JPS60253873A - 回転体の回転数計測装置 - Google Patents

回転体の回転数計測装置

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JPS60253873A
JPS60253873A JP11205884A JP11205884A JPS60253873A JP S60253873 A JPS60253873 A JP S60253873A JP 11205884 A JP11205884 A JP 11205884A JP 11205884 A JP11205884 A JP 11205884A JP S60253873 A JPS60253873 A JP S60253873A
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JP
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light
signal
rotating body
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JP11205884A
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Ryuichi Takashima
高島 隆一
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KYOTO DENSO KK
Original Assignee
KYOTO DENSO KK
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (イ)産業上の利用分野 この発明は9回転体の回転数を測定する回転数計測装置
に関する。
(ロ)従来の武術 回転体の回転数を測定するに当っては9回転体の回転に
対応した電気的回転検出信号を取り出す必要があるが、
そのための手段が被測定回転体の負荷となり、その回転
速度に影棲を及ぼすものであっては、と(にその有する
トルクが小さい被測定回転体においてはその本来の回転
に対応した正確な回転検出信号をえたことにならない。
したがってこの種の回転体から電気的回転検出信号をえ
る手段として9回転体自体に直接的に、または回転位相
伝達部材を介して間接的に連結された回転検出用回転体
の軸心を中心とする同一円周上に複数の光反射体を等配
するとともに、これら光反射体が配設された円周上に光
ビームを照射する光源を設け、照射光ビームによる光反
射体それぞれから反射光ビームをえ、これら反射光ビー
ムを一定位置に固定した光電変換素子に順次入射せしめ
るようにした手段がしられている。
この手段によれば、n記しTこ回転検出用回転体が慣性
モーメントの小さい形状、大きさのもので、これを被測
定回転体自体ζこ直接連結する場合は、それが実質的に
回転体の負荷にならないようにすることができるし、こ
の回転検出用回転体を回転位相伝達部材を介して間接的
に連結する場合でも、常時このように回転検出用回転体
が回転体に連結された状態で使用されるのであれば9回
転検出用回転体は被測定回転体の実質的な負荷とはなら
ないことから9回転体の回転に対応した正確な電気的回
転検出信号をえることができる。
しかしながら、前記した電気的回転検出信号にもとづい
て被測定回転体の回転を測定する従来の装置は、その構
成において1回転体の回転速度に変動がないものとした
場合fこは、取り出される電気的回転検出信号が一定周
期を有するパルスとしてえられることを前提としたもの
が一般であり、そのために回転検出用回転体に配設され
る複数の光反射体は、被測定回転体の回転測定結果が光
反射体の回転中心に対する等配中心角度の精度に左右さ
れることから、その配設を高精度に行うことを要する。
しかしこのような高精度の配設を行うことは実際上困難
であり、仮りにそれが可能であるとしても測光路上の水
滴などの障害物による乱反射にもとづく誤計測を排除す
ることはできず、また測定は明載で行うことが望ましい
が、その場合には外光が外乱となり、正確な計測を行う
に当って誤差を生ずるおそれがある。
e\) 発明の目的 この発明は、従来の装置における前記した難点を解消す
るためになされたものであって、被測定回転体自体に直
接的に、もしくは回転位相伝達部材を介して間接的に、
複数の光反射体を配設した回転検出用回転体を連結し、
前記したように被測定回転体の回転に対応した電気的回
転検出信号をえ、これによって被測定回転体の回転数を
電気的に測定するようにしながら、前記複数の光反射体
をと(に高精度に配設しな(でも、また測定を明室にお
いて行う場合にも被測定回転体の回転数を正確に測定し
うるようにした回転体の回転数計測装置を提供すること
を目的とするものである。
に)発明の構成 この発明にかかる回転体の回転数計測装置は。
被測定回転□体に直接的に、もしくは回転位相伝達部材
を介して間接的に連結され、それ自身の回転軸のまわり
に等配された複数の光反射平面を有する回転検出用回転
体と、この検出用回転体の軸線上に固定された光源と、
この光源の光軸のまわりに配設され、光源から照射され
た光ビームの前記光反射平面における反射光を受光する
複数個の光電変換素子と、これら光電変換素子のそれぞ
れに接続され、それらからの各出力信号を加算する加算
器と、この加算器から出力されるパルス信号゛を受け、
それを矩形波信号に整形する波形整形回路と、この波形
整形回路からの矩形波信号を入力とし、その所定のしき
い波高値に区切られた区間のみに矩形波信号を出力させ
るようにされた比較器と、この比較器からの矩形波出力
信号を前記反射平面の数に応じて分周する分周回路と、
この分周回路からの出力パルスを計数するカウンタを−
備えることによって構成されている。
(ホ)実施例 第1図はこの実施例装置の回路系統図、第2図は回転検
出用回転体、光源および複数個の光電変換素子相互の配
置関係を示す斜視図である。
図中(1)は1回転数を測定しようとする回転体′に直
接的に、もしくは回転位相伝達部材、たとえば計器用歯
車列を介して間接的に連結した回転検出用回転体で、軸
端部に複数(この例では8個)の光反射平面(2)を有
する偏平な截頭多角錐体(この例では正六角錐体)が同
心に固定されているものであり、(3)はこの回転検出
用回転体(1)に光ビームを照射するための光源をなす
発光素子、たとえば赤外線発光ダイオードで9図示され
ていないが円筒形筐体内の支持板に9回転検出用回転体
(1)にかなり近接させ、それと同じ軸線上に位置する
ように固定されている。
ところで9発光素子(3)と回転検出用回転体(1)と
の中間に、第3図に示すような環状の半透明ガラスまた
はプラスチック材からなる投影板(4)を検出用回転体
(1)の軸線に対し、垂直かつ同心に固定し、検出用回
転体(1)を図示の回転角度位置に停止して発光素子(
3)から光ビームを照射したとすると、この光ビームは
、検出用回転体(1)の各光反射平面(2)から反射さ
れ、投影板(6)上に台形状の光スポット(5)をほぼ
等角度間隔に光反射平面(2)の数だけ投影する筈であ
る。このことに着目して、前記円筒形筐体の端部近傍に
固定された第2図に示す透明な絶縁材、たとえばガラス
板からなる円板状保持板(6)には、前記した台形状の
光スポット(5)の中心およびこれら光スポyト(51
の中心をとおる円周上における相隣る前記光スポット(
5)の中間にそれぞれ対応する位置に、光電変換素子(
7)がそれぞれ固定されている。この例では16個の光
電変換素子(7)が発光素子(3)の光軸のまわりに等
角度間隔すなわち中心角度22°36で配設されている
図示の光スポット(5)の中心に、その中心をあわせて
固定されている光電変換素子(7)をA群。
他の光電変換素子(7)をB群と区分し、それぞれの光
電変換素子(7)を群ごとに時計方向まわりに(AI 
)、(Al ) + (As )・・・・−・(As)
・(B1)、(Bz)、(Ih)・・・・・・(B8)
とA群、B群の各光電変換素子(7)は1回転検出用回
転体(1)の光反射平面(2)から反射光が入射され、
それぞれの受光光量をそれに対応した電気量(電圧)に
変換する。このように電気量に変換されたA群、Bmの
光電変換素子(7)からの出力はそれぞれ増幅器+81
 、 (9+によって増幅され。
加算器(10) 、 (13)に送りこまれる。加算器
C1,01、(Illにおいてそれぞれ加算されたA群
、B群の光電変換素子(7)の増幅器02)、α3によ
る増幅出力信号はいずれも減算器財を経て、オートゲイ
ン回路a9をとおされ、保持板(6)のくもりなどによ
る乱れノ影響が少くされて、アンドゲートの作用を兼ね
るフィルタ叫に送りこまれる。
一方9発光素子(3)は9発振回路(17+からのパル
ス出力が増幅器αQをへて増幅されたものによって発光
を一定局期で繰返えして行うが9発振回路Q71からは
遅延回路α樟をへてフィルタ(アンドゲート)(1G+
に対してもパルス出力が送りこまれるようにされている
。(19は波形整形回路で、フィルタ叫からのパルス信
号をその頂点をつらねたような連続波形に整形するため
のものである。
そして波形整理回路01によって整形された信号は、増
幅器■をへて比較器(社)に入力される。比較器Qlよ
、それに入力された連続波形の信号の波高値を、しきい
値設定器(イ)から、それにプリセットされたしきい波
高値を送りこむことによってこの設定しきい波高値と比
較し、それを越えたものだけを出力信号としてフリップ
フロップ回路などで構成される信号作成回路内に送りこ
むようにされている。(財)はカウンタ回路で。
分局回路(2)およびカウンタ(イ)から構成されてい
る。
つぎにこの装置における動作について第4図〜第7図を
参照しながら説明する。いま、第2゜図において光源(
3)が常時光ビームを回転検出用回転体(1)に照射し
ており、この検出用回転体(1)が矢印で示す時計方向
に角速度ωで回転するものとすると9台形状の光スポッ
ト(5)も同心角速Ifl−wで同じ回転方向に回転す
るから、光電変換素子(7)のAll A2・・・・・
・A8位置の受光面に投光される光反射平面(2)から
の反射光はいずれもほぼ同時にフェードアウトするとと
もに、光m変換素子(7)のBs 、B2・・・・・・
B8位置の受光面にフェードインする。
したがって光電変換素子(7)のA群(AI、A2・・
・・・・All ) 、B 群(Bl lB2・・・・
・・Bg)のそれぞれからの出力信号は増幅器+81 
、 (91によってそれぞれ増幅されて、加算1!4 
(101、(111+c大入力れ、加算器flO] 、
 Ql)においては11°IF;/u)の時間差(位相
差)にて同じように出力(電圧)が変化しながら第4図
に示すように同一の周期T(T=22°36/ω)をも
って重畳加算される。このように検出用回転体(1)の
各光反射平面(2)からの2回転につれて光量が変化す
る反射光は光電変換素子(7)のA群。
B群によって電圧に変換増幅されて加算器部。
(11) fこ入力され1重畳されるので、前記位相差
および周期Tは、光反射平面(2)、光電変換素子(7
)の双方もしくはいずれか一方の等配誤差がわずかあっ
ても、この誤差には直接影響されない。
しかしこの装置における測定は明室でなされるので、光
電変換素子(7)に投射される反射光を。
光源すなわち発光素子(この例では赤外線発光ダイオー
ド)(31に短い一定周期での発光を発振回路Q7+に
より繰返えし行わせ、外光によるものと区別できるパル
ス反射光としている。このパルス反射光は1反射光量波
を前記発光周期で区分した反射光量を有し、これらの反
射光量にそれぞれ対応した電気信号(パルス電圧)が前
記したように加算器部、αDから出力され減算器αaを
ヘテ、オートゲイン回路051によってそれが適正化さ
れ、それぞれが発振回路(1′?lから、遅延回路a印
によりタイミングが合わされて入力されるゲート信号で
アンドゲート(フィルタ)061が開かれている間のみ
、アンドゲート(フィルタ)+161からパルス状の信
号として出力される。
ところで、ガラス板からなる円板状保持板(6)に水泡
や結露により生じた水滴などが付着し。
回転検出用回転体(1)の光反射面(2)から光電変換
素子(7)の受光面までの反射光の光路がA群、B群の
各光電変換素子(7)のいくつかにおいて乱される場合
には、加算器(101,01)から出力されるパルス信
号は、第5図の(a)’、(b)にそれぞれ示したよう
にはならず、第6図の(a)’ 、 (b)’に示した
ように変化する。図中(p) * (q)は前記した水
滴などによってA群、B群の光電変換素子(7)のいく
つかが十分に受光できないため信号レベルが低下してい
る部分を示しており、電圧eoは主として外光や乱反射
にもとづく反射光によるものをあられしている。
このようなA群、B群のパルス信号が減算器Q41に入
力されるのであるから、B群のパルス信号を極性変換し
て反転させ、A群のそれに加えたと同じこととなり、第
7図に示すパルス信号が減算器財から出力されることと
なる。このように信号処理することによって前記した外
乱や乱反射等から生ずるコモンモードノイズを相殺する
ことができる。
さて前記したパルス信号が波形整形回路09゜増幅器(
イ)をへて、比較器(社)に入力される。波形整形回路
09において、前記パルス信号はその頂点を連らねたよ
うな連続波形信号−第7図に示す連続波形信号(ffi
−M)−に整形される。
しきい値設定器(2)には、第7図に1点鎖線にて示し
た基準電圧レベルをしきい波高値として予め設定しであ
るので、比較器(社)に入力された波形整形回路09)
、増幅器(4)からの連続波形信号(i−i<>は、同
じく比較器(2I)にしきい値設定器(社)から入力さ
れる前記しきい波高値と比較され。
それを越えたものだけが比較器(2)からパルス列とし
て信号作成回路にに入力される。信号作成回路(2)が
たとえばフリップフロップ回路で構成されている場合に
は、前記したしきい値をこえるパルス信号をそのセット
信号、リセット信号としてそれぞれ入力させれば、フリ
ップフロップ回路からの出力信号は矩形波信号C)とし
て出力されることとなる。
パルス列6i、前記したところかられかるとおり9回転
検出用回転体(1)の丁度1回転ごとに8パルスが分局
回路(2)に入力される。したがって分周回路内にて前
記入力パルス列dが1に分周されて入力されると、カウ
ンタ(イ)はそのパルスを計数し9回転検出用回転体(
1)の回転数、すなわち測定しようとする回転体の回転
数を、外乱の影響を受けることなく、正確に計測するこ
ととなる。たとえばB群のみの光電変換素子(7)で計
測がなされ、かつ1点鎖線で示すしきい値が設定された
とすると、第6図(b)に示すようlζ1つの信号を2
つの信号とみなして処理するおそれがあるが、この装置
では、このような誤処理は完全に防止されるのである。
この場合、検出用回転体が(1)が計器用歯車列を介し
て被測定回転体に間接的に連結されているのであれば、
カウンタ(イ)の計数値を前記歯車列の伝達比にて換算
し、被測定回転体の回転数をめるため、換算回路をカウ
ンタ■に接続しておけばよい。
以上は、かなり劣悪な環境において被測定回転体の回転
数を高精度に測定する場合について説明したのであるが
、明室において測定がなされ、しかも光源(3)から回
転検出用回転体(1)をへて光電変換素子(7)fこ至
る光路に前記した如き外乱の発生がほとんどなく、光源
(3)以外の外光が回転検出用回転体(1)に均等に作
用する場合には。
前記した減算器(141を設けず、加算器部、Oυから
フィルタ(アンドゲート) Q61をへてs A l 
n両群にそれを対応して出力される第5図(a) 、 
(b)のごときパルス状の信号を波形整形回路(191
をとおすことによって連続した矩形波信号に整形し。
これら矩形波信号を、比較器(2)に入力し、比較器(
2)に結いてしきい値設定器(社)から入力される前記
しきい波高値と比較させ、それを越えたものだけを比較
器(2υから第5図の(C) 、 (d>に示すパルス
列として信号作成回路(ハ)に入力させるようにしても
よい。そして信号作成回路(2)において。
パルス列EAの1パルスにてONシ、ついで到達するパ
ルス列EBの1パルスにてOFFするパルスからなる@
5図(e)に示すようなパルス列Gをえ、このパルス列
Gを分局回路(ハ)にてたとえば百に分周し、カウンタ
(イ)に第5図(f)に示すようなパルスHを入力させ
、それをカウンタ翰Iこで計数し1回転検出用回転体(
1)の回転数、すなわち被測定回転体の回転数を計測す
る。
さらに前記した測定光路に外乱の発生がない場合には、
A、B両群のいずれか一方の光電変換素子(7)を設け
るだけで、前記同様に被測定回転体の回転数を測定する
こともできる。
←)発明の効果 この発明にかかる回転体の回転数計測装置においてはつ
ぎの効果を有する。
(i) 被回転体の回転に応じた光電的回転検出信号が
回転検出用回転体の光反射平面および光電変換素子の双
方もしくはいずれか一方の照射ビームの光軸、すなわち
検出用回転体の回転軸に対する等配誤差には影響されな
いので、これらの配設をと(をこ高精度にする必要がな
く、シたがって装置を容易に製作することができ、しか
も回転数を正確に測定することができる。
(it) 回転検出用回転体の光反射平面からの反射光
を光ファイバーを介すること各なく、直接光電変換素子
に受光させるようにしであるので、感度を上げることが
できるとともに装置をより一層コンパクトにまとめるこ
とができる。
(iiO外光による外乱を明確に区別する信号処理回路
が設けられているので、明室においても測定を正確に行
いうる。
(Iη 回転検出用回転体の光反射平面からの反射光を
受光する光電変換素子を2群に群別し。
2系統について信号処理を行うようにされているので、
光重変換素子のいくつかにおいてそれぞれの検出反射光
の光路が水滴などによる外乱をうけるような場合でも測
定を正確に精度高く行うことができる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明にかかる実施例装置の回路系統図、第
2図は回転検出用回転体、光源および複数個の光電変換
素子相互の配置関係を示す斜視図。 第3図は截頭正多角錐体からなる回転検出用回転体と、
それからの反射光を受光する光電変換素子の取付は位置
との関係を示す説明図、第4図はAB両群にまとめられ
た光電変換素子の出力信号の加算器における重畳出力電
圧波形の模式説明図。 第5図はこの実施例装置の信号処理回路における出力信
号波形図、第6図は9回転検出用回転体からの反射光が
外乱をうけた場合における第5図(a)。 (b)にそれぞれ示した出力信号波形に対応する出力信
号波形図、第7図はその信号処理過程を示す出力信号波
形図である。 (1)・・・回転検出用回転体、(2)・・・光反射平
面、(3)・・・光源(発光素子)、+61・・・透明
保持板、(7)・・・光電変換素子、 Q(1,(9)
・・・加算器、α揚・・・減算器、叫・・・フィルタ(
アンドゲート) 、 tJTI・・・発振回路、(1ト
・・遅延回路。 α9・・・波形整形回路、@・・・比較器、@・・・し
きい値設定回路、(ハ)・・・信号作成回路、(至)・
・・カウンタ回路。 (ハ)・・・分局回路、(イ)・・・カウンタ。 第5図 昭和60年2月1牛日 昭和59年特許願第112058号 2 発明の名称 回転体の回転数計測装置 3 補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 京都市南区上鳥羽南唐戸町7番地名 称 株式
会社 京都電装 代表者 代表取締役馬場信二 4代理人 住 所 〒615京都市右京区画大路通五条下ル東中水
町5番地 ユタ力第−ビル8階 5 補正命令の日付 自 発 6 補正により増加する発明の数 0 7 補正の対象 (1)特許請求の範囲を別紙の通り訂正する。 (2)明細書第3頁下から第5行目に「従来の武術」と
あるのを「従来の技術」に訂正する。 (3) 明細店、第7頁第3行目、同頁第7行目およσ
 l”l L’、!’ li・’、i第:r ?I !
; L’、−BI:ンン、’l) ’ // l、 /
1−二。 をいずれも「反射面」に訂正する。 (4) 同頁第11行〜第12行目に記載の「矩形波信
号に」を削除する。 (5)同頁下から第8行目、同じく下から第7行目、お
よび同じく下から第5行目に記載の「矩形波」をいずれ
も削除する。 (6)明細書第11頁下から第3行〜同じく第2行目に
記載の「同心角速度W」を、「同じ角速度ω」に訂正す
る。 (7) 明細書第18頁下から第10行目、同頁下から
第2行目および第19頁第8行目に記載の「反射平面」
をいずれも「反射面」に訂正する。 9 添付書類の目録 訂正特許請求の範囲 −・・・・1 通2、特許請求の
範囲(訂正) 1、被測定回転体に直接的に、もしくは回転位相伝達部
材を介して間接的に連結され、それ自身の回転軸のまわ
りに等配された複数の光反里皿を有する回転検出用回転
体と、この検出用回転体の軸線上に固定された光源と。 この光源の光軸のまわりに配設され、光源から照射され
た光ビームの前記光反、射−皿における反射光を受光す
る複数個の光電変換素子と、これら光電変換素子のそれ
ぞれに接続され、それからの各出力信号を加算する加算
器と、この加算器から出力されるパルス信号を受け、そ
れ& WAN’)する波形整形回路と、この波形整形回
路から9−1を入力とし、その所定のしきい波高値に区
切られた区間のみ胆夏号を出力させるようにされた比較
器と、この比較器から匁」1左信号を前記光反射皿の数
に応じて分周する分周回路と、この分周回路からの出力
パルスを計数するカウンタとを備えてなる回転体の回転
数計測装置。 3、被測定回転体に直接的に、もしくは回転位相伝達部
材を介して間接的に連結され、それ自身の回転軸のまわ
りに等配された複数の光反尉員証を有する回転検出用回
転体と、この検出用回転体の軸線上に固定された光源と
、この光源の光軸のまわりに配設され、光源から照射さ
れた光ビームの前記光反里皿における反射光を受光する
複数個の光電変換素子と、これら光電変換素子が1つお
きに2つの群に2分され、区分された各群ごとの光電変
換素子のそれぞれに接続され、それからの各出力信号を
各群ごとに加算する一対の加算器と、これら一対の加算
器にともに接続され、各加算器からの出力パルス信号ご
とに両者の信号間の差分を減算により出力する減算器と
、この減算器から出力されるパルス信号を受け、それを
連続波形信号に整形する波形整形回路と、この波形整形
回路からの連続波形信号を入力とし、その所定のしきい
波高値に区切られた区間のみ拉Lxを出力させるように
された比較器と、この比較器に接続され、前記各−硅号
女旦矩形波パルスを形成させる信号作成回路と、この信
号作成回路からの出力矩形波信号を前記反射j征の数に
応じて分周する分周回路と、この分周回路からの出力パ
ルスを開数するカウンタとを備えてなる回転体の回転数
計測装置。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、 被測定回転体に直接的に、もしくは回転位相伝達
    部材を介して間接的に連結され、それ自身の回転軸のま
    わりに等配された複数の光反射平面を有する回転検出用
    回転体と、この検出用回転体の軸線上に固定された光源
    と、この光源の光軸のまわりに配設され、光源から照射
    された光ビームの前記光反射平面における反射光を受光
    する複数個の光電変換素子と、これら光電変換素子のそ
    れぞれに接続され、それからの各出力信号を加算する加
    算器と、この加算器から出力されるパルス信号を受け、
    それを矩形波信号に整形する波形整形回路と、この波形
    整形回路からの矩形波信号を入力とし、その所定のしき
    い波高値に区切られた区間のみに矩形波信号を出力させ
    るようにされた比較器と、この比較器からの矩形波出力
    信号を前記光反射平面の数に応じて分周する分周回路と
    、この分周回路からの出力パルスを計数するカウンタと
    を備えてなる回転体の回転数計測装置。 2、 被測定回転体に直接的に、もしくは回転位相伝達
    部材を介して間接的に連結され、それ自身の回転軸のま
    わりに等配された複数の光反射平面を有する回転検出用
    回転体と、この検出用回転体の軸線上に固定された光源
    と、この光源の光軸のまわりに配設され、光源から照射
    された光ビームの前記光反射平面における反射光を受光
    する複数個の光電変換素子と、これら光電変換素子が1
    つおきに2つの群に2分され1区分された各群ごとの光
    電変換素子のそれぞれに接続され、それからの各出力信
    号を各群ごとに加算する一対の加算器と、これら一対の
    加算器にともに接続され、各加算器からの出力パルス信
    号ごとに両者の信号間の差分を減算により出力する減算
    器と、この減算器から出力されるパルス信号を受け、そ
    れを連続波形信号に整形する波形整形回路と、この波形
    整形回路からの連続波形信号を入力とし、その所定のし
    きい波高値に区切られた区間のみにパルス信号を出力さ
    せるようにされた比較器と、この比較器に接続され、前
    記各パルス信号の前縁時点でのインパルスから矩形波パ
    ルスを形成させる信号作成回路と、この信号作成回路か
    らの出力矩形波信号を前記光反射平面の数に応じて分周
    する分周回路と、この分周回路からの出力パルスを計数
    するカウンタとを備えてなる回転体の回転数計測装置。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001183122A (ja) * 1999-10-12 2001-07-06 Canon Inc 光回転角検出装置及び回転検出装置及び光回転角検出方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5786056A (en) * 1980-11-17 1982-05-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd Revolving speed detector

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5786056A (en) * 1980-11-17 1982-05-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd Revolving speed detector

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001183122A (ja) * 1999-10-12 2001-07-06 Canon Inc 光回転角検出装置及び回転検出装置及び光回転角検出方法

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