JPS61157984A - 欠陥表示装置 - Google Patents

欠陥表示装置

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JPS61157984A
JPS61157984A JP59278969A JP27896984A JPS61157984A JP S61157984 A JPS61157984 A JP S61157984A JP 59278969 A JP59278969 A JP 59278969A JP 27896984 A JP27896984 A JP 27896984A JP S61157984 A JPS61157984 A JP S61157984A
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JP
Japan
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defect
axis
signal
cursor
monitor
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Pending
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JP59278969A
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English (en)
Inventor
Masaharu Watanabe
正治 渡辺
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ETOU DENKI KK
SHIGUMATSUKUSU KK
Sigmax Ltd
Original Assignee
ETOU DENKI KK
SHIGUMATSUKUSU KK
Sigmax Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は欠陥表示装置に関し、特にテレビジョンカメラ
によって被検査物体を撮像して得られるビデオ信号を用
いて被検査物体の欠陥の有無を識別する物体検査装置に
通用して好適なものである。
〔従来の技術〕
この種の物体検査装置として従来、テレビジョンカメラ
から得られるビデオ信号が表す画面を、例えば第3図に
示すように、西面1の水平方向及び垂直方向にそれぞれ
X軸及びy軸を割当ててなるxy平面を考え、当tfx
y平面上に監視すべき1つ又は複数の観測位置PA、P
B・・・・・・を設定し、当該観測位置に相当するビデ
オ信号が所定範囲内の信号レベル(すなわち輝度レベル
)をもっているとき、現在テレビジョンカメラによって
撮像されている被検査物体には欠陥がないと判断し、こ
れに対して観測位WPA、PB・・・・・・の信号レベ
ルが所定値から外れたとき、被検査物体に欠陥があると
判断するものが提案されている。
〔発明が解決しようとする問題点〕
かかる欠陥の有無の判別は、ビデオ信号を情報として所
定の信号処理をすることによってなし得るが、かくして
欠陥が発見された被検査物体については、どのt!測位
置に欠陥があるかを判別するために、−Sにビデオ信号
を例えば陰極線管でなるモニタの表示画面上に表示させ
るようにすることが便利である。
因にオペレータは、物体検査装置によって被検査物体に
欠陥があるとの判断結果が得られたときには、当該被検
査物体の処理作業(例えば物体検査装置が自動製造ライ
ンの加工機械によって製造される製品を検査するように
適用される場合には、例えば製品の加工機械からの除去
作業などがある)を行う必要があるからである。
本発明は以上の点を考慮してなされたもので、被検査物
体の観測位置のうちの少なくとも1つに欠陥があるとの
判断がされた場合には、当該欠陥が発生した観測位置を
モニタの表示画面上に明確に表示さセるようにすること
により、オペレータに対して欠陥の発生位置を簡便に知
らせるようにした欠陥表示装置を提案しようとするもの
である。
〔問題点を解決するための手段〕
かかる問題点を解決するため本発明においては、被検査
物体を撮像するテレビジョンカメラ3から得られるビデ
オ信号VDINに基づいて、所定の1!測位闇PA、P
B・・・・・・の欠陥の有無を検出する欠陥検出手段4
と、ビデオ信号VDINを表示西面11上に表示するモ
ニタ8と、欠陥検出手段4の検出出力DSによって表さ
れる欠陥位置及び表示画面11上の走査位置を比較し、
一致したとき所定のパターンを有するカーソル40を表
示画面11上に表示するカーソルパターン信号CPを発
生する欠陥表示制御手段21とを設け、表示画面11に
おける発生した欠陥の表示位置又はその近傍にカーソル
4゛0を表示させるようにする。
〔作用〕
テレビジョンカメラ3によって撮像されている被検査物
体に欠陥が発生すると、これを欠陥検出手段4が検出し
、その検出結果に基づいて欠陥表示制御手段21が現在
の走査位置と欠陥の発生位置とを比較し、一致が得られ
たときモニタ8にカーソルパターン信号を送出する。か
くしてモニタ8の表示画面上には、発生した欠陥の表示
位置又はその近傍位置にカーソルが表示され、かくして
オペレータはカーソルが表示されたことによって欠陥が
発生したことを簡易に判知し得ると共に、カーソルが移
動した位置を読取ることによって発生した欠陥の位置を
詳細かつ確実に知ることができる。
〔実施例〕
以下図面について本発明の一実施例を詳述する。
第1図において、2は全体として物体検査装置を示し、
テレビジョンカメラ3において被検査物体を撮像して得
られるビデオ信号VDINが欠陥検査装置4に入力され
る。テレビジョンカメラ3は同期信号発生回路5におい
て発生される水平同期信号H5YNC及び垂直同期信号
VSYNCを受けてこれらの同期信号に同期したビデオ
信号VDINを発生するようになされている。
かかる構成に加えてビデオ信号VDINは混合回路6を
介して例えば陰極線管でなるモニタ8に供給され、かく
して第3図との対応部分に同一符号を付して第2図に示
すように、被検査物体を表示画面ll上に表示する。
この実施例の場合、欠陥検出装置4は表示画面11にx
y座標を割当て、各観測位置PA、PB・・・・・・の
左上角の座標(xa 、7m )、(Xs 、7%)・
・・・・・によって観測位置PASPB・・・・・・の
表示画面11上の位置を特定し、ビデオ信号VDINの
うち当該観測位置(xa % 7m )、(X>、7b
)・・・・・・に相当するタイミングで、各観測位fi
PA、PB・・・・・・におけるビデオ信号の信号レベ
ルが所定範囲内にあるか否かを判断し、欠陥が生じた観
測位置番号を内容とする欠陥位置検出信号DSを発生す
る。ここで、各観測位置はX軸及びy軸方向に所定の長
さをもつ領域でなる。
なお実際上欠陥検出装置4は、全ての観測位置について
の欠陥検出動作をした後、現在表示画面11上に表示さ
れている被検査物体が合格しているか否かの総合判断を
して、別途被検査物体を加工処理している機械に対して
監視制御信号を発生することにより、機械の停止等の自
動制御を実行するようになされている。
欠陥検出装置4の欠陥位置検出信号DSは、欠陥表示制
御部21のCPU22 (例えばマイクロコンピュータ
で構成されている)に制御入力として与えられる。CP
U22は欠陥位置検出信号DSを受けたとき、バス23
を介してメモリ24から当該欠陥位置番号に相当するx
y!i!標上の位置データを読出す。
この実施例の場合、メモリ24には全ての観測値iPA
、PB・・・・・・についてその左上角の座標(xl、
y、)、(Xb 、)’b )・・・・・・を表す数値
データが予め格納されており、欠陥位置検出信号DSに
基づいてCPU22が欠陥番号を指定したとき、°これ
をX7座標データに変換してバス23を介してcpυ2
2に転送する。
CPU22は、この欠陥位置データをX軸しジスタ25
及びy軸しジスタ26にロードし、各レジスタ25及び
26の記憶内容をコンパレータ27に比較入力として供
給させる。
一方欠陥表示制御部2Iには、X軸カウンタ31及びy
軸カウンタ32が設けられ、X軸カウンタ31のクロッ
ク入力端に同期信号発生回路5において発生されるクロ
ック信号CLKが与えられると共に、同期信号発生回路
5の水平同期信号H5YNCをリセット入力端に受けて
、カウント内容を水平同期信号H3YNCが発生するご
とに0にリセットするようになされている。これにより
X軸カウンタ3!は、表示画面ll上の各走査線ごとに
X軸方向の座標メモリに相当するX軸メモリ信号を発生
し、これをコンパレータ27に供給する。
これに対してy軸カウンタ32には、クロック信号とし
て水平同期信号HSYNCが同期信号発生回路5から供
給され、かつリセット信号として垂直同期信号VSYN
Cを同期信号発生回路5から供給される。かくしてy軸
カウンタ32は表示画面11上の各水平走査線番号を表
すy軸メモリ信号を発生し、これをコンパレータ27に
基準式゛力として供給する。
コンパレータ27は、X軸カウンタ31のX軸メモリ信
号と、X軸しジスタ25のX軸欠陥位置信号とを比較す
ると共に、y軸カウンタ32のy軸メモリ信号とy軸し
ジスタ26のy軸欠陥位置信号とを比較し、X軸及びy
軸両方について一敗が得られたとき、一致検出信号ID
Sをカーソルパターン発生回路35に供給する。
カーソルパターン発生回路35は、表示画面ll上にお
いて観測値fiPA、PB・・・・・・のうち欠陥が発
生した観測位置を表示するマーク(これをカーソルと呼
ぶ)を発生するもので、この実施例の場合、垂直方向に
一本の走査線に相当する幅を存しかつ水平方向に観測値
11fPA、PB・・・・・・の水平方向の幅とほぼ同
じ長さを存する1本の輝線で構成されている。
なお、カーソルパターンとしてはこれに限らず、十字状
、三角形状、長方形状・・・・・・などのマークや、欠
陥位置の周囲を囲む輝線でなるマークや、観測位置PA
SPB・・・・・・を全体として高い輝度で光らせるよ
うなマークなど種々のものを適用し得る。
この実施例の場合、CPU22は、欠陥検出装置4から
供給された欠陥位置検出信号DSに基づいて、X軸しジ
スタ25及びy軸しジスク26にそれぞれX軸及びy軸
欠陥位置データをロードするにつき、y軸しジスタへの
データをy軸方向の欠陥位置を表すy軸座標の値から−
1だけ減算した値をロードするようになされ、かくする
ことにより、表示画面11上欠陥を検出した観測位置P
A%P B −−−−−・の1つ上の走査線上にカーソ
ル40を表示てきるようになされている。
かくしてカーソルパターン発生回路35示ら得られるカ
ーソル信号CPは、混合回路6においてビデオ信号VD
INと混合された後、モニタ8の表示画面ll上に被検
査物体の映像上に重畳するように表示される。
以上の構成において、欠陥検出装置4がvl、検査物体
の観測位置PA、PB・・・・・・の全部に欠陥がない
ことを判断し、その結果欠陥位置検出信号DSを送出し
ていない状態においては、CPU22は、X軸しジスタ
25及びy軸しジスタ26にホームポジション位置デー
タ(X* 、Fo )をロードする、従ってコンパレー
タ27は、表示画面11の走査ビームが(Xs−、Yt
r)の座標位置に、来たとき、X軸カウンタ31及びy
軸カウンタ32の内容がX軸しジスタ25及びy軸しジ
スタ26の内容と一致したことを検出し、−敗検出信号
IDSをカーソルパターン発生回路35に供給すること
により、モニタ8の表示画面11の左上隅のホームポジ
ションにカーソル40が表示される状態になる。
この状態は欠陥検出装置4が被検査物体の欠陥を検出す
るまで維持される。従ってオペレータは、表示画面11
のカーソル40の位置が左上隅のホームポジションにあ
ることをf1認することによって、被検査物体には欠陥
が生じていないことを容易にn認し得る。
この状態において、観測位置PA、PB・旧・・のうち
の1つ又は複数について、欠陥が検出されると、欠陥検
出装置4は欠陥が発生した観測位置を表すデータDSを
CPU22に供給する。このときCPU22は、当該欠
陥位置番号に対応する座標データをX軸しジスタ25及
びy軸にジスタ26にロードし、従ってX軸カウンタ3
1及びy軸カウンタ32のカウント内容がX軸しジスタ
25及びy軸しジスター26のロード内容と一致すると
、その都度コンパレータ27が一致検出信号IDSをカ
ーソルパターン発生回路35に送出することにより、表
示画面11上の欠陥が発生した監視領域の1つ上側の走
査線位置にカーソル40か表示されることになる。
カくシてオペレータは、モニタ8の表示画面11上のカ
ーソル40の位置が、左上隅のホームポジションから他
の位置に移動したことによって、被検査物体に異常が発
生′したことを簡易に判知し得ると共に、カーソル40
の移動後の位置にある監視領域の番号を確認することに
よって、どの観測位置に欠陥が発生したかを詳細に判知
し得る。
このようにして第1図の構成によれば、被検査物体のう
ち監視すべき複数の監視部分について欠陥が発生したと
き、これをカーソル40の表示位置が変化することによ
ってオペレータが簡易かっ確実に判知できる。
か(するにつき、被検査物体の観測位置を変更する場合
には、各監視領域番号に対応してメモリ24に格納され
ている位置データを変更するだけで、回路構成1何等の
変更を伴うことなくカーソル40を変更後の観測位置へ
移動させることができる。
なお上述の実施例においては、欠陥が拠生していないと
きには、カーソル40を左上隅のホームポジションに表
示させるようにしたが、これに代え、表示させないよう
にしても良い、このようにすれば、オペレータはカーソ
ルが表示画面11上に表示されていない状態のとき、欠
陥が発生していないことを簡易に判知し得ると共に、表
示画面11上の何れかの位置にカーソル40が表示され
たとき、欠陥が発生したこと及び発生した欠陥位置を簡
易かつ確実に判知し得る。
〔発明の効果〕
以上のように本発明によれば、被検査物体の観測位置の
何れか1つに欠陥が発生したとき、これをモニタ8の表
示画面11上のカーソルの位置の変動によって表示する
ようにしたことにより、オペレータが筒易かつ確実に欠
陥の発生及び発生した欠陥の位置を判知し得る欠陥表示
装置を容易に実現し得る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による欠陥表示装置の一実施例を示すブ
ロック図、第2図はモニタの表示画面11上の表示の説
明に供する路線図、第3図は従来考え得るモニタの表示
方法を示す路線図である。 3・・・・・・テレビジョンカメラ、4・・・・・・欠
陥検出装置、5−・・・・同期信号発生回路、6・・・
・・・混合回路、8・・・・・・モニタ、11・・・・
・・表示画面、21・・・・・・欠陥表示制御部。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 被検査物体を撮像するテレビジヨンカメラから得られる
    ビデオ信号に基づいて所定の観測位置の欠陥の有無を検
    出する欠陥検出手段と、上記ビデオ信号を表示画面上に
    表示するモニタと、上記欠陥検出手段の検出出力によつ
    て表わされる欠陥位置及び上記表示画面上の走査位置を
    比較し、一致したとき所定のパターンを有するカーソル
    を上記表示画面上に表出するカーソルパターン信号を発
    生する欠陥表示制御手段とを具え、上記表示画面におけ
    るカーソルの表示を、発生した欠陥の表示位置又はその
    近傍に表示させるようにしたことを特徴とする欠陥表示
    装置。
JP59278969A 1984-12-29 1984-12-29 欠陥表示装置 Pending JPS61157984A (ja)

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JP59278969A JPS61157984A (ja) 1984-12-29 1984-12-29 欠陥表示装置

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JPS61157984A true JPS61157984A (ja) 1986-07-17

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JP59278969A Pending JPS61157984A (ja) 1984-12-29 1984-12-29 欠陥表示装置

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5977576A (ja) * 1982-10-27 1984-05-04 Nippon Kogaku Kk <Nikon> パタ−ンの欠陥検査装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5977576A (ja) * 1982-10-27 1984-05-04 Nippon Kogaku Kk <Nikon> パタ−ンの欠陥検査装置

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