JPS60202963A - 電荷結合型装置およびその動作方法 - Google Patents

電荷結合型装置およびその動作方法

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JPS60202963A
JPS60202963A JP59224221A JP22422184A JPS60202963A JP S60202963 A JPS60202963 A JP S60202963A JP 59224221 A JP59224221 A JP 59224221A JP 22422184 A JP22422184 A JP 22422184A JP S60202963 A JPS60202963 A JP S60202963A
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    • H01L27/14Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
    • H01L27/144Devices controlled by radiation
    • H01L27/146Imager structures
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    • HELECTRICITY
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    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N25/00Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、線又は面撮像に用いられる電荷結合型装置(
ccn)に関する。
〔従来技術〕
電荷結合型半導体装置は、最初W、S、BoyleとG
E、Sm1thとによって発明された。これはBoy 
l eとgmithによるベルシステムテクニカルジャ
ーナルの第49巻第587頁の“電荷結合型半導体装置
°。
と米国特許第3858232号明細書に述べられている
それ以来電荷結合型装置の発展は、多くの刊行物に述べ
られてきた。たとえば1974年2月のサイエンテイフ
イクアメリカンの第230巻、第2号。
第23頁には、G11bert F、Amelio i
Cよる“電荷結合装置′°が示されている。線及び面撮
像装置は、電荷蓄積素子の配列によって製造され、この
ような装置は商業的に利用し得ることは現在よく知られ
ている。たとえばこの出願人であるフェアテヤイルドカ
メラアンドインスツルメントコーボレー7ヨン(以下フ
ェアチャイルド社と云う)の製品CCD 101.CC
D 110. CCD 121. CCD 201がそ
れである。適当な周知構造におφて、照射開口に蓄えら
れた電荷はシフトレジスタに転送され、かつ適当な信号
を与えることによってシフトレジスタから転送されて、
感知され、増幅され又は電気回路によって利用される。
めいに〈従来技術の電荷結合型撮像装置は、CODの照
射開口に当てられた光の強さまたは間色を示す内部発生
の基準信号を供給することはできなかった。言い換える
と、特定の照射開口に当たる光の相対的強さに関した情
報を、他の照射開口との比較においてのみ与えることが
出来るだけであった。電荷結合型撮像装置のビデオ出力
信号は、数ボルトたとえば+7〜+10 ボルトの直流
レベルに加えられるので相対的情報のみ発生される。こ
のDCレベルは1通常、リセット回路、浮遊ゲートta
位、又は増幅器バイアス点及び供給電位によって設定さ
れる。従来のCODの黒及び白信号の正確な電圧レベル
は、暗い所で及び適当な光学的状態によって飽和又は近
似飽和を生ずる状態でCCDを動作することによっての
み設定されていた。このような手順で行なわれた時でさ
え、このようなテストで行なわれたセツティングの校正
は、装置の動作条件たとえば周囲温度、供給電圧、又は
回路ドリフト等の変化に起因するドリフトを受けた。
さらに、従来技術の電荷結合型装置は、前の一連のデー
タ全部がシフトレジスタから転送された後、シフトレジ
スタへ新しい組の信号を転送するため電荷結合型装置を
リセットおよび/又は再循環するための外部回路を比較
的多く必要とする。
たとえば、従来の線撮像装置では、一連のカクンタは、
照射開口からシフトレジスタへ電荷のパケットによって
示された新しい組の信号を転゛送するために転送ゲート
を動かす前に、シフトレジスタの素子へ供給される転送
信号のサイクル数を確めるのに用いられる。この周辺回
路はCCDを用いる/ステムを複雑にし、価格を増加す
る。
〔発明の概要〕
本発明のCOD構造では、照射開口からの信号を受けか
つ送るのに用いられるCCD シフトレジスタと同様の
多くの菓子を有している他の分離された付加的シフトレ
ジスタに識別可能な電荷パケットたとえば後述する白信
号と同様の信号を注入することによって走査終了指示信
号が発生される。すなわち、その信号は、シフトレジス
タの最遠端へ注入されかつそのシフトレジスタの唯一の
信号トなる。照射開口によって発生された信号が対応す
るシフトレジスタからステップアクトされるのと同じ率
で、空の付加的シフトレジスタからこの信号をステップ
アクトすることによって、この信号は、シフトレジスタ
の新しい走査を開始するようにCODをリセットするた
め直接に明確な電気指示を供給するのに用いられる。
また1本発明のCOD構造は、CODが感知することが
できる最小及び最大量をそれぞれ表わす黒及び白基準信
号を供給するのに用いられる。黒基準信号は、CCDの
1つ又はそれ以上の光学的に暗く、かつ電気的に絶縁さ
れた光感知領域によって発生される。これら照射開口に
光が当たるのを妨げると、照射開口からの信号は、光が
ないことを示す。
すなわち黒基準信号を表わす。この黒信号は、1つ又は
それ以上の照射開口からシフトレジスタへ転送され、そ
の後CODから転出させられたあと、CCDからの他の
信号と比較するための基準信号として用いられ、CCD
が感知することの出来る一番暗い光学条件を与える。
白信号は、CODが感知するいくぶん明るい、言い換え
ると暗くない状態を表わす選択されたレベルで発生され
る。これは、 CODシフトレジスタの1つ又はそれ以
上の素子にあらかじめ決められた最大量の電荷を注入す
ることによって行なわれる。
これら信号がCCDから転送される時、それらは、CO
Dが感知する選択された明るい光学的状態を示す基準信
号を供給する。その上、よシ少ない又はよシ多くのあら
かじめ決められた量の電荷を注入することによって、グ
レー又は白の所望の中間色を示す基準信号が作られる。
黒及び白基準信号の発生は、グレ一段階の両端部に固定
点を設定することになシ、それによってCODが感知す
る光学的範囲を決定する。全光学的範囲にわたるCOD
応答の直線性の認識をかねた基準信号を与えると、CO
Dの使用者は、CODによって感知される光学的状態の
グレーの明度を正確に計測できる。
一実施例において、白信号を発生するように注入された
電荷の量は、CODが感知する最も明るい光学的状態(
照射開口の飽和に相当する)というよりむしろ直線的に
再生できる最も明るい信号を表わす。すなわち、照射開
目の飽和レベルに対して予定割合の電荷のパケットを注
入して白信号を発生させる。この白信号と黒信号を用い
て、CCDによって発生された全中間信号は、正確にこ
れら各間色を感知するため黒と白の間で直線的に計測さ
れ、それによってそれらの正確な保持、転送。
又は再生を容易にする。このことは、たとえばファクシ
ミリ装置等によって利用される。
一実施例において、白信号は、一対のMDS )ランジ
スタからの信号を受けるダイオードによって発生される
。第lMOSトランジスタのソースは第2 MOS )
ランジスタのドレインに接続され、第1MO8)ランジ
スタのドレインとゲートにはバイアス電圧がかけられ、
第2′yDSトランジスタのソースとゲートは互いに接
続される。第1及び第2トランジスタを適当に設計する
ことによシかなシの定電圧が入力ダイオードに供給され
る。入力ダイオードの電荷は、その後、照射開口からシ
フトレジスタヘ集められた電荷を転送するのと同一のク
ロック信号に応じてシフトレジスタの素子へ転送される
。MOS )ランジスタを適当に設計することによりか
つ適当な電圧をそれに供給することにより、注入される
電荷は所望量にされる。
〔実施例〕
第1図には、1728個の素子線形撮像アレイに適用さ
れた本発明の一実施例の概要平面図が示される。フェア
チャイルド社製品CCD121は、本発明以前の製品の
一例として挙げられる。第1図には、それらに当てられ
る電磁放射線に応じて電荷を発生する1728個の照射
開口が示されている。
周知の方法によl照射開口内に集った電荷は。
2つのシフトレジスタ10又は11の一方に同時に送ら
れる。第1図示のように、例えば奇数の照射開口に集っ
た電荷はシフトレジスタ11に転送され、一方偶数の照
射開口に集った電荷はシフトレジスタ10に転送される
。シフトレジスタ10゜11は、各々分離領域12によ
って2つの離れたシフトレジスタに分割されている。照
射開口1〜1728からシフトレジスタ10.11への
電荷転送は、電極14に信号φ工を与えることによって
行なわれる。この技術はCOD技術では周知であるが、
第2a図〜第2d図においてさらに詳細に説明されてい
る。CODシフトレジスタの隣接素子における信号の相
互混信は、奇数照射開口の電荷を一方向すなわちレジス
タ11に転送することによって。
又偶数照射開口の電荷を他方向すなわちレジスタ10に
転送することによって妨げられる。このように電荷パケ
ットは、シフトレジスタ10.11の谷々に転送される
。例えば、照射開口1に集められた電荷は電極21の下
の領域に転送され、一方、照射開口3に集められた電荷
は電極23の下の領域に転送される。電極22の下には
電荷は転送されないので、これは電極21.23とは異
なった電位に維持される。それ故、電極21 、23の
下の領域に転送された信号は、交錯(Comingli
ng)やそれによる情報損失からまぬがれる。第1図示
のように照射開口2からの信号は、1極32の下に転送
される。
1728個の照射開口の電荷がシフトレジスタ10.1
1に転送された後、信号φ8の電位は変化されて、新し
い組の信号が1728個の照射開口内に集まり始める。
その後シフトレジスタ素子に適当な信号たとえばφTと
vTを与えることによって。
電極下の信号はシフトレジスタ10からステップアクト
され、シフトレジスタ11の下方部分は出力ゲートへ転
送される。これら信号の出力ゲートへの転送は、第1図
の矢印30.31によって示される。出力ゲートの構造
はこの技術分野において周知である。たとえば米国特許
第3 、999 、082号の“電荷結合型増幅器°′
において示されている。
第1図に示された本発明の一実施例において、1728
個の照射開口からの信号は、/アトレジスタ10の下方
部分又はシフトレジスタ11の上方部分には転送されな
い。シフトレジスタのこれら部分への電荷の転送は、各
シフトレジスタ10゜11を2つの分離したシフトレジ
スタに効果的に分割する領域121代衣的には酸化膜の
分離領域によって妨げられる。各シフトレジスタの電極
から次の電極への電荷の転送は、電極下に延びた障壁5
8間のチャンネル領域15.によって行なわれ得る。シ
フトレジスタ11の上方部分と77トレジスタ10の下
方部分は、基板内の浮遊電荷がシフトレジスタの素子へ
流れたシ又そこに蓄えられた情報をひずませることを妨
げる。すなわち、浮遊電荷は、これら分離されたシフト
レジスタによって集められて害のないように処理される
。矢印33と40は、これら浮遊電荷の7ンク領域又は
電源への転送を示している。しかしながら、後述のよう
にいくつかの実施例では、矢印40で示された信号は外
部回路に供給される。
黒及び白の基準信号は、以下に述べるように第1図に示
されたCOD構造によって発生される。一実施例におい
て黒基準信号は、数個の光学的にがつ゛電気的に分離さ
れた付加照射開口B1.B2.B3によって発生される
。熱論このような照射開口はいくつでも設けることはで
きる。照射開口Bl(およびB2およびB3 )は、ア
イソレーション領域■によって能動照射開口1,2・・
・・・1T28から分離される。これら照射開口は、照
射開口1,2・・・・・1728内の又はこれらに沿っ
た所望の場所に配置され得ることは理解されよう。特に
、このような照射開口は、普通の能動照射開口1・・・
・・1728に点在され得、照射開口の1端又は他端、
又紘両端、又はそれらの組合わせで配置される。
第1図においては、それらは線形アレイの右端に示され
ている。
点照射開口B1.B2.B3は、代表的にはアイソレー
ションセルエによって能動照射開口から分離されている
。これは、能動セルのどれかの電荷か黒基準セルB 1
 r B 2 +又はB3のどれかに漏れるのを妨げる
ものでおる。又このようにすれば、窓35を形成するの
にも製作公差はゆるくてすむ。窓35は、電磁放射線2
代表的には可視光線を照射開口に当てさせるものである
。第1図には示されていないが窓35の周囲には、黒基
準セルB1.B2.B3に光が当たるのを妨げる光シー
ルドがある。
本発明のいくつかの実施例において、窓35は。
たとえば青又は他の色の信号が感知されるものであった
としても所定の波長の可視電磁放射線に対しては不透明
な物質である。窓35の位置は、黒基準照射開口B1.
B2.又はB3に光が当るのを妨げるので、これら照射
開口は何ら電荷を集めない。
すなわち可視光線の効果を除いた基板の全状態を表わす
電荷を集める。このように黒基準照射開口B1.B2.
B3 は、温度又は化学組成物、又は他の周囲状態に起
因する暗電流又は他の誤りを自動的に補正する。
白基準信号を生ずるだめの一つの技術は、シフトレジス
タ10の左端に示されている。信号vRがダイオード3
8へ与えられることによって、信号電荷はダイオードに
供給され、φ8の電位が適当に増加する時シフトレジス
タ素子39.42に転゛ 送される。第4a図〜第4e
図に関して述べるように、この′電荷は、飽和となる明
るさのレベル又はあまり明るくない状態すなわちグレー
のような他の所望基準電荷レベルを示すのに適当な大き
さに設定される。この電荷は、ここでは白基準信号とし
て参照される。信号vTとφTを加えてシフトレジスタ
素子42に注入された電荷のその部分は、1728個の
照射開口によって生ぜられた信号電荷の転送に続いてシ
フトレジスタ1oがら転送される。白基準信号は、第1
図に示された構造を適当に変形することによりシフトレ
ジスタ1oに沿った他の所望の位置に注入されてもよい
電極39の下に注入された白基準信号それ自体は、走査
終了(end −of −5aan )指示として用い
ることができる。すなわち、第1図示のように、白基準
信号をシフトレジスタ1oの最遠端に配置することによ
って電極39の下に転送された信号は照射開口1728
に生じた信号の後にシフトレジスタ10から現われる。
それ故、白基準信号は、シフトレジスタ10からの信号
の転送完了を示す電気信号としても用い得る。それに対
して従来の構造は、信号φ工を与えるのに適当な時間を
探知するため独立した計数装置を必要としていた。領域
38からの白基準信号は、シフトレジスタ1゜の下方部
分から転送された時何らかの周知外部論理回路に転送さ
れ、これはその後信号φ工を動作させる。
第2a図は埋込チャンネル大川いて作られた時の第1図
に示された構造の一部断面図である。代表的にはP導電
型の基板50には代表的には二酸化シリコンから成る分
離領域51m+51bが直列に形成されている。P 導
電型領域53a+53bは1分離領域51の下に浮遊イ
オンが導電路を形成しないように分離領域51の下に形
成されることがある。
基板50に形成されたNJt型領域は、周囲の電磁放射
線に応じて電荷を集める。代表的にはリン。
ヒ素又は他のN型物質をドープした埋込チャンネル領域
56a+56bと1代表的にはボロン又は他のP型物質
をドープした領域58m、58b、58cとは、以下に
述べるように、構造の電位状態図を変える障壁領域を形
成する。又第2a図には、基板50上に電極が示されて
いる。電極59aは信号φ7を受けるように接続され、
一方電極61&は信号φ工を受けるように接続されてい
る。電極62は信号VPGを受けるように接続される。
第2a図に示された構造の真下には、信号φ工が加えら
れた時領域55に集められた電荷73が電極59mの下
の領域にどのように転送されるかを示す第2b図、第2
C図、第2d図の一連の電位状態図が示される。一旦電
荷が転送されると、第4図において述べるようにそれは
信号φアとvTを加えることによりCCDから転送され
る。
第2b図に示された電位状態図は、信号φ工とφTが各
々ゼロ電位の時の第2a図に示された構造での状態を示
す。この状態において電荷は、領域55によって作られ
た電位の井戸に集まる。集められた電荷は、第2b図の
斜線領域T3によって示される。
次に第2c図で示すように、信号φ工の電位を増すこと
によって、電極61mの下の電位の井戸を深くシ、電荷
T6の一部は領域55から転送されて電極61&の下に
一時蓄えられる。
次に、第2d図に示すように、信号φTの電位は増加し
、それによって電極61&の下に蓄えられた電荷76は
電極59mの下に転送されて領域56aに蓄えられる。
一旦電荷T8が電極59aの下の領域56aに蓄えられ
ると、信号φ工の電位は低くされて、適当な信号φTI
VTが電極59aの下の領域56aの電荷78をCCD
装置から所望によシ他の電気回路へ転送するように加え
られるまで領域55から領域56aへさらに電荷が転送
されるのを妨げる。
第3図は、第1図示の黒セルとは反対側の能動セルの端
部に、すなわち一連のCCD光感知素子。
1725.1726,1727.1728の左側に配置
された場合の一連の4個の黒基準セルの断面図を示して
いる。黒基準セルB4.BS、B6.B7 は、隣接能
動セル又は他の回路から分離セルエ1.I2によって分
離される。カバー36は、黒セルB4〜B7 K可視光
が照射するのを妨げる。カバー36は、たとえばアルミ
ニクムのような適当な物質である。
カバー36は代表的には絶縁層3T上に形成され。
それが基板50の表面又はそれに形成された領域と接触
するのを妨げる。黒セルB4〜BTは、たとえば温度の
ような基板内の状態のみを衣わす信号を発生する。
分離セル11 、 I2は逆バイアスされたN十拡散ダ
イオードであって、その領域内の浮遊電荷キャリアを取
り除く働きをする。分離セルは、第3図に示されたよう
にアルミニワム光シールド36にそれらを接続し、その
後シールド36に所望の電位を与えることによって簡単
に逆バイアスされる。
第4&図は、走査終了指示の動作とともに白基準信号発
生器の動作を示した。第1図の一部断面図でおる。第4
a図に示された構造の参照番号は、第1図の構造を示し
たものと同様である。白基準信号を発生するため、2つ
のMDSトランジスタ71.72が領域38に与えられ
る信号■8を発生するのに用いられる。第4a図に示さ
れるように、トランジスタ71のゲート電極は信号vT
を受信するように接続され、一方ドレイン′に極は信号
VDDを受信するように接続される。MDSトランジス
タT2は、アースに接続されたソース電極に接続された
ゲート電極を有する。実際にはトランジスタ72は、v
丁マイナス閾電圧に実質的に等し一信号vRを生ずるた
めトランジスタ71への定電流源となる。トランジスタ
71.72を適当なものとすることにより、信号vRは
所望の電荷量を注入するように選択される。シフトレジ
スタが照射開口から受ける電荷の注入パケットの最大量
すなわち飽和電荷の量は、障壁58によって生じられた
障壁の高さVBと、それが転送される領域すなわち領域
80の物理的寸法により決定される。第4d図の領域7
7は、この量を図示で示している。しかしながら、領域
3Bから実際に転送される電荷の量は、障壁58によっ
て生ずる電位障壁VBによって決定されるように少ない
鷺でよく、これは領域68の物理的寸法で定まる。電荷
のこの量は、第4e図において領域T5として図式に示
されている。障壁の高さは両方の場合において等しいの
で、物理的寸法68は、たとえばCCD照射開口の感光
度の直線領域の上限に相当する飽和電荷の選択された小
部分に白信号電荷を制限するように調整される。上述の
ように白信号を発生する一つの利点は、信号の大きさは
処理のパラメータを変えなくとも構造寸法を変えること
によシ変化することである。寸法は処理のパラメー夛よ
シ更に正確に制御されるので、白信号をより正確に制御
することが出来る。このように直線性が得られるので、
黒と白との間のグレーの直線領域で正確に関係づけられ
たどの照射開口1〜1728によっても信号を生じさせ
ることが出来る。
トランジスタ71.72からの信号vRの結果として領
域3Bに集められた電荷は、第1図に示されたシフトレ
ジスタ10の上方部分に沿って転送され第4b図〜第4
e図に示されたように白信号を供給するため他の回路に
供給される。
第4b図に示されるように、信号φXが低い場合、それ
は信号vRの結果として領域38に集められた全電荷T
4をためる電位障壁を作る。次に。
第4C図に示すように、低電位に(を極39に供給され
た)信号φ丁を保持し、かつ(電極14に供給された)
信号φ工の電位を増加することによって領域38内の電
荷T4も又電極14の下に集まる。しかしながら、低電
位に保持された信号φ丁は、電極14から電極39へ電
荷74が転送されるのを妨げる。
その後、第4d図示のように、電極39に供給された信
号φTの電位は増加し、一方電極65に供給された信号
vTはその前のレベルに保持される。これは電極14の
下からの電荷74を電極39の下に転送させる。次に、
第40図示のように、電極39に供給された信号φTの
電位は減少する。
実際に、これは電極14の下と領域38に残存する大部
分の電荷から部分75の電荷を分離する。
電位φ1を低くした結果として電荷T5のこの部分は電
極vTの下に転送される。その後、信号φTのパルスの
連続によって電荷パケット75は、−電極から次の電極
へ漸次転送され、最終的に第1図に示されたノットレジ
スタ10の上方部分の右手端部に到達し、矢印30によ
って示されるように、必要に応じて他の回路に供給され
る。
シフトレジスタ10の上方部分に関連して上述しだのと
同様の方法で、電極38の下に注入された信号は電極4
2の下に識別可能な電荷のパケットとして注入される。
この信号は1728個の照射開口によって発生された1
728個の信号に続いて走査終了信号を供給する。それ
によって、注入された電荷は周知の方法で用いられ、他
の電気回路を作動し、 CODに照射開口1〜1728
からシフトレジスタへの新しい組の電荷を転送するよう
にリセットさせる。
本発明の構造は、従来構造に比べて多くの利点を有する
。特に、黒基準セルは暗電流信号に対して、温度効果に
対してクロンク信号の変化に対して、出力増幅器の変化
に対して、一般に全感光領域に誘導されるエラーに対し
て補償する黒基準信号を供給する。一方、白基準セルは
白色光又はグレーの所望の明度を表わす信号を発生する
ことによって多くの利点をもたらす。その上、同一の白
基準信号は、分離されたシフトレジスタに注入された時
COD装置の動作をリセットするための走査終了指示と
して働き、従って従来の大容RCOD装置に用いられて
いた計数回路が不必要となる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例の構造を示した概要図、第2
a図は第1図の構造の一部断面図でアシ。 第2b図〜第2d図は電荷パケットが照射開口からシフ
トレジスタへいかに転送されるかを示した第2a図の構
造の電位エネルギー状態図、第3図は一組の黒基準セル
の断面図、第4&図は白基準信号を発生する一方法を示
した概要図、第4b図〜第4e図は電荷パケット(白基
準信号)が走査終了指示信号を転送するシフトレジスタ
又は普通のCCDシフトレジスタにおいてシフトレジス
タの1素子から次の素子へいかに転送されるかを示した
第4a図の構造の電位エネルギー状態図である。 10.11 ・・・・シフトレジスタ、12・・・・分
離領域、14・・・・電極、1〜172B・・・・照射
開口、 Bl、B2.B3 ・・・・点照射開口、35
・・・・窓、38・・・・ダイオード、50・・・・基
板、51a、51b・・・・分離領域。 71.72・・・・トランジスタ。 特許出願人 フェアチャイルド・カメラ・エンド・イン
スツルメント・コーポレーション 代理人 山川数構(tυ)2名) 冨8 8 FIG、3

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 (1)周囲光の状態に応じた信号を生じる電荷結合型装
    置でおって、 それぞれへ入射する周囲光の強さに応じた電荷のパケッ
    トを蓄える複数の照射開口と;この照射開口の予定数の
    ものを上記周囲光にあてるための手段と; 上記照射開口の各々から蓄えられた上記電荷のパケット
    が第2転送手段へ転送されるのを許容するだめの少くと
    も1つの第1転送手段と;上記第1転送手段を作動させ
    るとともに上記複数の照射開口をリセットするため、タ
    イミングのとられた制御信号を生じる制御手段と;第2
    転送手段であって、その出力端の出力ゲートに向けて、
    上記電荷のパケットの各々を1周期的なりロック信号に
    応じて転送するための第2転送手段と; 第3転送手段であって、その出力端に向けて、自己に注
    入された電荷を、上記の周期的なりロック信号に応じて
    転送するための第3転送手段と;この第3転送手段に、
    識別可能な電荷のパケットを、上記制御信号に応じて注
    入する注入手段と;上記第3転送手段の出力端に接続さ
    れ、上記識別可能な電荷のパケットを受けてこれに応じ
    て上記制御手段を作動させる信号を発生する手段とを備
    えた電荷結合型装置。 (2、特許請求の範囲第1項に記載のものにおいて、上
    記第2および第3転送手段はそれぞれ第1および第2シ
    フトレジスタである電荷結合製装置。 (3)特許請求の範囲第2項に記載のものにおいて、上
    記第1および第2シフトレジスタは、それらの間の分離
    領域12に対して略対祢に構成されている電荷結合型装
    置。 (4)特許請求の範囲第1項、第2項、又は、第3項に
    記載のものにおいて、上記注入手段は、上記識別可能な
    電荷のパケットを供給するように電気信号源および上記
    第3転送手段の間に接続されたダイオードを含んでいる
    電荷結合型装置。 (5)特許請求の範囲第4項記載のものにおいて、上記
    電気信号源は第1および第2トランジスタを含んでいる
    電荷結合型装置。 (6)特許請求の範囲第5項記載のものにおいて、上記
    第1及び第2トランジスタは絶縁ゲート電界効果型トラ
    ンジスタであり、上記第1トランジスタのソースは上記
    第2トランジスタのドレインに接続され、上記第2トラ
    ンジスタのソースおよびゲートはアース電位に接続され
    、選択された電気信号が上記第1トランジスタのソース
    およびゲートに供給され、上記第1トランジスタのソー
    スは上記ダイオードに接続されている電荷結合型装置。 (7) 光に応動して電荷パケットを蓄える複数の照射
    開口、および、上記パケットの電気エネルギにより表わ
    される情報を得ることができる信号処理手段へ上記電荷
    パケットを転送するための少くとも1つのシフトレジス
    タを含む電荷結合型装置を。 周囲光の状態、黒基準状態、および、白基準状態に応じ
    た信号が生じるようにして、作動させる方法であって; 上記複数の照射開口のうちの第1の予定数の照射開口を
    、入射する周囲光の強さに応じた大きさを持つ第1パケ
    ツトの電荷を蓄えるように、周囲光にあてる過程と;− 上記複数の照射開口のうちの第2の予定数を、黒基準状
    態に応じた大きさを持つ第2のパケットの電荷を蓄える
    ように、上記周囲光から遮蔽する過程と; 上記複数の照射開口から上記シフトレジスタへ上記パケ
    ットの電荷を転送する過程と;上記シフトレジスタのま
    だ使用されていない他の少くとも1つの場所に、予定の
    白状態に応じた一定の大きさを持つ第3のパケットの電
    荷を導入する過程と; 上記シフトレジスタの上記第1.第2、および、第3の
    パケットの電荷を上記信号処理手段へ転送する過程と; 周囲光の予定された不存在に応じた黒基準信号を生じる
    ように、上記第2のパケットの電気エネルギを信号処理
    する過程と; 予定された白状態に応じた白基準信号を生じるように、
    上記第3のパケットの電気エネルギを信号処理する過程
    と; 上記第1のパケットの電気エネルギをビデオ信号に信号
    処理する過程であって、上記第1のパケットの電気エネ
    ルギのそれぞれを上記第2および第3のパケットの電気
    エネルギと比較して、上記黒基準信号と上記白基準信号
    との間で位置づけされた上記ビデオ信号を発生するよう
    Kする比較ステップを含む過程 とを備えた電荷結合型装置の動作方法。 (8)特許請求の範囲第7項記載の方法において。 上記諸過程が上記白基準信号の発生毎に繰や返見される
    方法。
JP59224221A 1978-02-06 1984-10-26 電荷結合型装置およびその動作方法 Granted JPS60202963A (ja)

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JPH0414510B2 JPH0414510B2 (ja) 1992-03-13

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DE2902532C2 (de) 1984-05-30
JPS5846068B2 (ja) 1983-10-14
JPH0414510B2 (ja) 1992-03-13
JPS54107684A (en) 1979-08-23
DE2902532A1 (de) 1979-08-09

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