JPS6151110A - Jig for treating end surface of optical fiber - Google Patents

Jig for treating end surface of optical fiber

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Publication number
JPS6151110A
JPS6151110A JP17395884A JP17395884A JPS6151110A JP S6151110 A JPS6151110 A JP S6151110A JP 17395884 A JP17395884 A JP 17395884A JP 17395884 A JP17395884 A JP 17395884A JP S6151110 A JPS6151110 A JP S6151110A
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JP
Japan
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optical fiber
glass substrate
jig
face
end surface
Prior art date
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Pending
Application number
JP17395884A
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Japanese (ja)
Inventor
Yukihiro Kondo
近藤 行広
Keiji Kakinote
柿手 啓治
Koichi Aizawa
浩一 相澤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Electric Works Co Ltd
Original Assignee
Matsushita Electric Works Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To prevent a glass substrate from breaking by forming a protection film of a material having high hardness on the surface of the glass substrate against which the end surface of an optical fiber is pressed. CONSTITUTION:The jig for treating the end surface of the optical fiber consists of a heating part 1, circuit part 2, and power supply part 3, and the protection film 9 made of the material with high hardness such as aluminum oxide, etc., is formed on the surface of the glass substrate 6 of the heating part 1. When the end surface is treated, the coating 11 of the end part of the optical fiber 10 mounted on a metallic presser 13 is removed and the end part is pressed and fixed to the glass substrate 6. Then a current is supplied to the heater part 4 to finish the end surface into a specular surface. Thus, the protection film 9 is formed on the substrate 6, so the glass substrate 6 is prevented from breaking owing to a shock in the press contacting of the metallic presser 13, a shock in transportation, etc.

Description

【発明の詳細な説明】 (技術分野〕 この発明は、プラスチックファイバを利用した光ファイ
バの端面処理用治具に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Technical Field) The present invention relates to a jig for processing the end face of an optical fiber using a plastic fiber.

〔背景技術〕[Background technology]

光通信システム等において、近年、ガラスファイバを用
いた光伝送技術が著しい進歩を遂げている。光の伝送媒
体となる光ファイバには、前記ガラスファイバの他にプ
ラスチックファイバがあるが、その実用化はガラスファ
イバに比べ遅れをとっている。プラスチックファイバを
伝送媒体とする光通信システムの部品としては、他に、
接続用の光コネクタ、光分岐器、光分波・合波器、光ス
ィッチ、光モジュール(光−電気・電気−光変換器)等
が必要である。
2. Description of the Related Art In recent years, optical transmission technology using glass fibers has made remarkable progress in optical communication systems and the like. In addition to the above-mentioned glass fibers, plastic fibers are also available as optical fibers that serve as light transmission media, but their practical use has lagged behind that of glass fibers. Other components for optical communication systems that use plastic fiber as a transmission medium include:
Optical connectors, optical branchers, optical demultiplexers/combiners, optical switches, optical modules (optical-electrical/electrical-optical converters), etc. are required for connection.

プラスチックファイバの接続においては、プラスチック
ファイバの端面処理を行う必要があるが、従来はプラス
チックファイバの端面をやすりで研摩した後、パフ研摩
を行ってから接続する方法が一般に用いられていたが、
均一に端面を処理することが:I[シ<、ばらつきが多
いため、光信号の損失が大きかった。
When connecting plastic fibers, it is necessary to treat the end faces of the plastic fibers. Conventionally, the end faces of the plastic fibers were polished with a file and then subjected to puff polishing before being connected.
Since it is difficult to uniformly process the end face, the loss of the optical signal was large because there were many variations.

また、プラスチックファイバの接続において、プラスチ
ックファイバの端面同志を熱融着する方法もよく用いら
れているが、従来の熱融着のためのヒータは大型である
ので、携帯には不便であつた。
Furthermore, in the connection of plastic fibers, a method of heat-sealing the end faces of the plastic fibers together is often used, but conventional heaters for heat-sealing are large, making them inconvenient to carry.

これらの方法では、配線済みのプラスチックファイバを
他のプラスチックファイバと接続するためには、配線済
みのプラスチックファイバの端部をあらかじめ余分に長
く残しておくか、あるいは配線済みのプラスチックファ
イバを取りはずして研摩もしくは熱融着して接続しなけ
ればならないので、大変な作業を要した。
In these methods, in order to connect a pre-wired plastic fiber to another plastic fiber, the end of the pre-wired plastic fiber must be left extra long or the pre-wired plastic fiber must be removed and polished. Otherwise, they had to be connected by heat fusion, which required a lot of work.

そこで、発明者らは、携帯に便利で、光ファイバ端面の
鏡面仕上げが容易かつ迅速にできる光ファイバ端面処理
用治具を開発した。この光ファイバ端面処理用治具は、
光ファイバの端面に圧着するガラス基板を備えるととも
に、このガラス基板裏面にこれを加熱するヒータ部と電
極が接合されていて、光ファイバを押さえ金具に挿通し
た状態で、光ファイバ端面をガラス基板に圧着し、ヒー
タ部でガラス基板を加熱することで、光ファイバの端面
を溶融して、鏡面仕上げのされた光ファイバの端面を得
ることができるようになっている。
Therefore, the inventors have developed an optical fiber end face processing jig that is convenient to carry and can easily and quickly mirror finish the end face of an optical fiber. This optical fiber end face treatment jig is
A glass substrate is provided to be crimped onto the end surface of the optical fiber, and a heater section and electrode for heating the glass substrate are bonded to the back surface of the glass substrate, and the end surface of the optical fiber is attached to the glass substrate with the optical fiber inserted through the holding fitting. By crimping and heating the glass substrate with a heater section, the end face of the optical fiber can be melted and a mirror-finished end face of the optical fiber can be obtained.

ところが、光ファイバの端面を圧着させる時に用いる押
さえ金具の衝撃や輸送時の衝撃、ヒータ部を交換するた
めにガラス基板を外した時の落下環の原因により、ガラ
ス基板が破損したり、ガラス基板を光ファイバ端面処理
用治具本体と着脱させる時に、ガラス基板に接合された
ヒータ部および電極を傷つけたりすることがあった。し
かも、この光ファイバ端面処理用治具は、あらゆる環境
下で使用されており、そのため、ヒータ部および電極が
酸化したり、硫化したりすることがあった〔発明の目的
〕 前記の点に漏みて、この発明は、ガラス基板の破損が起
きにくく、ヒータ部および電極の傷つきや酸化、硫化等
の劣化も生じにく光ファイバ端面処理用治具を提供する
ことを目的とする。
However, the glass substrate may be damaged or damaged due to the impact of the presser metal used when crimping the end face of the optical fiber, the impact during transportation, and the ring that falls when the glass substrate is removed to replace the heater. When attaching and detaching the optical fiber end face processing jig from the main body of the optical fiber end face treatment jig, the heater section and electrodes bonded to the glass substrate may be damaged. Moreover, this optical fiber end face treatment jig is used in various environments, and as a result, the heater section and electrodes may become oxidized or sulfided. SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an optical fiber end face treatment jig that is less likely to cause damage to the glass substrate and less likely to cause damage to the heater portion and electrodes, or to deterioration such as oxidation or sulfidation.

〔発明の開示〕[Disclosure of the invention]

前記の目的を達成するため、この発明は、光ファイバの
端面に圧着するガラス基板を備えるとともに、このガラ
ス基板裏面にこれを加熱するヒータ部と電極が接合され
た光ファイバ端面処理用治具であって、ガラス基板表面
とヒータ部および電極の表面の少なくとも一方に保護膜
が形成されていることを特徴とする光ファイバ端面処理
用治具をその要旨とする。以下にこれを、実施例をあら
れす図面に基づいて詳しく説明する。
In order to achieve the above object, the present invention provides an optical fiber end face processing jig which is equipped with a glass substrate to be crimped onto the end face of an optical fiber, and has a heater part and an electrode for heating the glass substrate bonded to the back surface of the glass substrate. The gist of the present invention is an optical fiber end face processing jig characterized in that a protective film is formed on at least one of the surface of a glass substrate and the surfaces of a heater section and an electrode. This will be explained in detail below based on the drawings showing examples.

第1図および第2図にみるように、光ファイバ端面処理
用治具(以下「治具」とする。)は、加熱部1、回路部
2、供電部3から成っている。加熱部1には、枠7によ
ってガラス基板6が保持されている。ガラス基板6の裏
面には電極5.5が設けられており、かつ、ガラス基板
6の表面における光ファイバの端面が圧着される位置に
応当する、ガラス基板6の裏面の位置にはヒータ部4が
配設されている。ヒータ部4の両側部には前記電極5.
5の各一部が重ね合わされている。電極5.5は供電部
3に配線されている端子8,8と接触していて、ヒータ
部4に供電部3より電流を供給すると、ヒータ部が発熱
するようになっているガラス基板6の表面には、硬度の
高い材料よりなる保護膜9が形成されていて、その膜9
の表面が、鏡面になっている。
As shown in FIGS. 1 and 2, the optical fiber end face processing jig (hereinafter referred to as the "jig") consists of a heating section 1, a circuit section 2, and a power supply section 3. A glass substrate 6 is held in the heating section 1 by a frame 7. An electrode 5.5 is provided on the back surface of the glass substrate 6, and a heater section 4 is provided on the back surface of the glass substrate 6 at a position corresponding to the position where the end surface of the optical fiber is crimped on the front surface of the glass substrate 6. is installed. The electrodes 5. are provided on both sides of the heater section 4.
5 are overlapped. The electrodes 5.5 are in contact with terminals 8, 8 wired to the power supply section 3, and when the heater section 4 is supplied with current from the power supply section 3, the heater section generates heat. A protective film 9 made of a material with high hardness is formed on the surface.
The surface is mirror-like.

端面処理を施される光ファイバ10は、第3図にみるよ
うにコアとブラッドからなる素線12が被ff1llさ
れてなる。光ファイバ10の先端部には押さえ金具13
が装着されている。
As shown in FIG. 3, the optical fiber 10 to be subjected to end face treatment is made up of a strand 12 consisting of a core and a brad. A presser metal fitting 13 is attached to the tip of the optical fiber 10.
is installed.

つぎに、この発明にかかる治具を用いた光ファイバ端面
処理工程を説明する。押さえ金具13が装着された光フ
ァイバ10の端面ば、被覆11を取り除いて素線12を
剥き出しにしておく。そして、第3図にみるように、適
当な長さを残して、不要な素線を切り落とす。この光フ
ァイバ10の端面を、治具のヒータ部lのガラス基Fi
、6の前面部に圧着して固定する。゛そして、ヒータ部
4に電流を流すと、ヒータ部4は、ガラス基板6の前面
部の光ファイバの端面が圧着される位置に応当するガラ
ス基板6の後面部の位置にのみ配設されているので、光
ファイバの端面処理に必要な部分のガラス基板のみを加
熱する。このようにして、ガラス基板6に圧着された光
ファイバ11の端面を溶融する。その後、ヒータ部4へ
の通電を停止し、冷却する。こうしてできあがった光フ
ァイバ11の端面ば、第4図のようであり、鏡面となっ
ている。
Next, an optical fiber end face treatment process using the jig according to the present invention will be explained. The coating 11 is removed from the end face of the optical fiber 10 to which the presser fitting 13 is attached, leaving the strands 12 exposed. Then, as shown in Figure 3, the unnecessary strands are cut off, leaving an appropriate length. The end face of this optical fiber 10 is connected to the glass base Fi of the heater part l of the jig.
, 6 and fix it by crimping it to the front part.゛When a current is applied to the heater section 4, the heater section 4 is disposed only at the position on the rear surface of the glass substrate 6 corresponding to the position where the end surface of the optical fiber on the front surface of the glass substrate 6 is crimped. Therefore, only the portion of the glass substrate necessary for processing the end face of the optical fiber is heated. In this way, the end face of the optical fiber 11 press-bonded to the glass substrate 6 is melted. Thereafter, the power supply to the heater section 4 is stopped and the heater section 4 is cooled down. The end face of the optical fiber 11 thus completed has a mirror surface as shown in FIG.

この実施例のようにガラス基板6表面に保護膜9が形成
されているのでなければ、光ファイバ端面処理工程にお
いて用いられる押さえ金具の圧着時の衝撃や輸送時の衝
撃、ヒータ部を交換するためにガラス基板を外した時の
落下等が原因となって、ガラス基板表面にマイクロクラ
ックが発生し、その部分の機械的強度が低下する。これ
にさらに衝撃が加えられると、ガラス基板は破損する。
Unless the protective film 9 is formed on the surface of the glass substrate 6 as in this example, there will be no impact due to the impact during crimping of the presser used in the optical fiber end face treatment process, impact during transportation, or when replacing the heater unit. When the glass substrate is removed, microcracks are generated on the surface of the glass substrate due to dropping, etc., and the mechanical strength of that portion is reduced. If further impact is applied to this, the glass substrate will be damaged.

これに対し、保護膜9を形成すると、ガラス基板表面の
機械的強度を向上させることができるため、マイクロク
ラックの発生を激減することができ、ガラス基板の破損
を防止することができる。
On the other hand, when the protective film 9 is formed, the mechanical strength of the surface of the glass substrate can be improved, so the occurrence of microcracks can be drastically reduced, and damage to the glass substrate can be prevented.

(実施例1) )       ガラス基板(厚み0.8mm、直径2
9mm、商品名;保谷NA40.保谷硝子社M)を十分
?′A浄後、下記の条件でRF反応性スパッタリングを
行い、ガラス基板表面に窒化チタン膜を形成した。
(Example 1) ) Glass substrate (thickness 0.8 mm, diameter 2
9mm, product name: Hoya NA40. Is Hoya Glass Company M) enough? 'After A cleaning, RF reactive sputtering was performed under the following conditions to form a titanium nitride film on the surface of the glass substrate.

基板温度は300℃、到達真空度はI X 10′4T
orr以下、導入ガスは圧力3 X 10’Torrの
窒素ガスおよび圧力5 X 10’Torrの窒素とア
ルゴンの混合ガス、電圧は300 V、電流はLA。
Substrate temperature is 300℃, ultimate vacuum is I x 10'4T
orr, the introduced gases were nitrogen gas at a pressure of 3 x 10' Torr and a mixed gas of nitrogen and argon at a pressure of 5 x 10' Torr, the voltage was 300 V, and the current was LA.

スパッタリング時間6分間で、膜厚がおよそ3000人
の金色の鏡面膜を得た。
With a sputtering time of 6 minutes, a golden mirror film with a film thickness of about 3000 was obtained.

つぎに、窒化チタン膜が形成された面とは反対の面にス
クリーン印刷法によりヒータ部および電極を形成した。
Next, a heater portion and electrodes were formed by screen printing on the surface opposite to the surface on which the titanium nitride film was formed.

光ファイバの押え金具の着脱を1000回繰り返えした
後、顕微鏡で観察したところ、クラックおよび傷の発生
はほとんど見られなかった。
After attaching and detaching the optical fiber clamp 1000 times, observation under a microscope revealed that almost no cracks or scratches were observed.

第5図および第6図は、この発明の別の実施例をあられ
すものであり、ガラス基板表面の代わりにヒータ部およ
び電極の表面に保護膜14が形成されている。その他は
、前記実施例と全く同じ構造をしている。第5図および
第6図にみるように、端子8とのコンタクト部15を除
いて、ヒータ部4および電極5.5の表面が、硬度が高
くて、かつ、化学的、熱的に安定している絶縁性の材料
よりなる保護膜14で被覆されている。この保護膜14
が形成されていることで、ガラス基板6をこの治具本体
に着脱させる時に、ヒータ部4および電極5.5を傷つ
けるというようなことがなく、また、ヒータ部および電
極、特に高温になる部分の酸化、硫化等の劣化を防止す
ることもできる(実施例2) ガラス基板(厚み0.8 m+n、直径29mm、商品
名;保谷NA40.保谷硝子社!!りにヒータ部にニッ
ケルクロム合金)と電極(クロム)をスパッタリングに
より形成後、電子ビーム蒸着で、第5図および第6図に
みるような形状に酸化アルミニウムの保護膜を形成した
。基板温度は200℃とし、I膜厚は5000人とした
FIGS. 5 and 6 show another embodiment of the present invention, in which a protective film 14 is formed on the surfaces of the heater section and electrodes instead of on the surface of the glass substrate. The rest of the structure is exactly the same as that of the previous embodiment. As shown in FIGS. 5 and 6, the surfaces of the heater section 4 and the electrode 5.5, except for the contact section 15 with the terminal 8, have high hardness and are chemically and thermally stable. It is covered with a protective film 14 made of an insulating material. This protective film 14
This prevents damage to the heater section 4 and electrodes 5.5 when attaching and detaching the glass substrate 6 to and from this jig body, and prevents damage to the heater section and electrodes, especially the parts that become hot. (Example 2) Glass substrate (thickness: 0.8 m+n, diameter: 29 mm, product name: Hoya NA40. Hoya Glass Co., Ltd.! Nickel chromium alloy in the heater part) After forming electrodes (chromium) by sputtering, a protective film of aluminum oxide was formed by electron beam evaporation into the shape shown in FIGS. 5 and 6. The substrate temperature was 200° C., and the I film thickness was 5000.

その結果、人の爪の硬さ程度のものでは傷がつくことが
ない保護膜を得ることができた。光ファイバの端面処理
を5000回行った後、ヒータ部の抵抗値を調べると、
その変化は、端面処理を行う前の値の3%以内であった
。しかも、電極の変色がみられず、酸化防止されていた
As a result, we were able to obtain a protective film that would not be scratched by materials as hard as a human fingernail. After processing the end face of the optical fiber 5000 times, we checked the resistance value of the heater part, and found that
The change was within 3% of the value before the end face treatment. Moreover, no discoloration of the electrodes was observed and oxidation was prevented.

この発明にがかる治具のヒータ部は、プラスチックの軟
化点が100℃前後であるから、光ファイバの端面が圧
着される部分のガラス基板を140℃程度に加熱し得る
もので、300℃位までの熱に対して安定しているもの
が望ましい。ヒータ部材料としては、I To (In
dium Tin 0xide)のほか、ニッケルクロ
ム合金などの金属、窒化タンタルのような窒化物や酸化
ルテニウムなどの酸化物等が好ましく用いられる。ガラ
ス基板は、軟化点が700℃以上で高温強度の強いもの
が望ましい。電極は、経済的安定性が高く、シート抵抗
値および接触抵抗値の低いものが望ましい。治具の回路
部分には、温度補償機構、時間制御機構、表示機構、電
流制御機構等の必要とされる機構を組みこめばよい。治
具の供電部分には、携帯性を考慮して充電式の電池を用
いるのが望ましい。
Since the softening point of plastic is around 100°C, the heater part of the jig according to this invention can heat the glass substrate where the end face of the optical fiber is crimped to around 140°C, and up to around 300°C. A material that is stable against heat is desirable. As the heater part material, I To (In
In addition to dium tin oxide), metals such as nickel chromium alloys, nitrides such as tantalum nitride, oxides such as ruthenium oxide, etc. are preferably used. It is desirable that the glass substrate has a softening point of 700° C. or higher and strong high-temperature strength. Desirably, the electrode has high economic stability and low sheet resistance and contact resistance. Necessary mechanisms such as a temperature compensation mechanism, a time control mechanism, a display mechanism, and a current control mechanism may be incorporated into the circuit portion of the jig. In consideration of portability, it is desirable to use a rechargeable battery in the power supply part of the jig.

この発明において、ガラス基板表面とヒータ部および電
極の表面に形成された保護膜の材料としては、硬度が高
く、熱的に安定しているものが望ましい。具体的には、
酸化アルミニウムや二酸化ケイ素等の酸化物、窒化ケイ
素、窒化チタンや窒化ハフニウム等の窒化物、炭化チタ
ンや炭化タングステン等の炭化物、ホウ化物、シアン化
チタン、リンケイ酸ガラス、ポリイミド系の有機物膜等
またはこれらの混合物等があげられる。特に、ヒータ部
および電極の保護膜は、前記性質の他に化学的に安定し
ていて、絶縁性をもつことが付加されているものが好ま
しいので、前記の中で、酸化アルミニウムや二酸化ケイ
素等の酸化物、窒化ケイ素等の窒化物、リンケイ酸ガラ
ス、ポリイミド系の有機物等が良い。
In this invention, the material for the protective film formed on the surface of the glass substrate, the heater section, and the electrode is preferably one that has high hardness and is thermally stable. in particular,
Oxides such as aluminum oxide and silicon dioxide, nitrides such as silicon nitride, titanium nitride and hafnium nitride, carbides such as titanium carbide and tungsten carbide, borides, titanium cyanide, phosphosilicate glass, polyimide organic films, etc. Examples include mixtures of these. In particular, it is preferable that the protective film for the heater part and the electrodes be chemically stable and have insulating properties in addition to the above-mentioned properties. oxides, nitrides such as silicon nitride, phosphosilicate glass, polyimide-based organic materials, etc. are preferable.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

この発明にかかる光ファイバ端面処理用治具は、ガラス
基板およびヒータ部に保護膜が形成されているので、ガ
ラス基板の破を月を防ぎ、ヒータ部および電極の傷つき
や酸化、硫化等の劣化を防止することができる。
The optical fiber end face processing jig according to the present invention has a protective film formed on the glass substrate and the heater section, so it prevents the glass substrate from being broken and prevents damage to the heater section and electrodes, as well as deterioration such as oxidation and sulfurization. can be prevented.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図はこの発明にかかる光ファイバ端面処理用治具の
一実施例をあられず一部断面図、第2図は第1図のA−
Δ部分の断面図、第3図は押さえ金具が装着された光フ
ァイバの断面図、第4図は端面処理後の光ファイバの断
面図、第5図はこの発明にかかる光ファイバ端面処理用
治具の別の実施例をあられず一部断面図、第6図は第5
図のB−B部分の断面図である。 1・・・加熱部 2・・・回路部 3・・・供電部 4
・・・ヒータ部 5・・・電極 6・・・ガラス基板 
9,14・・・保護膜 代理人 弁理士  松 本 武 彦 」 第3図      第4図 円巨糸六津市正書(自発) 昭和59年11月 2日 昭和59年特許願第173958号 2、発明の名称 光ファイバ端面処理用治具 3、補正をする者 事件との関係     特許出願人 柱  所    大阪府門真市大字門真1048番地名
 称(583)松下電工株式会社 代表者  (誠嘘役 小 林 郁 4、代理人 な   し 6、補正の対象 明細書 7、補正の内容 (11明細書第8頁第2行ないし同頁第5行に「基板温
度・・・電流はIA、」とあるを、下記のごとくに訂正
する。 一記一 基板温度を300℃とし、スパッタリング装置をあらか
じめI X 10’Torr以下に減圧しておき、窒素
ガスを装置内の圧力がI X 10’Torrになるま
で導入し、さらに、アルゴンガスを装置内の圧力が4×
10°’ Torrになるまで導入した。その後、窒素
ガスおよびアルゴンガスをこの割合で導入し続け、最終
的に3×10°2Torrの真空度でスパッタリングを
行った。その時の電圧は1.8 KV、電流は180m
Aであった。
FIG. 1 is a partial cross-sectional view of an embodiment of the optical fiber end face treatment jig according to the present invention, and FIG.
3 is a sectional view of the optical fiber with the holding fitting attached, FIG. 4 is a sectional view of the optical fiber after end face treatment, and FIG. 5 is a sectional view of the optical fiber end face treatment according to the present invention. A partial cross-sectional view of another embodiment of the tool, FIG.
It is a sectional view of the BB part of a figure. 1... Heating section 2... Circuit section 3... Power supply section 4
...Heater part 5...Electrode 6...Glass substrate
9,14...Protective film agent Patent attorney Takehiko Matsumoto" Figure 3 Figure 4 Circle Kyoto Mutsu City Masho (spontaneous) November 2, 1980 Patent Application No. 173958 2 , Title of the invention: Optical fiber end face processing jig 3, Relationship with the person making the amendment Patent applicant Location: 1048 Kadoma, Kadoma City, Osaka Name (583) Representative of Matsushita Electric Works Co., Ltd. (Masui Kobayashi) Iku 4, No agent 6, Specification subject to amendment 7, Contents of amendment (11 Specification, page 8, line 2 to line 5 of the same page, "Substrate temperature...current is IA," , amended as follows: 1. The substrate temperature is 300°C, the sputtering equipment is depressurized in advance to below I x 10' Torr, and nitrogen gas is supplied until the pressure inside the equipment reaches I x 10' Torr. Introduce argon gas until the pressure inside the device is 4×
The temperature was introduced until the pressure reached 10°' Torr. Thereafter, nitrogen gas and argon gas were continued to be introduced at this ratio, and finally sputtering was performed at a vacuum degree of 3×10° 2 Torr. At that time, the voltage was 1.8 KV and the current was 180 m.
It was A.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)光ファイバの端面に圧着するガラス基板を備える
とともに、このガラス基板裏面にこれを加熱するヒータ
部と電極が接合された光ファイバ端面処理用治具であつ
て、ガラス基板表面とヒータ部および電極の表面の少な
くとも一方に保護膜が形成されていることを特徴とする
光ファイバ端面処理用治具。
(1) An optical fiber end face processing jig comprising a glass substrate to be crimped onto the end face of an optical fiber, and a heater part and an electrode for heating the glass substrate bonded to the back surface of the glass substrate, the jig comprising a glass substrate surface and a heater part. and an optical fiber end face processing jig, characterized in that a protective film is formed on at least one of the surfaces of the electrode.
(2)保護膜が少なくともヒータ部において絶縁材料で
形成されている特許請求の範囲第1項記載の光ファイバ
端面処理用治具。
(2) The optical fiber end face processing jig according to claim 1, wherein the protective film is formed of an insulating material at least in the heater portion.
JP17395884A 1984-08-20 1984-08-20 Jig for treating end surface of optical fiber Pending JPS6151110A (en)

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JP17395884A Pending JPS6151110A (en) 1984-08-20 1984-08-20 Jig for treating end surface of optical fiber

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55121405A (en) * 1979-03-13 1980-09-18 Machida Seisakusho:Kk Working method for end face of optical fiber

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55121405A (en) * 1979-03-13 1980-09-18 Machida Seisakusho:Kk Working method for end face of optical fiber

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