JPS6169270U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6169270U JPS6169270U JP15339684U JP15339684U JPS6169270U JP S6169270 U JPS6169270 U JP S6169270U JP 15339684 U JP15339684 U JP 15339684U JP 15339684 U JP15339684 U JP 15339684U JP S6169270 U JPS6169270 U JP S6169270U
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- JP
- Japan
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- backing plate
- metal backing
- target
- target material
- sputtering target
- Prior art date
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- Pending
Links
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第1図は、本考案による、スパツタリーグ用タ
ーゲツトの縦断面図である。第2図は、従来のス
パタリング用ターゲツトの縦断面図。 1……ターゲツト材、2……金属裏板、3……
螢光体層、4……グラフアイト層。
ーゲツトの縦断面図である。第2図は、従来のス
パタリング用ターゲツトの縦断面図。 1……ターゲツト材、2……金属裏板、3……
螢光体層、4……グラフアイト層。
Claims (1)
- 金属裏板上にターゲツト材を形成して成るスパ
ツタリング用のターゲツトにおいて、ターゲツト
材と金属裏板との間に、中間層を有することを特
徴とするスパツタリング用ターゲツト。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15339684U JPS6169270U (ja) | 1984-10-11 | 1984-10-11 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15339684U JPS6169270U (ja) | 1984-10-11 | 1984-10-11 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6169270U true JPS6169270U (ja) | 1986-05-12 |
Family
ID=30711418
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15339684U Pending JPS6169270U (ja) | 1984-10-11 | 1984-10-11 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6169270U (ja) |
-
1984
- 1984-10-11 JP JP15339684U patent/JPS6169270U/ja active Pending