に好ましい。
とりわけR2及びR3がトリメチルシリル基又はトリエ
チルシリル基を表わし、R1ないしR4の他の置換基の
おのおのが水素原子を表わす式Iの化合物が好ましくま
た興味深い。
置換基R1ないしR4に含まれるアリール部分に1個又
はそれ以上の置換基があってよい。適当な置換基はハロ
ゲン原子、特に塩素原子又は臭素原子或はニトロ基であ
る。適当なアリール基としてフェニル基、クロロフェニ
ル基、ナフチル基及びクロロナフチル基が挙げられる。
R1ないしR4中の適当なアルキレン基は例えばメチレ
ン基又はエチレン基である。
式Iで表わされる置換o−フタルアルデヒドは次式II
: 〔式中、各Xは互に独立して臭素原子、塩素原子又はヨ
ウ素原子を安わし、R1,R2,R3及びR4は上記式
Iで定義した意味を表わす〕 で表わされる化合物を、公知方法に従い少なくとも等価
量のへキサメチレンテトラミン又はジメチルスルホキシ
ドを用いて相当する上記式Iで表わされる化合物へと酸
化するか;或は好ましくは次式■: 〔式中、各Xは互に独立して臭素原子、塩素原子又はヨ
ウ素原子を表わし、R,、R,、R3及びR4は上記式
Iで定義した意味を表わす〕 で表わされる置換テトラハロゲノ化合物を公知方法に従
い、水性媒質中及び相間移動触媒と無機塩基の存在下で
有機酸の金属またはアンモニウム塩で加水分解するか、
又は上記式■の化合物を少なくとも等価量の炭酸カルシ
ウム水又はシュウ酸カリウムエタノール液と反応させる
か、又は8倍モル量のモルホリンと反応させ続けて上記
式■で表わされる化合物の中間体として得られ次置換ジ
−(N−モルホリノ)−1,3−7タランを加水分解す
るか、若しくは該中間体を高めた温度で(R5ないし1
5倍量のギ酸と反応させて上記式Iで表わされる化合物
に変えることによシ製造することができる。
式Iで表わされる化合物の製造にあたシ、弐■で表わさ
れる置換テトラブロモ化合物を用い、該化合物を水性媒
質中、相関移動触媒と無機塩基の存在下で有機酸の金属
又はアンモニウム塩で加水分解するのが好ましい。
ブロモエテル基又はジブロモメチル基をアルデヒド基に
変換させる上記プロセスは既に類似化合物に関して文献
中に開示されている。このように例えばジャーナルオグ
ケミカル ソサイアテ((J、 chem、 8oc、
 ) 1940巻、第692〜702頁には、アルコー
ル溶液中、高めた温度で炭酸ガス雰囲気下、等モル量の
へキサメチレンテトラミンを用いてp−エチルベンジル
クロライドにおけるクロロメチル基をアルデヒド基に酸
化することができる事が開示されている。
芳香環に置換されたブロモメチル基のジメチルスルホキ
シドによるアルデヒド基への変換はジャーナル オプ 
オルガニック ケミストリー (J、 Org、 Ch
em )、第24巻、1959年、第1792〜199
6頁、及びジャーナルオプ アメリカン ケミカル ソ
サイアティ(J、 Am、 Chem。
Soc、 )第81巻、1959年、第4112)〜4
114頁に開示されている。
水性媒質中、相関移動触媒と無機塩基の存在下、有機酸
の金属又はアンモニウム塩を用いる加水分解により弐■
で表わされるテトラハロ化合物を式■で表われるo−フ
タルアルデヒドへと変換することは、欧州特許出願第5
260号に開示されているプロセスに従い、好ましくは
金属塩としてギ酸、酢酸又はプロピオン酸のような脂肪
族カルボン酸のアルカリ金属塩もしくはアルカリ土類金
属塩を用いて行なうことができる。都合のよい相関移動
触媒は好ましくはオニウム塩、特には第四級アンモニウ
ム又はホスホニウム塩、例えばテトラアルキルアンモニ
ウム塩又はテトラアルキルホスホニウム塩、好ましくは
テトラ−n−グチルアンモニウムクロライド又はテトラ
−n−ブチルアンモニウムブロマイドのような相当する
ハライド、或は例えばテトラ−n−ブチルホスホニウム
クロライド又はテトラn−ブチルホスホニウムブロマイ
ドである。適当な無機塩基は通常アルカリ金属又はアル
カリ土類金属の塩基、好ましくは相当する水酸化物、重
炭酸塩であり、及び炭酸マグネシウム又は炭酸カルシウ
ムのような炭酸塩が好ましい。
ジャーナル オプ アメリカン ソサイアティ(J。
Am、 Chem、 8oc、)、第79巻、1957
年、第654a〜6542頁には、芳香環に置換したジ
ブロモメチル基を炭酸カルシウムで酸化することにより
アルデヒド基に変換できることが開示されている。そし
てジブロモメチル基をシュウ酸カリウムでアルデヒド基
に変換することはオーガニック シンセシス(Orga
nic 5yntheses )、第34巻、1954
年、第82〜84頁により公知である。
芳香環に置換されたジブロモメチル基をモルホリンでア
ルデヒド基に変換することはビエレタンドゥラ ソクエ
テ シミーク ドク7ランス(Bulletin de
 la 5oc、 Chim、 de France 
) 、第9巻、1966年、第2966〜2971頁に
開示されている。そして西独特許公開第3021701
号には高めた温度で相当するベンズアルデヒドをギ酸と
反応させることによる芳香族アルデヒドの製造方法が開
示されている。
未だ文献に記載されたことのない前記式■及び■で表わ
される化合物は前記式!で表わされる化合物の製造のた
めに開発されたもので、従ってこの化合物もま九本発明
の範囲内に含まれる。
式■及び■中、各Xは互に独立して塩素原子又は臭素原
子を表わし、R1+ R2+ R3及びR4の1つ又は
2つがおの2のトリ(炭素原子数1ないし4のアルキル
)7リル基、トリ(炭素原子数1ないし4のアルキル)
スタニル基又はトリ(炭素原子数1ないし4のアルキル
)ゲルマニル基を表わしそしてR,ないしR4の他の置
換基が2のおの水素原子を表わすのが好ましい。
式■及び■中、各Xは塩素原子又は臭素原子を表わし、
R2又はR3はトリ(炭素原子数1ないし4のアルキル
)シリル基を表わしそしてR1ないしR4の他の置換基
はおのおの水素原子を表わすのが最も好ましい。
式II又はIIIで表わされる化合物は特に興味深く、
とシわけ式中各Xが臭素原子を表わし、R2又はR3が
トリメチルシリル基又はトリエチルシリル基を表わしそ
してR1ないしR4の他の置換基がおのおの水素原子を
表わす化合物が興味深い。
式…又は■で表わされる化合物はジャーナルオブ アメ
リカン ケミカル ンサイアティ(J、 Am、 Ch
em、 8oc、 )、第79巻、1957年、第65
40〜6542頁に従い、次式■:〔式中、R1,R2
,R3及びR4は上記式■で定義した意味を表わす〕 で表わされる化合物を触媒、好ましくはジベンゾイルパ
ーオキシドのようなパーオキシドの存在下、N−ブロモ
コノ・り酸アミドで臭素化すして式II又はIIIの化
合物にすることによシ製造することができる。
式■で表わされる化合物は公知であり、また例えばジャ
ーナル オプ ケミカル ンサイアテ4 (J、 Ch
em、 Soc、 )第1959巻、第3640頁、又
はジャーナル オプ オルガノメタリックケミストリー
(J  of Organometallic (:h
emistry)、第84巻(1975)、第165〜
175頁に記載されている方法により、或は類似の方法
により製造することができる。
最初に述べたように、式■で表わされる化合物は重合さ
れたときに酸素プラズマに抵抗を示す感光性レジスト物
質(radiation −5ensitiveres
ist material)として用いることができる
有用なモノマーである。
〔実施例〕
実施例1:  4−トリメチルシリル−α、α、α′。
α′−テトラブロモー〇−キシレンの鮎冷却器と攪拌機
を装置した1、5tスルホン化用フラスコに、窒素雰囲
気下で、4−トリメチルシリル−0−キシレン100f
(562ミリモル)、N−ブロモスクシンイミド400
r(225oミリモル)、ジベンゾイルペルオキシド1
f及び四塩化炭素750−を入れる。反応混合物を、反
応が発熱的になるまで沸点まで加熱する。次いで自然に
沸騰が止むまで加熱浴をはずす。そして、ガスクロマト
グラフィ分析によシ4−トリメチルシリルー0−キシレ
ンが存在しないことを確認する。次に、該混合物を0℃
に冷却し、そしてスクシンイミドを分離する。次いでろ
液を冷5%水酸化ナトリウム溶液200ゴで2回抽出し
、そして水で1回洗う。四塩化炭素相を硫酸マグネシウ
ム上で乾燥し、そして四塩化炭素をロータリーエバポレ
ータで追に出す。。
収量=94℃で融解する固体250r (理論値の90
%)。少量のn−へキサンから2回再結晶することKよ
シ97℃の融点を有する白色結晶が得られる(該化合物
の沸点:12)8℃/(L12)mbar)。
元素分析:   理論値   測定値 C(%:]     2&75   2&75)((%
〕2.86   2.87 Br[%]     64.71   64.54IH
−NMRスペクトル(アセトン−d6):CH3−8i
  9H(s)  : (14ppmBr2CH9H(
s)  : 7.95ppm及び7.5ppm芳香族性
H3H(rl  : 7.6〜7.85ppm実施例2
:4,5−ビス(トリメチルシリル)−α、α、α′、
α′−テトラブロモ−〇−キシレンの製あ 冷却器と攪拌機を装置した1、5tスルホン化用フラス
コに、4.5−ビス(トリメチルシリル)−〇−キシレ
ン70r(280ミリモル)、N−ブロモスクシンイミ
ド224y (1260ミリモル)、ジベンゾイルペル
オキシド52及び四塩化炭素800−を入れる。該懸濁
液を、反応が発熱的になるまで加熱する。発熱反応が止
んだのち、該懸濁液を約3時間還流し、次いで冷却する
。スクシンイミドをろ過によシ除き、セしてろ液を冷1
0%水酸化ナトリウム溶液で2回洗う。乾燥有機相を溶
媒から分離し、そして残留固体をn−へキサンから再結
晶し、157℃で融解する固体120F(理論値の75
%)を得る。
元素分析:  理論値    測定値 C(% )    29.70    2a90HCチ
〕    五92     4.02Br[% ]  
  S&46    56.38’H−NMRスペクト
ル(アセトン−d6):CH3−Si   18H(s
) :  (144ppmBr2 CH2H(s) :
  7.65 ppm芳香族性H2H(s) :  a
l  ppm実施例3:  4−トリメチルシリル−〇
−7タルジアルデヒドの製造 攪拌機を装置した750fntスルホン化用フラスコに
、4−トリメチル−α、α、α′、α′−テ1ラプロモ
ーO−キシレン174M (355ミリモル)、ギ酸ナ
トリウム119F、炭酸カルシウム72tテトラブチル
アンモニウムプロミド262及び水150−を入れる。
混合物を窒素雰囲気下で100℃まで加熱し、そのとき
、4−トリメチル−α、α、α′、α′−テトラブロモ
−〇−キシレンが融解する。
異なり次相がよく混ざるように混合物を激しく攪拌する
。約12時間後、混合物を0℃に冷却し、そして混合物
をジエチルエーテル400@11!で抽出する。乾燥し
次有機相を蒸発させて濃縮する。続いて、残査を、溶離
液としてトルエンを用い、シリカゲルカラムを通すクロ
マトグラフによシ精製する。トルエン留分を濃縮し、純
4− ) IJメチルシリル−0−フタルジアルデヒド
54f(理論値の61チ)を得る。この生成物を≧2よ
そ同容量のn−ヘキサンに溶解する。
黄色結晶が冷蔵庫内で形成する。融点:38℃。
該化合物の沸点:98℃/ 0.12) bar。
元素分析:  理論値    測定値 C〔チ]    64.04    6己94HC%]
       484        &96SiCチ
〕     1五62     1五〇4”H−NMR
スペクトル(アセトン−d6):CH3−8i    
9 t((s) :  111.36 ppm芳香族性
H2HH:  ao  ppm芳香族性H1H(s):
   al  ppmCHO2H(s) : I 11
6  ppm実施例4:4.5−ビス(トリメチルシリ
ル)−o−7タルジアルデヒドの贅慢 750−スルホン化用フラスコに、4,5−ビス(トリ
メチル)−α、α、α′、α′−テトラブロモ−〇−キ
シレン85 t (150ミリモル)、ギ酸ナトリウム
71.5f、炭酸カルシウム35t1テトラブチルアン
モニウムプロミド112)F、水175−及びトルエン
200dを入れ、そして該混合物を、窒素雰囲気下、1
20℃で十分に攪拌する。2日後、反応混合物を室温に
冷却し、そしてトルエンで希釈する。有機相を水で洗い
、そして乾燥する。溶媒をロータリーエバポレータで除
き、そして固体を、一定の融点となるようにn−ヘキサ
ンから再結晶する。収量:100℃で融解する黄色結晶
性物質17f(理論値の40% )。
元素分析:   理論値   測定値 C[%〕6 (L 38    59. OrJH[%
]      7.96     a05’[(−NM
Rスペクトラム(アセトン−d6):CH3−8i  
   I B H(s) :  α4 ppm芳香族性
H2H(s):  a3 ppmCHO2H(s): 
1α5 ppm 実施例5:  4−トリメチルシリル−0−フタルジア
ルデヒド□を合 反応容器に、窒素雰囲気下で4−トリメチルシリル−o
−7タルジアルデヒド249(116ミリモル)及び乾
燥塩化メチレン100−を入れる。この混合物を液体窒
素中で冷却し、そしてBF3・ ジエチルエーテル錯体
2mot%を開始剤として加える。次いでその溶液から
高真空下で酸素を除く。
重合は冷却浴中で、窒素雰囲気下−78℃で行う。数時
間後、ピリジン/無水酢酸の一78℃の冷1:1混合物
2−を高粘稠溶液に加える。混合物を一78℃で、12
時間攪拌し、室温まで温める。その溶液をメタノール1
0ロワー中に注ぎ込むと、ポリマーが一度に沈殿する。
この沈殿をろ過により単離し、そして乾燥する。収量:
2、i5f、精製のために、ポリマーを塩化メチレン3
0〇−中に溶解し、溶液をろ過し、そしてポリマーを?
タノール10001Nt中で再沈殿させる。
該沈殿をろ過により単離し、そして高真空下室温で乾燥
する。収i1:t9.3f(理論値の8 [1%)。
ポリマーは156℃で分解する。テトラヒドロフラン中
におけるゲル透過クロマトグラフィにより下記の値が得
られる: Mw = 290000 及ヒMn−800000実施
例6 :  4. s−ビス(トリメチルシリル)−〇
−フタルジアルデヒドの重合 4.5−ビス(トリメチルシリル)−0−フタルジアル
デヒド4f’(14,4ミリモル)を乾燥塩化メチレン
12−にアンプル中で溶解する。酸素を高真空下で凍結
/融解によシ除く。モノマーに基づいて2mot%のB
F3・ジエテルエーテレートの塩化メチレン溶液を注射
器で凍った溶液に加え、次いで重合を窒素雰囲気下−7
8℃で行う。数時間後、あらかじめ冷却しておいたピリ
ジン111Ilを高粘稠溶液に加える。次いで溶液を室
温まで温め、そしてポリマーを〆2ノー7しで沈殿させ
る。白色粉末を乾燥し、塩化メチレン中に溶解し、そし
てもう一度メタノール中で沈殿させる。白色のポリマー
粉末を高真空下50℃で乾燥し、ポリマー11F(77
%)を得る。
このポリマーは170℃で分解する。テトラヒドロフラ
ンによるゲル透過クロマトグラフィによシ下記の値が得
られる:

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)次式 I : ▲数式、化学式、表等があります▼( I ) 〔式中、置換基R_1、R_2、R_3、R_4の少な
    くとも1つはQ(アルキル)_3、−CH_2−Q(ア
    ルキル)_3、−O−Q(アルキル)_3、−Q(アリ
    ール)_3又は−Q(アルキレン−アリール)_3{こ
    れら式中、QはSi、Sn又はGeを表わし、アルキル
    基は1ないし12個の炭素原子を含み、アリール基は6
    ないし12の環式炭素原子を含みそしてアルキレン基は
    1〜4個の炭素原子を含む}を表わし、そしてR_1な
    いしR_4の残りの置換基はおのおの水素原子又はハロ
    ゲン原子又はシアノ基、ニトロ基、カルボキシル基又は
    ヒドロキシル基、炭素原子数1ないし4のアルコキシ基
    、炭素原子数1ないし4のアルキルチオ基或はアルコキ
    シ部分に1ないし4個の炭素原子を含むアルコキシカル
    ボニル基を表わす〕で表わされる置換o−フタルアルデ
    ヒド。
  2. (2)前記式 I 中、R_1、R_2、R_3及びR_
    4の1つ又は2つがおのおのトリ(炭素原子数1ないし
    4のアルキル)シリル基、トリ(炭素原子数1ないし4
    のアルキル)スタニル基又はトリ (炭素原子数1ないし4のアルキル)ゲルマニル基を表
    わし、そしてR_1ないしR_4の他の置換基が水素原
    子を表わす特許請求の範囲第1項記載のo−フタルアル
    デヒド。
  3. (3)前記式 I 中、R_2及びR_3がトリ(炭素原
    子数1ないし4のアルキル)シリル基を表わし、そして
    R_1ないしR_4の残りの置換基が水素原子を表わす
    特許請求の範囲第1項記載のo−フタルアルデヒド。
  4. (4)前記式 I 中、R_2及びR_3がトリメチルシ
    リル基又はトリエチルシリル基を表わし、R_1ないし
    R_4の他の置換基のおのおのが水素原子を表わす特許
    請求の範囲第1項記載のo−フタルアルデヒド。
  5. (5)前記式 I で表わされる4−トリメチルシリル−
    0−フタルアルデヒド又は4,5−ビス(トリメチルシ
    リル)−o−フタルアルデヒドである特許請求の範囲第
    1項記載のo−フタルアルデヒド。
  6. (6)次式II: ▲数式、化学式、表等があります▼(II)、 〔式中、各Xは独立して臭素原子、塩素原子又はヨウ素
    原子を表わし、R_1、R_2、R_3及びR_4は下
    記式 I で定義する意味を表わす〕 で表わされる化合物を、公知方法に従い少なくとも等価
    量のヘキサメチレンテトラミン又はジメチルスルホキシ
    ドを用いて相当する下記式 I で表わされる化合物へと
    酸化するか;或は次式III: ▲数式、化学式、表等があります▼(III)、 〔式中、各Xは独立して臭素原子、塩素原子又はヨウ素
    原子を表わし、R_1、R_2、R_3及びR_4は下
    記式 I で定義する意味を表わす〕 で表わされる置換テトラハロゲノ化合物を公知方法に従
    い、水性媒質中及び相間移動触媒と無機塩基の存在下で
    有機酸の金属またはアンモニウム塩で加水分解するか、
    又は上記式IIIの化合物を少なくとも等価量の炭酸カル
    シウム水又はシュウ酸カリウムエタノール液と反応させ
    るか、又は8倍モル量のモルホリンと反応させ続けて下
    記式 I で表わされる化合物の中間体として得られた置
    換ジ−(N−モルホリノ)−1,3−フタランを加水分
    解するか、若しくは該中間体を高めた温度で0.5ない
    し15倍量のギ酸と反応させて下記式 I で表わされる
    化合物にすることからなる次式 I :▲数式、化学式、
    表等があります▼( I ) 〔式中、置換基R_1、R_2、R_3、R_4の少な
    くとも1つはQ(アルキル)_3、−CH_2−Q(ア
    ルキル)_3、−O−Q(アルキル)_3、−Q(アリ
    ール)_3又は−Q(アルキレン−アリール)_3{こ
    れら式中、QはSi、Sn又はGeを表わし、アルキル
    基は1ないし12個の炭素原子を含み、アリール基は6
    ないし12の環式炭素原子を含みそしてアルキレン基は
    1〜4個の炭素原子を含む}を表わし、そしてR_1な
    いしR_4の残りの置換基はおのおの水素原子又はハロ
    ゲン原子又はシアノ基、ニトロ基、カルボキシル基又は
    ヒドロキシル基、炭素原子数1ないし4のアルコキシ基
    、炭素原子数1ないし4のアルキルチオ基或はアルコキ
    シ部分に1ないし4個の炭素原子を含むアルコキシカル
    ボニル基を表わす〕で表わされる置換o−フタルアルデ
    ヒドの製造方法。
  7. (7)前記式IIIで表わされる置換テトラブロモ化合物
    を用い、該化合物を水性媒質中、相間移動触媒と無機塩
    基の存在下で有機酸の金属またはアンモニウム塩で加水
    分解することからなる特許請求の範囲第6項記載の製造
    方法。
  8. (8)次式II又はIII: ▲数式、化学式、表等があります▼(II)又は(III)
    ▲数式、化学式、表等があります▼ 〔両式中、各Xは互に独立して臭素原子、塩素原子又は
    ヨウ素原子を表わし、置換基R_1、R_2、R_3、
    R_4の少なくとも1つはQ(アルキル)_3、−CH
    _2−Q(アルキル)_3、−O−Q(アルキル)_3
    、−Q(アリール)_3又は−Q(アルキレン−アリー
    ル)_3{これら式中、QはSi、Sn又はGeを表わ
    し、アルキル基は1ないし12個の炭素原子を含み、ア
    リール基は6ないし12の環式炭素原子を含みそしてア
    ルキレン基は1〜4個の炭素原子を含む}を表わし、そ
    してR_1ないしR_4の残りの置換基はおのおの水素
    原子又はハロゲン原子又はシアノ基、ニトロ基、カルボ
    キシル基又はヒドロキシル基、炭素原子数1ないし4の
    アルコキシ基、炭素原子数1ないし4のアルキルチオ基
    或はアルコキシ部分に1ないし4個の炭素原子を含むア
    ルコキシカルボニル基を表わす〕で表わされるジ−又は
    テトラハロゲノ化合物。
  9. (9)前記式II又はIII中、各Xが互に独立して塩素原
    子又は臭素原子を表わし、R_1、R_2、R_3及び
    R_4の1つ又は2つがおのおのトリ(炭素原子数1な
    いし4のアルキル)シリル基、トリ(炭素原子数1ない
    し4のアルキル)スタニル基又はトリ(炭素原子数1な
    いし4のアルキル)ゲルマニル基を表わし、そしてR_
    1ないしR_4の他の置換基が水素原子を表わす特許請
    求の範囲第8項記載のジ−又はテトラハロゲノ化合物。
  10. (10)前記式II又はIII中、各Xが塩素原子又は臭素
    原子を表わし、R_2又はR_3がトリ(炭素原子数1
    ないし4のアルキル)シリル基を表わしそしてR_1な
    いしR_4の他の置換基がおのおの水素原子を表わす特
    許請求の範囲第8項記載のジ−又はテトラハロゲノ化合
    物。
  11. (11)前記式II又はIII中、各Xが臭素原子を表わし
    、R_2又はR_3がトリメチル基又はトリエチルシリ
    ル基を表わしそしてR_1ないしR_4の他の置換基が
    おのおの水素原子を表わす特許請求の範囲第8項記載の
    ジ−又はテトラハロゲノ化合物。
  12. (12)前記式IIIで表わされる4−トリメチルシリル
    −α,α,α′,α′−テトラブロモ−o−キシレン又
    は4,5−ビス(トリメチルシリル)−α,α,α′,
    α′−テトラブロモ−o−キシレンである特許請求の範
    囲第8項記載のテトラハロゲノ化合物。
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