JPS6056706A - Station with transferring mechanism - Google Patents
Station with transferring mechanismInfo
- Publication number
- JPS6056706A JPS6056706A JP16591183A JP16591183A JPS6056706A JP S6056706 A JPS6056706 A JP S6056706A JP 16591183 A JP16591183 A JP 16591183A JP 16591183 A JP16591183 A JP 16591183A JP S6056706 A JPS6056706 A JP S6056706A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- station
- shelf
- semiconductor substrate
- loading
- substrate storage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
- B65G1/02—Storage devices
- B65G1/04—Storage devices mechanical
- B65G1/0407—Storage devices mechanical using stacker cranes
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
不発明は、半導体基板収納容器乞収答するステーション
に係り、特に移載機構付きステーションに関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Technical Field of the Invention] The present invention relates to a station for receiving a semiconductor substrate storage container, and more particularly to a station with a transfer mechanism.
半導体装置の製造は、ウェット処理、ドライ処理、酸化
処理等の種々の処理工8を経て行われる。このため、半
導体基板は、クリーンルーム内で互に隔絶された室間を
行き来することになる。而して、半導体基板は、ロット
編成ごとに半導体基板収納容器に収納されて、人手によ
ツクリーンルーム内の缶処理工程の室間乞運搬されてい
た。しかし、人手による運搬では、防塵衣を着用する煩
しさやクリーンルームの清浄度が低下する問題がろる。Manufacturing of semiconductor devices is performed through various processing steps 8 such as wet processing, dry processing, and oxidation processing. For this reason, semiconductor substrates are moved between mutually isolated rooms within the clean room. Semiconductor substrates are stored in semiconductor substrate storage containers for each lot and are manually transported between can processing steps in a clean room. However, manual transportation has problems such as the hassle of wearing dust-proof clothing and a reduction in the cleanliness of the clean room.
そこで、近年では第1図に示す如く、シやへい板1によ
って缶処理工程の室を隔絶したクリーンルーム2ビ使用
し、各室内に半導体基板収納容器ビ収容するステーショ
ン3を設け、ステーション3間に搬送軌道4に沿って移
動する搬送車を設けて半導体基板の搬送を行っている。Therefore, in recent years, as shown in Fig. 1, two clean rooms are used in which the chamber for the can processing process is separated by a shield plate 1, and a station 3 for storing semiconductor substrate storage containers is installed in each room, and between the stations 3, A transport vehicle that moves along a transport track 4 is provided to transport semiconductor substrates.
第2図は、各室内に設けたステーション3である。ステ
ーション3内には、搬送軌道4の一端部が導入している
。搬送軌道4の上音自走する搬送車5には、U字状の支
持アーム6が取付けられている。支持アーム6の上端部
の対向する内面には、突起状の係合部を設けている。FIG. 2 shows the stations 3 provided in each room. One end of the transport track 4 is introduced into the station 3 . A U-shaped support arm 6 is attached to a transport vehicle 5 that is self-propelled on the transport track 4. A protruding engagement portion is provided on the opposing inner surfaces of the upper end portion of the support arm 6 .
保合部は、半導体基板収納容器7乞収容した箱体8の外
側部に形成されたU字状の凹部に嵌合している。箱体8
は、蓋体9で嘔か°れている。The retaining portion fits into a U-shaped recess formed on the outer side of the box body 8 in which the semiconductor substrate storage container 7 is housed. Box body 8
The lid body 9 is vomited.
半導体基板収納容器7内には、複数枚の半導体基板1θ
が収納されている。Inside the semiconductor substrate storage container 7, there are a plurality of semiconductor substrates 1θ.
is stored.
而して、各室から不特定に搬入される半導体基板収納容
器7を、作業者が搬送車5から積降しする。次に、他の
ステーションに搬送するものがある場合は、空の搬送車
5に半導体基板収納容器7を積込み搬出する。この作業
を迅速に行わないと、後続の搬送車5が順次ステーショ
ンに到着する場合は、円滑な搬送ができない。Then, an operator loads and unloads the semiconductor substrate storage containers 7 unspecified from each room from the transport vehicle 5. Next, if there is something to be transported to another station, the semiconductor substrate storage container 7 is loaded onto the empty transport vehicle 5 and transported out. If this work is not done quickly, smooth conveyance will not be possible if the following conveyance vehicles 5 arrive at the station one after another.
その結果、各ステーション3に作業者2當時付かせて積
込み、積降し作業をさせなければならない。このことに
、搬送のある無しに拘らず作業者がステーション位置に
拘束されることを意味し、極めて作業性ン低下させる原
因となって〔発明の目的〕
本発明は、ステーションでの作業者の拘束時間を短くし
て作業性の向上ン達成した移載機構付ステーションを提
供することをその目的とするものである。As a result, two workers must be assigned to each station 3 for loading and unloading operations. This means that the worker is restrained at the station position regardless of whether the worker is transported or not, which causes a significant decrease in work efficiency. The object of the present invention is to provide a station with a transfer mechanism that achieves improved work efficiency by shortening the locking time.
本発明は、搬送車から半導体基板収納容器を自動的に積
降し、積込みする移送機構2設けて、ステーションでの
作業者の拘束時間を短縮し、作業性の向上を達成した移
載機構付ステーションである。The present invention is equipped with a transfer mechanism 2 that automatically loads and unloads semiconductor substrate storage containers from a transport vehicle, thereby reducing the time spent by workers at the station and improving work efficiency. It is a station.
以下、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
第3図は、本発明の一実施例の斜視図である。FIG. 3 is a perspective view of one embodiment of the present invention.
図中20は、搬送軌道21の一端部が導入されたステー
ションである。ステーション20内には、搬送軌道2ノ
に沿って搬送車22が出入するようになっている。搬送
車22には、U字状め支持アーム23が取付けられてい
る。支持アーム23の上端部の対向する内面には、突起
状の保合部を設けている。保合部は、半導体基板収納容
器24全収容した箱体25の外側部に形成されたU字状
の凹部に嵌合している。箱体25μ蓋体26で塞がれて
おシ、半導体基板収納容器24内には、複数枚の半導体
ウェハ27が収納されている。ステーション20の前面
には、箱体25ン出入するための窓28が形成されてい
る。ステーション20の両側部にハ、箱体25を載置す
るための複数個の棚29馨取付けた積込吊棚29aと積
降用棚29bが設けられている。また、ステーション2
0の前方には、ステーション20に対向するようにして
、移載機構30が設けられている。移載機構30は、上
下動アーム3θaと、左右動アームsob及びステーシ
ョン20に向って前後進する前後動アーム30cが一体
に組合せられて構成されている。In the figure, 20 is a station into which one end of the transport track 21 is introduced. A transport vehicle 22 enters and exits the station 20 along a transport track 2. A U-shaped support arm 23 is attached to the transport vehicle 22 . A protruding retaining portion is provided on the opposing inner surfaces of the upper end portion of the support arm 23 . The retaining portion fits into a U-shaped recess formed on the outer side of the box body 25 in which the entire semiconductor substrate storage container 24 is housed. A plurality of semiconductor wafers 27 are stored in the semiconductor substrate storage container 24, which is closed with a box 25μ lid 26. A window 28 is formed in the front of the station 20 to allow the box 25 to enter and exit. On both sides of the station 20, there are provided a loading shelf 29a and a loading/unloading shelf 29b on which a plurality of shelves 29 are attached for placing the boxes 25. Also, station 2
A transfer mechanism 30 is provided in front of the station 0 so as to face the station 20. The transfer mechanism 30 is configured by integrally combining a vertically movable arm 3θa, a horizontally movable arm sob, and a longitudinally movable arm 30c that moves back and forth toward the station 20.
前後動アーム3(7(!には、箱体25を保持する保持
部が設けられている。The back-and-forth movable arm 3 (7 (!) is provided with a holding portion that holds the box body 25.
このように構成された移動機構付ステーション40によ
れば、積降作業乞する場合には、搬送車22がステーシ
ョン20内の窓28に対向した位置で停止する。次いで
、移載機構30の前後動作によって、前後動アーム30
c上に箱体25が支持アーム23から外されて移される
。According to the station 40 with a moving mechanism configured in this way, the transport vehicle 22 stops at a position facing the window 28 in the station 20 when loading/unloading work is performed. Next, by the back and forth movement of the transfer mechanism 30, the back and forth moving arm 30
The box body 25 is removed from the support arm 23 and moved onto c.
次いで、積降用棚29b側に左右動アーム29bが移動
し、上下動アーム30a1前後動アーム30bの移動に
よって所定の棚29に箱体25が移されろ。また、積込
作業を行う場合には、前後動アーム30cが積込吊棚2
9aの所定の棚29のところまで移動し、棚29から箱
体25を引き出す。次いで、上下動アーム30a及び左
右動アーム30bの移動によってステーション30の窓
28のところに前後動アーム、90 cン導く。次いで
前後動アーム3θCの移動によシ、窓28を通して、ス
テーション20内の搬送車22に箱体254f移す。Next, the horizontally movable arm 29b moves to the side of the loading/unloading shelf 29b, and the box body 25 is moved to a predetermined shelf 29 by the movement of the vertically movable arm 30a1 and the longitudinally movable arm 30b. In addition, when carrying out loading work, the forward and backward moving arm 30c is connected to the loading rack 2.
9a to a predetermined shelf 29, and pull out the box 25 from the shelf 29. Next, the vertically movable arm 30a and the horizontally movable arm 30b are moved to guide the longitudinally movable arm 90c to the window 28 of the station 30. Next, the box 254f is transferred to the transport vehicle 22 in the station 20 through the window 28 by movement of the forward and backward movable arm 3θC.
このように移載機構30の自動操作によって、搬送車2
2から積降用棚29bへの箱体25の移載、或は積込用
棚29aからステーション20内の搬送車22への箱体
25の移載が行われる。In this way, by automatic operation of the transfer mechanism 30, the transport vehicle 2
2 to the loading/unloading shelf 29b, or from the loading shelf 29a to the transport vehicle 22 in the station 20.
その結果、例えば30分乃至1時間作業者がステーショ
ン20の近傍に付着くことなく、効率的に箱体25の自
動移載を行うことができる。As a result, the boxes 25 can be efficiently and automatically transferred without the operator being in the vicinity of the station 20 for, for example, 30 minutes to one hour.
よって、作業性を著しく向上させることができる。Therefore, workability can be significantly improved.
以上説明した如く本発明に係る移載機構付ステーション
によれば、作業者のステーションでの拘束時間を短くし
て、作業性!向上させることができるものである。As explained above, according to the station with a transfer mechanism according to the present invention, the time the worker is confined at the station can be shortened, improving work efficiency. This is something that can be improved.
第1図は、クリーンルームの構成を示す説明図、第2図
は、従来のステーションの斜視図、第3図は本発明の一
実施例の斜視図である。
20・・・ステーション、21・・・搬送軌道、22・
・・搬送車、23・・・支持アーム、24・・・半導体
基板収納容器、25・・・箱体、26・・・蓋体、27
・・・半導体ウェハ、28・・・窓、29・・・棚、2
9a・・・積込用棚、29b・・・積降用棚、3θ・・
・移載機構、30FL・・・上下動アーム、3ob・・
・左右動アーム、30c・・・前後動アーム、40・・
・移載機構付ステーショ/。
出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第1図
〕
第3図FIG. 1 is an explanatory diagram showing the configuration of a clean room, FIG. 2 is a perspective view of a conventional station, and FIG. 3 is a perspective view of an embodiment of the present invention. 20... Station, 21... Transport track, 22.
... Transport vehicle, 23 ... Support arm, 24 ... Semiconductor substrate storage container, 25 ... Box body, 26 ... Lid body, 27
...Semiconductor wafer, 28...Window, 29...Shelf, 2
9a...Loading shelf, 29b...Loading/unloading shelf, 3θ...
・Transfer mechanism, 30FL...Vertical movement arm, 3ob...
・Left-right moving arm, 30c... Back-and-forth moving arm, 40...
・Station with transfer mechanism/. Applicant's agent Patent attorney Takehiko Suzue Figure 1 Figure 3
Claims (1)
該半導体基板収納容器!運搬する搬送車の搬送軌道Z設
けたステーション本体と、該ステーション本体に設けら
れた積込用棚と積降用棚と、該積込用棚及び積降用棚に
設けられた前記半導体基板収納容器を保持する棚と、前
記ステーション本体に対向して設けられ、前記半導体基
板収納容器の保持部ン備えた前後動アーム及び上下動ア
ーム、左右動アームとを一体に組合せて構成された移載
機構とを具備すること乞特徴とする移載機構付ステーシ
ョン。One end has an entry/exit window for the semiconductor substrate storage container, and the semiconductor substrate storage container is inside! A station main body provided with a transport track Z of a transport vehicle to be transported, a loading shelf and a loading/unloading shelf provided on the station main body, and the semiconductor substrate storage provided on the loading shelf and the loading/unloading shelf. A transfer device configured by integrally combining a shelf for holding containers, a longitudinally movable arm, a vertically movable arm, and a horizontally movable arm provided opposite to the station main body and provided with a holding portion for the semiconductor substrate storage container. A station with a transfer mechanism characterized by comprising a mechanism.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16591183A JPS6056706A (en) | 1983-09-09 | 1983-09-09 | Station with transferring mechanism |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16591183A JPS6056706A (en) | 1983-09-09 | 1983-09-09 | Station with transferring mechanism |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6056706A true JPS6056706A (en) | 1985-04-02 |
Family
ID=15821347
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16591183A Pending JPS6056706A (en) | 1983-09-09 | 1983-09-09 | Station with transferring mechanism |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6056706A (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62240226A (en) * | 1986-04-08 | 1987-10-21 | Mitsubishi Electric Corp | Cassette transfer device |
US5059079A (en) * | 1989-05-16 | 1991-10-22 | Proconics International, Inc. | Particle-free storage for articles |
US5284412A (en) * | 1990-08-17 | 1994-02-08 | Tokyo Electron Sagami Limited | Stock unit for storing carriers |
-
1983
- 1983-09-09 JP JP16591183A patent/JPS6056706A/en active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62240226A (en) * | 1986-04-08 | 1987-10-21 | Mitsubishi Electric Corp | Cassette transfer device |
US5059079A (en) * | 1989-05-16 | 1991-10-22 | Proconics International, Inc. | Particle-free storage for articles |
US5284412A (en) * | 1990-08-17 | 1994-02-08 | Tokyo Electron Sagami Limited | Stock unit for storing carriers |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7591624B2 (en) | Reticle storage pod (RSP) transport system utilizing FOUP adapter plate | |
TWI419823B (en) | Transporting system | |
JP4831521B2 (en) | Automated material processing system for semiconductor manufacturing based on vertical annular conveyor and overhead hoist | |
US5980183A (en) | Integrated intrabay buffer, delivery, and stocker system | |
TW583129B (en) | Method and device for transporting substrate | |
US6592318B2 (en) | Docking cart with integrated load port | |
EP0848413B1 (en) | Compact apparatus and method for storing and loading semiconductor wafer carriers | |
KR20110005867A (en) | Overhead conveying vehicle | |
KR100304768B1 (en) | Automatic storing shelf and automatic storing method | |
KR102450289B1 (en) | Container transport device and container transport facility | |
KR102277209B1 (en) | Stoker | |
US4934767A (en) | Semiconductor wafer carrier input/output drawer | |
KR20020064918A (en) | Wafer transport system | |
JP6566051B2 (en) | Storage device and transport system | |
KR20090064587A (en) | Substrate cabinet | |
TW200904728A (en) | Article storage device | |
US7134826B2 (en) | Substrate transfer apparatus, substrate processing apparatus and holding table | |
US20080075564A1 (en) | Container Carrying Equipment | |
JPS6056706A (en) | Station with transferring mechanism | |
JP5402156B2 (en) | Traveling vehicle system | |
JP2000053237A (en) | Carrier equipment | |
JP5365302B2 (en) | Traveling vehicle system | |
KR100268599B1 (en) | Transport robot for a machining or processing line for lead frames | |
JP2005085913A (en) | System for manufacturing wafer | |
JPS59167027A (en) | Conveying device for semiconductor housing vessel |