JPS60111916A - 光源装置 - Google Patents
光源装置Info
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- JPS60111916A JPS60111916A JP58218743A JP21874383A JPS60111916A JP S60111916 A JPS60111916 A JP S60111916A JP 58218743 A JP58218743 A JP 58218743A JP 21874383 A JP21874383 A JP 21874383A JP S60111916 A JPS60111916 A JP S60111916A
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- JP
- Japan
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- light
- amount
- voltage
- light source
- lamp
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-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B39/00—Circuit arrangements or apparatus for operating incandescent light sources
- H05B39/04—Controlling
- H05B39/041—Controlling the light-intensity of the source
- H05B39/042—Controlling the light-intensity of the source by measuring the incident light
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02B—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO BUILDINGS, e.g. HOUSING, HOUSE APPLIANCES OR RELATED END-USER APPLICATIONS
- Y02B20/00—Energy efficient lighting technologies, e.g. halogen lamps or gas discharge lamps
Landscapes
- Optical Transform (AREA)
- Circuit Arrangement For Electric Light Sources In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
等の光学特性の測定を行なう際に必要な、所定の波長及
び所定の光量を得るための光源装置に関する。
び所定の光量を得るための光源装置に関する。
近年、光電変換素子等の研究、開発、応用が、ますます
盛んに行なわれているが、これらの素子の光学特性を測
定する場合には、適正な光量で試料を照明する光源が必
要となる。
盛んに行なわれているが、これらの素子の光学特性を測
定する場合には、適正な光量で試料を照明する光源が必
要となる。
従来この種の装置は、第１図に示すように、曲流または
交流の電源１によりランプ２へ電力を供給し′、ランプ
２からの光は、干渉フィルタ６を通って所定の単一波長
光となり、更にＮＤフィルタ４を通って所定の光量とな
り、集光レンズ５な経て、試料６へ照射されるようにな
っている。ここで、試料６に照射されている光量を計測
する場合、試料６が配置される位置に、校正済みの光検
出器６鮫置き、その信号出力を光量計６Ｂにて読み取る
。
交流の電源１によりランプ２へ電力を供給し′、ランプ
２からの光は、干渉フィルタ６を通って所定の単一波長
光となり、更にＮＤフィルタ４を通って所定の光量とな
り、集光レンズ５な経て、試料６へ照射されるようにな
っている。ここで、試料６に照射されている光量を計測
する場合、試料６が配置される位置に、校正済みの光検
出器６鮫置き、その信号出力を光量計６Ｂにて読み取る
。
また、試料６に所望の波長で、かつ目的とする光量を照
射しようとした場合には、試料６が配置される位置に設
置した光検出器の信号出力を光量計にて読み取りながら
必要とする光量が得られるように、ランプ２の電源１の
電圧又は電流を調整し、次に光検出器を取り除いて試料
６に光を照射する。
射しようとした場合には、試料６が配置される位置に設
置した光検出器の信号出力を光量計にて読み取りながら
必要とする光量が得られるように、ランプ２の電源１の
電圧又は電流を調整し、次に光検出器を取り除いて試料
６に光を照射する。
しかしながら、試料面に於ける光量はランプ電源１に、
安定化電源を用いたとしても、ランプ２のフィラメント
温度の変化や、ランプの劣化、また干渉フィルタ６の透
過率の変化等により、設定当初の光量を長時間にわたり
安定して得ることは、非常に困難であった。
安定化電源を用いたとしても、ランプ２のフィラメント
温度の変化や、ランプの劣化、また干渉フィルタ６の透
過率の変化等により、設定当初の光量を長時間にわたり
安定して得ることは、非常に困難であった。
本発明は、上記従来例の欠点に鑑み、安定したかつ適正
な光量の光源装置を提供することを目的とする。
な光量の光源装置を提供することを目的とする。
以下図面を参照して本発明の一実施例を説明する。第２
図は１本発明の一実施例の構成図であり、１は、外部の
デジタル信号により、出力電圧を制御可能な、プログラ
マブルな直流の電源で、２は、ランプである。フィルタ
のターレット８．１１には、それぞれ複数個の異なる干
渉フィルタ６、ＮＤフィルタ４が同心円状に固設されて
おり１．サーボモータ７．１０によりフィルタ・ターレ
ット８゜１１を回転することにより、所望の波長、所望
の光量減衰率に設定することが出来、その設定値は、フ
ィルタ・ターレツ）８．１１の回転角にそれぞれ対応す
るポテンショメータ９，１２の信号を、Ａ／Ｄコンバー
タ１８，１７でデジタル値に変換され、後述する演算処
理部２１へ入力される。集光レンズ５は、光源２からの
光が、試料６上において均一になるように配置されてい
る。光検出器１６は、ＮＤフィルタ４と、集光レンズ５
の間であって、試料６面へ行く光束を遮ぎらない場所に
設置されている。光検出器１６で得られた電気信号は、
増幅器１４で増幅され、Ａ／Ｄコンバータ１５でデジタ
ル信号に変換されて演算処理部２１へ人力される。１６
は、試料６面上に於ける設定光量値を投入するスイッチ
回路である。１９は、演算処理部２１の指示によりサー
ボモータ７及び１０を制御する出力ポート回路、２０は
、演算処理部２１の指示によりプログラマブル直流電源
１を制御する出力ポート回路、２２は、本装置のプログ
ラム及び後述する波長毎の光量補正データを記憶してい
る不揮発性メモリ、２６は、測光データ等を一時的に格
納するためのランダム・アクセス・メモリである。
図は１本発明の一実施例の構成図であり、１は、外部の
デジタル信号により、出力電圧を制御可能な、プログラ
マブルな直流の電源で、２は、ランプである。フィルタ
のターレット８．１１には、それぞれ複数個の異なる干
渉フィルタ６、ＮＤフィルタ４が同心円状に固設されて
おり１．サーボモータ７．１０によりフィルタ・ターレ
ット８゜１１を回転することにより、所望の波長、所望
の光量減衰率に設定することが出来、その設定値は、フ
ィルタ・ターレツ）８．１１の回転角にそれぞれ対応す
るポテンショメータ９，１２の信号を、Ａ／Ｄコンバー
タ１８，１７でデジタル値に変換され、後述する演算処
理部２１へ入力される。集光レンズ５は、光源２からの
光が、試料６上において均一になるように配置されてい
る。光検出器１６は、ＮＤフィルタ４と、集光レンズ５
の間であって、試料６面へ行く光束を遮ぎらない場所に
設置されている。光検出器１６で得られた電気信号は、
増幅器１４で増幅され、Ａ／Ｄコンバータ１５でデジタ
ル信号に変換されて演算処理部２１へ人力される。１６
は、試料６面上に於ける設定光量値を投入するスイッチ
回路である。１９は、演算処理部２１の指示によりサー
ボモータ７及び１０を制御する出力ポート回路、２０は
、演算処理部２１の指示によりプログラマブル直流電源
１を制御する出力ポート回路、２２は、本装置のプログ
ラム及び後述する波長毎の光量補正データを記憶してい
る不揮発性メモリ、２６は、測光データ等を一時的に格
納するためのランダム・アクセス・メモリである。
上記構成の実施例の動作を説明する前に、波長毎のすな
わち干渉フィルタ３の各々を光路に配置した時毎の光量
補正率について説明する。まず第２図に於いて、試料乙
のかわりに、波長毎に校正済の光量計（不図示）を設置
する。計測する光エネルギーの単位としては、この場合
、単一波長、且つ、試料面上のある範囲内では均一照明
光と考えれば、単位面積あたりの光エネルギーとして換
算するとよい。光ｈ［計より得られた試料面の真の光エ
ネルギーなＥａ、本装置内の光検出器１６で得られた光
エネルギーをＥｄとすれば、光検出器１３以後の光学系
の透過率Ｔと光検出器１３系の効率にとの積、すなわち
光量補正率ＫＴは、ＫＴ 、、＝ Ｅｓ ／ Ｅａ となる。このような手段を用いて各波長毎にすなわち干
渉フィルタ乙の各々についての光量補正率をめ、光量補
正データとして不揮発性メモリ２２に書き込む。
わち干渉フィルタ３の各々を光路に配置した時毎の光量
補正率について説明する。まず第２図に於いて、試料乙
のかわりに、波長毎に校正済の光量計（不図示）を設置
する。計測する光エネルギーの単位としては、この場合
、単一波長、且つ、試料面上のある範囲内では均一照明
光と考えれば、単位面積あたりの光エネルギーとして換
算するとよい。光ｈ［計より得られた試料面の真の光エ
ネルギーなＥａ、本装置内の光検出器１６で得られた光
エネルギーをＥｄとすれば、光検出器１３以後の光学系
の透過率Ｔと光検出器１３系の効率にとの積、すなわち
光量補正率ＫＴは、ＫＴ 、、＝ Ｅｓ ／ Ｅａ となる。このような手段を用いて各波長毎にすなわち干
渉フィルタ乙の各々についての光量補正率をめ、光量補
正データとして不揮発性メモリ２２に書き込む。
次いで上記実施例の作動を第６図のフローチャートを参
照して説明する。電源１により、まずステップ２４でラ
ンプ２をランプの定格電圧で点燈させ、次にステップ２
５で試料面に於ける設定光量値をスイッチ回路１６より
、演算処理部２１へ人力し、演算処理部２１は、このデ
ータをメモリ２６へ格納する。この時、干渉フィルタ乙
の１つを選択して光路に配置して、希望する波長に七ッ
トシておく。次にステップ２６で現在の時点に於ける光
量を光検出器１３により測定する。ここでは、光検出器
１６からの光検出信号を増幅したのち、Ａ／Ｄ変換を行
なっているが、雑音等の影響を考慮して、複数回データ
を取り込んで平均化することが望ましい。ここで得られ
た光量データは、ステップ２７で、あらかじめ不揮発性
メモリ２２に書き込まれている、選択された波長の光量
補正率と掛は算され、この結果が現在の時点に於ける試
料６面上の光量となる。次にステップ２８で、現在の時
点に於ける試料６面上の光量データと、ステップ２５に
てメモリ２３に格納されている設定光量データとを比較
し、一致した場合は、分岐する。例えば、ここで、試料
６面上の光量データと、設定光量データが等しいとすれ
ば、ステップ２８で分岐し、ステップ２９のソフトウェ
ア・ディレィ・ルーチンを通ってｉｌＹびステップ２６
の測光ルーチンに戻り、両方の光ｌデータが一致してい
る限り、上記のルーチン内で演算処理部２１はループ状
に処理を行なう。ステップ２９のソフトウェア・ディレ
ィ・ルーブーンは、油算処理部２１の処理時間に比べて
、プログラマブル直流電源１やランプ２の電圧応答時間
が遅いため、ソフトウェアにて遅延ルーチンを構成し、
両者の処理または応答時間の差な調整している。
照して説明する。電源１により、まずステップ２４でラ
ンプ２をランプの定格電圧で点燈させ、次にステップ２
５で試料面に於ける設定光量値をスイッチ回路１６より
、演算処理部２１へ人力し、演算処理部２１は、このデ
ータをメモリ２６へ格納する。この時、干渉フィルタ乙
の１つを選択して光路に配置して、希望する波長に七ッ
トシておく。次にステップ２６で現在の時点に於ける光
量を光検出器１３により測定する。ここでは、光検出器
１６からの光検出信号を増幅したのち、Ａ／Ｄ変換を行
なっているが、雑音等の影響を考慮して、複数回データ
を取り込んで平均化することが望ましい。ここで得られ
た光量データは、ステップ２７で、あらかじめ不揮発性
メモリ２２に書き込まれている、選択された波長の光量
補正率と掛は算され、この結果が現在の時点に於ける試
料６面上の光量となる。次にステップ２８で、現在の時
点に於ける試料６面上の光量データと、ステップ２５に
てメモリ２３に格納されている設定光量データとを比較
し、一致した場合は、分岐する。例えば、ここで、試料
６面上の光量データと、設定光量データが等しいとすれ
ば、ステップ２８で分岐し、ステップ２９のソフトウェ
ア・ディレィ・ルーチンを通ってｉｌＹびステップ２６
の測光ルーチンに戻り、両方の光ｌデータが一致してい
る限り、上記のルーチン内で演算処理部２１はループ状
に処理を行なう。ステップ２９のソフトウェア・ディレ
ィ・ルーブーンは、油算処理部２１の処理時間に比べて
、プログラマブル直流電源１やランプ２の電圧応答時間
が遅いため、ソフトウェアにて遅延ルーチンを構成し、
両者の処理または応答時間の差な調整している。
試料６面上の光ｈ１データと、設定光量データとが等し
くない場合は、プログラムはステップ３０へと進み、こ
こでは試料６面上の光も１データと設定先組値との大小
判断を行う。例えば、ここで、設定光電データより試料
６面上の光量データの方が大きい場合、ステップ３０に
てプログラムは分岐してステップ３１に進む。ステップ
３１では、今、ランプ２を点灯しているランプ電圧を１
段階下げてランプ２の光量を落とす。ここでランプ電圧
の１段階をどの位の電圧変化にするかは、本装置を構成
する」二で重要であるが、これは最終的に試料６面上で
の光量設定分解能、言い換えれば、「設定精度をどの位
にするか」をどの程度にするかによって定まる。また、
使用するプログラマブル直流電源１の電圧分解能によっ
ても左右されるので、１０〜１２ビット位すなわち１０
２４〜４０９６段階が適当である。前述の如くステップ
３１でランプ電圧を１段階下げて、次にステップ３２で
、このランプ電圧が下限値に達したか判断し、下限値に
達していなければ、分岐する。尚この下限値の決定方法
を説明すると、通常ランプは、低い電圧で動作させると
、ランプ電圧の変化に対する光）Ｊ：ノ変化量が少なく
、また、ランプにハロゲン・ランプ等を使用した場合、
ハロゲン・サイクルが発生しなくなるのでこれらを考慮
して、ランプの定格電圧の７０％くらいを下限値として
いる。ステップ３２で、ランプ電圧が下限値に達せず、
分岐した場合、ステップ２９のソフトウェア・ディレィ
・ルーチンを通り、再び測光ルーチンのステップ２６へ
戻り、今度は前回よりランプ電圧を１段階下げた状態で
測光する。この」；うなルーチンを回り続けてステップ
２８で設定光（■、データと、試料面上の光ｌデータが
等しくなれば、ランプ電圧の上昇あるいは下降を停止し
て、その時のランプ電圧でランプの点灯を継続し、試料
６面上での光ｌ：を設定光量データに等しく、一定に保
つ。
くない場合は、プログラムはステップ３０へと進み、こ
こでは試料６面上の光も１データと設定先組値との大小
判断を行う。例えば、ここで、設定光電データより試料
６面上の光量データの方が大きい場合、ステップ３０に
てプログラムは分岐してステップ３１に進む。ステップ
３１では、今、ランプ２を点灯しているランプ電圧を１
段階下げてランプ２の光量を落とす。ここでランプ電圧
の１段階をどの位の電圧変化にするかは、本装置を構成
する」二で重要であるが、これは最終的に試料６面上で
の光量設定分解能、言い換えれば、「設定精度をどの位
にするか」をどの程度にするかによって定まる。また、
使用するプログラマブル直流電源１の電圧分解能によっ
ても左右されるので、１０〜１２ビット位すなわち１０
２４〜４０９６段階が適当である。前述の如くステップ
３１でランプ電圧を１段階下げて、次にステップ３２で
、このランプ電圧が下限値に達したか判断し、下限値に
達していなければ、分岐する。尚この下限値の決定方法
を説明すると、通常ランプは、低い電圧で動作させると
、ランプ電圧の変化に対する光）Ｊ：ノ変化量が少なく
、また、ランプにハロゲン・ランプ等を使用した場合、
ハロゲン・サイクルが発生しなくなるのでこれらを考慮
して、ランプの定格電圧の７０％くらいを下限値として
いる。ステップ３２で、ランプ電圧が下限値に達せず、
分岐した場合、ステップ２９のソフトウェア・ディレィ
・ルーチンを通り、再び測光ルーチンのステップ２６へ
戻り、今度は前回よりランプ電圧を１段階下げた状態で
測光する。この」；うなルーチンを回り続けてステップ
２８で設定光（■、データと、試料面上の光ｌデータが
等しくなれば、ランプ電圧の上昇あるいは下降を停止し
て、その時のランプ電圧でランプの点灯を継続し、試料
６面上での光ｌ：を設定光量データに等しく、一定に保
つ。
ステップ３２でランプ電圧が下限値に逃した場合は、プ
（ダラムはステップ３３へ進み、ＮＤフィルタ４が最大
減衰量のフィルタにセットされていなければ、ステップ
３４でＮＤフィルタ・ターレット１１を廻して、ＮＤフ
ィルタ４の減衰！ｊ’ｌ：を増化し、光量を減らして、
ステップ２９のソフトウェア・ディレィ・ルーチンを通
って再び測光ルーチンのステップ２６へ戻り、測光及び
ランプ電圧の制御を再び行う。また逆にステップ３３で
、すてにＮＤフィルタ４が最大減衰ｎ′Ｌのフィルタに
セットされていた場合には、ここで分岐しステップ３５
へ進み、トラブル表示を行なって、プログラムはスター
ト位置に戻って設定光鼠データの変更を指示する。
（ダラムはステップ３３へ進み、ＮＤフィルタ４が最大
減衰量のフィルタにセットされていなければ、ステップ
３４でＮＤフィルタ・ターレット１１を廻して、ＮＤフ
ィルタ４の減衰！ｊ’ｌ：を増化し、光量を減らして、
ステップ２９のソフトウェア・ディレィ・ルーチンを通
って再び測光ルーチンのステップ２６へ戻り、測光及び
ランプ電圧の制御を再び行う。また逆にステップ３３で
、すてにＮＤフィルタ４が最大減衰ｎ′Ｌのフィルタに
セットされていた場合には、ここで分岐しステップ３５
へ進み、トラブル表示を行なって、プログラムはスター
ト位置に戻って設定光鼠データの変更を指示する。
ステップ３０に於いて、設定光がデータより試料面上の
光量データの方が小さい場合には、プログラムはステッ
プ３６へ進み、ランプ電圧を１段階上昇させ、ランプの
光電を増加させる。次にステップ３７で、ランプ電圧が
定格電圧に達しているか判断し、達していなければ分岐
し、ソフトウェア・ディレィ・ルーチンのステップ２９
を通って再び測光ルーチンのステップ２６へ戻り、設定
先組データと、試料面上の光量データが等しくなるまで
ランプ電圧を上昇させる。
光量データの方が小さい場合には、プログラムはステッ
プ３６へ進み、ランプ電圧を１段階上昇させ、ランプの
光電を増加させる。次にステップ３７で、ランプ電圧が
定格電圧に達しているか判断し、達していなければ分岐
し、ソフトウェア・ディレィ・ルーチンのステップ２９
を通って再び測光ルーチンのステップ２６へ戻り、設定
先組データと、試料面上の光量データが等しくなるまで
ランプ電圧を上昇させる。
ステップ３７で、ランプ電圧が定格電圧に辻している場
合には、プログラムはステップ３８へ進み、ＮＤフィル
タ４が透過率１００％（フィルタなし）にセットされて
いなければ、ステップ３９でフィルタ・ターレット１１
を廻して、ＮＤフィルタ４の減衰量を小さくし、光量を
増して、ステップ２９のソフトウェア・ディレィ・ルー
テンな通り再び測光ルーチンのステップ２６へ戻り、測
光及びランプ電圧の制御を再び行う。
合には、プログラムはステップ３８へ進み、ＮＤフィル
タ４が透過率１００％（フィルタなし）にセットされて
いなければ、ステップ３９でフィルタ・ターレット１１
を廻して、ＮＤフィルタ４の減衰量を小さくし、光量を
増して、ステップ２９のソフトウェア・ディレィ・ルー
テンな通り再び測光ルーチンのステップ２６へ戻り、測
光及びランプ電圧の制御を再び行う。
ステップ３８で、すてにＮＤフィルタ４が透過率１００
％にセットされている場合には、ここで分岐しステップ
３５へ進み、トラブル表示を行なって、プログラムはス
タート位置に戻り、設定光はデータの友更を指示する。
％にセットされている場合には、ここで分岐しステップ
３５へ進み、トラブル表示を行なって、プログラムはス
タート位置に戻り、設定光はデータの友更を指示する。
ところで、設定光計データと試料面上の光ｉｊ（データ
が等しくなるように制御されている状態で、時間経過と
ともにランプの劣化により、ランプの効率が下がった場
合、すぐに光検出器１６−が光１↓変化を検出し、演シ
、シ処理部２１はプログラマブル′市源１に対して、ラ
ンプ電圧の上昇を指示する。
が等しくなるように制御されている状態で、時間経過と
ともにランプの劣化により、ランプの効率が下がった場
合、すぐに光検出器１６−が光１↓変化を検出し、演シ
、シ処理部２１はプログラマブル′市源１に対して、ラ
ンプ電圧の上昇を指示する。
このように、本装置は光は設定能力範囲内に於いて、常
に設定光ｌデータと試別面上の光）ｊ↓データが等しく
なるようにランプ電圧を制御している。
に設定光ｌデータと試別面上の光）ｊ↓データが等しく
なるようにランプ電圧を制御している。
尚、ＮＤフィルタターレット１１を回転する時に、ラン
プがＮＤフィルタ４間を照明する場合には、光検出器１
６が検出する光１７（、が一時的に低下するので、光検
出器１６は測光を一時停止するようにしである。
プがＮＤフィルタ４間を照明する場合には、光検出器１
６が検出する光１７（、が一時的に低下するので、光検
出器１６は測光を一時停止するようにしである。
前記実施例の光源装置では、所望の波長を得るために干
渉フィルタを使用し、所望の光量を寄るためにＮＤフィ
ルタを使用したが、第４図に示すように、それぞれ分光
器４０、絞り４２を用いてもよい。この装置では、分光
器４０の波長を可変にするためのサーボモータ４１と、
絞り量を可変にするためのサーボモータ４６を制御する
ことにより、波長と光量を連続的に変化することができ
る。
渉フィルタを使用し、所望の光量を寄るためにＮＤフィ
ルタを使用したが、第４図に示すように、それぞれ分光
器４０、絞り４２を用いてもよい。この装置では、分光
器４０の波長を可変にするためのサーボモータ４１と、
絞り量を可変にするためのサーボモータ４６を制御する
ことにより、波長と光量を連続的に変化することができ
る。
以上説明したように、本発明により、所望の波長と所望
の光量が容易に得ることができ、またランプ、干渉フィ
ルタ（分光器）、ＮＤフィルタ（絞り）がフィードバッ
ク・ループ系内にあるため、ランプの劣化や干渉フィル
タの透過率の変動に左右されず、常に一定の光量を照射
することが出来る。更に試料面へ向う光束を遮ぎらない
場所に、光検出器を設置しであるので、試料に光を照射
しながら試料面上の光量を直読することが出来る等の効
果がある。
の光量が容易に得ることができ、またランプ、干渉フィ
ルタ（分光器）、ＮＤフィルタ（絞り）がフィードバッ
ク・ループ系内にあるため、ランプの劣化や干渉フィル
タの透過率の変動に左右されず、常に一定の光量を照射
することが出来る。更に試料面へ向う光束を遮ぎらない
場所に、光検出器を設置しであるので、試料に光を照射
しながら試料面上の光量を直読することが出来る等の効
果がある。
第１図は、従来の光源装置の構成図、第２図は、本発明
の一実施例の構成図、第６図は、第２図の実施例の動作
を説明するためのフローチャート、第４図は、本発明の
他の実施例の構成図である。 １ ・・・ 電源 ２・・・ ランプ ６・・・ 干渉フィルタ ４ ・・・ ＮＤフィルタ １６・・・ 光検出器 ２１・・・演算処理回路 ４０・・・ 分光器 ４２・・・ 絞り 第１図
の一実施例の構成図、第６図は、第２図の実施例の動作
を説明するためのフローチャート、第４図は、本発明の
他の実施例の構成図である。 １ ・・・ 電源 ２・・・ ランプ ６・・・ 干渉フィルタ ４ ・・・ ＮＤフィルタ １６・・・ 光検出器 ２１・・・演算処理回路 ４０・・・ 分光器 ４２・・・ 絞り 第１図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （］、） 光源と、該光源の電源と、該光源がらの光束
の光量を制御する光量制御手段と、該光源がらの光束内
に配置された光電変換手段と、該光電変換手段からの信
号により前記電源の電源電圧と光量制御手段とを制御す
る演算手段を有し、所望の光量を得るようにした光源装
置。 （２）前記演算手段は優先的に電源電圧を制御し、該制
御のみでは所望の光量とならないとき前記光量制御手段
を制御する特許請求の範囲ｍ １項記載の光源装置。 （３）前記光源からの波長を可変にする手段を有し、所
望の波長で所望の光量を得るようにしたことを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載の光源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58218743A JPS60111916A (ja) | 1983-11-22 | 1983-11-22 | 光源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58218743A JPS60111916A (ja) | 1983-11-22 | 1983-11-22 | 光源装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60111916A true JPS60111916A (ja) | 1985-06-18 |
Family
ID=16724723
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58218743A Pending JPS60111916A (ja) | 1983-11-22 | 1983-11-22 | 光源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60111916A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04110612A (ja) * | 1990-08-30 | 1992-04-13 | Okuma Mach Works Ltd | 変位検出装置 |
| JPH0697248A (ja) * | 1992-09-16 | 1994-04-08 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | ライフタイム測定装置及びこれを用いた測定方法 |
| USRE44279E1 (en) | 2001-02-06 | 2013-06-11 | Seiko Epson Corporation | Lamp power pulse modulation in color sequential projection displays |
| JP2016090625A (ja) * | 2014-10-30 | 2016-05-23 | ホロニクス・インターナショナル株式会社 | 樹脂硬化用光源装置 |
-
1983
- 1983-11-22 JP JP58218743A patent/JPS60111916A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04110612A (ja) * | 1990-08-30 | 1992-04-13 | Okuma Mach Works Ltd | 変位検出装置 |
| JPH0697248A (ja) * | 1992-09-16 | 1994-04-08 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | ライフタイム測定装置及びこれを用いた測定方法 |
| USRE44279E1 (en) | 2001-02-06 | 2013-06-11 | Seiko Epson Corporation | Lamp power pulse modulation in color sequential projection displays |
| JP2016090625A (ja) * | 2014-10-30 | 2016-05-23 | ホロニクス・インターナショナル株式会社 | 樹脂硬化用光源装置 |
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