JPS61111931A - 光フアイバ母材の製造方法 - Google Patents
光フアイバ母材の製造方法Info
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- JPS61111931A JPS61111931A JP23275184A JP23275184A JPS61111931A JP S61111931 A JPS61111931 A JP S61111931A JP 23275184 A JP23275184 A JP 23275184A JP 23275184 A JP23275184 A JP 23275184A JP S61111931 A JPS61111931 A JP S61111931A
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- JP
- Japan
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- burner
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- distance
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- Pending
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
- C03B37/0142—Reactant deposition burners
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/04—Multi-nested ports
- C03B2207/06—Concentric circular ports
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/04—Multi-nested ports
- C03B2207/08—Recessed or protruding ports
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/20—Specific substances in specified ports, e.g. all gas flows specified
- C03B2207/24—Multiple flame type, e.g. double-concentric flame
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/60—Relationship between burner and deposit, e.g. position
- C03B2207/62—Distance
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/70—Control measures
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
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- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の背景と目的Ｊ
本発明は、気相軸付法（ｖＡＤ法）による光ファイバ母
材の製造方法に関するものである。
材の製造方法に関するものである。
フード付き四重管バーナを上下方向に配置し、この四重
管バーナに酸素及び水素の燃料ガスを送入されて生成す
る火炎中に、５ｉＣｆａ、ＧｅＣｌ４などの原料ガスを
送り込み、ＶＡ重管バーナ上方のターゲット先端に生成
されたガラス微粉体を吹き付け堆積させＧｌ型光ファイ
バ母材の多孔質母材を得ることが行われている。そして
、この方法において、伝送帯域特性のすぐれた光ファイ
バ母材を得るには、多孔質母材の底面温度を一定にする
必要ある。
管バーナに酸素及び水素の燃料ガスを送入されて生成す
る火炎中に、５ｉＣｆａ、ＧｅＣｌ４などの原料ガスを
送り込み、ＶＡ重管バーナ上方のターゲット先端に生成
されたガラス微粉体を吹き付け堆積させＧｌ型光ファイ
バ母材の多孔質母材を得ることが行われている。そして
、この方法において、伝送帯域特性のすぐれた光ファイ
バ母材を得るには、多孔質母材の底面温度を一定にする
必要ある。
しかしながら、±１ ｄｅａの測定精度を持つ赤外線温
度径で温度を測定すると、ガス流量変動、引上げに伴う
バーナ中心とターゲット中心との距離のずれ及び温度測
定位置の変化等により２〜６ ｄｅａの温度変化がある
。ざらに詳細にみると、ガス渡世変動による温度変化は
±１ ｄｅｇであり、バーナ中心とターゲット中心の距
離のずれ及び測定位置変による温度変化は、製造装置の
機械精度上、０．０５ ｒｔｕｓ／ １０００ ｍ以上
のずれのあることから、２〜５ ｄｅｇにもなる。一方
、多孔質母材底面温度を一定にするには、これらの変化
に対しＨ２ガス固を変えて制ｉすることか一般的に行な
われているが等値ではなく、温度を一定に制御しても、
多孔質母材底面形状、引上速度等が変化し、屈折率分布
−ひいては伝送帯域特性を変化させてしまう。
度径で温度を測定すると、ガス流量変動、引上げに伴う
バーナ中心とターゲット中心との距離のずれ及び温度測
定位置の変化等により２〜６ ｄｅａの温度変化がある
。ざらに詳細にみると、ガス渡世変動による温度変化は
±１ ｄｅｇであり、バーナ中心とターゲット中心の距
離のずれ及び測定位置変による温度変化は、製造装置の
機械精度上、０．０５ ｒｔｕｓ／ １０００ ｍ以上
のずれのあることから、２〜５ ｄｅｇにもなる。一方
、多孔質母材底面温度を一定にするには、これらの変化
に対しＨ２ガス固を変えて制ｉすることか一般的に行な
われているが等値ではなく、温度を一定に制御しても、
多孔質母材底面形状、引上速度等が変化し、屈折率分布
−ひいては伝送帯域特性を変化させてしまう。
本発明は上記の状況に鑑みなされたものであり、長手方
向に均一で、かつ、再現性のある伝送帯特性が得られる
光ファイバ母材の製造方法を提供することを目的とした
ものである。
向に均一で、かつ、再現性のある伝送帯特性が得られる
光ファイバ母材の製造方法を提供することを目的とした
ものである。
［発明の概要］
本発明の光ファイバ母材の製造方法は、上下方向に配設
され酸素及び水素の燃料が送入される多重管バーナの火
炎中に四塩化珪素、四塩化ゲルマニウム等の原料ガスが
挿入され、生成されたガラス微粉末を上記多重管バーナ
上方のターゲット先端に吹ぎイ・１け堆積させて多孔質
母材を成長させる光ファイバ母材の製造の場合に、上記
多孔質母材底面部の先端より所定距離上方へずれた外径
制御位置の温度測定値電圧信号を多孔質母材底面温度−
バーナ、ターゲット間距離変換装置へ送り、該多孔質母
材底面温度−バーナ、ターゲット間距離変換装置に記憶
されている設定温度電圧との差分に相当する該多孔質母
材底面温度−バーナ、ターゲット間距離変換装置からの
出力を外径制御位置コントローラへ送り上記ターゲット
と上記バーナ間の距離を連続的に調整制御する方法であ
る。
され酸素及び水素の燃料が送入される多重管バーナの火
炎中に四塩化珪素、四塩化ゲルマニウム等の原料ガスが
挿入され、生成されたガラス微粉末を上記多重管バーナ
上方のターゲット先端に吹ぎイ・１け堆積させて多孔質
母材を成長させる光ファイバ母材の製造の場合に、上記
多孔質母材底面部の先端より所定距離上方へずれた外径
制御位置の温度測定値電圧信号を多孔質母材底面温度−
バーナ、ターゲット間距離変換装置へ送り、該多孔質母
材底面温度−バーナ、ターゲット間距離変換装置に記憶
されている設定温度電圧との差分に相当する該多孔質母
材底面温度−バーナ、ターゲット間距離変換装置からの
出力を外径制御位置コントローラへ送り上記ターゲット
と上記バーナ間の距離を連続的に調整制御する方法であ
る。
［実施例］
以下本発明の光ファイバ母材の製造方法を実施例を用い
、第１図、第２図により説明する。第１図は実施装置の
概略図、第２図は横軸にバーナとターゲットとの間の距
離１をとり、両側の縦軸に、多孔質母材底面温度と、屈
折率分布定数αをとり、バーナ及びターゲット間距離１
と、多孔質母材底面温度及び屈折率分布定数αとの関係
を調べたものである。尚、バーナ、ターゲット間距離１
は四重管バーナ４先端部と多孔′ｉ′Ｊ母材１最下端部
とした。第１図において、２は火炎、３はフード、５は
赤外線温度計、６は工業用テレビジョンカメラ（ＩＴＶ
）、７はディスプレー、８は外径制御装置コントローラ
、９は多孔質母材底面温度−バーナ、ターゲット開路１
（以下１と小す）変換装局である。第１図の装置により
第２図の関係を調べた時、四重管バーナ４中心部には５
ｉＣＩ！ａ１２１０１ｄ／ｆｆ１ｉｎ 、 Ｇｅ Ｃｆ
ｌ ４１６ Ｑｍｇ／ｍｉｎ、Ａｒキャリヤガス６８０
ｃＣ／ｗｉｎ 、その外側に順に、Ａ ｒ １２００ｃ
ｃ／ｍｉｎ 、 Ｈ２４，８ｆ ／ｍｉｎ 。
、第１図、第２図により説明する。第１図は実施装置の
概略図、第２図は横軸にバーナとターゲットとの間の距
離１をとり、両側の縦軸に、多孔質母材底面温度と、屈
折率分布定数αをとり、バーナ及びターゲット間距離１
と、多孔質母材底面温度及び屈折率分布定数αとの関係
を調べたものである。尚、バーナ、ターゲット間距離１
は四重管バーナ４先端部と多孔′ｉ′Ｊ母材１最下端部
とした。第１図において、２は火炎、３はフード、５は
赤外線温度計、６は工業用テレビジョンカメラ（ＩＴＶ
）、７はディスプレー、８は外径制御装置コントローラ
、９は多孔質母材底面温度−バーナ、ターゲット開路１
（以下１と小す）変換装局である。第１図の装置により
第２図の関係を調べた時、四重管バーナ４中心部には５
ｉＣＩ！ａ１２１０１ｄ／ｆｆ１ｉｎ 、 Ｇｅ Ｃｆ
ｌ ４１６ Ｑｍｇ／ｍｉｎ、Ａｒキャリヤガス６８０
ｃＣ／ｗｉｎ 、その外側に順に、Ａ ｒ １２００ｃ
ｃ／ｍｉｎ 、 Ｈ２４，８ｆ ／ｍｉｎ 。
０２ Ｂ、２５ ｆ！ ／ｍｉｎをそれぞれ流し、フ
ード３にはＮ２ガスを内側から順に、１０１！ ／ｍｉ
ｎ 、３０ｆ／ｍｉｎ流した。多孔質母材１の外径は約
６０＃、引上げ速度は６０〜７０ｓ／ｈｒである。
ード３にはＮ２ガスを内側から順に、１０１！ ／ｍｉ
ｎ 、３０ｆ／ｍｉｎ流した。多孔質母材１の外径は約
６０＃、引上げ速度は６０〜７０ｓ／ｈｒである。
このような条件下で、バーナ、ターゲット開路１ｌｌｌ
を変えると、距離で変化に対する温度変化は１ ｄｅＱ
／ ０．４ｔｒｍであり、屈折率分布定数αの温度変
化に対する変化は０．００７／ ｄｃｇであり、これら
の値は１−１２、またはＸ軸方向にバーナ位置を変えた
ときの変化率０．０３〜０．０４ ／ｄｅｇに比べ４分
の１も小さい。このことは、温度を一定化するため数ｄ
ｃｇ片えたとしても、屈折率分布定数αへの影響は小さ
くできると云うことになる。
を変えると、距離で変化に対する温度変化は１ ｄｅＱ
／ ０．４ｔｒｍであり、屈折率分布定数αの温度変
化に対する変化は０．００７／ ｄｃｇであり、これら
の値は１−１２、またはＸ軸方向にバーナ位置を変えた
ときの変化率０．０３〜０．０４ ／ｄｅｇに比べ４分
の１も小さい。このことは、温度を一定化するため数ｄ
ｃｇ片えたとしても、屈折率分布定数αへの影響は小さ
くできると云うことになる。
このような実験結果を基に次に述べるような制御系で多
孔質母材の製造を行なった。まず、多孔質母材１底面形
状部をＩＴＶカメラ６でディスプレー７上に映し出し、
外径制御位置ＤＩの位置を四重管バーナ４の先端から、
（１３２，５＋５）間のところとし、多孔質母材１底而
最下端部が外径制御位置Ｄ１より５ＩｎＩｎ下にくるよ
うにして多孔質重「を形成する。多孔質母材１底面温度
は、測定波長５．１μｍ、測定精度±１ｄｅｇの赤外線
温度径５により、横あるいは斜め方向から測定し赤外線
温度径５からのＯ〜１０Ｖの出力を、多孔質母材底面温
度−１変換装置９に入力する。そして、一定に保持しよ
うとする多孔質母材底面温度が得られるターゲット、バ
ーナ間距離１のときの設定温度電圧を、多孔質母材底面
温度−１変換装置９に予め記憶させておき、この設定温
度電圧との差分に相当する出力を外径制御コントローラ
８に入力しディスプレー７上の外径制御位Ｍ Ｄ ｓの
位置を変える。即ち、外径制御位ＨＤ ＋の位置より５
ｓ引いた距離がバーナ、ターゲット間距離になり、外径
制御位置Ｄ１の位置の変化はバーナ、ターゲット間距離
が変化することになる。実際に長さ４５０ｍの多孔質母
材を形成したとき、多孔質母材底面温度が一定の状態で
あったときのバーナ、ターゲット間距離の変化幅は±
１．５ ｍｍであった。そして、長手方向に均一な伝送
帯域特性を有するファイバが得られ、１０−のファイバ
の１−毎に測定した時の変動幅は９９０ＭＨｚ−順士１
００ＭＨｚ −Ｋｍ （ａ口、３ μｍ ）であった。
孔質母材の製造を行なった。まず、多孔質母材１底面形
状部をＩＴＶカメラ６でディスプレー７上に映し出し、
外径制御位置ＤＩの位置を四重管バーナ４の先端から、
（１３２，５＋５）間のところとし、多孔質母材１底而
最下端部が外径制御位置Ｄ１より５ＩｎＩｎ下にくるよ
うにして多孔質重「を形成する。多孔質母材１底面温度
は、測定波長５．１μｍ、測定精度±１ｄｅｇの赤外線
温度径５により、横あるいは斜め方向から測定し赤外線
温度径５からのＯ〜１０Ｖの出力を、多孔質母材底面温
度−１変換装置９に入力する。そして、一定に保持しよ
うとする多孔質母材底面温度が得られるターゲット、バ
ーナ間距離１のときの設定温度電圧を、多孔質母材底面
温度−１変換装置９に予め記憶させておき、この設定温
度電圧との差分に相当する出力を外径制御コントローラ
８に入力しディスプレー７上の外径制御位Ｍ Ｄ ｓの
位置を変える。即ち、外径制御位ＨＤ ＋の位置より５
ｓ引いた距離がバーナ、ターゲット間距離になり、外径
制御位置Ｄ１の位置の変化はバーナ、ターゲット間距離
が変化することになる。実際に長さ４５０ｍの多孔質母
材を形成したとき、多孔質母材底面温度が一定の状態で
あったときのバーナ、ターゲット間距離の変化幅は±
１．５ ｍｍであった。そして、長手方向に均一な伝送
帯域特性を有するファイバが得られ、１０−のファイバ
の１−毎に測定した時の変動幅は９９０ＭＨｚ−順士１
００ＭＨｚ −Ｋｍ （ａ口、３ μｍ ）であった。
このように本実施例の光ファイバ母材の製造方法におい
ては、多孔質母材底面温度測定値を、バーナ、ターゲッ
ト間距離制御部にワイドバックして設定温度に対する温
度変化分を解消するように連続的にバーナ、ターゲット
間距離を自動的に調整制御するようにしたので、長手方
向に均一で、かつ、再現性のある伝送帯特性を有する光
ファイバ母材を製造できる。
ては、多孔質母材底面温度測定値を、バーナ、ターゲッ
ト間距離制御部にワイドバックして設定温度に対する温
度変化分を解消するように連続的にバーナ、ターゲット
間距離を自動的に調整制御するようにしたので、長手方
向に均一で、かつ、再現性のある伝送帯特性を有する光
ファイバ母材を製造できる。
［発明の効果］
以上記述した如く本発明の光ファイバ母材の製造方法に
よれば、長手方向に均一で、かつ、再現性のある伝送帯
特性を備えた光ファイバ母材を製造できる効果を有する
ものである。
よれば、長手方向に均一で、かつ、再現性のある伝送帯
特性を備えた光ファイバ母材を製造できる効果を有する
ものである。
第１図は本発明の光ファイバ母材の製造方法の実施装置
の概略図、第２図はバーナ、ターゲット間距離と、多孔
質母材底面温度及び屈折率分布定数αとの関係説明図で
ある。 １：多孔質母材、２コ火炎、４ｚ多重管バーナ、５：赤
外線温度計、 ８：外径制御位置コントローラ、 ９：多孔質母材底面温度−１変換装置、Ｄｌ ：外径制
御装置、 １：ターゲット・バーナ間距離。
の概略図、第２図はバーナ、ターゲット間距離と、多孔
質母材底面温度及び屈折率分布定数αとの関係説明図で
ある。 １：多孔質母材、２コ火炎、４ｚ多重管バーナ、５：赤
外線温度計、 ８：外径制御位置コントローラ、 ９：多孔質母材底面温度−１変換装置、Ｄｌ ：外径制
御装置、 １：ターゲット・バーナ間距離。
Claims (1)
- （１）上下方向に配設され酸素及び水素の燃料が送入さ
れる多重管バーナの火炎中に四塩化珪素、四塩化ゲルマ
ニウム等の原料ガスが送入され、生成されたガラス微粉
末を上記多重管バーナ上方のターゲット先端に吹き付け
堆積させて多孔質母材を成長させる光ファイバ母材の製
造方法において、上記多孔質母材底面部の先端より所定
距離上方へずれた外径制御位置の温度測定値電圧信号を
多孔質母材底面温度−バーナ、ターゲット間距離変換装
置へ送り、外多孔質母材底面温度−バーナ、ターゲット
間距離変換装置に記憶されている設定温度電圧との差分
に相当する該多孔質母材底面温度−バーナ、ターゲット
間距離変換装置からの出力を外径制御位置コントローラ
へ送り上記ターゲットと上記バーナ間の距離を連続的に
調整制御することを特徴とする光ファイバ母材の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23275184A JPS61111931A (ja) | 1984-11-05 | 1984-11-05 | 光フアイバ母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23275184A JPS61111931A (ja) | 1984-11-05 | 1984-11-05 | 光フアイバ母材の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61111931A true JPS61111931A (ja) | 1986-05-30 |
Family
ID=16944184
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23275184A Pending JPS61111931A (ja) | 1984-11-05 | 1984-11-05 | 光フアイバ母材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61111931A (ja) |
-
1984
- 1984-11-05 JP JP23275184A patent/JPS61111931A/ja active Pending
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