JPS62154291A - Dynamic ram - Google Patents

Dynamic ram

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JPS62154291A
JPS62154291A JP60292674A JP29267485A JPS62154291A JP S62154291 A JPS62154291 A JP S62154291A JP 60292674 A JP60292674 A JP 60292674A JP 29267485 A JP29267485 A JP 29267485A JP S62154291 A JPS62154291 A JP S62154291A
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JP
Japan
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circuit
signal
timer circuit
refresh
time
Prior art date
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Application number
JP60292674A
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Japanese (ja)
Inventor
Kazuya Ito
和弥 伊藤
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To shorten the holding time of a write enable signal and, at the same time, to reduce the power consumption, by separately providing a timer circuit which monitors the falling time of a chip selecting signal and another timer circuit which decides the period of automatic refreshing operations. CONSTITUTION:A timer circuit MT1 is constituted of a delay circuit DL1, NOR gates G11 and G12, and inverter circuits N11 and N12, monitors the falling time of a chip selecting signal CS supplied to the outside, and discriminates whether it is ordinary memory access or self-reflesh starting designation. Another timer circuit TM2 is actuated by the timer circuit TM2 and forms clock pulses phi2 to be used for advancing an address counter CONT one by one at the time of the self-refresh operation. What is designated by a circuit signal CONT is a refresh-address counter and internal complementary address signals a0'-am' for refreshing are formed.

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 この発明は、ダイナミック型RAM (ランダム・アク
セス・メモリ)に関するもので、たとえば、自動リフレ
ッシュ回路を内蔵するものに利用して有効な技術に関す
るものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Technical Field] The present invention relates to a dynamic RAM (Random Access Memory), and relates to a technique that is effective for use in, for example, a device with a built-in automatic refresh circuit.

〔背景技術〕[Background technology]

ダイナミック型メモリセルは、情報を電荷の形態で記憶
する記憶用キャパシタとアドレス選択用のMOSFET
とによって構成される。半導体基板上において形成され
たメモリセルにおいては、上記キャパシタに蓄積された
電荷が、リーク電流等によって時間とともに減少してし
まう、このため、常にメモリセルに正確な情報を記憶さ
せておくためには、メモリセルに記憶されている情報を
その情報が失われる前に読み出して、これを増幅して再
び同じメモリセルに書込む動作、いわゆるリフレッシュ
動作を行う必要がある。たとえば、64にピントのダイ
ナミック型RAMにおけるメモリセルの自動リフレッシ
ュ方式として、「電子技術1誌のVo123、N093
の30頁〜33頁に示されている自動リフレッシュ回路
が公知である。すなわち、ダイナミック型RAMに、リ
フレッシュ制御用の外部端子を設けて、この外部端子に
所定のレベルのリフレッシュ制御信号REFを印加する
ことにより、ダイナミック型RAM内の複数のメモリセ
ルが自動的にリフレッシュされるオートリフレッシュ機
能と、上記リフレッシュ制御信号REFを所定のレベル
にしつづけることにより内蔵のタイマー回路を作動させ
て、一定周期ごとに上記リフレッシュ動作を行うセルフ
リフレッシュ機能とが設けられている。
A dynamic memory cell consists of a storage capacitor that stores information in the form of charge and a MOSFET for address selection.
It is composed of In a memory cell formed on a semiconductor substrate, the charge accumulated in the capacitor decreases over time due to leakage current, etc. Therefore, in order to always store accurate information in the memory cell, it is necessary to It is necessary to read the information stored in a memory cell before it is lost, amplify it, and write it back into the same memory cell, a so-called refresh operation. For example, as an automatic refresh method for memory cells in 64-pinto dynamic RAM, "Electronic Technology 1 Magazine Vol. 123, No. 093
The automatic refresh circuit shown on pages 30 to 33 of . That is, by providing a dynamic RAM with an external terminal for refresh control and applying a refresh control signal REF of a predetermined level to this external terminal, a plurality of memory cells in the dynamic RAM are automatically refreshed. and a self-refresh function that operates a built-in timer circuit by keeping the refresh control signal REF at a predetermined level and performs the refresh operation at regular intervals.

このような従来の自動リフレッシュ回路におけるセルフ
リフレッシュサイクルは、全てのメモリセルに対して同
じ周期によってリフレッシュ動作を行うものであるので
、ソーストケースを考慮した約2〜4ms程度の比較的
短いリフレッシュ周期が選ばれる。ダイナミック型RA
Mにあっては、。
The self-refresh cycle in such a conventional automatic refresh circuit performs a refresh operation on all memory cells at the same cycle, so the refresh cycle is relatively short, about 2 to 4 ms, taking into account the source case. is selected. Dynamic RA
In M.

このように比較的短い時間間隔で常にリフレッシュ動作
行うため、その消費電力の大半は、リフレッシュ動作に
よるものとなってしまう。
Since the refresh operation is always performed at relatively short time intervals in this way, most of the power consumption is due to the refresh operation.

本願発明者等は、メモリセルの情報記1,9保持時間に
ついて検討した結果、大半のメモリセルにおける情報記
憶保持時間が約400〜10100O程度と大きく、半
導体ウェハー上に完成された多数の半導体チップ(ダイ
ナミック型RAM)の中のいくつかのチップの限られた
メモリセルのみがプロセス不良等により落ちこぼれ的に
数+ns程度のリフレッシュ周期を必要とするものであ
ることを見いだした。
As a result of studying the information storage times 1 and 9 of memory cells, the inventors of the present application found that the information storage times in most memory cells are as long as about 400 to 10,100 O, and that a large number of semiconductor chips completed on a semiconductor wafer It has been found that only a limited number of memory cells of some chips in a dynamic RAM (dynamic RAM) require a refresh cycle of several + ns due to failure due to process defects or the like.

一方、ダイナミック型RAMをスタティック型RAMと
互換性を持たせるために、その外部端子の配列をスタテ
ィック型RAMと同じにしている擬似スタティック型R
AM等においては、外部アドレス信号がXアドレスおよ
びYアドレス別々の外部端子から入力される。このため
、外部端子数に余裕がなく、リフレッシュ制御信号用の
外部端子を単独で設けることができない、したがって、
デツプ選択信号C3を所定時間以上ローレベルにし続け
ることでリフレッシュ開始制御信号と見なすことにより
、共用化する方法が採られている。
On the other hand, in order to make dynamic RAM compatible with static RAM, pseudo-static RAM has the same external terminal arrangement as static RAM.
In AM and the like, external address signals are input from separate external terminals for X address and Y address. For this reason, there is not enough external terminals and it is not possible to provide a separate external terminal for the refresh control signal.
A common method is adopted in which the deep selection signal C3 is kept at a low level for a predetermined period of time or longer and is regarded as a refresh start control signal.

この場合、RAMの内部においてチップ選択信号τ丁の
立ち下がり時間を監視して、通常のメモリアクセスかり
フレッシュ開始fi示かを判定するためのタイマー回路
が設けられ、このタイマー回路がリフレッシュ動作の基
本周期を決めるタイマー回路としても併用されている。
In this case, a timer circuit is provided inside the RAM to monitor the fall time of the chip selection signal τ and determine whether it is a normal memory access or a refresh start fi indication, and this timer circuit is the basis of the refresh operation. It is also used as a timer circuit to determine the cycle.

RAMの内部では、リフレッシュ勤咋時でもその最初の
サイクルでは通常の読み出し動作が行われてしまうので
、リフレッシュ開始指示を判定するまでの間、すなわち
タイマー回路の最初の設定時間、外部端子から供給され
るライトイネーブル信号〜VEをハイレベルに保持し続
け、誤書込みを防止しなく7はならない。
Inside the RAM, a normal read operation is performed in the first cycle even during a refresh operation. 7 must continue to hold the write enable signal ~VE at high level to prevent erroneous writing.

前述のように、ダイナミック型RAMの消費電力を抑え
ようとすると、リフレッシュ周期を決定する上記タイマ
ー回路の設定時間はできるだけ長い方が効果的であるが
、外部の主装置側からみると、ライトイネーブル信号W
E等の保持時間が長くなるという問題がある。
As mentioned above, in order to reduce the power consumption of dynamic RAM, it is effective to set the timer circuit, which determines the refresh cycle, as long as possible, but from the perspective of the external main device, the write enable Signal W
There is a problem that the retention time of E and the like becomes long.

〔発明の目的〕[Purpose of the invention]

この発明の目的は、セルフリフレッシュ動作時の制御信
号の保持時間が短く、しかも低消費電力化を図ったダイ
ナミック型RAMを提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a dynamic RAM that has a short control signal retention time during self-refresh operation and that consumes less power.

この発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、
この明1m書の記述および添付図面から明らかになるで
あろう。
The above and other objects and novel features of this invention include:
This will become clear from the description in this book and the accompanying drawings.

〔発明の概要〕[Summary of the invention]

本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記の通りである。
A brief overview of typical inventions disclosed in this application is as follows.

すなわち、外部端子から供給されるチップ選択信号の立
ち下がり時間を監視するタイマー回路と自動リフレッシ
ュ動作の周期を決定するためのタイマー回路とを別途に
設け、また後者のタイマー回路の周期を製造された個々
の半導体チップ上におけるメモリセルの情報記憶保持時
間に見合うように変更できるようにすることで、ライト
イネーブル信号WE等の保持時間を短縮し、かつ低消費
電力化を図るものである。
That is, a timer circuit for monitoring the falling time of the chip selection signal supplied from an external terminal and a timer circuit for determining the period of automatic refresh operation are separately provided, and the period of the latter timer circuit is determined by the manufacturer. By making it possible to change the information storage retention time of the memory cells on each semiconductor chip, the retention time of the write enable signal WE etc. can be shortened and power consumption can be reduced.

〔実施例〕〔Example〕

第1図には、この発明に係る約32KX8ビツト構成の
ダイナミック型RAMの一実施例のブロック図が示され
ている。この実施例では、特に制限されないが、メモリ
アレイはM−ARY 1 、 M−ARY2のように左
右2つに分けて配置されている。各メモリアレイM−A
RYI M−ARY2において、カラム系(データ線)
信号線は、8対の相補データ線対が一組とされ、同図に
おいては縦方向に向かうよう配置されている。すなわち
、メモリアレイを8ブロツク(マント)に分けて構成す
るのではな(,8ビツトのデータは、同一のメモリアレ
イ内の互いに隣合う8本の相補データ線対に対して、1
つのアドレスが割り当てられ、同図では横方向に順に配
置される。ロウ系アドレス選択線(ワード線)は、上記
各メモリアレイM−ARY 1、M−ARY2に対して
共通に横方向に向かうよう形成され、同図では縦方向に
順に配置される。
FIG. 1 shows a block diagram of an embodiment of a dynamic RAM having a configuration of about 32K×8 bits according to the present invention. In this embodiment, although not particularly limited, the memory array is arranged in two parts, M-ARY 1 and M-ARY 2, on the left and right sides. Each memory array M-A
In RYI M-ARY2, column system (data line)
The signal lines are made up of eight complementary data line pairs, and are arranged in the vertical direction in the figure. In other words, instead of configuring the memory array by dividing it into 8 blocks (mantles), 8-bit data is divided into 8 adjacent complementary data line pairs in the same memory array.
Addresses are allocated and arranged in order in the horizontal direction in the figure. Row-related address selection lines (word lines) are formed so as to extend horizontally in common to each of the memory arrays M-ARY 1 and M-ARY 2, and are arranged sequentially in the vertical direction in the figure.

上記相補データ線対は、カラムスイッチC−3WISC
−3W2を介して8対の共通相補データ線対CDI、C
D2に選択的に接続される0間図においては、上記共通
相補データ線対は横方向に走っている。この共通相補デ
ータ線対CDI、CD2は、それぞれ81固からなるメ
インアンプMA1、MA2の入力端子にそれぞれ接続さ
れる。
The above complementary data line pair is connected to the column switch C-3WISC.
-8 pairs of common complementary data lines CDI, C via 3W2
In the 0-to-0 diagram selectively connected to D2, the common complementary data line pair runs in the horizontal direction. The common complementary data line pair CDI, CD2 is connected to the input terminals of main amplifiers MA1, MA2 each consisting of 81 amplifiers.

センスアンプSAI、SA2は、上記メモリアレイの相
補データ線対の微少読み出し電圧を受け、そのタイミン
グ信号φpaにより動作状態とされ上記読み出し電圧に
従って相補データ線対をハイレベル/ローレベルに増幅
するものである。
The sense amplifiers SAI and SA2 receive a minute read voltage on the complementary data line pair of the memory array, are activated by the timing signal φpa, and amplify the complementary data line pair to high/low level according to the read voltage. be.

ロウアドレスバッフプR−ADBは、外部端子からのm
+lビットのアドレス信号RADを受け、内部相補アド
レス信号aOxam、aO〜a filを形成して、ロ
ウデコーダR−DCRに送出する。
The row address buffer R-ADB is
It receives the +l bit address signal RAD, forms internal complementary address signals aOxam, aO to afil, and sends them to the row decoder R-DCR.

蛙お、以後の説明および図面においては、一対の内部相
補アドレス信号、たとえばaOlaOを内部相補アドレ
ス信号10と表すことにする。したがって、上記内部相
補アドレス信号a Q w a m、]F丁〜−am−
は、内部相補アドレス信号10−1mと表す。
In the following description and drawings, a pair of internal complementary address signals, for example aOlaO, will be referred to as internal complementary address signal 10. Therefore, the internal complementary address signal a Q w a m, ]F ~ -am-
is expressed as internal complementary address signal 10-1m.

ロウデコーダR−DCRは、上記内部相補アドレス信号
aQ−amに従って1本のワード線をワード線選択タイ
ミング信号φXに同期して選択する。
Row decoder R-DCR selects one word line in synchronization with word line selection timing signal φX according to internal complementary address signal aQ-am.

カラムアドレスバッファC−A D Bは、外部端子か
らのfi+lピッ1−のアドレス信号CADを受け、内
部相補アドレス信号aQ−wan、aQ〜aTを形成し
て、カラムデコーダC−DCRI、C−DCR2に送出
する。なお、上記内部相補アドレス信号の表し方に従っ
て、図面および以下の説明では、上記内部相補アドレス
信号aQ−an、77〜丁丁を内部相補アドレス信号!
0〜anと表す。
The column address buffer C-ADB receives the address signal CAD of fi+l pin 1- from the external terminal, forms internal complementary address signals aQ-wan, aQ to aT, and supplies the column decoders C-DCRI, C-DCR2. Send to. In accordance with the representation of the internal complementary address signals, in the drawings and the following description, the internal complementary address signals aQ-an, 77 to ding-ding are referred to as internal complementary address signals!
Represented as 0 to an.

上記カラムデコーダC−DCRIとC−DCR2とは、
上記分割されたメモリアレイM−ARY11メモリアレ
イM−ARY2にそれぞれ対応して設けられる。上記内
部相補アドレス信号39〜anに従って8組の相補デー
タ線対を対応する共通相補データ線対に接続するために
、カラムデコーダC−DCRI、C−DCR2は、上記
内部相補アドレス信号互0〜土nをデコードし、データ
線選択タイミング信号φyに同期した選択信号を形成す
る。カラムスイッチC−5Wl、C−5W2は、」二記
カラムデコータ’C−DCRi C−DCR2によって
形成された選択信肩を受け、上記8組の相補データ線対
を対応する8組の共通相補データ線対に接続する。
The above column decoders C-DCRI and C-DCR2 are:
They are provided corresponding to the divided memory array M-ARY11 and memory array M-ARY2, respectively. In order to connect the eight sets of complementary data line pairs to the corresponding common complementary data line pairs according to the internal complementary address signals 39 to an, the column decoders C-DCRI and C-DCR2 output the internal complementary address signals 0 to 39 to n is decoded to form a selection signal synchronized with the data line selection timing signal φy. Column switches C-5Wl and C-5W2 receive the selection signals formed by column decoders C-DCRi and C-DCR2, and select the eight sets of complementary data line pairs from the corresponding eight sets of common complementary data lines. Connect to pairs.

なお、同図において、上記相補データ線対および共通相
補データ線対は、−木の線によめ表している。
In the figure, the complementary data line pair and the common complementary data line pair are represented by -tree lines.

入出力U路110は、読み出しのためのデータ出カバソ
ファと、書込みのためのデータ人カバ・ノファとにより
構成され、読み出し時には、動作状態にされた一方のメ
インアンプMA!およびMA2の出力を増幅して外部端
子DO〜D7に送出する。また、書込み動作時には、上
記外部端子D0〜D7から供給された書込み信号は、後
述するように上記入出力回路I10に含まれるデータ人
カバ、ファによって上記共通相補データ線対CDI。
The input/output U path 110 is composed of a data output cover for reading and a data output cover for writing, and when reading, one of the main amplifiers MA! And the output of MA2 is amplified and sent to external terminals DO to D7. Further, during a write operation, write signals supplied from the external terminals D0 to D7 are transmitted to the common complementary data line pair CDI by a data line cover and a filter included in the input/output circuit I10, as will be described later.

CD2に供給される。It is supplied to CD2.

内部制御信号発生回路TOは、2つの外部制御信号であ
るチップ選択信号ττ)よびライトイネーブルイハ号W
Eと、上記内部相補アドレス(ば号ま0〜amおよび内
部相補アドレス信号上Oy a nを受ける“rドレス
信号五tヒ挟出回路ATDで形成されたアドレス信号の
変化検出IFj号φとを受けて、メモリ勤IYに必要な
各種タイミング信号を形成して送出する。これにより、
RAMは、内部で形成したタイミング18号によって動
作させられるので、ICの外部からは通常のスタティッ
ク型RAMと同様な擬似スタティック型RAMとし一ζ
動作させることができる。
The internal control signal generation circuit TO generates two external control signals, a chip selection signal ττ) and a write enable signal W.
E, and the address signal change detection IFj number φ formed by the address signal 5thi pinching circuit ATD which receives the internal complementary address (B number 0 to am and the internal complementary address signal Oy a n). In response to this, various timing signals necessary for memory operation IY are formed and sent out.
The RAM is operated by internally formed timing No. 18, so from the outside of the IC, it is treated as a pseudo-static type RAM similar to a normal static type RAM.
It can be made to work.

リフレッシュ制御回路REFCは、特に制限されないが
、後述されるようなタイマー回路TMI、7M2および
内部相補アドレス信号aO’ 〜am°を形成するカウ
ンタ回路CON T’とを含んでおり、外部端子から供
給されるチップ選択信号CSにより起動される。
The refresh control circuit REFC includes, but is not particularly limited to, timer circuits TMI and 7M2 as will be described later, and a counter circuit CON T' that forms internal complementary address signals aO' to am°, which are supplied from external terminals. It is activated by the chip selection signal CS.

第2図には、上記リフレッシュ制御回路REFCの一実
施例の回路図が示されている。図において、タイマー回
路TMIは遅延回路DLL%NORゲートGll、G1
2およびインバータ回路N11、N12により構成され
る。外部端子から供給されるチップ選択信号C3は遅延
回路によって遅延され、この遅延信号D 12 E F
がNORゲートGllの一方の入力に供給される。また
、チップ選択信号C3は、インバータ回路Nilにより
反転され、その反転信号C8がもう一つのNORゲ−)
G12の一方の入力に供給される。上記2つのNORゲ
ートG11と012の他方の入力とそれぞれの出力とは
交差接続され、ランチ形態をとる。これにより、タイマ
ー回路TMIは外部供給されるチップ選択信号CSの立
ち下がり時間を監視し、通常のメモリアクセスかセルフ
リフレッシュ開始指示かを判定する。セルフリフレッシ
ュ動作であれば、内部リフレンンユ制御信号’rRE 
Fにより次のタイマー回路TM2を起動する。
FIG. 2 shows a circuit diagram of an embodiment of the refresh control circuit REFC. In the figure, the timer circuit TMI is a delay circuit DLL%NOR gate Gll, G1
2 and inverter circuits N11 and N12. The chip selection signal C3 supplied from the external terminal is delayed by a delay circuit, and this delayed signal D 12 E F
is supplied to one input of NOR gate Gll. Furthermore, the chip selection signal C3 is inverted by an inverter circuit Nil, and the inverted signal C8 is sent to another NOR gate.
It is supplied to one input of G12. The other inputs of the two NOR gates G11 and 012 and their respective outputs are cross-connected to form a lunch configuration. Thereby, the timer circuit TMI monitors the fall time of the externally supplied chip selection signal CS and determines whether it is a normal memory access or a self-refresh start instruction. For self-refresh operation, internal refresh control signal 'rRE
F activates the next timer circuit TM2.

タイマー回路TM2は、タイマー回路TMIにより起動
され、セルフリフレッシュ動作時、アドレスカウンタC
0NTを歩進させるためのクロックパルスφ2を形成す
るもので、次の各回路素子によって構成される。すなわ
ち、インバータ回路N25によって形成された入力信号
φ1は、プリチャージMOSFETQIO1Qllのデ
ートに供給される。このプリ3−ヤーンM OS F 
E ’l’ Q 10は、後述するディスチャージI〜
t OS F E T Q 14、Q!5のゲート3四
へのプリチャージを行・うちのである。上記M OS 
F E ”rQ i Oと回路の接地電位との閂には、
ディスチャージ%i Q S F E T’Q14、Q
 i 5の01作電圧を形成するダイオード形態のM 
OS F E ’1’ Q 1″2.G13か直列形態
に設けられる。また、上記プリチャージM OS F 
ETQIIは、キャパシタC^・のプリチャージ電流を
形成するものである。そして、ディスチャージM OS
 F E T Q 14、G15は、上記動作重圧に従
ってキャパシタCのディスチャージ電流を流すものであ
る。
The timer circuit TM2 is activated by the timer circuit TMI, and during the self-refresh operation, the address counter C
It forms the clock pulse φ2 for stepping 0NT, and is composed of the following circuit elements. That is, the input signal φ1 formed by the inverter circuit N25 is supplied to the date of the precharge MOSFET QIO1Qll. This pre-3-yarn M OS F
E 'l' Q 10 is a discharge I to be described later.
t OS F E T Q 14, Q! This is the precharge to gate 34 of 5. The above MOS
F E ”rQ i The bolt between O and the circuit ground potential is
Discharge%i Q S F E T'Q14,Q
M in the form of a diode forming the 01 operating voltage of i5
OS F E '1' Q 1''2. G13 is provided in series form. Also, the precharge M OS F
ETQII forms a precharge current for the capacitor C^. And Discharge M OS
FETQ14 and G15 are for flowing a discharge current of the capacitor C in accordance with the above-mentioned operating pressure.

この実施例では、上記ディスチャージ電流を可変にする
ことによってタイマ一時間TFを可変にさせるため、上
記一方のMOSFETQI 5のゲートには、スイッチ
MO3FETQI 7を介して上記動作電圧が選択的に
供給される。すなわち、上記スイッチMO3FETQI
 7のゲートには、特に制限されないが、ポリシリコン
層からなるヒユーズ手段Fと高抵抗Rからなる記憶回路
の出力信号を受けるインバータ回路N27の出力信号が
供給される。また、上記MOSFETQI 5のゲート
と回路の接地電位との間には、上記記憶回路の出力によ
って制御されるMOSFETQI 6が設けられる。上
記キャパシタCの電圧VCは、インバータ回路N26に
よって、そのロジックスレッショルド電圧を基準として
ハイレベル/ローレベルの識別動作が行われる。
In this embodiment, in order to make the timer 1 hour TF variable by making the discharge current variable, the operating voltage is selectively supplied to the gate of the one MOSFET QI 5 via the switch MO3FET QI 7. . That is, the above switch MO3FETQI
The gate of No. 7 is supplied with an output signal of an inverter circuit N27 which receives an output signal of a memory circuit consisting of a fuse means F made of a polysilicon layer and a high resistance R, although this is not particularly limited. Further, a MOSFET QI 6 controlled by the output of the memory circuit is provided between the gate of the MOSFET QI 5 and the ground potential of the circuit. The voltage VC of the capacitor C is subjected to a high level/low level discrimination operation by the inverter circuit N26 using the logic threshold voltage as a reference.

たとえば、ヒユーズ手段Fが溶断されていない場合、M
OSFETQI 6はそのゲートに電源電圧VCCが供
給されるのでオン状態にされる。このMOSFETG1
6のオン状態によってMOSFETG15は、そのゲー
トに回路の接地電位が供給されるのでオフ状態にされる
。また、上記記憶回路からの電源電圧VCCのようなハ
イレベルによってインバータ回路N27の出力信号はロ
ーレベルにされる。これにより、スイッチM OS F
 E TQ17はオフ状態にされる。このような状態に
おいては、上記キャパシタCのディスチャージ電流はM
O3FETQI 4のみによっ°ζ形成されるから、そ
のディスチャージ時間が長くされる。言い換えるならば
、後述するような発振動作の周期TFが長くされる。こ
の時間は、前記落ちこぼれ的なメモリセルを有さない半
導体チップ(ダイナミック型RA M )において必要
とされるリフレッシュ周期の−回りが、たとえば400
m5に見合うように長くされる。
For example, if fuse means F is not blown, M
OSFET QI 6 is turned on because the power supply voltage VCC is supplied to its gate. This MOSFET G1
When MOSFET G15 is turned on, the ground potential of the circuit is supplied to its gate, so that MOSFET G15 is turned off. Further, the output signal of the inverter circuit N27 is set to a low level by a high level such as the power supply voltage VCC from the storage circuit. This allows the switch M OS F
ETQ17 is turned off. In such a state, the discharge current of the capacitor C is M
Since °ζ is formed only by O3FET QI 4, its discharge time is lengthened. In other words, the period TF of the oscillation operation as described later is lengthened. This time is, for example, 400 times around the refresh period required in a semiconductor chip (dynamic RAM) that does not have the above-mentioned floppy memory cells.
lengthened to match m5.

一方、上記ヒユーズ手段Fが溶断された場合、MO3F
ETQI 6は、そのゲートに回路の接地電位が供給さ
れるのでオフ状態にされる。上記記憶回路からの回路の
接地電位のようなローレベルによってインバータ回路N
27の出力信号はハイレベルにされる。これによって、
スイッチMO5FETQ17はオン状態にされる。この
ような状態においては、上記MO3FETQI 5のゲ
ートには、上記動作電圧が供給されるので、上記キャパ
シタCのディスチャージ電流はMOSFETG14とG
15によって形成される。しl迎がって、そのディスチ
ャージ時間が短(される、これにより、上記リフ1/ツ
シュ周期は、落ちこぼれ的なメモリセルのリフレッシュ
周期に合わせて、たとえば約4)のような値に短(され
る。
On the other hand, when the fuse means F is blown, MO3F
ETQI 6 is turned off because its gate is supplied with the circuit ground potential. The inverter circuit N
The output signal of 27 is set to high level. by this,
Switch MO5FETQ17 is turned on. In this state, the operating voltage is supplied to the gate of MO3FET QI5, so the discharge current of capacitor C is equal to MOSFET G14 and G.
15. As a result, the discharge time is short (for example, about 4), so that the refresh 1/tshu period is shortened (for example, about 4) in accordance with the refresh period of a memory cell that tends to decline. be done.

なお、上記ディスチャージMO3FETQI 4、G1
5のコンダクタンス特性は、プリチャージMO3FET
QI 1のコンダクタンス特性に比較して十分に小さく
設定されているので、プリチャージMO3FETQI 
1がオン状態となるプリチャージ期間中においては、キ
ャパシタCにはほぼVcc −v thのレベルにプリ
チャージされる。
In addition, the above discharge MO3FET QI 4, G1
The conductance characteristics of 5 are precharged MO3FET
Since it is set sufficiently small compared to the conductance characteristic of QI 1, the precharge MO3FET QI
During the precharge period in which VCC 1 is on, capacitor C is precharged to approximately the level of Vcc-vth.

このようなタイマー回路TM2は、内部リフレッシュ制
御信号TREFにより起動され、セルフリフレッシュ動
作を開始する。
Such a timer circuit TM2 is activated by the internal refresh control signal TREF and starts a self-refresh operation.

回路記号C0NTで示されているのは、リフレッシュア
ドレスカウンタであり、リフレッシュ用の内部相補アド
レス信号10°〜am’を形成する。タイマー回路TM
Iの出力、内部リフレッシュ制御信号TREFは、イン
バータ回路N12によって反転され、NORゲートG2
1の一方の入力に供給される。このNORゲートG21
の他方の入力には、上記タイマー回路TM2の出力信号
φ3が供給される。このNORゲートGの出力信号φl
は、一方においてタイマー回路TM2自身の起動信号と
して供給され、他方において遅延回路を構成する縦列形
態にされたインバータ回路N21−N23により反転遅
延される。この反転遅延信号と上記出力信号φ1とは、
NAND (ナンド)ゲー1−022に入力され、上記
信号φ1の立ち上がりに同期し、上記遅延回路DL2で
設定された時間のパルス幅を持つパルスφ2が形成され
る。このパルスφ2は、ゲート回路G23を経てリフレ
ッシュアドレスカウンタC0NTに入力され、そのリフ
レッシュアドレス歩進動作のために用いられる。ここで
ゲート回路G23のもう一方の入力信号φCBRは、オ
ートリフレッシュ動作時、リフレッシュアドレスカウン
タを単一歩進させるための入力である。
The circuit symbol C0NT is a refresh address counter, which forms internal complementary address signals 10° to am' for refresh. Timer circuit TM
The output of I, the internal refresh control signal TREF, is inverted by the inverter circuit N12 and output to the NOR gate G2.
1. This NOR gate G21
The output signal φ3 of the timer circuit TM2 is supplied to the other input of the timer circuit TM2. The output signal φl of this NOR gate G
is supplied on the one hand as a starting signal for the timer circuit TM2 itself, and on the other hand is inverted and delayed by the cascaded inverter circuits N21 to N23 constituting a delay circuit. This inverted delay signal and the output signal φ1 are:
The pulse φ2 is inputted to the NAND gate 1-022, synchronized with the rise of the signal φ1, and has a pulse width of the time set by the delay circuit DL2. This pulse φ2 is input to the refresh address counter C0NT via the gate circuit G23, and is used for its refresh address increment operation. Here, the other input signal φCBR of gate circuit G23 is an input for single-stepping the refresh address counter during auto-refresh operation.

この実施例のリフレッシュ制御回路REFCの動作を第
3図のタイミング図に従って説明する。
The operation of the refresh control circuit REFC of this embodiment will be explained according to the timing diagram of FIG.

外部端子から供給されるチップ選択信号CSがハイレベ
ルからローレベルに変化すると、その遅延回路DLIに
よる信号D RE F”は一定時間TS後にハイレベル
からローレベルに変化する。この一定時間TSは、RA
 Mの単−読み出し動作等に必要とする時間よりは充分
長く、また自動リフレッシュ動作のクロック周期TFよ
りは充分短い時間に設定されているものとする。ランチ
回路のNORゲートG12の出力Nlは、リフレッシュ
制ベルであるためローレベルを維持する。チップ選+1
<1耳号じ5の迎述イご号L) RE: l−カーロー
レベルにtると、この遅延時間TS後も大カリフレッシ
ュ制御信号REFが依然ローレベル、すなわち、その反
転信号C8がハイレベルであるという条件をもってNO
RゲートGllの出力信号TREFをハイレベルとする
。この出力信号TREFはチップ選択信号C8がハイレ
ベルに戻るとローレベルとなる。また、チップ選択信号
C8が一旦ローレベルとなり、所定時間TS以内にハイ
レベルとなるような通常単−読み出し動作等の場合、遅
延信号DREFがローレベルになる前にNORゲートG
12の入力信号REFがローレベルとなるので、NOR
ゲートG12の出力信号Nlはハイレベルのままとなり
、NORゲートGllの出力信号TREFはローレベル
のままとなる。すなわち、所定時間TSを超えてチップ
選択信号C8がローレベルを続けないと、次段のタイマ
ー回路TM2への起動信号TREFは出力されない。
When the chip selection signal CS supplied from the external terminal changes from high level to low level, the signal D RE F'' from the delay circuit DLI changes from high level to low level after a certain period of time TS. This certain period of time TS is as follows. R.A.
It is assumed that the time is set to be sufficiently longer than the time required for a single read operation of M, and sufficiently shorter than the clock cycle TF of the automatic refresh operation. The output Nl of the NOR gate G12 of the launch circuit maintains a low level because it is a refresh control bell. Chip selection +1
<1 ear number 5 interlude number L) RE: l- When it reaches the low level, the large refresh control signal REF is still at the low level even after this delay time TS, that is, its inverted signal C8 is at the low level. NO with the condition that it is at a high level
The output signal TREF of the R gate Gll is set to high level. This output signal TREF becomes low level when the chip selection signal C8 returns to high level. In addition, in the case of a normal single read operation in which the chip selection signal C8 becomes low level once and becomes high level within a predetermined time TS, the NOR gate G
12 input signal REF becomes low level, NOR
The output signal Nl of the gate G12 remains at high level, and the output signal TREF of the NOR gate Gll remains at low level. That is, unless the chip selection signal C8 continues to be at a low level for a predetermined time TS, the activation signal TREF to the next stage timer circuit TM2 is not output.

次にタイマー回路TM2では、インバータ回路N12に
よる上記起動信号TREFの反転信号TREFがハイレ
ベルの時、NORゲートG21の出力信号φ1がローレ
ベルになっている。これにより、インバータ回路N25
によってタイマー回路ノ入力f8−′7Lφ1はハイレ
ベルにされる。この入力信号φ1のハイレベルにより、
プリチャージMO5FETQIO1Qllは共にオン状
態にされ6 * L/ ノj 7’j<j テ1.トト
バシ9c!よ、v 、、、 −v thノハイレベルに
固定されるので、1°ンバータ「1路N26の出力信号
(タイマー出力信号)φ3がローレベルに固定状態(り
七ノド状態)ζ、ニされる。
Next, in the timer circuit TM2, when the inverted signal TREF of the activation signal TREF by the inverter circuit N12 is at a high level, the output signal φ1 of the NOR gate G21 is at a low level. As a result, inverter circuit N25
As a result, the timer circuit input f8-'7Lφ1 is set to high level. Due to the high level of this input signal φ1,
Precharge MO5FETQIO1Qll are both turned on and 6*L/noj 7'j<j Te1. Totobashi 9c! Since v is fixed at a high level, the output signal (timer output signal) of the inverter 1st path N26 (timer output signal) is fixed at a low level (return state) ζ. .

次に、内部リフレ・Iシム閂fllrl信号゛1’ R
E liがローレベルに変化すると、NORゲートG2
1の出力信号φ1はローレベルからハイレベルに変化す
るdこれにより、上述のように、リフレッシュアドレス
カウンタC0NTの入力パルスψ2が形成される。また
、タイマー回路TM2の入力信号φlがローレベルにさ
れるので、ヒユーズ手iFが溶断されなげればMOSF
ETQ、14、ヒユーズ手段Fが% k’frされてい
ればMOSFET:TQI 4とC15にJろキャパシ
タCのディスチャージ動作が開始され乙、内部リフレッ
シュ制御信号TRE下がローレベルのままならば、この
キャパシタCのディスチャージ動作によってその電圧V
Cはインバータ回路N26のロジンクスレッショルド以
下にされる。これに応じて、インバータ回路N26の出
力信号φ3はローレベルからハイレベルに変化する。し
たがって、NORゲートG21の出力信号φlは再びロ
ーレベルに変化させられるので、タイマー回路TM2は
、そのキャパシタCがプリチャージ状態に、言い換える
ならばリセット状態にされる。上記プリチャージ動作に
よって、上記出力信号φ3は再びローレベルに復旧させ
られる。これにより、NORゲートG21の出力信号φ
lはローレベルに変化させられるので、再びタイマー回
路TM2に起動がかけられる。以上の発振動作は上記内
部リフレッシュ制御信号TRE下がローレベルであり続
ける間行われるものである。
Next, the internal reflex/I shim lock flllrl signal ゛1' R
When E li changes to low level, NOR gate G2
The output signal φ1 of 1 changes from low level to high level, thereby forming the input pulse φ2 of the refresh address counter C0NT as described above. Moreover, since the input signal φl of the timer circuit TM2 is set to low level, if the fuse hand iF is not blown, the MOSFET
ETQ, 14, if the fuse means F is set to % k'fr, the discharge operation of the capacitor C starts in MOSFET: TQI 4 and C15, and if the internal refresh control signal TRE remains at low level, this Due to the discharge operation of capacitor C, the voltage V
C is made below the rosin threshold of inverter circuit N26. In response, the output signal φ3 of the inverter circuit N26 changes from low level to high level. Therefore, the output signal φl of the NOR gate G21 is changed to low level again, so that the capacitor C of the timer circuit TM2 is put into a precharged state, in other words, put into a reset state. By the precharge operation, the output signal φ3 is restored to low level again. As a result, the output signal φ of the NOR gate G21
Since l is changed to low level, timer circuit TM2 is activated again. The above oscillation operation is performed while the internal refresh control signal TRE continues to be at a low level.

上記パルス信号φ2によりリフレッシュアドレスカウン
タC0NTは、その歩進動作を行う。また、上記信号ψ
1のハイレベルへの変化によって、上記第1図のマルチ
プレクサMPXは、上記リフレッシュアドレスカウンタ
C0NT側に切り換えられている。したがって、上記リ
フレッシュアドレスカウンタC0NTの歩進動作によっ
て変化された内部相補アドレス信号aQ’ 〜am’ 
によりワード線選択動作が行われることによってセルフ
リフレッシュ動作が実施されるごとになる。
The refresh address counter C0NT performs its increment operation in response to the pulse signal φ2. Also, the above signal ψ
1 to the high level, the multiplexer MPX in FIG. 1 is switched to the refresh address counter C0NT side. Therefore, the internal complementary address signals aQ' to am' changed by the stepping operation of the refresh address counter C0NT.
Each time a word line selection operation is performed, a self-refresh operation is performed.

この実施例のタイマー回路TM2の設定時間′rF、す
なわち、自動リフ1/ソシュ動作の繰り返し周期は、プ
ログラム素子であるヒユーズ手段Fによっ゛C可変にさ
・れるので、それが搭載された半導体チップ(ダ・1ナ
ミソク型RAM)のプロービングによる試験によって判
定されたメモリヒルの情報記憶保持時間に合わせて、落
ちこぼれ的なメセリセルのあるものは短く、それが無い
ものは長く設定されるものである。
In this embodiment, the set time 'rF of the timer circuit TM2, that is, the repetition period of the automatic refresh 1/source operation, is made variable by the fuse means F, which is a programming element, so that In accordance with the information storage retention time of the memory hill determined by probing tests on the chip (Da.

〔効 果〕〔effect〕

(11外部端子から供給されるナツプ選択信号の立ち下
がり時間を監視し、セルフリフレッシュ動作を開始させ
るためのタイマーl路と、リフレソシュアドレスカウン
タを歩進させるためのクロックパルスを発温させるため
のタイマー回路とを独立して設けることにより、上記チ
ップ選択信号の立ち下がり時間を短くして外部からのそ
の他の制御信号(ライトイネーブル信号WE、アウトプ
ットイネ−フル信号OEなど)の保持時間を短くし、制
御しやすくするとともに、リフレッシュアドレスカウン
タの歩進周期を長くして、メモリとしての低電力化を図
ることができろという効果が得られる。
(To monitor the fall time of the nap selection signal supplied from the external terminal 11 and generate the timer l path for starting the self-refresh operation and the clock pulse for incrementing the refresh address counter. By providing an independent timer circuit, the fall time of the chip selection signal can be shortened, and the holding time of other external control signals (write enable signal WE, output enable signal OE, etc.) can be shortened. This has the effect of making it easier to control, increasing the increment period of the refresh address counter, and reducing the power consumption of the memory.

(2)タイマー回路T〜12の時間設定を可変にするこ
とにより、それが搭載されたダイナミック型RAMにお
けるメモリセルの実力(情報記憶保持時間)に合わせて
セルフリフレッシュ周期の設定を行うことができる。こ
れにより、製造される大半のダイナミック型RAMのセ
ルフリフレッシュ周期が長くCきるから、スタンバイ 
(情報保持状態)での消IG[力の大幅な低減化を図る
ことができるという効果が得られる。ちなみに、約25
6にビットのダイナミック型RAMの場合、リフレッシ
ュ周期を4msとした場合の消費電流は約1mAである
のに対して、リフレッシュ周期を′400m5にすれば
、そのl/100の約10.c+Aに低減することがで
きる。
(2) By making the time settings of the timer circuits T to 12 variable, the self-refresh cycle can be set according to the performance (information storage retention time) of the memory cells in the dynamic RAM in which the timer circuits are installed. . This allows the self-refresh cycle of most dynamic RAMs manufactured to be longer, allowing standby
The effect is that the power required for erasure IG in the information retention state can be significantly reduced. By the way, about 25
In the case of a dynamic RAM with 6 bits, the current consumption is about 1 mA when the refresh cycle is 4 ms, whereas if the refresh cycle is set to 400 m5, the current consumption is about 10. It can be reduced to c+A.

(3)セルフリフレッシュ動作は、情報の記(、Q動作
のみを行うスタンバイ決悪、たとえばバッテリーバンク
アップ時に使用されるから、上記低消費電力化によって
ハソテリー寿命を長くできろとともに、主装置側の制御
処理を簡略化できろという効果が得られる。
(3) Since the self-refresh operation is used for storing information (for example, during standby operations where only Q operation is performed, for example when battery banking is increased), it is possible to extend the battery life by reducing the power consumption mentioned above, and also to This has the effect of simplifying control processing.

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、この発明は上記実りも例に限定され
るものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更
可能であることはいうまでもない。たとえば、上記タイ
マー回路TMIの設定時間TSは固定的でなく、条件に
応して可!てできるものであってもよく、タイマー回路
TM2の時間は、3fifi以上の時間に設定できるよ
うにするものでち−、でもよい。また、その時間設定の
ために使用されろプログラム素子は、たとえば、1!リ
シリコンにレーザーアニールを施してその抵抗値を変化
させるもの、または細い“フルミニラム線をヒユーズ手
段として用いるもの、あるいはMOSダイオードを破騙
させるもの等種々の実施形態を採ることかできるもので
ある。さらに、その記憶回路の記憶情報に従ってタイマ
一時間を変化させる回路は、社々の実施形態を採ること
ができるものである。
Although the invention made by the present inventor has been specifically explained based on Examples above, this invention is not limited to the above examples, and it is possible to make various changes without departing from the gist of the invention. Not even. For example, the set time TS of the above-mentioned timer circuit TMI is not fixed, but can be changed depending on the conditions! The time of the timer circuit TM2 may be set to a time of 3fifi or more. Also, the program element used for setting the time is, for example, 1! Various embodiments can be adopted, such as applying laser annealing to silicon to change its resistance value, using a thin "full mini-lamb wire" as a fuse means, or using a MOS diode as a fuse. , the circuit that changes the timer hour according to the information stored in the storage circuit can be implemented in various embodiments.

し利用分野〕 この発明は7上記タイマ一回路を用いた自動リフレッシ
ュ゛回路企内蔵J’るダイナミック型RAMに広く利用
できるものである。
Field of Application] The present invention can be widely applied to a dynamic RAM having a built-in automatic refresh circuit using the above-mentioned timer circuit.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は、この発明に係るダイナミック型RAMの一実
施例を示すプロ、り図、 第2図は、第1図におけるリフレッシュ制御211回路
の一実施例を示す回路図、 第3図は、その動作の−ヒ11分示J−ター(ミング図
である。 MC・・・メモリセル、DC・・・ダミーセル、CW・
・・カラムスイッチ、SA・・・センスアンプ、AR・
・・アクティブリストア回路、R・C−D C1?・・
 ・ロウ/カラムデコーダ、ADI3・・・アドレスカ
ンタァ、DOB・・・データ出カバソファ、DIB・・
・データ人カバ、ファ、TC・・・タイミングm+j 
11回路、M P X・・・マルチプレクサ、REF’
C・・・リフレッシュ’、1lli御回路、1°Ml、
T?v12− ・、タイマー回路、DLl +  D 
L 2・・・遅延回路、CON ’1 ・・・リフレフ
シムアトL・スカウユ・り
FIG. 1 is a schematic diagram showing an embodiment of a dynamic RAM according to the present invention, FIG. 2 is a circuit diagram showing an embodiment of the refresh control 211 circuit in FIG. 1, and FIG. This is a 11-minute diagram showing its operation. MC...memory cell, DC...dummy cell, CW...
・・Column switch, SA・Sense amplifier, AR・
・Active restore circuit, R・C-D C1?・・・
・Row/column decoder, ADI3...address counter, DOB...data output cover sofa, DIB...
・Data human cover, fa, TC...timing m+j
11 circuits, M P X... multiplexer, REF'
C...Refresh', 1lli control circuit, 1°Ml,
T? v12-, timer circuit, DLl + D
L 2...Delay circuit, CON'1...Ref ref simat L・Scauyu・ri

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、実質的なチップ選択信号を受け、通常のメモリアク
セス時間より長くされた比較的短い間、チップ選択状態
を検出する第1のタイマー回路と、上記第1のタイマー
回路の出力信号により起動され、メモリセルの情報保持
時間に従った比較的長い周期のパルス信号を形成する第
2のタイマー回路と、上記第2のタイマー回路により形
成されたパルス信号を受け、リフレッシュ用のアドレス
信号を形成するアドレスカウンタ回路とを含む自動リフ
レッシュ制御回路とを具備することを特徴とするダイナ
ミック型RAM。 2、上記第2のタイマー回路は、プログラム素子によっ
て、出力パルスの周期が可変にされるものであることを
特徴とする特許請求の範囲第1項記載のダイナミック型
RAM。 3、上記ダイナミック型RAMは、ロウアドレスおよび
カラムアドレスがそれぞれ独立した外部端子から供給さ
れるものであることを特徴とする特許請求の範囲第1項
または第2項記載のダイナミック型RAM。
[Claims] 1. A first timer circuit that receives a substantial chip selection signal and detects a chip selection state for a relatively short period of time that is longer than a normal memory access time; and the first timer circuit described above. a second timer circuit that is activated by the output signal of the memory cell and forms a pulse signal with a relatively long period according to the information retention time of the memory cell; 1. A dynamic RAM comprising: an address counter circuit for forming an address signal; and an automatic refresh control circuit including an address counter circuit. 2. The dynamic RAM according to claim 1, wherein the second timer circuit has a variable period of output pulses by a program element. 3. The dynamic RAM according to claim 1 or 2, wherein the dynamic RAM is such that the row address and column address are supplied from independent external terminals.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5566117A (en) * 1994-09-22 1996-10-15 Nec Corporation Reliable self-refreshing operation in a dram type of semiconductor memory device
KR100237629B1 (en) * 1996-12-27 2000-01-15 김영환 Control method of refreshing a semiconductor memory device

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