JPS61152818U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS61152818U JPS61152818U JP3722785U JP3722785U JPS61152818U JP S61152818 U JPS61152818 U JP S61152818U JP 3722785 U JP3722785 U JP 3722785U JP 3722785 U JP3722785 U JP 3722785U JP S61152818 U JPS61152818 U JP S61152818U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bearing
- thrust magnetic
- axial direction
- magnetic bearing
- shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Support Of The Bearing (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示すターボ分子ポ
ンプの磁気軸受装置断面図である。第２図は第１
図の要部拡大図である。 Ｓ……シヤフト、３……スラスト磁気軸受装置
、６……スラストリング、７……スラスト磁気軸
受、１０……タツチベアリング、１１……軸端部
、１２……係止段部、１４……押え板、１６……
バネ、α，β……エアギヤツプ。
ンプの磁気軸受装置断面図である。第２図は第１
図の要部拡大図である。 Ｓ……シヤフト、３……スラスト磁気軸受装置
、６……スラストリング、７……スラスト磁気軸
受、１０……タツチベアリング、１１……軸端部
、１２……係止段部、１４……押え板、１６……
バネ、α，β……エアギヤツプ。
Claims (1)
- シヤフトにアキシヤル方向の磁気浮力を与える
スラスト磁気軸受の内周に前記シヤフトとの間に
ラジアル方向とアキシヤル方向の各エアギヤツプ
を設けてタツチベアリングを配設するようにした
スラスト磁気軸受装置において、前記タツチベア
リングを前記スラスト磁気軸受の内周に設けた係
止段部にセツトするとともに、該タツチベアリン
グをアキシヤル方向に拘束する押え板との間にバ
ネを介入したことを特徴とするスラスト磁気軸受
装置におけるタツチベアリングの位置決め構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3722785U JPS61152818U (ja) | 1985-03-14 | 1985-03-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3722785U JPS61152818U (ja) | 1985-03-14 | 1985-03-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61152818U true JPS61152818U (ja) | 1986-09-22 |
Family
ID=30543118
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3722785U Pending JPS61152818U (ja) | 1985-03-14 | 1985-03-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61152818U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001263292A (ja) * | 2000-01-31 | 2001-09-26 | Alcatel | 磁気軸受真空ポンプの制振システムと軸受センタリング装置 |
| WO2014170099A1 (de) * | 2013-04-19 | 2014-10-23 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
-
1985
- 1985-03-14 JP JP3722785U patent/JPS61152818U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001263292A (ja) * | 2000-01-31 | 2001-09-26 | Alcatel | 磁気軸受真空ポンプの制振システムと軸受センタリング装置 |
| WO2014170099A1 (de) * | 2013-04-19 | 2014-10-23 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |